JPH09281075A - 空燃比センサー - Google Patents
空燃比センサーInfo
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- JPH09281075A JPH09281075A JP8115825A JP11582596A JPH09281075A JP H09281075 A JPH09281075 A JP H09281075A JP 8115825 A JP8115825 A JP 8115825A JP 11582596 A JP11582596 A JP 11582596A JP H09281075 A JPH09281075 A JP H09281075A
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- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N27/00—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means
- G01N27/26—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating electrochemical variables; by using electrolysis or electrophoresis
- G01N27/403—Cells and electrode assemblies
- G01N27/406—Cells and probes with solid electrolytes
- G01N27/407—Cells and probes with solid electrolytes for investigating or analysing gases
- G01N27/4071—Cells and probes with solid electrolytes for investigating or analysing gases using sensor elements of laminated structure
Abstract
(57)【要約】
【課題】 急速に昇温し作動させることが出来る空燃比
センサーの提供。 【解決手段】 固体電解質からなる板状の酸素検知用の
反応部（センシングセル１１及びポンピングセル２１）
と，上記反応部を加熱する電熱式の加熱シート３０と
を，適宜スペーサ等を介して積層してなる空燃比センサ
ー１である。加熱シート３０は，α−アルミナ，ステア
タイト及びムライトの中の１つ又は複数を主成分とする
板状の絶縁シート３１と，絶縁シート３１上に膜状に形
成した抵抗素子３２と，抵抗素子３２を覆うα−アルミ
ナ，ステアタイト及びムライトの中の１つ又は複数を主
成分とする板状の絶縁シート３３とを有しており，抵抗
素子３２の抵抗温度係数は０．５×１０3 〜２．０×１
０3 ｐｐｍ／℃の範囲内にある。
センサーの提供。 【解決手段】 固体電解質からなる板状の酸素検知用の
反応部（センシングセル１１及びポンピングセル２１）
と，上記反応部を加熱する電熱式の加熱シート３０と
を，適宜スペーサ等を介して積層してなる空燃比センサ
ー１である。加熱シート３０は，α−アルミナ，ステア
タイト及びムライトの中の１つ又は複数を主成分とする
板状の絶縁シート３１と，絶縁シート３１上に膜状に形
成した抵抗素子３２と，抵抗素子３２を覆うα−アルミ
ナ，ステアタイト及びムライトの中の１つ又は複数を主
成分とする板状の絶縁シート３３とを有しており，抵抗
素子３２の抵抗温度係数は０．５×１０3 〜２．０×１
０3 ｐｐｍ／℃の範囲内にある。
Description
【０００１】
【技術分野】本発明は，シート状の素子部と加熱部とを
積層してなる空燃比センサーに関し，特に始動の高速性
と耐久性とを合わせて実現することの出来る空燃比セン
サーに関する。
積層してなる空燃比センサーに関し，特に始動の高速性
と耐久性とを合わせて実現することの出来る空燃比セン
サーに関する。
【０００２】
【従来技術】内燃機関の空燃比が適切でないと，車両の
燃費が悪化すると共に大気汚染の原因となる。そのた
め，空燃比センサーを用いて内燃機関の空燃比を検出し
空燃比を適切にする制御が行われている。そして，上記
空燃比センサーは，車両の始動時から迅速に作動出来る
ものが望まれており，このような高速応答性を実現する
ために，固体電解質を用いたシート状の素子部とシート
状の加熱部とを一体に積層してなる積層型の空燃比セン
サーが知られている。
燃費が悪化すると共に大気汚染の原因となる。そのた
め，空燃比センサーを用いて内燃機関の空燃比を検出し
空燃比を適切にする制御が行われている。そして，上記
空燃比センサーは，車両の始動時から迅速に作動出来る
ものが望まれており，このような高速応答性を実現する
ために，固体電解質を用いたシート状の素子部とシート
状の加熱部とを一体に積層してなる積層型の空燃比セン
サーが知られている。
【０００３】例えば，図１０に示すように，積層型の空
燃比センサー９０は，ジルコニア系固体電解質のシート
に多孔質の電極９１１，９１２を備えた酸素ポンプセル
９１と，同様にジルコニア系固体電解質のシートと多孔
質の電極９２１，９２２とを備え環境の酸素分圧に対応
して電気化学的な変化を示す酸素センシングセル９２と
を有し，上記酸素ポンプセル９１と酸素センシングセル
