JP2012533899A - キャリア上で基板をクリーニングする装置 - Google Patents
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- H01L21/67313—Horizontal boat type carrier whereby the substrates are vertically supported, e.g. comprising rod-shaped elements
Abstract
Description
Claims (16)
- キャリア上の基板をクリーニングする装置であって、
キャリアは、その内部において、互いに平行に延び、開口によってキャリアの下側で外に接続する複数の縦方向の通路を有し、
装置は、互いに平行に延び、パイプホルダに配置されて液体供給源に対して液体を導くように接続された複数の細長いパイプを有し、
センタリングプレートが、パイプの周囲に設けられ、パイプの長手方向にパイプに対して移動可能であり、
センタリングプレートが、パイプに対するガイドを有し、ガイドの直径がパイプの外径よりも僅かに大きく、
センタリングプレートが、パイプホルダから離れたパイプの端部領域にある取付け位置と、取付け位置及びパイプホルダ間の作用位置との間で相対的に移動可能であることを特徴とする装置。 - センタリングプレートが芯出し突出部を有し、該芯出し突出部は、正確な所定の関係、特に、キャリアに設けられた開口に対して所定の関係で、キャリア又はセンタリングプレートの方を指向するキャリアの端面に係合し、芯出し突部が取付け位置でパイプの端部を越えて突出することを特徴とする請求項1に記載の装置。
- センタリングプレートが、パイプホルダのパイプ全てを収容し、芯出しすることを特徴とする請求項1又は2に記載の装置。
- センタリングプレートが、弾性力又はばね力によって、パイプホルダから離れた取付け位置に押されることを特徴とする請求項1〜3の何れか一項に記載の装置。
- センタリングプレートがパイプ上にあるか、又はパイプにガイドされることを特徴とする請求項1〜4の何れか一項に記載の装置。
- 少なくとも一つの縦方向部材がパイプホルダに設けられ、センタリングプレートが、ガイドされ、パイプホルダの縦方向部材上で縦方向に移動可能に取り付けられ、好ましくは、縦方向部材は、パイプの両側で外側にあるパイプホルダに設けられていることを特徴とする請求項1〜4の何れか一項に記載の装置。
- センタリングプレートは、少なくとも一つのガイドロッドに接続されるか、又はガイドロッドを備え、ガイドロッドが、パイプの縦方向で移動可能にパイプホルダにガイドされることを特徴とする請求項1〜4の何れか一項に記載の装置。
- センタリングプレートを取付け位置に移動するための弾性ばね装置が、パイプから離れて外側に位置する、パイプホルダの面に設けられ、ガイドロッドの端部及びパイプホルダ上で作用することを特徴とする請求項7に記載の装置。
- キャリア上の基板をクリーニングする装置であって、
キャリアは、その内部において、互いに平行に延び、開口によってキャリアの下側で外に接続する複数の縦方向の通路を有し、
装置は、互いに平行に延び、パイプホルダに配置されて液体供給源に対して液体を導くように接続された複数の細長いパイプを有し、
センタリングプレートが、パイプをキャリアの縦方向通路に挿入するためにパイプの周囲に設けられ、
センタリングプレートが、パイプに対するガイドを有し、ガイドの直径がパイプの外径よりも僅かに大きく、
センタリングプレートが、パイプホルダから離れたパイプの端部領域にある取付け位置と、パイプの外側で所定の距離にあるパーキング位置と、の間で相対的に移動可能であることを特徴とする装置。 - センタリングプレートが、形成され、かつ、パイプから分離して取付けられることを特徴とする請求項9に記載の装置。
- センタリングプレートが、取付け位置とパーキング位置との間でパイプとは独立に移動可能であることを特徴とする請求項9又は10に記載の装置。
- 取付け位置とパーキング位置との間の移動は、特に、パイプの縦方向に垂直な方向で、直線移動であることを特徴とする請求項11に記載の装置。
- パーキング位置はパイプ上にあることを特徴とする請求項9〜12の何れか一項に記載の装置。
- 取付け位置とパーキング位置との間で動く移動装置を有するセンタリングプレートが、パイプを有するパイプホルダが配設されているキャリアフレーム上に配置されていることを特徴とする請求項9〜13の何れか一項に記載の装置。
- センタリングプレートのガイドは、パイプを取り囲むためのガイド開口として底面で開口し、
ロック手段は、ガイドの底面領域に設けられ、移動することによって、特に、取り囲んだパイプの下のガイドを少なくとも部分的に閉じることによって、ガイド内でパイプを保持するように形成されていることを特徴とする請求項9〜14の何れか一項に記載の装置。 - 全てのロック手段において、ガイドは、特にアクチュエータによって、全てのロック手段を同時に移動するために、互いに連結していることを特徴とする請求項15に記載の装置。
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