JPH0531882A - 薄膜形成装置 - Google Patents
薄膜形成装置Info
- Publication number
- JPH0531882A JPH0531882A JP21592891A JP21592891A JPH0531882A JP H0531882 A JPH0531882 A JP H0531882A JP 21592891 A JP21592891 A JP 21592891A JP 21592891 A JP21592891 A JP 21592891A JP H0531882 A JPH0531882 A JP H0531882A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- roll
- coating material
- intaglio roll
- intaglio
- rubber
- Prior art date
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- Inking, Control Or Cleaning Of Printing Machines (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 凹版ロール表面の多数のセル内に塗布材料を
十分に充填し、かつ正確に計量することでができる薄膜
形成装置を得る。 【構成】 表面に所定のパターンのセル群が形成され接
線速度400mm/secで回転する凹版ロール１の表面にプラ
スチック製のドクターブレード３を接触させ、ドクター
ブレード３の凹版ロール１の回転方向とは反対側にゴム
ロール２を圧接しながら摺動回転するように配置した。
そして、液晶配向膜形成剤からなる塗布材料９をノズル
の先からゴムロール２上に供給し、凹版ロール１とゴム
ロール２とを接触圧を0.08mmで圧接させ、圧接位置での
接線速度の向きが同一になるように回転させた。凹版ロ
ール１に保持された塗布材料９は、表面に弾性凸版１０
が巻付けられ凹版ロール１と圧接しながら同期回転する
印刷ロール４上に転移され、弾性凸版１０との圧接によ
って被印刷体５上に転移される。
十分に充填し、かつ正確に計量することでができる薄膜
形成装置を得る。 【構成】 表面に所定のパターンのセル群が形成され接
線速度400mm/secで回転する凹版ロール１の表面にプラ
スチック製のドクターブレード３を接触させ、ドクター
ブレード３の凹版ロール１の回転方向とは反対側にゴム
ロール２を圧接しながら摺動回転するように配置した。
そして、液晶配向膜形成剤からなる塗布材料９をノズル
の先からゴムロール２上に供給し、凹版ロール１とゴム
ロール２とを接触圧を0.08mmで圧接させ、圧接位置での
接線速度の向きが同一になるように回転させた。凹版ロ
ール１に保持された塗布材料９は、表面に弾性凸版１０
が巻付けられ凹版ロール１と圧接しながら同期回転する
印刷ロール４上に転移され、弾性凸版１０との圧接によ
って被印刷体５上に転移される。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は、凹版ロール表面の多
数のセル内に塗布材料を十分に充填し、かつ正確に計量
することでができる薄膜形成装置に関する。
数のセル内に塗布材料を十分に充填し、かつ正確に計量
することでができる薄膜形成装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、液晶配向膜や絶縁皮膜、導電皮膜
など種々の電子部品関連の機能性薄膜を形成するには、
薄膜形成装置を用いていた。この薄膜形成装置は、多数
のセルを表面に有する凹版ロールと、凹版ロール表面に
直接供給する塗布材料供給装置と、凹版ロール表面に接
触することによって凹版ロールに供給された塗布材料を
前記セル内に充填計量するドクターブレードと、弾性凸
版を表面に有し凹版ロールとの圧接により凹版ロールの
セル内の塗布材料が前記凸版の表面に転移しつぎに被印
刷体との圧接により前記インキを被印刷体表面の転移す
る印刷ロールとからなっているものである。この装置で
は、凹版ロールのセル内に塗布材料を充填計量するため
に、つぎのようにしていた。 (1)プラスチック製あるいは金属製のドクターブレード
を凹版ロール表面に接触させ、摺動させることにより計
量する。 (2)ドクターロール表面を凹版ロール表面に圧接させ、
摺動回転させることによりセル内に充填計量する。
