JPH10189503A

JPH10189503A - ウェーハ洗浄装置

Info

Publication number: JPH10189503A
Application number: JP34390396A
Authority: JP
Inventors: Satoru Minami; 悟南; Kenichi Nakaura; 健一中浦
Original assignee: Tokyo Seimitsu Co Ltd
Current assignee: Tokyo Seimitsu Co Ltd
Priority date: 1996-12-24
Filing date: 1996-12-24
Publication date: 1998-07-21
Anticipated expiration: 2016-12-24
Also published as: JP3209403B2

Abstract

(57)【要約】【課題】１つの洗浄槽で効果的にウェーハを洗浄するこ
とができるウェーハ洗浄装置の提供。【解決手段】洗浄槽１４に内に収容されたウェーハＷ
は、洗浄槽１４内に複数配設されたノズル２０Ａから洗
浄液を噴射されて洗浄される。このとき、ノズル２０Ａ
は、ウェーハＷの軸線方向に往復動するため、ノズル２
０Ａから噴射される洗浄液は、ウェーハ全体に渡って供
給され均一に供給される。また、ノズルから噴射される
洗浄液は、ウェーハＷとウェーハＷとの隙間に効果的に
入り込み、ウェーハＷ内部まで十部に洗浄することがで
きる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明はウェーハ洗浄装置に
係り、特にワイヤソーで櫛歯状に切断されたバッチ状態
のウェーハを洗浄するウェーハ洗浄装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】ワイヤソーでは、インゴットの切断に際
して、その切り終わり部分の欠損を防止するため、イン
ゴットにスライスベースを接着して切断している。この
ため、切り出されるウェーハは、全て１本のスライスベ
ースに接着された状態、いわゆるバッチ状態で切り出さ
れる。

【０００３】一方、ワイヤソーによる切断後の工程であ
る面取り工程や、ラッピング工程等は、すべてウェーハ
を１枚ごと処理するため、前記ワイヤソーで切断された
バッチ状態のウェーハは、スライスベースから剥離して
枚葉化する必要がある。このバッチ状態のウェーハの剥
離、枚葉化は、専用の剥離装置によって行われるが、ワ
イヤソーによる切断直後のウェーハは、切断時に付着し
たスラリやスラッジ等で極めて汚れた状態にある。この
ため、前記剥離装置による剥離、枚葉化に先立ち、前記
バッチ状態のウェーハを洗浄している。

【０００４】従来、この種のバッチ状態のウェーハの洗
浄方法としては、次のような方法が採用されていた。す
なわち、超音波発振装置を装備した複数の洗浄槽を用意
し、その洗浄槽に順次ウェーハを浸漬させて、段階的に
洗浄度を高めていくことにより、ウェーハを洗浄してい
た。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記の
ような方法でウェーハを洗浄すると、複数の洗浄槽が必
要となるため、装置が大型化するという欠点があった。
また、洗浄槽が多数になると、自動化した場合に、洗浄
槽間のウェーハの搬送装置が必要となり、これにより、
更に装置が大型化するという欠点があった。

【０００６】また、洗浄槽が多数になると、各洗浄槽ご
との洗浄液の管理（液量、液温、給液、排液等）が必要
となり、極めて面倒であるという欠点もある。本発明
は、このような事情に鑑みてなされたもので、１つの洗
浄槽で効果的にウェーハを洗浄することができるウェー
ハ洗浄装置を提供することを目的とする。

【０００７】

【課題を解決するための手段】本発明は、前記目的を達
成するために、ワイヤソーで切断されるとともに、スラ
イスベースにその一端が接着された状態のウェーハを洗
浄するウェーハ洗浄装置において、前記ウェーハが収容
される洗浄槽と、前記洗浄槽内に収容されたウェーハの
軸線方向に沿って移動自在に支持され、前記洗浄槽内に
収容されたウェーハに向けて洗浄液を噴射するノズル
と、前記ノズルを往復移動させる往復駆動手段と、から
なり、前記ノズルを往復移動させながら前記洗浄槽内に
収容されたウェーハに向けて洗浄液を噴射して前記ウェ
ーハを洗浄することを特徴とする。

