JPH1098060A - 電子部品の製造方法及びその電子部品の検査方法 - Google Patents
電子部品の製造方法及びその電子部品の検査方法Info
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- JPH1098060A JPH1098060A JP28578896A JP28578896A JPH1098060A JP H1098060 A JPH1098060 A JP H1098060A JP 28578896 A JP28578896 A JP 28578896A JP 28578896 A JP28578896 A JP 28578896A JP H1098060 A JPH1098060 A JP H1098060A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- electronic component
- frame
- mold
- lead
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- Structures Or Materials For Encapsulating Or Coating Semiconductor Devices Or Solid State Devices (AREA)
- Encapsulation Of And Coatings For Semiconductor Or Solid State Devices (AREA)
- Lead Frames For Integrated Circuits (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 電子部品が小型化されてもモールドパッケイ
ジ形成後の搬送及び完成後の電子部品検査を効率的に行
なうことができる電子部品の製造方法及びその電子部品
の検査方法を提供すること。 【解決手段】 モールド工程においてモールドパッケイ
ジ20の形成とともに、リードフレームに一体形成され
てあるセクションフレーム22に連結されるモールド連
結部23を形成し、リードフレームに電子部品27を支
持させ、各電子部品27がフープ状に連結された状態で
モールドパッケイジ形成後のリード端子25,26のフ
ォーミング加工工程や電子部品27の検査工程に搬送す
る。
ジ形成後の搬送及び完成後の電子部品検査を効率的に行
なうことができる電子部品の製造方法及びその電子部品
の検査方法を提供すること。 【解決手段】 モールド工程においてモールドパッケイ
ジ20の形成とともに、リードフレームに一体形成され
てあるセクションフレーム22に連結されるモールド連
結部23を形成し、リードフレームに電子部品27を支
持させ、各電子部品27がフープ状に連結された状態で
モールドパッケイジ形成後のリード端子25,26のフ
ォーミング加工工程や電子部品27の検査工程に搬送す
る。
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、合成樹脂によりモ
ールドパッケイジされた電子部品の製造方法及びその電
子部品の検査方法に関するものである。
ールドパッケイジされた電子部品の製造方法及びその電
子部品の検査方法に関するものである。
【0002】
【従来の技術】半導体チップを合成樹脂によりモールド
パッケイジしたいわゆるSMD(サーフェースマウント
デバイス 表面実装型電子部品)と呼ばれる電子部品
は、周知のように、フープ状リードフレームのセクショ
ンフレーム間のリード端子に半導体チップを電気的に接
続した後、半導体チップ部をモールド金型に配置して、
合成樹脂によりモールドパッケイジを形成し、その後、
リード端子をリードフレームから切断し、リード端子の
折り曲げ等のフォーミング加工されて製作される。
パッケイジしたいわゆるSMD(サーフェースマウント
デバイス 表面実装型電子部品)と呼ばれる電子部品
は、周知のように、フープ状リードフレームのセクショ
ンフレーム間のリード端子に半導体チップを電気的に接
続した後、半導体チップ部をモールド金型に配置して、
合成樹脂によりモールドパッケイジを形成し、その後、
リード端子をリードフレームから切断し、リード端子の
折り曲げ等のフォーミング加工されて製作される。
【0003】ところで、このようにして製作された電子
部品は、不良品等を選別するための検査が行なわれる。
その検査方法には、図6の概略図で示すように、一部の
リード端子2をリードフレーム1に接続された状態で検
査工程に搬送して個々の電子部品6について検査する方