９２との間に測定ガス室９３を配置し，酸素センシング
セル９２の他方の側に基準ガス室９４を配置する。
燃比センサー９０は，ジルコニア系固体電解質のシート
に多孔質の電極９１１，９１２を備えた酸素ポンプセル
９１と，同様にジルコニア系固体電解質のシートと多孔
質の電極９２１，９２２とを備え環境の酸素分圧に対応
して電気化学的な変化を示す酸素センシングセル９２と
を有し，上記酸素ポンプセル９１と酸素センシングセル
９２との間に測定ガス室９３を配置し，酸素センシング
セル９２の他方の側に基準ガス室９４を配置する。
【０００４】上記測定ガス室９３は，上記酸素ポンプセ
ル９１のガス拡散制御部９１３を介して被測定ガスに満
ちた外部に連通し，酸素ポンプセル９１によって周囲の
被測定ガス雰囲気との間に酸素の汲み入れ又は汲み出し
を行うものである。そして，酸素センシングセル９２
は，大気を導入した基準ガス室９４と比較して測定ガス
室９３内の酸素ガス分圧を検知する。
ル９１のガス拡散制御部９１３を介して被測定ガスに満
ちた外部に連通し，酸素ポンプセル９１によって周囲の
被測定ガス雰囲気との間に酸素の汲み入れ又は汲み出し
を行うものである。そして，酸素センシングセル９２
は，大気を導入した基準ガス室９４と比較して測定ガス
室９３内の酸素ガス分圧を検知する。
【０００５】また，基準ガス室９４の他方の側部には，
センサーを迅速に立ち上げ且つ温度をほぼ一定に保持す
るために，抵抗素子９５１を備えた加熱シート９５が配
設されている。加熱シート９５は，ヒーター電源９５５
から抵抗素子９５１に電力の供給を受けて昇温し，酸素
ポンプセル９１及び酸素センシングセル９２の電極９１
１，９１２，９２１，９２２の近傍を加熱する。
センサーを迅速に立ち上げ且つ温度をほぼ一定に保持す
るために，抵抗素子９５１を備えた加熱シート９５が配
設されている。加熱シート９５は，ヒーター電源９５５
から抵抗素子９５１に電力の供給を受けて昇温し，酸素
ポンプセル９１及び酸素センシングセル９２の電極９１
１，９１２，９２１，９２２の近傍を加熱する。
【０００６】上記抵抗素子９５１は，Ｐｔ系合金とアル
ミナとのサーメットからなり，アルミナの絶縁シート９
５２上に膜状に形成され，アルミナの絶縁シート９５３
で覆われている。また，空燃比センサー９０は，通常抵
抗素子９５１の抵抗値の変化に基づいて素子の温度を制
御する（図１１参照）。図１１において，Ｒ0 は室温
（２０℃）での抵抗値を示し，ＲT は温度Ｔにおける抵
抗値を示す。
ミナとのサーメットからなり，アルミナの絶縁シート９
５２上に膜状に形成され，アルミナの絶縁シート９５３
で覆われている。また，空燃比センサー９０は，通常抵
抗素子９５１の抵抗値の変化に基づいて素子の温度を制
御する（図１１参照）。図１１において，Ｒ0 は室温
（２０℃）での抵抗値を示し，ＲT は温度Ｔにおける抵
抗値を示す。
【０００７】また，図１０において，符号９６１は測定
ガス室９３を穿設したアルミナシート，符号９６２は基
準ガス室９４を穿設したアルミナシートである。また，
符号９７は検出信号を増幅するアンプ，符号９７１はア
ンプ９７の入力レベルを決める基準電圧源，符号９７２
は印加電圧のレベルを調整する分圧抵抗である。
ガス室９３を穿設したアルミナシート，符号９６２は基
準ガス室９４を穿設したアルミナシートである。また，
符号９７は検出信号を増幅するアンプ，符号９７１はア
ンプ９７の入力レベルを決める基準電圧源，符号９７２
は印加電圧のレベルを調整する分圧抵抗である。
【０００８】そして，車両の空燃比センサーは，逐次基
準が強化されつつある排気ガス規制に対応するため，車
両の始動後できるだけ速やかに作動することが要求され
ている。そのため，センサーが作動する温度まで迅速に
昇温させる必要があり，ヒーターと反応部との間の熱伝
導の良好な上記積層型の構造の空燃比センサー９０が注
目されている。
準が強化されつつある排気ガス規制に対応するため，車
両の始動後できるだけ速やかに作動することが要求され
ている。そのため，センサーが作動する温度まで迅速に
昇温させる必要があり，ヒーターと反応部との間の熱伝
導の良好な上記積層型の構造の空燃比センサー９０が注
目されている。
【０００９】
【解決しようとする課題】しかしながら，上記空燃比セ
ンサー９０を高速に立ち上げるために固体電解質の素子
を急速に加熱すると，昇温時に素子が割れるという不具
合が発生し寿命を短くするという問題がある。そして，
近年ＨＣに対して更に厳しい規制値の設定が予定されて
おり，このＨＣはエンジン始動初期に大量に発生するの
で，このような基準に対応するためには，エンジン始動
後５秒以内にセンサを作動させなければならず，急速に
素子を加熱する必要がある為，熱応力によって生ずる素
子の破壊現象に対処する必要がある。
ンサー９０を高速に立ち上げるために固体電解質の素子
を急速に加熱すると，昇温時に素子が割れるという不具
合が発生し寿命を短くするという問題がある。そして，
近年ＨＣに対して更に厳しい規制値の設定が予定されて
おり，このＨＣはエンジン始動初期に大量に発生するの
で，このような基準に対応するためには，エンジン始動
後５秒以内にセンサを作動させなければならず，急速に
素子を加熱する必要がある為，熱応力によって生ずる素
子の破壊現象に対処する必要がある。
【００１０】即ち，図１０に示す積層型の空燃比センサ
ー９０において，５秒以内に室温から素子の作動開始温
度である６００℃近傍に急速加熱すると，絶縁シート９
