JPH10264075A - クリーンロボット - Google Patents
クリーンロボットInfo
- Publication number
- JPH10264075A JPH10264075A JP9071373A JP7137397A JPH10264075A JP H10264075 A JPH10264075 A JP H10264075A JP 9071373 A JP9071373 A JP 9071373A JP 7137397 A JP7137397 A JP 7137397A JP H10264075 A JPH10264075 A JP H10264075A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- frame
- elevating
- space
- cover
- swivel
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B25—HAND TOOLS; PORTABLE POWER-DRIVEN TOOLS; MANIPULATORS
- B25J—MANIPULATORS; CHAMBERS PROVIDED WITH MANIPULATION DEVICES
- B25J9/00—Programme-controlled manipulators
- B25J9/02—Programme-controlled manipulators characterised by movement of the arms, e.g. cartesian coordinate type
- B25J9/04—Programme-controlled manipulators characterised by movement of the arms, e.g. cartesian coordinate type by rotating at least one arm, excluding the head movement itself, e.g. cylindrical coordinate type or polar coordinate type
- B25J9/041—Cylindrical coordinate type
- B25J9/042—Cylindrical coordinate type comprising an articulated arm
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10S—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10S414/00—Material or article handling
- Y10S414/135—Associated with semiconductor wafer handling
- Y10S414/14—Wafer cassette transporting
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Robotics (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Manipulator (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 クリーンルームR内に設置されるクリーンロ
ボットRBにおける昇降体17を旋回台2から突出させ
ることなくフレーム4の外側に配置し、その組立てやメ
ンテナンスを容易化するとともに、昇降体17の昇降ス
トロークを大に確保する。 【解決手段】 旋回台2後側の左右両側部に2本の中空
フレーム4,4を略左右対称に立設し、これら両フレー
ム4,4間にカバー9を取り付け、このカバー9内の昇
降空間13に、先端部にロボット本体20を有する昇降
体17を収容して、それをフレーム4のレール15によ
って昇降可能に支持する。また、各フレーム4前側の旋
回台2上に空気吸引用のブロワ39を配置し、このブロ
ワ39により上記カバー9内の昇降空間13の空気を、
昇降空間13及び各フレーム4内の空間を連通する吸気
孔36と、各フレーム4の下端部前面に開口された排気
孔40とを介して吸引排出するようにする。
ボットRBにおける昇降体17を旋回台2から突出させ
ることなくフレーム4の外側に配置し、その組立てやメ
ンテナンスを容易化するとともに、昇降体17の昇降ス
トロークを大に確保する。 【解決手段】 旋回台2後側の左右両側部に2本の中空
フレーム4,4を略左右対称に立設し、これら両フレー
ム4,4間にカバー9を取り付け、このカバー9内の昇
降空間13に、先端部にロボット本体20を有する昇降
体17を収容して、それをフレーム4のレール15によ
って昇降可能に支持する。また、各フレーム4前側の旋
回台2上に空気吸引用のブロワ39を配置し、このブロ
ワ39により上記カバー9内の昇降空間13の空気を、
昇降空間13及び各フレーム4内の空間を連通する吸気
孔36と、各フレーム4の下端部前面に開口された排気
孔40とを介して吸引排出するようにする。
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、クリーンルーム内
で使用されるクリーンロボットに関する技術分野に属す
るものである。
で使用されるクリーンロボットに関する技術分野に属す
るものである。
【0002】
【従来の技術】従来より、この種のクリーンロボットと
して、例えば特許第2507583号公報に示されてい
るように、基台に立設された中空フレーム内に、先端部
がフレーム前面の溝孔を貫通してフレーム外に延びる昇
降体を昇降可能に収容し、フレーム内の背面側に仕切板
によって通風路を区画し、仕切板の上側にフレーム内の
空気を通風路に導く流入口を設ける一方、通風路内の空
気をフレーム内下部の通風機に導く排出口を設けること
により、昇降体の上昇時にフレーム内上部の空気が昇降
体のポンピング作用によって押圧されたとき、その空気
を仕切板の流入口から通風路及び排出口を介して通風機
により吸引することにより、上記フレーム内の押圧空気
がフレーム前面の溝孔からフレーム外つまりロボット前
側に排出されないようにし、小形の通風機を用いながら
クリーンルームへの塵の拡散を防止するようにしたもの
は知られている。
して、例えば特許第2507583号公報に示されてい
