JP2000052281A - 吸着テーブルおよびそれを用いた液晶表示装置の製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 物品と吸着テーブルとの間に異物等を挟んだ
状態で吸着テーブル上に物品が吸着固定された場合で
も、物品の被吸着面を変形させる可能性が低い吸着テー
ブルを提供する。 【解決手段】 ほぼ平坦な面を有する物品を、ポンプ２
６を用いた減圧吸着によって保持する吸着テーブル１０
である。この吸着テーブル１０は、ほぼ平坦な上面を有
する上面板部１４と、上面板部１４の上面を覆う表層部
２０とを備えている。上面板部１４には、ポンプ２６に
連結され、表面に開口する空気孔が設けられている。表
層部２０は、その厚さ方向にのみ貫通する多数の微細な
貫通孔を備え、物品より弾性変形しやすい材料で形成さ
れている。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、吸着テーブルおよ
びそれを用いた液晶表示装置の製造方法に関する。

【０００２】

【従来の技術】物品の製造工程などにおいて、製造過程
にある物品をテーブル上に固定し、組み付け作業などを
行うために、ポンプ等を用いた減圧吸着により物品を固
定することができる吸着テーブルが用いられている。こ
うした吸着テーブルは平坦で硬質な材料によって形成さ
れ、テーブル表面には、吸着に必要な複数のスリット
状、或いは所定形状に開口した空気孔が形成されてい
る。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、このよ
うな従来の吸着テーブルに製造中の物品の平坦な面を接
触させて固定した際に、吸着テーブルの上面部と物品と
の間に異物等が介在すると、微細な異物であっても吸着
テーブルの上面部に凸部が存在する場合と同様に作用
し、物品の吸着された面が変形して、平坦ではなくな
り、製造された装置の品質に悪影響を及ぼすことがあ
る。例えば、液晶表示装置の製造において、吸着テーブ
ルの上面部上に存在する異物等を挟んで液晶パネルが吸
着テーブルの上面部上に固定されると、液晶パネルを形
成する基板の変形にともなって液晶パネルのセル厚が不
均一となることがあり、それによって表示品質に問題を
生じることがある。

【０００４】本発明は、上記のような問題点に鑑みてな
されたものであって、その目的は、物品と吸着テーブル
との間に異物等を挟んだ状態で物品が吸着固定された場
合でも、物品の被吸着面を変形させる可能性が低い吸着
テーブルおよびそれを用いた液晶表示装置の製造方法を
提供することにある。

【０００５】

【課題を解決するための手段】本発明の吸着テーブル
は、ほぼ平坦な面を有する物品を、ポンプを用いた減圧
吸着によって保持する吸着テーブルであって、ほぼ平坦
な上面を有する上面板部と、前記上面板部の上面を覆う
表層部と、を有し、前記上面板部には、前記ポンプに連
結され、表面に開口する空気孔が設けられており、前記
表層部は、その厚さ方向にのみ貫通する多数の微細な貫
通孔を備え、前記物品より弾性変形しやすいことを特徴
とする吸着テーブル。

【０００６】本発明の吸着テーブルは、ほぼ平坦な上面
を持つ上面板部を覆う表層部上に、ほぼ平坦な底面を有
する物品を載置すると、ポンプ、上面板の表面に開口す
る空気孔、そして表層部の貫通孔に至る管路が密閉状態
となる。したがって、この吸着テーブルは、その表層部
上にほぼ平坦な面を有する物品を載置して、ポンプを動
作させると、その吸引が、上面板の表面に開口する空気
孔を介して、上面板部を覆う表層部の多数の微細な貫通
孔に及び、物品を吸着する。しかも、表層部は載置され
る物品より弾性変形しやすいため、表層部と物品の底面
部との間に異物等が介在しても表層部が弾性変形して異
物等が表層部に埋まり込んだ状態となるため、物品の底
面部を変形させる可能性が小さい。

【０００７】本発明の吸着テーブルは、ほぼ平坦な面を
有する物品を、ポンプを用いた減圧吸着によって保持す
る吸着テーブルであって、ほぼ平坦な上面を有する上面
板部と、前記上面板部の上面を覆う表層部と、を有し、
前記上面板部には、前記ポンプに連結され、表面に開口
する空気孔が設けられており、前記表層部は、前記空気
孔が開口する位置に対応させて形成され厚さ方向にのみ
貫通する貫通孔を有し、前記物品より弾性変形しやすい
ことを特徴とする。

