KR100813024B1 - 배향막 도포 방법 및 장치 - Google Patents

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Abstract

배향막 도포 방법 및 장치가 개시되어 있다. 부정형인 유동성 배향물질을 박막 형태로 기판에 도포하는 과정에서 배향물질에 포함된 휘발성 솔벤트가 휘발되어 두께 불균일 및 얼룩이 발생하지 않도록 부족한 휘발성 솔벤트를 보충한다. 이로써 기판에 형성된 배향막의 두께 불량 및 스크래치 등과 같은 얼룩이 발생하지 않도록 한다.
배향막, 배향막 도포, 휘발성 솔벤트

Description

배향막 도포 방법 및 장치{METHOD AND APPARATUS FOR COATING ORIENTATION FILM}
도 1은 종래 배향막 도포 장치의 개념도이다.
도 2는 제 1 배향 롤러와 제 2 배향막 형성 장치의 관계를 도시한 개념도이다.
도 3은 본 발명의 일실시예에 의한 배향막 도포 방법을 도시한 순서도이다.
도 4는 본 발명의 일실시예에 의한 배향막 도포 장치의 블록도이다.
도 5는 본 발명의 일실시예에 의한 배향막 도포 장치의 개념도이다.
도 6은 도 5의 A 부분 확대도이다.
본 발명은 배향막 도포 방법 및 장치에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 보다 균일한 두께로 배향막을 도포 및 배향막에 얼룩이 발생하는 것을 방지한 배향막 도포 방법 및 장치에 관한 것이다.
최근 들어 급속한 기술 개발이 이루어지고 있는 액정표시장치(Liquid Crystal Display device)는 대표적인 표시장치의 하나이다. 이 액정표시장치는 액 정(Liquid Crystal)의 전기-광학적인 특성을 이용하여 디스플레이를 수행한다.
이때, 액정은 전계가 가해지지 않았을 때에는 광을 투과시키지 않고, 소정 전계가 가해졌을 때에는 전계에 대응하여 광을 투과시키는 "광셔터" 특성을 갖는다.
이와 같은 특성을 갖는 액정은 규칙적인 배열을 갖아야만 디스플레이가 가능하다. 보다 구체적으로, 액정이 무질서하게 배열된 상태에서 전계가 가해질 경우, 액정은 무질서하게 배열된 상태에서 재배열됨으로 어떠한 영상도 디스플레이 되지 않는다.
이는 액정이 일정한 배열 규칙을 갖도록 해야만, 전계의 변화에 따라서 액정을 통과하는 광량을 조절할 수 있음을 의미한다.
이와 같이 액정이 갖아야 하는 일정한 배열 규칙은 통상 TFT 기판 및 컬러 필터 기판에 형성된 폴리이미드 박막에 일정 방향으로 뻗은 배향홈(align groove)을 형성함으로 얻어진다.
도 1은 종래 배향막 도포 장치의 개념도이다.
도 1을 참조하면, 종래 배향막 도포 장치(100)는 제 1 배향막 형성 장치(30), 제 2 배향막 형성 장치(40), 제 3 배향막 형성 장치(50) 및 기판 이송 장치(60)로 구성된다.
제 1 배향막 형성 장치(30)는 다시 배향물질 공급 장치(10) 및 제 1 배향 롤러(20)로 구성된다.
배향물질 공급장치(10)는 배향물질 저장 탱크(15) 및 배향물질 디스펜서(17) 로 구성된다. 배향물질 디스펜서(17)는 배향물질 저장 탱크(15)로부터 공급된 배향물질(5)을 소정 유량으로 배출한다. 배향물질(5)은 고형분과 휘발성 솔벤트로 이루어진다. 고형분은 배향물질에 3∼7 wt%가 포함된다.
제 1 배향 롤러(20)는 제 1 직경을 갖는 원통 형상을 갖으며, 일례로 시계 방향으로 회전된다. 이 제 1 배향 롤러(20)에는 배향물질 디스펜서(17)로부터 배출된 배향물질이 직접 드롭 되어 제 1 배향막(5a)이 형성된다.
도 2는 제 1 배향 롤러와 제 2 배향막 형성 장치의 관계를 도시한 개념도이다.
도 1 및 도 2를 참조하면, 제 2 배향막 형성 장치(40)는 얇은 플레이트 형상으로 제 1 배향 롤러(20)에 근접 설치된 두께 조절 플레이트를 포함한다. 두께 조절 플레이트에 도면부호 45를 부여하기로 한다.
