JPH10146744A - 基板処理装置及び方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 並列処理ラインを有する基板処理装置におい
て常に正確なロット毎の管理を行うこと。 【解決手段】 ローダＬはロット毎の最後の基板（ロッ
トエンド基板）を払い出す際にロットエンド信号を送信
する。各処理部はロットエンド基板を次の処理部に搬送
する際にロットエンド信号を送信する。分岐装置ＦＷに
おいては、ロットエンド基板をＡラインに搬送した場合
でも、Ａ，Ｂ両ラインに対してロットエンド信号を送信
し、Ａ，Ｂ両ラインのそれぞれにロットエンド基板を作
る。そして統合装置ＦＭでは、当該統合装置を最後に通
過するロットエンド基板を処理部Ｐ４に搬送するときに
のみロットエンド信号を送信し、それ以前のロットエン
ド信号を無効にする。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】この発明は、プリント基板，
半導体基板，液晶用等のガラス基板等（以下、「基
板」）の製造において所定の単位（例えば、カセット単
位，ロット単位等）の基板を管理するための基板処理装
置及び方法に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来より基板に対して種々の処理を施す
際は、ロット単位毎に処理を施し、そして管理を行って
いる。ここで「ロット単位」とは、１つのまとまりを有
する複数の基板の単位を意味し、例えば、カセット単位
等である。また「管理」とは、基板の製造過程において
同一のロットの基板に他のロットの基板を混入しないこ
と、また、各ロット毎に基板の順序の逆転が起こらない
ことを意味する。

【０００３】図２６は、従来の直列的に配置された直列
処理ラインのみから成る基板処理装置の概念図である。
この従来の基板処理装置は、基板が複数枚収容されたカ
セットから順次に１枚ずつ基板を払い出すローダＬと基
板に対して所定の処理を行う複数の処理部群Ｐと全ての
処理が終了した基板を順次に１枚ずつカセットに収容し
ていくアンローダＵＬとから成っている。なお、処理部
群Ｐにおける各処理部Ｐ１，Ｐ２，…，Ｐｎ（ｎは任意
の自然数）は基板に対して行う処理の種類によって種々
の形態がある。一例を挙げると、Ｐ１が塗布装置，Ｐ２
が減圧乾燥装置，Ｐ３が洗浄装置，Ｐ４がベーキング装
置として配置し、全体として基板の表面に成膜を行う基
板処理装置がある。そして基板Ｗは図に示すＴ方向に１
枚ずつ順次に払い出される。

【０００４】このような装置において、ロット毎の管理
は以下のように行われている。１ロットがｎ枚の基板か
ら構成されている場合に、ローダＬから順次に基板Ｗを
順次にｎ枚払い出した状態の一例を図２６に示してい
る。ローダＬは基板をＷ1，Ｗ2，…，Ｗn-1，Ｗnの順で
払い出し、ロットの最後の基板Ｗnを処理部Ｐ１に送り
出した際に、図示しないローダＬ内のＣＰＵ（Central
Processing Unit）が処理部Ｐ１のＣＰＵに対して当該
ロットの最後の基板であることを示すロットエンド信号
を送信する。そして基板Ｗは各処理部Ｐ１，Ｐ２，…，
Ｐｎにおいて順次に処理され、Ｔ方向に搬送されてい
く。そして全ての処理が終了した基板はアンローダＵＬ
に入り、カセットに順次収納される。当該ロットの最後
の基板Ｗnについても同様に処理部Ｐ１の処理が終了す
れば処理部Ｐ２に入る。このとき処理部Ｐ１のＣＰＵは
処理部Ｐ２のＣＰＵに対してロットエンド信号を送信す
る。そして処理部Ｐ２における処理が終了すれば基板Ｗ
nは次の処理部に搬送されるが、そのときも処理部Ｐ２
のＣＰＵが次の処理部のＣＰＵに対してロットエンド信
号を送信する。このような操作が繰り返され、基板Ｗn
が処理部Ｐｎにおける処理を終了し、アンローダＵＬに
搬送されると略同時にロットエンド信号がアンローダＵ
Ｌに送信される。アンローダＵＬはロットエンド信号を
受信するとＡＧＶ（Automated Guided Vehicle：無人搬
送車）に信号を送り、当該ロットの基板処理が完了した
ことを知らせる。ＡＧＶは、この信号を受信した後、ア
ンローダＵＬからカセットを受け取る位置まで移動し、
当該ロットの基板が収納されたカセットを搬出する。

【０００５】このように直列的に配置された直列処理ラ
インのみから成る基板処理装置においては、ロットの最
後の基板にロットエンド信号を付与していくことによっ
て簡単にロットの管理が行うことが可能である。

【０００６】しかし従来より基板処理の効率化という点
から図２７に示すような基板処理装置がある。この装置
はローダＬが基板を送り出すと処理部Ｐ１で所定の処理
がなされ、分岐装置ＦＷに搬送される。この分岐装置Ｆ
Ｗは基板に対して処理を施す装置ではなく基板を処理部
ＰＡおよび処理部ＰＢに振り分け搬送を行う装置であ
る。そして処理部ＰＡと処理部ＰＢにはそれぞれ複数の
処理部があり、基板の並列処理が行われる。そして処理
部ＰＡまたは処理部ＰＢを経由した基板は統合装置ＦＭ
によって処理部Ｐ４に搬送される。そして処理部Ｐ４の
処理を終えた基板はアンローダＵＬに順次に入り、カセ
ットに収納される。

【０００７】このような構成の基板処理装置において分
岐装置ＦＷは、処理部ＰＡまたは処理部ＰＢのいずれか
一方が停止している場合等を除いて基本的に処理部ＰＡ
と処理部ＰＢには交互に基板を送り出すように構成され
ており、統合装置ＦＭは、統合装置ＦＭに対して基板が
搬送されてきたものから順に処理部Ｐ４に送り出してい
る。

【０００８】ローダＬがロットの最後の基板を処理部Ｐ
１に払い出した際に、ローダＬのＣＰＵが処理部Ｐ１の
ＣＰＵに対してロットエンド信号を送信する。そして処
理部Ｐ１から分岐装置ＦＷにロットの最後の基板が搬送
されてくると同時にロットエンド信号を受けとる。図２
７に示すように分岐装置ＦＷが当該ロットの最後の基板
Ｗnを処理部ＰＢに搬送する場合は、基板Ｗnを搬送する
際にロットエンド信号を処理部ＰＢのＣＰＵに送信す
る。そして基板Ｗnが処理部ＰＢにおける処理を完了
し、統合装置ＦＭに搬送されるとロットエンド信号も基
板Ｗnの搬送に伴って送られる。以下同様の動作が行わ
れ、アンローダＵＬに基板Ｗnが搬送されると同時にロ
ットエンド信号もアンローダＵＬのＣＰＵに送信され
る。そしてアンローダＵＬのＣＰＵがロットエンド信号
を受信するとＡＧＶに対して当該ロットが終了したこと
を伝える。

【０００９】

【発明が解決しようとする課題】しかし、この処理部Ｐ
Ａおよび処理部ＰＢのように並列処理ラインが組み込ま
れた基板処理装置では、常に正確なロット単位の管理が
行えていなかった。これを説明するために図２７で示し
たような場合において基板Ｗnが処理部ＰＢに搬送され
た後に、処理部ＰＢに故障等が発生し、処理部ＰＢの処
理が停止したような場合を考える。

【００１０】このような場合、処理部ＰＢは停止してい
るがその他の装置には異常がないため、処理部ＰＡを経
由する基板処理は稼働することできる。したがって処理
部ＰＢのみを停止させその他の装置を稼働させて基板処
理を行うが、既に当該ロットの最後の基板Ｗnは処理部
ＰＢに搬送されており、ロットエンド信号は処理部ＰＢ
のＣＰＵが保持している。したがって、処理部ＰＡを経
由する基板処理を行ってもアンローダＵＬには当該ロッ
トのロットエンド信号が送信されない。一方、ローダＬ
は既に次のロットの基板を順次処理部Ｐ１に払い出して
いる。

【００１１】このような状況でアンローダＵＬがロット
エンド信号を次に受信するのは次のロットの最後の基板
が処理部ＰＡを経由して搬送されてきたときである。そ
してこのときはアンローダＵＬにおいて当該ロットの基
板と次のロットの基板とが混在してしまっており、ロッ
ト毎の区別ができなくなっている。

【００１２】また、最近、各ロットの基板の順序が入れ
替わることなくロット管理を行いたいという要請が出て
きているが、上記のような装置ではそれが不可能であっ
た。

【００１３】この発明は、上記課題に鑑みてなされたも
のであって、並列処理ラインを有する基板の処理形態に
おいて常に正確なロット毎の管理を行うことができる基
板処理装置及び方法を提供することを目的とする。

【００１４】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、請求項１に記載の発明は、直列的に配置された直列
処理ラインが所定の分岐箇所において並列的に配置され
た並列処理ラインに分岐し、当該並列処理ラインが所定
の合流箇所において合流する基板処理装置であって、特
定基板に識別情報を対応付ける第１の手段と、特定基板
が分岐箇所において並列処理ラインのいずれかの処理ラ
インに搬送されることを認識する第２の手段と、特定基
板の搬送された処理ラインを除く並列処理ラインの全て
の処理ラインの特定の基板に対して識別情報を付与する
第３の手段と、合流箇所において識別情報を対応付けら
れた基板が並列処理ラインの任意の処理ラインから搬送
されてきたことを認識する第４の手段とを備えており、
合流箇所において識別情報を対応付けられた基板のうち
所定の順番に通過する基板についてのみ識別情報を有効
として判定し、その他の基板に対応付けられた識別情報
を無効にすることを特徴としている。

【００１５】請求項２に記載の発明は、直列的に配置さ
れた直列処理ラインが所定の分岐箇所において並列的に
配置された並列処理ラインに分岐し、当該並列処理ライ
ンが所定の合流箇所において合流する基板処理装置であ
って、ロットの最後尾の基板を特定基板とし、当該特定
基板に識別情報を対応付ける第１の手段と、特定基板が
分岐箇所において並列処理ラインのいずれかの処理ライ
ンに搬送されることを認識する第２の手段と、第２の手
段による特定基板の認識時に最後尾の基板の搬送された
処理ラインを除く並列処理ラインの全ての処理ライン中
に存在する最後尾の基板に識別情報を対応付ける第３の
手段と、合流箇所において識別情報を対応付けられた基
板が並列処理ラインの任意の処理ラインから搬送されて
きたことを認識する第４の手段とを備えており、合流箇
所において識別情報を対応付けられた基板のうち最後に
通過する基板についてのみ識別情報を有効として判定
し、その他の基板に対応付けられた識別情報を無効にす
ることを特徴としている。

【００１６】請求項３に記載の発明は、請求項１または
２に記載の基板処理装置において、各処理ラインに対応
した記憶領域を有する記憶手段と、基板の搬送状況に従
って、識別情報を記憶領域間で伝達する伝達手段とを有
している。

【００１７】請求項４に記載の発明は、請求項１乃至３
のいずれかに記載の基板処理装置において、第４の手段
が並列処理ラインの全ての処理ラインから識別情報を対
応付けられた基板が搬送されてきたことを認識するまで
の間に、既に識別情報が対応付けられた基板が搬送され
てきた処理ラインからさらに基板が搬送されてきた場合
に当該基板を一時待機させておく待機手段をさらに備え
ている。

【００１８】請求項５に記載の発明は、請求項４に記載
の基板処理装置において、待機手段の以前の処理ライン
に存在する基板数が待機手段の基板収容可能残量に至っ
たときに、基板供給装置からの新規の基板の払い出しを
停止することを特徴としている。

【００１９】請求項６に記載の発明は、請求項１乃至５
のいずれかに記載の基板処理装置において、並列処理ラ
インの任意の処理ラインに異常が発生したときに、基板
供給装置からの基板の払い出し周期を異常発生前よりも
長くすることを特徴としている。

【００２０】請求項７に記載の発明は、直列的に配置さ
れた直列処理ラインが所定の分岐箇所において並列的に
配置された並列処理ラインに分岐し、当該並列処理ライ
ンが所定の合流箇所において合流する基板処理方法であ
って、特定基板に識別情報を対応付ける第１の工程と、
特定基板が分岐箇所において並列処理ラインのいずれか
の処理ラインに搬送されることを認識する第２の工程
と、特定基板の搬送された処理ラインを除く並列処理ラ
インの全ての処理ラインの特定の基板に対して識別情報
を対応付ける第３の工程と、合流箇所において並列処理
ラインの任意の処理ラインから識別情報を対応付けられ
た基板が搬送されてきたことを認識し、そのうち所定の
順番に通過する基板についてのみ識別情報を有効として
判定し、その他の基板に対応付けられた識別情報を無効
にする第４の工程とを有している。

【００２１】請求項８に記載の発明は、直列的に配置さ
れた直列処理ラインが所定の分岐箇所において並列的に
配置された並列処理ラインに分岐し、当該並列処理ライ
ンが所定の合流箇所において合流する基板処理方法であ
って、ロットの最後尾の基板を特定基板とし、当該特定
基板に識別情報を対応付ける第１の工程と、特定基板が
分岐箇所において並列処理ラインのいずれかの処理ライ
ンに搬送されることを認識する第２の工程と、第２の工
程による特定基板の認識時に特定基板の搬送された処理
ラインを除く並列処理ラインの全ての処理ライン中に存
在する最後尾の基板に識別情報を対応付ける第３の工程
と合流箇所において並列処理ラインの任意の処理ライン
から識別情報を対応付けられた基板が搬送されてきたこ
とを認識し、そのうち最後に通過する基板についてのみ
識別情報を有効として判定し、その他の基板に対応付け
られた識別情報を無効にする第４の工程とを有してい
る。

【００２２】請求項９に記載の発明は、請求項７または
８に記載の基板処理方法において、基板の搬送状況に従
って、識別情報を各処理ラインに対応した記憶領域間で
伝達を行う。

【００２３】請求項１０に記載の発明は、請求項７乃至
９のいずれかに記載の基板処理方法において、並列処理
ラインの全ての処理ラインから識別情報を対応付けられ
た基板が搬送されてきたことを認識するまでの間に、既
に識別情報が対応付けられた基板が搬送されてきた処理
ラインからさらに基板が搬送されてきた場合に当該基板
を基板収容機構に一時待機させておく。

【００２４】請求項１１に記載の発明は、請求項１０に
記載の基板処理方法において、基板収容機構の以前の処
理ラインに存在する基板数が基板収容機構の基板収容可
能残量に至ったときに、基板供給装置からの新規の基板
の払い出しの停止を行う。

【００２５】請求項１２に記載の発明は、請求項７乃至
１１のいずれかに記載の基板処理方法において、並列処
理ラインの任意の処理ラインに異常が発生したときに、
基板供給装置からの基板の払い出し周期を異常発生前よ
りも長くする。

【００２６】請求項１３に記載の発明は、直列的に配置
された直列処理ラインが所定の分岐箇所において並列的
に配置された並列処理ラインに分岐し、当該並列処理ラ
インが所定の合流箇所において合流する基板処理装置で
あって、分岐箇所から上流側の位置において基板を下流
に搬送する際に、基板の払い出した順番に応じた番号情
報を対応付ける番号付加手段と、合流箇所において下流
に基板を搬送する際に、当該基板に対応付けられた番号
情報を記憶する記憶手段と、並列処理ラインから合流箇
所に基板を導く位置に設けられた基板を収容することが
可能な複数の基板収容手段とを備え、合流箇所は、複数
の基板収容手段から供給される基板を記憶手段に記憶し
ている番号情報に基づいて下流に搬送することを特徴と
している。

【００２７】請求項１４に記載の発明は、請求項１３に
記載の基板処理装置において、基板収容手段は、収納し
た基板に対応付けられた番号情報を合流箇所に対して送
信する番号情報送信手段を備え、合流箇所は、番号情報
送信手段から得られる当該基板の番号情報と記憶手段に
記憶している番号情報とが所定の関係を示す場合に基板
収容手段から当該基板を受け取り、番号情報送信手段か
ら得られる当該基板の番号情報と記憶手段に記憶してい
る番号情報とが所定の関係を示さない場合に基板収容手
段に当該基板を待機させることを特徴としている。

