JPH0992633A - 洗浄方法及び装置 - Google Patents

洗浄方法及び装置

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JPH0992633A JP7266395A JP26639595A JPH0992633A JP H0992633 A JPH0992633 A JP H0992633A JP 7266395 A JP7266395 A JP 7266395A JP 26639595 A JP26639595 A JP 26639595A JP H0992633 A JPH0992633 A JP H0992633A
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 洗浄部材を高い洗浄度に自己洗浄することに
より、洗浄効果を高め、且つ洗浄部材の寿命を延ばし、
洗浄装置の処理能力を高めることができる洗浄方法を提
供する。 【解決手段】 半導体基板やガラス基板、液晶パネル等
の基板を洗浄する洗浄方法において、基板に洗浄部材を
当接させてスクラブ洗浄し、洗浄後の洗浄部材を表面が
粗い修正部材１５の平面に擦り付けて自己洗浄する。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は洗浄方法および装置に係
り、特に半導体基板、ガラス基板、液晶パネル等の高度
の清浄度が要求される基板を洗浄するのに好適な洗浄方
法および装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】近年、半導体デバイスの高集積化が進む
につれて半導体基板上の回路の配線が微細化し、配線間
距離もより狭くなりつつある。しかしながら、半導体基
板の処理にあっては、半導体片の微粒子、塵埃、結晶状
の突起等のパーティクルが付着する場合がある。半導体
基板上に配線間距離よりも大きなパーティクルが存在す
ると、配線がショートするなどの不具合が生じるため、
基板上に存在するパーティクルは配線間距離に比べて十
分小さいものでなければならない。このような事情はマ
スク等に用いるガラス基板、或いは液晶パネル等の基板
のプロセス処理においても同様である。このような要求
に伴い、より微細なサブミクロンレベルのパーティクル
を半導体基板等から落とす洗浄技術が必要とされてい
る。
【０００３】従来、半導体基板を洗浄する洗浄方法は、
基板にブラシやスポンジからなる洗浄部材を擦り付けて
行うスクラブ洗浄が行われている。また、ブラシやスポ
ンジと同等或いはそれ以上の洗浄効果を示す洗浄部材と
して、種々の部材を検討した結果、特願平７−１２９５
８８号で提案されているように、研磨布を被洗浄物に擦
り付けて洗浄することが好適であることがわかった。こ
こで、洗浄に用いる研磨布は、近年の半導体デバイスの
製造工程でデバイス表面の平坦化を行うポリッシング処
理で用いられているものである。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】これらブラシ、スポン
ジ、研磨布等の洗浄部材によるスクラブ洗浄において
は、洗浄部材を被洗浄物に直接接触させるため、洗浄部
材自体の汚染が洗浄効果を左右する要因となる。洗浄部
材の汚染が進むと、被洗浄物から汚染物質を除去する一
方で、洗浄部材に堆積した汚染物質が被洗浄物を汚染し
てしまい、洗浄効果が現れなくなってしまう。このよう
な現象は逆汚染と呼ばれており、逆汚染が生じる前に洗
浄部材を交換しなければならなかった。
【０００５】しかしながら、洗浄部材の交換は装置の稼
動を停止するため、装置の処理能力の低下や、交換に伴
う洗浄雰囲気内での塵埃の発生等が問題になる。そこ
で、洗浄部材が汚染されても交換せずに、洗浄部材を清
浄化することが必要である。これは洗浄部材の自己洗浄
（セルフクリーニング）と呼ばれ、従来は洗浄部材を洗
浄液中で所定の運動をさせて濯ぐことや、洗浄部材にウ
ォータージェット（高速水流）や、超音波振動を載せた
水流を当てること等が行われていた。
【０００６】洗浄部材の自己洗浄方法は、洗浄効果を左
右する要因であるほか、洗浄部材の寿命を延ばし、装置
の処理能力を高めることにつながるので、さらに高いレ
ベルの自己洗浄方法が求められている。
【０００７】本発明は上述の事情に鑑みなされたもの
で、洗浄部材を高い洗浄度に自己洗浄することにより、
洗浄効果を高め、且つ洗浄部材の寿命を延ばし、洗浄装
置の処理能力を高めることができる洗浄方法を提供する
ことを目的とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】上述した目的を達成する
ため、本発明の洗浄方法の１態様は、半導体基板やガラ
ス基板、液晶パネル等の基板を洗浄する洗浄方法におい
て、該基板に洗浄部材を当接させてスクラブ洗浄し、洗
浄後の洗浄部材を表面が粗い平面に擦り付けて自己洗浄
することを特徴とするものである。本発明の洗浄装置の
１態様は、半導体基板やガラス基板、液晶パネル等の基
板を洗浄する洗浄装置において、基板を支持する手段
と、基板に対して相対運動する洗浄具と、前記洗浄具に
取付けられ、基板に当接してスクラブ洗浄する洗浄部材
と、前記洗浄部材に当接し、洗浄部材を自己洗浄する表
面が粗い平板とを備えたことを特徴とするものである。
【０００９】前述した構成からなる本発明によれば、洗
浄によって汚染された洗浄部材を、表面が粗い平板に擦
り付けて自己洗浄し、洗浄部材から汚染物質を平板の表
面の微細な凹凸で掻き取るようにするため、除去する力
が大きくなり、より高い自己洗浄効果が得られる。 ま
た、表面が粗いヤスリ状の平板に洗浄部材を擦り付ける
ので、洗浄部材に新たな表面を形成することができる。
【００１０】また、洗浄部材として特にスポンジを用い
る場合、スポンジを変形するように平板に押し付けるよ
うにしたので、スポンジに付着した汚染物質をスポンジ
に吸い込まれている洗浄液とともに外部へ排出すること
ができる。さらに、本発明の他の態様によっては、研磨
布からなる洗浄部材をブラシによって自己洗浄するの
で、洗浄部材から汚染物質特にパーティクルを直接ブラ
シで掻き取るため、除去する力が大きくなり、より高い
自己洗浄効果が得られる。
【００１１】
【実施例】以下、本発明に係る洗浄装置の実施例を図１
乃至図４に基づいて説明する。図１は本発明の洗浄方法
を実施する洗浄装置の斜視図である。本発明の装置は、
半導体基板１を保持して所要の回転数で水平回転するス
ピンチャック２と、表面に微細な孔が形成された発泡ポ
リウレタンからなる洗浄部材３を貼り付けた回転可能な
洗浄具６と、先端に前記洗浄具を有する昇降可能な揺動
