JPH0989997A - 基板検査装置用吸引式基板固定具 - Google Patents
基板検査装置用吸引式基板固定具Info
- Publication number
- JPH0989997A JPH0989997A JP7267738A JP26773895A JPH0989997A JP H0989997 A JPH0989997 A JP H0989997A JP 7267738 A JP7267738 A JP 7267738A JP 26773895 A JP26773895 A JP 26773895A JP H0989997 A JPH0989997 A JP H0989997A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- substrate
- suction
- base board
- mounting plate
- substrate mounting
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Testing Of Short-Circuits, Discontinuities, Leakage, Or Incorrect Line Connections (AREA)
- Testing Electric Properties And Detecting Electric Faults (AREA)
- Tests Of Electronic Circuits (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 プラスチック基板のスルホール位置等に合わ
せた専用部材を使用する必要がなく、セラミック基板に
も対応可能にし、優れた基板吸着力を発揮する。 【解決手段】 基板装着面４２とその相対する面に各口
がそれぞれ臨む多数の吸引用小径貫通孔を配設してなる
基板装着板３４を備え、その基板装着板３４で閉じる空
気室を有し、その空気室壁に外部の真空ポンプと通じる
吸引用大径貫通孔を設ける。そして、基板装着板３４の
上に無数の空気透過性微孔を有する多孔質板４０を重ね
て備え、その多孔質板４０を検査時に基板４６と基板装
着板３４との間に介在する。
せた専用部材を使用する必要がなく、セラミック基板に
も対応可能にし、優れた基板吸着力を発揮する。 【解決手段】 基板装着面４２とその相対する面に各口
がそれぞれ臨む多数の吸引用小径貫通孔を配設してなる
基板装着板３４を備え、その基板装着板３４で閉じる空
気室を有し、その空気室壁に外部の真空ポンプと通じる
吸引用大径貫通孔を設ける。そして、基板装着板３４の
上に無数の空気透過性微孔を有する多孔質板４０を重ね
て備え、その多孔質板４０を検査時に基板４６と基板装
着板３４との間に介在する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明はベアボードテスタ、
インサーキットテスタ、ファンクションテスタ等の基板
検査装置に使用する吸引式の基板固定具に関する。
インサーキットテスタ、ファンクションテスタ等の基板
検査装置に使用する吸引式の基板固定具に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、実装基板即ち多数の電子部品等を
半田付けしたプリント基板に対してはインサーキットテ
スタを用いて、その基板の必要な測定点に適宜コンタク
トプローブを接触させ、それ等の各部品の有無を電気的
に検出し、或いは各部の特性値を電気的に測定して基板
の良否の判定を行っている。その際、測定台上に吸引式
では、図５に示すような基板固定具を設置して使用す
る。図中、１０が箱状の基板固定具、１２がその基板を
載せる長方形状の基板装着板、１４がその基板装着板１
２を載せる本体部、１６がその基板装着板１２で上面を
閉じられた本体部１４の空気室、１８がその空気室１６
の底中央の壁に開けた吸引用貫通孔である。この基板装
着板１２には図６に示すようにその基板装着面２０の中
央部に各吸引口がそれぞれ臨む多数の吸引用小径貫通孔
２２を例えば５行４列に均等に分配して設ける。なお、
空気室壁に設ける吸引用貫通孔１８は吸引用小径貫通孔
２２に比べて大径にする。
半田付けしたプリント基板に対してはインサーキットテ
スタを用いて、その基板の必要な測定点に適宜コンタク
トプローブを接触させ、それ等の各部品の有無を電気的
