JP3201195B2 - 塗膜形成物 - Google Patents
塗膜形成物Info
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Description
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は塗膜形成物に関し、さ
らに詳細にいえば、枚葉塗工用の方形の基板上に形成さ
れた塗膜形成物に関する。特に、液晶ディスプレイ用の
カラーフィルタを製造するための塗膜形成物のように、
枚葉方式で供給される基体に薄く均一に塗工されてなる
塗膜形成物に好適である。
らに詳細にいえば、枚葉塗工用の方形の基板上に形成さ
れた塗膜形成物に関する。特に、液晶ディスプレイ用の
カラーフィルタを製造するための塗膜形成物のように、
枚葉方式で供給される基体に薄く均一に塗工されてなる
塗膜形成物に好適である。
【０００２】
【従来の技術】従来から、液晶ディスプレイ用のカラー
フィルタを製造するに当って、スピナー、バーコータ、
ロールコータを用いて、枚葉方式で供給される基体上に
塗膜形成物を形成することが一般的に行われている。ス
ピナーを用いる方法は、基体上に原料液体を滴下した後
に基体を高速回転させて塗膜を形成する方法であり、全
範囲にわたってかなり均一な塗膜を形成することができ
る。
フィルタを製造するに当って、スピナー、バーコータ、
ロールコータを用いて、枚葉方式で供給される基体上に
塗膜形成物を形成することが一般的に行われている。ス
ピナーを用いる方法は、基体上に原料液体を滴下した後
に基体を高速回転させて塗膜を形成する方法であり、全
範囲にわたってかなり均一な塗膜を形成することができ
る。
【０００３】バーコータを用いる方法は、金属棒にワイ
ヤを巻き付けてなる装置に原料液体を供給し、この装置
を基体の表面に接触させて相対的に移動させることによ
り塗膜を形成する方法である。ロールコータを用いる方
法は、ローラに原料液体を供給し、ローラを基体の表面
に接触させて相対的に移動させることにより塗膜を形成
する方法である。
ヤを巻き付けてなる装置に原料液体を供給し、この装置
を基体の表面に接触させて相対的に移動させることによ
り塗膜を形成する方法である。ロールコータを用いる方
法は、ローラに原料液体を供給し、ローラを基体の表面
に接触させて相対的に移動させることにより塗膜を形成
する方法である。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかし、スピナーを用
いて形成された塗膜の厚みを測定したところ、図５に示
すように、基体の端部近傍における塗膜厚みが、ほぼ均
一な厚みの塗膜が得られる基体中央部における塗膜厚み
の２倍以上になることが分かった。なお、図５中、丸印
は、図１中（ａ）の左上角に示すオリエンテイションフ
ラットからの塗膜厚みの変化を、四角印、三角印、×印
はそれぞれ他の角からの塗膜厚みの変化を示している。
いて形成された塗膜の厚みを測定したところ、図５に示
すように、基体の端部近傍における塗膜厚みが、ほぼ均
一な厚みの塗膜が得られる基体中央部における塗膜厚み
の２倍以上になることが分かった。なお、図５中、丸印
は、図１中（ａ）の左上角に示すオリエンテイションフ
ラットからの塗膜厚みの変化を、四角印、三角印、×印
はそれぞれ他の角からの塗膜厚みの変化を示している。
【０００５】バーコータを用いる方法、ロールコータを
用いる方法を採用した場合には、これらが直接基体表面
に接触することになるので、基体表面に傷がつくおそれ
があるとともに、塗膜厚みの均一性がスピナーを用いる
場合よりも低下することになる。具体的には、バーコー
タを用いて塗膜を形成した場合、その膜厚は図６に示す
通りであった。
用いる方法を採用した場合には、これらが直接基体表面
に接触することになるので、基体表面に傷がつくおそれ
があるとともに、塗膜厚みの均一性がスピナーを用いる
場合よりも低下することになる。具体的には、バーコー
タを用いて塗膜を形成した場合、その膜厚は図６に示す
通りであった。
【０００６】このような不都合があっても、基体の端部
に十分にゆとりを持たせて中央部のみを活用する場合に
は、上述の塗膜厚みが著しく大きくなる領域が有効活用
領域に含まれることはないとともに、有効活用領域に近
接することもないので、特に不都合は発生しない。しか
し、液晶ディスプレイ用カラーフィルタは大型化の傾向
