JPH0325709A - 磁気ヘッドの製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ この発明は、ＶＴＲ　（ビデオテーブレコーダ）、ＤＡ
Ｔ　（デジタルオーディオテーブレコーダ）等に用いる
、メタルテーブ等の高抗磁力磁気記録媒体用として好適
な磁気ヘッドの製造方法に間するものである。

［従来の技術］ メタルテーブはその抗磁力が極めて高く、１０００エル
ステッド程度である．このように高い抗磁力の磁気記録
媒体からその特性を充分に引出すには、磁気ヘッドとし
て飽和磁束密度の充分に高いものを用いる必要がある。

ところで、フエライト等の強磁性酸化物は耐摩耗性の点
では優れているが、その飽和磁束密度が低く、またセン
ダスト（登録商標〉、パーマロイ等のような強磁性金属
磁性材料は飽和磁束密度は高いが耐摩耗性に劣り、かつ
渦電流損失による高周波数特性が劣化するという欠点が
あった。

従来上記の欠点を除去するために、これら両系の磁性材
料を結合し、一対の強磁性酸化物からなるコアの各作動
ギャップ構成面側に、該強磁性酸化物よりも飽和磁束密
度の高い強磁性金属膜を結合してなる磁気ヘッドが提案
されている。

しかし、このように異質の磁性材料を結合すると、その
結合面間が疑似作動ギャップとして作用し、周波数特性
の劣化を招くという欠点があった．一般に、磁気へッド
コアのコア表面に異種の物質を蒸着等により結合する場
合には、そのコア表面を予め鏡面研磨して加工歪層を除
去してから行うのが普通であるが、その場合その結合面
が磁気ヘッドの作動ギャップ構成面と平行になってそれ
が疑似ギャップとして作用する． 従来、上記の疑似ギャップによる欠点を除去するものと
して、■前記強磁性酸化物からなるコアと前記強磁性金
属膜との結合面の形状をシグザグ状にして作動ギャップ
構成面に対して平行な面がないようにするもの（特開昭
５５−５８８２４号）。■前記強磁性金属膜としてフエ
ライトが混合されたものを用い、この混合物のフエライ
ト含有率を前記コア側ではフエライトが１００％になる
ようにしたもの（特開昭５５−５８８２３号）。■前記
強磁性酸化物と強磁性金属膜として透磁率の略等しいも
のを用いるもの等が提案されている。

しかし、上記■〜■のものは、磁気ヘットの生産性が悪
いとか、疑似ギャップの発生を充分に防ぎ得ないという
欠点を有する。

本出願人は、先に上記した欠点を除去し、疑似ギャップ
の発生を充分に防ぎ得ると共に、生産性の良好な磁気ヘ
ッド及びその製造方法を１是供した。

このものは、一対の強磁性酸化物からなるコア半体の各
作動ギャップ構成面側に、該強磁性酸化物よりも飽和磁
束密度の高い強磁性金属膜を結合してなる磁気ヘッドに
おいて、前記コア半体の前記した強磁性金属膜の結合面
には、酸化膜を前記強磁性金属膜の下地膜として付着さ
せたことを特徴とする磁気ヘッドであり、 また、前記酸化膜は、２Ｏ−ｔｏｏ人の厚さのＡＩ２Ｏ
３、Ｓｉ０２、Ｚ『０？、Ｔａ２Ｏ５の群から選ばれた
１種類のものであることを特徴とする磁気ヘッドである
（平成元年６月２′２−日の特許出願〉．前記のように
構成された先に出願の磁気ヘッドでは、疑似作動ギャッ
プの発生を防止することができるが、その理由は次のよ
うに労えられる。磁気ヘッドの製造過程において、前記
一対のコアをガラス溶着により互いに結合する際に、そ
の熱により前記の強磁性金属膜が酸化するときの酸化の
ための酸素は、従来のように酸化膜がない場合には、強
磁性酸化物からなるコアから奪われてこれにより該コア
に非磁性層ができ、これが疑似ギャップ発生の一因にな
ると考えられていたが、前記酸化膜を付着させることに
より上記酸化のための酸素は該酸化膜から得られ、この
ため、前記の疑似ギャップの発生を防止できるものと乃
えられろ。