るように、基台に立設された中空フレーム内に、先端部
がフレーム前面の溝孔を貫通してフレーム外に延びる昇
降体を昇降可能に収容し、フレーム内の背面側に仕切板
によって通風路を区画し、仕切板の上側にフレーム内の
空気を通風路に導く流入口を設ける一方、通風路内の空
気をフレーム内下部の通風機に導く排出口を設けること
により、昇降体の上昇時にフレーム内上部の空気が昇降
体のポンピング作用によって押圧されたとき、その空気
を仕切板の流入口から通風路及び排出口を介して通風機
により吸引することにより、上記フレーム内の押圧空気
がフレーム前面の溝孔からフレーム外つまりロボット前
側に排出されないようにし、小形の通風機を用いながら
クリーンルームへの塵の拡散を防止するようにしたもの
は知られている。
【0003】尚、この他、クリーンロボットではない
が、倉庫用のロボットとして、特開平8―127405
号公報に示されるように、旋回可能なターンテーブル上
に2本のフレーム(マスト)を立設し、この両フレーム
間にウエハの移載装置を有する昇降体を昇降可能に支持
することにより、昇降体の昇降動作によって移載装置を
昇降させながらウエハを移載するようにしたものも知ら
れている。
が、倉庫用のロボットとして、特開平8―127405
号公報に示されるように、旋回可能なターンテーブル上
に2本のフレーム(マスト)を立設し、この両フレーム
間にウエハの移載装置を有する昇降体を昇降可能に支持
することにより、昇降体の昇降動作によって移載装置を
昇降させながらウエハを移載するようにしたものも知ら
れている。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】ところで、上記前者の
従来例(特許第2507583号公報)のものでは、中
空のフレーム内に昇降体が内蔵されているので、その昇
降体の組立てやメンテナンスの作業が極めて面倒になる
のは避けられない。さりとて、昇降体をフレームの外側
に配置すると、その基台から昇降体の先端部が突出する
ので、例えば基台を旋回台として旋回中心回りに旋回さ
せようとするときには、昇降体の先端部がロボット周り
の物体と衝突しないように空間領域を設けておく必要が
生じる。
従来例(特許第2507583号公報)のものでは、中
空のフレーム内に昇降体が内蔵されているので、その昇
降体の組立てやメンテナンスの作業が極めて面倒になる
のは避けられない。さりとて、昇降体をフレームの外側
に配置すると、その基台から昇降体の先端部が突出する
ので、例えば基台を旋回台として旋回中心回りに旋回さ
せようとするときには、昇降体の先端部がロボット周り
の物体と衝突しないように空間領域を設けておく必要が
生じる。
【0005】また、昇降体が収容されたフレーム内の下
部に通風機が設けられているので、その通風機との干渉
により昇降体の下降端位置を基台近くまで下げた位置に
設定することができず、昇降体の昇降ストロークを大に
確保できないという問題もあった。
部に通風機が設けられているので、その通風機との干渉
により昇降体の下降端位置を基台近くまで下げた位置に
設定することができず、昇降体の昇降ストロークを大に
確保できないという問題もあった。
【0006】本発明は斯かる諸点に鑑みてなされたもの
で、その目的とするところは、上記クリーンロボットの
構造を改良することにより、その昇降体を旋回台から突
出させることなくフレームの外側に配置して、その組立
てやメンテナンスを容易化するとともに、昇降体の昇降
ストロークを大に確保できるようにすることにある。
で、その目的とするところは、上記クリーンロボットの
構造を改良することにより、その昇降体を旋回台から突
出させることなくフレームの外側に配置して、その組立
てやメンテナンスを容易化するとともに、昇降体の昇降
ストロークを大に確保できるようにすることにある。
【0007】
【課題を解決するための手段】上記の目的を達成すべ
く、この発明では、上記後者の従来例(特開平8―12
7405号公報)のようにフレームは2本とし、その両
フレーム間のカバーにより区画した空間内に昇降体を配
置するとともに、各フレームは中空としてその内部に上
記空間の空気を導入し、このフレーム内の空気を各フレ
ームの前側下部に配置した吸引手段によって吸引排出す
るようにした。
く、この発明では、上記後者の従来例(特開平8―12
7405号公報)のようにフレームは2本とし、その両
フレーム間のカバーにより区画した空間内に昇降体を配
置するとともに、各フレームは中空としてその内部に上
記空間の空気を導入し、このフレーム内の空気を各フレ
ームの前側下部に配置した吸引手段によって吸引排出す
るようにした。
【0008】具体的には、請求項1の発明のクリーンロ
ボットは、旋回中心回りに旋回可能な旋回台と、この旋
回台の後側の左右両側部に上記旋回中心を通る前後方向
の面に対して略左右対称に立設された2本の中空フレー
ムと、これら両フレームの互いに対向する側に設けられ
た上下方向に延びるレールと、このレール間に昇降可能
に支持され、前方への突出部材を有する昇降体と、上記
突出部材の先端部に設けられた操作手段と、上記両フレ
ーム間に取り付けられ、内部に上記昇降体を昇降可能に
収容する昇降空間が設けられているとともに、上記突出
部材を移動可能に挿通する昇降路が開口されたカバー
と、このカバー内の昇降空間と各フレーム内の空間とを
連通する吸気孔と、上記各フレームの下端部前面にフレ
ーム内外を連通するように開口された排気孔と、上記各
フレーム前側の旋回台上に配置され、上記排気孔と接続
された空気吸引手段とを備えたことを特徴としている。
ボットは、旋回中心回りに旋回可能な旋回台と、この旋
回台の後側の左右両側部に上記旋回中心を通る前後方向
の面に対して略左右対称に立設された2本の中空フレー
ムと、これら両フレームの互いに対向する側に設けられ
た上下方向に延びるレールと、このレール間に昇降可能
に支持され、前方への突出部材を有する昇降体と、上記
突出部材の先端部に設けられた操作手段と、上記両フレ
ーム間に取り付けられ、内部に上記昇降体を昇降可能に
収容する昇降空間が設けられているとともに、上記突出
部材を移動可能に挿通する昇降路が開口されたカバー
と、このカバー内の昇降空間と各フレーム内の空間とを
連通する吸気孔と、上記各フレームの下端部前面にフレ
ーム内外を連通するように開口された排気孔と、上記各
フレーム前側の旋回台上に配置され、上記排気孔と接続