法(第1の検査方法という。)、図7の概略図で示すよ
うに、完成後の電子部品6を単品で検査工程に搬送して
個々の電子部品6について検査する方法(第2の検査方
法という。)、図8の概略図で示すように、完成後の電
子部品6をソケット10に挿入して検査工程に搬送し、
ソケット単位で電子部品6について検査する方法(第3
の検査方法という。)がある。
部品は、不良品等を選別するための検査が行なわれる。
その検査方法には、図6の概略図で示すように、一部の
リード端子2をリードフレーム1に接続された状態で検
査工程に搬送して個々の電子部品6について検査する方
法(第1の検査方法という。)、図7の概略図で示すよ
うに、完成後の電子部品6を単品で検査工程に搬送して
個々の電子部品6について検査する方法(第2の検査方
法という。)、図8の概略図で示すように、完成後の電
子部品6をソケット10に挿入して検査工程に搬送し、
ソケット単位で電子部品6について検査する方法(第3
の検査方法という。)がある。
【0004】さらには、モールドパッケイジを形成直後
の状態、すなわちリード端子をリードフレームから切断
されていない状態で、セクションフレームと電子部品に
またがってテーピングし、その後、リード端子をリード
フレームから切断し、テーピングされた状態でリード端
子のフォーミング加工が行なわれた状態、すなわち図9
に示すように、各電子部品6のリード端子2,3はリー
ドフレーム1から切り離されているが、テープ12によ
って各電子部品6とセクションフレーム11とはフープ
状に連結され、図10に示すように、リード端子のフォ
ーミング加工が行なわれた状態で検査工程に搬送し、個
々の電子部品6について検査する方法(第4の検査方法
という。)がある。
の状態、すなわちリード端子をリードフレームから切断
されていない状態で、セクションフレームと電子部品に
またがってテーピングし、その後、リード端子をリード
フレームから切断し、テーピングされた状態でリード端
子のフォーミング加工が行なわれた状態、すなわち図9
に示すように、各電子部品6のリード端子2,3はリー
ドフレーム1から切り離されているが、テープ12によ
って各電子部品6とセクションフレーム11とはフープ
状に連結され、図10に示すように、リード端子のフォ
ーミング加工が行なわれた状態で検査工程に搬送し、個
々の電子部品6について検査する方法(第4の検査方法
という。)がある。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】しかし、第1の検査方
法では、完成品の検査でないため、リード端子の切断や
リード端子のフォーミング加工時の応力による特性不良
を生じた電子部品を選別除去することができない。第2
の検査方法では、単品で検査工程に搬送するため、搬送
系が複雑となる。また、第3の検査方法では、消耗品の
ソケットが多数必要となりランニングコストが高くな
る。さらに、第4の検査方法では、消耗品としてテーピ
ング材が必要となるばかりでなく、電子部品が小型化さ
れるにつけ、テープの幅が狭くなり、テーピング時の位
置決めが困難になる。
法では、完成品の検査でないため、リード端子の切断や
リード端子のフォーミング加工時の応力による特性不良
を生じた電子部品を選別除去することができない。第2
の検査方法では、単品で検査工程に搬送するため、搬送
系が複雑となる。また、第3の検査方法では、消耗品の
ソケットが多数必要となりランニングコストが高くな
る。さらに、第4の検査方法では、消耗品としてテーピ
ング材が必要となるばかりでなく、電子部品が小型化さ
れるにつけ、テープの幅が狭くなり、テーピング時の位
置決めが困難になる。
【0006】以上のように、モールドパッケイジを形成
後のリード端子をリードフレームから切断し、リード端
子の折り曲げ等のフォーミング加工工程や電子部品の検
査工程への電子部品の搬送には、さまざまに欠点を有
し、より小型化される電子部品のモールドパッケイジ形
成後の搬送を効率的に行なうことが困難となっている。
後のリード端子をリードフレームから切断し、リード端
子の折り曲げ等のフォーミング加工工程や電子部品の検
査工程への電子部品の搬送には、さまざまに欠点を有
し、より小型化される電子部品のモールドパッケイジ形
成後の搬送を効率的に行なうことが困難となっている。
【0007】本発明は、上記の実状に鑑みなされたもの
で、電子部品が小型化されてもモールドパッケイジ形成
後の搬送及び完成後の電子部品検査を効率的に行なうこ
とができる電子部品の製造方法及びその電子部品の検査
方法を提供することを目的とする。
で、電子部品が小型化されてもモールドパッケイジ形成