が強く、しかも、１枚のマザー基板（基体）から多面取
りを行うことが実施され始めているのであるから、この
ような場合には、マザー基板の端部に僅かなゆとりしか
持たせることができなくなってしまう。この結果、上述
の塗膜厚みが著しく大きくなる領域が有効活用領域（カ
ラーフィルタとして使用される領域）に含まれることに
なり、または有効活用領域に近接することになる。膜厚
の不均一は、色ムラとして検知され、カラーフィルタと
して使えなくなる。そしてまた、このような状況の下で
後工程としてのフォトリソ加工工程でエッチング処理が
行われた場合に、有効活用領域に対するエッチングが完
了しても塗膜厚みが著しく大きい領域は完全にはエッチ
ングが行われないことになってしまう。逆に、塗膜厚み
が著しく大きい領域に対するエッチングを完全に行わせ
れば、有効活用領域がオーバーエッチングされてしま
う。そして、何れの場合にも製品の品質を大幅に低下さ
せることになってしまうので、上述のような多面取りを
行うことができなくなってしまう。
に十分にゆとりを持たせて中央部のみを活用する場合に
は、上述の塗膜厚みが著しく大きくなる領域が有効活用
領域に含まれることはないとともに、有効活用領域に近
接することもないので、特に不都合は発生しない。しか
し、液晶ディスプレイ用カラーフィルタは大型化の傾向
が強く、しかも、１枚のマザー基板（基体）から多面取
りを行うことが実施され始めているのであるから、この
ような場合には、マザー基板の端部に僅かなゆとりしか
持たせることができなくなってしまう。この結果、上述
の塗膜厚みが著しく大きくなる領域が有効活用領域（カ
ラーフィルタとして使用される領域）に含まれることに
なり、または有効活用領域に近接することになる。膜厚
の不均一は、色ムラとして検知され、カラーフィルタと
して使えなくなる。そしてまた、このような状況の下で
後工程としてのフォトリソ加工工程でエッチング処理が
行われた場合に、有効活用領域に対するエッチングが完
了しても塗膜厚みが著しく大きい領域は完全にはエッチ
ングが行われないことになってしまう。逆に、塗膜厚み
が著しく大きい領域に対するエッチングを完全に行わせ
れば、有効活用領域がオーバーエッチングされてしま
う。そして、何れの場合にも製品の品質を大幅に低下さ
せることになってしまうので、上述のような多面取りを
行うことができなくなってしまう。
【０００７】
【発明の目的】この発明は上記の問題点に鑑みてなされ
たものであり、基体の端部に持たせるゆとりを著しく小
さくし、しかも有効活用領域における塗膜厚みのばらつ
きを大幅に抑制した塗膜形成物を提供することを目的と
している。
たものであり、基体の端部に持たせるゆとりを著しく小
さくし、しかも有効活用領域における塗膜厚みのばらつ
きを大幅に抑制した塗膜形成物を提供することを目的と
している。
【０００８】請求項１の塗膜形成物は、方形の基体上に
塗工された塗膜形成物であって、塗料吐出用のスリット
を有する枚葉塗工装置の塗工開始位置でステージを瞬間
的に停止させるとともに、塗料の送液を開始し、被塗工
材が塗工終了位置に到達する直前にビードスキージ塗工
を行った結果得られた塗膜形成物が、塗膜端部から塗膜
中央に向かって１０ｍｍの範囲における塗膜厚みが、塗
膜端部から塗膜中央に向かって１０ｍｍの範囲を除いた
部分における平均塗膜厚みの１．７５倍を越えないもの
である。
塗工された塗膜形成物であって、塗料吐出用のスリット
を有する枚葉塗工装置の塗工開始位置でステージを瞬間
的に停止させるとともに、塗料の送液を開始し、被塗工
材が塗工終了位置に到達する直前にビードスキージ塗工
を行った結果得られた塗膜形成物が、塗膜端部から塗膜
中央に向かって１０ｍｍの範囲における塗膜厚みが、塗
膜端部から塗膜中央に向かって１０ｍｍの範囲を除いた
部分における平均塗膜厚みの１．７５倍を越えないもの
である。
【０００９】請求項２の塗膜形成物は、方形の基体上に
塗工された塗膜形成物であって、塗膜端部から塗膜中央
に向かって１０ｍｍの範囲を除いた部分において、塗膜
厚みが平均塗膜厚みの９５％〜１０５％の範囲にあるも
のである。請求項３の塗膜形成物は、少なくとも方形の
基体の１辺において、塗膜端部が基体の端部から３ｍｍ
の範囲に位置しているものである。
塗工された塗膜形成物であって、塗膜端部から塗膜中央
に向かって１０ｍｍの範囲を除いた部分において、塗膜