された空気吸引手段とを備えたことを特徴としている。
【0009】上記の構成により、ロボットの作動時、2
本の中空フレーム間にカバーが取り付けられ、このカバ
ー内の昇降空間内を昇降体が突出部材を昇降路からカバ
ー外に突出せしめた状態でフレームのレールの案内によ
り昇降し、その突出部材の先端部の操作手段によってロ
ボットの各種操作が行われる。また、各フレーム前側の
旋回台上に配置された空気吸引手段の作動により、上記
昇降空間内の空気が吸気孔を介して各フレーム内の空間
に流れ、この空間から各フレームの下端部前面の排気孔
を経て吸引手段に吸引されて排気され、このことで、昇
降空間内に昇降体の摩擦部分等により発生した塵を含む
昇降空間内の汚れた空気が排出される。
本の中空フレーム間にカバーが取り付けられ、このカバ
ー内の昇降空間内を昇降体が突出部材を昇降路からカバ
ー外に突出せしめた状態でフレームのレールの案内によ
り昇降し、その突出部材の先端部の操作手段によってロ
ボットの各種操作が行われる。また、各フレーム前側の
旋回台上に配置された空気吸引手段の作動により、上記
昇降空間内の空気が吸気孔を介して各フレーム内の空間
に流れ、この空間から各フレームの下端部前面の排気孔
を経て吸引手段に吸引されて排気され、このことで、昇
降空間内に昇降体の摩擦部分等により発生した塵を含む
昇降空間内の汚れた空気が排出される。
【0010】そのとき、上記昇降体は両フレーム間のレ
ールの案内により昇降可能に支持されているので、この
昇降体の組立てやメンテナンスを行う際、昇降体がカバ
ー内の昇降空間に収容されているとはいえ、このカバー
を取り外して昇降体の組立て等を行えばよく、それらの
作業を容易に行うことができる。
ールの案内により昇降可能に支持されているので、この
昇降体の組立てやメンテナンスを行う際、昇降体がカバ
ー内の昇降空間に収容されているとはいえ、このカバー
を取り外して昇降体の組立て等を行えばよく、それらの
作業を容易に行うことができる。
【0011】また、上記両フレームは、旋回台後側の左
右両側部に旋回中心を通る前後方向の面に対して対称的
に立設されているので、この両フレーム間に支持された
昇降体は略旋回台の旋回中心に位置することとなり、そ
の旋回台からの突出を回避することができ、ロボット周
りに昇降体の先端部と干渉を避ける空間領域を設ける必
要はなく、ロボットのスペース効率を高めることができ
る。
右両側部に旋回中心を通る前後方向の面に対して対称的
に立設されているので、この両フレーム間に支持された
昇降体は略旋回台の旋回中心に位置することとなり、そ
の旋回台からの突出を回避することができ、ロボット周
りに昇降体の先端部と干渉を避ける空間領域を設ける必
要はなく、ロボットのスペース効率を高めることができ
る。
【0012】さらに、上記空気吸引手段は、各フレーム
前側の旋回台上に配置されているので、両フレーム間を
昇降する昇降体の邪魔にならず、その昇降体の下降端位
置を旋回台近くまで下げることができ、その昇降ストロ
ークを大に確保することができる。しかも、空気吸引手
段は各フレーム前側の旋回台上のデッドスペースに設置
できるので、その空気吸引手段の旋回台からの突出を回
避することができる。
前側の旋回台上に配置されているので、両フレーム間を
昇降する昇降体の邪魔にならず、その昇降体の下降端位
置を旋回台近くまで下げることができ、その昇降ストロ
ークを大に確保することができる。しかも、空気吸引手
段は各フレーム前側の旋回台上のデッドスペースに設置
できるので、その空気吸引手段の旋回台からの突出を回
避することができる。
【0013】請求項2の発明では、上記吸気孔は、少な
くとも各フレームの上下端部に形成されているものとす
る。こうすると、昇降体がカバー内の昇降空間で昇降す
る際、その上昇端位置又は下降端位置の近くで、昇降体
のポンピング作用によって昇降空間内の上下端部の空気
が押圧されて、昇降路からカバー外に排出されようとし
ても、その空気を積極的に吸気孔から各フレームの中空
空間内に吸引することができ、汚れた空気のロボット外
への排出を有効に防止することができる。
くとも各フレームの上下端部に形成されているものとす
る。こうすると、昇降体がカバー内の昇降空間で昇降す
る際、その上昇端位置又は下降端位置の近くで、昇降体
のポンピング作用によって昇降空間内の上下端部の空気
が押圧されて、昇降路からカバー外に排出されようとし
ても、その空気を積極的に吸気孔から各フレームの中空
空間内に吸引することができ、汚れた空気のロボット外
への排出を有効に防止することができる。
【0014】
【発明の実施の形態】図1及び図2は本発明の実施形態
に係るクリーンロボットRBを示し、このロボットRB
は、室内空気の所定のダウンフローを有するクリーンル
ームRに設置されている。図1及び図2において、1は
クリーンルームRのフロア面に固定状態又は例えばレー
ル(図示せず)上を移動可能に設置されたベースで、こ
のベース1上には平面形状を略円形状とした旋回台2が
旋回中心O回りに旋回可能に支持されている。この旋回
台2の後側(図1では右側、図2では下側)の左右両側
部には中空柱形状の左右2本の中空フレーム4,4が上
記旋回中心Oを通る前後方向の面に対して略左右対称に
立設され、各フレーム4の内部には空間5が形成されて
いる。これら両フレーム4,4同士は、各々の高さ方向
の中間部において、平面視して旋回台2の後側周縁に沿
って延びる複数の連結部材6,6,…により一体的に連
結されている。
に係るクリーンロボットRBを示し、このロボットRB
は、室内空気の所定のダウンフローを有するクリーンル
ームRに設置されている。図1及び図2において、1は
クリーンルームRのフロア面に固定状態又は例えばレー
ル(図示せず)上を移動可能に設置されたベースで、こ
のベース1上には平面形状を略円形状とした旋回台2が
旋回中心O回りに旋回可能に支持されている。この旋回
台2の後側(図1では右側、図2では下側)の左右両側
部には中空柱形状の左右2本の中空フレーム4,4が上
記旋回中心Oを通る前後方向の面に対して略左右対称に
立設され、各フレーム4の内部には空間5が形成されて
いる。これら両フレーム4,4同士は、各々の高さ方向
の中間部において、平面視して旋回台2の後側周縁に沿
って延びる複数の連結部材6,6,…により一体的に連
結されている。
【0015】上記左右のフレーム4,4間には上記連結
