JPH02193305A - 磁気ヘッド - Google Patents

磁気ヘッド

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JPH02193305A
JPH02193305A JP1249489A JP1249489A JPH02193305A JP H02193305 A JPH02193305 A JP H02193305A JP 1249489 A JP1249489 A JP 1249489A JP 1249489 A JP1249489 A JP 1249489A JP H02193305 A JPH02193305 A JP H02193305A
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magnetic
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film
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Toshiyuki Fujine
俊之 藤根
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、高密度磁気記録再生を可能としたMIG(M
etal  in  Gap)型の磁気ヘッドに関する
ものである。
〔従来の技術〕
従来より、高透磁率を有し耐摩耗性等に優れたフェライ
ト材等の酸化物磁性材料の利点と、高透磁率および高飽
和磁束密度を有する合金磁性材料の利点とを併せ持った
MIG型の磁気ヘッドが知られている。この磁気ヘッド
は、コア本体に酸化物磁性材料を使用すると共に、ギャ
ップの近傍を合金磁性材料で形成したものである。
このような磁気ヘッドの製造方法においては、第3図(
a)に示すように、コアとなる酸化物磁性材料の一方の
ブロック11に外部巻線用溝13とガラス充填用溝14
と内部巻線用溝15とを形成すると共に、同図(b)に
示すように、同じくコアとなる酸化物磁性材料の他方の
ブロック12に外部巻線用溝13とガラス充填用溝14
とを形成する。そして、ブロック11・12における各
々のギャップ対向面16とテープ摺動面17とを鏡面状
に研磨した後、同図(C)および(d)に示すように、
所定のギャップトラック幅を得るための溝(トラック溝
)18・・・を形成する。次いで、ギャップ対向面16
の表層付近の加工変質層をエツチングにより除去した後
、同図(e)(f)(g)に示すように、ブロック11
・12におけるそれぞれのギャップ対向面16上に高透
磁率および高飽和磁束密度を有する合金磁性材料薄膜1
9をスパッタリング法等により形成する。次いで、合金
磁性材料薄膜19上におけるギャップ形成部位にギャッ
プ材としてSin、等の非磁性材料を約0.3μmの厚
みで形成した後、同図(h)に示すように、上記のブロ
ック11・12同士を各々のギャップ対向面16・16
を突き合わせて貼り合わせ、ガラス充填用溝14および
内部巻線用溝15によりそれぞれ形成される空洞部位に
ガラス20を配置し加熱溶着する。そして、このように
して得られた磁気ヘッドブロックにおけるテープ摺動面
17に、同図(i)に示すように、曲面を形成した後、
仮想線b・・・に沿って切断することにより、同図(j
)に示すように、磁気ヘッド22(まだ巻線の施されて
いない段階)を得る。
〔発明が解決しようとする課題〕
ところが、上記従来の磁気ヘッドでは、酸化物磁性材料
であるブロック11・12の各々のギャップ対向面16
と合金磁性材料薄膜19との境界面がギャップに対し平
行であるため、第4図に示すように、再生出力−周波数
特性に生じるうねりが約3dBにもなる。これは、酸化
物磁性材料と合金磁性材料との磁気特性の相違や、境界
面において形成された酸素等の拡散による反応層や前記
の変質層の不完全除去部分等が擬似ギャップとして作用
する、いわゆる形状効果(コンタ−効果)のためと考え
られる。なお、上記の第4図において、磁気記録媒体と
磁気ヘッドとの相対速度は5.8m/5ec1、磁気記
録媒体としては保磁力900エルステツドのものを用い
ている。
かかる問題点を解消するものとして、酸化物磁性材料と
合金磁性材料との間にクロムを介装してなる磁気ヘッド
が提案されている。この磁気ヘッドは、第5図(a)(
b)(c)(d)に示すように、前述した磁気ヘッド2
2と同様の製造工程を経た後(加工変質層を除去した後
)、同図(e)(f)(g)に示すように、クロム(C
r)膜23をスパッタリング法等により10人〜200
人の厚みでギャップ対向面16上に形成する。その後、
合金磁性材料薄膜19をスパッタリング法等により膜厚
2〜6μmで上記のクロム膜23上においてギャップに
対し平行に形成する。そして、合金磁性材料薄膜19に
おけるギャップ形成部位にギャップ材としてSin、等
の非磁性材料を約0.3μmの厚みで形成する。以後の
製造工程は、同図(h)(i)(j)に示すように、前
