JPH0990307A - 薄膜形成方法およびその装置 - Google Patents
薄膜形成方法およびその装置Info
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- JPH0990307A JPH0990307A JP7270700A JP27070095A JPH0990307A JP H0990307 A JPH0990307 A JP H0990307A JP 7270700 A JP7270700 A JP 7270700A JP 27070095 A JP27070095 A JP 27070095A JP H0990307 A JPH0990307 A JP H0990307A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 膜厚が所望の厚さで均一は薄膜を容易かつ安
定して得ることである。 【解決手段】 濃度の異なる２種の配向膜形成材料溶液
６、７をアニロックスローラ４とドクターローラ５との
間に滴下して混合し、混合された配向膜形成材料溶液１
１をアニロックスローラ４を介して版胴３の印刷版２に
転写し、印刷版２に転写された混合された配向膜形成材
料溶液１１をガラス基板１０に転写して塗布し、加熱し
てガラス基板１０に塗布された混合された配向膜形成材
料溶液１１を硬化し、ガラス基板１０上に配向膜１２を
形成する。この場合、ガラス基板１０上に形成された配
向膜１２の膜厚に応じてその後に用いる２種の配向膜形
成材料溶液６、７の混合割合を変化させるので、ガラス
基板１０上に塗布する混合された配向膜形成材料溶液１
１の濃度を状況に応じて微妙に制御することができ、膜
厚が所望の厚さで均一は薄膜を容易かつ安定して得るこ
とができる。
定して得ることである。 【解決手段】 濃度の異なる２種の配向膜形成材料溶液
６、７をアニロックスローラ４とドクターローラ５との
間に滴下して混合し、混合された配向膜形成材料溶液１
１をアニロックスローラ４を介して版胴３の印刷版２に
転写し、印刷版２に転写された混合された配向膜形成材
料溶液１１をガラス基板１０に転写して塗布し、加熱し
てガラス基板１０に塗布された混合された配向膜形成材
料溶液１１を硬化し、ガラス基板１０上に配向膜１２を
形成する。この場合、ガラス基板１０上に形成された配
向膜１２の膜厚に応じてその後に用いる２種の配向膜形
成材料溶液６、７の混合割合を変化させるので、ガラス
基板１０上に塗布する混合された配向膜形成材料溶液１
１の濃度を状況に応じて微妙に制御することができ、膜
厚が所望の厚さで均一は薄膜を容易かつ安定して得るこ
とができる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】この発明は薄膜形成方法およ
びその装置に関する。
びその装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】例えば、液晶表示素子に用いられるガラ
ス基板上に配向膜やカラーフィルタなどの薄膜を形成す
る場合、フレキソ印刷装置による印刷法が知られてい
る。この印刷法では、アニロックスローラとドクターロ
ーラとの間に液状の薄膜形成材料溶液を滴下し、アニロ
ックスローラの外周面に薄膜形成材料溶液を転写し、ア
ニロックスローラの外周面に転写された薄膜形成材料溶
液を版胴の印刷版に転写し、印刷版に転写された薄膜形
成材料溶液をガラス基板の上面に転写して塗布し、この
ガラス基板上に塗布された薄膜形成材料溶液を加熱して
硬化させ、これによってガラス基板上に薄膜を形成して
いる。
ス基板上に配向膜やカラーフィルタなどの薄膜を形成す
る場合、フレキソ印刷装置による印刷法が知られてい
る。この印刷法では、アニロックスローラとドクターロ
ーラとの間に液状の薄膜形成材料溶液を滴下し、アニロ
ックスローラの外周面に薄膜形成材料溶液を転写し、ア
ニロックスローラの外周面に転写された薄膜形成材料溶
液を版胴の印刷版に転写し、印刷版に転写された薄膜形
成材料溶液をガラス基板の上面に転写して塗布し、この
ガラス基板上に塗布された薄膜形成材料溶液を加熱して
硬化させ、これによってガラス基板上に薄膜を形成して
いる。