５２，９５３が熱応力に耐えられず破損するという不具
合が発生する。本発明は，かかる従来の問題点に鑑みて
なされたものであり，急速に昇温させ作動させることが
出来ると共に耐久性に優れた空燃比センサーを提供しよ
うとするものである。
ー９０において，５秒以内に室温から素子の作動開始温
度である６００℃近傍に急速加熱すると，絶縁シート９
５２，９５３が熱応力に耐えられず破損するという不具
合が発生する。本発明は，かかる従来の問題点に鑑みて
なされたものであり，急速に昇温させ作動させることが
出来ると共に耐久性に優れた空燃比センサーを提供しよ
うとするものである。
【００１１】
【課題の解決手段】請求項１の発明によれば，積層型空
燃比センサーを構成する加熱シートは，α−アルミナ，
ステアタイト及びムライトの中の１つ又は複数を主成分
とする板状の絶縁シートと，この絶縁シート上に膜状に
形成した抵抗素子と，この抵抗素子を覆うα−アルミ
ナ，ステアタイト及びムライトの中の１つ又は複数を主
成分とする板状の絶縁シートとからなり，抵抗素子の抵
抗温度係数は０．５×１０3 〜２．０×１０3 ｐｐｍ／
℃の範囲内にある。その結果，反応部の温度上昇カーブ
における温度の変化率（ｄＴ／ｄｔ）が小さくなり（図
９から図６への変化），実験データによって詳細に後述
するように，始動時に素子が破損する不具合を抑制する
ことができる。
燃比センサーを構成する加熱シートは，α−アルミナ，
ステアタイト及びムライトの中の１つ又は複数を主成分
とする板状の絶縁シートと，この絶縁シート上に膜状に
形成した抵抗素子と，この抵抗素子を覆うα−アルミ
ナ，ステアタイト及びムライトの中の１つ又は複数を主
成分とする板状の絶縁シートとからなり，抵抗素子の抵
抗温度係数は０．５×１０3 〜２．０×１０3 ｐｐｍ／
℃の範囲内にある。その結果，反応部の温度上昇カーブ
における温度の変化率（ｄＴ／ｄｔ）が小さくなり（図
９から図６への変化），実験データによって詳細に後述
するように，始動時に素子が破損する不具合を抑制する
ことができる。
【００１２】従来の空燃比センサー９０における抵抗素
子９５１の発熱体であるＰｔの抵抗温度係数は，約３．
１×１０3 ｐｐｍ／℃である。そのため，自己発熱によ
り図１１に示すように抵抗値が変化し，その結果一定電
圧を印加した場合にその発熱量は図８に示すように抵抗
値に反比例するように変化する。そして，上記抵抗素子
９５１によって加熱される空燃比センサー９０の素子
は，図９に示すように昇温する。
子９５１の発熱体であるＰｔの抵抗温度係数は，約３．
１×１０3 ｐｐｍ／℃である。そのため，自己発熱によ
り図１１に示すように抵抗値が変化し，その結果一定電
圧を印加した場合にその発熱量は図８に示すように抵抗
値に反比例するように変化する。そして，上記抵抗素子
９５１によって加熱される空燃比センサー９０の素子
は，図９に示すように昇温する。
【００１３】図９に示すように，始動後の時間によって
素子の昇温温度勾配（℃／秒）が変化し，この温度勾配
に対応した熱応力が素子及び加熱シートに逐次発生す
る。そして，この熱応力（即ち温度勾配）が素子を構成
する部材，とくに発熱部の絶縁シート９５２，９５３の
強度の限界を越えると，絶縁シート９５２，９５３の破
損を引き起こすこととなる。
素子の昇温温度勾配（℃／秒）が変化し，この温度勾配
に対応した熱応力が素子及び加熱シートに逐次発生す
る。そして，この熱応力（即ち温度勾配）が素子を構成
する部材，とくに発熱部の絶縁シート９５２，９５３の
強度の限界を越えると，絶縁シート９５２，９５３の破
損を引き起こすこととなる。
【００１４】しかしながら，請求項１の発明では，抵抗
素子の抵抗温度係数は０．５×１０3 〜２．０×１０3
ｐｐｍ／℃の範囲内とし，従来の抵抗温度係数３．１×
１０3 ｐｐｍ／℃よりも低く設定した。そのため，始動
時の温度の変化率が小さくなり，α−アルミナ，ステア
タイト及びムライトの中の１つ又は複数を主成分とする
板状の絶縁シートを用いた場合に，始動時の熱応力によ
る破損が生じなくなる。しかしながら，一方では，抵抗
温度係数の絶対値が小さくなり過ぎると，抵抗値の変化
に基づいて素子の温度を検知することが困難となり，温
度検知精度が低下するという問題が生ずる。従って，抵
抗温度係数は，０．５×１０3 ｐｐｍ／℃以上であるこ
とが好ましい。
素子の抵抗温度係数は０．５×１０3 〜２．０×１０3
ｐｐｍ／℃の範囲内とし，従来の抵抗温度係数３．１×
１０3 ｐｐｍ／℃よりも低く設定した。そのため，始動
時の温度の変化率が小さくなり，α−アルミナ，ステア
タイト及びムライトの中の１つ又は複数を主成分とする
板状の絶縁シートを用いた場合に，始動時の熱応力によ
る破損が生じなくなる。しかしながら，一方では，抵抗
温度係数の絶対値が小さくなり過ぎると，抵抗値の変化
に基づいて素子の温度を検知することが困難となり，温
度検知精度が低下するという問題が生ずる。従って，抵
抗温度係数は，０．５×１０3 ｐｐｍ／℃以上であるこ
とが好ましい。
【００１５】そして，上記範囲の抵抗温度係数を容易に
実現することが出来ると共に，絶縁シート上に膜状に抵
抗層を形成することの出来る加工性に優れた抵抗材料と
して，請求項２記載のように，Ｐｔ−Ｒｈ系合金，Ｐｔ
−Ｐｄ系合金又はＰｔ−Ｉｒ系合金と，アルミナとを含
むサーメットがある。
実現することが出来ると共に，絶縁シート上に膜状に抵
抗層を形成することの出来る加工性に優れた抵抗材料と
