JPH0329696Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 ［技術分野］ 本考案は触針式表面粗さ測定機の校正に用いる
校正用粗さ標準器に関する。

［背景技術］ 触針を被測定物の表面に沿つて当接移動させた
ときの触針の上下動の大きさを電気的に拡大して
被測定物の表面粗さを測定する、触針式表面粗さ
測定機が従来より知られている。第６図にはこの
ような触針式表面粗さ測定機の一例が示されてい
る。図中、測定機本体１には可動軸２を介して支
持体３が回転方向および上下方向調整可能に取付
けられ、この支持体３はケース体で覆われ、ケー
ス体４内の支持体３の下方側には棒状の揺動体５
が十字ばね６を介して揺動自在に取付けられ、揺
動体５の先端側には揺動アーム７を介して触針８
が鉛直下方側に向つて突設されるとともに揺動体
５の基端側には前記支持体３に取付けられた板ば
ね９が当接され、この板ばね９により前記触針８
は下方側に常時付勢されている。

揺動体５の上端面の十字ばね６の長手方向両側
には誘電体１０，１１が設けられ、一方、これら
誘電体１０，１１に対向する位置の支持体３の下
端面には検出コイル１２，１３が夫々備えられ、
前記触針８が被測定物の表面に当接しながら移動
した際の触針８の上下移動量が前記誘導体１０，
１１および検出コイル１２，１３により電気信号
に変換され、これら電気信号はリード線１４，１
５を介して前記測定機本体１内の図示しない電気
的処理機能に入力され、更に例えば図示しないＸ
−Ｙレコーダ等により測定結果が表示されるよう
になつている。また、前記揺動アーム７はケース
体４の先端側に突設された保護ケース１６内に遊
挿通されるとともに、保護ケース１６先端の開口
部からは触針８が突出可能とされ、更に必要によ
り、例えば丸軸材の表面に軸方向に沿つて触針８
を当接移動させるとき等のために開口部１７の両
側部に設けられたガイド１８により触針８を案内
することができるようになつている。

ところで、このような触針式表面粗さ測定機で
は、被測定物の表面粗さを揺動アーム７の傾斜角
度として誘電体１０，１１および検出コイル１
２，１３にて電気信号に変換させ、この電気信号
を測定機本体１にて処理しているところから、触
針８の上下動（すなわち表面粗さ）と電気信号と
対比整合作業、すなわち校正作業が高精度な測定
を確保するうえで重要となる。この校正作業に
は、校正用粗さ標準器が用いられる、この標準器
の粗さ既知の表面を仮測定して測定機本体１側で
出力信号を調整するというものである。

第７図にはこのような目的で用いられる校正用
粗さ標準器の一従来例が示されているが、従来の
校正用粗さ標準器は同図に示されるように平板状
の基体１９の表面に電鋳法等で製作された粗さ既
知の標準片２０であつた。そのため、前記表面粗
さ測定機のようにガイド１８が触針８の両側に備
えられている構造では、検査すべき形状によつて
は、ガイド１８が触針８の標準片２０への当接を
不可能にしてしまうこととなりやすく、校正作業
が極めて因難であつた。そこで、被測定物の表面
の形状毎に施盤加工等によつて基体１９の形状を
仕上げることが考えられるが、これでは、被測定
物の表面は形状も表面粗さも共に種々のものがあ
り、それに応じた標準器をその度毎に製作してい
たのでは極めて測定作業の能率が低く、その結
果、触針式表面粗さ測定機の機能が制限されてし
まう事態を紹来させてしまう等、精度的にも経済
的にも不利である。このような事態は、被測定物
と同一形状で所定の表面粗さとされた基準体を用
意してこの基準体と被測定物との比較により表面
粗さの合否判定を行なう、いわゆる比較測定の場
合における前記基準体の作成についても同様であ
る。

［考案の目的］ 本考案の目的は、種々の形状の被測定物に適用
でき、また、絶対測定にも比較測定にも適用でき
る校正用粗さ標準器を提供することにある。

［考案の構成］ そのため本考案は予め所定の表面粗さに仕上ら
れかつ前記測定機の触針が当接される薄膜状の標
準片を用意し、この標準片を、被測定対象の形状
に相応した形状とされた柱状の基体の表面に沿つ
て貼設することにより前記目的を達成しようとす
るものである。ここで、前記柱状の基体とは円柱
または角柱の基体であることを意味する。