［発明が解決しようとする課題］ この発明は、上記した本出願人の出願に係わる磁気ヘッ
ドの好適な製造方法を提供するものである。

［課題を解決するための手段］ 上記の課題を解決するために、この発明では、一対の強
磁性酸化物からなるコア半体の各作動ギャップ構成面側
に、該強磁性酸化物よりも飽和磁束密度の高い強磁性金
属膜を結合した磁気ヘットの製造方法において、前記コ
ア半体となるコアブロックを用意し、該コアブロックの
前記作動ギャップ構成面となる側にトラック幅規制用の
一対の略Ｖ字状の複数の溝を刻設する工程と、前記コア
ブロックの前記溝を含む作動ギャップ構成面となる側に
、Ａ　Ｉ　２Ｏ３、Ｓ１０？、Ｚ「０２、Ｔａ２Ｏ５等
の群から選ばれた１種類からなる単層膜又は該単Ｐｉ膜
とＳｉ３Ｎ４、Ｃｒ，　Ｃｕ等の群から選ばれた１種類
からなる積層膜を付着する工程と、前記コアブロックの
前記作動ギャップ構成面となる側の前記溝と溝の問の平
面部を研磨して該平面部における前記単層膜又は積層膜
を除去すると同時にトラック幅規制を行う工程と、前記
コアブロックの前記作動ギャップ構成面となる側に前記
強磁性金属膜の下地膜となる酸化膜を付着する工程と、
この酸化膜上に前記の強磁性金属膜を結合して該強磁性
金属膜を有する前記のコア半体を構成する工程と、ギャ
ップスペーサ−を介して一対の該コア半体をガラス溶着
により互いに接合する工程とを含むことを特徴とする８
１気ヘッドの製造方法である。

［実施例］ 以下に、この発明の実施例を図について説明する。第１
図〜第３（支）はこの発明の製造方法により製造された
磁気ヘッドを示すものである。図において、符号ｌはフ
エライト等の強磁性酸化物よりなるコア半体であり、も
う一方の強磁性酸化物よりなるコア半体２とにより一対
のコ・ア半体を構成している。３はガラス（Ｓｉ０２）
よりなるギャップ材により構成された作動ギャップであ
り、前記コア半体１、２の作動ギャップ３構成面には前
記強合されている．これらのコア半体ｌ、２における前
記強磁性金属膜４、５の結合面には　Ｓｉ０２等の酸化
膜６が前記強磁性金属膜４、５の下地膜として付着され
ている。７、８はＳ１０２膜とＣｒ［ｌよりなる積層膜
であり、前記コア半体ｌ、２の前記作動ギャップ３とは
平行でない部分における該コア半体と前記酸化膜６との
間に介在されて結合されている．このようなコア半体１
、２はガラス９、ｌＯによるガラス溶普により互いに結
合され、第１図に示す磁気ヘッドが得られる．尚、第１
図において、符号１ｌはコイルの巻線用の孔であるが、
第１図では未だコイルの巻線されていない状態が示され
ている． この磁気ヘッドの製造工程について第４図及び第５図を
参照してさらに詳しく説明する。まず、第４図（ａ）に
示すように、前記コア半体ｌ、２となるフエライト等の
強磁性酸化物よりなるコアブロックｌ２を用意し、該コ
アブロックの接合面１３には複数の■溝１４（図では３
本のみ示す）を刻設する。この刻設に際しては、周知の
ダイシングソーを用い、先端６０”のダイヤモンドブレ
ードを使用する．次に、（ｂ）に示すように、このコア
ブロック１２の■溝１４が設けられた接合面ｌ３側には
周知の真空薄膜形成法により前記のＳ１０２膜７とＣ「
膜８よりなる積層膜となる積層膜ｌ５を設ける。この積
層膜ｌ５は、　ＡＩ２Ｏ３、Ｓｉ０２、ＺｒＯ２、Ｔａ
２Ｏ５のグループから選ばれた一つの膜とＳ　ｉ　３Ｎ
４、Ｃ『、Ｃｕのグループから選ばれた一つの膜との積
層膜でも良いし、またＡＩ２Ｏ３、Ｓｉｆ２、Ｚｒ０２
、Ｔａ２Ｏ５のグループから選ばれた一つの膜よりなる
単層膜であっても良い。次に、（Ｃ）に示すように、前
記コアブロック１２の接合面１３を平面研磨し、前記作
動ギャップ３が形成される面と平行である前記強磁性金
属膜４、５の被着面の前記単層膜又は積層膜１５を除去
し、同時に磁気ヘッドにおけるトラック幅規制を行う．
次に、（ｄ）に示すように、真空薄膜形成法によりＡＩ
２Ｏ３、Ｓｉ０２、Ｚｒ０２、ＴａｚＯｓのグループか
ら選ばれた一つの膜よりなる、前記の酸化膜６となる酸
化膜１６を前記強磁性金属膜４、５の下地膜として２Ｏ
〜ＩＯＯＡ付着させる。この状態での積層膜１５、酸化
膜１６等の部分的な拡大図を第５図に示す。次に、（ｅ
）に示すように、前記の付着された酸化膜ｌ６の上に真
空薄膜形成法により前記の強磁性金属膜４、５となる強
磁性金属膜ｌ７を被着形成する。次に、（ｆ）に示すよ
うに、前記コアブロック１２における前記■溝１４のと
がった底部を削り、この底部の前記積Ｈｉ膜（又は単層
膜）１５、酸化膜ｌ６及び強磁性金属膜ｌ７を除去して
コアブロックｌ２に至る溝１８を形成する。尚、（ｆ）
以降の工程を示す図では、膜ｌ６、ｌ７又は膜１５、１
６、ｌ７を各別に示すのが困難なため、一つの膜として
示してある。

