JP3004334U - 水平コンベア式連続洗浄装置 - Google Patents

水平コンベア式連続洗浄装置

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Abstract

(57)【要約】 【目的】 被洗浄物の洗浄,乾燥が短時間に連続して自
動的に行われ、確実、かつ安定した洗浄,乾燥が出来、
かつ小型にまとめられる水平コンベア式連続洗浄装置を
提供する。 【構成】 水平に配置されるネット状の水平コンベア2
の入り口側から出口側に向かって洗浄部3,水切り部4
および乾燥部5を隣接して配列し、洗浄部3は独立の洗
浄槽11を有すると共に洗浄槽11の洗浄液19の水平
を一定に保持する水位保持手段が設けられ、被洗浄物9
は水平コンベア2上に搭載され、洗浄部3で超音波振動
等により洗浄され、被洗浄物9の形状等に対応して配置
される水切り部で十分に水切りされる。

Description

【考案の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】
本考案は、切粉,研磨剤,塵埃等の汚物が付着している被洗浄物を連続的に、 かつ完全に清浄化する小型の水平コンベア式連続洗浄装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
図7に従来使用されている超音波洗浄装置1bを示す。当該装置1bはローラ 8bに案内されて循環移動するエンドレスネットコンベア2bと、エンドレスネ ットコンベア2bの下部に配置される超音波振動子10b,10bと、前記エン ドレスコンベア2bの一部と超音波振動子10b,10bを浸漬させる洗浄槽5 4等から構成される。なお、エンドレスネットコンベア2bは洗浄液19の通過 可能な隙間を有するネット状のものからなり、洗浄槽54内に浸漬している部分 は下り傾斜および上り傾斜に形成される。被洗浄物9はエンドレスネットコンベ ア2b上に搭載され、洗浄槽54内で超音波振動子10b,10bにより超音波 洗浄される。しかしながら、この装置の場合には次のような問題点がある。前記 したようにエンドレスネットコンベア2bは傾斜して配置されているため搭載さ れた被洗浄物9がコンベアの移動中に転倒し、洗浄が不十分になったり、欠け, 割れが生じ不良品になる問題点が生じる。このため、水平コンベア2bの傾斜角 度をゆるくする必要があるが、その分だけ洗浄槽54やエンドレスネットコンベ ア2bの長さが長くなり装置全体が大型化するという問題点がある。
【0003】 以上の問題点を解決した公知技術として特開平4−176379号公報および 特開平5−220459号公報に開示する技術がある。特開平4−176379 号公報に開示する「連続超音波洗浄装置」は被洗浄物を搬送するネットコンベア と、ネットコンベア搬送方向に沿って予備洗浄シャワ、超音波洗浄槽、洗浄シャ ワ、エアーブローおよび乾燥装置を隣接して配置し、かつ乾燥装置を除く部分に 共通の受蓄槽を配置した連続洗浄装置から構成される。また、特開平5−220 459号公報の「連続超音波洗浄装置」は、全体構造としては特開平4−176 379号公報のものとほぼ同一構成のものから形成されるが、ネットコンベアを 上下に設け、上下のネットコンベア間で被洗浄物を挟持しながら搬送し、被洗浄 物の移動及び飛散を防止することに特徴を有するものである。
【0004】
【考案が解決しようとする課題】