【０００８】本発明によれば、洗浄槽内に収容されたウ
ェーハは、洗浄槽内に複数配設されたノズルから洗浄液
を噴射されて洗浄される。このとき、ノズルは、往復駆
動手段に駆動されてウェーハの軸線方向に往復動するの
で、ウェーハ全体に渡って洗浄液を噴射することがで
き、ウェーハを効果的に洗浄することができる。

【０００９】

【発明の実施の形態】以下添付図面に従って本発明に係
るウェーハ洗浄装置の好ましい実施の形態について詳説
する。図１、図２は、それぞれ本発明に係るウェーハ洗
浄装置の全体構成を示す正面図と側面図である。

【００１０】同図に示すように、前記ウェーハ洗浄装置
１０は、ウェーハＷの洗浄を行う洗浄装置本体１２と、
その洗浄装置本体１２にウェーハＷを搬出入するための
リフター６０とから構成されている。まず、洗浄装置本
体１２の構成について説明する。図３、図４は、それぞ
れ前記洗浄装置本体１２の正面図と平面図である。ま
た、図５、図６は、それぞれ図４のＡ−Ａ断面図とＢ−
Ｂ断面図である。

【００１１】図３〜図６に示すように、前記洗浄装置本
体１２は、上部が開口された洗浄槽１４を有している。
この洗浄槽１４の上部には、矩形状に形成された枠体１
６が、洗浄槽１４に一体固着されている。前記枠体１６
の内側には、枠体１６の長手方向に沿って一対の洗浄液
供給パイプ１８Ａ、１８Ｂが配設されている。この洗浄
液供給パイプ１８Ａ、１８Ｂは、前記枠体１６に図示し
ないブッシュを介して回動自在かつスライド自在に支持
されている。

【００１２】前記一対の洗浄液供給パイプ１８Ａ、１８
Ｂには、それぞれ６つのノズル２０Ａ、２０Ｂが、その
軸線方向に沿って一定ピッチで配設されている。また、
前記洗浄液供給パイプ１８Ａ、１８Ｂの一方端には、ジ
ョイント２２Ａ、２２Ｂを介して可撓性のチューブが連
結されている。このチューブ２４Ａ、２４Ｂには、図示
しない洗浄液供給装置が連結されており、該洗浄液供給
装置から供給された洗浄液が、前記チューブ２４Ａ、２
４Ｂを介して前記洗浄液供給パイプ１８Ａ、１８Ｂに供
給される。そして、その洗浄液供給パイプ１８Ａ、１８
Ｂに供給された洗浄液が、前記各ノズル２０Ａ、２０Ｂ
から噴射される。このノズル２０Ａ、２０Ｂから噴射さ
れた洗浄液が、前記洗浄槽１４内に収容されたウェーハ
Ｗに当たり、ウェーハＷがシャワー洗浄される。

【００１３】ところで、前述したように、前記洗浄液供
給パイプ１８Ａ、１８Ｂは、前記枠体１６に対して回動
自在かつスライド自在に支持されている。したがって、
この洗浄液供給パイプ１８Ａ、１８Ｂをスライドさせれ
ば、前記ノズル２０Ａ、２０Ｂも同時にスライド移動
し、回動させれば、同時に回動（揺動）する。この洗浄
液供給パイプ１８Ａ、１８Ｂのスライド及び回動は、前
記洗浄液供給パイプ１８Ａ、１８Ｂの一方端に設けれた
駆動ユニット２６Ａ、２６Ｂにより行われ、該駆動ユニ
ット２６Ａ、２６Ｂは、次のように構成される。なお、
駆動ユニット２６Ａと２６Ｂは、同一構成であるため、
駆動ユニット２６Ａの構成についてのみ説明する。

【００１４】図７は、駆動ユニット２６Ａの構成を示す
要部断面図である。同図に示すように、前記枠体１６の
側面には、円筒状に形成された支持部材２８Ａが固着さ
れている。この支持部材２８Ａの内周には、前記洗浄液
供給パイプ１８Ａが挿通されており、外周には、前記駆
動ユニット２６Ａの本体フレーム３０Ａ及び駆動ギア３
２Ａが回動自在に支持されている。