して，請求項２記載のように，Ｐｔ−Ｒｈ系合金，Ｐｔ
−Ｐｄ系合金又はＰｔ−Ｉｒ系合金と，アルミナとを含
むサーメットがある。
【００１６】 〔発明の詳細な説明〕 実施形態例１ 本例は，図１，図２に示すように，固体電解質からなる
板状の酸素検知用の反応部（センシングセル１１及びポ
ンピングセル２１）と，上記反応部を加熱する電熱式の
加熱シート３０とを，適宜スペーサ等を介して積層して
なる空燃比センサー１である。加熱シート３０は，α−
アルミナ，ステアタイト及びムライトの中の１つ又は複
数を主成分とする板状の絶縁シート３１と，この絶縁シ
ート３１上に膜状に形成した抵抗素子３２と，抵抗素子
３２を覆うα−アルミナ，ステアタイト及びムライトの
中の１つ又は複数を主成分とする板状の絶縁シート３３
とを有している。そして，抵抗素子３２の抵抗温度係数
は，図４の直線６１，６２の傾きが示すように，０．５
×１０3 〜２．０×１０3 ｐｐｍ／℃の範囲内にあり，
抵抗素子３２は，Ｐｔ−Ｐｄ系合金とアルミナとを含む
サーメットにより構成されている。
板状の酸素検知用の反応部（センシングセル１１及びポ
ンピングセル２１）と，上記反応部を加熱する電熱式の
加熱シート３０とを，適宜スペーサ等を介して積層して
なる空燃比センサー１である。加熱シート３０は，α−
アルミナ，ステアタイト及びムライトの中の１つ又は複
数を主成分とする板状の絶縁シート３１と，この絶縁シ
ート３１上に膜状に形成した抵抗素子３２と，抵抗素子
３２を覆うα−アルミナ，ステアタイト及びムライトの
中の１つ又は複数を主成分とする板状の絶縁シート３３
とを有している。そして，抵抗素子３２の抵抗温度係数
は，図４の直線６１，６２の傾きが示すように，０．５
×１０3 〜２．０×１０3 ｐｐｍ／℃の範囲内にあり，
抵抗素子３２は，Ｐｔ−Ｐｄ系合金とアルミナとを含む
サーメットにより構成されている。
【００１７】以下，それぞれについて説明を補足する。
センシングセル１１は，図１，図２に示すように，固体
電解質（ジルコニア）のシート１１０の両面に検出信号
（酸素の濃淡起電力）を取り出す電極１２１，１２２が
配置されている。そして一方の電極（測定電極）１２２
は，図１に示すように，スルーホール１２５や導電体を
介して他方の電極（基準電極）１２１の配置面に設けた
端子パターン１２４と接続されている。そして，それぞ
れの電極１２１，１２２は，端子パターン１２３，１２
４を経てリード線１４１，１４２と電気的に接続されて
いる。また，リード線１４１，１４２は，セラミックシ
ート３５と固体電解質シート１１０によって挟持されて
いる。
センシングセル１１は，図１，図２に示すように，固体
電解質（ジルコニア）のシート１１０の両面に検出信号
（酸素の濃淡起電力）を取り出す電極１２１，１２２が
配置されている。そして一方の電極（測定電極）１２２
は，図１に示すように，スルーホール１２５や導電体を
介して他方の電極（基準電極）１２１の配置面に設けた
端子パターン１２４と接続されている。そして，それぞ
れの電極１２１，１２２は，端子パターン１２３，１２
４を経てリード線１４１，１４２と電気的に接続されて
いる。また，リード線１４１，１４２は，セラミックシ
ート３５と固体電解質シート１１０によって挟持されて
いる。
【００１８】ポンピングセル２１は，同様に固体電解質
（ジルコニア）のシート２１０の両面に酸素イオンを移
動させるためのポンプ電極２２１，２２２が配置されて
いる。そして一方のポンプ電極２２２は，図１に示すよ
うに，スルーホール２２５や導電体を介して他方のポン
プ電極２２１の配置面に設けた端子パターン２２４と接
続されており，それぞれのポンプ電極２２１，２２２
は，端子パターン２２３，２２４を経てリード線１４
３，１４４と電気的に接続されている。そして，リード
線１４３，１４４は，セラミックシート３６と固体電解
質シート２１０によって挟持される。
（ジルコニア）のシート２１０の両面に酸素イオンを移
動させるためのポンプ電極２２１，２２２が配置されて
いる。そして一方のポンプ電極２２２は，図１に示すよ
うに，スルーホール２２５や導電体を介して他方のポン
プ電極２２１の配置面に設けた端子パターン２２４と接
続されており，それぞれのポンプ電極２２１，２２２
は，端子パターン２２３，２２４を経てリード線１４
３，１４４と電気的に接続されている。そして，リード
線１４３，１４４は，セラミックシート３６と固体電解
質シート２１０によって挟持される。
【００１９】また，上記セラミックシート３６には，測
定ガス室３６０がを設けられ，セラミックシート３５に
は，大気を導入する基準ガス室３５０が形成されてい
る。一方，セラミックシート３５の反対側の面に配置さ
れた加熱シート３０は，絶縁シート３１の上に抵抗素子
３２が印刷されており，抵抗素子３２は抵抗温度係数が
２．０×１０3 ｐｐｍ／℃以下の抵抗発熱体からなる。
そして，抵抗素子３２は，絶縁カバー３３と絶縁シート
３１によって挟持されるリード線３４と接続されてい
る。
定ガス室３６０がを設けられ，セラミックシート３５に
は，大気を導入する基準ガス室３５０が形成されてい
る。一方，セラミックシート３５の反対側の面に配置さ
れた加熱シート３０は，絶縁シート３１の上に抵抗素子
３２が印刷されており，抵抗素子３２は抵抗温度係数が
２．０×１０3 ｐｐｍ／℃以下の抵抗発熱体からなる。
そして，抵抗素子３２は，絶縁カバー３３と絶縁シート
３１によって挟持されるリード線３４と接続されてい
る。