［実施例の説明］ 以下、本考案の実施例を図面に基づいて説明す
る。

第１図は本考案に係る校正用粗さ標準器の一実
施例が示され、この図において、基体２１の表面
には標準片２２が全周にわたつて貼設されてい
る。基体２１は第２図にも示されるように所定の
長さの丸軸材状に形成され、一方、標準片２２は
第３図に示されるように例えば厚さ0.04〜0.05mm
程度の薄膜状に形成され、基体２１の表面全体に
接着剤等の化学的手段によりあるいはビス等の機
械的手段により貼設されるようになつている。こ
の標準片２２は電鋳法等により所定の表面粗さに
予め仕上られており、この仕上面に触針式表面粗
さ測定機の触針が当接されるようになつている。

このように互いに別途製造された基体２１の表
面に標準片２２が貼設された後、基体２１はその
両端にて図示しない取付軸により例えばコ字型形
状に形成された取付台２３に取付られている。取
付台２３の一端側には摘み２４が取付られ、この
摘み２４を操作することにより基体２１が取付台
２３に対して姿勢調整され得るようになつてい
る。

第４図には本実施例の使用状態が示されてい
る。この図に示されるように、触針８の両側にガ
イド１８が設けられていても、このガイド１８を
標準片２２に当接させて案内させた状態で基体２
１の軸方向に沿つて基体２１（標準片２２）に対
して触針８を移動させて必要な校正を行なうこと
ができる。

また、このような実施例によれば、標準片２２
が薄膜状であるため、被測定物に相応する形状に
あらかじめ形成した基体２１の表面形状どうりの
形状とすることが容易である。すなわち、基体２
１の表面自体を所定の表面粗さに仕上げることは
因難であるが、本実施例のように別途製作した標
準片２２を用意して、これを基体２１の表面に貼
設することは容易であるため、所定の表面粗さを
有する種々の形状の校正用粗さ標準器を容易に製
造することができる。

また、標準片２２を電鋳法により製作すること
とすれば、その厚さをμｍオーダで容易に仕上げ
ることができる。また、基体２１の形状が異なる
毎に電鋳法の原版を新たに作成する必要がなく、
更には、従来の平板状の標準片２０の場合に供し
た原版を共通して用いることもできる。

また、基体２１が例えば丸軸材である場合には
その径のみを管理して作れば良いから、同時に表
面粗さまでも高精度に加工しなければならない場
合と比較して製作が容易であるだけでなく極めて
歩溜りが良い。

更に、摘み２４を操作して取付台２３に対して
基体２１を所定角度回転させることができるた
め、校正のため標準片２２の一部が摩耗したとき
には他の摩耗していない部分を用いて校正するこ
とができる。

なお、実施に当り、基体２１は丸軸材状ものに
限らず、例えば第５図に示される前記以外の実施
例の基体３１のように多角柱状に形成され、この
多角柱状の表面の一部に標準片３２が貼設されて
いるものであつてもよい。また、第５図に示され
る実施例では基体２１の姿勢変更は特に行なわれ
ないようになつているが、前記第１図に示される
実施例のように、基体３１が姿勢調整可能なもの
であつてもよい。

［考案の効果］ 上述のように本考案によれば、種々の形状の被
測定物に適用でき、また、絶対測定にも比較測定
にも適用できる校正用粗さ標準器を提供すること
ができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本考案に係る校正用粗さ標準器の一実
施例の全体構成を示す斜視図、第２図は前記実施
例における基体を示す斜視図、第３図は前記実施
例における標準片を示す斜視図、第４図は前記実
施例の使用状態を示す拡大斜視図、第５図は前記
以外の実施例を示す斜視図、第６図は触針式表面
粗さ測定機の一例を示す断面図、第７図は従来の
校正用粗さ標準器の一例を示す斜視図である。 ２１，３１……基体、２２，３２……標準片、
２３……取付台、２４……摘み。

Claims (1)

1. 【実用新案登録請求の範囲】 (1) 触針式表面粗さ測定機の校正に供される校正
   用粗さ標準器において、予め所定の表面粗さに
   仕上げられ且つ前記測定機の触針が当接される
   薄膜状の標準片が、被測定対象の形状に相応し
   た形状とされた柱状の基体の表面に沿つて貼設
   されていることを特徴とする校正用粗さ標準
   器。 (2) 実用新案登録請求の範囲第１項において、前
   記基体は取付台に姿勢調整可能に取付けられて
   いることを特徴とする校正用粗さ標準器。