【０００３】ところで、従来のこのような薄膜形成方法
においては、ガラス基板上に均一でしかも所望する膜厚
の薄膜を形成するため、薄膜形成材料溶液の種類や濃
度、ドクターローラとアニロックスローラとの接触圧、
アニロックスローラと版胴との接触圧、印刷版の厚み、
印刷版とガラス基板との接触圧（印圧）、温度や湿度な
どの作業環境などの様々な要素を最適な条件に調整して
いる。
においては、ガラス基板上に均一でしかも所望する膜厚
の薄膜を形成するため、薄膜形成材料溶液の種類や濃
度、ドクターローラとアニロックスローラとの接触圧、
アニロックスローラと版胴との接触圧、印刷版の厚み、
印刷版とガラス基板との接触圧（印圧）、温度や湿度な
どの作業環境などの様々な要素を最適な条件に調整して
いる。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
このような薄膜形成方法では、印刷版の厚み、温度や湿
度などの作業環境などの要素にバラツキがあり、しかも
長く使用していると各接触面にヘタリや膨潤などが生じ
るので、同一種類の薄膜形成材料溶液を同一濃度で使用
しても、形成される薄膜の膜厚が変動してしまうという
問題があった。また、同一の印刷装置を用いて様々な種
類の薄膜を様々な種類のパターンに形成するような場
合、薄膜形成材料溶液の種類や印刷版などを切り替える
毎に各要素の諸条件を最適な条件に調整する必要があ
り、作業性が良くないという問題があった。この発明の
課題は、膜厚が所望の厚さで均一な薄膜を容易かつ安定
して得ることである。
このような薄膜形成方法では、印刷版の厚み、温度や湿
度などの作業環境などの要素にバラツキがあり、しかも
長く使用していると各接触面にヘタリや膨潤などが生じ
るので、同一種類の薄膜形成材料溶液を同一濃度で使用
しても、形成される薄膜の膜厚が変動してしまうという
問題があった。また、同一の印刷装置を用いて様々な種
類の薄膜を様々な種類のパターンに形成するような場
合、薄膜形成材料溶液の種類や印刷版などを切り替える
毎に各要素の諸条件を最適な条件に調整する必要があ
り、作業性が良くないという問題があった。この発明の
課題は、膜厚が所望の厚さで均一な薄膜を容易かつ安定
して得ることである。
【０００５】
【課題を解決するための手段】請求項１記載の発明は、
印刷版を装着したローラを備える薄膜印刷器に薄膜形成
材料溶液を適量ずつ供給し、ローラの回転と共に印刷版
上の前記薄膜形成材料溶液を基板上に転写して薄膜を形
成する薄膜形成方法であって、成分が同一で配合濃度の
異なる複数の前記薄膜形成材料溶液を用意し、これら薄
膜形成材料溶液の供給割合を調整して所望の膜厚の薄膜
を形成することを特徴とするものである。請求項４記載
の発明は、印刷版を装着したローラを備える薄膜印刷器
と、薄膜を形成するための薄膜形成材料溶液を適量ずつ
滴下させ前記薄膜印刷器に供給する複数の材料溶液供給
手段と、前記薄膜印刷器により基板上に転写印刷されて
形成された薄膜の膜厚を測定する膜厚測定手段と、前記
膜厚の測定結果に基づき前記複数の材料溶液供給手段に
より供給される異なる濃度の前記薄膜形成材料溶液の供
給割合を制御する材料溶液の供給割合制御手段とを備え
たことを特徴とするものである。
印刷版を装着したローラを備える薄膜印刷器に薄膜形成
材料溶液を適量ずつ供給し、ローラの回転と共に印刷版
上の前記薄膜形成材料溶液を基板上に転写して薄膜を形
成する薄膜形成方法であって、成分が同一で配合濃度の
異なる複数の前記薄膜形成材料溶液を用意し、これら薄
膜形成材料溶液の供給割合を調整して所望の膜厚の薄膜
を形成することを特徴とするものである。請求項４記載
の発明は、印刷版を装着したローラを備える薄膜印刷器
と、薄膜を形成するための薄膜形成材料溶液を適量ずつ
滴下させ前記薄膜印刷器に供給する複数の材料溶液供給
手段と、前記薄膜印刷器により基板上に転写印刷されて
形成された薄膜の膜厚を測定する膜厚測定手段と、前記
膜厚の測定結果に基づき前記複数の材料溶液供給手段に
より供給される異なる濃度の前記薄膜形成材料溶液の供
給割合を制御する材料溶液の供給割合制御手段とを備え
たことを特徴とするものである。
【０００６】請求項１または４記載の発明によれば、濃