이 두께 조절 플레이트(45)와 제 1 배향 롤러(20)는 요구되는 제 2 배향막(5b)의 두께만큼 이격된다.
도 1을 참조하면, 제 3 배향막 형성장치(50)는 제 2 배향 롤러(52) 및 전사 플레이트(54)로 이루어진다.
제 2 배향 롤러(52)는 제 2 직경을 갖으며 원통 형상을 갖으며, 반시계 방향으로 회전한다. 이 제 2 배향 롤러(52)의 표면에는 전사 플레이트(54)가 설치된다. 전사 플레이트(54)는 제 3 배향막(5c)이 형성될 기판(65)의 면적과 동일하다. 이때, 제 1 배향 롤러(20)와 전사 플레이트(54)는 상호 접촉된다.
전사 플레이트(54)와 제 1 배향 롤러(20)는 제 3 배향막(5c)의 두께만큼 이 격되어 제 2 배향막(5b) 보다 얇은 두께를 갖는다.
이송 장치(60)는 제 3 배향막(5c)이 형성될 기판(65)을 이송한다. 이송 장치(60)는 전사 플레이트(54)와 맞물리도록 제 2 배향 롤러(52)의 접선 방향으로 이송된다.
따라서, 전사 플레이트(54)와 기판(65)이 맞닿으면서 전사 플레이트(54)에 도포된 제 3 배향막(5c)은 기판(65)에 전사되고, 기판(65)에는 제 3 배향막(5c)이 형성된다.
그러나, 이와 같은 종래 배향막 도포 장치는 다양한 문제점을 갖고, 이 결과 배향막 형성 불량이 빈번하게 발생하는 문제점을 갖는다.
문제점은 제 1 배향막(5a)을 두께 조절 플레이트(45)에 의하여 제 2 배향막(5b)으로 변경하는 과정에서 발생한다.
구체적으로, 제 1 배향막(5a)은 두께 조절 플레이트(45)를 통과하면서 제 2 배향막(5b)으로 변경된다. 이 과정에서 두께 조절 플레이트(45)의 후면에는 제 1 배향막(5a)을 긁는 과정에서 발생한 잔류 배향물질(5d)이 도 2에 도시된 바와 같이 남게 된다.
이 잔류 배향물질(5d)에 포함된 휘발성 솔벤트는 배향막 도포 공정을 계속 반복하는 과정에서 휘발되어 결국 잔류 배향물질의 고형분 농도는 점차 증가하게 된다.
이처럼 고형분 농도가 증가된 잔류 배향물질이 제 2 배향막(5b)에 혼합될 경우, 제 2 배향막(5b), 기판(65)으로 전사된 제 3 배향막(5c)의 두께가 요구 두께보 다 얇게 되는 문제점을 발생시킨다.
보다 구체적으로, 기판(65)에 형성되는 제 3 배향막(5d)의 두께는 고형분의 농도가 3∼7 wt%를 기준으로 산출된다. 이때, 고형분의 농도가 기준 농도보다 증가될 경우, 즉, 솔벤트의 양이 적을 경우 실제 기판에서는 요구되는 두께보다 훨씬 얇은 두께의 배향막이 형성된다.
또한, 잔류 배향물질(5d)은 시간이 지남에 따라 경화되면서 두께 조절 플레이트(45)에 부착된다. 이 경화된 잔류 배향물질(5d)은 제 2 배향막(5b) 및 제 3 배향막(5c)에 스크래치 형태의 얼룩을 발생시키는 문제점을 갖는다.
또한, 잔류 배향물질(5d)을 제거하기 위하여 주기적으로 배향막 도포 장치를 클리닝해야 하기 때문에 공정이 연속적으로 수행되지 못하게 되어 장치 가동 효율이 저하되는 문제점도 함께 갖는다.
따라서, 본 발명은 이와 같은 종래 기술의 문제점을 감안한 것으로써, 본 발명의 제 1 목적은 배향막에 얼룩이 발생하는 것을 방지함은 물론 두께 균일성을 향상시킨 배향막 도포 방법을 제공함에 있다.
본 발명의 제 2 목적은 배향막에 얼룩이 발생하는 것을 방지함은 물론 두께 균일성까지도 향상시킨 배향막 도포 장치를 제공함에 있다.