部材6,6,…及び後述の昇降体17を覆うカバー9が
フレーム4の上端から下端までの全体に亘り取り付けら
れ、このカバー9の上端は両フレーム4,4の上端を閉
塞する共通の蓋部材7により、また下端は上記旋回台2
によりそれぞれ気密状に閉塞されている。カバー9は互
いに間隔をあけて配置された前側及び後側のカバー部材
10,11を有し、前側カバー部材10は前側に開放さ
れた断面略コ字状の部材からなり、その左右両端部がそ
れぞれ左右のフレーム4,4の対向側面の前端部に気密
状に接合されている。また、この前側カバー部材10の
左右中央部には、後述する突出部材19を移動可能に挿
通する上下方向に延びる長孔からなる昇降路12が開口
されている。一方、後側カバー部材11は平面視して旋
回台2の後側周縁に沿って延びる断面円弧状の部材から
なり、その左右両端部がそれぞれ左右のフレーム4,4
の外側側面の後端部に気密状に接合されている。そし
て、この前側及び後側カバー部材10,11と、蓋部材
7及び旋回台2とで囲まれる空間が昇降体17を昇降可
能に収容する昇降空間13とされている。
部材6,6,…及び後述の昇降体17を覆うカバー9が
フレーム4の上端から下端までの全体に亘り取り付けら
れ、このカバー9の上端は両フレーム4,4の上端を閉
塞する共通の蓋部材7により、また下端は上記旋回台2
によりそれぞれ気密状に閉塞されている。カバー9は互
いに間隔をあけて配置された前側及び後側のカバー部材
10,11を有し、前側カバー部材10は前側に開放さ
れた断面略コ字状の部材からなり、その左右両端部がそ
れぞれ左右のフレーム4,4の対向側面の前端部に気密
状に接合されている。また、この前側カバー部材10の
左右中央部には、後述する突出部材19を移動可能に挿
通する上下方向に延びる長孔からなる昇降路12が開口
されている。一方、後側カバー部材11は平面視して旋
回台2の後側周縁に沿って延びる断面円弧状の部材から
なり、その左右両端部がそれぞれ左右のフレーム4,4
の外側側面の後端部に気密状に接合されている。そし
て、この前側及び後側カバー部材10,11と、蓋部材
7及び旋回台2とで囲まれる空間が昇降体17を昇降可
能に収容する昇降空間13とされている。
【0016】上記両フレーム4,4の互いに対向する側
面の後側にはそれぞれ上記カバー9内の昇降空間13に
位置しかつ上下方向に延びるレール15,15が固定さ
れている。また、上記昇降空間13の内部には昇降体1
7が収容されている。この昇降体17は上下方向に延び
る板状のもので、その前面の左右側縁にはそれぞれ上記
レール15,15に係合支持されるローラ18,18が
前後方向の軸18a,18aにより回転可能に支持され
ており、この各ローラ18のレール15への係合により
昇降体17がレール15,15に昇降可能に支持されて
いる。
面の後側にはそれぞれ上記カバー9内の昇降空間13に
位置しかつ上下方向に延びるレール15,15が固定さ
れている。また、上記昇降空間13の内部には昇降体1
7が収容されている。この昇降体17は上下方向に延び
る板状のもので、その前面の左右側縁にはそれぞれ上記
レール15,15に係合支持されるローラ18,18が
前後方向の軸18a,18aにより回転可能に支持され
ており、この各ローラ18のレール15への係合により
昇降体17がレール15,15に昇降可能に支持されて
いる。
【0017】上記昇降体17前面の左右中央には突出部
材19が一体的に形成され、この突出部材19は上記前
側カバー部材10の昇降路12に上下移動可能に挿通さ
れている。突出部材19の前端にはロボット本体20が
一体的に設けられている。このロボット本体20は突出
部材19に一体的に取り付けられて前後方向に延びる基
部21を備え、この基部21の先端は平面視して旋回台
2の前端まで延びている。基部21には第1アーム22
の基端部が上下方向の軸心をもって揺動可能に支持さ
れ、この第1アーム22の先端部には第2アーム23の
基端部が同様の軸心をもって揺動可能に支持され、この
第2アーム23の先端部にはロボットRBの操作手段と
してのクランプ装置24が同様の軸心をもって揺動可能
に支持されている。尚、両アーム22,23及びクラン
プ装置24は、各々の駆動装置(図示せず)により駆動
される。
材19が一体的に形成され、この突出部材19は上記前
側カバー部材10の昇降路12に上下移動可能に挿通さ
れている。突出部材19の前端にはロボット本体20が
一体的に設けられている。このロボット本体20は突出
部材19に一体的に取り付けられて前後方向に延びる基
部21を備え、この基部21の先端は平面視して旋回台
2の前端まで延びている。基部21には第1アーム22
の基端部が上下方向の軸心をもって揺動可能に支持さ
れ、この第1アーム22の先端部には第2アーム23の
基端部が同様の軸心をもって揺動可能に支持され、この
第2アーム23の先端部にはロボットRBの操作手段と
してのクランプ装置24が同様の軸心をもって揺動可能
に支持されている。尚、両アーム22,23及びクラン
プ装置24は、各々の駆動装置(図示せず)により駆動
される。
【0018】一方、昇降体17の後面には左右1対のブ
ラケット26,26(1つのみ図示する)が一体的に取
り付けられ、この両ブラケット26,26には歯付プー
リからなる駆動プーリ27と、この駆動プーリ27の上
下斜め後側に位置する上下1対のフリープーリ28,2
9とがそれぞれ水平左右方向の軸27a〜29aにより
回転可能に支持され、これら3つのプーリ27〜29に
は歯付ベルト30が巻き掛けられている。すなわち、歯
付ベルト30は、昇降空間13の上端部に配置固定した
上側ベルト止め31と、昇降空間13の下端部にある連
結部材6に固定した下側ベルト止め32との間に亘り上
下方向に張り渡されている。そして、この歯付ベルト3
0は3つのプーリ27〜29に対し、上側のフリープー
リ28において上下方向から水平方向前側に曲がり、次
いで駆動プーリ27への噛合により水平方向後側に延び
た後、下側のフリープーリ29において上下方向に曲が
るように巻き掛けられている。
ラケット26,26(1つのみ図示する)が一体的に取
り付けられ、この両ブラケット26,26には歯付プー
リからなる駆動プーリ27と、この駆動プーリ27の上
下斜め後側に位置する上下1対のフリープーリ28,2
9とがそれぞれ水平左右方向の軸27a〜29aにより
回転可能に支持され、これら3つのプーリ27〜29に
は歯付ベルト30が巻き掛けられている。すなわち、歯