【００１５】前記本体フレーム３０Ａには、前記洗浄液
供給パイプ１８Ａと平行してボールネジ３４Ａが回動自
在に支持されている。このボールネジ３４Ａには、ナッ
ト部材３６Ａが螺合されており、該ナット部材３６Ａ
は、前記洗浄液供給パイプ１８Ａに連結されている。ま
た、前記ボールネジ３４Ａの一方端には、従動ギア３８
Ａが固着されており、該従動ギア３８Ａは、前記支持部
材２８Ａに回動自在に支持された駆動ギア３２Ａに噛合
されている。

【００１６】以上の構成により、前記駆動ギア３２Ａが
回転すると、その回転が従動ギア３８Ａに伝達され、該
従動ギア３８Ａに固着されたボールネジ３４Ａが回転す
る。そして、このボールネジ３４Ａが回転することによ
り、該ボールネジ３４Ａに螺合されたナット部材３６Ａ
がボールネジ３４Ａに沿って移動し、この結果、洗浄液
供給パイプ１８Ａがその軸線に沿ってスライド移動す
る。

【００１７】ここで、前記駆動ギア３２Ａは、図３に示
すように、前記洗浄槽１４の側面に設けられたモータ４
０の回転をタイミングベルト４２を介して伝達し、これ
により回転駆動している。このため、前記駆動ギア３２
Ａには、図７に示すように、前記タイミングベルト４２
を巻きかけるためのプーリ４４Ａが一体形成されてい
る。

【００１８】なお、前記モータ４０には、正逆回転可能
なモータが用いられ、一定間隔で正転と逆転を繰り返す
ことにより、前記洗浄液供給パイプ１８Ａは、その軸線
に沿って往復移動する。以上の構成が前記洗浄液供給パ
イプ１８Ａをスライド移動させる機構であり、次に、洗
浄液供給パイプ１８Ａを揺動させる機構について説明す
る。

【００１９】図３に示すように、前記洗浄槽１４の側面
には、一対の油圧シリンダ４６Ａ、４６Ｂが、それぞれ
ブラケット４８Ａ、４８Ｂを介して揺動自在に支持され
ている。この一対の油圧シリンダ４６Ａ、４６Ｂのロッ
ド先端部は、前記揺動ユニット２６Ａ、２６Ｂの本体フ
レーム３０Ａ、３０Ｂにピンによって連結されている。
したがって、この一対の油圧シリンダ４６Ａ、４６Ｂを
駆動し、そのロッドを伸縮させることにより、前記本体
フレーム３０Ａ、３０Ｂは、前記支持部材２８Ａ、２８
Ｂを中心に回動する。

【００２０】ここで、前記洗浄液供給パイプ１８Ａ、１
８Ｂは、前記本体フレーム３０Ａ、３０Ｂに、ナット部
材３６Ａ、３６Ｂを介して連結されているので、前記本
体フレーム３０Ａ、３０Ｂが回動することにより、連動
して回動する。このように、前記洗浄液供給パイプ１８
Ａ、１８Ｂは、前記モータ４０を駆動することにより、
その軸線に沿って往復動し、油圧シリンダ４６Ａ、４６
Ｂを駆動することにより回動する。

【００２１】前記ノズル２０Ａ、２０Ｂは、この洗浄液
供給パイプ１８Ａ、１８Ｂに設けられているので、この
洗浄液供給パイプ１８Ａ、１８Ｂが往復動することによ
り往復動し、回動することにより回動（上下方向に揺
動）する。このように、前記ノズル２０Ａ、２０Ｂが横
方向にスライド及び上下方向に揺動することにより、該
ノズル２０Ａ、２０Ｂから噴射される洗浄液も横方向に
スライド及び上下方向に揺動する。このため、噴射した
洗浄液が周囲に飛散するおそれがある。この周囲への洗
浄液の飛散を防止するために、次のような蓋５０が設け
られている。

【００２２】図４及び図５に示すように、前記蓋５０
は、前記枠体１６を覆うような矩形状に形成され、その
基端部には、一対の回転軸５０Ａ、５０Ａが固着されて
いる。この回転軸５０Ａ、５０Ａは、前記枠体１６に設
けられた軸受５２、５２に回動自在に支持されており、
うち一方の回転軸５０Ａ（図４中右側）には、ロータリ
ーシリンダー５４が連結されている。前記蓋５０は、こ
のロータリーシリンダー５４を駆動することにより前記
回転軸５０Ａ、５０Ａを中心に揺動し、これにより、前
記蓋５０は、前記洗浄槽１４の上部開口部を開閉する。