【００２８】請求項１５に記載の発明は、請求項１３ま
たは１４に記載の基板処理装置において、合流箇所にお
いて各ロットの最後尾の基板に対応付けられた識別情報
を認識する手段を備え、合流箇所において識別情報を対
応付けられた基板のうち最後に通過する基板についての
み識別情報を有効として判定し、その他の基板に対応付
けられた識別情報を無効にするとともに、有効として判
定された基板を下流に搬送する際に、記憶手段に記憶し
ている番号情報を所定値に修正することを特徴としてい
る。

【００２９】請求項１６に記載の発明は、直列的に配置
された直列処理ラインが所定の分岐箇所において並列的
に配置された並列処理ラインに分岐し、当該並列処理ラ
インが所定の合流箇所において合流する基板処理装置で
あって、分岐箇所から上流側の位置において基板を下流
に搬送する際に、ロット毎に対応付けられたロット番号
と基板の払い出した順番に応じた番号情報とを当該基板
に対応付ける番号付加手段と、基板を収容することが可
能で合流箇所の下流側に設けられる基板収容手段と、前
記基板収納手段から下流に基板を搬送する際に当該基板
に対応付けられたロット番号と番号情報を記憶する記憶
部とを備え、基板収容手段は、上流から供給される基板
を記憶部に記憶しているロット番号と番号情報とに基づ
いて下流に搬送することを特徴としている。

【００３０】請求項１７に記載の発明は、請求項１６に
記載の基板処理装置において、基板収容手段は、上流か
ら得られる基板のロット番号および番号情報と、記憶部
に記憶しているロット番号および番号情報とが所定の関
係を示す場合に当該基板を下流に搬送し、上流から得ら
れる基板のロット番号および番号情報と、記憶部に記憶
しているロット番号および番号情報とが所定の関係を示
さない場合に当該基板を収容して待機させることを特徴
としている。

【００３１】請求項１８に記載の発明は、請求項１６ま
たは１７に記載の基板処理装置において、基板収容手段
は、各ロットの最後尾の基板に対応付けられた識別情報
を認識する識別情報認識手段と、上流から得られた基板
についてのロット番号と番号情報と、収容して待機させ
ている基板についてのロット番号と番号情報とを比較
し、所定の条件を満たす基板を下流に搬送する条件搬送
手段とを備え、上流から得られた基板に識別情報が付加
されていた場合は、条件搬送手段による搬送が行われる
とともに、必要に応じて識別情報を他の基板に付け替え
ることを行い、識別情報が付加された基板を下流に搬送
する際に、記憶部に記憶している番号情報を所定値に修
正することを特徴としている。

【００３２】請求項１９に記載の発明は、直列的に配置
された直列処理ラインが所定の分岐箇所において並列的
に配置された並列処理ラインに分岐し、当該並列処理ラ
インが所定の合流箇所において合流する基板処理方法で
あって、分岐箇所から上流側の位置において基板を下流
に搬送する際に、基板の払い出した順番に応じた番号情
報を対応付ける番号付加工程と、合流箇所において下流
に基板を搬送する際に、当該基板に対応付けられた番号
情報を記憶する記憶工程と、合流箇所において上流から
供給される基板を記憶工程において記憶した番号情報に
基づいて下流に搬送する搬送工程とを有している。

【００３３】請求項２０に記載の発明は、請求項１９に
記載の基板処理方法において、搬送工程は、合流箇所に
おいて上流から得られる基板の番号情報と記憶工程にお
いて記憶した番号情報とが所定の関係を示す場合に上流
からの基板を受け取り、下流に搬送する工程と、合流箇
所において上流から得られる基板の番号情報と記憶工程
において記憶した番号情報とが所定の関係を示さない場
合に上流からの基板を待機させる工程とを有している。

【００３４】請求項２１に記載の発明は、請求項１９ま
たは２０に記載の基板処理方法において、合流箇所にお
いて各ロットの最後尾の基板に対応付けられた識別情報
を認識する工程と、合流箇所において識別情報を対応付
けられた基板のうち最後に通過する基板についてのみ識
別情報を有効として判定し、その他の基板に対応付けら
れた識別情報を無効にする工程と、有効として判定され
た基板を下流に搬送する際に、記憶工程において記憶し
た番号情報を所定値に修正する工程とを有している。

【００３５】請求項２２に記載の発明は、直列的に配置
された直列処理ラインが所定の分岐箇所において並列的
に配置された並列処理ラインに分岐し、当該並列処理ラ
インが所定の合流箇所において合流する基板処理方法で
あって、分岐箇所から上流側の位置において基板を下流
に搬送する際にロット毎に対応付けられたロット番号と
基板を下流に払い出した順番に応じた番号情報とを当該
基板に対応付ける番号付加工程と、合流箇所の下流側に
設けられた基板収容部において下流に基板を搬送する際
に当該基板に対応付けられたロット番号と番号情報を記
憶する記憶工程と、基板収容部において上流から供給さ
れる基板を記憶工程で記憶したロット番号と番号情報と
に基づいて下流に搬送する搬送工程とを有している。

【００３６】請求項２３に記載の発明は、請求項２２に
記載の基板処理方法において、搬送工程は、上流から得
られる基板のロット番号および番号情報と、記憶工程に
おいて記憶したロット番号および番号情報とが所定の関
係を示す場合に当該基板を下流に搬送する工程と、上流
から得られる基板のロット番号および番号情報と、記憶
工程において記憶したロット番号および番号情報とが所
定の関係を示さない場合に当該基板を収容して待機させ
る工程とを有している。

【００３７】請求項２４に記載の発明は、請求項２２ま
たは２３に記載の基板処理方法において、搬送工程は、
各ロットの最後尾の基板に対応付けられた識別情報を認
識する工程と、上流から得られた基板についてのロット
番号と番号情報と、基板収容部に収容して待機させてい
る基板についてのロット番号と番号情報とを比較し、所
定の条件を満たす基板を下流に搬送する工程と、必要に
応じて識別情報を他の基板に付け替えることを行う工程
と、識別情報が付加された基板を下流に搬送する際に、
記憶部に記憶している番号情報を所定値に修正する工程
とを有している。

【００３８】

【発明の実施の形態】

＜１．第１の実施の形態＞ ＜1.1.装置の概要＞図１は、この発明の実施の形態を示
す基板処理装置の概念図である。この装置は、ローダ
Ｌ，処理部Ｐ１，処理部Ｐ２がこの順に直列的に連設さ
れており、処理部Ｐ２には分岐装置ＦＷが接続されてい
る。分岐装置ＦＷは送られてきた基板を並列的に設けら
れた処理部ＰＡ１，ＰＢ１に交互に搬送することによっ
て基板をＡライン及びＢラインの基板の並列処理ライン
を実現している。そしてＡラインについては処理部ＰＡ
１に搬送された基板は次に処理部ＰＡ２に送られ、処理
部ＰＡ２の処理が終了すると統合装置ＦＭに送られる。
同様にＢラインについては処理部ＰＢ１に搬送された基
板は次に処理部ＰＢ２に送られ、処理部ＰＢ２の処理が
終了すると統合装置ＦＭに送られる。統合装置ＦＭで
は、Ａライン及びＢラインから送られてくる基板を受け
取り、次の処理部Ｐ４に搬送する。すなわち統合装置Ｆ
Ｍによってそれまでの並列処理ラインが直列処理ライン
に変更される。ここで並列処理ラインとは、基板処理の
際に基板が搬送されるＴ方向に複数の基板の経路が存在
する部分のラインをいい、直列処理ラインとは、Ｔ方向
に基板を搬送する際に唯一の経路しか存在しない部分を
いう。なお、この装置において各処理部の処理内容は塗
布液塗布，減圧乾燥，洗浄，ベーク，または単なる待機
なども含むその他の任意の処理を行う装置であるととも
に、処理部の数についても任意である。そして、ローダ
Ｌ，分岐装置ＦＷ，統合装置ＦＭ，アンローダＵＬ，及
び各処理部はそれぞれ内部にＣＰＵとメモリを備えてお
り、隣接するＣＰＵどうしは通信可能なように接続され
ている。そして通信の際には、各処理部のＣＰＵは下流
の処理部に信号を伝達し、それをメモリ内に保持・記憶
しておく。そしてさらに下流の処理部に伝達する際には
メモリ内から保持・記憶しておいた信号を読み出した
後、ＣＰＵ間の通信によって伝達される。

【００３９】このような装置において図２に示すように
ロット毎の最後の基板（以下、「ロットエンド基板」と
呼ぶ）がローダＬから処理部Ｐ１に払い出されると、そ
のロットエンド基板に対応させてロットエンド信号が処
理部Ｐ１に送られる。例えば、１カセットを１ロットと
して扱うとすると、カセット内の最上段に基板が存在す
る場合はこの基板の搬送を行うときにロットエンド信号
を送信し、カセット内の最上段に基板が存在しない場合
はローダＬが最上段に基板が存在していないことを認識
し、払い出し動作を終了させる時にロットエンド信号の
みを送信する。

【００４０】そしてロットエンド信号が送られてきたこ
とにより、処理部Ｐ１のＣＰＵは処理部Ｐ１内の基板
が、ロットエンド信号が対応付けられた基板、すなわち
ロットエンド信号付き基板であることを認識する。すな
わち、ロットエンド信号を受け取った後に搬送されてく
る基板は次のロットの基板であることが判断できる。そ
して処理部Ｐ１の処理を終えてロットエンド信号付き基
板を処理部Ｐ２に搬送すると略同時にロットエンド信号
を処理部Ｐ２へ送信する。処理部Ｐ２における処理が終
了すると分岐装置ＦＷにロットエンド信号付き基板が搬
送されるとともに、ロットエンド信号が分岐装置ＦＷへ
送信される。

【００４１】分岐装置ＦＷの行う処理を図３により説明
する。分岐装置ＦＷは、基板を受け取る（ステップＳ１
０）と略同時にロットエンド信号を受信するとその受け
取った基板がロットエンド信号付き基板であることを認
識する（ステップＳ１１）。そして分岐装置ＦＷは、Ａ
ラインまたはＢラインのいずれか一方の処理部にロット
エンド信号付き基板を搬送する。そしてロットエンド信
号付き基板の搬送と略同時にＡライン及びＢラインの両
方の処理部に対してロットエンド信号を送信する（ステ
ップＳ１２）。すなわち、ロットエンド基板をＡライン
の処理部ＰＡ１に搬送した場合、ロットエンド信号はＡ
ラインの処理部ＰＡ１及びＢラインの処理部ＰＢ１の２
方向に送信され、同様にロットエンド信号付き基板をＢ
ラインの処理部ＰＢ１に搬送した場合も、処理部ＰＡ１
及び処理部ＰＢ１の２方向にロットエンド信号が送信さ
れる。また、ロットエンド信号を受信しない場合、すな
わち、ロットエンド信号付き基板でない基板を搬送する
際は、通常の搬送動作を行う（ステップＳ１３）。

【００４２】ここで例えばロットエンド信号付き基板を
Ｂラインの処理部ＰＢ１に搬送した場合の以下の処理に
ついて説明する。

【００４３】まずＢラインにおいては、処理部ＰＢ１は
基板が搬送されてくると略同時にロットエンド信号を受
信するために、搬送されてきた基板はロットエンド信号
付き基板であることを認識する。そして処理部ＰＢ１に
おける処理が終了するとロットエンド信号付き基板を処
理部ＰＢ２に搬送する際にロットエンド信号を処理部Ｐ
Ｂ２へ送信する。そして処理部ＰＢ２での処理が終了す
るとロットエンド信号付き基板を統合装置ＦＭに搬送
し、これと略同時にロットエンド信号を統合装置ＦＭへ
送信する。統合装置ＦＭは、Ｂラインから基板を受け取
る際にロットエンド信号を受信したので、この受け取っ
た基板はロットエンド信号付き基板であることを認識す
る。そしてＢラインからロットエンド信号を受信したた
め、次にＢラインから搬送されてくる基板は次のロット
の基板であることを認識する。

【００４４】他方、Ａラインにおいては、Ｂラインへロ
ットエンド信号付き基板が搬送されたときに、処理部Ｐ
Ａ１は、基板は搬送されて来てはいないにも関わらずロ
ットエンド信号のみを受信する。そこで処理部ＰＡ１の
ＣＰＵは処理部ＰＡ１内に処理中若しくは次処理部への
搬送中の基板が存在するか否かを調べる。そして処理中
等の基板が存在する場合は、その基板にロットエンド信
号を対応付けしてロットエンド信号付き基板とする。ま
た、処理中等の基板が存在しなかった場合には、ロット
エンド信号のみを次の処理部ＰＡ２に送信する。処理部
ＰＡ２において基板の搬送を伴わずにロットエンド信号
のみが処理部ＰＡ１から送信されてきたときは、処理部
ＰＡ２のＣＰＵが処理部ＰＡ２内に基板が存在するかど
うかを確認し、存在する場合はその基板をロットエンド
信号付き基板とし、存在しない場合はロットエンド信号
のみを統合装置ＦＭに送信する。

【００４５】すなわち、Ａラインにおいては、受信した
ロットエンド信号をそのＡラインの中で最も上流側にあ
る基板に対して対応づける動作を行い、対応づけられる
べき基板がＡラインにない場合にはロットエンド信号の
みを統合装置ＦＭへ送る動作を行う。

【００４６】そして統合装置ＦＭの行う処理について図
４を参照して説明する。統合装置ＦＭは、Ａラインから
基板を受け取り（ステップＳ２０）、ロットエンド信号
を受信しない場合（ステップＳ２１）は、その基板はロ
ットエンド信号付き基板ではない、すなわちロットエン
ド基板ではないので、その基板を処理部Ｐ４へ搬送する
動作のみを行う（ステップＳ２４）。また、ロットエン
ド信号を受信した場合は、この受け取った基板はロット
エンド信号付き基板であることを認識する（ステップＳ
２１）。またロットエンド信号のみを受信した場合は、
ロットエンド基板は既に搬送されていたことになり、次
にＡラインから搬送されてくる基板は次のロットの基板
であることを認識する。もし、Ａラインから搬送されて
きた基板がロットエンド信号を対応付けられたロットエ
ンド信号付き基板であった場合は、他方のライン、即ち
Ｂラインからロットエンド信号が既に送出されてきてい
るかどうかを後述するメモリの内容により判断し（ステ
ップＳ２２）、「ＹＥＳ」であれば、Ａラインから受け
取ったそのロットエンド信号付き基板をロットエンド基
板であると判断し、当該ロットエンド基板を処理部Ｐ４
へ搬送する際にロットエンド信号を処理部Ｐ４へ送信す
る（ステップＳ２３）。また、ステップＳ２２において
他のラインからまだロットエンド信号を受信していない
場合には、当該片方のライン、即ちＡラインからロット
エンド信号を受信したことをメモリに記憶しておき（ス
テップＳ２５）、その基板を処理部Ｐ４へ搬送するのみ
であり（ステップＳ２４）、ロットエンド信号は送信し
ない。すなわち、片方のラインから受け取ったロットエ
ンド信号付き基板に対応付けられていたロットエンド信
号は消去されて無効とされる。

【００４７】なお、分岐装置ＦＷにおいて、基板の搬送
を伴わずにロットエンド信号の受信だけが行われた場合
に、分岐装置ＦＷ内に基板が存在していれば、その基板
の搬送の際にロットエンド信号をＡラインとＢラインと
に送信し、基板が存在していないならば、Ａ，Ｂ両ライ
ンに対してロットエンド信号の送信のみを行う。

【００４８】また統合装置ＦＭは、先述のようにＡライ
ン及びＢラインの２経路から得られるロットエンド信号
のうち先に得られるロットエンド信号を消去操作などに
よって無効にし、後に得られるロットエンド信号を有効
にする。例えば、Ａラインからロットエンド信号を伴っ
てロットエンド信号付き基板が先に搬送されてきた場
合、統合装置ＦＭは当該ロットエンド信号付き基板を処
理部Ｐ４に搬送する際にはロットエンド信号を送信しな
い。したがって処理部Ｐ４においては搬送されてきた当
該基板はロットエンド信号付き基板ではない通常の基板
として取り扱われる。そして後にＢラインからロットエ
ンド信号を伴ってロットエンド信号付き基板が統合装置
ＦＭに搬送され、統合装置ＦＭがこのロットエンド信号
付き基板を処理部Ｐ４に搬送する際には、当該基板をロ
ットエンド基板であると判断し、当該基板を搬送するの
と略同時にロットエンド信号を処理部Ｐ４へ送信する。
したがって処理部Ｐ４において搬送されてきた基板はロ
ットエンド信号を伴っているためロットエンド基板とし
て認識される。