이와 같은 본 발명의 제 1 목적을 구현하기 위해서 본 발명은 고형분 및 휘발성 용제가 포함된 부정형 배향물질로 제 1 두께를 갖는 제 1 배향막을 형성하는 단계, 제 1 배향막을 제 1 두께보다 얇은 제 2 두께를 갖도록 변형시켜 제 2 배향막을 형성하는 단계, 제 1 배향 박막과 제 2 배향 박막의 경계면에 모여있는 잔류 배향물질의 점도를 측정하는 단계, 잔류 배향물질의 점도가 허용 범위에 포함되도록 잔류 배향물질에 상기 휘발성 용제를 공급하는 단계 및 제 2 배향막을 제 2 곡면에 전사하여 제 2 두께보다 얇은 제 3 두께를 갖는 제 3 배향막을 형성하는 단계를 포함하는 배향막 도포 방법을 제공함에 있다.
또한, 본 발명의 제 2 목적을 구현하기 위해서 본 발명은 고형분 및 휘발성 용제가 포함된 배향물질을 제 1 위치에 공급하여 제 1 두께를 갖는 제 1 배향막을 형성하는 제 1 배향막 형성 장치, 제 1 배향막을 제 2 위치에서 제 1 두께보다 얇은 제 2 두께를 갖는 제 2 배향막으로 변형시키는 제 2 배향막 형성 장치, 제 2 위치에 모인 잔류 배향물질의 점도를 측정하는 점도 측정 장치, 잔류 배향물질의 점도가 허용 범위에 포함되도록 잔류 배향물질에 휘발성 용제를 공급하는 배향물질 점도 조절 장치, 제 2 배향막을 전사하여 제 2 두께보다 얇은 제 3 배향막을 형성하기 위한 제 3 배향막 형성 수단 및 제 3 배향막을 기판에 인쇄하기 위한 이송 장치를 포함하는 배향막 도포 장치를 제공함에 있다.
이하, 첨부한 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 상세히 설명하고자 한다.
도 3은 본 발명의 일실시예에 의한 배향막 도포 방법을 도시한 순서도이다.
도 3을 참조하면, 먼저 배향물질은 제 1 곡면의 제 1 위치에 드롭(drop) 되어 제 1 두께를 갖는 제 1 배향막을 형성한다(단계 1). 이때, 배향물질은 3∼7wt% 의 고형분과 휘발성 솔벤트로 구성된다.
고형분의 양이 증가하거나 휘발성 솔벤트의 양이 작아질수록 배향물질의 점도는 증가하고, 고형분의 양이 감소하거나 휘발성 솔벤트의 양이 증가할수록 배향물질의 점도는 감소된다.
이때, 제 1 두께는 균일하지 않고 제 1 곡면에 단순 도포된 상태이다.
이와 같은 제 1 배향막은 제 1 곡면의 제 2 위치에서 제 1 두께보다 얇으면서 균일한 두께를 갖는 제 2 배향막으로 변형된다(단계 2).
이때, 제 1 배향막이 제 2 배향막으로 변형되는 과정에서 제 1 배향막과 제 2 배향막의 경계, 즉, 제 1 위치와 제 2 위치의 경계에서는 제 1 배향막과 제 2 배향막의 두께 차이에 해당하는 만큼 잔류 배향물질이 형성된다.
이어서, 제 1 배향막을 제 2 배향막으로 변형하는 과정에서 형성된 잔류 배향물질의 점도가 측정되는 단계가 수행된다(단계 3).
잔류 배향물질의 점도 측정 결과, 잔류 배향물질의 점도가 허용 점도 범위 이내에 포함될 경우(단계 4), 제 2 배향막은 제 1 곡면과 마주보는 제 2 곡면으로 전사되어 제 2 두께보다 얇은 제 3 두께를 갖는 제 3 배향막으로 변형된다(단계 6).
이어서, 제 3 배향막은 기판의 지정된 위치에 인쇄되어 기판에는 배향막이 형성된다(단계 7).
한편, 잔류 배향 물질의 점도 측정 결과, 잔류 배향물질의 점도가 허용 점도 범위 이내에 포함되지 않을 경우(단계 4), 잔류 배향물질의 점도를 조절하는 단계 가 수행된다.(단계 5)
잔류 배향물질의 점도를 조절하는 단계는 잔류 배향물질의 점도가 허용 점도에 포함되도록 잔류 배향물질에 혼합될 고형분 또는 휘발성 용제의 양을 산출하는 단계가 더 포함될 수 있다.