次に、（ｇ）のように、前記■溝１４と溝１８よりなる
溝１９に前記のガラス９、１０となるガラス２Ｏをモー
ルドする．このガラス２Ｏは後工程での加工の時のトラ
ック部の保護及び後述するように前記のコア半体同士を
接合するためのものである．次に、（ｈ）に示すように
、前記溝１９とは直交する方向に前記コイル巻線用の孔
１１となる巻線用ＩＩ２１を形成し、しかる後に作動ギ
ャップ形成面を平面研磨により鏡面に仕上げる．次に、
第４１！ｌ（＋）に示すように、前記の鏡面に仕上げら
れた作動ギャップ形成面に真空薄膜形成法により、前記
作動ギャップ３となる非磁性体のギャップスベーサ−２
２を所定厚みに形成する。次に、前記（１）に示すよう
に、前記の巻線用１！２１が形成され、かつ前記ギャッ
プスベーサ−２２が形成されたコアブロック１２よりな
るコア半体ｌと、（ｇ）に示す前記巻線用満２１が形成
される前のコアブロックｌ２よりなるコア半体２とを、
（ｊ）に示すように突き合わせ、この状態で溶着する。

これにより、コア半体ｌのガラス２Ｏとコア半体２のガ
ラス２Ｏが溶着されて結合し、また前記のギヤップスペ
ーサ−２２により作動ギャップ３が形成される。これを
（ｊ）に示す２点鎖線に沿ってワイヤーソー又はダイシ
ングソーでスライスし、ラッピングテーブを用いてテー
プ走行面をＲ状に仕上げることにより、第１図について
説明した磁気ヘツドが得られる。

上記のように構成された磁気ヘッドでは、前記の酸化膜
１６により疑似作動ギャップの発生がない。また、ガラ
ス２Ｏのモールド時又はコア半体ｌ、２をガラス溶着に
より互いに接合する際にはその熱による、コアブロック
ｌ２と強磁性金属膜ｌ７との膨張率の差によりコアブロ
ック１２にクラックを生ずると共にコアブロックｌ２か
ら強磁性金属膜１７が剥がれることがあるが、上記実施
例のように、コア半体ｌ、２における作動キャップ３構
成面とは平行ではない部分に積層膜（又は単層ＦＡ）１
５を設けることにより、上記クラックの発生を防止する
ことができる。また、前記膨張率の差によるクラックの
発生又はコアブａツク１２からの強磁性金属膜１７の剥
がれは前記満１８を設けることにより軽減される。これ
は前記溝１８により強磁性金属膜ｌ７が分断され、これ
により該強磁性金属膜の熱膨張の絶対値が小さくなるか
らである。