【００４９】そしてアンローダＵＬにおいてロットエン
ド基板に伴って送信されてくるロットエンド信号を認識
すると、そのロットエンド基板をカセットに収納した後
にＡＧＶなどの基板搬送装置にロットの終了を伝える。
また、アンローダＵＬにおいて基板の搬送を受けずにロ
ットエンド信号の受信のみが為された場合は、それ以前
に搬送されてきた基板をカセットに収納させた後にＡＧ
Ｖなどの基板搬送装置にロットの終了を伝える。

【００５０】そして基板搬送装置がアンローダＵＬとの
カセットの受け渡しを行う所定の位置まで移動し、基板
処理の終了した基板を収納したカセットを受け取り搬送
する。

【００５１】ここまで説明した内容を図５を参照するこ
とにより再び簡単に説明する。図５は、この発明の基板
処理装置の概念図である。図５において基板Ｗ1，Ｗ2，
Ｗ3，…，Ｗn-1，Ｗnはこの順にローダＬから払い出さ
れた基板である。なお、図において‘Ｅ’はロットエン
ド信号を表しており、このロットエンド信号‘Ｅ’が表
示されている基板はロットエンド信号付き基板である。
そしてこの図の例では、ローダＬから払い出された当該
ロットの最後の基板Ｗnはロットエンド信号を対応付け
られることでロットエンド信号付き基板として分岐装置
ＦＷによって処理部ＰＢに搬送されている。分岐装置Ｆ
Ｗによってロットエンド信号付き基板Ｗnが処理部ＰＢ
に搬送されると略同時にロットエンド信号‘Ｅ’は処理
部ＰＡ及びＰＢの２方向に送信されている。これによっ
て、処理部ＰＡではローダＬから払い出されたときはロ
ットエンド基板ではなかった基板Ｗn-1が処理部ＰＡに
送出されたロットエンド信号‘Ｅ’に対応付けられてロ
ットエンド信号付き基板として認識されている。したが
って並列処理ラインにおいては、複数のロットエンド信
号付き基板が存在することになる。そしてこの状態で並
列処理ラインの各部を順次に基板が搬送されていく。

【００５２】上記のように、この発明では並列的に配置
された全ての並列処理ラインにロットエンド信号を送信
しているので、統合装置ＦＭにおいてはそれぞれの並列
ラインからロットエンド信号が送られてくる。そして統
合装置ＦＭにおいて最後に通過するロットエンド信号を
有効とし、その他のロットエンド信号を削除するなどの
無効とする操作によって、統合装置ＦＭより下流の処理
部に対して正確にロットエンド基板に対応してロットエ
ンド信号を送信することができる。

【００５３】しかし、このような装置構成では常に正確
なロット毎の管理が行えるとは限らない。これは、並列
処理ラインにおいて一方のラインの処理部に故障等が発
生し、そのラインが停止するような場合があるからであ
る。例えば、図５に示す状態において、処理部ＰＢに故
障が発生し停止した場合でもその他の処理部には異常が
ないため順次に処理が行われ続ける。そして処理部ＰＡ
における処理が進行してロットエンド信号付き基板とし
て認識されている基板Ｗn-1が統合装置ＦＭに送られ
る。そして先述した手順によると統合装置ＦＭにおいて
は基板Ｗn-1は先に通過するロットエンド信号付き基板
であるため基板Ｗn-1を処理部Ｐ４に搬送する際にはロ
ットエンド信号を送信しない。したがって処理部Ｐ４は
基板Ｗn-1をロットエンド基板ではないと判断する。し
かし、後に通過すべきロットエンド信号付き基板Ｗnは
停止中の処理部ＰＢに存在するため統合装置ＦＭには搬
送されない。一方、次のロットの基板は既にローダＬか
ら順次に払い出され、処理部Ｐ１、分岐装置ＦＷ、処理
部ＰＡを経由して搬送されている。そしてこの次のロッ
トの基板が統合装置ＦＭに搬送されるが、統合装置ＦＭ
では処理部ＰＢから依然としてロットエンド信号を受け
ていないため、処理部ＰＡから搬送されてくる次のロッ
トの基板はそのまま下流の処理部Ｐ４に流される。この
ようにして前後のロットの基板が混入する事態が生じる
不都合がある。

【００５４】そこで、この発明の実施の形態において
は、上記のような不都合を解消し、常に正確なロット毎
の管理を行うためにＦＩＦＯ（First-In First-Out）バ
ッファを設ける。ＦＩＦＯバッファとは、内部に設けら
れた複数の収容棚に基板を複数枚収容することができ、
先に収容された基板を先に取り出す基板収容装置であ
る。このＦＩＦＯバッファが設けられた基板処理装置を
図６に示す。

【００５５】図６（ａ）は、分岐装置ＦＷの直前にＦＩ
ＦＯバッファＢＦ１が、Ａラインの処理部ＰＡと統合装
置ＦＭとの間にＦＩＦＯバッファＢＦ２が、Ｂラインの
処理部ＰＢと統合装置ＦＭとの間にＦＩＦＯバッファＢ
Ｆ３が設けられている。このような構成とすることによ
って、先述の図５の例のように、Ｂラインの処理部ＰＢ
が停止した場合であっても、Ａラインの処理部ＰＡから
ロットエンド信号が送信されてきた後にＡラインから基
板が搬送されてくる基板は次のロットの基板であるた
め、ＦＩＦＯバッファＢＦ２に次のロットの基板を収容
することができる。そして統合装置ＦＭより下流の処理
部には次のロットの基板を流さないのでアンローダＵＬ
において他のロットの基板が混入することはない。そし
てＢラインの処理部ＰＢが後に復旧し、稼働を再開した
際に、統合装置ＦＭはＢラインから搬送されてくる基板
を順次に処理部Ｐ４に搬送する。そして、Ｂラインから
ロットエンド信号付き基板が搬送されてきたときにロッ
トの終了を認識し、当該ロットエンド信号付き基板をロ
ットエンド基板として下流の処理部Ｐ４に流す。その後
ＦＩＦＯバッファＢＦ２において収容されていた基板を
収納された順に統合装置ＦＭに搬送し、統合装置ＦＭに
おいては搬送されてくる基板を順次に処理部Ｐ４に搬送
する。このようにＦＩＦＯバッファが設けられることに
よって常に正確にロット毎の管理を行うことが可能であ
る。

【００５６】このＦＩＦＯバッファは片方のラインが停
止した場合だけに有効なものではない。一般的にＡライ
ンからロットエンド信号付き基板が搬送されてきたが、
Ｂラインからはまだロットエンド信号付き基板が搬送さ
れてきていないときに、Ａラインから次のロットの基板
が搬送されてきたら、ＦＩＦＯバッファＢＦ２にその基
板から収容を開始し、Ｂラインについてはロットエンド
信号付き基板が搬送されてくるまで下流の処理部に流
す。そしてＢラインからロットエンド信号付き基板が搬
送されてきて、これを下流に流すと、Ａライン及びＢラ
インの処理部は同一の次のロットとなり、Ａ，Ｂライン
を交互に下流に払い出すことができる。

【００５７】なお、ＦＩＦＯバッファＢＦ３はＢライン
についての基板収容を行い、ＦＩＦＯバッファＢＦ１
は、分岐装置ＦＷが処理部ＰＡ及び処理部ＰＢのどちら
にも基板を搬送することができない場合に基板を収容す
るための基板収容装置である。そしてＦＩＦＯバッファ
ＢＦ１の設置の有無はこの発明に関して問題とならな
い。

【００５８】図６（ｂ）は基本的に図６（ａ）と同じで
ある。異なる部分は統合装置ＦＭが図６（ａ）のＦＩＦ
ＯバッファＢＦ２，ＢＦ３の機能を有していることであ
る。したがって図６（ｂ）の動作は図６（ａ）の場合と
同一である。

【００５９】＜1.2.装置構成の一例＞ここで、この発明
の実施の形態の具体的な一例を図７に示す。なお、この
発明はここで示す装置構成に限定されるものではない。
図７において、処理対象である基板はＴ方向に順次搬送
される。まずローダＬから基板が払い出され、ＵＶ照射
装置Ｐ１１によって紫外線が照射され、次に洗浄装置Ｐ
１２において洗浄される。そして赤外線ヒータＰ１３に
おいて基板が加熱乾燥され、ＵＶ照射装置Ｐ１４で再度
紫外線が照射され、冷却装置Ｐ１５で常温に冷却され
る。その後、ＦＩＦＯバッファＢＦ１を経て分岐装置Ｆ
Ｗに入る。

【００６０】ここまでの基板の搬送は図８（ａ）に示す
ような搬送機構が利用されうる。図８（ａ）に示す搬送
機構は複数のローラ１０がω方向に回転することによっ
て基板ＷがＴ方向に搬送される機構となっている。

【００６１】そして分岐装置ＦＷは搬送されてきた基板
を交互に入口待機装置ＰＡ１０及びＰＢ１０に搬送す
る。なお、ロットエンド信号はＡ，Ｂ両ラインに送信さ
れる。ＡラインとＢラインは同様の装置構成であるため
に、説明はＢラインについて行う。

【００６２】Ｂラインにおいて基板を搬送する際には図
８（ｂ）に示す搬送機構が利用されうる。図８（ｂ）は
コの字型の搬送アーム２０が基板Ｗの端を支持した状態
で、搬送アーム駆動部３０がＴ方向に平行移動すること
によって基板の搬送が行われる。搬送アーム駆動部３０
に複数の搬送アーム２０を備えていても良い。

【００６３】図７に戻り、Ｂラインでは、まず基板が入
口待機装置ＰＢ１０に搬送され、ここで塗布装置ＰＢ１
１が次の基板を受け入れる準備が整うまで待機する。そ
して基板の搬送が開始される。まず塗布装置ＰＢ１１に
おいては、処理対象の基板を搬送アーム２０（図８
（ｂ））から基板を受け取ると、塗布液が塗布される。
そして塗布液が塗布された基板を再び搬送アーム２０に
渡し、次の処理部に搬送される。次の処理部は減圧乾燥
装置ＰＢ１２であり、塗布液が乾燥される。次に端面洗
浄装置ＰＢ１３によって基板の端面が洗浄され、そして
ベーキング装置ＰＢ１４に搬送される。ベーキング装置
ＰＢ１４によるベーク処理が終了するとＦＩＦＯバッフ
ァＢＦ２を経て統合装置ＦＭを通り、露光装置Ｐ１６に
搬送されて露光処理される。このようにしてＢラインの
処理が行われるが、Ａラインについても同様である。な
お、ＦＩＦＯバッファＢＦ２，ＢＦ３に基板を収容する
必要のない場合は、各ラインから送られてきた基板はＦ
ＩＦＯバッファＢＦ２，ＢＦ３を単に通過し、統合装置
ＦＭを経て順次に下流の処理部である露光装置Ｐ１６に
搬送される。そして次に現像装置Ｐ１７によって基板の
現像が行われ、ベーキング装置Ｐ１８によってベーク処
理が行われ、アンローダＵＬに送られる。この露光装置
Ｐ１６からアンローダＵＬまでの基板の搬送は、図８
（ａ）に示す搬送機構が利用されうる。

【００６４】このような構成の基板処理装置において、
ロットエンド基板が搬送される際にロットエンド信号を
次の処理部のＣＰＵに対して送信するが、分岐装置ＦＷ
におてはＡ，Ｂ両ラインに送信する。また、統合装置Ｆ
Ｍにおいては最後に通過するロットエンド信号付き基
板、つまり、Ａ，Ｂ両ラインのうち後から運ばれてくる
ロットエンド信号付き基板を搬送する際にのみロットエ
ンド信号を送信する。さらにその他の各処理部において
ロットエンド信号のみが送られてきたとき、その処理部
内に基板が存在すればその基板をロットエンド信号付き
基板とし、基板が存在しなければロットエンド信号のみ
を次の処理部に送信する。

【００６５】このように連設された各処理部のＣＰＵ間
が直接ロットエンド信号を伝達する場合を説明したが、
図９に示すように、この基板処理装置の全体を統括的に
管理制御する統括ＣＰＵ４０が存在する場合には、実際
に処理部間をロットエンド信号を送信することなく統括
ＣＰＵ４０がロットエンド信号付き基板の搬送に対応付
けてロットエンド信号の流れをシミュレーションするこ
とによっても可能である。すなわち統括ＣＰＵ４０は基
板処理装置のＣＰＵ群４１に接続されており、基板処理
装置のＣＰＵ群４１が基板がどのように搬送されている
かを統括ＣＰＵ４０に伝達し、この情報によって統括Ｃ
ＰＵ４０は基板にロットエンドフラグ等を設定し、メモ
リ内部でロットエンド基板の管理を行うことが可能であ
る。

【００６６】＜1.3.統合装置より下流に異常が発生した
場合＞この発明の基板処理装置において、統合装置より
も下流の処理部において故障などの異常が発生し、停止
した場合について説明する。図１０は、統合装置より下
流において異常が発生した場合の動作を示す説明図であ
る。この基板処理装置の各処理部は異常が発生するとそ
の処理部の上流の処理部に対してその異常を伝達する。

【００６７】まず、統合装置ＦＭは、下流において異常
が発生したことを認識すると、それをＦＩＦＯバッファ
ＢＦ２，ＢＦ３に伝える。ＦＩＦＯバッファＢＦ２，Ｂ
Ｆ３はその異常を示す信号を受け取るとすぐに基板の収
容動作を開始し、それ以後に搬送されてくる基板を全て
バッファ内に納めていき、統合装置ＦＭへは搬送しな
い。ここで例えばＦＩＦＯバッファＢＦ２，ＢＦ３はそ
れぞれ３０枚の基板を収容することが可能であり、Ａラ
インとＢラインにはそれぞれ常時１０枚の基板が存在
し、順次に搬送されていくとすると、各ＦＩＦＯバッフ
ァＢＦ２，ＢＦ３のそれぞれは、供給停止設定枚数であ
る２０枚の基板を収容したとき、それに対応して図１０
に示すように分岐装置ＦＷに対して供給停止信号を送出
する。この処理を図１１に示す。すなわち、ＦＩＦＯバ
ッファＢＦ２，ＢＦ３が供給停止設定枚数の基板を収容
したことを認識すると（ステップＳ３０）、ＦＩＦＯバ
ッファＢＦ２，ＢＦ３は分岐装置ＦＷに対して供給停止
信号の送信を行う（ステップＳ３１）。この供給停止設
定枚数は、予めオペレータ等が図示しない入力装置など
から入力設定することによって設定される。この供給停
止信号の伝達は、Ａ，Ｂラインの各処理部を経由して伝
達させても良いし、また、ＦＩＦＯバッファＢＦ２，Ｂ
Ｆ３から分岐装置ＦＷに直接伝達することが可能であれ
ばそれでも良いし、さらに、統括ＣＰＵ等を介して伝達
しても良い。

【００６８】分岐装置ＦＷは、片方のラインのＦＩＦＯ
バッファＢＦ２またはＢＦ３から供給停止信号を受け取
ると、当該片方のラインへの基板の搬送は行わず、他方
のラインへのみ基板を搬送する（ステップＳ３２，Ｓ３
３）。そして当該他方のラインからも供給停止信号を受
け取ると、分岐装置ＦＷはすぐにＦＩＦＯバッファＢＦ
１に対して供給停止信号を送信するとともにＦＩＦＯバ
ッファＢＦ１はそれ以後に処理部Ｐ１から搬送されてく
る基板を収容する（ステップＳ３４）。そして、ＦＩＦ
ＯバッファＢＦ１がその供給停止設定枚数だけの基板を
収容すると（ステップＳ３５）、ローダＬに対して供給
停止信号を送信する（ステップＳ３６）。そしてローダ
Ｌは、この供給停止信号を受け取ると基板の払い出し動
作を停止する。