이때, 고형분은 잔류 배향물질에 균일하게 혼합하기 어려움으로, 본 발명에서는 일실시예로 휘발성 용제를 잔류 배향물질에 첨가하여 잔류 배향물질의 점도를 조절한다.
잔류 배향물질에 휘발성 용제가 혼합된 상태에서 다시 잔류 배향물질의 점도를 측정하는 단계(단계 3)가 수행된다.
잔류 배향물질의 점도 측정 결과, 잔류 배향물질의 점도가 허용 점도 범위 이내일 경우, 앞서 설명한 단계 6, 단계 7을 순차적으로 수행하여 기판에 균일한 두께를 갖는 제 3 배향막을 인쇄한다.
도 4는 본 발명의 일실시예에 의한 배향막 도포 장치의 블록도이다.
도 4를 참조하면, 배향막 도포 장치(900)는 전체적으로 보아 제 1 배향막 형성 장치(200), 제 2 배향막 형성 장치(300), 점도 측정 장치(400), 점도 조절 장치(500), 제 3 배향막 형성 장치(600), 이송 장치(700) 및 콘트롤러(800)를 포함한다.
이때, 제 1 배향막 형성 장치(200), 제 2 배향막 형성 장치(300), 점도 측정 장치(400), 점도 조절 장치(500), 제 3 배향막 형성 장치(600) 및 이송 장치(700)는 데이터 신호가 입출입 되는 데이터 버스(810) 및 제어 신호가 입출입 되는 컨트 롤 버스(820)를 매개로 콘트롤러(800)에 연결된다.
도 5는 본 발명의 일실시예에 의한 배향막 도포 장치의 개념도이다.
도 5를 참조하면, 제 1 배향막 형성 장치(200)는 다시 제 1 배향막 형성 롤러(110), 제 1 디스펜서(120) 및 제 1 유량 제어기(130)로 구성된다.
제 1 배향막 형성 롤러(110)는 제 1 직경 및 제 1 길이를 갖는 원통 형상을 갖는 롤러 몸체(115)와 롤러 몸체(115)를 시계 방향으로 회전시키는 모터(117)를 포함한다.
제 1 디스펜서(120)는 제 1 배향막 형성 롤러(110)의 제 1 위치(112)에 배향물질(125)을 드롭(drop) 시켜 "제 1 배향막(125a)"을 형성한다. 이 제 1 배향막(125a)은 제 1 디스펜서(120)에서 드롭 된 배향물질(125)에 의하여 형성된 막으로 불규칙한 제 1 두께를 갖는다.
제 1 유량 제어기(130)는 배향물질 저장 탱크(135)로부터 제 1 디스펜서(120)로 공급되는 배향물질(125)의 유량을 정밀하게 제어한다. 이 제 1 유량 제어기(130)는 콘트롤러(800)의 제어에 의하여 작동한다.
제 2 배향막 형성 장치(300)는 제 1 배향막 형성 롤러(110)의 제 1 위치(112)로부터 시계 방향으로 소정 각도 이격된 제 2 위치(114)에 설치된다. 제 2 배향막 형성 장치(300)는 다시 액튜에이터(310) 및 두께 조절 플레이트(320)로 구성된다.
두께 조절 플레이트(320)는 제 1 배향막 형성 롤러(110)와 동일한 제 1 길이를 갖는 플레이트로, 제 1 배향막 형성 롤러(110)에 근접 설치된다.
이때, 제 1 배향막 형성 롤러(110)와 두께 조절 플레이트(320)의 간격은 액튜에이터(310)에 의하여 조절된다.
두께 조절 플레이트(320)는 제 1 배향막(125a)을 제 1 배향막(125a)보다 두께가 얇고 한층 균일한 두께를 갖는 "제 2 배향막(125b)"으로 변형시킨다.
도 6은 도 5의 A 부분 확대도이다.
도 6을 참조하면, 두께 조절 플레이트(320)에는 제 1 배향막(125a)을 긁는 과정에서 제 1 배향막(125a)의 일부인 잔류 배향물질(125d)이 모여 있다.
이 잔류 배향물질(125d)의 일부는 계속 두께 조절 플레이트(320)에 쌓이고, 나머지는 제 2 배향막(125b)의 일부가 된다.
이때, 두께 조절 플레이트(320)에 모아진 잔류 배향물질(125d)에 포함된 휘발성 솔벤트는 지속적으로 휘발되고, 이에 따라 잔류 배향물질(125d)의 점도는 계속 상승한다.