アーム７と、半導体基板１の被洗浄面に洗浄液を噴射す
る洗浄液ノズル８と、洗浄具を洗浄する自己洗浄ステー
ジ９とから構成されている。洗浄具６は回転軸１０によ
り揺動アーム７の先端部分に支持され、所定回転数で回
転するようになっている。
【００１２】被洗浄物である半導体基板１はロボットの
アーム等によってスピンチャック２上に搬送され、被洗
浄面を上向きに保持される。保持された基板１をスピン
チャック２で所定回転数で回転させると同時に、洗浄液
ノズル８から基板１のぼぼ中心に向けて洗浄液を供給す
る。
【００１３】揺動アーム７は洗浄具６を自己洗浄ステー
ジ９から揺動アーム７の上昇によって取り出し、上昇位
置のまま揺動アーム７を揺動させることにより、洗浄具
６を基板１のほぼ中心位置まで移動させる。このとき、
洗浄具６の回転は停止している。次に揺動アーム７を下
降させ、基板１に当接させる。洗浄具６は基板１に当接
する直前に回転軸１０のまわりに所定回転数で回転を始
める。
【００１４】スピンチャック２で支持され回転する基板
１の被洗浄面に接触して独立して回転する洗浄部材３を
揺動アーム７によって基板１に所定の圧力で押し付ける
とともに、揺動アーム７を基板外周部まで所定速度で揺
動させることにより基板１をスクラブ洗浄する。なお、
基板１を一定の回転数で回転させる場合、基板１の中心
部と外周部では周速が異なるので、揺動アーム７の揺動
速度を一定にすると基板１と洗浄部材３とが接触する割
合に差が生じ、洗浄効果が不均一になることがある。し
たがって、アーム７の揺動速度あるいは基板の回転数を
適切に制御するとよい。
【００１５】基板外周まで揺動した揺動アーム７を揺動
停止後、上昇させて洗浄部材３を基板の被洗浄面から離
す。上昇させた揺動アーム７を再び基板１の中心位置ま
で揺動させれば、この洗浄動作を繰り返し行うことがで
きる。この洗浄動作を１回以上行った後、洗浄液ノズル
８からの洗浄液の供給を停止し、揺動アーム７を自己洗
浄ステージ９まで揺動させ、洗浄具６を下降させて自己
洗浄を行う。基板１をこの洗浄の後に乾燥させる場合
は、スピンチャック２を高速回転させて、スピン乾燥す
る。また、次の洗浄工程を行う場合は、洗浄ノズル８か
らの洗浄液の供給を停止するのと同時に基板１の回転も
停止させ、基板１の被洗浄面が乾燥しないように次工程
へ搬送する。
【００１６】図２は本発明の洗浄装置の洗浄具の縦断面
図である。洗浄具６は回転軸１０の下端に取り付けられ
ており、洗浄具６はカートリッジ１１とカートリッジ１
１の下面に貼着された洗浄部材３とから構成されてい
る。洗浄部材３はポリッシング用の研磨布を用い、適当
な大きさに切ってカートリッジ１１の下面に貼り付けら
れている。ポリッシング用の研磨布はその裏面が接着可
能なシールになっているため、これを利用して貼り付け
る。カートリッジ１１は回転軸１０と球面で接触してお
り、研磨布は半導体基板が傾いても均一に接触するよう
に構成されている。
【００１７】さらに、回転軸１０は上下２分割の上部回
転軸１０Ａと下部回転軸１０Ｂとから構成されており、
上下部回転軸１０Ａ，１０Ｂはその間に圧縮コイルバネ
１２を介して連結されている。このバネ１２は洗浄具６
が半導体基板１に接触しているときに、半導体基板１に
加わる力を緩衝する働きをする。このため、洗浄中に洗
浄具６の洗浄面を半導体基板面に均一な圧力で接触させ
ることができる。また、基板の傾き等によって洗浄具か
ら基板に過剰な力が加わって基板を破損することを防止
することができる。
【００１８】洗浄部材は、半導体基板と接触する接触面
には発泡気泡による微細な孔が形成されている。この孔
の大きさは種々のものを選定することができるが、平均
細孔サイズで１０から２００μｍの範囲のものが洗浄部
材として適当である。半導体基板と洗浄部材を圧接さ
せ、相対運動させることによって半導体基板上のパーテ
ィクルは洗浄部材の細孔のエッジ部で掻き取られ、細孔
の仲に捕捉されて基板外へ除去される。
【００１９】図３は洗浄部材の自己洗浄を行う自己洗浄
ステージの斜視図である。自己洗浄ステージ９は前述し
た洗浄装置の洗浄具６が描く揺動軌跡上に配設されてい
る。自己洗浄ステージ９は、支持軸１３上に支持された
平板１４と、平板１４の上面に貼付された修正部材１５
と、修正部材１５に水を供給する洗浄液ノズル１６から
構成されている。修正部材１５は基板１５ａにダイヤモ
ンドペレット１５ｂを電着させたものであり、表面がダ
イヤモンドペレットの粒子で粗くなっている。
【００２０】前述した洗浄工程を行った後、この自己洗
浄ステージ９に移動した洗浄具６は洗浄部材３を修正部
材１５に所定圧力で押圧する。揺動アーム７の揺動と洗
浄具６の回転により、洗浄部材３の洗浄面は修正部材１
５に擦り合わされるとともに、洗浄液ノズル１６から接
触部に向けて水を供給することにより洗浄部材３の自己
洗浄を行う。
【００２１】ダイヤモンドペレット１５ｂを基板１５ａ
に電着した修正部材１５は、洗浄部材３の表面に新たな
表面を形成する作用がある。新たな表面を形成すること
とは、洗浄部材３の汚れた面を一層剥ぎ取る作用と、洗
浄部材３の表面に付着した汚染物質を機械的に擦り取り
清浄な面を形成する作用との両作用を含み、これらの作
用は洗浄部材３を修正部材１５に押し付ける押圧力の大
きさや修正部材１５の面粗さに依存する。一般的にこの
種の精密洗浄装置には、洗浄部材を基板に押し付ける圧
力を制御する機構が設けられているので、自己洗浄時の
押圧力もこの機構を利用すればよい。
【００２２】図４は自己洗浄ステージの他の実施例を示
す斜視図である。図４に示す自己洗浄ステージ１９は、
支持軸１３の上端に洗浄カップ１７を設けている。洗浄
カップ１７は底部が平坦なものを採用し、この底面に前
述したダイヤモンドペレット１５ｂを基板１５ａ電着し
た修正部材１５を貼り付けてある。この洗浄カップ１７
に洗浄液ノズル１６から水を供給し、洗浄カップ１７か
ら水をカーバーフローさせながら、洗浄具６の洗浄部材
３を修正部材１５に擦り合わせる。このように水をカッ
プ１７内に所定量保持し、洗浄部材３の自己洗浄を終了
したのちに洗浄部材３を修正部材１５からわずかに離し
て待機するようにすれば、洗浄部材３を乾燥させること
なく保管することができる。このように、洗浄部材３を
乾燥しないようにするのは、洗浄部材３に付着した汚染
物質が洗浄部材３に固着しないようにするためである。
【００２３】次に本発明の第２の態様を図５を参照して
説明する。図５は本発明の洗浄装置を示す図である。洗
浄装置は、半導体基板１を保持して、回転させるスピン
チャック２と、被洗浄物である基板１の面に平行な軸回
りに回転する円筒状の洗浄ローラ２１と、基板１の被洗
