JPH08258241A - 薄膜形成装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 薄膜の厚さを変える場合または印刷する
凸版の版厚もしくは展色テーブルの板厚を変える場合、
印刷圧力の調整が容易に可能な作業効率の良い、かつ、
均一な厚さが得られ、品質の良い薄膜を形成できる薄膜
形成装置を提供する。 【構成】 展色テーブル１上に供給されたインキをモー
タ８が展色テーブル１を回転させ拡散させる。展色テー
ブル１は、駆動装置によって凸版１２に対して接近離反
する機構であるため、印刷圧力の調整が容易に可能であ
る。従って、形成しようとする薄膜の厚さまたは印刷す
る凸版１２の版厚もしくは展色テーブル１の板厚の変化
にも拘らず、印刷圧力の調整が容易に可能であるため作
業効率が向上し、ステージ１５の上に載置した被印刷体
１４の薄膜が所望の均一な厚さにて形成され、品質も向
上する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は液晶素子の配向膜等の薄
膜および半導体素子の絶縁被膜等をガラス基板や半導体
基板等の被印刷体上に印刷形成する薄膜形成装置に関す
るものである。

【０００２】

【従来の技術】従来、液晶配向膜などの低粘度インキを
用いてガラス板などに印刷する凸版印刷装置では、印刷
凸版の版厚や展色テーブルの高さに合わせてスキマゲー
ジ等を用いて、人手を介入して印刷凸版と展色テーブル
との間の圧力である印刷圧力を調整していた。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記従
来例では、薄膜の厚さを変える場合または印刷する凸版
の版厚もしくは展色テーブルの板厚を変える場合、印刷
圧力の調整にかなりの工数を要し、作業効率の低下を期
していた。

【０００４】更に、人手を介入するため熟練を要し、印
刷圧力にバラツキが生じ易く、印刷圧力の再現性が乏し
かった。従って、 均一な厚さが得られず品質上の問題
があった。

【０００５】そこで本発明の第一の目的は、薄膜の厚さ
を変える場合または印刷する凸版の版厚もしくは展色テ
ーブルの板厚を変える場合、印刷圧力の調整が容易に可
能な作業効率の良い薄膜形成装置を提供することにあ
る。

【０００６】本発明の第ニの目的は、印刷圧力の微調整
が可能であり、均一な厚さが得られ、品質の良い薄膜を
形成できる薄膜形成装置を提供することにある。

【０００７】

【課題を解決するための手段】本発明は、上述事情に鑑
みてなされたものであって、薄膜を形成するためのイン
キを高速回転により所定の厚さに広げる展色テーブル
と、前記展色テーブルを回転させる回転装置と、形成し
ようとするパターンを有する凸版を備えた版胴と、被印
刷体を支持するステージと、を備えてなる薄膜形成装置
において、前記展色テーブルが、前記凸版に対して接近
離反可能になる駆動機構を備えた薄膜形成装置にある。

【０００８】更に、前記駆動機構が傾斜面を有するブロ
ックを備えても良い。

【０００９】また、前記ブロックの傾斜面が、１／１０
の傾斜を備えると好ましい。

【００１０】

【作用】以上の構成に基づき、本発明は、薄膜を形成す
るためのインキを拡散させる展色板が凸版に対して接近
離反するため、印刷圧力の調整が容易になされる。

【００１１】また、駆動機構が傾斜面を有するブロック
を備えているため、展色板が凸版に対して微量で接近離
反することにより、印刷圧力の微調整が容易になされ
る。

【００１２】

【実施例】以下、図面に沿って、本発明による実施例に
ついて説明する。

【００１３】図１に示されているのは本発明の薄膜形成
装置１００の基本的構成である。図１において１は、展
色テーブルであり、平坦な金属、ガラスまたは高分子材
料等からなり、その形状は、形成しようとするパターン
よりも広い面積の円盤状である。 前記展色テーブル１
は、支持体２の上面に回転可能に載置されている。前記
支持体２の下端には、傾斜面２ａが備えられている。傾
斜面２ａは，ブロック部材３の上端に備えられた傾斜面
３ａと当接する（図２）。

【００１４】前記ブロック部材３は、移動体４に固定さ
れている。移動体４は、ボールネジ部材５およびパルス
モータ６により、図１において、左右に移動可能に設け
られている。