に検出し、或いは各部の特性値を電気的に測定して基板
の良否の判定を行っている。その際、測定台上に吸引式
では、図５に示すような基板固定具を設置して使用す
る。図中、１０が箱状の基板固定具、１２がその基板を
載せる長方形状の基板装着板、１４がその基板装着板１
２を載せる本体部、１６がその基板装着板１２で上面を
閉じられた本体部１４の空気室、１８がその空気室１６
の底中央の壁に開けた吸引用貫通孔である。この基板装
着板１２には図６に示すようにその基板装着面２０の中
央部に各吸引口がそれぞれ臨む多数の吸引用小径貫通孔
２２を例えば５行４列に均等に分配して設ける。なお、
空気室壁に設ける吸引用貫通孔１８は吸引用小径貫通孔
２２に比べて大径にする。
【０００３】又、２４が本体部１４の吸引用大径貫通孔
１８の付近外側に設置したＬ形箱状の管連結具、２６が
その管嵌め込み用の突部である。この管連結具２４は両
端開放の内部空間を有し、本体部１４の空気室壁にねじ
止め等により固定する。そして、突部２６には真空ポン
プ（図示なし）に接続された吸引管２８を結合する。
１８の付近外側に設置したＬ形箱状の管連結具、２６が
その管嵌め込み用の突部である。この管連結具２４は両
端開放の内部空間を有し、本体部１４の空気室壁にねじ
止め等により固定する。そして、突部２６には真空ポン
プ（図示なし）に接続された吸引管２８を結合する。
【０００４】検査時には、このような基板固定具１０の
基板装着板１２の上に、図７に示すように基板３０を置
き、真空ポンプにて吸引し、空気室１６の内部気圧を下
げる。すると、多数の吸引用小径貫通孔２２を通じて基
板３０を吸引し、基板装着板１２に基板３０を吸着して
固定できる。
基板装着板１２の上に、図７に示すように基板３０を置
き、真空ポンプにて吸引し、空気室１６の内部気圧を下
げる。すると、多数の吸引用小径貫通孔２２を通じて基
板３０を吸引し、基板装着板１２に基板３０を吸着して
固定できる。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、プラス
チック製プリント基板には通常電子部品のリードを挿入
する貫通穴、基板の両面にあるパターンを接続する貫通
穴、最終的に基板を固定する貫通穴等が設けられている
ため、それ等のスルホール等が多数あるとスルホール等
の位置と吸引用小径貫通孔２２の位置が一致し易くな
り、大気が空気室１６に侵入してエアリークを起こし、
吸着力が落ちるので問題がある。この点、セラミック製
プリント基板にはスルホール等はない。しかし、セラミ
ック基板は変形率が大きくゆがみ易いため、吸引用小径
貫通孔の一部が基板で覆われずにエアリークを起こし易
くなり、やはり問題がある。なお、プラスチック基板は
変形率が小さくほとんどゆがまない。
チック製プリント基板には通常電子部品のリードを挿入
する貫通穴、基板の両面にあるパターンを接続する貫通
穴、最終的に基板を固定する貫通穴等が設けられている
ため、それ等のスルホール等が多数あるとスルホール等
の位置と吸引用小径貫通孔２２の位置が一致し易くな
り、大気が空気室１６に侵入してエアリークを起こし、
吸着力が落ちるので問題がある。この点、セラミック製
プリント基板にはスルホール等はない。しかし、セラミ
ック基板は変形率が大きくゆがみ易いため、吸引用小径
貫通孔の一部が基板で覆われずにエアリークを起こし易
くなり、やはり問題がある。なお、プラスチック基板は
変形率が小さくほとんどゆがまない。
【０００６】そこで、検査時には基板の下にスルホール
等に対応する介在部分を有するエアマットを敷いて吸着
力の減少を防止していた。或いは、基板に設けられてい
るスルホール等の位置を考慮して、基板装着板に設ける
吸引用小径貫通孔の位置をスルホールの位置等と一致し
ないように形成して用いていた。なお、セラミック基板
に対しては吸引式ではほとんど対応できないため、プレ
ス式によっていた。
等に対応する介在部分を有するエアマットを敷いて吸着
力の減少を防止していた。或いは、基板に設けられてい
るスルホール等の位置を考慮して、基板装着板に設ける
吸引用小径貫通孔の位置をスルホールの位置等と一致し
ないように形成して用いていた。なお、セラミック基板
に対しては吸引式ではほとんど対応できないため、プレ
ス式によっていた。
【０００７】本発明はこのような従来の問題点に着目し
てなされたものであり、請求項１記載の発明はプラスチ
