JPH1091910A - 磁気ヘッドの製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 ＭＩＧタイプ磁気ヘッドにおいて、ギャップ
ドバーの両端部の接着強度が弱く、外形加工時に両端部
からのクラックにより、割れやギャップ長の大きなもの
が発生することを防止する事を目的とする。 【解決手段】 磁性フェライト材１、２に、トラック幅
規制溝４を形成する際、両端部９までトラック幅規制溝
４を加工することによって、両端部９まで強化ガラス５
が充填され、強固に溶融接着される。また、金属磁気コ
ア３を形成する際、両端部９をマスキングし、金属磁気
コア３を形成しないことにより、フェライトとガラスの
接着となり、溶融接着強度はさらに強くなる。従って、
ギャップドバー形成後の研削加工においてのクラック発
生率が減少し、歩留まりが良く、量産性に優れたヘッド
が得られる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、磁気記録再生装置
に使用される磁気ヘッドの製造方法に関し、特に磁性フ
ェライト材と強磁性金属膜により構成される磁気ヘッド
の製造方法に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】近年、ＶＴＲ等の磁気記録再生装置にお
いては、高画質化等の目的として、情報信号の短波長化
が進められており、これに対応してメタルテープや蒸着
テープ等の高抗磁力磁気記録媒体が使用されるようにな
ってきた。一方、これに対向するために、磁気ヘッドの
分野においても、高抗磁力磁気記録媒体用の磁気ヘッド
として、磁気コアに磁性金属材料を用いた磁気ヘッド
が、種々開発されている。

【０００３】以下に従来の磁気ヘッドの製造方法につい
て説明する。図４は従来の磁気ヘッドのトラック構成を
示すギャップドバーの斜視図、図５は同、金属磁気コア
の状態を説明するための片コアの部分斜視図、図６はフ
ェライトブロックの溝加工を説明するための斜視図を示
す。

【０００４】図６に示すように、まず、一対の板状の磁
性フェライト材のトラック幅規制溝を形成する面の、研
削加工を行う。次に、磁性フェライト材１に、トラック
幅規制溝４を機械加工により形成する。さらに、各磁気
コア半体のトラック幅規制溝形成面を鏡面加工し、その
鏡面加工を行った面にスパッタリング等の手法により、
金属磁気コア３を形成し、一対の金属磁気コア半体ブロ
ックを得る。これらの第１、第２磁気コア半体の金属磁
気コア面上に、非磁性薄膜を所定膜厚形成し、図４のよ
うに、非磁性薄膜同志を突き合わせるように対向させ
る。その後、トラック幅規制溝４部に補強ガラス５を充
填し、ガラス膜同志を溶融接着し、ギャップドバーを完
成させる。このギャップドバーの周囲を研削加工し、ギ
ャップドバーの形状を整えた後、切断ライン８で切断す
ることにより、ヘッドチップコアを得る。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】一対の磁性フェライト
材に、トラック幅規制溝４と巻線窓６をそれぞれ機械加
工により形成した後、トラック幅規制溝形成面を鏡面加
工した磁性フェライト面に、金属磁気コア３をスパッタ
リング等の手段により形成する際、磁性フェライト材
１、２を固定するための治具により端部は影になり、磁
性フェライトの固定部、つまり磁性フェライトの両端部
の膜厚が図５に示す端部９のように薄くなる。

【０００６】その結果、金属磁気コアが薄くなった両端
部は、ヘッドチップコアとして使用できないため、加工
時間の短縮、工数の削減のため、その部分はトラック幅
規制溝４を加工しない。従って、通常、磁気コアブロッ
クの端部から、約２ｍｍ程度トラック幅規制溝が無く、
そのため、両端部はトラック幅規制溝４に補強ガラス５
を充填し加圧しながら加熱し、ガラス膜同志を溶融接着
させる際、補強ガラス５の重点が無く、接着強度が弱く
なる。したがって、ギャップドバーの両端部から、クラ
ック７が入る。このようなギャップドバーを切断するこ
とにより得るヘッドチップ形状では、図７に示すように
クラック７が入り、強度的に弱く、またギャップも広く
なることが多い。

【０００７】本発明は上記従来の問題点を解決するもの
で、歩留まりが良く、量産性に優れた磁気ヘッドの製造
方法を提供することを目的とする。

【０００８】

【課題を解決するための手段】この目的を達成するため
に、本発明によれば、磁性フェライト材にトラック幅規
制溝を形成する際、磁性フェライトの両端部までトラッ
ク幅規制溝を加工することによって、両端部にまでガラ
ス充填ができ、両端部も補強ガラスによって、強固に溶
融接着されるため、後工程のギャップドバーの周辺整形
加工においても、充分な強度を保ち、クラック等の発生
が抑えられる。