［発明の効果］ この発明は上記したように、一対の強磁性酸化物からな
るコア半体の各作動ギャップ構成面側に、該強磁性酸化
物よりも飽和磁束密度の高い強磁性金属膜を結合した磁
スヘッドの製造方法において、前記コア半体となるコア
ブロックを用意し、該コアブロックの前記作動ギャップ
構成面となる側にトラック幅規制用の一刻の略■字状の
複数の溝を刻設する工程と、前記コアブロックの前記溝
を含む作動ギャップ構成面となる側に、ＡＩ２Ｏ３、Ｓ
１０２、Ｚｒ０２、Ｔａ２Ｏ５等の群から選ばれた１種
類からなる単層膜又は該単層膜とＳｉ：＋Ｎ４、Ｃ「、
Ｃｕ等の群から選ばれた１１１類からなる積層膜を付着
する工程と、前記コアブロックの前記作動ギャップ構成
面となる側の前記溝と溝の間の平面部を研磨して該平面
部における前記単層膜又は積層膜を除去すると同時にト
ラック幅規制を行う工程と、前記コアブロックの前記作
動ギャップ構成面となる側に前記強磁性金属膜の下地膜
となる酸化膜を付着する工程と、この酸化膜上に前記の
強磁性金属膜を結合して該強磁性金属膜を有する前記の
コア半体を構成する工程と、ギヤップスベーサーを介し
て一対の該コア半体をガラス溶着により互いに接合する
工程とを含むものであり、前記酸化膜による疑似キャッ
プのない磁気ヘッドが得られる。また、前記コア半体に
おける作動ギャップ構成面とは平行ではない部分に積層
膜（又は単層膜）を設けることにより、ガラス溶着時等
の熱による前記したクラックの発生を防止することがで
きる。

【図面の簡単な説明】

第１図はこの発明の製造方法によって製造された磁気ヘ
ッドの概略斜視図、第２図は第１図の作動ギャップの近
傍を示す概略拡大正面図、第３図は第２図の要部を示す
概略拡大正面図、第４図は第１図に示す磁気ヘッドの製
造工程を説明する模式図、第５図は第４図の工程におけ
る要部の概略拡大正面図である。 １、２：コア半体、３：作動ギャップ、４、５、１７：
強磁性金属膜、６、６ａ，１８：酸化膜、９、１０，２
Ｏ：ガラス、ｌ２：コアブロック、１ ４ ：Ｖ溝、 １ ５ ：積層膜。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. （１）一対の強磁性酸化物からなるコア半体の各作動ギ
   ャップ構成面側に、該強磁性酸化物よりも飽和磁束密度
   の高い強磁性金属膜を結合した磁気ヘッドの製造方法に
   おいて、前記コア半体となるコアブロックを用意し、該
   コアブロックの前記作動ギャップ構成面となる側にトラ
   ック幅規制用の一対の略Ｖ字状の複数の溝を刻設する工
   程と、前記コアブロックの前記溝を含む作動ギャップ構
   成面となる側に、Ａｌ＿２Ｏ＿３、ＳｉＯ＿２、ＺｒＯ
   ＿２、Ｔａ＿２Ｏ＿５等の群から選ばれた１種類からな
   る単層膜又は該単層膜とＳｉ＿３Ｎ＿４、Ｃｒ、Ｃｕ等
   の群から選ばれた１種類からなる積層膜を付着する工程
   と、前記コアブロックの前記作動ギャップ構成面となる
   側の前記溝と溝の間の平面部を研磨して該平面部におけ
   る前記単層膜又は積層膜を除去すると同時にトラック幅
   規制を行う工程と、前記コアブロックの前記作動ギャッ
   プ構成面となる側に前記強磁性金属膜の下地膜となる酸
   化膜を付着する工程と、この酸化膜上に前記の強磁性金
   属膜を結合して該強磁性金属膜を有する前記のコア半体
   を構成する工程と、ギャップスペーサーを介して一対の
   該コア半体をガラス溶着により互いに接合する工程とを
   含むことを特徴とする磁気ヘッドの製造方法。