後の搬送及び完成後の電子部品検査を効率的に行なうこ
とができる電子部品の製造方法及びその電子部品の検査
方法を提供することを目的とする。
【0008】
【課題を解決するための手段】本発明の目的は、リード
フレームのセクションフレーム間に形成されたリード端
子に半導体チップを接続した後、該半導体チップを合成
樹脂によりモールドパッケイジを形成してなる電子部品
の製造法において、合成樹脂による前記モールドパッケ
イジの形成とともに前記セクションフレームに連結する
モールド部を形成してなることを特徴とする電子部品の
製造方法とすることにより達成される。
フレームのセクションフレーム間に形成されたリード端
子に半導体チップを接続した後、該半導体チップを合成
樹脂によりモールドパッケイジを形成してなる電子部品
の製造法において、合成樹脂による前記モールドパッケ
イジの形成とともに前記セクションフレームに連結する
モールド部を形成してなることを特徴とする電子部品の
製造方法とすることにより達成される。
【0009】また、本発明の目的は、リードフレームの
セクションフレーム間に形成されたリード端子に半導体
チップを接続した後、該半導体チップを合成樹脂により
モールドパッケイジを形成してなる電子部品の検査方法
において、合成樹脂による前記モールドパッケイジの形
成とともに前記セクションフレームに連結するモールド
部を形成し、前記リード端子を前記リードフレームから
切断し、前記モールド部が前記セクションフレームに連
結された状態で前記半導体チップを検査してなることを
特徴とする電子部品の検査方法とすることによって達成
される。
セクションフレーム間に形成されたリード端子に半導体
チップを接続した後、該半導体チップを合成樹脂により
モールドパッケイジを形成してなる電子部品の検査方法
において、合成樹脂による前記モールドパッケイジの形
成とともに前記セクションフレームに連結するモールド
部を形成し、前記リード端子を前記リードフレームから
切断し、前記モールド部が前記セクションフレームに連
結された状態で前記半導体チップを検査してなることを
特徴とする電子部品の検査方法とすることによって達成
される。
【0010】本発明の特徴によれば、モールドパッケイ
ジ形成後の電子部品は、モールドパッケイジ形成時に形
成されたセクションフレームに連結するモールド部によ
り、フープ状に連結されて、モールドパッケイジ形成後
のリード端子のフォーミング加工工程や電子部品の検査
工程に搬送されるので、モールドパッケイジ形成後の搬
送機構を簡素にすることができるとともに、完成品状態
の安定した搬送のもとに検査することが可能となる。
ジ形成後の電子部品は、モールドパッケイジ形成時に形
成されたセクションフレームに連結するモールド部によ
り、フープ状に連結されて、モールドパッケイジ形成後
のリード端子のフォーミング加工工程や電子部品の検査
工程に搬送されるので、モールドパッケイジ形成後の搬
送機構を簡素にすることができるとともに、完成品状態
の安定した搬送のもとに検査することが可能となる。
【0011】また、個々の電子部品の連結は、モールド
パッケイジ形成時に同時に形成されるので、個々の電子
部品の連結に要する作業には手間は掛からず、また、電
子部品の小型化に簡単に対応することができる。
パッケイジ形成時に同時に形成されるので、個々の電子
部品の連結に要する作業には手間は掛からず、また、電
子部品の小型化に簡単に対応することができる。
【0012】
【発明の実施の形態】以下、図1ないし図5を参照して
本発明に係る実施形態について説明する。図1は本発明
に係る電子部品の製造方法によるフォーミング加工終了
後の状態を示す平面図、図2は図1の矢印A方向から見
た側面図、図3ないし図5は本発明に係る電子部品の製
造方法による製造過程を示す平面図である。
本発明に係る実施形態について説明する。図1は本発明
に係る電子部品の製造方法によるフォーミング加工終了
後の状態を示す平面図、図2は図1の矢印A方向から見
た側面図、図3ないし図5は本発明に係る電子部品の製
造方法による製造過程を示す平面図である。
【0013】図3は、この実施形態の電子部品のベース
となるリードフレーム21を示すものであり、この図に
示すように、リードフレーム21は薄い金属板にて長尺
帯状に形成したフープ状になっており、両端縁のフレー
ム枠21A、21Bの間には長手方向に沿って等間隔に
セクションフレーム22が一体形成されている。各セク
ションフレーム22には長手方向に沿って細長の孔24
が開けられている。
となるリードフレーム21を示すものであり、この図に
示すように、リードフレーム21は薄い金属板にて長尺