述の磁気ヘッドの製造と同様の加工が行われる。
しかしながら、このように、酸化物磁性材料であるブロ
ック11・12と合金磁性材料薄膜19との間にクロム
膜23を介装した磁気ヘッドといえども、第6図に示す
ように、再生出力−周波数特性に1dB程度のうねりが
依然として残り、十分な性能とはいえず、より一層の改
善が望まれている。なお、第6図においての諸条件は第
4図における諸条件と同様に設定されている。
〔課題を解決するための手段〕
本発明に係る磁気ヘッドは、上記の課題を解決するため
に、高透磁率および高飽和磁束密度を有する合金磁性材
料薄膜が、高透磁率を有する酸化物磁性材料コアのギャ
ップ対向面側でギャップに対し平行に形成されている磁
気ヘッドにおいて、上記の酸化物磁性材料コアのギャッ
プ対向面上と合金磁性材料薄膜との間に窒化クロムが形
成されていることを特徴としている。
〔作 用〕
上記の構成によれば、合金磁性材料薄膜と酸化物磁性材
料コア間の酸素等の相互拡散を抑制することができ、酸
化物磁性材料コアと合金磁性材料薄膜の境界面付近での
酸化物磁性材料コアおよび合金磁性材料薄膜の軟磁気特
性の劣化を防止することが可能であるなど、いわゆる形
状効果を抑制して再生出力−周波数特性におけるうねり
を低減することができる。
〔実施例〕
本発明の一実施例を第1図および第2図に基づいて説明
すれば、以下の通りである。
本発明に係る磁気ヘッドにおいて、第1図(j)に示す
ように、高透磁率を有する酸化物磁性材料コアト2にお
けるギャップ対向面3・3の各々には、所定幅を有し且
つギャップに対し平行な面を有する突出部3a・3aが
形成されている。この突出部3a・3aを含むギャップ
対向面3・3上には、10人〜200人の厚みで窒化ク
ロム膜4が形成されており、この窒化クロム膜4を介し
てギャップ対向面3上には2μm〜6μmの厚みで高透
磁率および高飽和磁束密度を有する合金磁性材料薄膜5
が形成されている。そして、これら窒化クロム膜4およ
び合金磁性材料薄膜5の形成された酸化物磁性材料コア
ト2同士は、その突出部3a・3aの間にギャップ材と
して厚みが約0.3μmのSiO□等の非磁性材料を介
装した状態でギャップ対向面3・3を互いに突き合わせ
て溶融ガラス6にて固着されている。
上記磁気ヘッドを製造するには、同図(a)に示すよう
に、コアとなる酸化物磁性材料の一方のブロック1′に
外部巻線用溝1′aとガラス充填用溝1’ bと内部巻
線用溝1′ Cとを形成すると共に、同図(b)に示す
ように、同じくコアとなる酸化物磁性材料の他方のブロ
ック2′に外部巻線用溝2′ aとガラス充填用溝2’
  bとを形成する。そして、ブロック1′ ・2′に
おけるそれぞれのギャップ対向面3とテープ摺動面7を
鏡面状に研磨した後、同図(C)および(d)に示すよ
うに、所定のギャップトラック幅を得るための溝(トラ
ック溝)8・・・を形成する。次に、ギャップ対向面3
の表層付近の加工変質層をエツチングにより除去した後
、同図(e)(f)(g)に示すように、窒化クロム膜
4を、窒素ガスとアルゴンガスとの混合ガスを用いる反
応性スパッタリング法等により10人〜200人の厚み
でギャップ対向面3上に形成する。ここで、窒化クロム
膜4の膜厚が10人よりも薄いと、当該窒化クロム膜4
が不連続となって島状に形成されるため、形状効果抑制
の機能が発揮されず、一方、200人よりも厚いと窒化
クロム膜4がギャップ層として作用するため、前述の通
り窒化クロム膜4の厚みは概ね10人〜200人程度が
好適となる。なお、窒化クロム膜4は、lOλ〜200
人の厚みの範囲内で薄ければ薄いほど形状効果抑止の機
能が顕著となる。
窒化クロム膜4の形成後、合金磁性材料薄膜5を窒化ク
ロム膜4上にスパッタリング法等により2〜6μmの厚
みで形成する。そして、合金磁性材料薄膜5上における
ギャップ形成部位にギャップ材としてSiO□等の非磁
性材料を約0.3μmの厚みで形成する。次に、同図(
h)に示すように、上記のブロック1′ ・2′同士を
各々のギャップ対向面3・3を突き合わせて貼り合わせ
、ガラス充填用溝1’  b・2’  bおよび内部巻
線用溝V Cによりそれぞれ形成される空洞部位に溶融
ガラス6を配置し加熱溶着する。そして、このようにし
て得られた磁気ヘッドブロックにおけるテープ摺動面7
に、同図(i)に示すように、曲面を形成した後、仮想
線a・・・に沿って切断することにより、同図(j)に
示すように、磁気ヘッド(まだ巻線の施されていない段
階)が得られる。
従って、従来の製造工程とほぼ同様の製造工程で磁気ヘ
ッドを得ることができ、磁気ヘッドの量産性や品質の均
一性はそのまま維持され、磁気ヘッドの低価格化も可能
である。
上記の構成によれば、合金磁性材料薄膜5と酸化物磁性
材料コアト2間の酸素等の相互拡散を抑制することがで
き、酸化物磁性材料コアト2と合金磁性材料薄膜5の境
界面付近での酸化物磁性材料コアト2および合金磁性材
料薄膜5の軟磁気特性の劣化を防止することが可能であ