ック基板のスルホール位置等に合わせた専用部材を使用
する必要がなく、セラミック基板にも対応でき、優れた
基板装着力を発揮できる共通部材を備えた基板検査装置
用吸引式基板固定具を提供することを目的とする。又、
請求項２の記載の発明は請求項１記載の発明の目的に加
えて、共通部材の交換容易性を高めた基板検査装置用吸
引式基板固定具を提供することを目的とする。又、請求
項３の記載の発明は請求項１記載の発明の目的に加え
て、一層優れた基板吸着力を発揮できる基板検査装置用
吸引式基板固定具を提供することを目的とする。
てなされたものであり、請求項１記載の発明はプラスチ
ック基板のスルホール位置等に合わせた専用部材を使用
する必要がなく、セラミック基板にも対応でき、優れた
基板装着力を発揮できる共通部材を備えた基板検査装置
用吸引式基板固定具を提供することを目的とする。又、
請求項２の記載の発明は請求項１記載の発明の目的に加
えて、共通部材の交換容易性を高めた基板検査装置用吸
引式基板固定具を提供することを目的とする。又、請求
項３の記載の発明は請求項１記載の発明の目的に加え
て、一層優れた基板吸着力を発揮できる基板検査装置用
吸引式基板固定具を提供することを目的とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明のうち請求項１記載の発明による基板検査装
置用吸引式基板固定具では、基板装着板の基板装着面上
に無数の空気透過性微孔を有する多孔質板を重ねて備
え、その多孔質板を検査時に基板と基板装着板間に介在
することを特徴とする。
に、本発明のうち請求項１記載の発明による基板検査装
置用吸引式基板固定具では、基板装着板の基板装着面上
に無数の空気透過性微孔を有する多孔質板を重ねて備
え、その多孔質板を検査時に基板と基板装着板間に介在
することを特徴とする。
【０００９】又、請求項２記載の発明による基板検査装
置用吸引式基板固定具では、基板装着板の基板装着面上
に多孔質板を分離可能に重ねることを特徴とする。又、
請求項３記載の発明による基板検査装置用吸引式基板固
定具では、基板装着板の基板装着面上に多孔質板を一体
に結合して重ねることを特徴とする。
置用吸引式基板固定具では、基板装着板の基板装着面上
に多孔質板を分離可能に重ねることを特徴とする。又、
請求項３記載の発明による基板検査装置用吸引式基板固
定具では、基板装着板の基板装着面上に多孔質板を一体
に結合して重ねることを特徴とする。
【００１０】
【発明の実施の形態】以下、添付図面に基づいて、本発
明の実施の形態を説明する。図１は本発明を適用したイ
ンサーキットテスタ用吸引式基板固定具の基板装着板と
多孔質板、更に基板との位置関係を示す正面図である。
図中、３２は基板固定具、３４はその基板装着板、３６
は本体部、３８は管連結具、４０は多孔質板である。こ
れ等の基板装着板３４、本体部３６、管連結具３８等の
構造等は従来の基板固定具１０の各対応部分１２、１
４、２４とそれぞれ同一である。それ故、基板装着板３
４には基板装着面４２とその相対する面に各口がそれぞ
れ臨む多数の吸引用小径貫通孔を配設してある。又、本
体部３６にはその内部に基板装着板３４で上面を閉じる
空気室を有し、その空気室壁に外部の真空ポンプと通じ
る吸引用大径貫通孔を設けてある。又、管連結具３８に
は両端開放の内部空間があり、管嵌め込み用突部があ
る。
明の実施の形態を説明する。図１は本発明を適用したイ
ンサーキットテスタ用吸引式基板固定具の基板装着板と
多孔質板、更に基板との位置関係を示す正面図である。
図中、３２は基板固定具、３４はその基板装着板、３６
は本体部、３８は管連結具、４０は多孔質板である。こ
れ等の基板装着板３４、本体部３６、管連結具３８等の
構造等は従来の基板固定具１０の各対応部分１２、１
４、２４とそれぞれ同一である。それ故、基板装着板３
４には基板装着面４２とその相対する面に各口がそれぞ
れ臨む多数の吸引用小径貫通孔を配設してある。又、本
体部３６にはその内部に基板装着板３４で上面を閉じる
空気室を有し、その空気室壁に外部の真空ポンプと通じ
る吸引用大径貫通孔を設けてある。又、管連結具３８に
は両端開放の内部空間があり、管嵌め込み用突部があ
る。
【００１１】多孔質板４０は紙、布、スポンジ、素焼き
セラミック等の多孔性物質からなる薄板であり、全面に
無数の空気透過性微孔を有するものである。そして、基