度の異なる複数の薄膜形成材料溶液の滴下供給割合を変
化させることにより、基板上に塗布する混合された薄膜
形成材料溶液の濃度を微妙に制御することができ、均一
は所望の膜厚を得ることができる。この場合、請求項２
または４記載の発明の如く、基板上に形成された薄膜の
膜厚を測定し、測定した薄膜の膜厚に応じて各薄膜形成
材料溶液の滴下供給割合を変化させるようにすれば、基
板上に塗布する混合された薄膜形成材料溶液の濃度を状
況に応じて微妙に制御することができ、均一な所望の膜
厚を自動的に得ることができる。
度の異なる複数の薄膜形成材料溶液の滴下供給割合を変
化させることにより、基板上に塗布する混合された薄膜
形成材料溶液の濃度を微妙に制御することができ、均一
は所望の膜厚を得ることができる。この場合、請求項２
または４記載の発明の如く、基板上に形成された薄膜の
膜厚を測定し、測定した薄膜の膜厚に応じて各薄膜形成
材料溶液の滴下供給割合を変化させるようにすれば、基
板上に塗布する混合された薄膜形成材料溶液の濃度を状
況に応じて微妙に制御することができ、均一な所望の膜
厚を自動的に得ることができる。
【０００７】
【発明の実施の形態】以下、図面を参照して、この発明
を適用した配向膜形成方法およびその装置の一実施形態
について説明する。図１は配向膜形成装置を示したもの
である。この配向膜形成装置は、矢印Ｘ方向に移動可能
であるテーブル１を備えている。テーブル１の上方に
は、樹脂などからなる印刷版２が外周面に装着された円
筒形状の版胴３が矢印ａ方向に回転可能に設けられてい
る。版胴３の図中左側の斜め上方には、円筒形状のアニ
ロックスローラ４が版胴３と所定の接触圧で接触しつつ
矢印ｂ方向に回転可能に設けられている。アニロックス
ローラ４の右側斜め上方には、円筒形状のドクターロー
ラ５がそのアニロックスローラ４と対向して所定の接触
圧で接触しつつ矢印ｃ方向に回転可能に設けられてい
る。アニロックスローラ４とドクターローラ５との接触
面の上方には、溶剤で希釈されたポリイミドなどからな
る濃度の異なる２種の配向膜形成材料溶液６、７をそれ
ぞれ滴下する２つのノズル８、９が接触面に沿って移動
可能に配置されている。この場合、右側のノズル８から
は固形分濃度が３〜４％程度の濃度の低い方の配向膜形
成材料溶液６が滴下され、左側のノズル９からは固形分
濃度が５〜６％程度の濃度の高い方の配向膜形成材料溶
液７が滴下されるようになっている。アニロックスロー
ラ４、ドクターローラ５および版胴３からなる薄膜印刷
器Ｐのガラス基板１０の移動方向Ｘに関して下流側に
は、ガラス基板１０上に形成された薄膜の膜厚を測定す
る膜厚測定器１３が配設されている。この膜厚測定器１
３としては、反射型もしくは透過型の光学方式のもの
や、超音波方式のものを使用できる。膜厚測定器１３の
測定値出力ラインは、配向膜形成材料溶液の滴下ノズル
８、９のそれぞれの滴下速度を制御する材料供給制御器
１４に接続されている。
を適用した配向膜形成方法およびその装置の一実施形態
について説明する。図１は配向膜形成装置を示したもの
である。この配向膜形成装置は、矢印Ｘ方向に移動可能
であるテーブル１を備えている。テーブル１の上方に
は、樹脂などからなる印刷版２が外周面に装着された円
筒形状の版胴３が矢印ａ方向に回転可能に設けられてい
る。版胴３の図中左側の斜め上方には、円筒形状のアニ
ロックスローラ４が版胴３と所定の接触圧で接触しつつ
矢印ｂ方向に回転可能に設けられている。アニロックス
ローラ４の右側斜め上方には、円筒形状のドクターロー
ラ５がそのアニロックスローラ４と対向して所定の接触
圧で接触しつつ矢印ｃ方向に回転可能に設けられてい
る。アニロックスローラ４とドクターローラ５との接触
面の上方には、溶剤で希釈されたポリイミドなどからな
る濃度の異なる２種の配向膜形成材料溶液６、７をそれ
ぞれ滴下する２つのノズル８、９が接触面に沿って移動
可能に配置されている。この場合、右側のノズル８から
は固形分濃度が３〜４％程度の濃度の低い方の配向膜形
成材料溶液６が滴下され、左側のノズル９からは固形分
濃度が５〜６％程度の濃度の高い方の配向膜形成材料溶
液７が滴下されるようになっている。アニロックスロー
ラ４、ドクターローラ５および版胴３からなる薄膜印刷