前記の公知技術はいずれも特徴を有し、被洗浄物を転動させたり、破損したり しないで十分な洗浄を行うことが出来るものであるが次のような問題点がある。 すなわち、洗浄部で被洗浄物を確実に洗浄するには洗浄液の安定供給が必要であ る。特に、超音波振動による洗浄の場合には洗浄槽の水位が一定であることが必 要である。前記公知技術においてもこの点に関して配慮はされているがその構造 が不明確であり、洗浄槽の水位の安定化の手段が不明確である。また、洗浄槽が 大きく、水位コントロールが高精度に行われにくい問題点を有している。また、 エアーブローに関しても構造説明が不十分であり、被洗浄物の形状によっては水 切りが不十分となる問題点がある。また、乾燥装置に関しても遠赤外線ヒータの みを使用するもので十分な乾燥が行われない場合も生じる。また、特開平5−2 20459号公報は上下のネットコンベアの同期制御が必要になり、装置構造が 複雑で高価なものになる問題点がある。
【0005】 本考案は、以上の問題点を解決するもので被測定物の洗浄,乾燥が連続して行 われ洗浄槽における水位の安定保持が確実に行われ、安定した洗浄が行われ、洗 浄物の形状に関係なく被洗浄物の水切りが完全に行われるようにした水平ネット コンベア式連続洗浄装置を提供することを目的とする。
【0006】
【課題を解決するための手段】
本考案は、以上の目的を達成するために、被洗浄物を水平に配置されるコンベ アの入口側から出口側まで移動する間に当該被洗浄物の洗浄と乾燥を完了させる 連続洗浄装置であって、洗浄液の通過可能な隙間を有し前記入口側から出口側間 を循環移動する水平コンベアと、前記被洗浄物に洗浄液を加圧して洗浄を行う洗 浄部の第一工程と、被洗浄物に付着する洗浄液を噴出空気で除去する水切りノズ ルを有する水切り部の第二工程とをそれぞれ隣接して設け、前記洗浄部には専有 の洗浄槽の水位を一定に保持する水位保持手段が付設されてなる水平コンベア式 連続洗浄装置を構成する。また、具体的に、前記洗浄部が超音波振動による洗浄 部であることを特徴とする。更に、具体的に、水平に配置したコンベア上に被洗 浄物を搭載し、当該被洗浄物が前記コンベアの入口側から出口側まで移動する間 に当該被洗浄物の洗浄,乾燥を完了させる連続洗浄装置であって、洗浄液の通過 可能な隙間を有し前記入口側と出口側間を循環移動する水平コンベアと、前記被 洗浄物の荒汚れを除去する高圧シャワを設けた予備洗浄部の第一工程と、超音波 振動子で被洗浄物の超音波洗浄を行う超音波洗浄部の第二工程と、被洗浄物の仕 上げ洗浄を行うリンス洗浄部の第三工程と、被洗浄物に付着する洗浄液を除去す る空気を噴出する水切りノズルを有する水切り部の第四工程とから構成され、前 記各洗浄部はそれぞれ専有の洗浄槽を有し、少なくとも前記超音波洗浄部には当 該洗浄槽内の洗浄液の水位を一定に保持する水位保持手段が付設されてなる水平 コンベア式連続洗浄装置を構成するものである。また、前記水切り部の水切りノ ズルは水平コンベアの横巾を超えるスリット状噴出口を有するものからなり、前 記水切りノズルは水平コンベアに近接又は離隔方向に移動可能に、かつ回動可能 に不動側に支持されるものであることを特徴とする。
【0007】
【作用】
被洗浄物は水平に配置されたコンベア上を入口側から出口側に向かって搬送さ れる。被洗浄物は水位が一定に保持された洗浄部で超音波振動等により十分に洗 浄される。被洗浄物はその形状に対応して設けられた水切りノズルにより各部を 十分にエアーブローされた後、被洗浄物に対応して配置された遠赤外線ヒータよ り十分に乾燥される。以上により、従来装置に較べてより確実で、かつ効率的な 洗浄,乾燥を行うことが出来る。
【0008】
【実施例】
以下、本考案の実施例を図面に基づき説明する。図1は本考案の請求項1に対 応する実施例の全体構成図、図2は本考案の請求項3に対応する実施例の全体構 成図、図3は水切り部の水切りノズルの実施例を示す斜視図、図4は水切りノズ ルの回動、移動機構を示す側面図、図5は図1の洗浄槽内の超音波振動子の配置 を示す部分構成図、図6は洗浄槽の洗浄液入口まわりの詳細構造を示す斜視図で ある。
【0009】 図1に示すように、本実施例の水平コンベア式連続洗浄装置1は水平に配設さ れる水平コンベア2と、第一工程の洗浄部3と、第二工程の水切り部4とから構 成される。なお、第一工程と第二工程では互いに隣接して配置される。また、洗 浄部3には、その水位を一定に保持するための水位保持手段の1つである流量調 整弁27が貯液槽7と洗浄槽3間に介設される。