板装着板３４の基板装着面４２の上に重ねて備え付け
る。その際、多孔質板４０の周辺部例えば４コーナ部に
接着テープを貼り付けて、基板装着面４２に多孔質板４
０を固定するとよい。何故なら、一般的に多孔性物質か
らなるのものは強度が劣り、傷付き、穴が開き易いた
め、多孔質板４０を基板装着板３４より分離可能にして
おく方が交換し易く、メンテナンスの点から好ましいか
らである。なお、４４は真空ポンプに接続された吸引管
である。
セラミック等の多孔性物質からなる薄板であり、全面に
無数の空気透過性微孔を有するものである。そして、基
板装着板３４の基板装着面４２の上に重ねて備え付け
る。その際、多孔質板４０の周辺部例えば４コーナ部に
接着テープを貼り付けて、基板装着面４２に多孔質板４
０を固定するとよい。何故なら、一般的に多孔性物質か
らなるのものは強度が劣り、傷付き、穴が開き易いた
め、多孔質板４０を基板装着板３４より分離可能にして
おく方が交換し易く、メンテナンスの点から好ましいか
らである。なお、４４は真空ポンプに接続された吸引管
である。
【００１２】検査時、基板例えばプラスチック基板４６
を多孔質板４０の中央部上に重ねて載せる。すると、多
孔質板４２が基板４６と基板装着板３４との間に介在す
る。そこで、真空ポンプにて管４４、管連結具３８を経
て、本体部３６の空気室内の空気を吸引すると、内部気
圧が下がる。それ故、図２に示すように多数の各吸引用
小径貫通孔４８、それ等の各吸引孔４８に連なる多数の
微孔５０を通じて基板４６を吸引し、基板装着板３４に
多孔質板４０を介して基板４６を吸着して固定できる。
を多孔質板４０の中央部上に重ねて載せる。すると、多
孔質板４２が基板４６と基板装着板３４との間に介在す
る。そこで、真空ポンプにて管４４、管連結具３８を経
て、本体部３６の空気室内の空気を吸引すると、内部気
圧が下がる。それ故、図２に示すように多数の各吸引用
小径貫通孔４８、それ等の各吸引孔４８に連なる多数の
微孔５０を通じて基板４６を吸引し、基板装着板３４に
多孔質板４０を介して基板４６を吸着して固定できる。
【００１３】その際、各吸引用小径貫通孔４８に通じる
多数の微孔５０は吸引口５１の面積より広い範囲に亘っ
て基板４６の下面に達するので、基板４６の被吸引面積
が広くなる。しかも、基板４６に設けたスルホール５２
等の位置と吸引用小径貫通孔４８の位置とが一致して
も、それ等の間には多孔質板４０が介在しており、直接
スルホール５２等と吸引用小径貫通孔４８とが連通状態
になることがない。結局、基板４６の各スルホール５２
等に対し、多孔質板４０が蓋の役目をし、スルホール５
２等からのエアリーク量が減少する。それ故、多孔質板
４０を使用すると、基板４０に対し優れた吸着力を発揮
できる。
多数の微孔５０は吸引口５１の面積より広い範囲に亘っ
て基板４６の下面に達するので、基板４６の被吸引面積
が広くなる。しかも、基板４６に設けたスルホール５２
等の位置と吸引用小径貫通孔４８の位置とが一致して
も、それ等の間には多孔質板４０が介在しており、直接
スルホール５２等と吸引用小径貫通孔４８とが連通状態
になることがない。結局、基板４６の各スルホール５２
等に対し、多孔質板４０が蓋の役目をし、スルホール５
２等からのエアリーク量が減少する。それ故、多孔質板
４０を使用すると、基板４０に対し優れた吸着力を発揮
できる。
【００１４】このような多孔質板４０は分離可能とせ
ず、図３に示すように例えば多孔質板４０の周辺部等を
基板装着板３４の上に貼り合わせ、一体に結合して使用
してもよい。この場合には、多孔質板４０と基板装着板
３４との密着度が高まるため、両板３４、４０の合わせ
目からのエアリーク量が一層減少する。それ故、基板４
６に対し、一層優れた吸着力を発揮できる。
ず、図３に示すように例えば多孔質板４０の周辺部等を
基板装着板３４の上に貼り合わせ、一体に結合して使用
してもよい。この場合には、多孔質板４０と基板装着板
３４との密着度が高まるため、両板３４、４０の合わせ
目からのエアリーク量が一層減少する。それ故、基板４
６に対し、一層優れた吸着力を発揮できる。
【００１５】又、多孔質板４０を使用すると、セラミッ
ク基板を検査する場合、図４に示すようにその基板５２
の一部５４が湾曲状態になって多孔質板４０と密着して
いなくても、その付近にある吸引用小径貫通孔４８の吸
引口５１は多孔質板４０によって塞がれる。それ故、エ
アリーク量が著しく増加することもなく、セラミック基