器Ｐのガラス基板１０の移動方向Ｘに関して下流側に
は、ガラス基板１０上に形成された薄膜の膜厚を測定す
る膜厚測定器１３が配設されている。この膜厚測定器１
３としては、反射型もしくは透過型の光学方式のもの
や、超音波方式のものを使用できる。膜厚測定器１３の
測定値出力ラインは、配向膜形成材料溶液の滴下ノズル
８、９のそれぞれの滴下速度を制御する材料供給制御器
１４に接続されている。
【０００８】次に、このように構成された配向膜形成装
置を用いて液晶表示素子に用いられるガラス基板１０上
に配向膜を形成する方法について説明する。まず、テー
ブル１上にガラス基板１０を載置する。次に、各ノズル
８、９から同一成分からなるが固形分濃度の異なる配向
膜形成材料溶液６、７をアニロックスローラ４とドクタ
ーローラ５との間にそれぞれ所定量ずつ滴下する。次
に、滴下された濃度の異なる配向膜形成材料溶液６、７
をアニロックスローラ４とドクターローラ５との間で混
合し、混合された配向膜形成材料溶液１１をアニロック
スローラ４の外周面に転写する。次に、アニロックスロ
ーラ４の外周面に転写された混合された配向膜形成材料
溶液１１を版胴３の印刷版２に転写する。次に、印刷版
２をテーブル１と共に矢印Ｘ方向に移動するガラス基板
１０に所定の接触圧（印圧）で接触させ、印刷版２に転
写されている配向膜形成材料溶液１１をガラス基板１０
の上面に転写する。これにより、ガラス基板１０上に配
向膜形成材料溶液１１が塗布される。次いで、印刷塗布
された配向膜形成材料溶液１１を加熱して硬化させる
と、ガラス基板１０上に配向膜１２が形成される。
置を用いて液晶表示素子に用いられるガラス基板１０上
に配向膜を形成する方法について説明する。まず、テー
ブル１上にガラス基板１０を載置する。次に、各ノズル
８、９から同一成分からなるが固形分濃度の異なる配向
膜形成材料溶液６、７をアニロックスローラ４とドクタ
ーローラ５との間にそれぞれ所定量ずつ滴下する。次
に、滴下された濃度の異なる配向膜形成材料溶液６、７
をアニロックスローラ４とドクターローラ５との間で混
合し、混合された配向膜形成材料溶液１１をアニロック
スローラ４の外周面に転写する。次に、アニロックスロ
ーラ４の外周面に転写された混合された配向膜形成材料
溶液１１を版胴３の印刷版２に転写する。次に、印刷版
２をテーブル１と共に矢印Ｘ方向に移動するガラス基板
１０に所定の接触圧（印圧）で接触させ、印刷版２に転
写されている配向膜形成材料溶液１１をガラス基板１０
の上面に転写する。これにより、ガラス基板１０上に配
向膜形成材料溶液１１が塗布される。次いで、印刷塗布
された配向膜形成材料溶液１１を加熱して硬化させる
と、ガラス基板１０上に配向膜１２が形成される。
【０００９】次に、ガラス基板１０上に形成された配向
膜１２の膜厚を膜厚測定器１３により測定し、この測定
した配向膜１２の膜厚やその分布に応じて材料供給制御
器１４が、所望の膜厚が得られるように、配向膜形成材
料溶液６、７の滴下ノズル８、９による時間当たりの各
滴下量、つまり各滴下速度やそれぞれの滴下位置を調整
する。すなわち、膜厚測定値が所望の値よりも僅かに小
さい（所望膜厚よりも薄い）場合は、固形分濃度の低い
方の配向膜形成材料溶液６を滴下する滴下ノズル８の滴
下速度を上げ、膜厚測定値が所望の値よりも僅かに高い
（所望膜厚よりも厚い）場合は、固形分濃度の低い方の
配向膜形成材料溶液６を滴下する滴下ノズル８の滴下速
度を下げる。このように、濃度の高い方の配向膜形成材
料溶液７の滴下速度を一定に保ち、濃度の低い方の配向
膜形成材料溶液６の滴下速度を調整することにより、ガ
ラス基板１０上に塗布する混合された配向膜形成材料溶
液１１の供給割合をより細かく制御することができ、膜
厚の変動をより小さく抑えることができる。また、膜厚
の変動が比較的大きい場合や複雑な場合は、濃度の低い
方の配向膜形成材料溶液６の滴下速度を一定に保ち、濃
度の高い方の配向膜形成材料溶液７の滴下速度を調整す
るか、双方の配向膜形成材料溶液６、７の滴下速度を調
整する。これにより、より速やかに所望の膜厚を得るこ
とが可能となる。さらに、膜厚が基板移動方向Ｘと直交
する方向Ｙ（配向膜１２の長さ方向）において不均一な