厚みが平均塗膜厚みの９５％〜１０５％の範囲にあるも
のである。請求項３の塗膜形成物は、少なくとも方形の
基体の１辺において、塗膜端部が基体の端部から３ｍｍ
の範囲に位置しているものである。
【００１０】請求項４の塗膜形成物は、方形の基体が表
裏を示すためのオリエンテイションフラットを備えてな
り、このオリエンテイションフラットに近接する塗膜端
部から塗膜中央に向かって１０ｍｍの範囲における塗膜
厚みが、塗膜端部から塗膜中央に向かって１０ｍｍの範
囲を除いた部分における平均塗膜厚みの１．７５倍を越
えないものである。
裏を示すためのオリエンテイションフラットを備えてな
り、このオリエンテイションフラットに近接する塗膜端
部から塗膜中央に向かって１０ｍｍの範囲における塗膜
厚みが、塗膜端部から塗膜中央に向かって１０ｍｍの範
囲を除いた部分における平均塗膜厚みの１．７５倍を越
えないものである。
【００１１】請求項５の塗膜形成物は、塗膜形成物がカ
ラーフィルタである。
ラーフィルタである。
【００１２】請求項１の塗膜形成物であれば、方形の基
体上に塗工された塗膜形成物であって、塗料吐出用のス
リットを有する枚葉塗工装置の塗工開始位置でステージ
を瞬間的に停止させるとともに、塗料の送液を開始し、
被塗工材が塗工終了位置に到達する直前にビードスキー
ジ塗工を行った結果得られた塗膜形成物が、塗膜端部か
ら塗膜中央に向かって１０ｍｍの範囲における塗膜厚み
が、塗膜端部から塗膜中央に向かって１０ｍｍの範囲を
除いた部分における平均塗膜厚みの１．７５倍を越えな
いものであるから、中央部を殆どオーバーエッチングす
ることなく周縁部を完全にエッチングすることができ、
この結果、塗膜形成物の殆どの範囲を有効に活用するこ
とができ、１枚のマザー基板からの多面取りにも簡単に
対処できる。
体上に塗工された塗膜形成物であって、塗料吐出用のス
リットを有する枚葉塗工装置の塗工開始位置でステージ
を瞬間的に停止させるとともに、塗料の送液を開始し、
被塗工材が塗工終了位置に到達する直前にビードスキー
ジ塗工を行った結果得られた塗膜形成物が、塗膜端部か
ら塗膜中央に向かって１０ｍｍの範囲における塗膜厚み
が、塗膜端部から塗膜中央に向かって１０ｍｍの範囲を
除いた部分における平均塗膜厚みの１．７５倍を越えな
いものであるから、中央部を殆どオーバーエッチングす
ることなく周縁部を完全にエッチングすることができ、
この結果、塗膜形成物の殆どの範囲を有効に活用するこ
とができ、１枚のマザー基板からの多面取りにも簡単に
対処できる。
【００１３】請求項２の塗膜形成物であれば、方形の基
体上に塗工された塗膜形成物であって、塗膜端部から塗
膜中央に向かって１０ｍｍの範囲を除いた部分におい
て、塗膜厚みが平均塗膜厚みの９５％〜１０５％の範囲
にあるものであるから、塗膜形成物の有効活用領域の塗
膜厚みが均一であり、高品質の製品を得ることができ
る。
体上に塗工された塗膜形成物であって、塗膜端部から塗
膜中央に向かって１０ｍｍの範囲を除いた部分におい
て、塗膜厚みが平均塗膜厚みの９５％〜１０５％の範囲
にあるものであるから、塗膜形成物の有効活用領域の塗
膜厚みが均一であり、高品質の製品を得ることができ
る。
【００１４】請求項３の塗膜形成物であれば、少なくと
も方形の基体の１辺において、塗膜端部が基体の端部か
ら３ｍｍの範囲に位置しているので、基体の未塗工領域
を著しく少なくでき、基体の有効活用を達成できる。請
求項４の塗膜形成物であれば、方形の基体が表裏を示す
ためのオリエンテイションフラットを備えてなり、この
オリエンテイションフラットに近接する塗膜端部から塗
膜中央に向かって１０ｍｍの範囲における塗膜厚みが、
塗膜端部から塗膜中央に向かって１０ｍｍの範囲を除い
た部分における平均塗膜厚みの１．７５倍を越えないも
のであるから、オリエンテイションフラットにより表裏
の識別を行うことができるほか、請求項１から請求項３
の何れかと同様の作用を達成できる。
も方形の基体の１辺において、塗膜端部が基体の端部か
ら３ｍｍの範囲に位置しているので、基体の未塗工領域
を著しく少なくでき、基体の有効活用を達成できる。請
求項４の塗膜形成物であれば、方形の基体が表裏を示す
ためのオリエンテイションフラットを備えてなり、この
オリエンテイションフラットに近接する塗膜端部から塗
膜中央に向かって１０ｍｍの範囲における塗膜厚みが、
塗膜端部から塗膜中央に向かって１０ｍｍの範囲を除い