など種々の電子部品関連の機能性薄膜を形成するには、
薄膜形成装置を用いていた。この薄膜形成装置は、多数
のセルを表面に有する凹版ロールと、凹版ロール表面に
直接供給する塗布材料供給装置と、凹版ロール表面に接
触することによって凹版ロールに供給された塗布材料を
前記セル内に充填計量するドクターブレードと、弾性凸
版を表面に有し凹版ロールとの圧接により凹版ロールの
セル内の塗布材料が前記凸版の表面に転移しつぎに被印
刷体との圧接により前記インキを被印刷体表面の転移す
る印刷ロールとからなっているものである。この装置で
は、凹版ロールのセル内に塗布材料を充填計量するため
に、つぎのようにしていた。 (1)プラスチック製あるいは金属製のドクターブレード
を凹版ロール表面に接触させ、摺動させることにより計
量する。 (2)ドクターロール表面を凹版ロール表面に圧接させ、
摺動回転させることによりセル内に充填計量する。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】ところが、(1)の場
合、ドクターブレードだけで塗布材料の充填と計量とを
おこなうので、凹版ロールの回転スピードを上昇させる
と、塗布材料のセル内への充填がついていけず充填不足
が生じる。
合、ドクターブレードだけで塗布材料の充填と計量とを
おこなうので、凹版ロールの回転スピードを上昇させる
と、塗布材料のセル内への充填がついていけず充填不足
が生じる。
【０００４】また、(2)の場合、ドクターロールの表面
がゴムからなっているので、接触圧力、回転速度の変
化、ゴム硬度、摺動による磨耗、溶剤による経時劣化な
どにより凹版ロールとの圧接状態が変化し、正確な計量
ができない。これらのことは、膜厚精度のよい薄膜を生
産性よく形成するための大きな障害となっていた。
がゴムからなっているので、接触圧力、回転速度の変
化、ゴム硬度、摺動による磨耗、溶剤による経時劣化な
どにより凹版ロールとの圧接状態が変化し、正確な計量
ができない。これらのことは、膜厚精度のよい薄膜を生
産性よく形成するための大きな障害となっていた。
【０００５】
【課題を解決するための手段】以上の課題を解決するた
めに、この発明ではつぎのように構成した。つまり、多
数のセルを表面に有する凹版ロールと、凹版ロール表面
に接触することによって凹版ロールに供給された塗布材
料を前記セル内に充填計量するドクターブレードとを有
する薄膜形成装置において、凹版ロール表面に圧接する
ことによって塗布材料を供給するゴムロールが設けら
れ、かつゴムロールが凹版ロールと摺動回転または同期
回転するようにしている。また、多数のセルを表面に有
する凹版ロールと、凹版ロール表面に塗布材料を直接供
給する供給装置と、凹版ロール表面に接触することによ
って凹版ロールに供給された塗布材料を前記セル内に充
填計量するドクターブレードとを有する薄膜形成装置に
おいて、塗布材料の供給位置とドクターブレードの接触
位置との間の凹版ロール表面に圧接するようにゴムロー
ルが設けられ、かつゴムロールが凹版ロールと摺動回転
または同期回転するようにしてもよい。
めに、この発明ではつぎのように構成した。つまり、多
数のセルを表面に有する凹版ロールと、凹版ロール表面
に接触することによって凹版ロールに供給された塗布材
料を前記セル内に充填計量するドクターブレードとを有
する薄膜形成装置において、凹版ロール表面に圧接する
ことによって塗布材料を供給するゴムロールが設けら
れ、かつゴムロールが凹版ロールと摺動回転または同期
回転するようにしている。また、多数のセルを表面に有
する凹版ロールと、凹版ロール表面に塗布材料を直接供
給する供給装置と、凹版ロール表面に接触することによ
って凹版ロールに供給された塗布材料を前記セル内に充
填計量するドクターブレードとを有する薄膜形成装置に
おいて、塗布材料の供給位置とドクターブレードの接触
位置との間の凹版ロール表面に圧接するようにゴムロー
ルが設けられ、かつゴムロールが凹版ロールと摺動回転
または同期回転するようにしてもよい。
【０００６】
【作用】まず、凹版ロール上に供給された塗布材料は、
凹版ロール表面とゴムロールとの圧接により、凹版ロー
ル表面のセル内に強制的に押し込まれ十分に充填され
る。つぎに、セルからはみでた余分な塗布材料が、ドク
ターブレードと凹版ロールとの接触によりかきとられ、
正確に充填計量されてセル内に保持される。つぎに、印
刷ロールと凹版ロールとが圧接しながら同期回転し、凹