【００２０】次に上記空燃比センサー１の製造工程につ
いて説明する。始めに，センシングセル１１とポンピン
グセル２１に用いるジルコニア生シートの製造について
説明する。最初に，６モル％のイットリアと９４モル％
ジルコニアからなる平均粒径０．５μｍのイットリア部
分安定化ジルコニア１００部（重量部，以下同じ），α
−アルミナ１部，ＰＶＢ（ポリビニルブチラール）５
部，ＤＢＰ（ディブチルフタレート）１０部，エタノー
ル１０部，トルエン１０部よりなるセラミック混合物を
用意する。
いて説明する。始めに，センシングセル１１とポンピン
グセル２１に用いるジルコニア生シートの製造について
説明する。最初に，６モル％のイットリアと９４モル％
ジルコニアからなる平均粒径０．５μｍのイットリア部
分安定化ジルコニア１００部（重量部，以下同じ），α
−アルミナ１部，ＰＶＢ（ポリビニルブチラール）５
部，ＤＢＰ（ディブチルフタレート）１０部，エタノー
ル１０部，トルエン１０部よりなるセラミック混合物を
用意する。
【００２１】次いで，このセラミック混合物をボールミ
ルの中で一様に混合し，そのスラリーをドクターブレー
ド法によって，乾燥時の厚さが０．３ｍｍとなるように
シート状に成形する。そして，得られたシート状の成形
体を５×７０ｍｍの長方形に切断し，前記測定電極１２
２を基準電極１２１の側の端子パターン１２４に接続す
るために，スルーホール２１５を形成する。次に，白金
（Ｐｔ）ペーストを用いて測定電極１２２，基準電極１
２１及び端子パターン１２３，１２４をスクリーン印刷
法により形成し，センシングセル１１の生シートとす
る。
ルの中で一様に混合し，そのスラリーをドクターブレー
ド法によって，乾燥時の厚さが０．３ｍｍとなるように
シート状に成形する。そして，得られたシート状の成形
体を５×７０ｍｍの長方形に切断し，前記測定電極１２
２を基準電極１２１の側の端子パターン１２４に接続す
るために，スルーホール２１５を形成する。次に，白金
（Ｐｔ）ペーストを用いて測定電極１２２，基準電極１
２１及び端子パターン１２３，１２４をスクリーン印刷
法により形成し，センシングセル１１の生シートとす
る。
【００２２】同様に，上記シート状の成形体を５×７０
ｍｍの長方形に切断し，所定の位置に０．５φの排気ガ
ス導入用の穴２１５を開ける。次いで，一方のポンプ電
極２２２を他方のポンプ電極２２１の側の端子パターン
２２４に接続するために，スルーホール２２５を形成す
る。次に，白金（Ｐｔ）ペーストを用いて上記ポンプ電
極２２２，２２１及び端子パターン２２３，２２４をス
クリーン印刷法により形成し，ポンピングセル２１の生
シートとする。
ｍｍの長方形に切断し，所定の位置に０．５φの排気ガ
ス導入用の穴２１５を開ける。次いで，一方のポンプ電
極２２２を他方のポンプ電極２２１の側の端子パターン
２２４に接続するために，スルーホール２２５を形成す
る。次に，白金（Ｐｔ）ペーストを用いて上記ポンプ電
極２２２，２２１及び端子パターン２２３，２２４をス
クリーン印刷法により形成し，ポンピングセル２１の生
シートとする。
【００２３】次に，セラミックシート３５，３６，絶縁
シート３１及び絶縁カバー３３を形成するためのアルミ
ナ生シートの製造について説明する。始めに，平均粒径
０．３μｍのα−アルミナ９８部，６モル％イットリア
部分安定化ジルコニア３部，ＰＶＢ（ポリビニルブチラ
ール）１０部，ＤＢＰ（ディブチルフタレート）１０
部，エタノール３０部，トルエン３０部よりなるセラミ
ック混合物を用意する。次いで，このセラミック混合物
をボールミルの中で一様に混合し，そのスラリーをドク
ターブレード法によって，乾燥時の厚さが０．３ｍｍと
なるようにシート状に成形する。
シート３１及び絶縁カバー３３を形成するためのアルミ
ナ生シートの製造について説明する。始めに，平均粒径
０．３μｍのα−アルミナ９８部，６モル％イットリア
部分安定化ジルコニア３部，ＰＶＢ（ポリビニルブチラ
ール）１０部，ＤＢＰ（ディブチルフタレート）１０
部，エタノール３０部，トルエン３０部よりなるセラミ
ック混合物を用意する。次いで，このセラミック混合物
をボールミルの中で一様に混合し，そのスラリーをドク
ターブレード法によって，乾燥時の厚さが０．３ｍｍと
なるようにシート状に成形する。
【００２４】そして，得られた０．３ｍｍの厚さのシー
ト状の成形体を５×７０ｍｍの長方形に切断し，白金
（Ｐｔ）とパラジウム（Ｐｄ）が重量比で（３：１）に
構成され且つ１０ｗｔ％のアルミナが含まれたペースト
（以下タイプＡのペーストという），又は白金（Ｐｔ）
とパラジウム（Ｐｄ）が重量比で（９：１）に構成され
且つ１０ｗｔ％のアルミナが含まれたペースト（以下タ
イプＢのペーストという），のいずれかのペーストを用
いてスクリーン印刷法により，抵抗素子３２を上記長方
形のシート上に印刷し加熱シート３０を構成する絶縁シ
ート３１の生シートとする。
ト状の成形体を５×７０ｍｍの長方形に切断し，白金
（Ｐｔ）とパラジウム（Ｐｄ）が重量比で（３：１）に
構成され且つ１０ｗｔ％のアルミナが含まれたペースト
（以下タイプＡのペーストという），又は白金（Ｐｔ）
とパラジウム（Ｐｄ）が重量比で（９：１）に構成され
且つ１０ｗｔ％のアルミナが含まれたペースト（以下タ
イプＢのペーストという），のいずれかのペーストを用
いてスクリーン印刷法により，抵抗素子３２を上記長方
形のシート上に印刷し加熱シート３０を構成する絶縁シ
ート３１の生シートとする。