【００１５】一方、前記展色テーブル１は、その下面に
備えられた回転軸７および前記回転軸７を回転させるモ
ータ８とにより前述の支持体２の上部の端面上を回転滑
動する。

【００１６】前記展色テーブル１の外周には、スピンカ
ップ９が備えられている。

【００１７】前記展色テーブル１、回転軸７、モータ８
およびスピンカップ９は、図示を省略した駆動機構によ
り破線で示す上方位置に上昇される。

【００１８】前記展色テーブル１の左側には、展色テー
ブル１の中心に加圧タンク１０より送られてくるインキ
を一定量吐出するインキ供給部１１が備えられている。
尚、本実施例において使用するインキは、数センチポア
ズ（ＣＰ）から２００センチポアズ（ＣＰ）の範囲の低
粘度であり、樹脂または樹脂前駆体および溶剤の混合物
からなるインキが好ましい。

【００１９】更に、インキ供給部１１左側には、印刷ゴ
ム凸版１２を備えた版胴１３が図１において、駆動装置
（不図示）により左右に移動可能に設けられている。前
記印刷ゴム凸版１２は、形成しようとするパターン形状
を有し、例えばブチルゴムなどのゴムもしくはナイロン
系樹脂などの樹脂または感光性ゴムもしくは感光性樹脂
よりなる。

【００２０】他方、前記展色テーブル１の右側には、被
印刷体１４を載置するステージ１５が備えられている。
被印刷体１４は、ガラス板などの表面が平滑なものが好
ましい。

【００２１】上記構成において、前記展色テーブル１、
回転軸７、モータ８およびスピンカップ９は、駆動機構
（不図示）により破線で示す上方位置に上昇され、イン
キ供給部１１が破線で示す位置移動される。

【００２２】次に、インキ供給部１１により、インキが
前記展色テーブル１の中心に吐出される。吐出後、イン
キ供給部１１は実線で示す位置に復帰する。その後、モ
ータ８の回転により前記展色テーブル１は、設定された
回転速度により設定された時間回転する。これにより、
前記展色テーブル１上に吐出されたインキは、均一に前
記展色テーブル１上において拡散される。

【００２３】インキが拡散された後、前記展色テーブル
１、回転軸７、モータ８およびスピンカップ９は、図示
を省略した駆動機構により実線で示す位置に復帰され、
Ａ１に位置していた版胴１３がＡ２の位置に移動する。
これにより、印刷ゴム凸版１２が展色テーブル１上を圧
接しながら回転し、インキを印刷ゴム凸版１２の表面に
転移する。

【００２４】印刷ゴム凸版１２にインキが転移した後、
被印刷体１４を載置するステージ１５の上方に破線で示
すＡ３の位置版胴１３が移動し、印刷ゴム凸版１２を被
印刷体１４に圧接して、インキを被印刷体１４に転移さ
せ、薄膜を形成する。

【００２５】次に、印刷ゴム凸版１２を版厚が異なるも
のに交換して作業を行う場合について以下に説明する。

【００２６】例えば、印刷ゴム凸版１２をその版厚が
０．２ｍｍ厚いものに変更した場合、制御装置（不図
示）に版厚値を入力すると、ボールネジ部材５およびパ
ルスモータ６が回転することにより移動体４が図１にお
いて２ｍｍ右側に移動する。

【００２７】ブロック部材３の上端に備えられた傾斜面
３ａは、１／１０の傾斜を備えたテーパ面が加工されて
いる。従って、支持体２および前記展色テーブル１は、
０．２ｍｍ下降する。

【００２８】インキは、ポリイミド樹脂ＳＰ−７１０に
より固形分４％の溶液を作成する。直径４７０ｍｍの大
きさでインキを前記展色テーブル１に３５ｃｃ吐出し、
前記展色テーブル１を２秒間で毎分２０００回転（ｒ．
ｐ．ｍ．）に到達させ、２秒間で停止させる条件にて回
転させ、前記溶液を拡散させる。

【００２９】次に、印刷ゴム凸版１２を備えた版胴１３
を毎秒２００ｍｍの速度で移動し、インキを前記展色テ
ーブル１から印刷ゴム凸版１２へ、更に、被印刷体１４
に転移させることにより印刷を行なう。この場合、被印
刷体１４の寸法は、一辺が４５０ｍｍ、もう一方の辺が
５５０ｍｍで、厚さは、１．１ｍｍである。