るなど、いわゆる形状効果を抑制して再生出力−周波数
特性におけるうねりを低減することができる。第2図は
、窒素ガス20%、アルゴンガス80%の混合ガスを用
いて反応性スパッタリング法により厚み50人の窒化ク
ロム膜4を形成した後に合金磁性材料薄膜5としてセン
ダスト合金薄膜を4μmの厚みで形成して得られた磁気
ヘッドにおける再生出力−周波数特性図である。この特
性試験において、磁気ヘッドと記録媒体の相対速度は5
.8m/5ec0、記録媒体として保磁力900エルス
テツドのものを用いている。この図から明らかなように
、再生出力−周波数特性におけるうねりは0.3dBの
範囲に低減され、再生信号の品質を著しく向上すること
ができた。
〔発明の効果〕
本発明に係る磁気ヘッドは、以上のように、高透磁率お
よび高飽和磁束密度を有する合金磁性材料薄膜が、高透
磁率を有する酸化物磁性材料コアのギャップ対向面側で
ギャップに対し平行に形成されている磁気ヘッドにおい
て、上記の酸化物磁性材料コアのギャップ対向面上と合
金磁性材料薄膜との間に窒化クロムが形成されている構
成である。
これにより、いわゆる形状効果を抑制して再生出力−周
波数特性におけるうねりを低減することができ、再生信
号の品質を著しく向上することができるという効果を奏
する。
【図面の簡単な説明】
第1図および第2図は本発明の一実施例を示すものであ
って、第1図(a)ないしくf)および(h)ないしく
j)はそれぞれ磁気ヘッドの製造工程の各段階を示す斜
視図、同図(g)は同図(f)における要部の断面図、
第2図は磁気ヘッドにおける再生出力−周波数特性のグ
ラフ、第3図および第4図は従来例を示すものであって
、第3図(a)ないしくf)および(h)ないしくj)
はそれぞれ磁気ヘッドの製造工程の各段階を示す斜視図
、同図(g)は同図(f)における要部の断面図、第4
図は磁気ヘッドにおける再生出力−周波数特性のグラフ
、第5図および第6図は他の従来例を示すものであって
、第5図(a)ないしくf)および(h)ないしくj)
はそれぞれ磁気ヘッドの製造工程の各段階を示す斜視図
、同図(g)は同図(f)における要部の断面図、第6
図は磁気ヘッドにおける再生出力−周波数特性のグラフ
である。 1・2は酸化物磁性材料コア、1′ ・2′は酸化物磁
性材料のブロック、3はギャップ対向面、4は窒化クロ
ム膜、5は合金磁性材料薄膜、6は溶融ガラスである。 特許出願人     シャープ 株式会社第 1 図(
b) 第1 図(C) 第 1 図(d) 第 図 周 5L a(M Hz ) 業 図(a) ]1 第 図(C) 第 図(h) 第 3図(b) ]2 第 図(d) ]6 第 図 固う次数(MHz) ス(h) 篤 図(a) ]1 篤 図(C) 第 図(b) z 富 図(d)

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 1、高透磁率および高飽和磁束密度を有する合金磁性材
    料薄膜が、高透磁率を有する酸化物磁性材料コアのギャ
    ップ対向面側でギャップに対し平行に形成されている磁
    気ヘッドにおいて、 上記の酸化物磁性材料コアのギャップ対向面上と合金磁
    性材料薄膜との間に窒化クロムが形成されていることを
    特徴とする磁気ヘッド。
JP1249489A 1989-01-20 1989-01-20 磁気ヘッド Expired - Fee Related JPH0724093B2 (ja)

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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP0528459A2 (en) * 1991-07-19 1993-02-24 Koninklijke Philips Electronics N.V. Magnetic head unit, magnetic head for use in the magnetic head unit and magnetic head structure for use in the magnetic head

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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP0528459A2 (en) * 1991-07-19 1993-02-24 Koninklijke Philips Electronics N.V. Magnetic head unit, magnetic head for use in the magnetic head unit and magnetic head structure for use in the magnetic head

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