【0010】 水平コンベア2は第一工程から第二工程にわたり入口側から出口側まで水平に 配置され、かつローラ8や図略の駆動源等を介して循環移動可能に配設される。 また、水平コンベア2は洗浄液が通過可能な隙間を有するもの、例えばネットコ ンベアから形成される。被洗浄物9は水平コンベア2の入口側で搭載され、第一 工程から第二工程まで移送されて洗浄,乾燥される。
【0011】 第一工程の洗浄部3は、本実施例では超音波振動により被洗浄物9を洗浄する ものからなる。図5に示すように水平コンベア2を挾んで上下に一対の超音波振 動子10,10が配設され、これ等は洗浄槽11内に収納される。なお、超音波 振動子10,10は水平コンベア2に極力近接して配置されることが望ましい。 洗浄槽11には下部に洗浄液の入口部12があり、底部に出口部13がある。図 6に示すように入口12はスリット状の孔41を多数本貫通形成する筒42に連 通する。洗浄液は孔41から放射状に洗浄槽11内ら導入される。また、汚水の 沈殿物5は出口部13より排出される。また、洗浄槽11の両側に排液部14, 14がそれぞれ形成される。排液部14,14は予備洗浄槽15,15に連通し 、予備洗浄槽15,15の下方には出口部16,16が形成される。
【0012】 貯液槽7はバルブ17を介して洗浄液供給源18に連通する。また、槽内には フロート弁6が配置され、槽内の洗浄液19の水位を一定に保持する。また、貯 液槽7には液出口部20とオーバフロー液排液部21および液戻り口22が設け られると共に、排液部23および排液用バルブ24がそれぞれ設けられている。 液出口部20からポンプ25(Pで示す)により送出された洗浄液はフィルタ2 6(Fで示す)および開閉弁27を介して第一工程の洗浄槽11の入口部12か ら槽内に供給される。槽内の洗浄液19は出口部13から開閉弁28を介して貯 液槽7側に戻入されると共に排液部14,14から予備洗浄槽15,15に入り 出口部16,16を介して貯液槽7内に戻入される。貯液槽7からオーバフロー した洗浄液19および貯液槽7の水分等は排液用バルブ24を介して排液槽29 側に排出される。以上の洗浄液の循環径路において洗浄液供給源18からの供給 量やバルブ17,開閉弁27,28等の開度およびポンプ25の駆動条件とフロ ート弁6の位置調整により、第一工程の洗浄槽11内の洗浄液19の水位を一定 に保持することが出来る。
【0013】 第二工程の水切り部4は水平コンベア2を挾んで上下に複数個配設される水切 りノズル30と、適量の空気を送るブロワー31等からなる。ブロワー31から の空気は容量制御弁32を介してフード33に送られ、フード33から各水切り ノズル30側に均等に分配される。
【0014】 本実施例では水切りノズル30は図3および図4に示すように被洗浄物9の完 全な水切りを行うために特別な工夫がされている。すなわち、図3に示すように 、水切りノズル30は横巾の広いスリット状噴出口34を有するものからなる。 このスリット状噴出口34は水平コンベア2の横巾bを超える巾長を有するもの からなる。これにより、水平コンベア2上のすべての被洗浄物9(図1)に対し 十分な空気を当てることが出来る。次に、図4に示すように、それぞれの水切り ノズル30は回動および上下動可動に形成される。水切りノズル30の基端側は スライドブロック35の先端側に回動可能に支持され、回動モータ36により回 動自在に駆動される。一方、スライドブロック35は不動側のスライドレール3 7に上下動可能に支持され、上下動モータ38および送りねじ軸39等により上 下動する。回動モータ36および上下動モータ38は制御手段40により自動制 御される。制御手段40は被洗浄物9の形状に応じて水切りノズル30の回動角 度の調整と上下位置の調整を行う。これにより、任意の形状の被洗浄物9の完全 水切りが行われる。