た部分における平均塗膜厚みの１．７５倍を越えないも
のであるから、オリエンテイションフラットにより表裏
の識別を行うことができるほか、請求項１から請求項３
の何れかと同様の作用を達成できる。
【００１５】請求項５の塗膜形成物であれば、塗膜形成
物がカラーフィルタであるから、高品質のカラーフィル
タを得ることができるだけでなく、品質を低下させるこ
となくカラーフィルタの多面取りを達成することができ
る。ここで、カラーフィルタとは、アクリルなどからな
る保護膜層、赤、緑、青色などの着色層、樹脂製のブラ
ックマトリックス（遮光層）を意味する用語として使用
される。
物がカラーフィルタであるから、高品質のカラーフィル
タを得ることができるだけでなく、品質を低下させるこ
となくカラーフィルタの多面取りを達成することができ
る。ここで、カラーフィルタとは、アクリルなどからな
る保護膜層、赤、緑、青色などの着色層、樹脂製のブラ
ックマトリックス（遮光層）を意味する用語として使用
される。
【００１６】
【実施例】以下、実施例を示す添付図面によってこの発
明を詳細に説明する。図１はこの発明の塗膜形成物の一
実施例を示す平面図である。この塗膜形成物９は、被塗
工材８（基体に相当する）の周縁部を僅かに残した状態
で形成されており、塗膜端部から塗膜中央に向かって１
０ｍｍの範囲における塗膜厚みが、塗膜端部から塗膜中
央に向かって１０ｍｍの範囲を除いた部分における平均
塗膜厚みの１．７５倍を越えないように設定されてい
る。また、基体１１の１つの角部を切欠して表裏判定用
のオリエンテイションフラット８ａを形成してある。な
お、塗膜形成物９の全範囲が塗工領域、塗膜が形成され
ていない領域が未塗工領域である。
明を詳細に説明する。図１はこの発明の塗膜形成物の一
実施例を示す平面図である。この塗膜形成物９は、被塗
工材８（基体に相当する）の周縁部を僅かに残した状態
で形成されており、塗膜端部から塗膜中央に向かって１
０ｍｍの範囲における塗膜厚みが、塗膜端部から塗膜中
央に向かって１０ｍｍの範囲を除いた部分における平均
塗膜厚みの１．７５倍を越えないように設定されてい
る。また、基体１１の１つの角部を切欠して表裏判定用
のオリエンテイションフラット８ａを形成してある。な
お、塗膜形成物９の全範囲が塗工領域、塗膜が形成され
ていない領域が未塗工領域である。
【００１７】図２は塗膜形成装置を概略的に示す図であ
る。この枚葉塗工装置は、塗料タンク１と、ピストン型
定量ポンプの一例としてのマイクロシリンジポンプ２
と、塗料吐出用のスリット３ａを有する塗料吐出装置３
と、ボールネジ機構４ａにより往復動されるステージ４
と、ステージ４上の被塗工材８の位置を検出する位置セ
ンサ５と、位置センサ５からの出力信号、ボールネジ機
構４ａを駆動するＡＣサーボモータ４ｂからの状態信
号、塗料吐出装置３の状態信号を入力として塗料吐出装
置３、ＡＣサーボモータを制御するシーケンサ６と、シ
ーケンサ６からの出力信号（マイクロシリンジポンプ制
御用の信号など）およびマイクロシリンジポンプ２の状
態信号を入力としてマイクロシリンジポンプ２を制御す
るコンピュータ７とを有している。なお、塗料タンク１
とマイクロシリンジポンプ２との間を塗料吸引管路１ａ
（第１送液管路に相当する）で連通しており、マイクロ
シリンジポンプ２と塗料吐出装置３との間を塗料吐出管
路３ｂ（第２送液管路に相当する）で連通している。ま
た、マイクロシリンジポンプ２は切換え弁２ａにより選
択的に塗料吸引管路１ａ、塗料吐出管路３ｂに連通され
ている。塗料吐出装置３は、ステージ４上に支承された
被塗工材としてのカラーフィルタ基板８の上面に近接す
る位置と十分に離れた位置との間において昇降されるも
のであり、シーケンサ６からの塗工動作開始指令に応答
して下降し、塗工動作終了指令に応答して上昇する。ま
た、コンピュータ７は切換え弁２ａをも制御する。
る。この枚葉塗工装置は、塗料タンク１と、ピストン型
定量ポンプの一例としてのマイクロシリンジポンプ２
と、塗料吐出用のスリット３ａを有する塗料吐出装置３
と、ボールネジ機構４ａにより往復動されるステージ４
と、ステージ４上の被塗工材８の位置を検出する位置セ
ンサ５と、位置センサ５からの出力信号、ボールネジ機
構４ａを駆動するＡＣサーボモータ４ｂからの状態信
号、塗料吐出装置３の状態信号を入力として塗料吐出装
置３、ＡＣサーボモータを制御するシーケンサ６と、シ