浄面に洗浄液を供給する洗浄液ノズル２３と、洗浄後の
洗浄部材を洗浄する洗浄カップ２４からなる。スピンチ
ャック２は、固定されたスピンドル２６と、スピンドル
２６上に回転可能に設けられ基板１の外周部を保持する
駒２７とを備えており、駒２７の回転力が基板１の外側
面に伝達され、基板１が回転するようになっている。洗
浄ローラ２１には洗浄部材２２が巻付けられている。洗
浄部材２２はＰＶＡスポンジからなるものを用いる。洗
浄ローラ２１は図中のＸ方向およびＺ方向に移動可能な
支持柱２８で支持されている。
【００２４】ロボットアーム等によって被洗浄面を上方
に向けてスピンチャック２上に搬入された基板１は、ス
ピンチャック２の駒２７によって回転され、洗浄液ノズ
ル２３から洗浄液が基板１の中心部に向けて供給され
る。ここで、スピンチャック２の駒２７は全てモータに
よって同一回転数で回転できるようになっている。複数
の駒のうちの少なくとも１個を回転させ、他の駒を基板
の回転につれまわるようにすると、駒と基板の滑りが生
じ、駒が擦り切れて発塵し、汚染の原因になるためであ
る。
【００２５】洗浄ローラ２１は支持柱２８の移動によっ
て退避位置の洗浄カップ２４から基板１上へ移動し、下
降して基板１の被洗浄面に当接する。ここで、洗浄ロー
ラ２１は基板１に当接する直前に回転する。スクラブ洗
浄を所定時間行った後、洗浄部材２２を巻付けた洗浄ロ
ーラ２１を支持柱２８の上昇によって基板１から離し、
基板１を洗浄装置から搬出する。この後、洗浄部材２２
は退避位置の洗浄カップ２４へ図中の１点鎖線で示すよ
うに移動する。洗浄カップ２４には洗浄液が満たされて
いる。また洗浄カップ２４の底部には石英板２９が貼り
付けられており、洗浄中に洗浄部材２２を石英板２９の
上面に押し付ける。
【００２６】図６は洗浄カップ内の洗浄部材と石英板の
位置関係を示す図である。洗浄ローラ２１の中心から洗
浄部材２２のスポンジの表面までの距離（半径）をＲと
し、洗浄ローラ２１の中心から石英板２９の上面までの
距離をＬとすると、Ｌ＜Ｒとなる位置まで洗浄部材２２
を押し付け、スポンジを変形させる。このとき、洗浄ロ
ーラ２１も同時に回転させる。弾性のあるスポンジは石
英板２９に押し付けられ変形（圧縮）するので、スポン
ジ内に吸い込まれた洗浄液がスポンジから押し出され、
このときスポンジの表面に付着した汚染物質も洗浄液と
共にスポンジ外へ排出される。また洗浄ローラ２１を回
転させているので自己洗浄効果はスポンジの全面に作用
する。
【００２７】図７は上述した石英板の表面に微細な格子
状の溝を形成した場合の石英板表面の拡大図である。即
ち、石英板２９には微細な格子状の溝２９ａが形成さ
れ、これら溝２９ａによって表面が粗い平面になってい
る。このように表面が粗い平面に洗浄部材２２を押し当
てて自己洗浄を行うと、表面の凹凸による汚染物質を掻
き取る作用が加わり、自己洗浄効果が高まる。石英板に
形成する溝は格子状に限らないが、全面で同じような形
状になるようなものが望ましい。
【００２８】スクラブ洗浄で使用した洗浄部材を表面が
粗い平面に擦り付けて自己洗浄することは、洗浄部材に
適度な振動を与えると、洗浄部材から直接汚染物質を掻
き取ることができるため、より高い清浄度の自己洗浄を
行うことができる。
【００２９】次に本発明の第３の態様を図８に基づいて
説明する。図８は本発明の洗浄方法を行う洗浄装置の自
己洗浄ステージを示す側面図である。本発明の洗浄装置
は図１および図２で説明した洗浄装置と同様であるが、
自己洗浄の方法が異なる。即ち、図８に示すように自己
洗浄ステージ３０は支持軸３１の上端に支持されたブラ
シ３２と、ブラシ３２に水を供給するための洗浄液ノズ
ル３３から構成されている。ブラシ３２はブラシ基盤３
２ａにナイロンからなる毛３２ｂが鉛直上向きに植毛さ
れて構成されている。
【００３０】半導体基板の洗浄は本発明の第１の態様で
説明したように行い、基板１を洗浄した洗浄具６の洗浄
部材３は自己洗浄ステージ３０まで移動する。洗浄部材
３をブラシ３２の毛３２ｂに当接するまで揺動アーム７
（図１参照）を下降させることによって移動させ、洗浄
具６を回転させて自己洗浄を行う。このとき同時に洗浄
液ノズル３３から水が供給される。
【００３１】この自己洗浄方法によれば、研磨布からな
る洗浄部材３をブラシ３２に当接させて相対運動させる
ことにより、基板の洗浄によって研磨布に付着した汚染
物質、特にパーティクル（微粒子）を除去することがで
きる。
【００３２】また、ブラシ３２を図４に示すような洗浄
カップの底面に固定し、ブラシ３２と洗浄部材３とを水
中で相対運動させるように洗浄ステージを構成してもよ
い。この際、カップ内の水はオーバーフローするように
すると、除去した微粒子をカップ外へ流すことができる
ので、自己洗浄の効果が高まる。
【００３３】洗浄装置の構成、洗浄部材の種類、自己洗
浄の方法は任意に組合わせることができる。例えば、円
筒状の洗浄部材を用いるローラ型の洗浄装置に、研磨布
を貼り付け、ブラシによる自己洗浄を行うこともでき
る。
【００３４】
【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、基
板の洗浄によって汚染した洗浄部材をより高清浄度に自
己洗浄することができ、ひいては基板の洗浄効果を高め
ることができる。また、洗浄部材の寿命を延ばし、装置
の稼動能力を向上することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に係る洗浄方法を実施する洗浄装置の斜
視図である。
【図２】本発明の洗浄装置における洗浄具の縦断面図で
ある。
【図３】図１に示す自己洗浄ステージの詳細を示す斜視
図である。
【図４】自己洗浄ステージの他の実施例を示す斜視図で
ある。
【図５】本発明の洗浄装置の第２の態様を示す斜視図で
ある。
【図６】図５に示す洗浄カップ内の洗浄部材と石英板の
位置関係を示す図である。
【図７】石英板の表面の拡大図である。
【図８】自己洗浄ステージの更に他の実施例を示す斜視
図である。
【符号の説明】
１ 半導体基板 ２ スピンチャック ３ 洗浄部材 ６ 洗浄具 ７ 揺動アーム ８ 洗浄液ノズル ９ 自己洗浄ステージ １５ 修正部材 １６ 洗浄液ノズル １７ 洗浄カップ ２１ 洗浄ローラ ２２ 洗浄部材 ２３ 洗浄液ノズル ２４ 洗浄カップ ２９ 石英板 ３０ 自己洗浄ステージ ３２ ブラシ ３３ 洗浄液ノズル

Claims (18)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 半導体基板やガラス基板、液晶パネル等
    の基板を洗浄する洗浄方法において、該基板に洗浄部材