帯状に形成したフープ状になっており、両端縁のフレー
ム枠21A、21Bの間には長手方向に沿って等間隔に
セクションフレーム22が一体形成されている。各セク
ションフレーム22には長手方向に沿って細長の孔24
が開けられている。
【0014】一方、両フレーム枠21A、21Bのう
ち、フレーム枠21Aにはセクションフレーム22の間
にリード端子25が内向きに一体形成されている。ま
た。他方のフレーム枠21Bにはフレーム枠21Aのリ
ード端子25に対向するリード端子26が一体形成され
ている。フレーム枠21Aの各リード端子25の先端部
分にはランド25Aが形成されている。
ち、フレーム枠21Aにはセクションフレーム22の間
にリード端子25が内向きに一体形成されている。ま
た。他方のフレーム枠21Bにはフレーム枠21Aのリ
ード端子25に対向するリード端子26が一体形成され
ている。フレーム枠21Aの各リード端子25の先端部
分にはランド25Aが形成されている。
【0015】このようなリードフレーム21が半導体チ
ップ取り付け工程まで搬送されると、図4に示すよう
に、リード端子25のランド25A上に半導体チップ5
がダイボンディングされ、その後、この半導体チップ5
と他方のリード端子26の先端との間を金属線30にて
接続される。同様の処理が全てのリード端子25、26
に対して行われる。
ップ取り付け工程まで搬送されると、図4に示すよう
に、リード端子25のランド25A上に半導体チップ5
がダイボンディングされ、その後、この半導体チップ5
と他方のリード端子26の先端との間を金属線30にて
接続される。同様の処理が全てのリード端子25、26
に対して行われる。
【0016】半導体チップ取り付けが終了すると、モー
ルド工程まで搬送される。モールド工程に搬送されてく
ると、図5に示すように、リードフレーム21に装着さ
れている各半導体チップ5を合成樹脂でモールドし、モ
ールドパッケージ20が形成される。このモールドパッ
ケージ20の形成と同時にセクションフレーム22とモ
ールドパッケージ20とを連結するモールド連結部23
が形成される。
ルド工程まで搬送される。モールド工程に搬送されてく
ると、図5に示すように、リードフレーム21に装着さ
れている各半導体チップ5を合成樹脂でモールドし、モ
ールドパッケージ20が形成される。このモールドパッ
ケージ20の形成と同時にセクションフレーム22とモ
ールドパッケージ20とを連結するモールド連結部23
が形成される。
【0017】この場合のモールド連結部23は、セクシ
ョンフレーム22には長手方向に沿って細長の孔24が
開けられており、この孔24の部分でモールド連結部2
3は隣あうモールド連結部23と分離されている。ま
た、モールド連結部23のセクションフレーム22に小
孔が開けられていてセクションフレーム22の下面側に
モールド樹脂が回り込むようにされ(図2参照)、これ
によりモールド連結部23はセクションフレーム22に
確実に連結される。
ョンフレーム22には長手方向に沿って細長の孔24が
開けられており、この孔24の部分でモールド連結部2
3は隣あうモールド連結部23と分離されている。ま
た、モールド連結部23のセクションフレーム22に小
孔が開けられていてセクションフレーム22の下面側に
モールド樹脂が回り込むようにされ(図2参照)、これ
によりモールド連結部23はセクションフレーム22に
確実に連結される。
【0018】モールド成形終了後、リード端子25、2
6はリードフレーム21から切断分離され、切断後のリ
ード端子25、26を折り曲げるフォーミング加工工程
に搬送される。この場合、リード端子25、26が切断
されてもモールド連結部23は切断しないでセクション
フレーム22とモールドパッケージ20とが連結された
状態にされていて、各電子部品27はフープ状に連結さ
れた状態になっている。そして、この状態で各電子部品
27のリード端子25、26の折り曲げ(図7に示すよ
うに折り曲げられる)等のフォーミング加工が施され
る。
6はリードフレーム21から切断分離され、切断後のリ
ード端子25、26を折り曲げるフォーミング加工工程
に搬送される。この場合、リード端子25、26が切断
されてもモールド連結部23は切断しないでセクション
フレーム22とモールドパッケージ20とが連結された
状態にされていて、各電子部品27はフープ状に連結さ
れた状態になっている。そして、この状態で各電子部品
27のリード端子25、26の折り曲げ(図7に示すよ
うに折り曲げられる)等のフォーミング加工が施され
る。
【0019】フォーミング加工が終了すると、検査工程
に搬送されそこで各電子部品27に対して、そのリード