【０００９】さらに、接合接着強度を上げる方法とし
て、磁性フェライト材に、トラック幅規制溝４を形成
後、スパッタリング等の手法により、金属磁気コアを形
成する際、図２のように、両端部には、金属磁気コア３
は形成しないようにする。このような構成にすることに
よって両端部は金属磁気コアを介さず、補強ガラスと磁
性フェライトの接着となる。補強ガラスと磁性フェライ
トは共に酸化物であり、非酸化物である金属磁気コアと
補強ガラスの接着強度に比べ、格段に強い接着強度が得
られる。

【００１０】従って、ギャップドバー形成時、両端部の
接合接着強度は強く、周囲部の整形加工においても、充
分な強度を保ち、クラックなどの発生は皆無となる。

【００１１】

【発明の実施の形態】本発明の請求項１に記載の発明
は、一対の磁気フェライト材の対向面に、トラック幅規
制溝を形成し、対向面上に、強磁性金属薄膜を形成し
て、第１、第２の磁気コア半体を形成し、該第１、第２
の磁気コア半体の、それぞれの強磁性金属薄膜上に、非
磁性薄膜を所定厚形成し、第１、第２の磁気コア半体の
非磁性薄膜同志を突き合わせた状態で加圧しながら、ト
ラック幅規制溝部に、補強ガラスを溶融充填して、第
１、第２の磁気コア半体を接合一体化する磁気ヘッドの
製造方法において、磁性フェライト材のトラック幅方向
の両端まで、トラック幅規制溝を形成することを特徴と
するものであり、両端部までトラック幅規制溝に補強ガ
ラスを充填し、溶融接着することによって、両端部の接
着強度が上がり、ギャップドバーの周囲を整形加工する
際のクラックの発生が抑えられる。

【００１２】請求項２に記載の発明は、一対の磁気フェ
ライト材の対向面に、トラック幅規制溝を形成し、対向
面上に、強磁性金属薄膜を形成して、第１、第２の磁気
コア半体を形成し、該第１、第２の磁気コア半体の、そ
れぞれの強磁性金属薄膜上に、非磁性薄膜を所定厚形成
し、第１、第２の磁気コア半体の非磁性薄膜同志を突き
合わせた状態で加圧しながら、トラック幅規制溝部に、
補強ガラスを溶融充填して、第１、第２の磁気コア半体
を接合一体化する磁気ヘッドの製造方法において、トラ
ック幅方向の規制フェライト材の両端部の一部のみ、強
磁性金属薄膜を形成しないことを特徴としたものであ
り、強磁性金属薄膜を形成しないことによって、磁性フ
ェライト材と補強ガラスが、金属磁気コアを介さずに直
接接触することにより、酸化物同志の接着となり、強度
の高い接着が可能となる。従って、ギャップドバーの周
辺部整形加工時に発生するクラックが抑えられる。

【００１３】以下、本発明の実施の形態について、図１
から図２を用いて説明する。 （実施の形態１）図１は本発明の磁気ヘッドの製造方法
において、磁気ヘッドのトラック構成を示すギャップド
バーの斜視図である。

【００１４】一対の磁性フェライト材１、２の両端まで
トラック幅規制溝を機械加工により形成し、その面を鏡
面加工し、鏡面加工を行った面にＦｅ系の金属磁性薄膜
をスパッタリング等の手法により、５μｍ厚形成し、一
対の金属磁気コア半体ブロックを得る。その第１、第２
の磁気コア半体の金属磁気コア面上に、非磁性薄膜とし
て、ＳiＯ₂を２００Å、Ｃrを３００Å、スパッタリン
グ等の手法により形成し、図１のように、非磁性薄膜同
志を突き合わせるように対向させる。その後、加圧しな
がら加熱し、トラック幅規制溝４に補強ガラス５を充填
し、ガラス膜同志を溶融接着し、ギャップドバーを完成
させる。そして、ギャップドバーの周囲を研削加工し、
ギャップドバーの形状を整えた後、切断ライン８で切断
することにより、ヘッドコアチップを得る。我々の試作
によると、この実施の形態による場合のクラック発生率
は約３％であり、従来工法でのクラック発生率約１０％
に比べて大幅に減少した。