版ロールのセル内に保持された塗布材料は、印刷ロール
の胴部表面の弾性凸版表面に転移される。そして、ステ
ージ上に載置されて印刷ロール下方に搬送されてきた被
印刷体と弾性凸版とが圧接され、セル内の塗布材料が該
被印刷体表面に転移される。
凹版ロール表面とゴムロールとの圧接により、凹版ロー
ル表面のセル内に強制的に押し込まれ十分に充填され
る。つぎに、セルからはみでた余分な塗布材料が、ドク
ターブレードと凹版ロールとの接触によりかきとられ、
正確に充填計量されてセル内に保持される。つぎに、印
刷ロールと凹版ロールとが圧接しながら同期回転し、凹
版ロールのセル内に保持された塗布材料は、印刷ロール
の胴部表面の弾性凸版表面に転移される。そして、ステ
ージ上に載置されて印刷ロール下方に搬送されてきた被
印刷体と弾性凸版とが圧接され、セル内の塗布材料が該
被印刷体表面に転移される。
【０００７】このように、まずゴムロールによって充填
をおこない、つぎにドクターブレードによって計量をお
こなう。したがって、高速回転の場合でも、塗布材料
は、ゴムロールにより凹版ロールのセル内に過不足なく
保持させることが可能である。
をおこない、つぎにドクターブレードによって計量をお
こなう。したがって、高速回転の場合でも、塗布材料
は、ゴムロールにより凹版ロールのセル内に過不足なく
保持させることが可能である。
【０００８】
【実施例】以下、この発明の実施例を図面を参照しなが
ら詳細に説明する。まず、凹版ロール１は、一般にアニ
ロックスロールとも呼ばれるもので、その表面に供給さ
れたインキを多数のセル内に充填計量され保持するもの
である（図１、２参照）。凹版ロール１は、胴部表面に
メッキ層が形成されており、その表面には所定のパター
ンに配列された多数のセルが形成されている。セルの深
さは数μｍから数10μｍのものがある。
ら詳細に説明する。まず、凹版ロール１は、一般にアニ
ロックスロールとも呼ばれるもので、その表面に供給さ
れたインキを多数のセル内に充填計量され保持するもの
である（図１、２参照）。凹版ロール１は、胴部表面に
メッキ層が形成されており、その表面には所定のパター
ンに配列された多数のセルが形成されている。セルの深
さは数μｍから数10μｍのものがある。
【０００９】ゴムロール２は、凹版ロール１表面に供給
された塗布材料９を凹版ロール１のセル内に強制的に充
填するロールである。ゴムロール２は、塗布材料９の供
給位置７とドクターブレード３の接触位置８との間の凹
版ロール１表面に圧接するように設けられ、かつゴムロ
ール２は凹版ロール１と摺動回転または同期回転する
（図１、２参照）。
された塗布材料９を凹版ロール１のセル内に強制的に充
填するロールである。ゴムロール２は、塗布材料９の供
給位置７とドクターブレード３の接触位置８との間の凹
版ロール１表面に圧接するように設けられ、かつゴムロ
ール２は凹版ロール１と摺動回転または同期回転する
（図１、２参照）。
【００１０】ゴムロール２は、塗布材料９を凹版ロール
１のセル内に充填するだけでよく、計量機能を要さな
い。したがって、ゴムロール２と凹版ロール１表面と
は、従来のドクターロールの場合よりも弱い接触圧で圧
接するようにしてもよい。この場合でも、ゴムロール２
は、ドクターブレード３による塗布材料９の計量の前に
塗布材料９をセル内に確実に充填させておくことができ
るとともに、ゴムロール２表面の極端な磨耗がないので
効果的である。
１のセル内に充填するだけでよく、計量機能を要さな
い。したがって、ゴムロール２と凹版ロール１表面と
は、従来のドクターロールの場合よりも弱い接触圧で圧
接するようにしてもよい。この場合でも、ゴムロール２
は、ドクターブレード３による塗布材料９の計量の前に
塗布材料９をセル内に確実に充填させておくことができ
るとともに、ゴムロール２表面の極端な磨耗がないので
効果的である。
【００１１】ゴムロール２と凹版ロール１とは、圧接位
置における接線速度が同じ向きとなるように回転してお
り、同期回転あるいは摺動回転をする。ここでいう同期
回転とは、接線速度の大きさが同一の回転をいう。ま
た、ここでいう摺動回転とは、圧接位置における接線速
度の大きさが異なる回転をいう。
置における接線速度が同じ向きとなるように回転してお
り、同期回転あるいは摺動回転をする。ここでいう同期
回転とは、接線速度の大きさが同一の回転をいう。ま
た、ここでいう摺動回転とは、圧接位置における接線速
度の大きさが異なる回転をいう。