【００６９】その後、統合装置ＦＭの下流の異常が復帰
し、正常動作が可能になると、統合装置ＦＭはＦＩＦＯ
バッファＢＦ２，ＢＦ３から交互に基板を受け取り下流
の処理部Ｐ４に基板を搬送する。この際にＦＩＦＯバッ
ファ内にロットエンド信号付き基板が存在する場合があ
るが、この場合の操作について例を挙げて説明する。例
えばＡラインのＦＩＦＯバッファＢＦ２からロットエン
ド信号付き基板を受け取った場合は、ＦＩＦＯバッファ
ＢＦ２からの基板の受け取りを中断させ、ＢラインのＦ
ＩＦＯバッファＢＦ３からのみ基板を受け取り、そして
下流に流す。そして他方のＢラインからもロットエンド
信号付き基板を受け取ると、その基板を下流にロットエ
ンド信号の送信とともに搬送し、それ以後はＡラインと
Ｂラインから交互に基板を受け取る。

【００７０】ここで先述の供給停止枚数をＮとすると、
ＦＩＦＯバッファＢＦ２及びＢＦ３のいずれかにおいて
ＦＩＦＯバッファ内に収容されている基板の枚数が（Ｎ
−１）枚となったときにそのＦＩＦＯバッファＢＦ２ま
たはＢＦ３が供給停止信号を無効にする。ここで無効と
は、例えば供給停止信号が「ＯＮ」または「ＯＦＦ」で
認識されている場合には「ＯＦＦ」にすることである。
そして、分岐装置ＦＷは供給停止信号が無効とされたこ
とを認識するとＦＩＦＯバッファＢＦ１への供給停止信
号を無効とし、再びそのラインへ基板の払い出し動作を
開始する。

【００７１】このような処理を行うことによってロット
毎の管理が正確に行なうことが可能である。さらに、統
合装置ＦＭの下流に異常が発生しても、稼働可能な処理
部はＦＩＦＯバッファが収容することができる枚数の基
板を処理することができ効率的である。

【００７２】＜1.4.並列処理ラインの片方のラインに異
常が発生した場合＞ここでは、この発明の基板処理装置
の並列処理ラインのＡラインに異常が発生し、停止した
場合についての説明を行うが、Ｂラインに異常が発生し
た場合であっても同様である。

【００７３】図１２においてＡラインの処理部ＰＡ１，
ＰＡ２に異常が発生し、停止した場合は分岐装置ＦＷに
その異常を伝える。分岐装置ＦＷは、Ａラインで異常が
発生したのでＡラインの処理部ＰＡ１への基板の搬送を
停止し、Ｂラインの処理部ＰＢ１にのみ基板を搬送す
る。そして分岐装置ＦＷはＦＩＦＯバッファＢＦ１にロ
ングタクト信号を出力する。この処理を図１３に示す。
すなわち、分岐装置ＦＷは、片方のラインが異常停止し
たことを表す信号を受信する（ステップＳ４０）と、そ
の停止したラインには基板を搬送できないため、上流の
装置に対してロングタクト信号を送出する（ステップＳ
４１）。

【００７４】ここでロングタクト信号とは、基板を下流
の工程に向けて搬出する際に、その搬出する周期をそれ
以前よりも長くすることを要求するための信号をいう。
したがってこの場合のように２本の並列ラインのうち一
方が停止した際のロングタクト信号は、上流の装置に対
して基板を搬出する周期を２倍にすることを要求する信
号である。

【００７５】そしてＦＩＦＯバッファＢＦ１がロングタ
クト信号を受け取ると、分岐装置ＦＷに対する基板の搬
送の周期をそれまでの２倍に変更し、これによって基板
が滞留することになる場合はＦＩＦＯバッファＢＦ１内
に基板を収容する。またＦＩＦＯバッファＢＦ１はロン
グタクト信号を受け取るとすぐにその信号をローダＬに
向けて送信する。そしてローダＬがロングタクト信号を
受け取ると基板の払い出し周期をそれまでの２倍に変更
して払い出しを続ける。

【００７６】ここで統合装置ＦＭは、Ｂラインから搬送
されてくる基板を順次に下流の処理部Ｐ４に搬送する。
そしてＢラインからロットエンド信号付き基板が搬送さ
れてきたときに、Ａラインから既にロットエンド信号が
送られてきているならば、このＢラインからのロットエ
ンド信号付き基板を処理部Ｐ４にロットエンド基板とし
て搬送する。しかしＡラインからはまだロットエンド信
号を受信していない場合は、停止中のＡラインにロット
エンド基板が存在することになるため、Ｂラインから送
られてきたロットエンド信号付き基板を処理部Ｐ４に搬
送する際にはロットエンド信号の送信を行わない。そし
てその後にＢラインから基板が搬送されてくれば、その
基板は次のロットの基板であるため、ＦＩＦＯバッファ
ＢＦ３に収容を開始する。そしてＦＩＦＯバッファＢＦ
３の基板の収容した枚数が供給停止設定枚数Ｎに達する
と、ＦＩＦＯバッファＢＦ３は分岐装置ＦＷに向けて供
給停止信号を送出する（図１０参照）。

【００７７】このように供給停止信号を送出した状態に
おいて、停止中のＡラインに存在する基板を全て取り除
き、そしてオペレータがＡラインの各処理部に対して基
板消去操作を行った場合には、Ａラインに残っていたロ
ットエンド信号は統合装置ＦＭまで送信される。そして
Ｂラインからは既にロットエンド信号が得られているの
で、統合装置ＦＭは処理部Ｐ４に対してロットエンド信
号のみを送信する。この操作によって前のロットの基板
は全て統合装置ＦＭより下流に搬送されたことになり、
またそのことが確認され、統合装置ＦＭはＢラインのＦ
ＩＦＯバッファＢＦ３に収容されていた基板を順次に受
け取り次のロットとして処理部Ｐ４に搬送する。そして
ＦＩＦＯバッファＢＦ３の基板の収容している枚数が
（Ｎ−１）枚になると、供給停止信号を無効にする。こ
れによってＦＩＦＯバッファＢＦ１，ローダＬは、基板
を通常の２倍の周期での払い出し動作を開始する。

【００７８】そしてＡラインが復帰し、稼働を開始する
と分岐装置ＦＷはロングタクト信号を無効にし、ＦＩＦ
ＯバッファＢＦ１，ローダＬは通常の周期で基板の払い
出しを行う。そして分岐装置ＦＷは交互にＡラインとＢ
ラインに対して基板を搬送する。

【００７９】また、同様に供給停止信号を送出した状態
において、Ａラインに存在する基板を取り除くことなく
Ａラインが復帰し、稼働を開始した場合には、分岐装置
ＦＷはロングタクト信号を無効にし、ＡラインとＢライ
ンとの交互の基板の搬送が可能な状態とする。また、統
合装置ＦＭは、Ａラインからの基板を処理部Ｐ４に搬送
し続け、ロットエンド基板が搬送されてくると、このロ
ットエンド基板を処理部Ｐ４に搬送する際にロットエン
ド信号を送信する。これによって前のロットの基板が全
て統合装置ＦＭより下流側に搬送されたので、統合装置
ＦＭはＦＩＦＯバッファＢＦ３内に収容された基板を収
容された順に処理部Ｐ４に搬送する。そしてＦＩＦＯバ
ッファＢＦ３の基板の収容している枚数が（Ｎ−１）枚
になると、供給停止信号を無効にする。そしてローダＬ
は、基板を通常の周期での払い出し動作を開始する。

【００８０】このように、この発明の基板処理装置は、
常に正常なロット毎の管理を行うことが可能である。

【００８１】＜1.5.変形例＞この発明の基板処理装置の
構成は、これまでの説明において示した構成の他に、分
岐装置ＦＷや統合装置ＦＭが他の機能を内蔵したもので
あってもよい。例えば図７の統合装置ＦＭをＦＩＦＯバ
ッファＢＦ２，ＢＦ３と一体化したものとしてもよい。
また、並列処理ラインにおいて３以上の処理が並列され
ていても良いし、それらの１つがさらに並列処理を有し
ていても良い。それらの構成において分岐装置がロット
エンド基板を搬送する際は全ての並列処理部に対してロ
ットエンド信号を送信し、統合装置を最後に通過するロ
ットエンド信号付き基板を下流の処理部に搬送する際に
のみ統合装置はロットエンド信号を送信する。

【００８２】さらに、実施の形態では、基板をロット毎
に区別するために、そのロットの最後の基板を搬送する
際にロットエンド信号を送信していたが、この方法はロ
ットの最後を認識する方法である。

【００８３】これに対して、ロットの最初を認識する方
法もある。すなわち、ローダがそのロットの最初の基板
を払い出す際に、その基板がロットの最初の基板（ロッ
トファースト基板）であることを示すロットファースト
信号を送信する。そして各処理部はロットファースト信
号付き基板を次の処理部に搬送する際は同時にロットフ
ァースト信号を送信する。そして分岐装置において片方
のラインにロットファースト信号付き基板を搬送する際
にロットファースト信号を送信し、他方のラインに次の
基板を搬送する際もロットファースト信号を送信する。
これによって２つの並列処理が行われる場合に両方のラ
インにロットファースト信号付き基板を存在させる。そ
して統合装置において最初に通過するロットファースト
信号付き基板を下流の処理部に搬送する際にのみロット
ファースト信号を送信し、それ以後に他のラインから搬
送されてくるロットファースト信号付き基板のロットフ
ァースト信号を無効にする。このような方法によっても
正確なロット毎の管理を行うことが可能である。

【００８４】＜２．第２の実施の形態＞ ＜2.1.装置の概要＞次に、この発明の第２の実施の形態
について説明する。この実施の形態は、第１の実施の形
態で説明した内容に、基板番号を管理する機能を付加す
ることにより、カセット単位などのロット管理が行える
だけではなく、それぞれのロットについて基板の順序を
換えることのないロット管理を行うことができるように
するものである。例えば、カセット毎にロット管理を行
う場合は、個々のカセットから払い出された基板の順番
を入れ換えることなく処理を行うことができるものであ
る。なお、この実施の形態における基板処理装置につい
ても第１の実施の形態において図１で説明したように各
処理部はそれぞれ内部にＣＰＵとメモリを備えており、
隣接するＣＰＵどうしは通信可能なように接続されてい
る。

【００８５】図１４は、この発明の第２の実施の形態の
基板処理装置の構成を示す概略図である。図に示すよう
に、ローダＬから払い出される基板は、処理部Ｐ１を経
て分岐装置ＦＷに導かれる。分岐装置ＦＷでは、搬送さ
れてきた基板をＡラインの処理部ＰＡとＢラインの処理
部ＰＢに交互に振り分けて搬送するとともに、ロットエ
ンド信号を受信した場合にそれをＡラインとＢラインの
両方へ送信する機能を有する。Ａラインに搬送された基
板は、処理部ＰＡからＦＩＦＯバッファＢＦ２を経由し
て統合装置ＦＭに導かれる。同様に、Ｂラインに搬送さ
れた基板は、処理部ＰＢからＦＩＦＯバッファＢＦ３を
経由して統合装置ＦＭに導かれる。統合装置ＦＭは、Ａ
ラインとＢラインから搬送されてくる基板を処理部Ｐ２
に搬送する。なお、統合装置ＦＭは、下流の処理部Ｐ２
に搬送した基板のうちの最後に下流に搬送した基板の基
板番号を基板番号情報として記憶しておく機能を備えて
いる。この記憶は、図１に示すメモリの任意の領域を基
板番号の記憶領域として確保することにより行われる
が、他の記憶媒体に記憶しても良い。そして、処理部Ｐ
２での処理が終了した基板は、アンローダＵＬに導かれ
てカセットに収容される。なお、処理部の数については
任意である。

【００８６】このような構成において、この実施の形態
では、ローダＬが基板を下流の処理部Ｐ１に払い出す際
に、基板番号を対応付ける。基板番号とは、１つのロッ
ト内の基板について下流に払い出された順序で対応付け
られた番号である。例えば、１ロットを１カセットとし
て管理する場合は、１つのカセット内の基板にそれぞれ
異なる基板番号が対応付けられる。また、一般的にカセ
ット内の基板を取り出す際は、最下段に収容されている
基板から順次に上段側に取り出していく場合や、最上段
に収容されている基板から順次に下段側に取り出してい
く場合があるが、このような場合には、基板番号は最下
段から順次に又は最上段から順次に対応付けられること
になる。また、ローダＬは各ロットの最後の基板に対し
てロットエンド信号を対応付ける機能を有する。

【００８７】そして、各処理部では、基板を下流に搬送
する際に、その基板に対応付けられている基板番号につ
いても送信する。この基板番号の下流への伝達は、第１
の実施の形態で説明したロットエンド信号と同様に、各
処理部のＣＰＵ間の通信によって行われる。

【００８８】このようにして、基板番号が対応付けられ
た基板がローダＬから順次に払い出されると図１５に示
すような状態になる。図１５において、基板を示す四角
枠内に記されている番号が基板番号である。また、２重
枠線で示されている基板Ｗ19（基板番号「１９」の基
板）は、ロットエンド信号が対応付けられたロットエン
ド基板を示している。図１５に示す基板Ｗ1，Ｗ2，…，
Ｗ19は、ローダＬにおいて、１つのカセットからこの順
に払い出された基板である。従って、基板Ｗ1には基板
番号「１」が、基板Ｗ2には基板番号「２」が対応付け
られており、以下同様に、順次に基板番号が対応付けら
れている。ロットエンド基板である基板Ｗ19について
は、下流に搬送される際に、ロットエンド信号と基板番
号との２つの情報がＣＰＵ間の通信によって下流に伝達
されるように構成されている。そして、分岐装置ＦＷで
は、上流の処理部Ｐ１から搬送されてくる基板を交互に
ＡラインとＢラインとに搬送している。図１５の場合
は、ローダＬから最初に払い出された基板Ｗ1はＡライ
ンの処理部ＰＡに搬送されており、その後に搬送されて
くる基板は処理部ＰＢと処理部ＰＡに交互に搬送されて
いる。

【００８９】このような状態で処理が進行していくと、
基板Ｗ1はＦＩＦＯバッファＢＦ２に入り、基板Ｗ2はＦ
ＩＦＯバッファＢＦ３に入る。各ＦＩＦＯバッファＢＦ
２，ＢＦ３は、バッファ内にある任意の基板を統合装置
ＦＭに搬送しようとする際に、統合装置ＦＭに対して搬
送しようとしている基板の基板番号を示す。すなわち、
各ＦＩＦＯバッファＢＦ２，ＢＦ３内のＣＰＵが、番号
情報送信手段として機能し、統合装置ＦＭに対して基板
番号を送信する。統合装置ＦＭは、ＦＩＦＯバッファか
ら得られる基板番号を参照することにより、そのＦＩＦ
Ｏバッファが統合装置ＦＭに渡そうとしている基板を受
け取るか否かの判断を行う。

【００９０】具体的には、統合装置ＦＭは、基板を下流
に搬送する際には、図１６に示すような処理を行う。図
１６は、この発明の第２の実施の形態の基板処理装置に
おける統合装置ＦＭのフローチャートである。まず、統
合装置ＦＭに電源が供給されてプログラムがロードされ
ると、メモリの基板番号情報を記憶するための記憶領域
に「０」をセットする（ステップＳ５０）。すなわち、
基板番号情報を初期値「０」に設定する。そして、統合
装置ＦＭは、ＡラインのＦＩＦＯバッファＢＦ２又はＢ
ラインのＦＩＦＯバッファＢＦ３から基板の基板番号を
獲得（受信）するまで待つ。そしてローダから順次に払
い出された基板の処理が進行し、ＦＩＦＯバッファＢＦ
２，ＢＦ３に基板が搬送されると、ＦＩＦＯバッファＢ
Ｆ２，ＢＦ３は、統合装置ＦＭに対して払い出し要求を
行う。この払い出し要求は、先述のように払い出そうと
する基板の基板番号を統合装置ＦＭに示すことによって
行われる。このようにして、統合装置ＦＭは、ＦＩＦＯ
バッファＢＦ２，ＢＦ３が払い出そうとしている基板の
基板番号を獲得する（ステップＳ５１）。そして、統合
装置ＦＭは、ＦＩＦＯバッファから獲得した基板番号が
メモリに記憶している基板番号情報に対して「＋１」で
あるか否かを判断する（ステップＳ５２）。最初は、メ
モリに記憶している基板番号情報は、ステップＳ５０に
より「０」に設定されているため、ＦＩＦＯバッファか
ら得られる基板番号が「１」であるか否かの判断が行わ
れることになる。そして、ステップＳ５２で「ＹＥＳ」
と判断された場合は、ステップＳ５３に進み、「ＮＯ」
と判断された場合は、ステップＳ５４に進む。そして、
ステップＳ５３では、払い出し要求を行ったＦＩＦＯバ
ッファからメモリに記憶している基板番号情報の「＋
１」と等しい基板番号の基板を受け取り、下流の処理部
Ｐ２に搬送する。