【００２５】なお，上記抵抗素子３２を印刷する領域
は，センシングセル１１及びポンピングセル２１の電極
１２１，１２２，２２１，２２２を投影させた領域を完
全に内側に含む領域とし，かつ抵抗素子３２の端子間の
抵抗値が所定の値，例えば２．０Ωとなるようにする。
そして，上記シート状の成形体を５×７０ｍｍの長方形
に切断し，加熱シート３０を構成する絶縁カバー３３の
生シートとする。
は，センシングセル１１及びポンピングセル２１の電極
１２１，１２２，２２１，２２２を投影させた領域を完
全に内側に含む領域とし，かつ抵抗素子３２の端子間の
抵抗値が所定の値，例えば２．０Ωとなるようにする。
そして，上記シート状の成形体を５×７０ｍｍの長方形
に切断し，加熱シート３０を構成する絶縁カバー３３の
生シートとする。
【００２６】また，センシングセル１１とポンピングセ
ル２１の間に挟持されるセラミックシート３６の場合に
は，上記０．３ｍｍの厚さのシート状の成形体を５×７
０ｍｍの長方形に切断し，測定電極１２１とポンプ電極
２２１との間に空間が生ずるように，測定ガス室３６０
用の長方形の穴を設けて生シートとする。
ル２１の間に挟持されるセラミックシート３６の場合に
は，上記０．３ｍｍの厚さのシート状の成形体を５×７
０ｍｍの長方形に切断し，測定電極１２１とポンプ電極
２２１との間に空間が生ずるように，測定ガス室３６０
用の長方形の穴を設けて生シートとする。
【００２７】一方，センシングセル１１と加熱シート３
０の間に挟持されるセラミックシート３５の場合には，
上記０．３ｍｍ厚のシート状の成形体と同一の製法によ
り製造した０．５ｍｍの厚さの成形体を５×７０ｍｍの
長方形に切断する。そして，この長方形のシートのリー
ド線を配置する側から２×６５ｍｍの大きさの長方形の
領域を切除し，コの字形の帯状の生シートを形成する。
そして，上記長方形の切除部が前記基準ガス室３５０を
形成する。
０の間に挟持されるセラミックシート３５の場合には，
上記０．３ｍｍ厚のシート状の成形体と同一の製法によ
り製造した０．５ｍｍの厚さの成形体を５×７０ｍｍの
長方形に切断する。そして，この長方形のシートのリー
ド線を配置する側から２×６５ｍｍの大きさの長方形の
領域を切除し，コの字形の帯状の生シートを形成する。
そして，上記長方形の切除部が前記基準ガス室３５０を
形成する。
【００２８】また，リード線１４１〜１４４は，０．２
φの１３％Ｒｈ−Ｐｔ線を長さ７ｍｍに切ったものを用
いる。そして，上記各生シート（所謂グリーンシート）
とリード線１４１〜１４４とを，常温にて感圧接着性を
有するペーストを用いて図１に示す配置に従って積層し
て圧着して積層体とする。次いで，この積層体を１５０
０℃で１時間焼成して本例の空燃比センサー１の本体を
製造する。
φの１３％Ｒｈ−Ｐｔ線を長さ７ｍｍに切ったものを用
いる。そして，上記各生シート（所謂グリーンシート）
とリード線１４１〜１４４とを，常温にて感圧接着性を
有するペーストを用いて図１に示す配置に従って積層し
て圧着して積層体とする。次いで，この積層体を１５０
０℃で１時間焼成して本例の空燃比センサー１の本体を
製造する。
【００２９】次に，本例の空燃比センサー１の特性を従
来装置の特性と比較した実験の結果を示す。なお，下記
に述べる実験において本例の空燃比センサー１と比較す
るために，比較用に製作した従来型の空燃比センサー
は，抵抗素子を形成するペーストとして従来から用いら
れているＰｔと１０ｗｔ％のアルミナからなるペースト
（以下タイプＭのペーストという）を用い，本例の空燃
比センサー１と全く同様に構成されたものである。そし
て，その抵抗温度係数は，図４の直線９９１で示すよう
な特性を有している。
来装置の特性と比較した実験の結果を示す。なお，下記
に述べる実験において本例の空燃比センサー１と比較す
るために，比較用に製作した従来型の空燃比センサー
は，抵抗素子を形成するペーストとして従来から用いら
れているＰｔと１０ｗｔ％のアルミナからなるペースト
（以下タイプＭのペーストという）を用い，本例の空燃
比センサー１と全く同様に構成されたものである。そし
て，その抵抗温度係数は，図４の直線９９１で示すよう
な特性を有している。
【００３０】そして，上記実験に供した各空燃比センサ
ーの抵抗素子の抵抗温度係数は下記に述べる方法で測定
した。上記抵抗温度係数を測定するために，白金（Ｐ
ｔ）とパラジウム（Ｐｄ）が重量比で（３：１）に構成
され且つ１０ｗｔ％のアルミナが含まれた前記タイプＡ
のペースト，及び白金（Ｐｔ）とパラジウム（Ｐｄ）が
重量比で（９：１）に構成され且つ１０ｗｔ％のアルミ
ナが含まれた前記タイプＢのペースト，そして従来から
用いられているＰｔと１０ｗｔ％のアルミナからなるタ
イプＭのペーストの３種類のペーストを用意し，それぞ
れのペーストを用いて絶縁シート３１に抵抗素子をスク
リーン印刷し，それぞれを前記抵抗値に設定して３種類
の比較用の抵抗素子シートを準備した。
ーの抵抗素子の抵抗温度係数は下記に述べる方法で測定
した。上記抵抗温度係数を測定するために，白金（Ｐ
ｔ）とパラジウム（Ｐｄ）が重量比で（３：１）に構成
され且つ１０ｗｔ％のアルミナが含まれた前記タイプＡ
のペースト，及び白金（Ｐｔ）とパラジウム（Ｐｄ）が
重量比で（９：１）に構成され且つ１０ｗｔ％のアルミ
ナが含まれた前記タイプＢのペースト，そして従来から
用いられているＰｔと１０ｗｔ％のアルミナからなるタ
イプＭのペーストの３種類のペーストを用意し，それぞ