板５２に対し優れた吸着力を発揮できる。なお、５６は
空気室、５８は吸引用大径貫通孔、６０は管嵌め込み用
突部である。
ク基板を検査する場合、図４に示すようにその基板５２
の一部５４が湾曲状態になって多孔質板４０と密着して
いなくても、その付近にある吸引用小径貫通孔４８の吸
引口５１は多孔質板４０によって塞がれる。それ故、エ
アリーク量が著しく増加することもなく、セラミック基
板５２に対し優れた吸着力を発揮できる。なお、５６は
空気室、５８は吸引用大径貫通孔、６０は管嵌め込み用
突部である。
【００１６】このようにして、各種の基板固定に際し、
多孔質板４０を共通部材として使用すると、基板装着板
３４に設ける多数の吸引用小径貫通孔４８を基板に合わ
せて特別に配置する等の必要がなく、基板装着板３４の
基板重ね箇所となる中央部に適宜均等に分配して設けて
おけばよい。
多孔質板４０を共通部材として使用すると、基板装着板
３４に設ける多数の吸引用小径貫通孔４８を基板に合わ
せて特別に配置する等の必要がなく、基板装着板３４の
基板重ね箇所となる中央部に適宜均等に分配して設けて
おけばよい。
【００１７】
【発明の効果】以上説明した本発明によれば、請求項１
記載の発明では基板装着面上に多孔質板を重ねて備え、
その多孔質板を基板と基板装着板間に介在するため、多
孔質板に備えられている無数の空気透過性微孔の存在に
より基板の被吸引面積を広くし、多孔質板の蓋としての
働きによりスルホール等からのエアリーク量を少なくで
きる。それ故、多孔質板を共通部材として用い、各種の
基板に対して優れた吸着力を発揮できる。
記載の発明では基板装着面上に多孔質板を重ねて備え、
その多孔質板を基板と基板装着板間に介在するため、多
孔質板に備えられている無数の空気透過性微孔の存在に
より基板の被吸引面積を広くし、多孔質板の蓋としての
働きによりスルホール等からのエアリーク量を少なくで
きる。それ故、多孔質板を共通部材として用い、各種の
基板に対して優れた吸着力を発揮できる。
【００１８】又、請求項２記載の発明では基板装着板上
に多孔質板を分離可能に重ねるため、多孔質板を交換し
易く、メンテナンスに優れたものになる。又、請求項３
記載の発明では基板装着板上に多孔質板を一体に結合し
て重ねるため、多孔質板の密着度が高まり、合わせ目か
らのエアリーク量が一層減少するので、各種の基板に対
して一層優れた吸着力を発揮できる。
に多孔質板を分離可能に重ねるため、多孔質板を交換し
易く、メンテナンスに優れたものになる。又、請求項３
記載の発明では基板装着板上に多孔質板を一体に結合し
て重ねるため、多孔質板の密着度が高まり、合わせ目か
らのエアリーク量が一層減少するので、各種の基板に対
して一層優れた吸着力を発揮できる。
【図１】本発明を適用したインサーキットテスタ用吸引
式基板固定具の基板装着板と多孔質板、更にプラスチッ
ク基板との位置関係を示す正面図である。
式基板固定具の基板装着板と多孔質板、更にプラスチッ
ク基板との位置関係を示す正面図である。
【図２】同吸引式基板固定具にプラスチック基板を装着
した状態を示す拡大部分断面図である。
した状態を示す拡大部分断面図である。
【図３】本発明を適用した他のインサーキットテスタ用
吸引式基板固定具における基板装着板に対する多孔質板
の設置状態を示す正面図である。
吸引式基板固定具における基板装着板に対する多孔質板
の設置状態を示す正面図である。
【図４】本発明を適用したインサーキットテスタ用吸引
式基板固定具にセラミック基板を装着した状態を示す部
分断面図である。
式基板固定具にセラミック基板を装着した状態を示す部
分断面図である。
【図５】従来のインサーキットテスタ用吸引式基板固定
具の構造を示す部分断面図である。
具の構造を示す部分断面図である。
【図６】同吸引式基板固定具を構成する基板装着板の平
面図である。
面図である。
【図７】同吸引式基板固定具に基板を装着した状態を示
す正面図である。
す正面図である。
３２…吸引式基板固定具 ３４…基板装着板 ３６…本
体部 ３８…管連結具 ４０…多孔質板 ４２…基板装着面 ４４…吸引管 ４
６…プラスチック基板 ４８…吸引用小径貫通孔 ５０…微孔 ５２…セラミッ
ク基板 ５４…湾曲部 ５６…空気室 ５８…吸引用大径貫通孔 ６０…管嵌め
込み用突部
体部 ３８…管連結具 ４０…多孔質板 ４２…基板装着面 ４４…吸引管 ４
６…プラスチック基板 ４８…吸引用小径貫通孔 ５０…微孔 ５２…セラミッ