ーケンサ６からの出力信号（マイクロシリンジポンプ制
御用の信号など）およびマイクロシリンジポンプ２の状
態信号を入力としてマイクロシリンジポンプ２を制御す
るコンピュータ７とを有している。なお、塗料タンク１
とマイクロシリンジポンプ２との間を塗料吸引管路１ａ
（第１送液管路に相当する）で連通しており、マイクロ
シリンジポンプ２と塗料吐出装置３との間を塗料吐出管
路３ｂ（第２送液管路に相当する）で連通している。ま
た、マイクロシリンジポンプ２は切換え弁２ａにより選
択的に塗料吸引管路１ａ、塗料吐出管路３ｂに連通され
ている。塗料吐出装置３は、ステージ４上に支承された
被塗工材としてのカラーフィルタ基板８の上面に近接す
る位置と十分に離れた位置との間において昇降されるも
のであり、シーケンサ６からの塗工動作開始指令に応答
して下降し、塗工動作終了指令に応答して上昇する。ま
た、コンピュータ７は切換え弁２ａをも制御する。
【００１８】図３は塗膜形成工程を説明する図である。
なお、図３において実線が塗料の送液速度を示し、太い
破線がステージの移動速度を示している。先ず、被塗工
材８を塗工開始位置まで搬送すべきステージ４を移動さ
せ、被塗工材８を塗工開始位置まで移動させたことに応
答してステージ４を瞬間的に（０．１〜０．７秒程度）
停止させるとともに、マイクロシリンジポンプ２を動作
させることにより塗料の送液を開始する。なお、この場
合には、切換え弁２ａが塗料吐出管路側に切換えられて
いる。上記ステージ４の停止期間中に塗料吐出装置３と
被塗工材８との間にスリット３ａの全幅にわたる塗料ビ
ードが形成されるので、その後は、塗料の送液を継続し
たままでステージ４を移動させ、被塗工材８の表面にほ
ぼ一定の膜厚の塗膜を形成する定常塗工動作を行う。
なお、図３において実線が塗料の送液速度を示し、太い
破線がステージの移動速度を示している。先ず、被塗工
材８を塗工開始位置まで搬送すべきステージ４を移動さ
せ、被塗工材８を塗工開始位置まで移動させたことに応
答してステージ４を瞬間的に（０．１〜０．７秒程度）
停止させるとともに、マイクロシリンジポンプ２を動作
させることにより塗料の送液を開始する。なお、この場
合には、切換え弁２ａが塗料吐出管路側に切換えられて
いる。上記ステージ４の停止期間中に塗料吐出装置３と
被塗工材８との間にスリット３ａの全幅にわたる塗料ビ
ードが形成されるので、その後は、塗料の送液を継続し
たままでステージ４を移動させ、被塗工材８の表面にほ
ぼ一定の膜厚の塗膜を形成する定常塗工動作を行う。
【００１９】そして、被塗工材８が塗工終了位置に到達
する直前にマイクロシリンジポンプ２による塗料の送液
のみを停止し、ビードスキージ塗工を行い、ビードスキ
ージ塗工の周期にマイクロシリンジポンプ２を逆に動作
させることにより被塗工材８上の塗料を短時間だけ吸引
し、その後、塗料吐出装置３を上昇させる。次いで、ス
テージ４の移動を継続して被塗工材８を次工程に渡し、
その後、ステージ４を反転移動させて次の被塗工材８の
受け取りに備える。
する直前にマイクロシリンジポンプ２による塗料の送液
のみを停止し、ビードスキージ塗工を行い、ビードスキ
ージ塗工の周期にマイクロシリンジポンプ２を逆に動作
させることにより被塗工材８上の塗料を短時間だけ吸引
し、その後、塗料吐出装置３を上昇させる。次いで、ス
テージ４の移動を継続して被塗工材８を次工程に渡し、
その後、ステージ４を反転移動させて次の被塗工材８の
受け取りに備える。
【００２０】また、図３には特には示していないが、マ
イクロシリンジポンプ２により被塗工材８上の塗料を吸
引した後は、切換え弁２ａを塗料吸引管路側に切換え、
マイクロシリンジポンプ２を動作させることにより塗料
タンク１から塗料を吸引充填する。図４は以上の方法に
より被塗工材８上に形成された塗膜の厚み測定例を示す
図である。ポリイミド前駆体であるポリアミド酸をバイ
ンダーとして用い、Ｎ−メチル−２−ピロリドンを溶媒
とし、塩臭素化フタロシアニングリーン（Ｃ．Ｉ．ピグ
メントグリーン３６）を混合・分散して得た重量固形分
濃度８ｗｔ％、粘土２５ｃＰｓの緑色着色塗膜形成用塗
料を塗料として採用し、３６０ｍｍ×４６５ｍｍ×１．
１ｍｍの無アルカリガラス基板ＯＡ−２（日本電気硝子
（株）製）を被塗工材８として採用して塗工を行なっ
た。なお、図４中の記号は、図１中（ａ）に示した部分
の塗膜厚みの変化を示している。
イクロシリンジポンプ２により被塗工材８上の塗料を吸