【０００８】本発明の吸着テーブルは、ほぼ平坦な上面
を持つ上面板部を覆う表層部上に、ほぼ平坦な底面を有
する物品を載置すると、ポンプ、上面板の表面に開口す
る空気孔、そして表層部の貫通孔に至る管路が密閉状態
となる。したがって、この吸着テーブルは、その表層部
上にほぼ平坦な面を有する物品を載置して、ポンプを動
作させると、その吸引が、上面板の表面に開口する空気
孔を介して、上面板部を覆う表層部の貫通孔に及び、物
品を吸着する。しかも、表層部は載置される物品より弾
性変形しやすいため、表層部と物品の底面部との間に異
物等が介在しても表層部が弾性変形して異物等が表層部
に埋まり込んだ状態となるため、物品の底面部を変形さ
せる可能性が小さい。

【０００９】さらに好ましくは、本発明の吸着テーブル
は、前記物品は、２枚の基板の間に液晶を封入し周囲を
シール材で封止して形成された液晶パネルであり、前記
空気孔は、吸着される前記液晶パネルの前記シール材に
対応する位置に形成されていることを特徴とする。

【００１０】本発明の吸着テーブルにおいては、吸着さ
れる液晶パネルのシール材に対応する位置に、上面板部
の空気孔が形成されているため、空気孔付近に集中する
吸引力が、変形しにくい液晶パネルのシール材付近に加
わり、基板の変形などが起こりにくく、製造された液晶
パネルの表示に問題が発生することが少ない。

【００１１】さらに好ましくは、本発明の吸着テーブル
は、前記物品が載置される範囲内に位置する前記空気孔
のみが前記ポンプに連結されるよう調節可能とするバル
ブを有することを特徴とする。

【００１２】この吸着テーブルは、バルブを調節するこ
とによって、物品が載置される範囲内に位置する空気孔
のみをポンプに連結することができるため、載置された
物品を確実に吸着して固定することができる。

【００１３】本発明の液晶表示装置の製造方法は、１対
の基板を有する液晶パネルを前述したいずれかの吸着テ
ーブル上に真空吸着により固定する工程と、前記液晶パ
ネルに部品を取り付ける工程と、を有することを特徴と
する。

【００１４】本発明の液晶表示装置の製造方法において
は、前述した吸着テーブルについての作用効果をもって
液晶パネルを吸着パネル上に固定し、液晶パネルに部品
を取り付けることができる。

【００１５】

【発明の実施の形態】以下、本発明の好適な実施形態に
ついて、図面を参照しながら、さらに具体的に説明す
る。

【００１６】〔第１実施形態〕図１は、本実施形態の吸
着テーブル１０を示す模式的な側面図である。この図に
示すように、吸着テーブル１０は、上面板部１４と、上
面板部１４の上面を覆う表層部２０と、ポンプ２６とを
備えている。吸着テーブル１０は、ほぼ平坦な面を有す
る物品がその平坦な面を表層部２０に接触させる状態で
載置されると、ポンプ２６を用いた減圧吸着によって物
品をその位置に固定することができる。

【００１７】上面板部１４は、例えば図２に示すよう
に、ほぼ平坦な上面１５を有し、表面に開口する空気孔
１６が設けられている。これら空気孔１６は、上面板部
１４の側面に設けられた連結管１８とパイプ２５とを介
してポンプに連結されている。

【００１８】表層部２０は、厚さ０．１〜５ｍｍ程度で
あり、例えば図３に示すように、その厚さ方向にのみ空
気を通す多数の微細な貫通孔２２を備えている。また、
表層部２０は、載置される物品より遙かに弾性変形しや
すい材料で形成されている。表層部２０が形成される材
料としては、例えばポリエチレン、ポリエステル、フッ
素樹脂、ウレタン、ゴム系材料などが用いられ、発砲処
理等により厚さ方向に延びて表層部２０の上下面に開口
する微細な気泡としての貫通孔２２を備えている。それ
ぞれの貫通孔２２の直径は、例えば１０〜３００μｍ程
度である。表層部２２は、このように発砲処理されてい
るため、発砲処理されていない材料そのものより、さら
に弾性変形しやすくなっている。