이처럼 잔류 배향물질(125d)의 점도가 계속 상승될 경우, 잔류 배향물질(125d)의 일부는 두께 조절 플레이트(320)에 부착되고, 이 영향으로 제 2 배향막(125b)에는 스크래치가 빈번하게 발생한다.
또한, 잔류 배향물질(125d)의 점도가 계속 상승될 경우, 제 2 배향막(125b)의 고형분 및 휘발성 솔벤트 비율이 달라져 결국 원하는 배향막 두께를 얻을 수 없게 된다.
이와 같은 문제는 잔류 배향물질(125d)의 점도를 조절함으로써 해결할 수 있다.
도 5 또는 도 6을 참조하면, 잔류 배향물질(125d)의 점도를 조절하기 위해서는 점도 측정장치(400) 및 점도 조절 장치(500)를 필요로 한다.
점도 측정장치(400)는 잔류 배향물질(125d)의 점도를 측정한다. 점도 측정장치(400)는 다양한 종류의 점도 측정 센서가 사용될 수 있다.
점도 조절 장치(500)는 다시 제 2 디스펜서(510), 제 2 유량 제어기(520) 및 휘발성 솔벤트 공급장치(530)로 구성된다.
제 2 디스펜서(510)는 제 1 배향막 형성 롤러(110)의 잔류 배향물질(125d)에 휘발성 솔벤트를 공급한다. 제 2 디스펜서(510)는 일실시예로 두께 조절 플레이트(320)를 관통하여 잔류 배향물질(125d)에 휘발성 솔벤트를 공급할 수 있도록 한다.
휘발성 솔벤트 공급장치(530)는 제 2 디스펜서(510)로 휘발성 솔벤트를 공급한다.
제 2 유량 제어기(520)는 휘발성 솔벤트 공급장치(530)로부터 제 2 디스펜서(510)로 공급되는 휘발성 솔벤트의 유량을 정밀하게 제어한다. 이 제 2 유량 제어기(520)는 콘트롤러(800)의 제어에 의하여 작동한다. 콘트롤러(800)는 앞서 설명한 점도 측정 장치(400)에서 입력된 신호에 의하여 제 2 유량 제어기(520)를 제어한다.
도 5를 참조하면, 제 3 배향막 형성 장치(600)는 제 3 배향막 형성 롤러 유닛(610), 전사 플레이트(620)로 구성된다.
제 3 배향막 형성 롤러 유닛(610)은 다시 제 3 배향막 형성 롤러(612) 및 모 터(614)로 구성된다.
제 3 배향막 형성 롤러(612)는 다시 제 2 직경 및 제 1 길이를 갖는 원통 형상을 갖는다. 모터(614)는 제 3 배향막 형성 롤러(612)를 반시계 방향으로 회전시킨다.
전사 플레이트(620)는 제 3 배향막 형성 롤러(612)의 표면을 따라서 형성된 플레이트이다. 전사 플레이트(620)는 배향막의 면적과 동일한 형상 및 동일한 면적을 갖는다.
전사 플레이트(620)는 제 2 배향막(125b)과 밀착되어 제 1 배향막 형성 롤러(110)에 형성된 제 2 배향막(125b)이 전사되도록 한다. 이때, 전사 플레이트(620)에 전사된 제 2 배향막(125b)을 "제 3 배향막(125c)"이라 정의하기로 한다.
도 5를 참조하면, 이송 장치(700)는 전사 플레이트(620)에 전사된 제 3 배향막(125c)이 기판(710)으로 옮겨지도록 하는 역할을 한다. 이송 장치(700)는 제 3 배향막 형성 롤러(612)의 회전 방향의 접선 방향으로 이송된다. 이 과정에서 제 3 배향막(125c)은 기판(710)으로 전사된다.
이상에서 상세하게 설명한 바에 의하면, 부정형인 배향막을 두께가 얇은 박막 형태로 가공한 후 기판에 전사하는 과정에서 배향물질에 포함된 휘발성 솔벤트의 양이 감소되면서 발생하는 도포 문제를 배향물질의 점도를 측정 및 측정된 점도에 따라 휘발성 솔벤트를 추가적으로 공급하여 스크래치 및 도포 두께 불균일을 극 복할 수 있는 효과를 갖는다.
앞서 설명한 본 발명의 상세한 설명에서는 본 발명의 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술분야의 숙련된 당업자 또는 해당 기술분야에 통상의 지식을 갖는 자라면 후술될 특허청구범위에 기재된 본 발명의 사상 및 기술 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.