ク基板 ５４…湾曲部 ５６…空気室 ５８…吸引用大径貫通孔 ６０…管嵌め
込み用突部
Claims (3)
- 【請求項１】 基板装着面とその相対する面に各口がそ
れぞれ臨む多数の吸引用小径貫通孔を配設してなる基板
装着板を備え、その基板装着板で閉じる空気室を有し、
その空気室壁に外部の真空ポンプと通じる吸引用大径貫
通孔を設けてなる基板検査装置用吸引式基板固定具にお
いて、上記基板装着板の基板装着面上に無数の空気透過
性微孔を有する多孔質板を重ねて備え、その多孔質板を
検査時に基板と基板装着板間に介在することを特徴とす
る基板検査装置用吸引式基板固定具。 - 【請求項２】 基板装着板の基板装着面上に多孔質板を
分離可能に重ねることを特徴とする請求項１記載の基板
検査装置用吸引式基板固定具。 - 【請求項３】 基板装着板の基板装着面上に多孔質板を
一体に結合して重ねることを特徴とする請求項１記載の
基板検査装置用吸引式基板固定具。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7267738A JPH0989997A (ja) | 1995-09-20 | 1995-09-20 | 基板検査装置用吸引式基板固定具 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7267738A JPH0989997A (ja) | 1995-09-20 | 1995-09-20 | 基板検査装置用吸引式基板固定具 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0989997A true JPH0989997A (ja) | 1997-04-04 |
Family
ID=17448892
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7267738A Pending JPH0989997A (ja) | 1995-09-20 | 1995-09-20 | 基板検査装置用吸引式基板固定具 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0989997A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002202335A (ja) * | 2000-12-28 | 2002-07-19 | Hioki Ee Corp | 回路基板検査装置 |
| JP2007201433A (ja) * | 2005-12-27 | 2007-08-09 | Nidec-Read Corp | 基板保持台 |
| JP2008177562A (ja) * | 2007-12-28 | 2008-07-31 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | ウェハカセット装置 |
| JP2010185733A (ja) * | 2009-02-12 | 2010-08-26 | Hioki Ee Corp | 吸着装置、検査装置および載置状態判別方法 |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS59208741A (ja) * | 1983-05-12 | 1984-11-27 | Mitsubishi Electric Corp | 半導体ウエ−ハ用吸着チヤツク装置 |
| JPH03230542A (ja) * | 1990-02-05 | 1991-10-14 | Mitsubishi Electric Corp | ウエハプローバのステージ |
| JPH08330372A (ja) * | 1995-03-31 | 1996-12-13 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 半導体装置の検査方法 |
-
1995
- 1995-09-20 JP JP7267738A patent/JPH0989997A/ja active Pending
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS59208741A (ja) * | 1983-05-12 | 1984-11-27 | Mitsubishi Electric Corp | 半導体ウエ−ハ用吸着チヤツク装置 |