【００１５】（実施の形態２）図２は、本発明の金属磁
気コアの状態を説明するための、片コアの部分斜視図で
ある。

【００１６】一対の磁性フェライト材１、２の両端まで
トラック幅規制溝４を機械加工により形成し、両端より
０．８ｍｍの間マスキングを行い、図２のように磁性フ
ェライト材の両端のトラック幅規制溝に金属磁性薄膜を
形成されないようにする。次に、Ｆｅ系の金属磁性薄膜
をスパッタリング等の手法により、５μｍ厚形成し、一
対の金属磁気コア半体ブロックを得る。その第１、第２
の磁気コア半体の金属磁気コア面上に、非磁性薄膜とし
て、ＳiＯ₂を２００Å、Ｃrを３００Å、スパッタリン
グ等の手法により形成し、図１のように、非磁性薄膜同
志を突き合わせるように対向させる。その後、加圧しな
がら加熱し、トラック幅規制溝４に補強ガラス５を充填
し、ガラス膜同志を溶融接着し、ギャップドバーを完成
させる。そして、ギャップドバーの周囲を研削加工し、
ギャップドバーの形状を整えた後、切断ライン８で切断
することにより、ヘッドコアチップを得る。我々の試作
によると、この実施の形態による場合のクラック発生率
は２％であり、従来工法でのクラック発生率約１０％に
比べて大幅に減少した。

【００１７】なお、上述した実施の形態において、金属
磁性薄膜のスパッタリング工程のマスキング幅を０．８
ｍｍとしたが、必ずしもこれに限るものでもない。ま
た、各薄膜の膜厚も各々上述した値に限るものでもな
い。

【００１８】

【発明の効果】以上のように本発明によれば、ギャップ
ドバーの端部までトラック幅規制溝を入れることによ
り、端部まで補強ガラスが充填され、強固に接着され
る。また、両端部に金属磁性膜を形成しない構成では、
酸化物同志の接着になるため、両端部の接着強度は向上
する。このような工法により、後工程のギャップドバー
周辺整形加工によるクラックの発生率が大幅に改善で
き、歩留まり向上に大きな効果が得られるという優れた
効果が得られる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の磁気ヘッドのトラック構成を示すギャ
ップドバーの斜視図

【図２】同、金属磁気コアの状態を説明するための片コ
アの斜視図

【図３】同、ガラスクラックを説明するためのヘッドチ
ップコアの斜視図

【図４】従来の磁気ヘッドのトラック構成を示すギャッ
プドバーの斜視図

【図５】同、金属磁気コアの状態を説明するための片コ
アの部分斜視図

【図６】フェライトブロックの溝加工を説明するための
斜視図

【図７】従来の構成のギャップドバーでクラックを説明
するための斜視図

【符号の説明】

１ 磁性フェライト材 ２ 磁性フェライト材 ３ 金属磁気コア ４ トラック幅規制溝 ５ 補強ガラス ６ 巻線窓 ７ クラック ８ チップ切断ライン ９ 磁気コア端部

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 一対の磁性フェライト材の対向面に、ト
   ラック幅規制溝を形成し、前記対向面上に、強磁性金属
   薄膜を形成して、第１、第２の磁気コア半体を形成し、
   該第１、第２の磁気コア半体の、それぞれの前記強磁性
   金属薄膜上に、非磁性薄膜を所定厚形成し、前記第１、
   第２の磁気コア半体の非磁性薄膜同志を突き合わせた状
   態で加圧しながら、前記トラック幅規制溝部に、補強ガ
   ラスを溶融充填して、前記第１、第２の磁気コア半体を
   接合一体化する磁気ヘッドの製造方法において、前記磁
   性フェライト材のトラック幅方向の両端まで、前記トラ
   ック幅規制溝を形成することを特徴とする磁気ヘッドの
   製造方法。
2. 【請求項２】 一対の磁性フェライト材の対向面に、ト
   ラック幅規制溝を形成し、前記対向面上に、強磁性金属
   薄膜を形成して、第１、第２の磁気コア半体を形成し、
   該第１、第２の磁気コア半体の、それぞれの前記強磁性
   金属薄膜上に、非磁性薄膜を所定厚形成し、前記第１、
   第２の磁気コア半体の非磁性薄膜同志を突き合わせた状
   態で加圧しながら、前記トラック幅規制溝部に、補強ガ
   ラスを溶融充填して、前記第１、第２の磁気コア半体を
   接合一体化する磁気ヘッドの製造方法において、トラッ
   ク幅方向の前記磁性フェライト材の両端部の一部のみ、
   前記強磁性金属薄膜を形成しないことを特徴とする請求
   項１記載の磁気ヘッドの製造方法。