    を当接させてスクラブ洗浄し、洗浄後の洗浄部材を表面
    が粗い平面に擦り付けて自己洗浄することを特徴とする
    洗浄方法。
  2. 【請求項２】 前記洗浄部材は基板と接触する洗浄面に
    微細な孔を有する研磨布からなることを特徴とする請求
    項１記載の洗浄方法。
  3. 【請求項３】 前記洗浄部材はスポンジからなることを
    特徴とする請求項１記載の洗浄方法。
  4. 【請求項４】 前記自己洗浄は、洗浄部材の洗浄面をダ
    イヤモンドペレットを付着した平坦な面に擦り合わせる
    処理であることを特徴とする請求項１又は２記載の洗浄
    方法。
  5. 【請求項５】 前記自己洗浄は、洗浄部材の洗浄面を表
    面に微細な溝を形成した平板に擦り合わせる処理である
    ことを特徴とする請求項１乃至３記載の洗浄方法。
  6. 【請求項６】 半導体基板やガラス基板、液晶パネル等
    の基板を洗浄する洗浄方法において、該基板に研磨布か
    らなる洗浄部材を当接させてスクラブ洗浄し、洗浄後の
    洗浄部材の洗浄面をブラシに接触させて自己洗浄するこ
    とを特徴とする洗浄方法。
  7. 【請求項７】 半導体基板やガラス基板、液晶パネル等
    の基板を洗浄する洗浄方法において、該基板にスポンジ
    からなる洗浄部材を当接させてスクラブ洗浄し、洗浄後
    の洗浄部材を洗浄カップ中に浸漬させ、該洗浄カップ内
    の平板にスポンジを変形するように押し付けて自己洗浄
    することを特徴とする洗浄方法。
  8. 【請求項８】 半導体基板やガラス基板、液晶パネル等
    の基板を洗浄する洗浄装置において、 基板を支持する手段と、 基板に対して相対運動する洗浄具と、 前記洗浄具に取付けられ、基板に当接してスクラブ洗浄
    する洗浄部材と、 前記洗浄部材に当接し、洗浄部材を自己洗浄する表面が
    粗い平板と、を備えたことを特徴とする洗浄装置。
  9. 【請求項９】 前記洗浄装置は、洗浄部材に洗浄液を供
    給する洗浄ノズルをさらに備えたことを特徴とする請求
    項８に記載の洗浄装置。
  10. 【請求項１０】 前記洗浄部材は基板と接触する洗浄面
    に微細な孔を有する研磨布からなることを特徴とする請
    求項８又は９に記載の洗浄装置。
  11. 【請求項１１】 前記洗浄部材はスポンジからなること
    を特徴とする請求項８又は９に記載の洗浄装置。
  12. 【請求項１２】 前記表面が粗い平板はダイヤモンドペ
    レットを付着した平板であることを特徴とする請求項９
    に記載の洗浄装置。
  13. 【請求項１３】 前記表面が粗い平板は表面に微細な溝
    を形成した平板であることを特徴とする請求項１１に記
    載の洗浄装置。
  14. 【請求項１４】 前記洗浄具は、基板の被洗浄面に鉛直
    な軸まわりに回転し、洗浄部材の貼り付け面が平坦面で
    ある洗浄具、および基板の被洗浄面に水平な軸まわりに
    回転する円筒状洗浄具のいずれか一方から選択されるこ
    とを特徴とする請求項８又は９に記載の洗浄装置。
  15. 【請求項１５】 半導体基板やガラス基板、液晶パネル
    等の基板を洗浄する洗浄装置において、 基板を支持する手段と、 基板に対して相対運動する洗浄具と、 前記洗浄具に取付けられ、基板に当接してスクラブ洗浄
    する研磨布からなる洗浄部材と、 前記洗浄部材に当接し、洗浄部材を自己洗浄するブラシ
    手段と、を備えたことを特徴とする洗浄装置。
  16. 【請求項１６】 前記洗浄装置は、洗浄部材に洗浄液を
    供給する洗浄ノズルをさらに備えたことを特徴とする請
    求項１５に記載の洗浄装置。
  17. 【請求項１７】 半導体基板やガラス基板、液晶パネル
    等の基板を洗浄する洗浄装置において、 基板を支持する手段と、 基板に対して相対運動する洗浄具と、 前記洗浄具に取付けられ、基板に当接してスクラブ洗浄
    するスポンジからなる洗浄部材と、 前記洗浄具の退避位置にあり、洗浄部材を浸漬する洗浄
    液が満たされ、前記洗浄部材と接触する平坦部を備えた
    洗浄カップと、 前記洗浄部材を変形するように前記平坦部へ押し付ける
    機構と、を備えたことを特徴とする洗浄装置。
  18. 【請求項１８】 前記洗浄カップ内の平坦部は石英板か
    らなることを特徴とする請求項１７記載の洗浄装置。
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DE69612930T DE69612930T2 (de) 1995-09-20 1996-09-19 Verfahren und Vorrichtung für die Reinigung von Werkstücken
EP96115046A EP0764478B1 (en) 1995-09-20 1996-09-19 Method of and apparatus for cleaning workpiece
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Cited By (23)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6148463A (en) * 1997-05-19 2000-11-21 Ebara Corporation Cleaning apparatus
KR20020041364A (ko) * 2002-04-03 2002-06-01 (주)영원테크 액정유리기판의 이물질 제거 및 세정장치
JP2003017454A (ja) * 2001-06-29 2003-01-17 Shibaura Mechatronics Corp 基板の洗浄ツール、基板の処理装置及び処理方法
KR100804715B1 (ko) * 2000-04-27 2008-02-18 가부시키가이샤 에바라 세이사꾸쇼 반도체기판회전유지장치 및 반도체기판처리장치
JP2010074191A (ja) * 2004-09-28 2010-04-02 Ebara Corp 基板洗浄装置及び洗浄部材の交換時期判定方法
JP2013210576A (ja) * 2012-03-30 2013-10-10 Hoya Corp 基板の製造方法、マスクブランクの製造方法、転写用マスクの製造方法、および反射型マスクの製造方法
KR20150002483A (ko) 2013-06-28 2015-01-07 가부시키가이샤 에바라 세이사꾸쇼 기판 처리 장치