場合は、滴下ノズル８、９の滴下位置を方向Ｙに沿って
移動調整し、配向膜１２の長さ方向の膜厚を均一化でき
る。
膜１２の膜厚を膜厚測定器１３により測定し、この測定
した配向膜１２の膜厚やその分布に応じて材料供給制御
器１４が、所望の膜厚が得られるように、配向膜形成材
料溶液６、７の滴下ノズル８、９による時間当たりの各
滴下量、つまり各滴下速度やそれぞれの滴下位置を調整
する。すなわち、膜厚測定値が所望の値よりも僅かに小
さい（所望膜厚よりも薄い）場合は、固形分濃度の低い
方の配向膜形成材料溶液６を滴下する滴下ノズル８の滴
下速度を上げ、膜厚測定値が所望の値よりも僅かに高い
（所望膜厚よりも厚い）場合は、固形分濃度の低い方の
配向膜形成材料溶液６を滴下する滴下ノズル８の滴下速
度を下げる。このように、濃度の高い方の配向膜形成材
料溶液７の滴下速度を一定に保ち、濃度の低い方の配向
膜形成材料溶液６の滴下速度を調整することにより、ガ
ラス基板１０上に塗布する混合された配向膜形成材料溶
液１１の供給割合をより細かく制御することができ、膜
厚の変動をより小さく抑えることができる。また、膜厚
の変動が比較的大きい場合や複雑な場合は、濃度の低い
方の配向膜形成材料溶液６の滴下速度を一定に保ち、濃
度の高い方の配向膜形成材料溶液７の滴下速度を調整す
るか、双方の配向膜形成材料溶液６、７の滴下速度を調
整する。これにより、より速やかに所望の膜厚を得るこ
とが可能となる。さらに、膜厚が基板移動方向Ｘと直交
する方向Ｙ（配向膜１２の長さ方向）において不均一な
場合は、滴下ノズル８、９の滴下位置を方向Ｙに沿って
移動調整し、配向膜１２の長さ方向の膜厚を均一化でき
る。
【００１０】このように、この配向膜形成方法およびそ
の装置では、濃度の異なる２種の配向膜形成材料溶液
６、７の供給割合を変化させることにより、ガラス基板
１０上に塗布する混合された配向膜形成材料溶液１１の
濃度を微妙に制御し、所望の膜厚を得ることができる。
また、ガラス基板１０上に形成された配向膜１２の膜厚
を測定し、測定した配向膜１２の膜厚やその分布に応じ
てその後に用いる各配向膜形成材料溶液６、７の混合割
合や滴下位置などを変化させ、ガラス基板１０上に塗布
する混合された配向膜形成材料溶液１１の濃度およびそ
の分布を状況に応じて微妙に制御することにより、均一
は所望の膜厚を安定して得ることができる。さらに、配
向膜形成装置に関連する各要素、つまり各ローラ３〜５
間の接触圧や作業環境などの条件を細かく調整しなくて
も均一で所望の膜厚の配向膜１２を得ることができるの
で、配向膜形成装置に関連する各要素の条件を細かく調
整する手間と時間が省け、作業性が向上する。
の装置では、濃度の異なる２種の配向膜形成材料溶液
６、７の供給割合を変化させることにより、ガラス基板
１０上に塗布する混合された配向膜形成材料溶液１１の
濃度を微妙に制御し、所望の膜厚を得ることができる。
また、ガラス基板１０上に形成された配向膜１２の膜厚
を測定し、測定した配向膜１２の膜厚やその分布に応じ
てその後に用いる各配向膜形成材料溶液６、７の混合割
合や滴下位置などを変化させ、ガラス基板１０上に塗布
する混合された配向膜形成材料溶液１１の濃度およびそ
の分布を状況に応じて微妙に制御することにより、均一
は所望の膜厚を安定して得ることができる。さらに、配
向膜形成装置に関連する各要素、つまり各ローラ３〜５
間の接触圧や作業環境などの条件を細かく調整しなくて
も均一で所望の膜厚の配向膜１２を得ることができるの
で、配向膜形成装置に関連する各要素の条件を細かく調
整する手間と時間が省け、作業性が向上する。
【００１１】次に、具体的により詳しく説明する。ま
ず、図１に示す配向膜形成装置に関連する各要素を調整
する。すなわち、ドクターローラ５とアニロックスロー
ラ４との接触圧をドクターローラ５をアニロックスロー
ラ４に接触させた状態から０．２〜０．４ｍｍ押し込む
ことにより調整する。アニロックスローラ４と版胴３と
の接触圧をアニロックスローラ４と版胴３との踏み代
（ニップ幅）が５〜７ｍｍになるように調整する。印刷
版２とガラス基板１０との接触圧（印圧）をガラス基板
１０を印刷版２に接触させた状態からテーブル１を数１
０μｍ上昇させることにより調整する。印刷版２の厚み