【００２３】なお、図６に示すように、前記洗浄槽１４
の上端部は、前記蓋５０を閉めると、その両端部に所定
の隙間が形成されるが、これは、後述するリフター６０
のワーク保持部７４、７４を通すための隙間である。し
たがって、この蓋５０の幅は、前記ワーク保持部７４、
７４の間隔よりも狭く形成される。以上の構成により、
前記ノズル２０Ａ、２０Ｂから噴射された洗浄液は、前
記洗浄槽１４該に飛散することが防止できる。一方、前
記洗浄槽１４内に噴射された洗浄液は、該洗浄槽１４内
に収容されたウェーハＷに当たり、該ウェーハＷを洗浄
するが、ウェーハＷを洗浄した後の洗浄液は、自重によ
り洗浄槽１４内に落下する。そして、この洗浄槽１４内
に落下した洗浄液は、テーパ状に形成された洗浄槽１４
の底面１４Ａ、１４Ａで中央部に回収され、その後、洗
浄槽１４の側面部に形成された排出口５６を介して外部
に排出される。

【００２４】なお、図６に示すように、前記排出口５６
には、電磁弁５８が設けられている。この電磁弁５８を
駆動して、前記排出口５６を閉鎖することにより、前記
ノズル２０Ａ、２０Ｂから噴射された洗浄液は排出がで
きなくなり、この結果、前記洗浄槽１４内には、洗浄液
を貯留することが可能になる。前記洗浄装置本体１２
は、以上のように構成され、次に、前記洗浄装置本体１
２にウェーハＷを搬出入するためのリフター６０の構成
について説明する。

【００２５】図１及び図２に示すように、前記洗浄槽１
４の近傍には、コラム６２が垂直に立設されている。こ
のコラム６２の側面には、一対のガイドレール６４、６
４が敷設されており、該ガイドレール６４、６４には、
スライダー６６、６６を介して昇降ベース６８がスライ
ド自在に支持されている。前記コラム６２の近傍には、
コラム６２と平行に昇降用シリンダ７０が設けられてい
る。この昇降用シリンダ７０のロッド先端部は、前記昇
降ベース６８の上端部に設けられた連結部材６８Ａに連
結されている。したがって、前記昇降用シリンダ７０を
駆動することにより、前記昇降ベース６８は前記ガイド
レール６４、６４に沿って昇降移動する。

【００２６】前記昇降ベース６８には、一対のアーム７
２、７２が水平に固着されている。この一対のアーム７
２、７２の先端部には、Ｌ字状に形成されたワーク保持
部７４、７４が固着されており、該ワーク保持部７４、
７４は、前記洗浄槽１４の上方に位置している。前記ウ
ェーハＷは、このワーク保持部７４、７４に保持され
て、前記洗浄槽１４内に搬出入されるが、その保持は、
次のように行われる。

【００２７】ワイヤソーでインゴットを切断するに際し
て、インゴットは、その切り終わり部分の欠損を防止す
るためにスライスベースＳが接着される。そして、この
スライスベースＳには、インゴットをワイヤソーに搭載
するためのワークブロックが接着される。このため、切
断されるウェーハは、スライスベースＳに接着された状
態で切断され、ワークブロックに接着された状態でワイ
ヤソーから搬出される。

【００２８】本実施の形態のウェーハ洗浄装置１０も前
記ウェーハＷをワークブロックＢに接着した状態で洗浄
する。このため、前記ウェーハＷの保持も前記ワークブ
ロックＢを介して行われる。ここで、図５に示すよう
に、前記ワーク保持部７４、７４には、前記ワークブロ
ックＢを保持するための、溝７４Ａ、７４Ａが形成され
ており、該溝７４Ａ、７４Ａに前記ワークブロックＢの
両端部を嵌合させることにより、前記ワークブロックＢ
は、前記ワーク保持部７４、７４に保持される。