KR20160024818A (ko) 2014-08-26 2016-03-07 가부시키가이샤 에바라 세이사꾸쇼 기판 처리 장치
KR20160040428A (ko) 2014-10-03 2016-04-14 가부시키가이샤 에바라 세이사꾸쇼 기판 처리 장치 및 처리 방법
JP2016058639A (ja) * 2014-09-11 2016-04-21 株式会社荏原製作所 基板処理装置
JP2016064480A (ja) * 2014-09-25 2016-04-28 株式会社荏原製作所 コンディショニング部、バフ処理モジュール、基板処理装置、及び、ドレスリンス方法
US9466512B2 (en) 2013-12-25 2016-10-11 Ebara Corporation Substrate cleaning apparatus and substrate processing apparatus
KR20170067144A (ko) 2015-12-07 2017-06-15 가부시키가이샤 에바라 세이사꾸쇼 기판 처리 장치, 기판 처리 장치의 진공 흡착 테이블로부터 기판을 탈착하는 방법, 및 기판 처리 장치의 진공 흡착 테이블에 기판을 적재하는 방법
KR20180032185A (ko) * 2016-09-21 2018-03-29 가부시키가이샤 스크린 홀딩스 기판 처리 장치
KR20180121438A (ko) 2012-02-21 2018-11-07 가부시키가이샤 에바라 세이사꾸쇼 기판 처리 장치, 기판 처리 방법 및 스크러버
KR20180125474A (ko) * 2016-03-22 2018-11-23 도쿄엘렉트론가부시키가이샤 기판 세정 장치
JP2019161107A (ja) * 2018-03-15 2019-09-19 株式会社荏原製作所 基板洗浄装置、及び基板洗浄方法
US10562076B2 (en) 2015-02-18 2020-02-18 Ebara Corporation Substrate cleaning apparatus, substrate cleaning method, and substrate processing apparatus
KR20200140055A (ko) * 2019-06-05 2020-12-15 주식회사 케이씨텍 기판 처리 장치
JP2021044465A (ja) * 2019-09-13 2021-03-18 株式会社ディスコ 洗浄装置
KR20210000680U (ko) * 2019-09-13 2021-03-23 닝보 더룬탕 인텔리전트 테크놀러지 컴퍼니 리미티드 탈수통을 구비한 청소도구
TWI730240B (zh) * 2017-08-23 2021-06-11 日商Ｓｕｍｃｏ股份有限公司 吸盤載台的洗淨裝置以及具有該洗淨裝置的研削裝置
US11367629B2 (en) 2019-01-30 2022-06-21 Ebara Corporation Cleaning apparatus of cleaning tool, substrate processing apparatus, and cleaning method of cleaning tool

Families Citing this family (51)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP3540524B2 (ja) * 1996-10-28 2004-07-07 大日本スクリーン製造株式会社 基板処理装置および基板処理方法
US6079073A (en) * 1997-04-01 2000-06-27 Ebara Corporation Washing installation including plural washers
JP3549141B2 (ja) * 1997-04-21 2004-08-04 大日本スクリーン製造株式会社 基板処理装置および基板保持装置
US5967881A (en) * 1997-05-29 1999-10-19 Tucker; Thomas N. Chemical mechanical planarization tool having a linear polishing roller
US6059888A (en) * 1997-11-14 2000-05-09 Creative Design Corporation Wafer cleaning system
US5954888A (en) * 1998-02-09 1999-09-21 Speedfam Corporation Post-CMP wet-HF cleaning station
US6308361B1 (en) 1998-07-28 2001-10-30 Ebara Corporation Cleaning apparatus
US6156659A (en) * 1998-11-19 2000-12-05 Chartered Semiconductor Manufacturing Ltd. Linear CMP tool design with closed loop slurry distribution
US6248009B1 (en) 1999-02-18 2001-06-19 Ebara Corporation Apparatus for cleaning substrate
US6120350A (en) * 1999-03-31 2000-09-19 Memc Electronic Materials, Inc. Process for reconditioning polishing pads
JP4030247B2 (ja) * 1999-05-17 2008-01-09 株式会社荏原製作所 ドレッシング装置及びポリッシング装置
US6516815B1 (en) * 1999-07-09 2003-02-11 Applied Materials, Inc. Edge bead removal/spin rinse dry (EBR/SRD) module
US6827816B1 (en) * 1999-12-16 2004-12-07 Applied Materials, Inc. In situ module for particle removal from solid-state surfaces
US6427566B1 (en) * 2000-03-31 2002-08-06 Lam Research Corporation Self-aligning cylindrical mandrel assembly and wafer preparation apparatus including the same