れのペーストを用いて絶縁シート３１に抵抗素子をスク
リーン印刷し，それぞれを前記抵抗値に設定して３種類
の比較用の抵抗素子シートを準備した。
【００３１】そして，上記抵抗素子の抵抗温度係数を測
定するために，各サンプルにＰｔのリード線を取り付け
た後，任意の温度に設定可能な電気炉の中にセットし
た。そして，図７に示すように，抵抗素子３２に電源４
５から電圧を加え，電圧計４７で抵抗素子３２の端子間
の電圧を測定し，電流計４６で抵抗素子３２に流れる電
流を測定した。そして，上記電圧値と電流値とから各サ
ンプルの抵抗値を測定した。その結果は，図４にプロッ
トして示されており，同図において，直線９９１は従来
の抵抗素子（ペーストＭ）を，直線６１は本例のペース
トＡの抵抗素子を，そして直線６２は本例のペーストＢ
の抵抗素子を示す。
定するために，各サンプルにＰｔのリード線を取り付け
た後，任意の温度に設定可能な電気炉の中にセットし
た。そして，図７に示すように，抵抗素子３２に電源４
５から電圧を加え，電圧計４７で抵抗素子３２の端子間
の電圧を測定し，電流計４６で抵抗素子３２に流れる電
流を測定した。そして，上記電圧値と電流値とから各サ
ンプルの抵抗値を測定した。その結果は，図４にプロッ
トして示されており，同図において，直線９９１は従来
の抵抗素子（ペーストＭ）を，直線６１は本例のペース
トＡの抵抗素子を，そして直線６２は本例のペーストＢ
の抵抗素子を示す。
【００３２】そして，次式により抵抗温度係数を算出し
た。次式において，Ｒ1000は１０００℃における抵抗値
を，Ｒ20は２０℃における抵抗値を示し，抵抗温度係数
の単位はｐｐｍ／℃である。 抵抗温度係数＝｛（Ｒ1000−Ｒ20）／Ｒ20｝÷（１００
０−２０）×１０6 算出結果を表２に示す。
た。次式において，Ｒ1000は１０００℃における抵抗値
を，Ｒ20は２０℃における抵抗値を示し，抵抗温度係数
の単位はｐｐｍ／℃である。 抵抗温度係数＝｛（Ｒ1000−Ｒ20）／Ｒ20｝÷（１００
０−２０）×１０6 算出結果を表２に示す。
【００３３】
【表２】
【００３４】始めに，空燃比センサーの活性化迄の時間
と素子破損との関係の実験結果を示す。実験は，２０
℃，５％の酸素ガスを含む窒素ガス雰囲気に各空燃比セ
ンサーを設置し，図３に示すように，測定ガス室３６０
から外部に酸素を汲み出し汲み入れする為にポンピング
セル２１の電極２２１，２２２間には直流電源４１を介
して１Ｖの直流電圧を印加する。そして，センシングセ
ル１１の電極１２１，１２２間に直流電圧計４２を接続
して出力電圧を測定する。
と素子破損との関係の実験結果を示す。実験は，２０
℃，５％の酸素ガスを含む窒素ガス雰囲気に各空燃比セ
ンサーを設置し，図３に示すように，測定ガス室３６０
から外部に酸素を汲み出し汲み入れする為にポンピング
セル２１の電極２２１，２２２間には直流電源４１を介
して１Ｖの直流電圧を印加する。そして，センシングセ
ル１１の電極１２１，１２２間に直流電圧計４２を接続
して出力電圧を測定する。
【００３５】また，抵抗素子３２には，可変直流安定化
電源４３から任意の電圧が印加出来るようにする。更
に，図示しない熱電対温度計によって加熱シート３０の
温度を測定し，７００℃で抵抗素子３２への電圧印加を
停止するようにした。これは，昇温時の熱応力とは別の
要因によって素子破壊が生じないようにし，昇温による
素子破壊だけが測定できるようにするためである。
電源４３から任意の電圧が印加出来るようにする。更
に，図示しない熱電対温度計によって加熱シート３０の
温度を測定し，７００℃で抵抗素子３２への電圧印加を
停止するようにした。これは，昇温時の熱応力とは別の
要因によって素子破壊が生じないようにし，昇温による
素子破壊だけが測定できるようにするためである。
【００３６】空燃比センサーが活性化したか否かの判定
は，抵抗素子３２とポンピングセル２１とへ同時に電圧
を印加し，センシングセル１１の出力電圧が０．４５Ｖ
になった時点をもって活性化と判定し，その間の時間を
活性化の時間とした。そして，素子破壊（割れ）の有無
は，上記測定後に染材で素子を染色し，破損に伴って割
れ目に発現する色彩の有無によって判定した。表１にそ
の実験結果を示す。
は，抵抗素子３２とポンピングセル２１とへ同時に電圧
を印加し，センシングセル１１の出力電圧が０．４５Ｖ
になった時点をもって活性化と判定し，その間の時間を
活性化の時間とした。そして，素子破壊（割れ）の有無
は，上記測定後に染材で素子を染色し，破損に伴って割
れ目に発現する色彩の有無によって判定した。表１にそ
の実験結果を示す。
【００３７】
【表１】
【００３８】表１から分かるように，従来例と標記する
タイプＭのペーストを用いた空燃比センサーは，５秒間
にセンサーの活性化を行うと素子破損を生ずる（×印で
表示）。しかしながら，抵抗素子３２にタイプＡのペー
ストを用いる本例の空燃比センサー（実施形態例１−１
と表記）及びタイプＢのペーストを用いる本例の空燃比
センサー（実施形態例１−２と表記）は，いずれも素子
破損を生じない（○印で表示）。
タイプＭのペーストを用いた空燃比センサーは，５秒間
にセンサーの活性化を行うと素子破損を生ずる（×印で
表示）。しかしながら，抵抗素子３２にタイプＡのペー
ストを用いる本例の空燃比センサー（実施形態例１−１
と表記）及びタイプＢのペーストを用いる本例の空燃比
センサー（実施形態例１−２と表記）は，いずれも素子
破損を生じない（○印で表示）。