を２．２４±０．０２ｍｍとする。ガラス基板１０は厚
みのバラツキが平均厚みの１０％以内であるものを使用
する。環境条件として室温を２３℃、湿度を２０％Ｒ．
ｈ．にそれぞれ調整する。次に、成分は同じであるが濃
度の異なる２種の配向膜形成材料溶液６、７を用意す
る。この場合、濃度の低い方の配向膜形成材料溶液６の
固形分濃度を４％に調整し、濃度の高い方の配向膜形成
材料溶液７の固形分濃度を５％に調整する。以上の条件
で、６００Åの膜厚を目標にガラス基板１０上に配向膜
１２を形成すると、実際に形成された配向膜１２の膜厚
は５００〜７００Åとなった。ところで、同一の条件で
従来のように１種の配向膜形成材料溶液（固形分濃度：
４〜５％、粘度：２０〜４０ｃＰ）から６００Åの膜厚
を目標にガラス基板１０上に配向膜を形成すると、実際
に形成された配向膜の膜厚は３００〜１０００Åとなっ
た。この結果からわかるように、この発明を適用した配
向膜形成方法およびその装置を用いた方がより均一な所
望の膜厚の配向膜１２を形成することができる。
ず、図１に示す配向膜形成装置に関連する各要素を調整
する。すなわち、ドクターローラ５とアニロックスロー
ラ４との接触圧をドクターローラ５をアニロックスロー
ラ４に接触させた状態から０．２〜０．４ｍｍ押し込む
ことにより調整する。アニロックスローラ４と版胴３と
の接触圧をアニロックスローラ４と版胴３との踏み代
（ニップ幅）が５〜７ｍｍになるように調整する。印刷
版２とガラス基板１０との接触圧（印圧）をガラス基板
１０を印刷版２に接触させた状態からテーブル１を数１
０μｍ上昇させることにより調整する。印刷版２の厚み
を２．２４±０．０２ｍｍとする。ガラス基板１０は厚
みのバラツキが平均厚みの１０％以内であるものを使用
する。環境条件として室温を２３℃、湿度を２０％Ｒ．
ｈ．にそれぞれ調整する。次に、成分は同じであるが濃
度の異なる２種の配向膜形成材料溶液６、７を用意す
る。この場合、濃度の低い方の配向膜形成材料溶液６の
固形分濃度を４％に調整し、濃度の高い方の配向膜形成
材料溶液７の固形分濃度を５％に調整する。以上の条件
で、６００Åの膜厚を目標にガラス基板１０上に配向膜
１２を形成すると、実際に形成された配向膜１２の膜厚
は５００〜７００Åとなった。ところで、同一の条件で
従来のように１種の配向膜形成材料溶液（固形分濃度：
４〜５％、粘度：２０〜４０ｃＰ）から６００Åの膜厚
を目標にガラス基板１０上に配向膜を形成すると、実際
に形成された配向膜の膜厚は３００〜１０００Åとなっ
た。この結果からわかるように、この発明を適用した配
向膜形成方法およびその装置を用いた方がより均一な所
望の膜厚の配向膜１２を形成することができる。
【００１２】なお、上記実施形態では、この発明を配向
膜形成方法およびその装置に適用したが、これに限ら
ず、例えばカラーフィルタ形成方法およびその装置に適
用することができる。また、上記実施形態では、濃度の
異なる２種の配向膜形成材料溶液６、７を滴下したが、
これに限らず、濃度の異なる３種以上の配向膜形成材料
溶液を滴下してもよい。さらに、配向膜形成装置はガラ
ス基板１０上に形成された配向膜１２の膜厚を測定する
膜厚測定装置と、この膜厚測定装置で測定した配向膜１
２の膜厚に応じて各配向膜形成材料溶液６、７の滴下混
合割合および滴下位置を変化させる制御装置とを備えて
いてもよい。この場合、配向膜１２の膜厚を自動的に均
一にすることができ、作業性が向上する。
膜形成方法およびその装置に適用したが、これに限ら
ず、例えばカラーフィルタ形成方法およびその装置に適
用することができる。また、上記実施形態では、濃度の
異なる２種の配向膜形成材料溶液６、７を滴下したが、
これに限らず、濃度の異なる３種以上の配向膜形成材料
溶液を滴下してもよい。さらに、配向膜形成装置はガラ
ス基板１０上に形成された配向膜１２の膜厚を測定する
膜厚測定装置と、この膜厚測定装置で測定した配向膜１
２の膜厚に応じて各配向膜形成材料溶液６、７の滴下混
合割合および滴下位置を変化させる制御装置とを備えて
いてもよい。この場合、配向膜１２の膜厚を自動的に均
一にすることができ、作業性が向上する。
【００１３】
【発明の効果】以上説明したように、請求項１または４