端子25、26にテスタ40(図2参照)のプローブが
当てられ、検査が行われる。この検査工程への搬送およ
び検査は、モールド連結部23により各電子部品27は
フープ状に連結された状態で行われる。
に搬送されそこで各電子部品27に対して、そのリード
端子25、26にテスタ40(図2参照)のプローブが
当てられ、検査が行われる。この検査工程への搬送およ
び検査は、モールド連結部23により各電子部品27は
フープ状に連結された状態で行われる。
【0020】このように、この実施の形態では、モール
ド工程においてモールドパッケージ20の形成と共にリ
ードフレーム21に一体形成されたセクションフレーム
22とモールドパッケージ20とを連結するモールド連
結部23を形成して各電子部品を連結した状態で以後の
工程に搬送し、リード端子25、26の切断及びフォー
ミング加工を行い、完成した電子部品の検査が行われ
る。
ド工程においてモールドパッケージ20の形成と共にリ
ードフレーム21に一体形成されたセクションフレーム
22とモールドパッケージ20とを連結するモールド連
結部23を形成して各電子部品を連結した状態で以後の
工程に搬送し、リード端子25、26の切断及びフォー
ミング加工を行い、完成した電子部品の検査が行われ
る。
【0021】したがって、電子部品を一個ずつ搬送する
ような複雑な搬送機構を必要とせず、搬送機構の簡略化
が図れる。また、従来のようなテープ材やソケットなど
の消耗品を必要とせず、また小型化にも簡単に対応する
ことができるので、その分、コストの上昇を抑えること
ができる。また、完成した後に検査ができるので、リー
ド端子の切断やフォーミング加工の際に発生した不良品
を確実に選別することができる。
ような複雑な搬送機構を必要とせず、搬送機構の簡略化
が図れる。また、従来のようなテープ材やソケットなど
の消耗品を必要とせず、また小型化にも簡単に対応する
ことができるので、その分、コストの上昇を抑えること
ができる。また、完成した後に検査ができるので、リー
ド端子の切断やフォーミング加工の際に発生した不良品
を確実に選別することができる。
【0022】なお、上記実施の形態では、リードフレー
ム21のセクションフレーム22に細長の孔24を形成
してセクションフレーム22の上面側の連結部23を分
割されているが、必ずしも孔24を設けて連結部23を
分割させなくてもよい。
ム21のセクションフレーム22に細長の孔24を形成
してセクションフレーム22の上面側の連結部23を分
割されているが、必ずしも孔24を設けて連結部23を
分割させなくてもよい。
【0023】
【発明の効果】以上、詳細に説明したように、本発明に
よれば、各電子部品はフープ状に連結さた状帯でモール
ドパッケイジ形成後のリード端子のフォーミング加工工
程や電子部品の検査工程に搬送されるので、その搬送機
構を簡素にすることができるとともに、完成品状態の安
定した搬送のもとに検査することが可能となる。
よれば、各電子部品はフープ状に連結さた状帯でモール
ドパッケイジ形成後のリード端子のフォーミング加工工
程や電子部品の検査工程に搬送されるので、その搬送機
構を簡素にすることができるとともに、完成品状態の安
定した搬送のもとに検査することが可能となる。
【0024】また、個々の電子部品の連結は、モールド
パッケイジ形成時に同時に形成されるので、個々の電子
部品の連結に要する作業には手間は掛からず、製造コス
トの低減が図れ、また、電子部品の小型化に簡単に対応
することができる。
パッケイジ形成時に同時に形成されるので、個々の電子
部品の連結に要する作業には手間は掛からず、製造コス
トの低減が図れ、また、電子部品の小型化に簡単に対応
することができる。
【図1】本発明に係る電子部品の製造方法によるフォー
ミング加工終了後の状態を示す平面図である。
ミング加工終了後の状態を示す平面図である。
【図2】図1の矢印A方向から見た側面図である。
【図3】本発明に係る電子部品の製造方法による製造過
程を示す平面図である。
程を示す平面図である。
【図4】本発明に係る電子部品の製造方法による製造過
程を示す平面図である。
程を示す平面図である。
【図5】本発明に係る電子部品の製造方法による製造過
程を示す平面図である。
程を示す平面図である。
【図6】従来の電子部品の製造方法による電子部品の検
査方法を説明するための平面図である。
査方法を説明するための平面図である。
【図7】従来の電子部品の製造方法による電子部品の検
査方法を説明するための側面図である。
査方法を説明するための側面図である。
【図8】従来の電子部品の製造方法による電子部品の検
査方法を説明するための側面図である。