【００２９】前記リフター６０は、以上のように構成さ
れ、ウェーハＷが搭載された昇降ベース６８を、昇降用
シリンダ７０で昇降移動さることにより、前記ウェーハ
Ｗの前記洗浄槽１４内への搬出入が行われる。なお、こ
のリフター６０によって前記洗浄槽１４内に搬入される
ウェーハＷは、洗浄槽１４の長手方向に沿って洗浄槽１
４内に搬入される。したがって、洗浄槽１４内に搬入さ
れたウェーハＷは、その軸線の方向が、前記洗浄槽１４
内に配設された洗浄液供給パイプ１８Ａ、１８Ｂの軸線
の方向と一致する。

【００３０】前記のごとく構成された本発明に係るウェ
ーハ洗浄装置の実施の形態の作用は次の通りである。ま
ず、ワイヤソーによる切断終了後、そのワイヤソーで切
断されたウェーハＷをワイヤソーから取り出し、図示し
ない搬送装置で当該ウェーハ洗浄装置１０まで搬送す
る。そして、そのウェーハＷをリフター６０に搭載す
る。すなわち、ウェーハＷが接着されたワークブロック
Ｂを前記リフター６０のワーク保持部７４、７４に保持
させる。このウェーハＷのリフター６０への搭載後、ウ
ェーハ洗浄装置１０は稼働される。

【００３１】なお、この時、前記リフター６０の昇降ベ
ース６８は、最上部の位置に位置しており、洗浄槽１４
の蓋５０は開いた状態にある。また、前記洗浄槽１４内
に配設された各ノズル２０Ａ、２０Ｂは、図５に二点破
線で示すように、その噴射口が鉛直下向きに向いた状態
にある。前記ウェーハ洗浄装置１０を稼働すると、ま
ず、昇降用シリンダ７０が駆動され、昇降ベース６８が
洗浄槽１４に向かって下降する。昇降ベース６８が下降
することにより、前記ウェーハ６８も同時に下降し、こ
れにより、ウェーハＷが洗浄槽１４内に収容される。

【００３２】そして、前記ウェーハＷが、前記洗浄槽１
４の所定の位置まで下降すると、前記昇降用シリンダ７
０の駆動は停止され、その位置でウェーハＷは停止す
る。この結果、前記ウェーハＷは、前記洗浄槽１４内の
所定の位置に収容される。前記昇降用シリンダ７０の駆
動が停止されると、次に、ロータリーシリンダー５４が
駆動され、洗浄槽１４に蓋５０が閉められる。なお、こ
の蓋５０の幅は、前記ワーク保持部７４、７４の間隔よ
りも狭く形成されているため、蓋５０を閉めても前記ワ
ーク保持部７４、７４に蓋５０が当たることはない。

【００３３】前記洗浄槽１４に蓋５０が閉め終わると、
次に、ノズル２０Ａ、２０Ｂを揺動させる油圧シリンダ
４６Ａ、４６Ｂが駆動され、ノズル２０Ａ、２０Ｂが、
図５に示す二点破線の位置から実線の位置まで移動す
る。なお、前記実線で示したノズル２０Ａ、２０Ｂの位
置は、ノズル２０Ａ、２０Ｂから洗浄液を噴射したとき
に、その噴射された洗浄液が、ウェーハＷとスライスベ
ースＳとの接着部分に当たるような位置に設定されてい
る。

【００３４】また、前記ウェーハＷの搬入時に、前記ノ
ズル２０Ａ、２０Ｂを図５中二点破線で示す位置に退避
させておくのは、洗浄槽１４の上部から搬入されてくる
ウェーハＷが、ノズル２０Ａ、２０Ｂと接触しないよう
にするためである。前記ノズル２０Ａ、２０Ｂが、図５
に実線で示す位置まで移動すると、洗浄が開始される。
すなわち、図示しない洗浄液供給装置から洗浄液が、洗
浄液供給パイプ１８Ａ、１８Ｂに供給され、その洗浄液
供給パイプ１８Ａ、１８Ｂに供給された洗浄液が、前記
各ノズル２０Ａ、２０Ｂから噴射される。

【００３５】前記洗浄槽１４内に収容されたウェーハＷ
は、このノズル２０Ａ、２０Ｂから噴射される洗浄液に
よってシャワー洗浄されるが、このシャワー洗浄時に前
記ノズル２０Ａ、２０Ｂは、次のように駆動される。す
なわち、前記ノズル２０Ａ、２０Ｂは、停止した状態で
は、一か所にしか洗浄液を当てることができないため、
洗浄が不十分になる。このため、モータ４０で駆動ユニ
ット２６Ａ、２６Ｂを駆動し、ノズル２０Ａ、２０Ｂを
ウェーハＷの軸線に沿って往復移動させる。