記載の発明によれば、濃度の異なる複数の薄膜形成材料
溶液の滴下供給割合を変化させることにより、基板上に
塗布する混合された薄膜形成材料溶液の濃度を微妙に制
御することができ、均一は所望の膜厚を得ることができ
る。この場合、請求項２または４記載の発明の如く、基
板上に形成された薄膜の膜厚を測定し、測定した薄膜の
膜厚に応じて各薄膜形成材料溶液の滴下供給割合を変化
させるので、基板上に塗布する混合された薄膜形成材料
溶液の濃度を状況に応じて微妙に制御することができ、
均一な所望の膜厚を自動的に得ることができる。
記載の発明によれば、濃度の異なる複数の薄膜形成材料
溶液の滴下供給割合を変化させることにより、基板上に
塗布する混合された薄膜形成材料溶液の濃度を微妙に制
御することができ、均一は所望の膜厚を得ることができ
る。この場合、請求項２または４記載の発明の如く、基
板上に形成された薄膜の膜厚を測定し、測定した薄膜の
膜厚に応じて各薄膜形成材料溶液の滴下供給割合を変化
させるので、基板上に塗布する混合された薄膜形成材料
溶液の濃度を状況に応じて微妙に制御することができ、
均一な所望の膜厚を自動的に得ることができる。
【図１】この発明の一実施形態における配向膜形成装置
を示す斜視図。
を示す斜視図。
２ 印刷版 ４ アニロックスローラ ５ ドクターローラ ６、７ 配向膜形成材料溶液（薄膜形成材料溶液） １０ ガラス基板 １２ 配向膜（薄膜） １３ 膜厚測定器 １４ 材料供給制御器 Ｐ 薄膜印刷器
Claims (5)
- 【請求項１】 印刷版を装着したローラを備える薄膜印
刷器に薄膜形成材料溶液を適量ずつ供給し、ローラの回
転と共に印刷版上の前記薄膜形成材料溶液を基板上に転
写して薄膜を形成する薄膜形成方法であって、 成分が同一で配合濃度の異なる複数の前記薄膜形成材料
溶液を用意し、 これら薄膜形成材料溶液の供給割合を調整して所望の膜
厚の薄膜を形成することを特徴とする薄膜形成方法。 - 【請求項２】 前記基板上に形成された薄膜の膜厚を測
定し、この測定データに応じて前記薄膜形成材料溶液の
供給割合を制御することを特徴とする請求項１記載の薄
膜形成方法。 - 【請求項３】 前記薄膜形成材料溶液は液晶表示素子に
用いられる配向膜を形成する材料溶液であることを特徴
とする請求項１または２記載の薄膜形成方法。 - 【請求項４】 印刷版を装着したローラを備える薄膜印
刷器と、 薄膜を形成するための薄膜形成材料溶液を適量ずつ滴下
させ前記薄膜印刷器に供給する複数の材料溶液供給手段
と、 前記薄膜印刷器により基板上に転写印刷されて形成され
た薄膜の膜厚を測定する膜厚測定手段と、 前記膜厚の測定結果に基づき前記複数の材料溶液供給手
段により供給される異なる濃度の前記薄膜形成材料溶液
の供給割合を制御する材料溶液の供給割合制御手段とを
備えたことを特徴とする薄膜形成装置。 - 【請求項５】 前記薄膜は液晶表示素子に用いられる配
向膜であることを特徴とする請求項４記載の薄膜形成装
置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7270700A JPH0990307A (ja) | 1995-09-26 | 1995-09-26 | 薄膜形成方法およびその装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7270700A JPH0990307A (ja) | 1995-09-26 | 1995-09-26 | 薄膜形成方法およびその装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0990307A true JPH0990307A (ja) | 1997-04-04 |
Family
ID=17489749
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7270700A Pending JPH0990307A (ja) | 1995-09-26 | 1995-09-26 | 薄膜形成方法およびその装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0990307A (ja) |