【００９１】一方、ステップＳ５４では、ＦＩＦＯバッ
ファから獲得した基板番号がメモリに記憶している基板
番号情報に対して「＋１」の関係ではないため、その基
板を受け取らずに、並列処理ラインの他方のラインから
基板番号を獲得するまで待機する。そして、他方のライ
ンからも基板番号が得られたときに、両ラインのＦＩＦ
ＯバッファＢＦ２，ＢＦ３から得られた基板番号を比較
する（ステップＳ５５）。そして、比較の結果、基板番
号の若い（小さい）基板を下流の処理部Ｐ２に搬送する
基板として特定する（ステップＳ５６）。そして、ステ
ップＳ５３に進み、ステップＳ５６で特定された基板を
受け取り下流の処理部Ｐ２に搬送する。

【００９２】そして次に、下流に搬送した基板がロット
エンド基板であるか否かを調べる（ステップＳ５７）。
この判断は、第１の実施形態で説明したように、Ａライ
ンとＢラインの両方からロットエンド信号を受信したか
否かによりなされる。そして、ロットエンド基板である
場合にはステップＳ５８において、メモリに記憶してい
る基板番号情報を「０」にリセットする。また、ロット
エンド基板でない場合にはステップＳ５９において、メ
モリに記憶している基板番号情報を、処理部Ｐ２に搬送
した基板の基板番号に修正する。この処理により、統合
装置ＦＭのメモリには、下流の処理部Ｐ２に搬送した基
板のうちの最後に下流に搬送した基板の基板番号を基板
番号情報として記憶しておくことが可能となる。そし
て、ステップＳ６０において「ＹＥＳ」となるまで、ス
テップＳ５１〜Ｓ６０の処理を繰り返す。

【００９３】例えば、図１５において、基板Ｗ2がＦＩ
ＦＯバッファＢＦ３に運ばれるよりも先に、基板Ｗ1が
ＦＩＦＯバッファＢＦ２に運ばれた場合には、統合装置
ＦＭに対して、基板Ｗ1の払い出し要求が先に行われ
る。このとき、基板Ｗ1の基板番号は「１」であるとと
もに、統合装置ＦＭのメモリに記憶されている基板番号
情報が「０」であるため、ステップＳ５２において、
「ＹＥＳ」と判断される。従って、ＦＩＦＯバッファＢ
Ｆ２から得られる基板Ｗ1が統合装置ＦＭに受け取ら
れ、下流の処理部Ｐ２に搬送される。このとき、基板Ｗ
1はロットエンド信号付き基板ではないため、統合装置
ＦＭのメモリに記憶している基板番号を「１」に修正す
る。そうすると次に、ＢラインのＦＩＦＯバッファＢＦ
３から基板番号「２」についての基板Ｗ2の払い出し要
求がある。ＦＩＦＯバッファＢＦ３から得られる基板番
号「２」は、メモリに記憶している基板番号情報「１」
に対して「＋１」となる値であるため、このＦＩＦＯバ
ッファＢＦ３から基板を受け取り、下流に搬送するとと
もに、メモリに記憶している基板番号情報を「２」に更
新する。

【００９４】また、図１５において、基板Ｗ1が統合装
置ＦＭより下流に搬送された後に、基板Ｗ2がＦＩＦＯ
バッファＢＦ３に入るよりも先に、基板Ｗ3がＦＩＦＯ
バッファＢＦ２に搬送された場合は、基板Ｗ3について
の払い出し要求が先に行われる。このとき、払い出し要
求に伴う基板番号は「３」であるが、統合装置ＦＭのメ
モリに記憶している基板番号情報は「１」であり、「＋
１」されても基板Ｗ3の基板番号にはならない。このよ
うなときは、図１６のステップＳ５４〜Ｓ５６の処理に
よって、基板番号が入れ換わらないようにしている。す
なわち、統合装置ＦＭは基板Ｗ3を受け取らずに、ＦＩ
ＦＯバッファＢＦ２内で待機させる。そして、他方のＢ
ラインのＦＩＦＯバッファＢＦ３から払い出し要求があ
るのを待つ。ＦＩＦＯバッファＢＦ３から基板Ｗ2につ
いての払い出し要求があると、統合装置ＦＭは、基板Ｗ
3と基板Ｗ2の基板番号の比較を行う。そして、基板Ｗ2
の基板番号「２」の方が若い番号であるため、基板Ｗ2
を受け取り、下流に搬送する。このとき、メモリに記憶
している基板番号情報は「２」となる。そして、Ａライ
ンのＦＩＦＯバッファＢＦ２からの払い出し要求は、基
板番号「３」であるため、メモリに記憶している基板番
号情報「２」に「＋１」した値となり、下流に搬送する
ことが可能となる。

【００９５】このような処理による基板の流れを図１７
に示す。図１７では、基板処理装置の統合装置ＦＭが下
流の処理部Ｐ２に基板Ｗ2を搬送した状態を示してい
る。従って、統合装置ＦＭの下流に最後に搬送された基
板は基板番号「２」の基板Ｗ2であるので、統合装置Ｆ
Ｍのメモリに記憶している基板番号情報は「２」となっ
ている。この状態で、基板Ｗ3と基板Ｗ4がそれぞれＡラ
インとＢラインのＦＩＦＯバッファＢＦ２，ＢＦ３に搬
送される場合について説明する。

【００９６】まず、基板Ｗ3が先に統合装置ＦＭに対し
て払い出し要求を行った場合、統合装置ＦＭは、メモリ
に記憶している基板番号情報「２」に対して「＋１」し
た基板番号であるため、基板Ｗ3を受け取り下流に搬送
する。そして、メモリに記憶している基板番号情報を
「３」に更新する。そして、次に基板Ｗ4が払い出し要
求を行った場合には基板番号情報「３」に対して「＋
１」となる基板番号であるため、基板Ｗ4を受け取り下
流に搬送する。

【００９７】また、基板Ｗ4が先に統合装置ＦＭに対し
て払い出し要求を行った場合は、先述したように、基板
番号情報「２」に対して「＋１」の関係とならないた
め、統合装置ＦＭは基板Ｗ4は受け取らない。そして、
基板Ｗ3についての払い出し要求があったときに、基板
Ｗ4と基板Ｗ3との基板番号を比較して若い基板番号の基
板Ｗ3を下流に搬送する。そして、メモリに記憶してい
る基板番号情報を「３」に更新する。

【００９８】このように、統合装置ＦＭにおいて基板番
号情報を記憶保持し、この基板番号情報に基づいて下流
に搬送する基板を特定することにより、統合装置ＦＭよ
り下流に搬送される基板は、基板番号の小さい基板から
順に搬送され、ローダからの基板の払い出し順（基板番
号）が入れ換わることはない。また、統合装置ＦＭはロ
ットエンド基板を下流に搬送すると、メモリに記憶して
いる基板番号情報をリセットするため、異なるロットの
基板を混在させることなく基板の搬送を行うことが可能
となる。

【００９９】なお、図１７において、Ａラインの処理部
ＰＡとＢラインの処理部ＰＢとの両ラインにロットエン
ド信号付き基板が存在するが、これは、第１の実施の形
態で説明したように分岐装置ＦＷが各ラインにロットエ
ンド信号を送信したことに起因している。そして、統合
装置ＦＭでは、先に下流に搬送される基板番号の若い方
のロットエンド信号付き基板についてはそのロットエン
ド信号を無効にし、最後に下流に搬送されるロットエン
ド信号付き基板についてのみロットエンド信号を有効に
した状態でそれらの基板を下流に搬送する。換言すれ
ば、統合装置ＦＭから最後に払い出される基板に付与さ
れているロットエンド信号のみが有効となり、それより
前に払い出される基板にロットエンド信号が対応付けら
れている場合は、そのロットエンド信号は無効になる。

【０１００】また、３以上のラインが並列に設置された
並列処理ラインの場合は、最初に払い出し要求のあった
ラインについて基板番号が基板番号情報に対して「＋
１」でない場合には、そのラインの基板を待機させる。
そして、次に払い出し要求のあるラインについても基板
番号が基板番号情報に対して「＋１」であるか否かを判
断し、「＋１」の関係でない基板については待機させ
る。そして、全てのラインから払い出し要求があったと
きに、各ラインからの基板番号を比較し、基板番号の若
い基板を下流に搬送する。このような処理にすれば、３
以上のラインが並列に設置された並列処理ラインについ
ても基板の順序を入れ換えることなく、番号の小さいも
のから順に下流に搬送することが可能となる。

【０１０１】以上説明したように、この実施の形態の基
板処理装置の処理内容を基板の搬送の流れに沿って示す
と図１８に示すようなフローとなる。図１８に示すよう
に、この実施の形態の基板処理装置（図１４参照）で
は、まずローダＬにおいて基板番号を対応付けるととも
に、ロットの最後の基板に対してはロットエンド信号が
対応付けられる（ステップＳ１０１）。そして、ローダ
Ｌにおいて基板を払い出す際に、基板番号を下流の処理
部Ｐ１のＣＰＵに対して送信する（ステップＳ１０
２）。なお、下流に搬送する基板にロットエンド信号が
対応付けられている場合は、その際に当該ロットエンド
信号も送信する。処理部Ｐ１では、基板を下流の分岐装
置ＦＷに搬送する際に基板番号を下流に基板番号を分岐
装置ＦＷのＣＰＵに対して送信するとともに、必要に応
じてロットエンド信号の送信も行われる（ステップＳ１
０３）。分岐装置ＦＷにおいては並列処理ラインを構成
する各ラインに対して基板を交互に搬送する。そして、
搬送の際に基板番号を各ラインに送信する。また第１の
実施の形態で説明したように必要に応じて全ての並列処
理ラインに対してロットエンド信号を送信する（ステッ
プＳ１０４）。そして、各ラインの処理部ＰＡ，ＰＢに
おいても下流に基板を搬送する際に基板番号を送信する
（ステップＳ１０５）。そして、各ＦＩＦＯバッファＢ
Ｆ２，ＢＦ３は統合装置ＦＭに基板を搬送する際に、統
合装置ＦＭに対して払い出し要求を行う（ステップＳ１
０６）。統合装置ＦＭは払い出し要求に伴う基板番号に
基づいて、記憶した基板番号＋１の基板、または基板番
号の小さい方から先に受け取る。そしてその基板を下流
に搬送する際に、下流に基板番号を送信する。なお、統
合装置ＦＭにはロットエンド信号が全てのラインから送
られてくるが、下流に搬送する際にはＡラインとＢライ
ンの両方から受け取ったロットエンド信号のうち、統合
装置から先に下流に払い出される基板番号の若い方の基
板に対応したロットエンド信号は無効にし、実際にロッ
トの最後の基板、すなわちロットエンド基板に対しての
みロットエンド信号を対応付けて下流へ送信する（ステ
ップＳ１０７）。そして、統合装置ＦＭは下流に搬送す
る基板の基板番号をメモリに記憶する（ステップＳ１０
８）。そして、処理部Ｐ２においても下流に基板を搬送
する際に基板番号を送信する（ステップＳ１０９）。最
後にアンローダＵＬにおいて基板番号に基づいて基板を
カセットに収容し、一連の基板処理が終了する（ステッ
プＳ１１０）。

【０１０２】＜2.2.基板が抜き取られた場合＞次に、統
合装置ＦＭより上流において、基板が抜き取られた場合
について説明する。図１９は、基板の抜き取りがあった
場合の基板の流れを説明するための説明図である。そし
て、図１９は、図１７に示す状態において処理部ＰＡで
基板番号「１１」の基板Ｗ11と基板番号「１３」の基板
Ｗ13とが何らかのトラブルにより抜き取られた場合を示
している。

【０１０３】基板の抜き取り操作は、オペレータによっ
て行われる。すなわち、基板処理装置の処理部ＰＡに何
らかのトラブル等が生じ、基板Ｗ11，Ｗ13を抜き取るこ
とが必要になった場合に、オペレータは必要に応じてＡ
ラインの処理を停止させる等の処理を行って、基板Ｗ1
1，Ｗ13を抜き取る。それとともに、オペレータは、基
板Ｗ11と基板Ｗ13とに対応付けられていた基板番号「１
１」，「１３」をマニュアル操作により消去する。この
消去は、本実施形態では、基板W11と基板W13が抜き取ら
れるときにあった処理部のＣＰＵが保持しているその基
板番号を、図示しないキーボード等の入力手段を操作し
て消去することによりなされる。この操作により実際の
基板とその基板に対応付けられたデータを消去すること
が可能となり、基板処理装置内を流れる基板と、データ
との整合性が保たれるようになる。

【０１０４】図１９において統合装置ＦＭは下流に基板
番号「１０」の基板Ｗ10を搬送した後であるので、メモ
リに記憶している基板番号情報は「１０」となってい
る。統合装置ＦＭは、下流に搬送した基板Ｗ10の基板番
号「１０」を基板番号情報として記憶保持しているた
め、次に下流に搬送する基板として基板番号「１１（＝
１０＋１）」を示す基板が払い出されることを期待す
る。しかし、基板番号「１１」を示す基板は既に抜き取
られているため、そのような基板は搬送されてこない。
そして、基板Ｗ12がＦＩＦＯバッファＢＦ３に導かれ、
統合装置ＦＭに対して払い出し要求が行われる。統合装
置ＦＭは、基板番号情報「１０」に「＋１」である基板
番号ではないため、基板Ｗ12を受け取らずにＦＩＦＯバ
ッファＢＦ３内で待機させる。すると次に、Ａラインの
ＦＩＦＯバッファＢＦ２から基板番号「１５」の基板Ｗ
15についての払い出し要求がある。ところが、この基板
番号「１５」についても基板番号情報に「＋１」となる
基板ではない。

【０１０５】このように、全ての並列処理ラインから得
られた基板番号がメモリに記憶している基板番号情報に
対して「＋１」となるものがない場合には、統合装置Ｆ
Ｍが期待している基板番号の基板が抜き取られたことが
判断できる。従って、図１６のステップＳ５６に示した
ように基板番号の若い（小さい）基板を下流に搬送す
る。これにより、基板の順序を入れ換えることなく搬送
することができる。図１９の例の場合であると、基板Ｗ
12と基板Ｗ15の基板番号を比較すると基板Ｗ12の基板番
号の方が小さいため、基板W12を先に受け取って下流に
搬送するとともに、メモリに記憶している基板番号情報
を「１２」に更新する。

【０１０６】次に、基板Ｗ13についても抜き取られてい
るため、統合装置ＦＭの期待する基板番号「１３」の基
板は搬送されてこない。従って、基板Ｗ14についての払
い出し要求が統合装置ＦＭに対して行われたときに、統
合装置ＦＭは基板Ｗ15と基板Ｗ14の基板番号を比較し
て、基板Ｗ14をＦＩＦＯバッファＢＦ３から受け取る。
そして、基板Ｗ14が下流に搬送された後に基板番号情報
が「１４」に更新される。そして、ＦＩＦＯバッファＢ
Ｆ２内で待機していた基板Ｗ15がようやく統合装置ＦＭ
に受け取られて、下流の処理部Ｐ２に搬送されることに
なる。

【０１０７】そして、アンローダＵＬでは、搬送されて
くる基板の基板番号に基づいて基板をカセットに収容す
る。そして、基板番号「１」の基板は、カセットの１番
目の棚に収容し、基板番号「２」の基板は、カセットの
２番目の棚に収容するというような設定にすると、基板
が抜き取られている場合には、その基板番号に対応する
棚が空となり、どの基板が抜かれたかが判明しやすいよ
うになる。

【０１０８】また、途中の棚が空となることが不都合で
あれば、アンローダＵＬにおいて上流から搬送されてく
る基板をカセットの１番目の棚から順次に収容していけ
ば、基板が抜き取られていても途中に空の棚を生じな
い。