【００３６】これにより、洗浄槽１４内に収容されたウ
ェーハＷには、ウェーハ全体に均一的に洗浄液が当た
り、洗浄残しを生ずることはない。また、ノズル２０
Ａ、２０Ｂから噴射される洗浄液は、ウェーハＷとウェ
ーハＷとの隙間に効果的に入り込み、その水圧で内部ま
で十分に洗浄することができる。

【００３７】このノズル２０Ａ、２０Ｂによるシャワー
洗浄は、一定時間継続して行われ、所定時間経過後、洗
浄液の供給が停止されて作業は終了する。なお、この洗
浄時に噴射された洗浄液は、洗浄槽１４で底部で回収さ
れたのち、排出口５６から外部に排出される。前記シャ
ワー洗浄が終了すると、ノズル２０Ａ、２０Ｂを揺動さ
せる油圧シリンダ４６Ａ、４６Ｂが駆動され、ノズル２
０Ａ、２０Ｂが、図５に実線で示す位置から二点破線で
示す位置まで移動する。これと同時に、ロータリーシリ
ンダー５４が駆動され、洗浄槽１４から蓋５０が開けら
れる。

【００３８】前記蓋５０が開けられると、昇降用シリン
ダ７０が駆動され、昇降ベース６８が上昇して、洗浄槽
１４内から洗浄されたウェーハＷが搬出される。以上の
一連の工程でウェーハ洗浄装置１０による洗浄は終了
し、ワーク保持部７４、７４からウェーハＷを取り外
す。そして、次に洗浄するウェーハＷがある場合は、同
様の工程で洗浄作業を行う。

【００３９】このように、本実施の形態のウェーハ洗浄
装置１０によれば、ノズル２０Ａ、２０Ｂから噴射する
洗浄液でウェーハＷを洗浄することにより、ウェーハＷ
とウェーハＷとの隙間まで十分に洗浄することができ
る。また、洗浄槽１４は、１つだけなので、従来の洗浄
装置に比べ、装置自体をコンパクトに構成することがで
きる。

【００４０】なお、次のような、洗浄方法を採用するこ
とにより、より効果的なウェーハＷの洗浄を行うことが
できる。すなわち、上述した実施の形態では、シャワー
洗浄時、ノズル２０Ａ、２０Ｂは、ウェーハＷの軸線に
沿って往復移動させるだけであった。しかしながら、ノ
ズル２０Ａ、２０Ｂは、油圧シリンダ４６Ａ、４６Ｂを
駆動することにより、その上下方向に沿って揺動させる
ことができる。これを利用し、前記シャワー洗浄時に、
ノズル２０Ａ、２０ＢをウェーハＷの軸線に沿って往復
移動させるだけではなく、上下方向に揺動させながら洗
浄液を噴射する。

【００４１】この結果、ウェーハＷには、洗浄液が全体
として満遍なく供給され、より効果的にウェーハＷを洗
浄することができる。なお、このノズル２０Ａ、２０Ｂ
の揺動は、上述した例のごとく、ノズル２０Ａ、２０Ｂ
の横方向のスライドと組み合わせて行ってもよいし、単
独で行ってもよい。

【００４２】また、横方向のスライド→上下方向の揺動
→横方向のスライドと上下方向の揺動の組合せ、という
順で１サイクルを構成し、このサイクルを繰り返し行う
ようにしてもよい。また、本実施の形態のウェーハ洗浄
装置１０では、電磁弁５８を閉めることにより、洗浄槽
１４内に洗浄液を貯留することができるので、次のよう
な洗浄方法を実施することもできる。

【００４３】すなわち、前記実施の形態で説明したシャ
ワー洗浄の後、該シャワー洗浄時に供給した洗浄液を全
て洗浄槽１４から排出し、電磁弁５８を閉める。そし
て、ノズル２０Ａ、２０Ｂから再び洗浄液を噴射し、そ
の噴射した洗浄液を洗浄槽１４内に貯留する。洗浄液が
所定水位（ウェーハ全体が浸漬する程度）まで溜まった
ら、洗浄液の噴射を停止する。そして、昇降用シリンダ
７０を駆動して、ウェーハＷを洗浄液中で上下動させ
る。すなわち、揺動洗浄を行う。