引した後は、切換え弁２ａを塗料吸引管路側に切換え、
マイクロシリンジポンプ２を動作させることにより塗料
タンク１から塗料を吸引充填する。図４は以上の方法に
より被塗工材８上に形成された塗膜の厚み測定例を示す
図である。ポリイミド前駆体であるポリアミド酸をバイ
ンダーとして用い、Ｎ−メチル−２−ピロリドンを溶媒
とし、塩臭素化フタロシアニングリーン（Ｃ．Ｉ．ピグ
メントグリーン３６）を混合・分散して得た重量固形分
濃度８ｗｔ％、粘土２５ｃＰｓの緑色着色塗膜形成用塗
料を塗料として採用し、３６０ｍｍ×４６５ｍｍ×１．
１ｍｍの無アルカリガラス基板ＯＡ−２（日本電気硝子
（株）製）を被塗工材８として採用して塗工を行なっ
た。なお、図４中の記号は、図１中（ａ）に示した部分
の塗膜厚みの変化を示している。
【００２１】この図から明らかなように、塗膜端部から
塗膜中央に向かって１０ｍｍの範囲における塗膜厚み
が、塗膜端部から塗膜中央に向かって１０ｍｍの範囲を
除いた部分における平均塗膜厚みの１．７５倍を越えな
いことがわかる。また塗膜端部から塗膜中央に向かって
１０ｍｍの範囲を除いた部分において、塗膜厚みが平均
塗膜厚みの９５％〜１０５％の範囲にあり、膜厚が均一
な塗膜が形成されていることがわかる。また塗膜端部を
被塗工材８の端部から３ｍｍの範囲に形成しても上記の
通りの塗膜を形成することができた。
塗膜中央に向かって１０ｍｍの範囲における塗膜厚み
が、塗膜端部から塗膜中央に向かって１０ｍｍの範囲を
除いた部分における平均塗膜厚みの１．７５倍を越えな
いことがわかる。また塗膜端部から塗膜中央に向かって
１０ｍｍの範囲を除いた部分において、塗膜厚みが平均
塗膜厚みの９５％〜１０５％の範囲にあり、膜厚が均一
な塗膜が形成されていることがわかる。また塗膜端部を
被塗工材８の端部から３ｍｍの範囲に形成しても上記の
通りの塗膜を形成することができた。
【００２２】塗工方法として、スピナーを用いるほかは
実施例と全く同様にして塗膜形成物を得た。得られた塗
膜の塗膜厚み測定結果を図５に示す。塗膜端部から塗膜
中央に向かって１０ｍｍの範囲における塗膜厚みが、塗
膜端部から塗膜中央に向かって１０ｍｍの範囲を除いた
部分における平均塗膜厚みの２．５倍に及ぶ部分があっ
たことがわかる。また塗膜端部から塗膜中央に向かって
１０ｍｍの範囲を除いた部分において、塗膜厚みが平均
塗膜厚みの９１％〜１１８％の範囲に分布した塗膜が形
成されていることがわかる。同様に塗工方法として、ロ
ッドバーコータを用いるほかは実施例と全く同様にして
塗膜形成物を得た。得られた塗膜の塗膜厚み測定結果を
図６に示す。塗膜端部から塗膜中央に向かって１０ｍｍ
の範囲における塗膜厚みが、塗膜端部から塗膜中央に向
かって１０ｍｍの範囲を除いた部分における平均塗膜厚
みの１．８２倍に及ぶ部分があったことがわかる。また
塗膜部から塗膜中央に向かって１０ｍｍの範囲を除いた
部分において、塗膜厚みが平均塗膜厚みの９３％〜１１
３％の範囲に分布した塗膜が形成されていた。
実施例と全く同様にして塗膜形成物を得た。得られた塗
膜の塗膜厚み測定結果を図５に示す。塗膜端部から塗膜
中央に向かって１０ｍｍの範囲における塗膜厚みが、塗
膜端部から塗膜中央に向かって１０ｍｍの範囲を除いた
部分における平均塗膜厚みの２．５倍に及ぶ部分があっ
たことがわかる。また塗膜端部から塗膜中央に向かって
１０ｍｍの範囲を除いた部分において、塗膜厚みが平均
塗膜厚みの９１％〜１１８％の範囲に分布した塗膜が形
成されていることがわかる。同様に塗工方法として、ロ
ッドバーコータを用いるほかは実施例と全く同様にして
塗膜形成物を得た。得られた塗膜の塗膜厚み測定結果を
図６に示す。塗膜端部から塗膜中央に向かって１０ｍｍ
の範囲における塗膜厚みが、塗膜端部から塗膜中央に向
かって１０ｍｍの範囲を除いた部分における平均塗膜厚
みの１．８２倍に及ぶ部分があったことがわかる。また
塗膜部から塗膜中央に向かって１０ｍｍの範囲を除いた
部分において、塗膜厚みが平均塗膜厚みの９３％〜１１
３％の範囲に分布した塗膜が形成されていた。
【００２３】図４、図５、図６に示す塗膜は、塗膜を形
成する塗料として同一の組成のものを採用した。これら
の塗膜にそれぞれ常法に従ってフォトリソ加工を施し
た。即ちポジ型レジストをスピナー塗布し乾燥した後、
マスク露光を行い露光部の塗膜を、アルカリ現像液によ
ってレジスト現像と同時にエッチングした。有効活用領