【０１０９】以上説明したように、この実施の形態にお
いては、ローダにおいて基板を払い出す際に、払い出し
た順番に応じた基板番号を対応付け、各処理部では基板
を搬送する際に基板番号を対応付けて搬送する。そし
て、統合装置ＦＭにおいては下流に搬送した基板に対応
付けられていた基板番号を基板番号情報として記憶して
おき、並列処理ラインに設けられたＦＩＦＯバッファか
ら払い出し要求があった場合には、当該基板番号情報に
基づいて下流に基板を搬送する。従って、ロットの異な
る基板が他のロットに混入しない正確なロット毎の管理
を行うことができるとともに、１つのロットについて基
板の順序を換えることなくローダからアンローダまで基
板を導くことが可能となる。

【０１１０】＜2.3.変形例＞次に、この実施の形態につ
いての変形例について説明する。

【０１１１】まず、基板番号を各基板に対応付ける作業
を行うところは、ローダに限定するものではない。基板
の順序が入れ替わる可能性があるのは、並列処理ライン
から直列処理ラインに合流する部分である。従って、並
列処理ラインとなる前、すなわち、ローダＬから分岐装
置ＦＷの間の任意の位置で基板番号を対応付けすること
によっても基板の順序を換えることなくローダＬからア
ンローダＵＬに基板を導くことが可能となる。

【０１１２】また、基板に対応付ける基板番号は、数字
に限定するものでもない。すなわち、基板の順序を特定
できるものであれば文字又は記号等の情報であっても良
い。

【０１１３】さらに、第１の実施の形態で説明したよう
に、ロングタクト信号や供給停止信号を用いれば、トラ
ブルが発生した場合等にも適切なロット管理を行うこと
が可能となる。

【０１１４】＜３．第３の実施の形態＞ ＜3.1.装置の概要＞次に、この発明の第３の実施の形態
について説明する。この実施の形態は、第１の実施の形
態で説明した内容に、基板番号とロット番号を管理する
機能を付加することにより、カセット単位などのロット
管理が行えるだけではなく、それぞれのロットについて
基板の順序を換えることのないロット管理を行うことが
できるようにするものである。例えば、カセット毎にロ
ット管理を行う場合は、個々のカセットから払い出され
た順番を入れ換えることなく処理を行うことができるも
のである。なお、この実施の形態における基板処理装置
についても第１の実施の形態において図１で説明したよ
うに各処理部はそれぞれ内部にＣＰＵとメモリを備えて
おり、隣接するＣＰＵどうしは通信可能なように接続さ
れている。

【０１１５】図２０は、この発明の第３の実施の形態の
基板処理装置の構成を示す概略図である。図に示すよう
に、ローダＬから払い出される基板は、処理部Ｐ１を経
て分岐装置ＦＷに導かれる。分岐装置ＦＷでは、搬送さ
れてきた基板をＡラインの処理部ＰＡとＢラインの処理
部ＰＢに交互に振り分けて搬送する。Ａラインに搬送さ
れた基板は、処理部ＰＡから統合装置ＦＭに導かれる。
同様に、Ｂラインに搬送された基板は、処理部ＰＢから
統合装置ＦＭに導かれる。統合装置ＦＭは、Ａラインと
Ｂラインから搬送されて払い出されてくる基板を、基板
番号の大小などに関係なく払い出しの早い順に受け取
り、バッファＢＦに搬送する。そして、バッファＢＦ
は、下流の処理部Ｐ２に対して基板を搬送する。なお、
バッファＢＦは、下流の処理部Ｐ２に搬送した基板のう
ちの最後に下流に搬送した基板の基板番号を基板番号情
報として記憶しておくとともに、その基板のロット番号
をも記憶する機能を備えている。この記憶は、図１に示
したようにバッファ内のメモリの任意の領域を基板番号
およびロット番号の記憶領域として確保することにより
行われるが、他の記憶媒体に記憶しても良い。また、バ
ッファＢＦは、内部に収納している複数の基板の基板番
号と、新たに上流側が払い出そうとする基板の基板番号
を比較し、最も小さい基板番号の基板から先に下流へ払
い出す機能を有する。そして、処理部Ｐ２での処理が終
了した基板は、アンローダＵＬに導かれてカセットに収
容される。なお、処理部の数については任意である。

【０１１６】このような構成において、この実施の形態
では、ローダＬが基板を下流の処理部Ｐ１に払い出す際
に、カセット毎にロット番号を対応付けるとともに、そ
のカセットについて基板を払い出した順に応じて基板番
号を対応付ける。また、ロットエンド基板にはロットエ
ンド信号を対応付ける。

【０１１７】図２０に示す第３の実施の形態の基板処理
装置が第２の実施の形態と異なる点は、統合装置ＦＭの
下流にバッファＢＦが設けられてる点である。従って、
ＡラインとＢラインの並列処理ラインには、第２の実施
の形態で説明したようなＦＩＦＯバッファを設ける必要
がない。すなわち、この実施の形態の場合、バッファの
数を１個にすることができるので、基板処理装置の専有
面積を小さくすることが可能となるとともに、コストの
低下を実現することができる。

【０１１８】なお、この実施の形態においても、基板番
号とロット番号との下流への伝達は、第１の実施の形態
で説明したロットエンド信号と同様に、各処理部のＣＰ
Ｕ間の通信によって行われる。

【０１１９】さて、基板番号とロット番号が対応付けら
れた基板がローダＬから順次に払い出され、処理が進行
すると、図２１に示すような状態になる。図２１におい
て、基板を示す四角枠内に記されている数字のうち、上
段に記されている数字が基板番号であり、下段に記され
ている数字がロット番号である。また、２重枠線で示さ
れている基板Ｗ13，Ｗ14，Ｗ18，Ｗ19は、ロットエンド
信号が対応付けられたロットエンド信号付き基板を示し
ている。図２１に示す基板Ｗ1，Ｗ2，…，Ｗ19は、ロー
ダＬにおいて、２つのカセットからこの順に払い出され
た基板である。従って、基板Ｗ1には基板番号「１」と
ロット番号「１」が、基板Ｗ2には基板番号「２」とロ
ット番号「１」が対応付けられており、以下同様に、順
次に基板番号が対応付けられている。そして、基板Ｗ1
3，Ｗ14の後からは、ロット番号「２」についての基板
が基板番号の小さい順に続いている。なお、第１の実施
の形態で説明したように、分岐装置ＦＷにおいてロット
エンド信号をＡ，Ｂの両ラインに送信しているため、各
ロットごとのロットエンド信号付き基板が各ラインごと
に存在している。

【０１２０】そして、統合装置ＦＭは、Ａライン，Ｂラ
インから搬送されてくる基板を、通常は交互に、バッフ
ァＢＦに搬送する。なお、統合装置ＦＭは、上流側にバ
ッファを備えていないため、処理部ＰＡ，ＰＢから払い
出し要求があったときには、速やかにその基板を受け取
るように構成されている。そして、ロットエンド信号付
き基板を搬送する際には、同一のロットに関してＡライ
ンとＢラインのそれぞれから受け取るロットエンド信号
付き基板のうち、最後に通過する基板に対応づけられた
ロットエンド信号のみを有効として当該基板に対応づけ
て下流のバッファＢＦに基板の搬送とともに送信し、そ
れ以外の基板に対応づけられたロットエンド信号は消去
するなどして無効とし当該基板のみを下流のバッファＢ
Ｆに搬送する。

【０１２１】そして、バッファＢＦは、統合装置ＦＭか
ら搬送されてくる基板を受け取り、基板番号とロット番
号を調べる。そして、その基板番号とロット番号とに基
づいて、その基板を下流に搬送するか、又はバッファ内
に収容しておくかの判断を行う。そして、バッファＢＦ
よりも下流に対しても基板の搬送の際に基板番号とロッ
ト番号との送信が行われる。

【０１２２】バッファＢＦは、基板を下流の処理部Ｐ２
に搬送する際には、図２２に示すような処理を行う。図
２２は、この発明の第３の実施の形態の基板処理装置に
おけるバッファＢＦのフローチャートである。

【０１２３】まず、バッファＢＦに電源が供給されてプ
ログラムがロードされると、メモリの基板番号とロット
番号とを記憶するための記憶領域に「０」をセットする
（ステップＳ７０）。すなわち、基板番号とロット番号
とを初期値「０」に設定する。そして、バッファＢＦは
統合装置ＦＭから基板が搬送されてくると、基板に対応
付けられている基板番号とロット番号とを読み取る（ス
テップＳ７１）。このとき、基板がロットエンド信号付
き基板である場合にはロットエンド信号も読み取る。さ
らにこのとき、メモリに記憶しているロット番号が
「０」であるときには、搬送されてきた基板のロット番
号を記憶保持する。そして、ステップＳ７２において搬
送されてきた基板がロットエンド信号付き基板であるか
否かを調べる。これは、ロットエンド信号を受信してい
るかどうかによって行われる。そして、ロットエンド信
号付き基板である場合にはステップＳ７３に進み、ロッ
トエンド信号付き基板でない場合にはステップＳ７８に
進む。

【０１２４】搬送されてきた基板がロットエンド信号付
き基板でなかった場合は、ステップＳ７８において、そ
の基板のロット番号がメモリに記憶しているロット番号
と同じであって、基板番号がメモリに記憶している基板
番号に対して「＋１」となるかどうかを調べる。そして
「ＹＥＳ」であればステップＳ７９に、「ＮＯ」であれ
ばステップＳ８２に進む。ステップＳ７９では、搬送さ
れてきた基板が同一のロットであり、かつ、順序通りの
基板であるのでそのまま下流の処理部Ｐ２に搬送する。
そして、下流に搬送した基板の基板番号をメモリに書き
込むことにより、メモリの基板番号を更新する（ステッ
プＳ８０）。そして、ステップＳ８０で更新されたメモ
リの基板番号に基づいて、次に搬送すべき順序の基板が
バッファ内にあるかどうかを調べる（ステップＳ８
１）。「ＹＥＳ」であれば、ステップＳ７９〜Ｓ８１の
処理を繰り返す。「ＮＯ」であれば、ステップＳ７１に
戻る。一方、ステップＳ７８で「ＮＯ」と判断された場
合は、下流に搬送すべき順序の基板ではないため、バッ
ファ内に収容し（ステップＳ８２）、ステップＳ７１に
戻る。

【０１２５】ステップＳ７１で搬送された基板につき、
ステップＳ７２においてロットエンド信号が対応付けら
れていると判断されると、ステップＳ７３では、バッフ
ァ内に基板を収容しているか否かを調べる。そして、バ
ッファ内に基板が存在する場合には、今回搬送されたロ
ットエンド信号付き基板も含めた中から、メモリに記憶
しているロット番号と同じロット番号の基板であって、
基板番号の若い（小さい）基板から順次に下流の処理部
Ｐ２に搬送する（ステップＳ７４）。そして、最後に搬
送する基板、すなわち、基板番号の最も大きい基板を下
流に搬送する際に、ロットエンド信号の送信を行う（ス
テップＳ７５）。一方、バッファ内に基板が存在しない
場合には、搬送されてきたロットエンド基板を下流に搬
送するとともに、ロットエンド信号を送信するのみであ
る（ステップＳ７６）。ステップＳ７３〜Ｓ７６の処理
により、メモリに記憶しているロット番号についての基
板は、全て下流に搬送したこととなるため、メモリの基
板番号を「０」にリセットし、ロット番号を次のものに
更新する（ステップＳ７７）。そして、処理はステップ
Ｓ８３に進む。

【０１２６】そして、ステップＳ８３において、さら
に、次のロット番号の基板が搬送されてくるかどうかを
判断し、「ＹＥＳ」の場合はステップＳ７１に処理を戻
し上記の処理を繰り返す。また、「ＮＯ」の場合には処
理は終了する。

【０１２７】以上説明したような処理を行うことによ
り、図２０に示すような構成であっても、基板の順序を
入れ換えることなく基板を順次に搬送していくことがで
きる。

【０１２８】次に、この実施の形態の基板処理装置の処
理内容を基板の搬送の流れに沿って示すと図２３に示す
ようなフローとなる。図２３に示すように、この実施の
形態の基板処理装置（図２０参照）では、まずローダＬ
において基板に対して基板番号とロット番号を対応付け
るとともに、ロットの最後の基板に対してはロットエン
ド信号が対応付けられる（ステップＳ２０１）。そし
て、ローダＬにおいて基板を払い出す際に、基板番号と
ロット番号とを下流の処理部Ｐ１のＣＰＵに対して送信
する（ステップＳ２０２）。なお、下流に搬送する基板
にロットエンド信号が対応付けられている場合は、その
際に当該ロットエンド信号も送信する。処理部Ｐ１で
は、基板を下流の分岐装置ＦＷに搬送する際に基板番号
とロット番号とを下流の分岐装置ＦＷのＣＰＵに対して
送信するとともに、必要に応じてロットエンド信号の送
信も行われる（ステップＳ２０３）。分岐装置ＦＷにお
いては並列処理ラインを構成する各ラインに対して基板
を交互に搬送する。そして、搬送の際に基板番号とロッ
ト番号とを各ラインに送信する。また第１の実施の形態
で説明したように必要に応じて全ての並列処理ラインに
対してロットエンド信号を送信する（ステップＳ２０
４）。そして、各ラインの処理部ＰＡ，ＰＢにおいても
下流に基板を搬送する際に基板番号とロット番号とを送
信する（ステップＳ２０５）。統合装置ＦＭは上流の処
理部ＰＡ，ＰＢが払い出す順で基板を受け取り、基板を
下流に搬送する際に、下流に基板番号とロット番号を送
信する。なお、統合装置ＦＭにはロットエンド信号が全
てのラインから送られてくるが、下流に搬送する際には
最後に通過するロットエンド信号付き基板に対してのみ
ロットエンド信号を対応付けて送信し、その他のロット
エンド信号を無効にする（ステップＳ２０６）。そし
て、バッファＢＦは基板番号とロット番号に基づいて基
板を下流に搬送するとともに、その搬送の際に基板の基
板番号とロット番号とをメモリに記憶する（ステップＳ
２０７）。このとき、受け取ったロットエンド信号付き
基板の基板番号より大きい基板番号を持つ基板がバッフ
ァＢＦ内であれば、最も大きい基板番号を持つ基板へ、
受け取ったロットエンド信号付き基板に対応付けられて
いたロットエンド信号を付け替える。そして、基板番号
の小さい基板から順に下流へ搬送し、最後にロットエン
ド信号が対応付けられたロットエンド基板を下流へ搬送
する。このロットエンド信号の付け替えの処理によりロ
ットエンド信号の適正化を図ることができる。そして、
処理部Ｐ２においても下流に基板を搬送する際に基板番
号とロット番号とを送信する（ステップＳ２０８）。最
後にアンローダＵＬにおいて基板番号とロット番号とに
基づいて基板をカセットに収容し、一連の基板処理が終
了する（ステップＳ２０９）。

【０１２９】＜3.2.基板が抜き取られた場合＞次に、統
合装置ＦＭより上流において、基板が抜き取られた場合
について説明する。図２４は、基板の抜き取りがあった
場合の基板の流れを説明するための説明図である。そし
て、図２４は、図２１に示す状態において処理部ＰＡで
基板番号「１１」の基板Ｗ11が何らかのトラブルにより
抜き取られた場合を示している。

【０１３０】基板の抜き取り操作は、第２の実施形態と
同様にオペレータによって行われ、基板Ｗ11に対応付け
られていた基板番号，ロット番号はマニュアル操作によ
り消去される。

【０１３１】バッファＢＦは下流に基板Ｗ8を搬送した
後であるので、メモリに記憶している基板番号は「８」
であり、ロット番号は「１」となっている。バッファＢ
Ｆは、下流に搬送した基板Ｗ8の基板番号「８」を記憶
保持しているため、次に下流に搬送する基板としてロッ
ト番号「１」，基板番号「９（＝８＋１）」を示す基板
が払い出されることをを期待する。そして、統合装置Ｆ
Ｍから実際にロット番号「１」，基板番号「９」の基板
Ｗ9が搬送されてくると、下流に搬送する。このとき
に、メモリに記憶している基板番号を「９」に更新す
る。同様に、基板Ｗ10についても順序通りの基板である
ため下流に搬送され、そのときにメモリに記憶している
基板番号が「１０」に更新される。