査方法を説明するための側面図である。
【図9】従来の電子部品の製造方法による電子部品の検
査方法を説明するための平面図である。
査方法を説明するための平面図である。
【図10】従来の電子部品の製造方法による電子部品の
検査方法を説明するための側面図である。
検査方法を説明するための側面図である。
20 モールドパッケイジ 21 リードフレーム 22 セクションフレーム 23 モールド連結部 25、26 リード端子 27 電子部品
Claims (2)
- 【請求項1】 リードフレームのセクションフレーム間
に形成されたリード端子に半導体チップを接続した後、
該半導体チップを合成樹脂によりモールドパッケイジを
形成してなる電子部品の製造法において、合成樹脂によ
る前記モールドパッケイジの形成とともに前記セクショ
ンフレームに連結するモールド部を形成してなることを
特徴とする電子部品の製造方法。 - 【請求項2】 リードフレームのセクションフレーム間
に形成されたリード端子に半導体チップを接続した後、
該半導体チップを合成樹脂によりモールドパッケイジを
形成してなる電子部品の検査方法において、合成樹脂に
よる前記モールドパッケイジの形成とともに前記セクシ
ョンフレームに連結するモールド部を形成し、前記リー
ド端子を前記リードフレームから切断し、前記モールド
部が前記セクションフレームに連結された状態で前記半
導体チップを検査してなることを特徴とする電子部品の
検査方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP28578896A JPH1098060A (ja) | 1996-09-21 | 1996-09-21 | 電子部品の製造方法及びその電子部品の検査方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP28578896A JPH1098060A (ja) | 1996-09-21 | 1996-09-21 | 電子部品の製造方法及びその電子部品の検査方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH1098060A true JPH1098060A (ja) | 1998-04-14 |
Family
ID=17696087
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP28578896A Pending JPH1098060A (ja) | 1996-09-21 | 1996-09-21 | 電子部品の製造方法及びその電子部品の検査方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH1098060A (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR20000006167A (ko) * | 1998-06-19 | 2000-01-25 | 클라크 3세 존 엠. | 집적회로패키지를제조하는방법 |
WO2007010595A1 (ja) * | 2005-07-19 | 2007-01-25 | Renesas Technology Corp. | 半導体装置およびその製造方法 |
JP2016187026A (ja) * | 2015-03-27 | 2016-10-27 | ルネサスエレクトロニクス株式会社 | 半導体装置の製造方法 |
-
1996
- 1996-09-21 JP JP28578896A patent/JPH1098060A/ja active Pending
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR20000006167A (ko) * | 1998-06-19 | 2000-01-25 | 클라크 3세 존 엠. | 집적회로패키지를제조하는방법 |
WO2007010595A1 (ja) * | 2005-07-19 | 2007-01-25 | Renesas Technology Corp. | 半導体装置およびその製造方法 |
JPWO2007010595A1 (ja) * | 2005-07-19 | 2009-01-29 | 株式会社ルネサステクノロジ | 半導体装置およびその製造方法 |
JP2016187026A (ja) * | 2015-03-27 | 2016-10-27 | ルネサスエレクトロニクス株式会社 | 半導体装置の製造方法 |
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