【００１９】このように形成された吸着テーブル１０
は、ほぼ平坦な上面１５を持つ上面板部１４を覆う表層
部２０上に、ほぼ平坦な底面を有する物品を載置する
と、ポンプ２６、上面板部１４の表面に開口する空気孔
１６、そして表層部２０の貫通孔２２に至る管路が密閉
状態となる。したがって、この吸着テーブル１０は、そ
の表層部上にほぼ平坦な面を有する物品を載置して、ポ
ンプ２６を動作させると、その吸引が、上面板部１４の
表面に開口する空気孔１６を介して、上面板部１４を覆
う表層部２０の多数の微細な貫通孔２２に及び、物品を
吸着する。しかも、表層部２０は載置される物品より遙
かに弾性変形しやすいため、表層部２０と物品の底面部
との間に異物等が介在しても表層部２０が弾性変形して
異物等が表層部２０に埋まり込んだ状態となり、載置さ
れた物品の底面部を変形させる可能性が小さい。

【００２０】なお、本実施形態の吸着テーブル１０に用
いる表層部として、吸着テーブル１０上に載置される物
品より遙かに弾性変形しやすい弾力性のある材料、例え
ばシリコーンゴム、ウレタン、ゴム系材料等を用い、そ
の材料に図４に示したように、厚さ方向にプレス、レー
ザー加工等によって多数の貫通孔３２を所定密度以上で
設けたものを用いてもよい。この表層部３０によって
も、前述した表層部２０と同様な作用効果を奏する吸着
テーブル１０を形成することができる。

【００２１】＜液晶表示装置の製造方法＞液晶表示装置
の製造においては、まず、２枚の基板４２の間に挟まれ
た液晶が周縁に配置されたシール材４４によって封止さ
れて液晶パネル４０が製造される。

【００２２】次に、駆動回路５４や、コンデンサ、抵抗
といったチップ部品５６等が搭載された回路基板５２や
その他の部品が液晶パネル４０に取り付けられる。回路
基板５２の取り付けにおいては、例えば図５に示したよ
うに、液晶パネル４０を前述した吸着テーブル１０上の
所定の位置に真空吸着により固定する。

【００２３】そして、そのように所定の位置に固定され
た液晶パネル４０に回路基板５２などが圧着ヘッド６０
とヘッド受け台６１間で異方性導電膜５１等を介して圧
着されて、例えば図６に示すような液晶表示装置５０が
形成される。

【００２４】本実施形態の液晶表示装置の製造方法によ
れば、液晶パネル４０はその基板４２より遙かに弾性変
形しやすい表層部２０を有する吸着テーブル１０上に載
置されて吸着によって固定されるため、表層部２０と液
晶パネル４０の基板４２との間に異物等が介在しても、
表層部２０が弾性変形して異物等が表層部２０に埋まり
込んだ状態となり、液晶パネル４０の基板を変形させる
可能性が小さい。したがって、そのような変形によって
表示品質に問題を発生させることなく液晶表示装置５０
を製造することができる。

【００２５】〔第２実施形態〕第２実施形態は、上面板
部に形成された空気孔の位置に対応させて表層部の貫通
孔が形成されている点が第１実施形態とは異なる。それ
以外の点については、第１実施形態と同様であるので、
その説明を省略する。また、図面において、対応する部
分には第１実施形態と同一の符号を付す。

【００２６】図７は、本実施形態の吸着テーブル７０の
上面板部１４と表層部７２とを示す模式的な分解斜視図
である。この図に示すように、表層部７２は、上面板部
１４の空気孔１６が開口する位置に対応させて形成され
た貫通孔７４を備えている。貫通孔７４は厚さ方向にの
み貫通している。なお、表層部７２は、吸着テーブル７
０上に載置される物品より遙かに弾性変形しやすい弾力
性のある材料、例えばシリコーンゴム、ウレタン、ゴム
系材料などによって形成されている。

【００２７】本実施形態の吸着テーブル７０の場合も、
ほぼ平坦な上面を持つ上面板部１４を覆う表層部７２上
に、ほぼ平坦な底面を有する物品を載置すると、ポンプ
２６、上面板部１４の表面に開口する空気孔１６、そし
て表層部７２の貫通孔７４に至る管路が密閉状態とな
る。したがって、この吸着テーブル７０は、その表層部
７２上にほぼ平坦な面を有する物品を載置して、ポンプ
を動作させると、その吸引が、上面板部１４の表面に開
口する空気孔１６を介して、上面板部１４を覆う表層部
７２の貫通孔７４に及び、物品を吸着する。しかも、表
層部７２は載置される物品より遙かに弾性変形しやすい
ため、表層部７２と物品の底面部との間に異物等が介在
しても表層部７２が弾性変形して異物等が表層部７２に
埋まり込んだ状態となり、物品の底面部を変形させる可
能性が小さい。

【００２８】なお、本実施形態の表層部は、第１実施形
態における表層部２０の図３または図４に示した材料を
用い、上面板部１４の空気孔１６が開口する位置に対応
させて、微細な貫通孔２２を多数設けるようにしてもよ
い。この場合も本実施形態の吸着テーブル７０について
上述した作用効果を奏することができる。

【００２９】〔第３実施形態〕第３実施形態は、載置さ
れる物品が液晶パネルである場合において、上面板部に
形成された空気孔が液晶パネルのシール材の下方となる
位置に形成されている点が第２実施形態とは異なる。そ
れ以外の点については、第２実施形態と同様であるの
で、その説明を省略する。また、図面において、対応す
る部分には第２実施形態と同一の符号を付す。

【００３０】図８は、本実施形態の吸着テーブル８０の
上面板部８２および表層部７２と、載置される物品であ
る液晶パネル４０をその上方に対応させて示した分解斜
視図である。液晶パネル４０は、この図に示すように、
２枚の基板４２とその周囲を封止するシール材４４を含
んで形成されている。吸着テーブル８０の上面板部８２
に設けられた空気孔８４は、吸着される液晶パネル４０
のシール材４４に対応する位置に形成されている。

【００３１】本実施形態の吸着テーブル８０において
は、吸着される液晶パネル４０のシール材４４に対応す
る位置に、上面板部８２の空気孔８４が形成されている
ため、空気孔８４付近に集中する吸引力が、液晶パネル
４０の変形しにくいシール材４４付近に加わり、基板４
２の変形などが起こりにくく、製造された液晶パネル４
０の表示に問題が発生することが少ない。

【００３２】なお、本実施形態の表層部は、第１実施形
態における表層部２０の図３または図４に示した材料を
用い、上面板部８２の空気孔８４が開口する位置に対応
させて、微細な貫通孔２２を多数設けるようにしてもよ
い。この場合も本実施形態の吸着テーブル８０について
上述した作用効果を奏することができる。

【００３３】〔第４実施形態〕第４実施形態は、吸着テ
ーブルが上面板部に設けられた空気孔のうち物品が載置
される範囲内に位置する空気孔だけがポンプに連結され
るように調節するバルブを備えている点が１実施形態と
は異なる。それ以外の点については、第１実施形態と同
様であるので、その説明を省略する。また、図面におい
て、対応する部分には第１実施形態と同一の符号を付
す。

【００３４】図９は本実施形態の上面板部９２、表層部
２０、バルブ９４，９５，９６，９７、および載置され
る物品である液晶パネル４０を、液晶パネル４０を便宜
的に上方に離した位置で示す斜視図である。この図に示
すように、本実施形態の上面板部に設けられている空気
孔１６は、バルブ９４を開き、バルブ９５、バルブ９
６、およびバルブ９７を閉じた状態では、左上隅の最も
狭い範囲において吸着できる状態となり、上方に２点鎖
線で示した液晶パネル４１を適切に吸着することができ
る。そして、バルブ９４およびバルブ９５を開き、バル
ブ９６およびバルブ９７を閉じた状態では、次に狭い四
角形の範囲において吸着できる状態となる。さらに、バ
ルブ９４、バルブ９５、およびバルブ９６を開き、バル
ブ９７を閉じた状態では、さらに大きい四角形の範囲に
おいて吸着できる状態となる。そして、バルブ９４、バ
ルブ９５、バルブ９６、およびバルブ９７のすべてを開
いた状態では、上面板部９２のほぼ全ての範囲が吸着で
きる状態となり、上方に実線で示した液晶パネル４０を
適切に吸着することができる。

【００３５】このように、本実施形態の吸着テーブル９
０は、バルブ９４，９５，９６，９７を調節することに
よって、物品が載置される範囲内に位置する空気孔１６
のみをポンプ２６に連結することができるため、大きさ
や形状の異なる様々な載置される物品に対応して確実に
吸着して固定することができる。

【００３６】また、本実施例では各バルブ９４，９５，
９６，９７により吸着を行なう空気の経路又は空気孔１
６の配列がＬ字状またはロ字状とされているが、これに
限定されるものでなく、各バルブの開閉により、大きさ
や形状の異なる様々な載置される品物に対応して、確実
に吸着して固定できるものであれば、他の変形実施が可
能である。

【００３７】さらに、本実施形態においても、表層部２
０は第１実施形態における表層部２０の図３または図４
に示した材料を用い、上面板部９２の空気孔１６が開口
する位置に対応させて、微細な貫通孔を多数設けるよう
にしてもよい。

【００３８】以上、本発明の実施形態を説明したが、本
発明は前述した各実施形態に限定されるものではなく、
本発明の要旨の範囲内または特許請求の範囲の均等範囲
内で各種の変形実施が可能である。

【００３９】例えば、上記各実施形態では、吸着テーブ
ルの上面板部および表層部が平坦であり、吸着テーブル
上に載置される物品が平坦な面を吸着テーブルの表層部
に接触させて吸着テーブル上に載置される例を示した。
しかし、吸着テーブルの上面部および表層部が成す吸着
テーブルの表面形状と、物品の被載置面とが互いに対応
した形状、例えば凹面形状と凸面形状、であれば必ずし
も吸着テーブルの表面形状を平坦でなくともよい。

【図面の簡単な説明】

【図１】第１実施形態の吸着テーブルを示す模式的な側
面図である。

【図２】第１実施形態の上面板部を示す模式的な斜視図
である。

【図３】第１実施形態の表層部を示す部分切欠き斜視図
である。

【図４】第１実施形態の表層部の変形例を示す部分切欠
き斜視図である。

【図５】第１実施形態の吸着テーブルに液晶パネルが吸
着された状態を示す側面図である。

【図６】第１実施形態の液晶表示装置を示す斜視図であ
る。

【図７】第２実施形態の吸着テーブルの上面板部と表層
部とを示す模式的な分解斜視図である。

【図８】第３実施形態の吸着テーブルの上面板部および
表層部と、載置される物品である液晶パネルをその上方
に対応させて示した分解斜視図である。

【図９】第４実施形態の上面板部、表層部、バルブ、お
よび載置される物品である液晶パネルを、液晶パネルを
便宜的に上方に離した位置で示す斜視図である。

【符号の説明】

１０，７０，８０，９０ 吸着テーブル １４，８２，９２ 上面板部 １６，８４ 空気孔 ２０，３０，７２ 表層部 ２２，３２，７４ 貫通孔 ２６ ポンプ ４０，４１ 液晶パネル ４２ 基板 ４４ シール材 ５０ 液晶表示装置 ５１ 異方性導電膜 ６０ 圧着ヘッド ６１ ヘッド受け台 ９４，９５，９６，９７ バルブ

Claims (5)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 ほぼ平坦な面を有する物品を、ポンプを
   用いた減圧吸着によって保持する吸着テーブルであっ
   て、 ほぼ平坦な上面を有する上面板部と、前記上面板部の上
   面を覆う表層部と、を有し、 前記上面板部には、前記ポンプに連結され、表面に開口
   する空気孔が設けられており、 前記表層部は、その厚さ方向にのみ貫通する多数の微細
   な貫通孔を備え、前記物品より弾性変形しやすいことを
   特徴とする吸着テーブル。
2. 【請求項２】 ほぼ平坦な面を有する物品を、ポンプを
   用いた減圧吸着によって保持する吸着テーブルであっ
   て、 ほぼ平坦な上面を有する上面板部と、前記上面板部の上
   面を覆う表層部と、を有し、 前記上面板部には、前記ポンプに連結され、表面に開口
   する空気孔が設けられており、 前記表層部は、前記空気孔が開口する位置に対応させて
   形成され厚さ方向にのみ貫通する貫通孔を有し、前記物
   品より弾性変形しやすいことを特徴とする吸着テーブ
   ル。
3. 【請求項３】 請求項１または請求項２において、 前記物品は、２枚の基板の間に液晶を封入し周囲をシー
   ル材で封止して形成された液晶パネルであり、 前記空気孔は、吸着される前記液晶パネルの前記シール
   材に対応する位置に形成されていることを特徴とする吸
   着テーブル。
4. 【請求項４】 請求項１または請求項２において、 前記物品が載置される範囲内に位置する前記空気孔のみ
   が前記ポンプに連結されるよう調節可能とするバルブを
   有することを特徴とする吸着テーブル。
5. 【請求項５】 １対の基板を有する液晶パネルを請求項
   １ないし請求項４に記載の吸着テーブル上に真空吸着に
   より固定する工程と、 前記液晶パネルに部品を取り付ける工程と、 を有することを特徴とする液晶表示装置の製造方法。