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20030087459A (ko) * | 2002-05-10 | 2003-11-14 | 엘지.필립스 엘시디 주식회사 | 액정표시장치 배향막 도포장치 |
| US7095468B2 (en) | 2001-10-25 | 2006-08-22 | Lg.Philips Lcd Co., Ltd. | Apparatus, mask, and method for printing alignment layer |
| JP2006330636A (ja) * | 2005-05-30 | 2006-12-07 | Sharp Corp | 液晶表示パネルの製造方法、及び、液晶表示パネルの製造装置 |
| JP2007226247A (ja) * | 2006-02-23 | 2007-09-06 | Samsung Electronics Co Ltd | 液晶表示装置の製造装置及び製造方法 |
| JP2008018576A (ja) * | 2006-07-11 | 2008-01-31 | Asahi Kasei Chemicals Corp | 印刷基材の製造方法 |
| KR100806804B1 (ko) * | 2001-05-15 | 2008-02-22 | 엘지.필립스 엘시디 주식회사 | 배향막 인쇄장치 |
| JP2011053235A (ja) * | 2009-08-31 | 2011-03-17 | Hitachi Displays Ltd | 液晶表示装置および配向膜印刷版 |
| CN102195008A (zh) * | 2010-03-18 | 2011-09-21 | 卡西欧计算机株式会社 | 发光装置的制造装置以及制造方法 |
-
1995
- 1995-09-26 JP JP7270700A patent/JPH0990307A/ja active Pending
Cited By (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100806804B1 (ko) * | 2001-05-15 | 2008-02-22 | 엘지.필립스 엘시디 주식회사 | 배향막 인쇄장치 |
| US7095468B2 (en) | 2001-10-25 | 2006-08-22 | Lg.Philips Lcd Co., Ltd. | Apparatus, mask, and method for printing alignment layer |
| KR20030087459A (ko) * | 2002-05-10 | 2003-11-14 | 엘지.필립스 엘시디 주식회사 | 액정표시장치 배향막 도포장치 |
| JP2006330636A (ja) * | 2005-05-30 | 2006-12-07 | Sharp Corp | 液晶表示パネルの製造方法、及び、液晶表示パネルの製造装置 |
| JP4647397B2 (ja) * | 2005-05-30 | 2011-03-09 | シャープ株式会社 | 液晶表示パネルの製造方法、及び、液晶表示パネルの製造装置 |
| JP2007226247A (ja) * | 2006-02-23 | 2007-09-06 | Samsung Electronics Co Ltd | 液晶表示装置の製造装置及び製造方法 |
| JP2008018576A (ja) * | 2006-07-11 | 2008-01-31 | Asahi Kasei Chemicals Corp | 印刷基材の製造方法 |
| JP2011053235A (ja) * | 2009-08-31 | 2011-03-17 | Hitachi Displays Ltd | 液晶表示装置および配向膜印刷版 |
| CN102195008A (zh) * | 2010-03-18 | 2011-09-21 | 卡西欧计算机株式会社 | 发光装置的制造装置以及制造方法 |
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