域内の塗膜平坦部のジャストエッチ条件で現像を行なっ
たところ、図４に示す塗膜の露光部は残膜することなく
良好なパターンを形成することができた。この塗膜から
得られたパターンは色差△Ｅａｂが３以下の色ムラの少
ないパターンであった。従ってこのような塗膜を利用す
るとカラーフィルタの大型化、多面取りに伴なう被塗工
材端部の非有効活用領域の狭小化に対応することができ
る。
成する塗料として同一の組成のものを採用した。これら
の塗膜にそれぞれ常法に従ってフォトリソ加工を施し
た。即ちポジ型レジストをスピナー塗布し乾燥した後、
マスク露光を行い露光部の塗膜を、アルカリ現像液によ
ってレジスト現像と同時にエッチングした。有効活用領
域内の塗膜平坦部のジャストエッチ条件で現像を行なっ
たところ、図４に示す塗膜の露光部は残膜することなく
良好なパターンを形成することができた。この塗膜から
得られたパターンは色差△Ｅａｂが３以下の色ムラの少
ないパターンであった。従ってこのような塗膜を利用す
るとカラーフィルタの大型化、多面取りに伴なう被塗工
材端部の非有効活用領域の狭小化に対応することができ
る。
【００２４】一方比較例から得られた図５、図６に示す
塗膜は塗膜端部に現像残膜を生じた。残膜を生じないよ
うな更に強い条件で現像エッチングしたところ、残膜は
生じなかったが未露光のパターン部分がオーバーエッチ
となり良好なパターンが得られなかった。また得られた
塗膜の分光特性を測定したところ、比較例から得られた
塗膜（図５、図６）から得られたパターンは、その塗膜
厚みばらつきに起因する色ムラが色差△Ｅａｂで４〜９
にであった。この程度の色ムラは肉眼で十分検知できる
ものであり、この塗膜をカラーフィルタ製造に応用する
ことはできないか或は困難であることがわかった。
塗膜は塗膜端部に現像残膜を生じた。残膜を生じないよ
うな更に強い条件で現像エッチングしたところ、残膜は
生じなかったが未露光のパターン部分がオーバーエッチ
となり良好なパターンが得られなかった。また得られた
塗膜の分光特性を測定したところ、比較例から得られた
塗膜（図５、図６）から得られたパターンは、その塗膜
厚みばらつきに起因する色ムラが色差△Ｅａｂで４〜９
にであった。この程度の色ムラは肉眼で十分検知できる
ものであり、この塗膜をカラーフィルタ製造に応用する
ことはできないか或は困難であることがわかった。
【００２５】
【発明の効果】請求項１の発明は、中央部を殆どオーバ
ーエッチングすることなく周縁部を完全にエッチングす
ることができ、この結果、塗膜形成物の殆どの範囲を有
効に活用することができ、１枚のマザー基板からの多面
取りにも簡単に対処できるという特有の効果を奏する。
ーエッチングすることなく周縁部を完全にエッチングす
ることができ、この結果、塗膜形成物の殆どの範囲を有
効に活用することができ、１枚のマザー基板からの多面
取りにも簡単に対処できるという特有の効果を奏する。
【００２６】請求項２の発明は、塗膜形成物の有効有効
活用領域の塗膜厚みが均一であり、高品質の製品を得る
ことができるという特有の効果を奏する。請求項３の発
明は、基体の無駄領域を著しく少なくでき、基体の有効
活用を達成できるという特有の効果を奏する。請求項４
の発明は、オリエンテイションフラットにより表裏の識
別を行うことができるほか、請求項１から請求項３の何
れかと同様の効果を奏する。
活用領域の塗膜厚みが均一であり、高品質の製品を得る
ことができるという特有の効果を奏する。請求項３の発
明は、基体の無駄領域を著しく少なくでき、基体の有効
活用を達成できるという特有の効果を奏する。請求項４
の発明は、オリエンテイションフラットにより表裏の識
別を行うことができるほか、請求項１から請求項３の何
れかと同様の効果を奏する。
【００２７】請求項５の発明は、品質を低下させること
なくカラーフィルタの多面取りを達成することができる
という特有の効果を奏する。
なくカラーフィルタの多面取りを達成することができる
という特有の効果を奏する。
【図１】この発明の塗膜形成物の一実施例を示す平面図
である。
である。
【図２】塗膜形成装置を概略的に示す図である。
【図３】塗膜形成工程を説明する図である。
【図４】図２の塗膜形成装置により形成された塗膜の膜
厚の変動を示す図である。
厚の変動を示す図である。
【図５】スピナーにより形成された塗膜の膜厚の変動を
示す図である。
示す図である。