付ベルト30は、昇降空間13の上端部に配置固定した
上側ベルト止め31と、昇降空間13の下端部にある連
結部材6に固定した下側ベルト止め32との間に亘り上
下方向に張り渡されている。そして、この歯付ベルト3
0は3つのプーリ27〜29に対し、上側のフリープー
リ28において上下方向から水平方向前側に曲がり、次
いで駆動プーリ27への噛合により水平方向後側に延び
た後、下側のフリープーリ29において上下方向に曲が
るように巻き掛けられている。
【0019】さらに、上記駆動プーリ27の軸27aに
は昇降体17の後面に取付固定した減速機33の出力部
が取り付けられ、この減速機33の入力部には同様に取
り付けたサーボモータ34の出力軸が連結されており、
サーボモータ34の回転を減速機33で減速して駆動プ
ーリ27に伝達してそれを回転させることにより、歯付
ベルト30を駆動プーリ27で手繰り寄せて昇降体17
を昇降させるようになっている。
は昇降体17の後面に取付固定した減速機33の出力部
が取り付けられ、この減速機33の入力部には同様に取
り付けたサーボモータ34の出力軸が連結されており、
サーボモータ34の回転を減速機33で減速して駆動プ
ーリ27に伝達してそれを回転させることにより、歯付
ベルト30を駆動プーリ27で手繰り寄せて昇降体17
を昇降させるようになっている。
【0020】上記各フレーム4の互いに対向する側面に
おいて上記レール15の後側には多数の吸気孔36,3
6,…が各フレーム4の上下端部を含むフレーム長さ方
向(上下方向)の全体に亘り所定の間隔をあけて開口さ
れ、この各吸気孔36により上記カバー9内の昇降空間
13と各フレーム4内の空間5とが連通されている。
おいて上記レール15の後側には多数の吸気孔36,3
6,…が各フレーム4の上下端部を含むフレーム長さ方
向(上下方向)の全体に亘り所定の間隔をあけて開口さ
れ、この各吸気孔36により上記カバー9内の昇降空間
13と各フレーム4内の空間5とが連通されている。
【0021】さらに、上記各フレーム4前側の旋回台2
上には該旋回台2及び各フレーム4をそれぞれ壁の一部
とする略密閉状のブロワケース38が取り付けられ、こ
のブロワケース38内には空気吸引手段としてのブロワ
39が収容されている。そして、ブロワケース38の側
壁を構成する、各フレーム4の下端部前面には排気孔4
0が開口され、この排気孔40によりフレーム4内の空
間5とフレーム4外側であるブロワケース38内の空間
とが連通されており、このことでブロワ39が上記排気
孔40を介して各フレーム4内の空間5に接続されてい
る。また、ブロワケース38の下壁を構成する旋回台2
には空気吐出孔42が開口されており、ブロワ39の作
動により、カバー9内の昇降空間13の空気を吸気孔3
6,36,…、フレーム4内の空間5及び排気孔40を
介して各ブロワケース38内に吸引し、このブロワケー
ス38から空気吐出孔42を介してロボットRB外に排
出するようにしている。
上には該旋回台2及び各フレーム4をそれぞれ壁の一部
とする略密閉状のブロワケース38が取り付けられ、こ
のブロワケース38内には空気吸引手段としてのブロワ
39が収容されている。そして、ブロワケース38の側
壁を構成する、各フレーム4の下端部前面には排気孔4
0が開口され、この排気孔40によりフレーム4内の空
間5とフレーム4外側であるブロワケース38内の空間
とが連通されており、このことでブロワ39が上記排気
孔40を介して各フレーム4内の空間5に接続されてい
る。また、ブロワケース38の下壁を構成する旋回台2
には空気吐出孔42が開口されており、ブロワ39の作
動により、カバー9内の昇降空間13の空気を吸気孔3
6,36,…、フレーム4内の空間5及び排気孔40を
介して各ブロワケース38内に吸引し、このブロワケー
ス38から空気吐出孔42を介してロボットRB外に排
出するようにしている。
【0022】したがって、この実施形態においては、ロ
ボットRBの作動時、サーボモータ34の作動により駆
動プーリ27が回転し、この駆動プーリ27の回転によ
って昇降体17がカバー9内の昇降空間13内を左右の
フレーム4,4のレール15,15に案内されながらか
つ突出部材19を前側カバー部材10の昇降路12から
カバー9外に突出せしめた状態で昇降する。そして、上
記突出部材19の先端部に設けられたロボット本体20
の両アーム22,23及びクランプ装置24が作動し、
そのクランプ装置24により各種操作、例えば成膜用基
板のクランプ等が行われる。
ボットRBの作動時、サーボモータ34の作動により駆
動プーリ27が回転し、この駆動プーリ27の回転によ
って昇降体17がカバー9内の昇降空間13内を左右の
フレーム4,4のレール15,15に案内されながらか
つ突出部材19を前側カバー部材10の昇降路12から
カバー9外に突出せしめた状態で昇降する。そして、上
記突出部材19の先端部に設けられたロボット本体20
の両アーム22,23及びクランプ装置24が作動し、
そのクランプ装置24により各種操作、例えば成膜用基
板のクランプ等が行われる。
【0023】また、このようなロボットRBの作動中、
各フレーム4前側の旋回台2上に配置されたブロワ39
が作動する。このブロワ39の作動により、上記カバー
9内の昇降空間13内の空気が各フレーム4の吸気孔3
6,36,…を介してフレーム4内の空間5に流れ、こ
の空間5から各フレーム4の下端部前面の排気孔40を
経てブロワケース38内に吸引され、このブロワケース
38から旋回台2の空気吐出孔42を経てクリーンルー
ムR下部に排気される(尚、このブロワケース38から
空気吐出孔42を介してロボットRB外に排出された空
気は、クリーンルームR内のダウンフローによりルーム
Rのフロア面下側の空間(図示せず)に吸い込まれてク
リーンルームR外に排出される)。このことで、上記昇
降空間13内に昇降体17の昇降動作に伴って各プーリ
27〜29と歯付ベルト30との巻掛け部分に摩擦等に
よる塵が発生していても、その塵を含んだ汚れた空気は
昇降空間13からロボットRBの下部でクリーンルーム
Rに排出される。よって、上記昇降空間13内の汚れた
空気がそのままクリーンルームRの上下中間部でロボッ
トRBから放出されることはなく、ロボットRBによる
クリーンルームRの汚染を防止することができる。
各フレーム4前側の旋回台2上に配置されたブロワ39
が作動する。このブロワ39の作動により、上記カバー