【０１３２】しかし、次に、基板番号「１１」を示す基
板は既に抜き取られているため、そのような基板は搬送
されてこない。そして、図２４に示すように基板Ｗ13が
先に統合装置ＦＭに導かれたとする。ここで、基板Ｗ13
に対応付けられているロットエンド信号は無効にされ、
通常の基板としてバッファＢＦに搬送されることとな
る。基板Ｗ13がバッファＢＦに導かれても、基板番号が
「１１（＝１０＋１）」ではないため、バッファ内に収
容される。そして、次に、基板Ｗ12がバッファＢＦに導
かれても、基板番号が異なるため、バッファ内に収容さ
れる。そして、基板Ｗ14がバッファＢＦに搬送されたと
きに、バッファＢＦは基板Ｗ14がロットエンド基板であ
ることを認識し、バッファ内に収容されている当該ロッ
トの基板を基板番号が若い順に下流に搬送する。そし
て、最大の基板番号をもつ基板Ｗ１４が、ロットエンド
信号が対応付けられたロットエンド基板として下流に搬
送される。

【０１３３】このように、この実施の形態の基板処理装
置は、基板が抜き取られた場合であっても正常にロット
の管理を行うことができるとともに、基板順序を入れ換
えることがない管理が可能である。

【０１３４】なお、以上の例では、抜き取られた基板番
号「１１」の基板より後に搬送されてくる基板は、ロッ
トエンド信号が対応づけられた基板がくるまで全てがバ
ッファＢＦ内に収納され、ロットエンド信号付きの基板
がきた時点でバッファＢＦから払い出しがなされること
になる。以上の制御構成にかえて、ある基板が抜き取ら
れたとき、その基板の基板番号（上記の例では「１
１」）とロット番号とを消去することなく、第１の実施
形態で説明したロットエンド信号の場合と同様に、かか
る番号情報のみを下流側へ送信する構成とすれば、基板
の抜き取りがあった場合でも、ロットエンド信号付き基
板を待たずに基板を順次下流へ搬送できる。

【０１３５】＜3.3.別のロットの基板が混在した場合＞
次に、バッファＢＦにおいて、異なるロットの基板が混
在した場合について説明する。図２５は、異なるロット
の基板が混在した場合の基板の流れを説明するための説
明図である。

【０１３６】図２５は、ロット番号「１」のロットエン
ド基板Ｗ14がバッファＢＦに搬送される前に、ロット番
号「２」の基板Ｗ15が搬送された状態を示している。こ
のようなことは、Ｂラインのトラブルなどのため、Ａラ
インにおける処理が相体的に早く進んだ場合などにおこ
り得る。バッファＢＦは、下流に基板Ｗ12を搬送した後
であるので、次に下流に搬送する基板は、基板Ｗ13であ
る。従って、基板Ｗ15はバッファ内に収容されることと
なり、バッファ内に収容されていた基板Ｗ13は、下流の
処理部Ｐ２に搬送される。そして次に、バッファＢＦに
ロット番号「２」，基板番号「３」の基板Ｗ17が搬送さ
れた場合、バッファＢＦには未だロット番号「１」のロ
ットエンド基板が搬送されていないので基板Ｗ17をバッ
ファ内に収容することとなる。そして、基板Ｗ14がバッ
ファＢＦに搬送されると、下流に搬送すべき適切な順序
の基板であるのでロットエンド基板として処理部Ｐ２に
搬送される。そして、バッファＢＦの記憶している基板
番号は「０」にリセットされ、ロット番号は更新されて
「２」となる。そして、バッファＢＦには既にロット番
号「２」の基板が搬送されているので、基板番号「１」
の基板Ｗ15から基板番号順に下流に搬送する。

【０１３７】このように、この実施の形態の基板処理装
置は、バッファＢＦ内で異なるロットの基板が混在する
ような場合であっても正常にロットの管理を行うことが
できるとともに、基板順序を入れ換えることがない管理
が可能である。

【０１３８】＜3.4.変形例＞次に、この実施の形態につ
いての変形例について説明する。

【０１３９】まず、基板番号を各基板に対応付けるの
は、ローダに限定するものではない。基板の順序が入れ
替わる可能性があるのは、並列処理ラインから直列処理
ラインに合流する部分である。従って、基板番号は並列
処理ラインとなる前、すなわち、ローダＬから分岐装置
ＦＷの間の任意の位置で基板番号を対応付けすることに
よっても基板の順序を換えることなくローダＬからアン
ローダＵＬに基板を導くことが可能となる。

【０１４０】また、基板に対応付ける基板番号は、数字
に限定するものでもない。すなわち、基板の順序を特定
できるものであれば文字又は記号等の情報であっても良
い。

【０１４１】さらに、第１の実施の形態で説明したよう
に、ロングタクト信号や供給停止信号を用いれば、トラ
ブルが発生した場合等にも適切なロット管理を行うこと
が可能となる。

【０１４２】

【発明の効果】以上説明したように、請求項１に記載の
発明によれば、合流箇所において識別情報を対応付けら
れた基板のうち所定の順番に通過する基板にのみ識別情
報を対応付け、その他の基板に対応付けられた識別情報
を無効にするため、常に正確なロット毎の管理を行うこ
とができる。

【０１４３】請求項２に記載の発明によれば、合流箇所
において識別情報を対応付けられた基板のうち最後に通
過する基板にのみ識別情報を対応付け、その他の基板に
対応付けられた識別情報を無効にするため、ロットの最
後の基板を正確に認識することができ、そして常に正確
なロット毎の管理を行うことができる。

【０１４４】請求項３に記載の発明によれば、直列処理
ライン及び並列処理ラインは、基板を順次に搬送すると
ともに当該基板に対応付けられた情報を当該基板の搬送
に伴って伝達するため、常に正確にロット毎の区切りと
なる基板が認識できる。

【０１４５】請求項４に記載の発明によれば、並列処理
ラインの全ての処理ラインから識別情報を対応付けられ
た基板が搬送されてきたことを認識するまでの間に、既
に識別情報が対応付けられた基板が搬送されてきた処理
ラインからさらに搬送されてくる基板を一時待機させて
おく待機手段を備えるため、次のロットの基板が前のロ
ットの基板を追い越すことがない。

【０１４６】請求項５に記載の発明によれば、待機手段
の以前の処理ラインに存在する基板数が待機手段の基板
収容可能残量に至ったときに、基板供給装置からの新規
の基板の払い出しを停止するため、処理ラインに基板を
残すことなく待機手段に全ての基板を収納することがで
きる。

【０１４７】請求項６に記載の発明によれば、並列処理
ラインの任意の処理ラインに異常が発生したときに、基
板供給装置からの基板の払い出し周期を長くするため、
直列処理ラインとして正常に基板処理を行うことができ
る。

【０１４８】請求項７に記載の発明によれば、常に正確
なロット毎の管理を行うことができる。

【０１４９】請求項８に記載の発明によれば、ロットの
最後の基板を正確に認識することができ、そして常に正
確なロット毎の管理を行うことができる。

【０１５０】請求項９に記載の発明によれば、直列処理
ライン及び並列処理ラインの基板を順次に搬送する際
に、当該基板に対応付けられた情報を当該基板の搬送に
伴って伝達するため、常に正確にロット毎の区切りとな
る基板が認識できる。

【０１５１】請求項１０に記載の発明によれば、並列処
理ラインの全ての処理ラインから識別情報を対応付けら
れた基板が搬送されてきたことを認識するまでの間に、
既に識別情報が対応付けられた基板が搬送されてきた処
理ラインからさらに搬送されてくる基板を基板収容機構
に一時待機させておくため、次のロットの基板が前のロ
ットの基板を追い越すことがない。

【０１５２】請求項１１に記載の発明によれば、基板収
容機構の以前の処理ラインに存在する基板数が基板収容
機構の基板収容可能残量に至ったときに、基板供給装置
からの新規の基板の払い出しを停止するため、処理ライ
ンに基板を残すことなく基板収容機構に全ての基板を収
納することができる。

【０１５３】請求項１２に記載の発明によれば、並列処
理ラインの任意の処理ラインに異常が発生したときに、
基板供給装置からの基板の払い出し周期を長くするた
め、直列処理ラインとして正常に基板処理を行うことが
できる。

【０１５４】請求項１３に記載の発明によれば、合流箇
所は、複数の基板収容手段から供給される基板を記憶手
段に記憶している番号情報に基づいて下流に搬送するた
め、合流箇所より下流に搬送される基板は、基板番号の
小さい基板から順に搬送され、基板番号が入れ換わるこ
とはない。従って、常に正確なロット毎の管理を行うこ
とが可能となる。

【０１５５】請求項１４に記載の発明によれば、合流箇
所は、番号情報送信手段から得られる当該基板の番号情
報と記憶手段に記憶している番号情報とが所定の関係を
示す場合に基板収容手段から当該基板を受け取り、番号
情報送信手段から得られる当該基板の番号情報と記憶手
段に記憶している番号情報とが所定の関係を示さない場
合に基板収容手段に当該基板を待機させるため、合流箇
所より下流には基板番号に応じた順序で搬送することが
できる。

【０１５６】請求項１５に記載の発明によれば、合流箇
所において各ロットの最後尾の基板に対応付けられた識
別情報を対応付けられた基板のうち最後に通過する基板
についてのみ識別情報を有効として判定し、その他の基
板に対応付けられた識別情報を無効にするとともに、有
効として判定された基板を下流に搬送する際に、記憶手
段に記憶している番号情報を所定値に修正するため、異
なるロットの基板を混在させることなく基板の搬送を行
うことが可能となる。

【０１５７】請求項１６に記載の発明によれば、基板収
容手段は、上流から供給される基板を記憶部に記憶して
いるロット番号と番号情報とに基づいて下流に搬送する
ため、基板収容手段より下流に搬送される基板は、基板
番号の小さい基板から順に搬送することができ、常に正
確なロット毎の管理を行うことが可能となる。また、装
置の専有面積を小さくすることが可能となるとともに、
コストの低下を実現することができる。

【０１５８】請求項１７に記載の発明によれば、基板収
容手段は、上流から得られる基板のロット番号および番
号情報と、記憶部に記憶しているロット番号および番号
情報とが所定の関係を示す場合に当該基板を下流に搬送
し、上流から得られる基板のロット番号および番号情報
と、記憶部に記憶しているロット番号および番号情報と
が所定の関係を示さない場合に当該基板を収容して待機
させるため、基板収容手段より下流には基板番号に応じ
た順序で搬送することができるとともに異なるロットの
基板が混在することを防止することができる。

【０１５９】請求項１８に記載の発明によれば、上流か
ら得られた基板に識別情報が付加されていた場合は、条
件搬送手段による搬送が行われるとともに、必要に応じ
て識別情報を他の基板に付け替えることを行い、識別情
報が付加された基板を下流に搬送する際に、記憶部に記
憶している番号情報を所定値に修正するため、異なるロ
ットの基板を混在させることなく基板の搬送を行うこと
が可能となり、常に正確なロット毎の管理を行うことが
可能となる。

【０１６０】請求項１９に記載の発明によれば、分岐箇
所から上流側の位置において基板を下流に搬送する際
に、基板の払い出した順番に応じた番号情報を対応付
け、合流箇所において下流に基板を搬送する際に、当該
基板に対応付けられた番号情報を記憶し、合流箇所にお
いて上流から供給される基板を記憶工程において記憶し
た番号情報に基づいて下流に搬送するため、合流箇所よ
り下流に搬送される基板は、基板番号の小さい基板から
順に搬送され、基板番号が入れ換わることはない。従っ
て、常に正確なロット毎の管理を行うことが可能とな
る。

【０１６１】請求項２０に記載の発明によれば、合流箇
所において上流から得られる基板の番号情報と記憶工程
において記憶した番号情報とが所定の関係を示す場合に
上流からの基板を受け取り、下流に搬送し、合流箇所に
おいて上流から得られる基板の番号情報と記憶工程にお
いて記憶した番号情報とが所定の関係を示さない場合に
上流からの基板を待機させるため、合流箇所より下流に
は基板番号に応じた順序で搬送することができる。

【０１６２】請求項２１に記載の発明によれば、合流箇
所において各ロットの最後尾の基板に対応付けられた識
別情報を認識し、その基板のうち最後に通過する基板に
ついてのみ識別情報を有効として判定し、その他の基板
に対応付けられた識別情報を無効にする。そして、有効
として判定された基板を下流に搬送する際に、記憶して
いる番号情報を所定値に修正するため、異なるロットの
基板を混在させることなく基板の搬送を行うことが可能
となる。

【０１６３】請求項２２に記載の発明によれば、分岐箇
所から上流側の位置において基板を下流に搬送する際に
ロット毎に対応付けられたロット番号と基板を下流に払
い出した順番に応じた番号情報とを当該基板に対応付
け、合流箇所の下流側に設けられた基板収容部において
下流に基板を搬送する際に当該基板に対応付けられたロ
ット番号と番号情報を記憶する。そして、基板収容部に
おいて上流から供給される基板を記憶しているロット番
号と番号情報とに基づいて下流に搬送するため、基板収
容部より下流に搬送される基板は、基板番号の小さい基
板から順に搬送することができ、常に正確なロット毎の
管理を行うことが可能となる。

【０１６４】請求項２３に記載の発明によれば、上流か
ら得られる基板のロット番号および番号情報と、記憶し
ているロット番号および番号情報とが所定の関係を示す
場合に当該基板を下流に搬送し、上流から得られる基板
のロット番号および番号情報と、記憶しているロット番
号および番号情報とが所定の関係を示さない場合に当該
基板を収容して待機させるため、基板収容部より下流に
は基板番号に応じた順序で搬送することができるととも
に異なるロットの基板が混在することを防止することが
できる。

【０１６５】請求項２４の記載の発明によれば、各ロッ
トの最後尾の基板に対応付けられた識別情報を認識し、
上流から得られた基板についてのロット番号と番号情報
と、基板収容部に収容して待機させている基板について
のロット番号と番号情報とを比較し、所定の条件を満た
す基板を下流に搬送する。そして、必要に応じて識別情
報を他の基板に付け替えることを行い、識別情報が付加
された基板を下流に搬送する際に、記憶部に記憶してい
る番号情報を所定値に修正するため、異なるロットの基
板を混在させることなく基板の搬送を行うことが可能と
なり、常に正確なロット毎の管理を行うことが可能とな
る。

【図面の簡単な説明】

【図１】この発明の実施の形態を示す基板処理装置の概
念的構成図である。

【図２】この発明の実施の形態を示す基板処理装置の概
念図である。

【図３】この発明の基板処理装置の分岐装置のフローチ
ャートである。

【図４】この発明の基板処理装置の統合装置のフローチ
ャートである。

【図５】この発明の実施の形態を示す基板処理装置の説
明図である。

【図６】この発明の実施の形態を示す基板処理装置の概
念図である。

【図７】この発明の基板処理装置の一構成例を示す装置
構成図である。

【図８】この発明の基板処理装置の基板の搬送機構を示
す斜視図である。

【図９】この発明の基板処理装置の統括ＣＰＵを有する
場合の概念図である。

【図１０】この発明の基板処理装置の統合装置より下流
において異常が発生した場合の動作を示す説明図であ
る。

【図１１】この発明の基板処理装置の統合装置，分岐装
置，ＦＩＦＯバッファのフローチャートである。

【図１２】この発明の基板処理装置の片方のラインにお
いて異常が発生した場合の動作を示す説明図である。

【図１３】この発明の基板処理装置の分岐装置のフロー
チャートである。

【図１４】この発明の第２の実施の形態を示す基板処理
装置の概念的構成図である。

【図１５】この発明の第２の実施の形態についての基板
番号を説明するための説明図である。

【図１６】この発明の第２の実施の形態の基板処理装置
における統合装置のフローチャートである。

【図１７】この発明の第２の実施の形態の基板処理装置
における基板の流れを説明するための説明図である。

【図１８】この発明の第２の実施の形態の基板処理装置
の処理内容を基板の搬送の流れに沿って示すフローチャ
ートである。

【図１９】この発明の第２の実施の形態において基板の
抜き取りがあった場合の基板の流れを説明するための説
明図である。

【図２０】この発明の第３の実施の形態を示す基板処理
装置の概念的構成図である。

【図２１】この発明の第３の実施の形態についての基板
番号とロット番号とを説明するための説明図である。

【図２２】この発明の第３の実施の形態の基板処理装置
におけるバッファＢＦのフローチャートである。

【図２３】この発明の第３の実施の形態の基板処理装置
の処理内容を基板の搬送の流れに沿って示すフローチャ
ートである。

【図２４】この発明の第３の実施の形態において基板の
抜き取りがあった場合の基板の流れを説明するための説
明図である。

【図２５】この発明の第３の実施の形態における異なる
ロットの基板が混在した場合の基板の流れを説明するた
めの説明図である。

【図２６】従来の直列的に配置された直列処理ラインの
みから成る基板処理装置の概念図である。

【図２７】従来の並列的に配置された並列処理ラインを
含む基板処理装置の概念図である。

【符号の説明】

Ｌ ローダ Ｐ１，Ｐ２，Ｐ４ 任意の処理部 ＰＡ，ＰＡ１，ＰＡ２ Ａラインの任意の処理部 ＰＢ，ＰＢ１，ＰＢ２ Ｂラインの任意の処理部 ＦＷ 分岐装置 ＦＭ 統合装置 ＵＬ アンローダ ＢＦ バッファ ＢＦ１，ＢＦ２，ＢＦ３ ＦＩＦＯバッファ Ｗ（Ｗ1，Ｗ2，…，Ｗn-1，Ｗn） 基板