【００１２】ゴムロール２は、ロールの表面にゴムが巻
き着けられたものである。ゴムの材質としてはブチルゴ
ム、エチレンプロピレンゴムなどを用いることができ
る。
き着けられたものである。ゴムの材質としてはブチルゴ
ム、エチレンプロピレンゴムなどを用いることができ
る。
【００１３】また、このゴムロール２は、凹版ロール１
表面に圧接して摺動回転または同期回転しながら塗布材
料９を供給するものでもよい。具体的には、塗布材料供
給ノズルによって塗布材料９をゴムロール２表面に滴下
し、ゴムロール２表面に塗布材料９を一旦保持した後、
凹版ロール１表面と接触回転しながら、凹版ロール１表
面のセル内に塗布材料９を充填するのである（図１参
照）。
表面に圧接して摺動回転または同期回転しながら塗布材
料９を供給するものでもよい。具体的には、塗布材料供
給ノズルによって塗布材料９をゴムロール２表面に滴下
し、ゴムロール２表面に塗布材料９を一旦保持した後、
凹版ロール１表面と接触回転しながら、凹版ロール１表
面のセル内に塗布材料９を充填するのである（図１参
照）。
【００１４】凹版ロール１表面には塗布材料９を直接供
給してもよい。その場合はノズルの先から凹版ロール１
表面に塗布材料９を直接滴下する（図２参照）。
給してもよい。その場合はノズルの先から凹版ロール１
表面に塗布材料９を直接滴下する（図２参照）。
【００１５】ドクターブレード３は、凹版ロール１のイ
ンキが印刷ロール４に圧接される位置の直前の凹版ロー
ル１上に接触するように設けられ、ゴムロール２によっ
てセル内に充填された塗布材料９をかきとって計量する
ものである。ドクターブレード３は、厚さ0.10〜0.30ｍ
ｍのステンレスやプラスチック製のものがある。
ンキが印刷ロール４に圧接される位置の直前の凹版ロー
ル１上に接触するように設けられ、ゴムロール２によっ
てセル内に充填された塗布材料９をかきとって計量する
ものである。ドクターブレード３は、厚さ0.10〜0.30ｍ
ｍのステンレスやプラスチック製のものがある。
【００１６】また、塗布材料９の供給位置７とドクター
ブレード３の接触位置８との凹版ロール１表面上の距離
は、凹版ロール１の円周の長さの１／４以下が好まし
い。なぜなら、この発明の薄膜形成装置では、凹版ロー
ル１が高速回転、低速回転、停止を繰り返しながら印刷
が行われるものである。凹版ロール１表面に供給される
塗布材料９の量やドクターブレード３で計量される塗布
材料９の量が各段階で変化する。その結果、凹版ロール
１のセルに保持される塗布材料９の量が違ってくる。し
たがって、装置設計上の無理が生じない範囲で塗布材料
９の供給位置７とドクターブレード３が接触する位置と
の凹版ロール１上の距離を短くしなければならない。そ
こで、この発明では、その距離が凹版ロール１の円周の
長さの１／４以下のものが好ましい。
ブレード３の接触位置８との凹版ロール１表面上の距離
は、凹版ロール１の円周の長さの１／４以下が好まし
い。なぜなら、この発明の薄膜形成装置では、凹版ロー
ル１が高速回転、低速回転、停止を繰り返しながら印刷
が行われるものである。凹版ロール１表面に供給される
塗布材料９の量やドクターブレード３で計量される塗布
材料９の量が各段階で変化する。その結果、凹版ロール
１のセルに保持される塗布材料９の量が違ってくる。し
たがって、装置設計上の無理が生じない範囲で塗布材料
９の供給位置７とドクターブレード３が接触する位置と
の凹版ロール１上の距離を短くしなければならない。そ
こで、この発明では、その距離が凹版ロール１の円周の
長さの１／４以下のものが好ましい。
【００１７】印刷ロール４は、胴部の表面の所定箇所に
弾力性を有する凸版を備えている。凸版の材質としては
ブチルゴム、エチレンプロピレンなどのゴム系の合成樹
脂、または感光性ゴム・感光性樹脂などを用いることが
できる。印刷ロール４は凹版ロール１と所定の圧力で接
触して、凹版ロール１のセルに保持された塗布材料９を
印刷ロール４表面の凸版に受け取る。さらにステージ１
１上に載置され印刷ロール４下方に搬送されてきた被印
刷体５と印刷ロール４とを所定の圧力で接触させ、印刷
ロール４の凸版上の塗布材料９を被転写体５表面に転移
させる（図１、２参照）。塗布材料９としては、ポリイ
ミドワニスなどがある。
弾力性を有する凸版を備えている。凸版の材質としては
ブチルゴム、エチレンプロピレンなどのゴム系の合成樹
脂、または感光性ゴム・感光性樹脂などを用いることが
できる。印刷ロール４は凹版ロール１と所定の圧力で接