【００３０】こうして印刷された被印刷体１４をオーブ
ンにて摂氏２７５度で１時間焼成する。上記により形成
された薄膜を触針式膜厚計で測定したところ、面内１０
点のサンプリングで、５００から５１０オングストロー
ム厚の均一な薄膜が得られた。

【００３１】以上述べた実施例において、ボールネジ部
材５およびパルスモータ６を回転させることにより印刷
圧力を変えた場合、図３に示すような印刷圧力と薄膜の
膜厚との関係が得られた。

【００３２】ついで、配向膜を絶縁層に置き換えて変更
した実施例について説明する。なお、先の実施例と同じ
部分は、同じ付号を付して説明を省略する。

【００３３】本実施例の絶縁層形成では、配向膜の形成
に比し、インキの粘性を高くする必要がある。そのた
め、前記展色テーブル１の回転速度も高くする必要があ
り、前記展色テーブル１を軽量化するため０．４ｍｍ薄
くした。

【００３４】従って、ボールネジ部材５およびパルスモ
ータ６を回転させることにより、前記展色テーブル１を
０．４ｍｍ上昇させる必要がある。

【００３５】前実施例と同様に、直径４７０ｍｍの大き
さでインキを前記展色テーブル１に３５ｃｃ吐出する。
次に、前記展色テーブル１を３秒間で毎分３０００回転
（ｒ．ｐ．ｍ．）に到達させ、２秒間で停止させる条件
にて回転させ、絶縁層のインキを拡散させる。

【００３６】更に、印刷ゴム凸版１２を備えた版胴１３
を毎秒２００ｍｍの速度で移動し、インキを前記展色テ
ーブル１から印刷ゴム凸版１２へ、更に、被印刷体１４
に転移させることにより印刷を行なう。この場合も、被
印刷体１４の寸法は、一辺が４５０ｍｍ、もう一方の辺
が５５０ｍｍで、厚さは、１．１ｍｍである。

【００３７】こうして印刷された被印刷体１４をオーブ
ンにて摂氏２７５度で１時間焼成する。上記により形成
された薄膜を触針式膜厚計で測定したところ、面内１０
点のサンプリングで、１２００から１２１０オングスト
ローム厚の均一な薄膜が得られた。

【００３８】

【発明の効果】以上説明したように、本発明によると、
薄膜を形成するためのインキを拡散させる展色板が、駆
動機構によって凸版に対して接近離反するため、形成し
ようとする薄膜の厚さまたは印刷する凸版の版厚もしく
は展色テーブルの板厚の変化にも拘らず、印刷圧力の調
整が容易に可能であり、作業効率も向上する。

【００３９】更に、本発明によると、駆動機構が傾斜面
を有するブロックを備えているため、形成しようとする
薄膜の厚さまたは印刷する凸版の版厚もしくは展色テー
ブルの板厚の変化にも拘らず、印刷圧力の微調整が可能
であり、所望の均一な厚さが得られ、品質の良い薄膜を
形成できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係る実施例の全体図。

【図２】その要部の一部拡大図。

【図３】本発明に係る実施例に基づいて実験を行ない、
得られた値を示す図。

【符号の説明図】

１ 展色テーブル ３ ブロック ３ａ 傾斜面 ５ ボールネジ ６ パルスモータ ８ モータ １２ 凸版 １３ 版胴 １５ ステージ １００ 薄膜形成装置

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 薄膜を形成するためのインキを高速回転
   により所定の厚さに広げる展色テーブルと、 前記展色テーブルを回転させる回転装置と、 形成しようとするパターンを有する凸版を備えた版胴
   と、 被印刷体を支持するステージと、 を備えてなる薄膜形成装置において、 前記展色テーブルが、前記凸版に対して接近離反可能に
   なる駆動機構を備えたことを特徴とする薄膜形成装置
2. 【請求項２】 前記駆動機構が傾斜面を有するブロック
   を備えてなる、請求項１記載の薄膜形成装置。
3. 【請求項３】 前記ブロックの傾斜面が、１／１０の傾
   斜を備えてなる、請求項２記載の薄膜形成装置。