9内の昇降空間13内の空気が各フレーム4の吸気孔3
6,36,…を介してフレーム4内の空間5に流れ、こ
の空間5から各フレーム4の下端部前面の排気孔40を
経てブロワケース38内に吸引され、このブロワケース
38から旋回台2の空気吐出孔42を経てクリーンルー
ムR下部に排気される(尚、このブロワケース38から
空気吐出孔42を介してロボットRB外に排出された空
気は、クリーンルームR内のダウンフローによりルーム
Rのフロア面下側の空間(図示せず)に吸い込まれてク
リーンルームR外に排出される)。このことで、上記昇
降空間13内に昇降体17の昇降動作に伴って各プーリ
27〜29と歯付ベルト30との巻掛け部分に摩擦等に
よる塵が発生していても、その塵を含んだ汚れた空気は
昇降空間13からロボットRBの下部でクリーンルーム
Rに排出される。よって、上記昇降空間13内の汚れた
空気がそのままクリーンルームRの上下中間部でロボッ
トRBから放出されることはなく、ロボットRBによる
クリーンルームRの汚染を防止することができる。
【0024】そのとき、上記昇降体17がカバー9内の
昇降空間13で昇降する際、その上昇端位置又は下降端
位置の近くでは、昇降体17のポンピング作用によって
昇降空間13内の上下端部の空気が押圧されて、昇降路
12からカバー9外に排出されることが懸念される。し
かし、この実施形態の場合、多数の吸気孔36,36,
…が各フレーム4の全体に亘り形成されているので、そ
の空気を積極的に吸気孔36,36,…から各フレーム
4の空間5内に吸引することができ、上記汚れた空気の
ロボットRB外への排出を有効に防止することができ
る。
昇降空間13で昇降する際、その上昇端位置又は下降端
位置の近くでは、昇降体17のポンピング作用によって
昇降空間13内の上下端部の空気が押圧されて、昇降路
12からカバー9外に排出されることが懸念される。し
かし、この実施形態の場合、多数の吸気孔36,36,
…が各フレーム4の全体に亘り形成されているので、そ
の空気を積極的に吸気孔36,36,…から各フレーム
4の空間5内に吸引することができ、上記汚れた空気の
ロボットRB外への排出を有効に防止することができ
る。
【0025】また、上記昇降体17は両フレーム4,4
間に各フレーム4の対向側に設けたレール15の案内に
より昇降可能に支持されているので、この昇降体17の
組立てやメンテナンスを行う際、このカバー9を取り外
して昇降体17の組立て等を行えばよく、それらの作業
を容易に行うことができる。
間に各フレーム4の対向側に設けたレール15の案内に
より昇降可能に支持されているので、この昇降体17の
組立てやメンテナンスを行う際、このカバー9を取り外
して昇降体17の組立て等を行えばよく、それらの作業
を容易に行うことができる。
【0026】さらに、上記両フレーム4,4は、旋回台
2後側の左右両側部に旋回中心Oを通る前後方向の面に
対して対称的に立設されているので、この両フレーム
4,4間に支持された昇降体17は旋回台2の旋回中心
Oに位置する。このことで昇降体17の旋回台2からの
突出を回避することができ、旋回台2を旋回中心O回り
に旋回させようとする際に、ロボットRB周りに昇降体
17の先端部と干渉を避ける空間領域を設ける必要はな
く、ロボットRBのスペース効率を高めることができ
る。
2後側の左右両側部に旋回中心Oを通る前後方向の面に
対して対称的に立設されているので、この両フレーム
4,4間に支持された昇降体17は旋回台2の旋回中心
Oに位置する。このことで昇降体17の旋回台2からの
突出を回避することができ、旋回台2を旋回中心O回り
に旋回させようとする際に、ロボットRB周りに昇降体
17の先端部と干渉を避ける空間領域を設ける必要はな
く、ロボットRBのスペース効率を高めることができ
る。
【0027】また、上記ブロワ39は、各フレーム4前
側の旋回台2上に配置されているので、上記昇降体17
の昇降動作の邪魔にならず、昇降体17の下降端位置を
旋回台2近くまで下げることができ、その昇降ストロー
クを大に確保することができる。しかも、ブロワ39を
各フレーム4前側の旋回台2上のデッドスペースに設置
しているので、そのブロワ39の旋回台2からの突出を
回避することができる。
側の旋回台2上に配置されているので、上記昇降体17
の昇降動作の邪魔にならず、昇降体17の下降端位置を
旋回台2近くまで下げることができ、その昇降ストロー
クを大に確保することができる。しかも、ブロワ39を
各フレーム4前側の旋回台2上のデッドスペースに設置
しているので、そのブロワ39の旋回台2からの突出を
回避することができる。
【0028】尚、上記実施形態では、前側カバー部材1
0の昇降路12を開放しているが、昇降体17の昇降動
作に連動する開閉体により閉じるようにしてもよい。
0の昇降路12を開放しているが、昇降体17の昇降動
作に連動する開閉体により閉じるようにしてもよい。
【0029】
【発明の効果】以上説明したように、請求項1の発明の
クリーンロボットによると、旋回台後側の左右両側部に
2本の中空フレームを略左右対称に立設し、これら両フ
レーム間にカバーを取り付け、このカバー内の昇降空間
に先端部に操作手段を有する昇降体を収容して、それを
フレームのレールによって昇降可能に支持するととも
に、各フレーム前側の旋回台上に空気吸引手段を配置
し、この吸引手段により上記カバー内の昇降空間の空気
を、昇降空間及び各フレーム内の空間を連通する吸気孔
と、各フレームの下端部前面に開口された排気孔とを介
して吸引排出するようにしたことにより、昇降体の組立
てやメンテナンスの容易化を図ることができるととも
に、昇降体の旋回台からの突出を回避してロボットのス
ペース効率の向上を図ることができる。さらには、空気
吸引手段の昇降体との干渉をなくして昇降体の大きな昇
降ストロークの確保を図ることができるとともに、空気
吸引手段の旋回台上のデッドスペースへの設置により空
気吸引手段の旋回台からの突出を回避することができ
る。
クリーンロボットによると、旋回台後側の左右両側部に
2本の中空フレームを略左右対称に立設し、これら両フ
レーム間にカバーを取り付け、このカバー内の昇降空間
に先端部に操作手段を有する昇降体を収容して、それを
フレームのレールによって昇降可能に支持するととも
に、各フレーム前側の旋回台上に空気吸引手段を配置
し、この吸引手段により上記カバー内の昇降空間の空気