Claims (10)

  1. 고형분 및 휘발성 용제가 포함된 부정형 배향물질로 제 1 두께를 갖는 제 1 배향막을 형성하는 단계;
    상기 제 1 배향막을 상기 제 1 두께보다 얇은 제 2 두께를 갖도록 변형시켜 제 2 배향막을 형성하는 단계;
    상기 제 1 배향 박막과 상기 제 2 배향 박막의 경계면에 모여있는 잔류 배향물질의 점도를 측정하는 단계;
    상기 잔류 배향물질의 점도가 허용 범위에 포함되도록 상기 잔류 배향물질에 상기 휘발성 용제를 공급하는 단계; 및
    상기 제 2 배향막을 제 2 곡면에 전사하여 상기 제 2 두께보다 얇은 제 3 두께를 갖는 제 3 배향막을 형성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 배향막 도포 방법.
  2. 제 1 항에 있어서, 상기 제 3 배향막을 형성하는 단계 이후에는 상기 제 3 배향막을 기판에 인쇄하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 배향막 도포 방법.
  3. 제 1 항에 있어서, 상기 잔류 배향 물질의 점도를 측정하는 단계 이후에는 상기 휘발성 용제의 공급량을 산출하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 배향막 도포 방법.
  4. 고형분 및 휘발성 용제가 포함된 배향물질을 제 1 위치에 공급하여 제 1 두께를 갖는 제 1 배향막을 형성하는 제 1 배향막 형성 수단;
    상기 제 1 배향막을 제 2 위치에서 상기 제 1 두께보다 얇은 제 2 두께를 갖는 제 2 배향막으로 변형시키는 제 2 배향막 형성 장치;
    상기 제 2 위치에 모인 잔류 배향물질의 점도를 측정하는 점도 측정 장치;
    상기 잔류 배향물질의 점도가 허용 범위에 포함되도록 상기 잔류 배향물질에 상기 휘발성 용제를 공급하는 배향물질 점도 조절 수단;
    상기 제 2 배향막을 전사하여 상기 제 2 두께보다 얇은 제 3 배향막을 형성하기 위한 제 3 배향막 형성 수단; 및
    상기 제 3 배향막을 기판에 인쇄하기 위한 이송 장치를 포함하는 것을 특징으로 하는 배향막 도포 장치.
  5. 제 4 항에 있어서, 상기 제 1 배향막 형성 수단은 제 1 직경을 갖고 제 1 방향으로 회전하는 제 1 배향 롤러, 상기 제 1 위치에 상기 배향물질을 공급하는 제 1 디스펜서 및 상기 제 1 디스펜서에 상기 배향물질을 공급하는 제 1 유량 제어기를 포함하는 것을 특징으로 하는 배향막 도포 장치.
  6. 제 4 항에 있어서, 상기 제 2 배향막 형성 장치는 상기 제 1 배향막의 일부를 긁어내는 플레이트 형상의 배향막 두께 조절 플레이트 및 상기 두께 조절 플레 이트와 상기 제 1 배향막 형성 수단과 이루는 이격 거리를 조절하는 액튜에이터를 포함하는 것을 특징으로 하는 배향막 도포장치.
  7. 제 4 항에 있어서, 상기 점도 측정 장치는 상기 배향물질의 점도를 측정하는 점도 측정 센서인 것을 특징으로 하는 배향막 도포장치.
  8. 제 4 항에 있어서, 상기 배향물질 점도 조절 수단은 상기 휘발성 용제가 저장된 휘발성 용제 저장 장치, 상기 휘발성 용제를 공급하는 제 2 디스펜서 및 상기 제 2 디스펜서에서 공급되는 상기 휘발성 용제의 공급량을 제어하는 제 2 유량 제어기를 포함하는 것을 특징으로 하는 배향막 도포장치.
  9. 제 4 항에 있어서, 상기 제 3 배향막 형성 수단은 제 2 직경을 갖고 제 2 방향으로 회전하는 제 2 배향 롤러, 상기 제 2 배향 롤러의 표면에 상기 기판의 면적과 대등하게 형성된 전사 플레이트를 포함하는 것을 특징으로 하는 배향막 도포장치.
  10. 제 4 항에 있어서, 상기 기판이 상기 제 3 배향막과 접촉되도록 상기 기판을 이송하는 이송장치를 포함하는 것을 특징으로 하는 배향막 도포장치.
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