US6418584B1 (en) 2000-05-24 2002-07-16 Speedfam-Ipec Corporation Apparatus and process for cleaning a work piece
EP1335801B1 (en) * 2000-11-22 2006-08-30 Applied Materials, Inc. Apparatus and method for removing particles from solid-state surfaces
US6461441B1 (en) * 2001-05-09 2002-10-08 Speedfam-Ipec Corporation Method of removing debris from cleaning pads in work piece cleaning equipment
US6530103B2 (en) * 2001-06-21 2003-03-11 Taiwan Semiconductor Manufacturing Company, Ltd. Method and apparatus for eliminating wafer breakage during wafer transfer by a vacuum pad
JP4432448B2 (ja) * 2002-10-25 2010-03-17 セイコーエプソン株式会社 スクラブ洗浄方法、スクラブ洗浄装置
US6916233B2 (en) * 2002-11-28 2005-07-12 Tsc Corporation Polishing and cleaning compound device
US6733596B1 (en) * 2002-12-23 2004-05-11 Lam Research Corporation Substrate cleaning brush preparation sequence, method, and system
US20050026455A1 (en) * 2003-05-30 2005-02-03 Satomi Hamada Substrate processing apparatus and substrate processing method
US20050048768A1 (en) * 2003-08-26 2005-03-03 Hiroaki Inoue Apparatus and method for forming interconnects
JP2005144298A (ja) * 2003-11-13 2005-06-09 Seiko Epson Corp 表面洗浄改質方法及び表面洗浄改質装置
US20070034232A1 (en) * 2004-04-12 2007-02-15 Daniel Diotte Compact disc buffer system
TW200603089A (en) * 2004-07-14 2006-01-16 Lite On It Corp Load roller device attached with cleaning means
US20070251035A1 (en) * 2006-05-01 2007-11-01 Taiwan Semiconductor Manufacturing Co., Ltd. Cleaning device
US9202725B2 (en) * 2006-07-24 2015-12-01 Planar Semiconductor, Inc. Holding and rotary driving mechanism for flat objects
KR100809594B1 (ko) * 2006-09-12 2008-03-04 세메스 주식회사 척킹부재 및 이를 포함하는 스핀헤드
US9130002B2 (en) * 2010-05-07 2015-09-08 Lam Research Ag Device for holding wafer shaped articles
DE102011078617A1 (de) * 2011-07-04 2013-01-10 Endress + Hauser Conducta Gesellschaft für Mess- und Regeltechnik mbH + Co. KG Vorrichtung und Verfahren zur Reinigung von Ab- und Anlagerungen an einer Endplatte eines Sensorkörpers
CN103028560A (zh) * 2011-10-10 2013-04-10 光达光电设备科技（嘉兴）有限公司 喷淋头清洗装置
US9754622B2 (en) 2014-03-07 2017-09-05 Venmill Industries Incorporated Methods for optimizing friction between a pad and a disc in an optical disc restoration device
US9620166B2 (en) 2012-05-18 2017-04-11 Venmill Industries Methods for restoring optical discs
JP6297308B2 (ja) * 2012-12-06 2018-03-20 株式会社荏原製作所 基板洗浄装置及び基板洗浄方法
US9711381B2 (en) 2013-01-31 2017-07-18 Applied Materials, Inc. Methods and apparatus for post-chemical mechanical planarization substrate cleaning
US9211568B2 (en) * 2013-03-12 2015-12-15 Taiwan Semiconductor Manufacturing Company Limited Clean function for semiconductor wafer scrubber
US10229842B2 (en) * 2013-07-26 2019-03-12 Applied Materials, Inc. Double sided buff module for post CMP cleaning
TWI662610B (zh) * 2013-10-25 2019-06-11 美商應用材料股份有限公司 用於化學機械平坦化後之基板拋光預清洗的系統、方法及裝置