を、昇降空間及び各フレーム内の空間を連通する吸気孔
と、各フレームの下端部前面に開口された排気孔とを介
して吸引排出するようにしたことにより、昇降体の組立
てやメンテナンスの容易化を図ることができるととも
に、昇降体の旋回台からの突出を回避してロボットのス
ペース効率の向上を図ることができる。さらには、空気
吸引手段の昇降体との干渉をなくして昇降体の大きな昇
降ストロークの確保を図ることができるとともに、空気
吸引手段の旋回台上のデッドスペースへの設置により空
気吸引手段の旋回台からの突出を回避することができ
る。
【0030】請求項2の発明によると、吸気孔を少なく
とも各フレームの上下端部に形成したことにより、昇降
体の昇降時の上昇端位置又は下降端位置の近くで昇降体
のポンピング作用によって昇降空間内の上下端部の空気
が押圧されても、その空気を積極的に吸気孔から各フレ
ームの中空空間内に吸引でき、汚れた空気のロボット外
への排出を有効に防止することができる。
とも各フレームの上下端部に形成したことにより、昇降
体の昇降時の上昇端位置又は下降端位置の近くで昇降体
のポンピング作用によって昇降空間内の上下端部の空気
が押圧されても、その空気を積極的に吸気孔から各フレ
ームの中空空間内に吸引でき、汚れた空気のロボット外
への排出を有効に防止することができる。
【図1】本発明の実施形態に係るクリーンロボットの一
部破断側面図である。
部破断側面図である。
【図2】図1のII−II線拡大断面図である。
RB クリーンロボット 2 旋回台 4 中空フレーム 5 空間 9 カバー 12 昇降路 13 昇降空間 15 レール 17 昇降体 19 突出部材 20 ロボット本体 24 クランプ装置(操作手段) 34 サーボモータ 36 吸気孔 39 ブロワ(空気吸引手段) 40 排気孔
Claims (2)
- 【請求項1】 旋回中心回りに旋回可能な旋回台と、 上記旋回台の後側の左右両側部に上記旋回中心を通る前
後方向の面に対して略左右対称に立設された2本の中空
フレームと、 上記両フレームの互いに対向する側に設けられた上下方
向に延びるレールと、 上記レール間に昇降可能に支持され、前方への突出部材
を有する昇降体と、 上記突出部材の先端部に設けられた操作手段と、 上記両フレーム間に取り付けられ、内部に上記昇降体を
昇降可能に収容する昇降空間が設けられているととも
に、上記突出部材を移動可能に挿通する昇降路が開口さ
れたカバーと、 上記カバー内の昇降空間と各フレーム内の空間とを連通
する吸気孔と、 上記各フレームの下端部前面にフレーム内外を連通する
ように開口された排気孔と、 上記各フレーム前側の旋回台上に配置され、上記排気孔
と接続された空気吸引手段とを備えたことを特徴とする
クリーンロボット。 - 【請求項2】 請求項1のクリーンロボットにおいて、 吸気孔は、少なくとも各フレームの上下端部に形成され
ていることを特徴とするクリーンロボット。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP09071373A JP3129985B2 (ja) | 1997-03-25 | 1997-03-25 | クリーンロボット |
US09/045,592 US5913722A (en) | 1997-03-25 | 1998-03-23 | Clean robot |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP09071373A JP3129985B2 (ja) | 1997-03-25 | 1997-03-25 | クリーンロボット |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH10264075A true JPH10264075A (ja) | 1998-10-06 |
JP3129985B2 JP3129985B2 (ja) | 2001-01-31 |
Family
ID=13458648
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP09071373A Expired - Fee Related JP3129985B2 (ja) | 1997-03-25 | 1997-03-25 | クリーンロボット |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US5913722A (ja) |
JP (1) | JP3129985B2 (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2001274218A (ja) * | 2000-03-23 | 2001-10-05 | Sankyo Seiki Mfg Co Ltd | ダブルアーム型ロボット |
JP2006198768A (ja) * | 2006-04-12 | 2006-08-03 | Nidec Sankyo Corp | ダブルアーム型ロボット |
JP2007030163A (ja) * | 2006-10-16 | 2007-02-08 | Nidec Sankyo Corp | ダブルアーム型ロボット |
Families Citing this family (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6390823B1 (en) | 1999-09-28 | 2002-05-21 | Humphrey E Wesenhagen | Golf alignment trainer |
TWI246501B (en) * | 2003-02-03 | 2006-01-01 | Murata Machinery Ltd | Overhead traveling carriage system |
US20050095976A1 (en) * | 2003-10-29 | 2005-05-05 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Co. | Design for LPT arm cover |
JP6220197B2 (ja) * | 2013-09-09 | 2017-10-25 | 川崎重工業株式会社 | ロボット |
CN110002373A (zh) * | 2019-03-15 | 2019-07-12 | 山东鲁能智能技术有限公司 | 变电站巡检机器人室内外自动传送系统及控制方法 |