触して、凹版ロール１のセルに保持された塗布材料９を
印刷ロール４表面の凸版に受け取る。さらにステージ１
１上に載置され印刷ロール４下方に搬送されてきた被印
刷体５と印刷ロール４とを所定の圧力で接触させ、印刷
ロール４の凸版上の塗布材料９を被転写体５表面に転移
させる（図１、２参照）。塗布材料９としては、ポリイ
ミドワニスなどがある。
【００１８】実例１
表面に所定のパターンのセル群が形成され接線速度400m
m/secで回転するように設定された凹版ロール１と、プ
ラスチック製のドクターブレード３と、エチレンプロピ
レンゴムが表面に巻付けられ接線速度350mm/secで回転
するように設定されたゴムロール２（直径80mm）とをそ
れぞれ所定の位置に配置した。そして、液晶配向膜形成
剤からなる塗布材料９をノズルの先からゴムロール２上
に供給し、凹版ロール１とゴムロール２とを接触圧（ゴ
ム押し込み量換算）＝0.08mmで圧接させ、圧接位置での
接線速度の向きが同一になるように摺動回転させた。ま
た、凹版ロール１と圧接して同期回転しながら塗布材料
９を受け取り、被印刷体上５に塗布材料９を印刷する印
刷ロール４を設置した。このように設定し印刷を行った
ところ、塗布材料９のセルへの充填は良好であり凹版ロ
ール１表面の液晶配向膜形成剤の保持量は均一であっ
た。また、印刷速度を早く設定したので印刷皮膜表面が
滑らかになった。また、印刷終了後、液晶配向膜形成剤
を熱処理してポリイミド膜を形成し、最終製品としたと
ころ膜厚分布を測定したところ、平均膜厚812Åと高
く、また膜厚分布のばらつき32Åと低く、塗布材料９の
充填量、膜厚の均一性ともに良好であった。
m/secで回転するように設定された凹版ロール１と、プ
ラスチック製のドクターブレード３と、エチレンプロピ
レンゴムが表面に巻付けられ接線速度350mm/secで回転
するように設定されたゴムロール２（直径80mm）とをそ
れぞれ所定の位置に配置した。そして、液晶配向膜形成
剤からなる塗布材料９をノズルの先からゴムロール２上
に供給し、凹版ロール１とゴムロール２とを接触圧（ゴ
ム押し込み量換算）＝0.08mmで圧接させ、圧接位置での
接線速度の向きが同一になるように摺動回転させた。ま
た、凹版ロール１と圧接して同期回転しながら塗布材料
９を受け取り、被印刷体上５に塗布材料９を印刷する印
刷ロール４を設置した。このように設定し印刷を行った
ところ、塗布材料９のセルへの充填は良好であり凹版ロ
ール１表面の液晶配向膜形成剤の保持量は均一であっ
た。また、印刷速度を早く設定したので印刷皮膜表面が
滑らかになった。また、印刷終了後、液晶配向膜形成剤
を熱処理してポリイミド膜を形成し、最終製品としたと
ころ膜厚分布を測定したところ、平均膜厚812Åと高
く、また膜厚分布のばらつき32Åと低く、塗布材料９の
充填量、膜厚の均一性ともに良好であった。
【００１９】比較例１
上記とほぼ同じ構成の装置で、ゴムロール２を使用せず
にドクターブレード３のみを使用して充填計量を行うよ
うにして印刷をおこなったところ、凹版ロール１のセル
内への液晶配向膜形成剤の充填が不十分であり、凹版ロ
ール１表面の液晶配向膜形成剤の保持量にムラが発生し
た。印刷終了後、液晶配向膜形成剤を熱処理してポリイ
ミド膜を形成し、最終製品としたところ膜厚分布を測定
したところ、本願発明の実例１の測定結果に比べて、平
均膜厚は764Åと低く、また膜厚分布のばらつきは44Å
と高く、塗布材料９の充填量、膜厚の均一性ともに不良
であった。
にドクターブレード３のみを使用して充填計量を行うよ
うにして印刷をおこなったところ、凹版ロール１のセル
内への液晶配向膜形成剤の充填が不十分であり、凹版ロ
ール１表面の液晶配向膜形成剤の保持量にムラが発生し
た。印刷終了後、液晶配向膜形成剤を熱処理してポリイ
ミド膜を形成し、最終製品としたところ膜厚分布を測定
したところ、本願発明の実例１の測定結果に比べて、平
均膜厚は764Åと低く、また膜厚分布のばらつきは44Å
と高く、塗布材料９の充填量、膜厚の均一性ともに不良
であった。
【００２０】
【発明の効果】この発明は、塗布材料がまず凹版ロール
表面とゴムロールとの圧接により凹版ロール表面のセル
内に充填され、つぎに塗布材料が充填された凹版ロール
表面とドクターブレードとの接触によりセルからはみで
た余分な塗布材料を計量するようにしている。よって、
凹版ロールが高速回転する場合でも、凹版ロールのセル
内に十分の量の塗布材料が充填され正確に計量保持する