JP6183720B2 (ja) * 2015-04-10 2017-08-23 株式会社Ｓｃｒｅｅｎホールディングス 基板処理装置および基板処理方法
CN106040627A (zh) * 2015-04-17 2016-10-26 光全球半导体有限公司 晶片清洁方法和用于该方法中的晶片清洁装置
CN106272075B (zh) * 2015-05-22 2019-05-31 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 研磨垫修整装置及研磨垫修整方法
CN106944381A (zh) * 2016-01-06 2017-07-14 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 晶圆清洗装置及其清洗方法
JP6641197B2 (ja) 2016-03-10 2020-02-05 株式会社荏原製作所 基板の研磨装置および研磨方法
JP6672207B2 (ja) * 2016-07-14 2020-03-25 株式会社荏原製作所 基板の表面を研磨する装置および方法
CN109092746A (zh) * 2018-08-17 2018-12-28 天马（安徽）国药科技股份有限公司 一种中药材粉碎机全方位清洗装置
DE102018128269A1 (de) * 2018-11-12 2020-05-14 Monti-Werkzeuge Gmbh Verfahren zur Bearbeitung einer Oberfläche eines Werkstückes
EP3886674A4 (en) * 2018-11-29 2022-08-03 Board of Regents, The University of Texas System DEVICES, SYSTEMS AND METHODS FOR CLEANING AN ELONGATED INSTRUMENT SURFACE
CN109482538A (zh) * 2018-12-10 2019-03-19 北京半导体专用设备研究所（中国电子科技集团公司第四十五研究所） 晶圆洗刷装置
US11013399B1 (en) * 2020-01-27 2021-05-25 Board Of Regents, The University Of Texas System Wiper assembly for imaging element cleaning apparatus
JP2022190831A (ja) 2021-06-15 2022-12-27 株式会社荏原製作所 基板洗浄装置、基板処理装置、ブレークイン装置、基板に付着する微粒子数の推定方法、基板洗浄部材の汚染度合い判定方法およびブレークイン処理の判定方法

Family Cites Families (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS58182234A (ja) * 1982-04-17 1983-10-25 Dainippon Screen Mfg Co Ltd 複数種のブラシ使用可能な洗浄装置
JPS60240129A (ja) * 1984-05-15 1985-11-29 Fujitsu Ltd スクラブ洗浄装置
US5375291A (en) * 1992-05-18 1994-12-27 Tokyo Electron Limited Device having brush for scrubbing substrate
US5311634A (en) * 1993-02-03 1994-05-17 Nicholas Andros Sponge cleaning pad
JPH0774132A (ja) * 1993-09-06 1995-03-17 Fujitsu Ltd ブラシスクラバとブラシスクラブ方法
US5486131A (en) * 1994-01-04 1996-01-23 Speedfam Corporation Device for conditioning polishing pads
JP3328426B2 (ja) * 1994-05-12 2002-09-24 東京エレクトロン株式会社 洗浄装置

Cited By (41)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6148463A (en) * 1997-05-19 2000-11-21 Ebara Corporation Cleaning apparatus
KR100804715B1 (ko) * 2000-04-27 2008-02-18 가부시키가이샤 에바라 세이사꾸쇼 반도체기판회전유지장치 및 반도체기판처리장치
JP2003017454A (ja) * 2001-06-29 2003-01-17 Shibaura Mechatronics Corp 基板の洗浄ツール、基板の処理装置及び処理方法
JP4588929B2 (ja) * 2001-06-29 2010-12-01 芝浦メカトロニクス株式会社 基板の洗浄ツール及び基板の処理装置
KR20020041364A (ko) * 2002-04-03 2002-06-01 (주)영원테크 액정유리기판의 이물질 제거 및 세정장치
JP2010074191A (ja) * 2004-09-28 2010-04-02 Ebara Corp 基板洗浄装置及び洗浄部材の交換時期判定方法
US8608858B2 (en) 2004-09-28 2013-12-17 Ebara Corporation Substrate cleaning apparatus and method for determining timing of replacement of cleaning member
US10799917B2 (en) 2012-02-21 2020-10-13 Ebara Corporation Substrate processing apparatus and substrate processing method
KR20180121438A (ko) 2012-02-21 2018-11-07 가부시키가이샤 에바라 세이사꾸쇼 기판 처리 장치, 기판 처리 방법 및 스크러버
US10328465B2 (en) 2012-02-21 2019-06-25 Ebara Corporation Substrate processing apparatus and substrate processing method
US11192147B2 (en) 2012-02-21 2021-12-07 Ebara Corporation Substrate processing apparatus and substrate processing method