【図６】ロボットバーコータにより形成された塗膜の膜
厚の変動を示す図である。
厚の変動を示す図である。
８ 被塗工材 ８ａ オリエンテイションフラット ９ 塗膜形成物
フロントページの続き (56)参考文献 特開 昭63−147105（ＪＰ，Ａ) 特開 昭62−154614（ＪＰ，Ａ) 特開 平２−290277（ＪＰ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) B05D 3/00 B05C 11/10 G02B 5/20 101 G02F 1/1335 505
Claims (5)
- 【請求項１】方形の基体（８）上に塗工された塗膜形成
物（９）であって、塗料吐出用のスリットを有する枚葉
塗工装置の塗工開始位置でステージを瞬間的に停止させ
るとともに、塗料の送液を開始し、被塗工材が塗工終了
位置に到達する直前にビードスキージ塗工を行った結果
得られた塗膜形成物が、塗膜端部から塗膜中央に向かっ
て１０ｍｍの範囲における塗膜厚みが、塗膜端部から塗
膜中央に向かって１０ｍｍの範囲を除いた部分における
平均塗膜厚みの１．７５倍を越えないことを特徴とする
塗膜形成物。 - 【請求項２】 方形の基体（８）上に塗工された塗膜形
成物（９）であって、塗膜端部から塗膜中央に向かって
１０ｍｍの範囲を除いた部分において、塗膜厚みが平均
塗膜厚みの９５％〜１０５％の範囲にある請求項１に記
載の塗膜形成物。 - 【請求項３】 少なくとも方形の基体（８）の１辺にお
いて、塗膜端部が基体の端部から３ｍｍの範囲に位置し
ている請求項１または請求項２に記載の塗膜形成物。 - 【請求項４】 方形の基体（８）が表裏を示すためのオ
リエンテイションフラット（８ａ）を備えてなり、この
オリエンテイションフラット（８ａ）に近接する塗膜端
部から塗膜中央に向かって１０ｍｍの範囲における塗膜
厚みが、塗膜端部から塗膜中央に向かって１０ｍｍの範
囲を除いた部分における平均塗膜厚みの１．７５倍を越
えない請求項１から請求項３の何れかに記載の塗膜形成
物。 - 【請求項５】 塗膜形成物（９）がカラーフィルタであ
る請求項１から請求項４の何れかに記載の塗膜形成物。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP32824094A JP3201195B2 (ja) | 1994-12-28 | 1994-12-28 | 塗膜形成物 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP32824094A JP3201195B2 (ja) | 1994-12-28 | 1994-12-28 | 塗膜形成物 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08182960A JPH08182960A (ja) | 1996-07-16 |
| JP3201195B2 true JP3201195B2 (ja) | 2001-08-20 |
Family
ID=18208011
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP32824094A Expired - Lifetime JP3201195B2 (ja) | 1994-12-28 | 1994-12-28 | 塗膜形成物 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3201195B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP4481292B2 (ja) * | 2002-03-13 | 2010-06-16 | 株式会社リコー | 機能性素子基板の製造装置及び方法 |
| CN108355902A (zh) * | 2018-04-04 | 2018-08-03 | 苏州尤林斯新材料科技有限公司 | 一种用于柔性透明导电薄膜的涂布设备 |
-
1994
- 1994-12-28 JP JP32824094A patent/JP3201195B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH08182960A (ja) | 1996-07-16 |
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