ことができ、膜厚精度のよい薄膜を形成することができ
る。
表面とゴムロールとの圧接により凹版ロール表面のセル
内に充填され、つぎに塗布材料が充填された凹版ロール
表面とドクターブレードとの接触によりセルからはみで
た余分な塗布材料を計量するようにしている。よって、
凹版ロールが高速回転する場合でも、凹版ロールのセル
内に十分の量の塗布材料が充填され正確に計量保持する
ことができ、膜厚精度のよい薄膜を形成することができ
る。
【図１】この発明の一実施例を示す断面図である。
【図２】この発明の一実施例を示す断面斜視図である。
１ 凹版ロール
２ ゴムロール
３ ドクターブレード
４ 印刷ロール
５ 被印刷体
６ 塗布材料の供給装置
７ 塗布材料の供給位置
８ ドクターブレードの接触位置
９ 塗布材料
１０ 弾性凸版
１１ ステージ
Claims (4)
- 【請求項１】 多数のセルを表面に有する凹版ロール
と、凹版ロール表面に接触することによって凹版ロール
に供給された塗布材料を前記セル内に充填計量するドク
ターブレードとを有する薄膜形成装置において、凹版ロ
ール表面に圧接することによって塗布材料を供給するゴ
ムロールが設けられ、かつゴムロールが凹版ロールと摺
動回転または同期回転することを特徴とする薄膜形成装
置。 - 【請求項２】 多数のセルを表面に有する凹版ロール
と、凹版ロール表面に塗布材料を直接供給する供給装置
と、凹版ロール表面に接触することによって凹版ロール
に供給された塗布材料を前記セル内に充填計量するドク
ターブレードとを有する薄膜形成装置において、塗布材
料の供給位置とドクターブレードの接触位置との間の凹
版ロール表面に圧接するようにゴムロールが設けられ、
かつゴムロールが凹版ロールと摺動回転または同期回転
することを特徴とする薄膜形成装置。 - 【請求項３】 ゴムロールの圧接位置とドクターブレー
ドの接触位置との凹版ロール表面上の距離が、凹版ロー
ルの円周の長さの１／４以下である請求項１記載の薄膜
形成装置。 - 【請求項４】 塗布材料の供給位置とドクターブレード
の接触位置との凹版ロール表面上の距離が、凹版ロール
の円周の長さの１／４以下である請求項２記載の薄膜形
成装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3215928A JPH07102694B2 (ja) | 1991-07-31 | 1991-07-31 | 薄膜形成装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3215928A JPH07102694B2 (ja) | 1991-07-31 | 1991-07-31 | 薄膜形成装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0531882A true JPH0531882A (ja) | 1993-02-09 |
| JPH07102694B2 JPH07102694B2 (ja) | 1995-11-08 |
Family
ID=16680584
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3215928A Expired - Fee Related JPH07102694B2 (ja) | 1991-07-31 | 1991-07-31 | 薄膜形成装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH07102694B2 (ja) |
Cited By (12)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO1994023951A1 (en) * | 1993-04-16 | 1994-10-27 | Nissha Printing Co., Ltd. | Thin film forming apparatus and thin film forming method |
| US5533446A (en) * | 1993-04-16 | 1996-07-09 | Nissha Printing Co., Ltd. | Thin-film forming apparatus and thin-film forming method |
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