TW202249142A (zh) * | 2021-02-25 | 2022-12-16 | 日商東京威力科創股份有限公司 | 基板搬送機構及基板搬送方法 |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS63162187A (ja) * | 1986-12-25 | 1988-07-05 | 三菱電機株式会社 | 防塵形産業用ロボツト装置 |
JPH01289685A (ja) * | 1988-05-10 | 1989-11-21 | Hitachi Electron Eng Co Ltd | 直線移動機構の塵埃発散防止機構 |
JPH0650784U (ja) * | 1992-12-15 | 1994-07-12 | 川崎重工業株式会社 | 内圧防爆型ロボット |
JPH0671087U (ja) * | 1991-03-14 | 1994-10-04 | 株式会社安川電機 | マスタ・スレーブ ロボット |
Family Cites Families (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5527390A (en) * | 1993-03-19 | 1996-06-18 | Tokyo Electron Kabushiki | Treatment system including a plurality of treatment apparatus |
JP3011034B2 (ja) * | 1994-10-31 | 2000-02-21 | 村田機械株式会社 | 自動倉庫 |
-
1997
- 1997-03-25 JP JP09071373A patent/JP3129985B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
1998
- 1998-03-23 US US09/045,592 patent/US5913722A/en not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS63162187A (ja) * | 1986-12-25 | 1988-07-05 | 三菱電機株式会社 | 防塵形産業用ロボツト装置 |
JPH01289685A (ja) * | 1988-05-10 | 1989-11-21 | Hitachi Electron Eng Co Ltd | 直線移動機構の塵埃発散防止機構 |
JPH0671087U (ja) * | 1991-03-14 | 1994-10-04 | 株式会社安川電機 | マスタ・スレーブ ロボット |
JPH0650784U (ja) * | 1992-12-15 | 1994-07-12 | 川崎重工業株式会社 | 内圧防爆型ロボット |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2001274218A (ja) * | 2000-03-23 | 2001-10-05 | Sankyo Seiki Mfg Co Ltd | ダブルアーム型ロボット |
JP2006198768A (ja) * | 2006-04-12 | 2006-08-03 | Nidec Sankyo Corp | ダブルアーム型ロボット |
JP2007030163A (ja) * | 2006-10-16 | 2007-02-08 | Nidec Sankyo Corp | ダブルアーム型ロボット |
JP4519824B2 (ja) * | 2006-10-16 | 2010-08-04 | 日本電産サンキョー株式会社 | ダブルアーム型ロボット |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP3129985B2 (ja) | 2001-01-31 |
US5913722A (en) | 1999-06-22 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP3129985B2 (ja) | クリーンロボット | |
KR100419198B1 (ko) | 공기조화기 | |
JP2019123024A (ja) | 産業用ロボット | |
JP2008074542A (ja) | 昇降装置 | |
KR20040043969A (ko) | 공기조화기의 슬라이딩 도어 구동장치 | |
JPH0413595A (ja) | クリーンロボット | |
JPH02232194A (ja) | クリーンロボット | |
JP3538671B2 (ja) | ハンド駆動機構およびそれを用いたロボット | |
JP2585091B2 (ja) | クリーンルーム間の搬送装置 | |
JP2006275349A (ja) | クリーンブース、およびクリーンブースのクリーン度調整方法 | |
KR200241494Y1 (ko) | 창문형 공기조화기의 상하풍향조절장치 | |
KR100737319B1 (ko) | 공기조화기 | |
JPH0525706Y2 (ja) | ||
KR100554280B1 (ko) | 공기조화기 | |
KR101582240B1 (ko) | 공기조화기 및 그 운전 방법 | |
KR20010111640A (ko) | 공기조화기의 토출구 개폐장치 | |
KR100416915B1 (ko) | 에어컨디셔너의 셔터 개폐장치 | |
KR101450565B1 (ko) | 공기조화기 | |
KR100280750B1 (ko) | 공기조화기의브레이드그릴개폐장치 | |
JP2623190B2 (ja) | クリーン倉庫 | |
JPH11180506A (ja) | クリーンロボット | |
KR100715535B1 (ko) | 공기조화기 | |
JP2017140743A (ja) | スクリーン印刷機 | |
JPH082615A (ja) | 荷保管設備 | |
KR20100051471A (ko) | 공기조화기 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20001024 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |