JPH0972702A - ターゲットの厚さ測定装置 - Google Patents
ターゲットの厚さ測定装置Info
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- JPH0972702A JPH0972702A JP7255689A JP25568995A JPH0972702A JP H0972702 A JPH0972702 A JP H0972702A JP 7255689 A JP7255689 A JP 7255689A JP 25568995 A JP25568995 A JP 25568995A JP H0972702 A JPH0972702 A JP H0972702A
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Abstract
(57)【要約】
【課 題】 ターゲットのエロージョン領域の消耗深さ
を現場サイドで正確に、かつ迅速に測定できるようにす
る。 【解決手段】 測定治具５の固定脚５０４と可動脚５０
５の間隔を測定されるターゲット１の径に応じて調節
し、この固定脚５０４と可動脚５０５をバッキングプレ
ート７上に載せることにより、測定治具５をターゲット
１の径方向に差し渡される状態に３点支持する。その
後、測定器３の測定子３０３をターゲット１のエロージ
ョン領域の測定したい位置と対応する挿通部５０３から
ゲージカラー３０４の下面が支持部材５０１の上面に当
接するまで差し込み、測定子３０３の先端を測定したい
エロージョン領域に押し当てることにより、ターゲット
１のエロージョン領域の消耗深さを測定する。
を現場サイドで正確に、かつ迅速に測定できるようにす
る。 【解決手段】 測定治具５の固定脚５０４と可動脚５０
５の間隔を測定されるターゲット１の径に応じて調節
し、この固定脚５０４と可動脚５０５をバッキングプレ
ート７上に載せることにより、測定治具５をターゲット
１の径方向に差し渡される状態に３点支持する。その
後、測定器３の測定子３０３をターゲット１のエロージ
ョン領域の測定したい位置と対応する挿通部５０３から
ゲージカラー３０４の下面が支持部材５０１の上面に当
接するまで差し込み、測定子３０３の先端を測定したい
エロージョン領域に押し当てることにより、ターゲット
１のエロージョン領域の消耗深さを測定する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、スパッタリング装
置に使用されるターゲットの厚さ測定装置に関し、特に
ターゲットのエロージョン領域における消耗深さを測定
するのに好適なスパッタ用ターゲットの厚さ測定装置に
関する。
置に使用されるターゲットの厚さ測定装置に関し、特に
ターゲットのエロージョン領域における消耗深さを測定
するのに好適なスパッタ用ターゲットの厚さ測定装置に
関する。
【０００２】
【従来の技術】スパッタリング装置においては、プラズ
マ中のイオンを衝突させることにより生じるスパッタ現
象を利用して、ウェハ上に薄膜を形成するための材料物
質としてターゲットがある。また、この種のターゲット
の消耗は、磁極に挟まれた特定の領域、即ちエロージョ
ン領域において行われ、このエロージョン領域での消耗
深さでターゲットの寿命が決定される。従って、ターゲ
ットの寿命を決定する場合は、エロージョン領域の消耗
深さを測定する必要がある。
マ中のイオンを衝突させることにより生じるスパッタ現
象を利用して、ウェハ上に薄膜を形成するための材料物
質としてターゲットがある。また、この種のターゲット
の消耗は、磁極に挟まれた特定の領域、即ちエロージョ
ン領域において行われ、このエロージョン領域での消耗
深さでターゲットの寿命が決定される。従って、ターゲ
ットの寿命を決定する場合は、エロージョン領域の消耗
深さを測定する必要がある。
【０００３】従来、ターゲットのエロージョン領域の消
耗深さを測定する手法としては、深さ用ゲージ付きのノ
ギスを利用し、その深さ用ゲージをターゲットのエロー
ジョン領域に押し当てて、エロージョン領域の消耗深さ
を直接測定する方式のもの、或はターゲットを製作する
メーカーに依頼してエロージョン領域の消耗深さを測定
するようにしていた。
耗深さを測定する手法としては、深さ用ゲージ付きのノ
ギスを利用し、その深さ用ゲージをターゲットのエロー
ジョン領域に押し当てて、エロージョン領域の消耗深さ
を直接測定する方式のもの、或はターゲットを製作する
メーカーに依頼してエロージョン領域の消耗深さを測定
するようにしていた。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上述の
ようにエロージョン領域の消耗深さをノギスで測定する
方式では、ノギスを用意しておけばよいので、ターゲッ
トに対する測定作業の即応性はあるが、エロージョン領
域へのノギスの当て方及び姿勢等により測定結果に個人
差が生じ、正確性に欠ける問題がある。また、ターゲッ
トメーカーに依頼して測定する方式では、エロージョン
領域の消耗深さを正確に測定することができるが、即応
性に欠け、測定結果がでるまでに時間がかかるという問
題があった。
ようにエロージョン領域の消耗深さをノギスで測定する
方式では、ノギスを用意しておけばよいので、ターゲッ
トに対する測定作業の即応性はあるが、エロージョン領
域へのノギスの当て方及び姿勢等により測定結果に個人
差が生じ、正確性に欠ける問題がある。また、ターゲッ
トメーカーに依頼して測定する方式では、エロージョン
領域の消耗深さを正確に測定することができるが、即応
性に欠け、測定結果がでるまでに時間がかかるという問
題があった。
【０００５】本発明は、上述の事情に鑑みなされたもの
であり、ターゲットのエロージョン領域の消耗深さを現
場サイドで正確に、かつ迅速に測定できるスパッタ用タ
ーゲットの厚さ測定装置を提供することを目的とする。
であり、ターゲットのエロージョン領域の消耗深さを現
場サイドで正確に、かつ迅速に測定できるスパッタ用タ
ーゲットの厚さ測定装置を提供することを目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】前記目的を達成するため
に本発明は、バッキングプレートに保持されたスパッタ
用ターゲットのエロージョン領域の消耗深さを測定する
ターゲットの厚さ測定装置であって、前記ターゲットの
エロージョン領域の表面に当接して進退する測定子の移
動量をエロージョン領域の消耗深さに対応するターゲッ
トの厚さに変換して表示する測定器と、前記バッキング
プレート上に載置され、前記測定子の先端が前記ターゲ
ット表面の任意の位置に直角に当接するように前記測定
器を支持する測定治具とを備えてなるものである。
に本発明は、バッキングプレートに保持されたスパッタ
用ターゲットのエロージョン領域の消耗深さを測定する
ターゲットの厚さ測定装置であって、前記ターゲットの
エロージョン領域の表面に当接して進退する測定子の移
動量をエロージョン領域の消耗深さに対応するターゲッ
トの厚さに変換して表示する測定器と、前記バッキング
プレート上に載置され、前記測定子の先端が前記ターゲ
ット表面の任意の位置に直角に当接するように前記測定
器を支持する測定治具とを備えてなるものである。
【０００７】また、本発明は、前記測定器を、ダイヤル
ゲージもしくはデジマチックマイクロゲージから構成し
たものである。また、本発明は、前記測定治具が、前記
ターゲットのエロージョン領域側表面の上方でターゲッ
トの表面に対し平行に延在し、前記ターゲットの径より
大きい長さの直線状支持部材と、前記支持部材に該支持
部材の長手方向に沿って形成され、前記測定器の測定子
が前記ターゲット表面の任意のエロージョン領域に対し
て当接できるように移動可能に挿通される挿通部と、前
記バッキングプレート上に載置され前記支持部材の一端
を支持する固定脚と、前記バッキングプレート上に載置
され前記支持部材の他端側において前記挿通部に該挿通
部の長手方向に沿い移動可能に取り付けられ支持部材の
他端側を支持する可動脚とを備えてなるものである。ま
た、本発明は、前記測定器は前記測定子を進退可能に支
持する支持基部を備え、前記支持基部には、該支持基部
が挿通部に挿通された状態で前記支持部材の上面と係合
して測定子をターゲットの表面に対し直角にするゲージ
カラーを取着したものである。
ゲージもしくはデジマチックマイクロゲージから構成し
たものである。また、本発明は、前記測定治具が、前記
ターゲットのエロージョン領域側表面の上方でターゲッ
トの表面に対し平行に延在し、前記ターゲットの径より
大きい長さの直線状支持部材と、前記支持部材に該支持
部材の長手方向に沿って形成され、前記測定器の測定子
が前記ターゲット表面の任意のエロージョン領域に対し
て当接できるように移動可能に挿通される挿通部と、前
記バッキングプレート上に載置され前記支持部材の一端
を支持する固定脚と、前記バッキングプレート上に載置
され前記支持部材の他端側において前記挿通部に該挿通
部の長手方向に沿い移動可能に取り付けられ支持部材の
他端側を支持する可動脚とを備えてなるものである。ま
た、本発明は、前記測定器は前記測定子を進退可能に支
持する支持基部を備え、前記支持基部には、該支持基部
が挿通部に挿通された状態で前記支持部材の上面と係合
して測定子をターゲットの表面に対し直角にするゲージ
カラーを取着したものである。
【０００８】本発明においては、測定治具を介してター
ゲット表面の上方から測定器の測定子を測定したいエロ
ージョン領域の表面に直角に押し当てて測定できるか
ら、ターゲットのエロージョン領域の消耗深さを現場サ
イドで正確に、かつ迅速に測定できる。また本発明にお
いては、測定治具の可動脚を支持部材の挿通部の長手方
向に沿い移動することにより、可動脚と固定脚の間隔を
測定されるターゲットの径に応じて調節し、この測定治
具をターゲットの表面上で径方向に差し渡される状態に
して可動脚及び固定脚によりバッキングプレート上に載
置する。そして測定器の測定子をターゲットのエロージ
ョン領域の測定したい位置と対応する挿通部から差し込
むことにより、測定子の先端を測定したいエロージョン
領域に押し当て、この時測定器に表示される値を読み取
ることでエロージョン領域の消耗深さを測定できる。従
って、ターゲットのエロージョン領域の消耗深さを現場
サイドで正確に、かつ迅速に測定することができるとと
もに、支持部材をバッキングプレート上に載置する可動
脚を備えることにより、径の異なるターゲットに対して
も単一の測定治具を利用して消耗深さを測定することが
できる。さらに、本発明においては、測定器本体への測
定子の支持基部にゲージカラーを設けることにより、測
定子をターゲットの表面に対し常に直角に保持すること
ができ、ばらつきのない安定した測定が可能になる。
ゲット表面の上方から測定器の測定子を測定したいエロ
ージョン領域の表面に直角に押し当てて測定できるか
ら、ターゲットのエロージョン領域の消耗深さを現場サ
イドで正確に、かつ迅速に測定できる。また本発明にお
いては、測定治具の可動脚を支持部材の挿通部の長手方
向に沿い移動することにより、可動脚と固定脚の間隔を
測定されるターゲットの径に応じて調節し、この測定治
具をターゲットの表面上で径方向に差し渡される状態に
して可動脚及び固定脚によりバッキングプレート上に載
置する。そして測定器の測定子をターゲットのエロージ
ョン領域の測定したい位置と対応する挿通部から差し込
むことにより、測定子の先端を測定したいエロージョン
領域に押し当て、この時測定器に表示される値を読み取
ることでエロージョン領域の消耗深さを測定できる。従
って、ターゲットのエロージョン領域の消耗深さを現場
サイドで正確に、かつ迅速に測定することができるとと
もに、支持部材をバッキングプレート上に載置する可動
脚を備えることにより、径の異なるターゲットに対して
も単一の測定治具を利用して消耗深さを測定することが
できる。さらに、本発明においては、測定器本体への測
定子の支持基部にゲージカラーを設けることにより、測
定子をターゲットの表面に対し常に直角に保持すること
ができ、ばらつきのない安定した測定が可能になる。
【０００９】
【発明の実施の形態】以下、発明の一実施例について図
面に基づき説明する。図１は本発明にかかるターゲット
の厚さ測定装置の全体構成を示す斜視図であり、図２は
図１のＡ−Ａ線に沿う一部の拡大断面図である。図１及
び図２において、スパッタ用ターゲットの厚さ測定装置
は、ターゲット１のエロージョン領域の消耗深さを測定
する測定器３と、この測定器３をターゲット１のエロー
ジョン領域側表面に対して測定可能な姿勢に保持する測
定治具５を備える。
面に基づき説明する。図１は本発明にかかるターゲット
の厚さ測定装置の全体構成を示す斜視図であり、図２は
図１のＡ−Ａ線に沿う一部の拡大断面図である。図１及
び図２において、スパッタ用ターゲットの厚さ測定装置
は、ターゲット１のエロージョン領域の消耗深さを測定
する測定器３と、この測定器３をターゲット１のエロー
ジョン領域側表面に対して測定可能な姿勢に保持する測
定治具５を備える。
【００１０】ターゲット１は円盤状をなし、このターゲ
ット１は図示省略のスパッタリング装置の陰極に取り付
けるためにターゲットより大きい径の円盤状バッキング
プレート７の一面に同心に接着されている。
ット１は図示省略のスパッタリング装置の陰極に取り付
けるためにターゲットより大きい径の円盤状バッキング
プレート７の一面に同心に接着されている。
【００１１】この実施例に示す測定器３は、ダイヤルゲ
ージタイプのものであり、指針３０１ａを有するゲージ
本体３０１と、このゲージ本体３０１の一側部に設けた
支持基部３０２により進退可能に支持される測定子３０
３と、支持基部３０２の外周に取着したゲージカラー３
０４を備える。測定子３０３は、ゲージカラー３０４の
下面が後述する測定治具５の支持部材５０１に当接する
まで後述の挿通部５０３を通してターゲット１の表面に
押し当てられ、この時の測定子の移動量を指針３０１ａ
の回転量に変換して目盛表示することにより、ターゲッ
トの厚さ、即ちエロージョン領域の消耗深さを測定でき
るように構成されている。
ージタイプのものであり、指針３０１ａを有するゲージ
本体３０１と、このゲージ本体３０１の一側部に設けた
支持基部３０２により進退可能に支持される測定子３０
３と、支持基部３０２の外周に取着したゲージカラー３
０４を備える。測定子３０３は、ゲージカラー３０４の
下面が後述する測定治具５の支持部材５０１に当接する
まで後述の挿通部５０３を通してターゲット１の表面に
押し当てられ、この時の測定子の移動量を指針３０１ａ
の回転量に変換して目盛表示することにより、ターゲッ
トの厚さ、即ちエロージョン領域の消耗深さを測定でき
るように構成されている。
【００１２】測定治具５は、ターゲット１のエロージョ
ン領域側表面１０１の上方でターゲット表面に対し平行
に延在し、バッキングプレート７の径より大きい長さの
一対の直線状支持部材５０１と、この両支持部材５０１
を所定間隔離して平行に並べた状態でその両端部をそれ
ぞれ結合するエンドブロック５０２と、両支持部材５０
１を平行に所定間隔離間することにより支持部材５０１
の長手方向に沿って形成される測定子挿通部５０３と、
一方のエンドブロック５０２において、支持部材５０１
と直交する方向の両端部に上端が固定され、下端がバッ
キングプレート７上に載置されることにより、支持部材
５０１の一端側を支持する一対の固定脚５０４と、支持
部材５０１の他方のエンドブロック５０２側において挿
通部５０３に上端が挿通部５０３の長手方向に沿い移動
可能に係合され、下端がバッキングプレート７上に載置
されることにより、支持部材５０１の他端側を支持する
可動脚５０５とを備え、可動脚５０５は支持部材５０１
の上面側からワッシャ５０６を介して螺合される締付ね
じ５０７によって支持部材５０１に固定される。また、
挿通部５０３は、測定子３０３を挿通部５０３の長手方
向に沿うターゲット１のエロージョン領域の測定したい
任意位置への位置決めを安定して行うためのもので、そ
の間隔は、測定子３０３及びその支持基部３０２がスム
ーズに挿通され、かつ測定子３０３を含む測定器３を挿
通部５０３の長手方向に移動できる大きさに設定されて
いる。なお、測定治具５の支持部材５０１にはゲージ５
０８が目盛られ、測定器３のゲージカラー３０４の中心
部にケガキ３０５が入っており、測定箇所（ターゲット
径方向の）が判るようになっており、多点測定すること
によりエロージョンプロファイルを作成することが可能
である。
ン領域側表面１０１の上方でターゲット表面に対し平行
に延在し、バッキングプレート７の径より大きい長さの
一対の直線状支持部材５０１と、この両支持部材５０１
を所定間隔離して平行に並べた状態でその両端部をそれ
ぞれ結合するエンドブロック５０２と、両支持部材５０
１を平行に所定間隔離間することにより支持部材５０１
の長手方向に沿って形成される測定子挿通部５０３と、
一方のエンドブロック５０２において、支持部材５０１
と直交する方向の両端部に上端が固定され、下端がバッ
キングプレート７上に載置されることにより、支持部材
５０１の一端側を支持する一対の固定脚５０４と、支持
部材５０１の他方のエンドブロック５０２側において挿
通部５０３に上端が挿通部５０３の長手方向に沿い移動
可能に係合され、下端がバッキングプレート７上に載置
されることにより、支持部材５０１の他端側を支持する
可動脚５０５とを備え、可動脚５０５は支持部材５０１
の上面側からワッシャ５０６を介して螺合される締付ね
じ５０７によって支持部材５０１に固定される。また、
挿通部５０３は、測定子３０３を挿通部５０３の長手方
向に沿うターゲット１のエロージョン領域の測定したい
任意位置への位置決めを安定して行うためのもので、そ
の間隔は、測定子３０３及びその支持基部３０２がスム
ーズに挿通され、かつ測定子３０３を含む測定器３を挿
通部５０３の長手方向に移動できる大きさに設定されて
いる。なお、測定治具５の支持部材５０１にはゲージ５
０８が目盛られ、測定器３のゲージカラー３０４の中心
部にケガキ３０５が入っており、測定箇所（ターゲット
径方向の）が判るようになっており、多点測定すること
によりエロージョンプロファイルを作成することが可能
である。
【００１３】次に、上記のように構成された本実施例の
測定装置によるターゲットの測定動作について説明す
る。まず、締付ねじ５０７を緩めた状態で可動脚５０５
を支持部材５０１の挿通部５０３の長手方向に沿い移動
し、可動脚５０５と固定脚５０４の間隔を測定されるタ
ーゲット１の径に応じて調節する。その後、締付ねじ５
０７を締め付けて可動脚５０５を支持部材５０１に固定
する。次に、このようにターゲット１の径に応じて間隔
の調節された固定脚５０４と可動脚５０５をバッキング
プレート７上に載せることにより、測定治具５はターゲ
ット１の径方向に差し渡される状態に３点支持される。
その後、測定器３の測定子３０３をターゲット１のエロ
ージョン領域の測定したい位置と対応する挿通部５０３
からゲージカラー３０４の下面が支持部材５０１の上面
に当接するまで差し込み、測定子３０３の先端を測定し
たいエロージョン領域１０２に押し当てる。この時、測
定子３０３の移動量はゲージ本体３０１に内蔵された周
知の変換機構により指針３０１ａの回転量に変換され、
ターゲットの測定部位の厚さを目盛表示する。従って、
指針が指し示す目盛を読み取ることにより、ターゲット
の厚さ、即ちエロージョン領域１０２の消耗深さを測定
できる。
測定装置によるターゲットの測定動作について説明す
る。まず、締付ねじ５０７を緩めた状態で可動脚５０５
を支持部材５０１の挿通部５０３の長手方向に沿い移動
し、可動脚５０５と固定脚５０４の間隔を測定されるタ
ーゲット１の径に応じて調節する。その後、締付ねじ５
０７を締め付けて可動脚５０５を支持部材５０１に固定
する。次に、このようにターゲット１の径に応じて間隔
の調節された固定脚５０４と可動脚５０５をバッキング
プレート７上に載せることにより、測定治具５はターゲ
ット１の径方向に差し渡される状態に３点支持される。
その後、測定器３の測定子３０３をターゲット１のエロ
ージョン領域の測定したい位置と対応する挿通部５０３
からゲージカラー３０４の下面が支持部材５０１の上面
に当接するまで差し込み、測定子３０３の先端を測定し
たいエロージョン領域１０２に押し当てる。この時、測
定子３０３の移動量はゲージ本体３０１に内蔵された周
知の変換機構により指針３０１ａの回転量に変換され、
ターゲットの測定部位の厚さを目盛表示する。従って、
指針が指し示す目盛を読み取ることにより、ターゲット
の厚さ、即ちエロージョン領域１０２の消耗深さを測定
できる。
【００１４】従って、本実施例によれば、ターゲットの
エロージョン領域の消耗深さを現場サイドで正確に、か
つ迅速に測定できるとともに、測定に要する時間も短か
くて済み、ターゲットメーカーへの依頼も不要になる。
また、本実施例によれば、測定治具は固定脚及び可動脚
を介してバッキングプレート上に載置されているだけで
あるため、測定治具をターゲットのエロージョン領域側
表面に対し３６０度に方向転換でき、これに伴い、ター
ゲットの径方向に延在する挿通部を合わせて利用するこ
とにより、測定したいエロージョン領域への測定子の押
し当て位置を容易に選定でき、しかも、ゲージカラーを
支持部材に当接させることにより、測定子をターゲット
の表面に対して常に直角に保持できるから、測定時の測
定値にばらつきがなく、安定で正確な消耗深さの測定が
可能になる。さらに、本実施例においては、可動脚を支
持部材の長手方向に移動することにより、固定脚と可動
脚間の間隔をターゲットの径に応じて調節できるから、
径の異なるターゲットに対しても単一の測定治具を利用
して消耗深さを測定することができる。
エロージョン領域の消耗深さを現場サイドで正確に、か
つ迅速に測定できるとともに、測定に要する時間も短か
くて済み、ターゲットメーカーへの依頼も不要になる。
また、本実施例によれば、測定治具は固定脚及び可動脚
を介してバッキングプレート上に載置されているだけで
あるため、測定治具をターゲットのエロージョン領域側
表面に対し３６０度に方向転換でき、これに伴い、ター
ゲットの径方向に延在する挿通部を合わせて利用するこ
とにより、測定したいエロージョン領域への測定子の押
し当て位置を容易に選定でき、しかも、ゲージカラーを
支持部材に当接させることにより、測定子をターゲット
の表面に対して常に直角に保持できるから、測定時の測
定値にばらつきがなく、安定で正確な消耗深さの測定が
可能になる。さらに、本実施例においては、可動脚を支
持部材の長手方向に移動することにより、固定脚と可動
脚間の間隔をターゲットの径に応じて調節できるから、
径の異なるターゲットに対しても単一の測定治具を利用
して消耗深さを測定することができる。
【００１５】なお、上記実施例では、測定器３にダイヤ
ルゲージを利用した場合について説明したが、本発明は
これに限らず、図３に示すように、測定子９０１の移動
量をディジタル量に変換してゲージ本体９０２の液晶表
示部９０３に数字表示するデジマチックマイクロゲージ
タイプの測定器９を利用してもよい。９０４はゲージカ
ラーである。また、本発明の測定治具５は上記実施例に
示す構成のものに限らず、一枚の短冊状の板材または三
角形状の板材等にターゲット１の径方向に延在する測定
子挿通部を形成した構造のものであってもよい。
ルゲージを利用した場合について説明したが、本発明は
これに限らず、図３に示すように、測定子９０１の移動
量をディジタル量に変換してゲージ本体９０２の液晶表
示部９０３に数字表示するデジマチックマイクロゲージ
タイプの測定器９を利用してもよい。９０４はゲージカ
ラーである。また、本発明の測定治具５は上記実施例に
示す構成のものに限らず、一枚の短冊状の板材または三
角形状の板材等にターゲット１の径方向に延在する測定
子挿通部を形成した構造のものであってもよい。
【００１６】
【発明の効果】以上の説明で明らかなように本発明によ
れば、測定治具を介してターゲット表面の上方から測定
器の測定子を測定したいエロージョン領域の表面に直角
に押し当てて測定できるから、ターゲットのエロージョ
ン領域の消耗深さを現場サイドで正確に、かつ迅速に測
定できる。また、本発明によれば、測定治具の可動脚を
支持部材の挿通部の長手方向に沿い移動することによ
り、可動脚と固定脚の間隔を測定されるターゲットの径
に応じて調節し、この測定治具をターゲットの表面上で
径方向に差し渡される状態にして可動脚及び固定脚によ
りバッキングプレート上に載置し、そして測定器の測定
子をターゲットのエロージョン領域の測定したい位置と
対応する挿通部から差し込むことにより、測定子の先端
を測定したいエロージョン領域に押し当て、この時測定
器に表示される値を読み取ることでエロージョン領域の
消耗深さを測定できるから、ターゲットのエロージョン
領域の消耗深さを現場サイドで正確に、かつ迅速に測定
することができるほか、測定治具をバッキングプレート
上に載置する可動脚は測定されるターゲットの径に応じ
て位置調節できる構成になっているから、径の異なるタ
ーゲットに対しても単一の測定治具を利用して消耗深さ
を測定することができる。さらに、本発明によれば、測
定器本体への測定子の支持基部にゲージカラーを設ける
ことにより、測定子をターゲットの表面に対し常に直角
に保持することができ、ばらつきのない安定した測定が
できるという効果がある。
れば、測定治具を介してターゲット表面の上方から測定
器の測定子を測定したいエロージョン領域の表面に直角
に押し当てて測定できるから、ターゲットのエロージョ
ン領域の消耗深さを現場サイドで正確に、かつ迅速に測
定できる。また、本発明によれば、測定治具の可動脚を
支持部材の挿通部の長手方向に沿い移動することによ
り、可動脚と固定脚の間隔を測定されるターゲットの径
に応じて調節し、この測定治具をターゲットの表面上で
径方向に差し渡される状態にして可動脚及び固定脚によ
りバッキングプレート上に載置し、そして測定器の測定
子をターゲットのエロージョン領域の測定したい位置と
対応する挿通部から差し込むことにより、測定子の先端
を測定したいエロージョン領域に押し当て、この時測定
器に表示される値を読み取ることでエロージョン領域の
消耗深さを測定できるから、ターゲットのエロージョン
領域の消耗深さを現場サイドで正確に、かつ迅速に測定
することができるほか、測定治具をバッキングプレート
上に載置する可動脚は測定されるターゲットの径に応じ
て位置調節できる構成になっているから、径の異なるタ
ーゲットに対しても単一の測定治具を利用して消耗深さ
を測定することができる。さらに、本発明によれば、測
定器本体への測定子の支持基部にゲージカラーを設ける
ことにより、測定子をターゲットの表面に対し常に直角
に保持することができ、ばらつきのない安定した測定が
できるという効果がある。
【図１】本発明にかかるターゲットの厚さ測定装置の全
体構成を示す斜視図である。
体構成を示す斜視図である。
【図２】図１のＡ−Ａ線に沿う一部の拡大断面図であ
る。
る。
【図３】本発明における測定器の他の実施例を示す測定
器の斜視図である。
器の斜視図である。
１ ターゲット １０１ エロージョン領域側表面 ３ 測定器 ３０１ ゲージ本体 ３０２ 支持基部 ３０３ 測定子 ３０４ ゲージカラー ５ 測定治具 ５０１ 支持部材 ５０３ 挿通部 ５０４ 固定脚 ５０５ 可動脚 ７ バッキングプレート ９ 測定器
Claims (4)
- 【請求項１】 バッキングプレートに保持されたスパッ
タ用ターゲットのエロージョン領域の消耗深さを測定す
るターゲットの厚さ測定装置であって、 前記ターゲットのエロージョン領域の表面に当接して進
退する測定子の移動量をエロージョン領域の消耗深さに
対応するターゲットの厚さに変換して表示する測定器
と、 前記バッキングプレート上に載置され、前記測定子の先