【0015】 次に、本実施例の水平コンベア式連続洗浄装置1による被洗浄物の洗浄および 乾燥方法を簡単に説明する。水平コンベア2の入口側に搭載された被洗浄物9は 水平コンベア2に搬送され、第一工程の洗浄部3に入る。被洗浄物は一定の水位 の洗浄槽11内の超音波振動子10による超音波作用による洗浄液19により加 圧され、付着していた切粉,研磨粒,塵埃等を除去される。前記したように洗浄 液19は供給,排出を繰り返しながら循環し、常に一定の水位を保持するため安 定、かつ確実な洗浄が行われる。なお、洗浄槽11内における超音波振動子10 の配置は洗浄効果に大きく影響する。前記したように超音波振動子は被洗浄物9 に極力近づけて配置することがよく、また、図5に示すように、洗浄液19の液 面は上方の超音波振動子10の下面よりも約20[mm]位高い位置がよい。
【0016】 洗浄工程を終了した被洗浄物9は第一工程に隣接する第二工程の水切り部4に 入りエアーブローされる。水切りノズル30は予め被洗浄物9の形状に合わせて 適宜角度に回動されると共に上下方向の設定位置が調整される。これ等は制御手 段40により回動モータ36および上下動モータ38を自動制御して行われる。 また、前記したように、水切りノズル30は水平コンベア2の横巾bよりも巾広 のスリット状噴出口34を有するものからなるため被洗浄物9に付着した洗浄液 19等完全に除去される。以上により、被洗浄物9は完全に洗浄,乾燥され水平 コンベア2の出口側に移送され、次工程に移送される。
【0017】 図2は本考案の他の実施例を示す。本実施例の水平コンベア式連続洗浄装置1 aは洗浄部3aの構成が図1のものと相異する他は図1の実施例の水平コンベア 式連続洗浄装置1と同一であり同一符号の部材の説明は省略する。洗浄部3aは 超音波振動子10,10を有する図1に示したものと同一の洗浄槽11の前後に 被洗浄物9の荒汚れを除去する予備洗浄部43および被洗浄物9の仕上げ洗浄を 行うリンス洗浄部44を設けたものである。すなわち、本実施例の水平コンベア 式連続洗浄装置1aは被洗浄物9を搭載する水平コンベア2と、第一工程の予備 洗浄部43と、第二工程の洗浄部3と、第三工程のリンス洗浄部44と、水切り ノズル30を有する第四工程の水切り部4とから構成される。
【0018】 予備洗浄部43は、洗浄槽45と、水平コンベア2の上下に配設される一対の 高圧シャワ46,46等からなる。洗浄液供給源18からの洗浄液19は電磁弁 47を介し洗浄槽45内に供給される。また、洗浄槽45内の洗浄液19は開閉 弁48,ポンプ49,フィルタ50を介し高圧シャワ46,46に供給され水平 コンベア2の上下に高圧シャワとして噴出される。また、洗浄槽45には排液用 バルブ51を介し排液槽29側に連通する。
【0019】 リンス洗浄部44は洗浄槽11に隣接する予備洗浄槽15aと、シャワ52か らなる。シャワ52は開閉弁53を介して洗浄液供給源18に連結される。また 、予備洗浄槽15aは貯液槽7に連通する。なお、予備洗浄槽15aと洗浄槽1 1は排液部14aを介して連通する。
【0020】 図2において、水平コンベア2上に搭載された被洗浄物9は第一工程の高圧シ ャワ46の噴液により荒汚れを除去される。高圧シャワ46,46は水平コンベ アの上下に配置され、ポンプ49による送液量を調整することにより被洗浄物9 は上下より適量な高圧シャワにより確実に荒汚れを除去される。次に、図1の前 記実施例と同様の第二工程の洗浄部3により被洗浄物9は超音波洗浄され第三工 程のリンス洗浄部44に送られる。第三工程のシャワ52により被洗浄物9は噴 射する新鮮な洗浄液19によりリンス洗浄され、細かな汚れを除去される。以下 、水切り部4および乾燥部5によりエアーブローおよび乾燥される。なお、本実 施例によれば図1のものより更に十分な洗浄を行うことが出来る。