Claims (24)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 直列的に配置された直列処理ラインが所
   定の分岐箇所において並列的に配置された並列処理ライ
   ンに分岐し、当該並列処理ラインが所定の合流箇所にお
   いて合流する基板処理装置であって、 特定基板に識別情報を対応付ける第１の手段と、 前記特定基板が前記分岐箇所において前記並列処理ライ
   ンのいずれかの処理ラインに搬送されることを認識する
   第２の手段と、 前記特定基板の搬送された前記処理ラインを除く前記並
   列処理ラインの全ての処理ラインの特定の基板に対して
   前記識別情報を付与する第３の手段と、 前記合流箇所において前記識別情報を対応付けられた基
   板が前記並列処理ラインの任意の処理ラインから搬送さ
   れてきたことを認識する第４の手段と、を備え、 前記合流箇所において前記識別情報を対応付けられた基
   板のうち所定の順番に通過する基板についてのみ前記識
   別情報を有効として判定し、その他の基板に対応付けら
   れた前記識別情報を無効にすることを特徴とする基板処
   理装置。
2. 【請求項２】 直列的に配置された直列処理ラインが所
   定の分岐箇所において並列的に配置された並列処理ライ
   ンに分岐し、当該並列処理ラインが所定の合流箇所にお
   いて合流する基板処理装置であって、 ロットの最後尾の基板を特定基板とし、当該特定基板に
   識別情報を対応付ける第１の手段と、 前記特定基板が前記分岐箇所において前記並列処理ライ
   ンのいずれかの処理ラインに搬送されることを認識する
   第２の手段と、 前記第２の手段による前記特定基板の認識時に前記最後
   尾の基板の搬送された前記処理ラインを除く前記並列処
   理ラインの全ての処理ライン中に存在する最後尾の基板
   に前記識別情報を対応付ける第３の手段と、 前記合流箇所において前記識別情報を対応付けられた基
   板が前記並列処理ラインの任意の処理ラインから搬送さ
   れてきたことを認識する第４の手段と、 を備え、 前記合流箇所において前記識別情報を対応付けられた基
   板のうち最後に通過する基板についてのみ前記識別情報
   を有効として判定し、その他の基板に対応付けられた前
   記識別情報を無効にすることを特徴とする基板処理装
   置。
3. 【請求項３】 請求項１または２に記載の基板処理装置
   において、 各処理ラインに対応した記憶領域を有する記憶手段と、 基板の搬送状況に従って、前記識別情報を前記記憶領域
   間で伝達する伝達手段と、を有することを特徴とする基
   板処理装置。
4. 【請求項４】 請求項１乃至３のいずれかに記載の基板
   処理装置において、 前記第４の手段が前記並列処理ラインの全ての処理ライ
   ンから前記識別情報を対応付けられた基板が搬送されて
   きたことを認識するまでの間に、既に前記識別情報が対
   応付けられた基板が搬送されてきた処理ラインからさら
   に基板が搬送されてきた場合に当該基板を一時待機させ
   ておく待機手段をさらに備えることを特徴とする基板処
   理装置。
5. 【請求項５】 請求項４に記載の基板処理装置におい
   て、 前記待機手段の以前の処理ラインに存在する基板数が前
   記待機手段の基板収容可能残量に至ったときに、基板供
   給装置からの新規の基板の払い出しを停止することを特
   徴とする基板処理装置。
6. 【請求項６】 請求項１乃至５のいずれかに記載の基板
   処理装置において、 前記並列処理ラインの任意の処理ラインに異常が発生し
   たときに、基板供給装置からの基板の払い出し周期を異
   常発生前よりも長くすることを特徴とする基板処理装
   置。
7. 【請求項７】 直列的に配置された直列処理ラインが所
   定の分岐箇所において並列的に配置された並列処理ライ
   ンに分岐し、当該並列処理ラインが所定の合流箇所にお
   いて合流する基板処理方法であって、 特定基板に識別情報を対応付ける第１の工程と、 前記特定基板が前記分岐箇所において前記並列処理ライ
   ンのいずれかの処理ラインに搬送されることを認識する
   第２の工程と、 前記特定基板の搬送された前記処理ラインを除く前記並
   列処理ラインの全ての処理ラインの特定の基板に対して
   前記識別情報を対応付ける第３の工程と、 前記合流箇所において前記並列処理ラインの任意の処理
   ラインから前記識別情報を対応付けられた基板が搬送さ
   れてきたことを認識し、そのうち所定の順番に通過する
   基板についてのみ前記識別情報を有効として判定し、そ
   の他の基板に対応付けられた前記識別情報を無効にする
   第４の工程と、を有することを特徴とする基板処理方
   法。
8. 【請求項８】 直列的に配置された直列処理ラインが所
   定の分岐箇所において並列的に配置された並列処理ライ
   ンに分岐し、当該並列処理ラインが所定の合流箇所にお
   いて合流する基板処理方法であって、 ロットの最後尾の基板を特定基板とし、当該特定基板に
   識別情報を対応付ける第１の工程と、 前記特定基板が前記分岐箇所において前記並列処理ライ
   ンのいずれかの処理ラインに搬送されることを認識する
   第２の工程と、 前記第２の工程による前記特定基板の認識時に前記特定
   基板の搬送された前記処理ラインを除く前記並列処理ラ
   インの全ての処理ライン中に存在する最後尾の基板に前
   記識別情報を対応付ける第３の工程と、 前記合流箇所において前記並列処理ラインの任意の処理
   ラインから前記識別情報を対応付けられた基板が搬送さ
   れてきたことを認識し、そのうち最後に通過する基板に
   ついてのみ前記識別情報を有効として判定し、その他の
   基板に対応付けられた前記識別情報を無効にする第４の
   工程と、を有することを特徴とする基板処理方法。
9. 【請求項９】 請求項７または８に記載の基板処理方法
   において、 基板の搬送状況に従って、前記識別情報を各処理ライン
   に対応した記憶領域間で伝達することを特徴とする基板
   処理方法。
10. 【請求項１０】 請求項７乃至９のいずれかに記載の基
    板処理方法において、 前記並列処理ラインの全ての処理ラインから前記識別情
    報を対応付けられた基板が搬送されてきたことを認識す
    るまでの間に、既に前記識別情報が対応付けられた基板
    が搬送されてきた処理ラインからさらに基板が搬送され
    てきた場合に当該基板を基板収容機構に一時待機させて
    おくことを特徴とする基板処理方法。
11. 【請求項１１】 請求項１０に記載の基板処理方法にお
    いて、 前記基板収容機構の以前の処理ラインに存在する基板数
    が前記基板収容機構の基板収容可能残量に至ったとき
    に、基板供給装置からの新規の基板の払い出しを停止す
    ることを特徴とする基板処理方法。
12. 【請求項１２】 請求項７乃至１１のいずれかに記載の
    基板処理方法において、 前記並列処理ラインの任意の処理ラインに異常が発生し
    たときに、基板供給装置からの基板の払い出し周期を異
    常発生前よりも長くすることを特徴とする基板処理方
    法。
13. 【請求項１３】 直列的に配置された直列処理ラインが
    所定の分岐箇所において並列的に配置された並列処理ラ
    インに分岐し、当該並列処理ラインが所定の合流箇所に
    おいて合流する基板処理装置であって、 前記分岐箇所から上流側の位置において基板を下流に搬
    送する際に、前記基板の払い出した順番に応じた番号情
    報を対応付ける番号付加手段と、 前記合流箇所において下流に基板を搬送する際に、当該
    基板に対応付けられた前記番号情報を記憶する記憶手段
    と、 前記並列処理ラインから前記合流箇所に基板を導く位置
    に設けられた基板を収容することが可能な複数の基板収
    容手段と、を備え、 前記合流箇所は、前記複数の基板収容手段から供給され
    る基板を前記記憶手段に記憶している前記番号情報に基
    づいて下流に搬送することを特徴とする基板処理装置。
14. 【請求項１４】 請求項１３に記載の基板処理装置にお
    いて、 前記基板収容手段は、収納した基板に対応付けられた前
    記番号情報を前記合流箇所に対して送信する番号情報送
    信手段を備え、 前記合流箇所は、前記番号情報送信手段から得られる当
    該基板の番号情報と前記記憶手段に記憶している番号情
    報とが所定の関係を示す場合に前記基板収容手段から当
    該基板を受け取り、前記番号情報送信手段から得られる
    当該基板の番号情報と前記記憶手段に記憶している番号
    情報とが前記所定の関係を示さない場合に前記基板収容
    手段に当該基板を待機させることを特徴とする基板処理
    装置。
15. 【請求項１５】 請求項１３または１４に記載の基板処
    理装置において、 前記合流箇所において各ロットの最後尾の基板に対応付
    けられた識別情報を認識する手段を備え、 前記合流箇所において前記識別情報を対応付けられた基
    板のうち最後に通過する基板についてのみ前記識別情報
    を有効として判定し、その他の基板に対応付けられた前
    記識別情報を無効にするとともに、前記有効として判定
    された基板を下流に搬送する際に、前記記憶手段に記憶
    している前記番号情報を所定値に修正することを特徴と
    する基板処理装置。
16. 【請求項１６】 直列的に配置された直列処理ラインが
    所定の分岐箇所において並列的に配置された並列処理ラ
    インに分岐し、当該並列処理ラインが所定の合流箇所に
    おいて合流する基板処理装置であって、 前記分岐箇所から上流側の位置において基板を下流に搬
    送する際に、ロット毎に対応付けられたロット番号と前
    記基板の払い出した順番に応じた番号情報とを当該基板
    に対応付ける番号付加手段と、 基板を収容することが可能で前記合流箇所の下流側に設
    けられる基板収容手段と、 前記基板収納手段から下流に基板を搬送する際に当該基
    板に対応付けられた前記ロット番号と前記番号情報を記
    憶する記憶部と、を備え、 前記基板収容手段は、上流から供給される基板を前記記
    憶部に記憶している前記ロット番号と前記番号情報とに
    基づいて下流に搬送することを特徴とする基板処理装
    置。
17. 【請求項１７】 請求項１６に記載の基板処理装置にお
    いて、 前記基板収容手段は、上流から得られる基板の前記ロッ
    ト番号および前記番号情報と、前記記憶部に記憶してい
    る前記ロット番号および前記番号情報とが所定の関係を
    示す場合に当該基板を下流に搬送し、上流から得られる
    基板の前記ロット番号および前記番号情報と、前記記憶
    部に記憶している前記ロット番号および前記番号情報と
    が前記所定の関係を示さない場合に当該基板を収容して
    待機させることを特徴とする基板処理装置。
18. 【請求項１８】 請求項１６または１７に記載の基板処
    理装置において、 前記基板収容手段は、 各ロットの最後尾の基板に対応付けられた識別情報を認
    識する識別情報認識手段と、 上流から得られた基板についてのロット番号と番号情報
    と、収容して待機させている基板についてのロット番号
    と番号情報とを比較し、所定の条件を満たす基板を下流
    に搬送する条件搬送手段と、を備え、 上流から得られた基板に前記識別情報が付加されていた
    場合は、前記条件搬送手段による搬送が行われるととも
    に、必要に応じて前記識別情報を他の基板に付け替える
    ことを行い、前記識別情報が付加された基板を下流に搬
    送する際に、前記記憶部に記憶している前記番号情報を
    所定値に修正することを特徴とする基板処理装置。
19. 【請求項１９】 直列的に配置された直列処理ラインが
    所定の分岐箇所において並列的に配置された並列処理ラ
    インに分岐し、当該並列処理ラインが所定の合流箇所に
    おいて合流する基板処理方法であって、 前記分岐箇所から上流側の位置において基板を下流に搬
    送する際に、前記基板の払い出した順番に応じた番号情
    報を対応付ける番号付加工程と、 前記合流箇所において下流に基板を搬送する際に、当該
    基板に対応付けられた前記番号情報を記憶する記憶工程
    と、 前記合流箇所において上流から供給される基板を前記記
    憶工程において記憶した前記番号情報に基づいて下流に
    搬送する搬送工程と、を有することを特徴とする基板処
    理方法。
20. 【請求項２０】 請求項１９に記載の基板処理方法にお
    いて、 前記搬送工程は、 前記合流箇所において上流から得られる基板の番号情報
    と前記記憶工程において記憶した番号情報とが所定の関
    係を示す場合に上流からの前記基板を受け取り、下流に
    搬送する工程と、 前記合流箇所において上流から得られる基板の番号情報
    と前記記憶工程において記憶した番号情報とが前記所定
    の関係を示さない場合に上流からの前記基板を待機させ
    る工程と、を有することを特徴とする基板処理方法。
21. 【請求項２１】 請求項１９または２０に記載の基板処
    理方法において、 前記合流箇所において各ロットの最後尾の基板に対応付
    けられた識別情報を認識する工程と、 前記合流箇所において前記識別情報を対応付けられた基
    板のうち最後に通過する基板についてのみ前記識別情報
    を有効として判定し、その他の基板に対応付けられた前
    記識別情報を無効にする工程と、 前記有効として判定された基板を下流に搬送する際に、
    前記記憶工程において記憶した前記番号情報を所定値に
    修正する工程と、を有することを特徴とする基板処理方
    法。
22. 【請求項２２】 直列的に配置された直列処理ラインが
    所定の分岐箇所において並列的に配置された並列処理ラ
    インに分岐し、当該並列処理ラインが所定の合流箇所に
    おいて合流する基板処理方法であって、 前記分岐箇所から上流側の位置において基板を下流に搬
    送する際にロット毎に対応付けられたロット番号と基板
    を下流に払い出した順番に応じた番号情報とを当該基板
    に対応付ける番号付加工程と、 前記合流箇所の下流側に設けられた基板収容部において
    下流に基板を搬送する際に当該基板に対応付けられた前
    記ロット番号と前記番号情報を記憶する記憶工程と、 前記基板収容部において上流から供給される基板を前記
    記憶工程で記憶した前記ロット番号と前記番号情報とに
    基づいて下流に搬送する搬送工程と、を有することを特
    徴とする基板処理方法。
23. 【請求項２３】 請求項２２に記載の基板処理方法にお
    いて、 前記搬送工程は、 上流から得られる基板の前記ロット番号および前記番号
    情報と、前記記憶工程において記憶した前記ロット番号
    および前記番号情報とが所定の関係を示す場合に当該基
    板を下流に搬送する工程と、 上流から得られる基板の前記ロット番号および前記番号
    情報と、前記記憶工程において記憶した前記ロット番号
    および前記番号情報とが前記所定の関係を示さない場合
    に当該基板を収容して待機させる工程と、を有すること
    を特徴とする基板処理方法。
24. 【請求項２４】 請求項２２または２３に記載の基板処
    理方法において、 前記搬送工程は、 各ロットの最後尾の基板に対応付けられた識別情報を認
    識する工程と、 上流から得られた基板についてのロット番号と番号情報
    と、前記基板収容部に収容して待機させている基板につ
    いてのロット番号と番号情報とを比較し、所定の条件を
    満たす基板を下流に搬送する工程と、 必要に応じて前記識別情報を他の基板に付け替えること
    を行う工程と、 前記識別情報が付加された基板を下流に搬送する際に、
    前記記憶部に記憶している前記番号情報を所定値に修正
    する工程と、を有することを特徴とする基板処理方法。