| JPH03230542A (ja) * | 1990-02-05 | 1991-10-14 | Mitsubishi Electric Corp | ウエハプローバのステージ |
| JPH08330372A (ja) * | 1995-03-31 | 1996-12-13 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 半導体装置の検査方法 |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002202335A (ja) * | 2000-12-28 | 2002-07-19 | Hioki Ee Corp | 回路基板検査装置 |
| JP2007201433A (ja) * | 2005-12-27 | 2007-08-09 | Nidec-Read Corp | 基板保持台 |
| JP2008177562A (ja) * | 2007-12-28 | 2008-07-31 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | ウェハカセット装置 |
| JP2010185733A (ja) * | 2009-02-12 | 2010-08-26 | Hioki Ee Corp | 吸着装置、検査装置および載置状態判別方法 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP3444987B2 (ja) | 圧力センサ | |
| JPS5823453A (ja) | 半導体ウエハ−試験装置 | |
| US20080089527A1 (en) | Condenser microphone, microphone unit, and blood pressure gauge | |
| JPH0989997A (ja) | 基板検査装置用吸引式基板固定具 | |
| JPH07501652A (ja) | コネクタストリップ | |
| JP3038601U (ja) | 電子制御装置 | |
| CA1082350A (en) | Electroacoustic transducer with springs forming electrical interconnections as a result of assembly | |
| JPH09148017A (ja) | Ｉｃソケット本体及びガイド部材 | |
| JPS6316277A (ja) | 半導体バ−ンイン基板 | |
| JP3514438B2 (ja) | 基板用可撓保持体を用いた基板治具構造 | |
| JPH07297600A (ja) | プリント基板吸着装置 | |
| JP3111365B2 (ja) | プリント基板の固定装置 | |
| JP3758833B2 (ja) | ウェハカセット | |
| JP2655827B2 (ja) | Ｉｃキャリア | |
| JPH02174245A (ja) | 測定物の吸着法とそれに用いられる吸着板 | |
| JP4720038B2 (ja) | 非可逆回路素子の測定装置 | |
| JP2007292696A (ja) | 半導体装置のテスト用治具とテスト方法 | |
| JPH03289199A (ja) | 基板の位置決め装置 | |
| JP2531653Y2 (ja) | 露光装置のベース板装置 | |
| JPH0714860A (ja) | 半導体装置の実装装置及びその実装方法 | |
| CN214622921U (zh) | 一种音响主板测试治具 | |
| JP2000052281A (ja) | 吸着テーブルおよびそれを用いた液晶表示装置の製造方法 | |
| JPS58137773A (ja) | 回路基板テストシステムに用いるフイクスチア | |
| JP3056212B1 (ja) | マイクロ波パッケ―ジ構造 | |
| JP2000241501A (ja) | 半導体装置の検査装置 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20040622 |
|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20041026 |