【0021】 以上の実施例において、洗浄部3又は3aとして図1および図2の構造のもの を採用したが、これ等に限定するものではなく、例えば図1において洗浄部3に 高圧シャワを用いるものでもよい。また、水位保持手段としては流量調整弁27 を有する貯液槽7に限定するものではなく、洗浄槽11内の洗浄液19の水位を 検出し、水位を常に一定に保持するように洗浄液供給源18側から洗浄液を自動 供給するものでもよい。また、図1における第一乃至第三工程と図2における第 一乃至第五工程はそれぞれ単一の構成物から形成されているが、同一形式のもの を複数個配設するものでもよい。
【0022】
【考案の効果】
本考案によれば、次のような顕著な効果を奏する。 1)水位保持手段により洗浄槽内の洗浄液の水位が常に一定に保持され、その 状態において洗浄されるため、被洗浄物の洗浄が、確実に、かつ安定して行われ 洗浄効果の向上が図れる。 2)水切り部の水切りノズルが水平コンベアの横巾よりも広いスリット状噴出 口を有すると共に、回動、かつ上下動可能に形成され、被洗浄物の形状に合わせ て空気の噴出角度や噴射距離の調整が行われるため、確実な水切りが出来る。 3)洗浄部はそれぞれ独立の洗浄槽を有するため、洗浄槽が大巾に小型になり 、所要洗浄液も少量で済み、洗浄液の管理が確実に行われ、常に新鮮な洗浄液に よる洗浄が行われ、経費の節約が図れる。 4)各工程が水平コンベアに沿って直列に、かつ隣接して配置されるため全体 構造が小型になり、かつ迅速な洗浄,乾燥が行われる。 5)被洗浄物の形状による制限がなくなり、従来困難であった円形部分をもつ 被洗浄物の洗浄が可能となり適用範囲が広がる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本考案の一実施例の全体構成図。
【図2】本考案の他の実施例の全体構成図。
【図3】本実施例に使用される水切りノズルの概要構造
を示す斜視図。
【図4】本実施例の水切りノズルの回動および上下動機
構を示す構成図。
【図5】本実施例の洗浄槽内における超音波振動子の配
置を示す部分構成図。
【図6】本実施例の洗浄槽の洗浄液入口まわりの詳細構
造を示す斜視図。
【図7】従来の洗浄装置の概要構造を示す構成図。
【符号の説明】
1 水平コンベア式連続洗浄装置 1a 水平コンベア式連続洗浄装置 2 水平コンベア 3 洗浄部 3a 洗浄部 4 水切り部 5 沈殿物 6 フロート弁 7 貯液槽 8 ローラ 9 被洗浄物 10 超音波振動子 11 洗浄槽 12 入口部 13 出口部 14 排液部 14a 排液部 15 予備洗浄槽 15a 予備洗浄槽 16 出口部 17 バルブ 18 洗浄液供給源 19 洗浄液 20 液出口部 21 排液部 22 液戻り口 23 排液部 24 排液用バルブ 25 ポンプ 26 フィルタ 27 流量調整弁 28 開閉弁 29 排液槽 30 水切りノズル 31 ブロワー 32 容量制御弁 33 フード 34 スリット状噴出口 35 スライドブロック 36 回動モータ 37 スライドレール 38 上下動モータ 39 送りねじ軸 40 制御手段 41 スリット状の孔 42 筒 43 予備洗浄部 44 リンス洗浄部 45 洗浄槽 46 高圧シャワ 47 電磁弁 48 開閉弁 49 ポンプ 50 フィルタ 51 排液用バルブ 52 シャワ 53 開閉弁

Claims (4)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 【請求項1】 被洗浄物が水平に配置されるコンベアの
    入口側から出口側まで移動する間に当該被洗浄物の洗浄
    と乾燥を完了させる連続洗浄装置であって、洗浄液の通
    過可能な隙間を有し前記入口側から出口側間を循環移動
    する水平コンベアと、前記被洗浄物に洗浄液を加圧して
    洗浄を行う洗浄部の第一工程と、被洗浄物に付着する洗
    浄液を噴出空気で除去する水切りノズルを有する水切り