JP2013210576A (ja) * 2012-03-30 2013-10-10 Hoya Corp 基板の製造方法、マスクブランクの製造方法、転写用マスクの製造方法、および反射型マスクの製造方法
KR20150002483A (ko) 2013-06-28 2015-01-07 가부시키가이샤 에바라 세이사꾸쇼 기판 처리 장치
US9566616B2 (en) 2013-06-28 2017-02-14 Ebara Corporation Substrate processing apparatus
TWI674624B (zh) * 2013-06-28 2019-10-11 荏原製作所股份有限公司 基板處理裝置
JP2015012200A (ja) * 2013-06-28 2015-01-19 株式会社荏原製作所 基板処理装置
US9808836B2 (en) 2013-06-28 2017-11-07 Ebara Corporation Substrate processing apparatus
KR20210032361A (ko) 2013-12-25 2021-03-24 가부시키가이샤 에바라 세이사꾸쇼 기판 세정 장치 및 기판 처리 장치
US9466512B2 (en) 2013-12-25 2016-10-11 Ebara Corporation Substrate cleaning apparatus and substrate processing apparatus
KR20160024818A (ko) 2014-08-26 2016-03-07 가부시키가이샤 에바라 세이사꾸쇼 기판 처리 장치
US10201888B2 (en) 2014-08-26 2019-02-12 Ebara Corporation Substrate processing apparatus
US9700988B2 (en) 2014-08-26 2017-07-11 Ebara Corporation Substrate processing apparatus
US11731240B2 (en) 2014-08-26 2023-08-22 Ebara Corporation Substrate processing apparatus
JP2016058639A (ja) * 2014-09-11 2016-04-21 株式会社荏原製作所 基板処理装置
JP2016064480A (ja) * 2014-09-25 2016-04-28 株式会社荏原製作所 コンディショニング部、バフ処理モジュール、基板処理装置、及び、ドレスリンス方法
KR20160040428A (ko) 2014-10-03 2016-04-14 가부시키가이샤 에바라 세이사꾸쇼 기판 처리 장치 및 처리 방법
KR20210007008A (ko) 2014-10-03 2021-01-19 가부시키가이샤 에바라 세이사꾸쇼 기판 처리 장치 및 처리 방법
US11285517B2 (en) 2015-02-18 2022-03-29 Ebara Corporation Substrate cleaning apparatus, substrate cleaning method, and substrate processing apparatus
US10562076B2 (en) 2015-02-18 2020-02-18 Ebara Corporation Substrate cleaning apparatus, substrate cleaning method, and substrate processing apparatus
KR20170067144A (ko) 2015-12-07 2017-06-15 가부시키가이샤 에바라 세이사꾸쇼 기판 처리 장치, 기판 처리 장치의 진공 흡착 테이블로부터 기판을 탈착하는 방법, 및 기판 처리 장치의 진공 흡착 테이블에 기판을 적재하는 방법
US11195736B2 (en) 2015-12-07 2021-12-07 Ebara Corporation Substrate processing apparatus, method of detaching substrate from vacuum suction table of substrate processing apparatus, and method of placing substrate onto vacuum suction table of substrate processing apparatus
KR20180125474A (ko) * 2016-03-22 2018-11-23 도쿄엘렉트론가부시키가이샤 기판 세정 장치
US10821483B2 (en) 2016-09-21 2020-11-03 SCREEN Holdings Co., Ltd. Substrate treatment apparatus
KR20180032185A (ko) * 2016-09-21 2018-03-29 가부시키가이샤 스크린 홀딩스 기판 처리 장치
TWI730240B (zh) * 2017-08-23 2021-06-11 日商Ｓｕｍｃｏ股份有限公司 吸盤載台的洗淨裝置以及具有該洗淨裝置的研削裝置
WO2019176455A1 (ja) * 2018-03-15 2019-09-19 株式会社荏原製作所 基板洗浄装置、及び基板洗浄方法
JP2019161107A (ja) * 2018-03-15 2019-09-19 株式会社荏原製作所 基板洗浄装置、及び基板洗浄方法
US11367629B2 (en) 2019-01-30 2022-06-21 Ebara Corporation Cleaning apparatus of cleaning tool, substrate processing apparatus, and cleaning method of cleaning tool
KR20200140055A (ko) * 2019-06-05 2020-12-15 주식회사 케이씨텍 기판 처리 장치
KR20210000680U (ko) * 2019-09-13 2021-03-23 닝보 더룬탕 인텔리전트 테크놀러지 컴퍼니 리미티드 탈수통을 구비한 청소도구
JP2021044465A (ja) * 2019-09-13 2021-03-18 株式会社ディスコ 洗浄装置

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