【００４４】これにより、ウェーハＷとウェーハＷとの
間に溜まった汚れを効果的に洗い流せることができる。
この揺動洗浄は、一定時間継続して行い、所定時間経過
後に、昇降用シリンダ７０の駆動を停止し、電磁弁５８
を開けて、排水する。このように、前記実施の形態で説
明したシャワー洗浄に揺動洗浄を組み合わせることによ
り、より効果的なウェーハの洗浄を行うことができる。

【００４５】また、この揺動洗浄後に、更にもう一度シ
ャワー洗浄を行うことにより、より完全なウェーハの洗
浄を行うことができる。なお、図示しないが、前記洗浄
槽１４の周囲に超音波発振装置を設け、前記揺動洗浄時
に、この超音波発振装置から超音波を発振して超音波洗
浄を行うようにしてもよい。これにより、更に洗浄効果
が向上する。

【００４６】また、この超音波洗浄は、前記揺動洗浄と
併用してもよいし、単独で行ってもよい。

【００４７】

【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
１つの洗浄槽で効果的にウェーハを洗浄することができ
る。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係るウェーハ洗浄装置の全体構成を示
す正面図

【図２】本発明に係るウェーハ洗浄装置の全体構成を示
す側面図

【図３】洗浄装置本体の正面図

【図４】洗浄装置本体の平面図

【図５】図４のＡ−Ａ断面図

【図６】図４のＢ−Ｂ断面図

【図７】駆動ユニットの構成を示す要部拡大図

【符号の説明】

１０…ウェーハ洗浄装置１２…洗浄装置本体１４…洗浄槽１６…枠体１８Ａ、１８Ｂ…洗浄液供給パイプ２０Ａ、２０Ｂ…ノズル２６Ａ、２６Ｂ…駆動ユニット５０…蓋５６…排水口５８…電磁弁６０…リフター６８…昇降ベース７０…昇降用シリンダ７４…ワーク保持部Ｂ…ワークブロックＷ…ウェーハ

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】ワイヤソーで切断されるとともに、スラ
イスベースにその一端が接着された状態のウェーハを洗
浄するウェーハ洗浄装置において、前記ウェーハが収容される洗浄槽と、前記洗浄槽内に収容されたウェーハの軸線方向に沿って
移動自在に支持され、前記洗浄槽内に収容されたウェー
ハに向けて洗浄液を噴射するノズルと、前記ノズルを往復移動させる往復駆動手段と、からな
り、前記ノズルを往復移動させながら前記洗浄槽内に収
容されたウェーハに向けて洗浄液を噴射して前記ウェー
ハを洗浄することを特徴とするウェーハ洗浄装置。
【請求項２】ワイヤソーで切断されるとともに、スラ
イスベースにその一端が接着された状態のウェーハを洗
浄するウェーハ洗浄装置において、前記ウェーハが収容され、洗浄液の貯水と排水が可能な
洗浄槽と、前記洗浄槽に対して上下動自在に設けられ、前記洗浄槽
内に収容されるウェーハを支持する支持部材と、前記支持部材を上下動させる上下駆動手段と、前記洗浄槽内に収容されたウェーハの軸線方向に沿って
移動自在に支持され、前記洗浄槽内に収容されたウェー
ハに向けて洗浄液を噴射するノズルと、前記ノズルを往復移動させる往復駆動手段と、からな
り、前記ノズルを往復移動させながら前記洗浄槽内に収
容されたウェーハに向けて前記洗浄液を噴射して前記ウ
ェーハを洗浄するとともに、その洗浄液の噴射洗浄後、
前記洗浄槽内に洗浄液を貯留し、前記ウェーハを上下動
させて前記ウェーハを洗浄することを特徴とするウェー
ハ洗浄装置。
【請求項３】前記ノズルを上下方向に揺動自在に支持
するとともに、該ノズルを揺動させる揺動駆動手段を設
けたことを特徴とする請求項１又は２記載のウェーハ洗
浄装置。
【請求項４】前記洗浄槽に超音波発振装置を設けたこ
とを特徴とする請求項２記載のウェーハ洗浄装置。