    部の第二工程とをそれぞれ隣接して設け、前記洗浄部に
    は専有の洗浄槽の水位を一定に保持する水位保持手段が
    付設されることを特徴とする水平コンベア式連続洗浄装
    置。
  2. 【請求項2】 前記洗浄部が前記洗浄槽内に超音波振動
    子を有し、超音波振動により被洗浄物を洗浄するもので
    ある請求項1の水平コンベア式連続洗浄装置。
  3. 【請求項3】 水平に配置したコンベア上に被洗浄物を
    搭載し、当該被洗浄物が前記コンベアの入口側から出口
    側まで移動する間に当該被洗浄物の洗浄,乾燥を完了さ
    せる連続洗浄装置であって、洗浄液の通過可能な隙間を
    有し前記入口側と出口側間を循環移動する水平コンベア
    と、前記被洗浄物の荒汚れを除去する高圧シャワを設け
    た予備洗浄部の第一工程と、超音波振動子で被洗浄物の
    超音波洗浄を行う超音波洗浄部の第二工程と、被洗浄物
    の仕上げ洗浄を行うリンス洗浄部の第三工程と、被洗浄
    物に付着する洗浄液を除去する空気を噴出する水切りノ
    ズルを有する水切り部の第四工程とから構成され、前記
    各洗浄部はそれぞれ専有の洗浄槽を有し、少なくとも前
    記超音波洗浄部には当該洗浄槽内の洗浄液の水位を一定
    に保持する水位保持手段が付設されることを特徴とする
    水平コンベア式連続洗浄装置。
  4. 【請求項4】 前記水切り部の水切りノズルは水平コン
    ベアの横巾を超えるスリット状噴出口を有するものから
    なり、前記水切りノズルは水平コンベアに近接又は離隔
    方向に移動可能に、かつ回動可能に不動側に支持されて
    なる請求項1又は3の水平コンベア式連続洗浄装置。
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Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH091275A (ja) * 1995-03-31 1997-01-07 Keiichiro Yoshida 高生産速度スエージングマシンおよびスエージング加工方法
JP3463028B2 (ja) 2000-08-25 2003-11-05 シャープ株式会社 超音波洗浄装置および洗浄方法
WO2011030917A1 (ja) * 2009-09-10 2011-03-17 Hirakawa Yoshihiro 超音波を用いた物品の洗浄方法
JP2012181007A (ja) * 2005-09-15 2012-09-20 Steris Inc 洗浄効率が改善されたトンネル式洗浄システム
JP2015112506A (ja) * 2013-12-09 2015-06-22 日東精工株式会社 洗浄装置

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH091275A (ja) * 1995-03-31 1997-01-07 Keiichiro Yoshida 高生産速度スエージングマシンおよびスエージング加工方法
JP3463028B2 (ja) 2000-08-25 2003-11-05 シャープ株式会社 超音波洗浄装置および洗浄方法
JP2012181007A (ja) * 2005-09-15 2012-09-20 Steris Inc 洗浄効率が改善されたトンネル式洗浄システム
WO2011030917A1 (ja) * 2009-09-10 2011-03-17 Hirakawa Yoshihiro 超音波を用いた物品の洗浄方法
JP2015112506A (ja) * 2013-12-09 2015-06-22 日東精工株式会社 洗浄装置

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