端が前記ターゲット表面の任意の位置に直角に当接する
ように前記測定器を支持する測定治具と、 を備えてなるターゲットの厚さ測定装置。 - 【請求項２】 前記測定器は、ダイヤルゲージもしくは
デジマチックマイクロゲージからなる請求項１記載のタ
ーゲットの厚さ測定装置。 - 【請求項３】 前記測定治具は、前記ターゲットのエロ
ージョン領域側表面の上方でターゲットの表面に対し平
行に延在し、前記ターゲットの径より大きい長さの直線
状支持部材と、前記支持部材に該支持部材の長手方向に
沿って形成され、前記測定器の測定子が前記ターゲット
表面の任意のエロージョン領域に対して当接できるよう
に移動可能に挿通される挿通部と、前記バッキングプレ
ート上に載置され前記支持部材の一端を支持する固定脚
と、前記バッキングプレート上に載置され前記支持部材
の他端側において前記挿通部に該挿通部の長手方向に沿
い移動可能に取り付けられ支持部材の他端側を支持する
可動脚とを備える請求項１記載のターゲットの厚さ測定
装置。 - 【請求項４】 前記測定器は前記測定子を進退可能に支
持する支持基部を備え、前記支持基部には、該支持基部
が挿通部に挿通された状態で前記支持部材の上面と係合
して測定子をターゲットの表面に対し直角にするゲージ
カラーが取着されている請求項３記載のターゲットの厚
さ測定装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7255689A JPH0972702A (ja) | 1995-09-07 | 1995-09-07 | ターゲットの厚さ測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7255689A JPH0972702A (ja) | 1995-09-07 | 1995-09-07 | ターゲットの厚さ測定装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0972702A true JPH0972702A (ja) | 1997-03-18 |
Family
ID=17282266
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7255689A Pending JPH0972702A (ja) | 1995-09-07 | 1995-09-07 | ターゲットの厚さ測定装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0972702A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2001330401A (ja) * | 2000-05-22 | 2001-11-30 | Sangoroo:Kk | 車両用パネルの損傷測定装置およびその方法 |
| KR20180069595A (ko) * | 2016-12-15 | 2018-06-25 | 한국항공우주연구원 | 구조물 직경 측정 장치 및 그의 구조물 직경 측정 방법 |
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| CN113791134A (zh) * | 2021-07-23 | 2021-12-14 | 厦门市承谱科学仪器有限公司 | 基质辅助激光解析飞行时间质谱仪的靶面调平与校准方法 |
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| JPH07150342A (ja) * | 1993-12-02 | 1995-06-13 | Hitachi Ltd | スパッタリング装置 |
-
1995
- 1995-09-07 JP JP7255689A patent/JPH0972702A/ja active Pending
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