【００３９】表１及び表２から分かるように，５秒間に
実施形態例１の構造の空燃比センサー１を活性化するた
めには，抵抗温度係数が２．０×１０3 ｐｐｍ以下の抵
抗素子を用いればよいことが分かる。なお，熱応力の観
点だけからは，抵抗温度係数は小さい程良いことになる
が，抵抗温度係数に基づいて素子の温度を測定すること
が必要であり，この測定感度の観点からは，抵抗温度係
数は正の値で大きいほど精度を高めることが出来る。そ
のため，抵抗温度係数は０．５×１０3 ｐｐｍ以上であ
ることが好ましい。
実施形態例１の構造の空燃比センサー１を活性化するた
めには，抵抗温度係数が２．０×１０3 ｐｐｍ以下の抵
抗素子を用いればよいことが分かる。なお，熱応力の観
点だけからは，抵抗温度係数は小さい程良いことになる
が，抵抗温度係数に基づいて素子の温度を測定すること
が必要であり，この測定感度の観点からは，抵抗温度係
数は正の値で大きいほど精度を高めることが出来る。そ
のため，抵抗温度係数は０．５×１０3 ｐｐｍ以上であ
ることが好ましい。
【００４０】実施形態例２ 本例は，実施形態例１の空燃比センサー１において，抵
抗素子３２のペーストに更にＲｈ，Ｐｄ，Ｉｒを第二成
分として添加したもう一つの実施形態例である。本例の
実験に供した抵抗素子３２は，Ｐｔの他に表３の左欄に
示すＲｈ，Ｐｄ，Ｉｒのいずれかを第二成分として加
え，Ｐｔと第二成分との比率を表３の左から２番目の欄
に示すように調整したペーストによって形成した。
抗素子３２のペーストに更にＲｈ，Ｐｄ，Ｉｒを第二成
分として添加したもう一つの実施形態例である。本例の
実験に供した抵抗素子３２は，Ｐｔの他に表３の左欄に
示すＲｈ，Ｐｄ，Ｉｒのいずれかを第二成分として加
え，Ｐｔと第二成分との比率を表３の左から２番目の欄
に示すように調整したペーストによって形成した。
【００４１】そして，実施形態例１と同一の方法で活性
化時間と素子割れの有無の関係を測定し，またそれぞれ
のサンプルの抵抗温度係数を測定した。表３の右欄は活
性化時間と素子割れの有無の関係の測定結果を示すもの
であり，表４は抵抗温度係数の値を示す。
化時間と素子割れの有無の関係を測定し，またそれぞれ
のサンプルの抵抗温度係数を測定した。表３の右欄は活
性化時間と素子割れの有無の関係の測定結果を示すもの
であり，表４は抵抗温度係数の値を示す。
【００４２】
【表３】
【００４３】
【表４】
【００４４】表３が示すように，５秒でセンサーの活性
化を行う基準には，ＰｔとＩｒとの比率が３：２の場合
を除いて表３の各サンプル共基準に合格する。そして，
表４によって，この基準を満足するためには抵抗温度係
数が２．０×１０3 ｐｐｍ以下であればよいことが分か
る。
化を行う基準には，ＰｔとＩｒとの比率が３：２の場合
を除いて表３の各サンプル共基準に合格する。そして，
表４によって，この基準を満足するためには抵抗温度係
数が２．０×１０3 ｐｐｍ以下であればよいことが分か
る。
【００４５】更に，Ｒｈ，Ｐｄ，Ｉｒとを比較するなら
ば，Ｉｒには昇華という現象が生ずる問題があるから，
耐久性の点からＰｄ，Ｒｈがより好ましい。また，今回
の実験の対象から除外したＰｔ族元素のＲｕ，Ｏｓにつ
いても第二成分として用いる可能性を有している。ま
た，絶縁シートの材料は，実施形態例で示したものの他
にα−アルミナ，ステアタイト及びムライトと同様の値
の熱膨張係数を有するセラミックを用いることが出来る
と思われる。
ば，Ｉｒには昇華という現象が生ずる問題があるから，
耐久性の点からＰｄ，Ｒｈがより好ましい。また，今回
の実験の対象から除外したＰｔ族元素のＲｕ，Ｏｓにつ
いても第二成分として用いる可能性を有している。ま
た，絶縁シートの材料は，実施形態例で示したものの他
にα−アルミナ，ステアタイト及びムライトと同様の値
の熱膨張係数を有するセラミックを用いることが出来る
と思われる。
【００４６】なお，本例では，アルミナ絶縁シートの原
材料としてα−アルミナを採用しているが，特にこれに
限定されるものでなくγ−アルミナでもよい。即ち，焼
成によって得られた最終物においてα−アルミナであれ
ばよく，原材料がα−アルミナに限定されるものではな
い。また，本願では，抵抗素子３２の抵抗温度係数によ
り，自動的に図５に示すように発熱量が調整される構成
を提示したが，図５に示すのと同様の発熱量の変化とな
るように，従来の抵抗素子に印加する電圧（電流）を制
御することによっても素子の破損を防止することが出来
る。しかしながら，この方法によれば，電圧（電流）の
制御手段が必要となり，より構成が複雑となる。
材料としてα−アルミナを採用しているが，特にこれに
限定されるものでなくγ−アルミナでもよい。即ち，焼
成によって得られた最終物においてα−アルミナであれ
ばよく，原材料がα−アルミナに限定されるものではな
い。また，本願では，抵抗素子３２の抵抗温度係数によ
り，自動的に図５に示すように発熱量が調整される構成
を提示したが，図５に示すのと同様の発熱量の変化とな
るように，従来の抵抗素子に印加する電圧（電流）を制
御することによっても素子の破損を防止することが出来
る。しかしながら，この方法によれば，電圧（電流）の
制御手段が必要となり，より構成が複雑となる。
【図１】実施形態例１の空燃比センサーの分解斜視図。
【図２】実施形態例１の空燃比センサーの横断面図。
【図３】実施形態例１の空燃比センサーの昇温の立ち上
がりの特性を測定する回路を示す図。
がりの特性を測定する回路を示す図。
【図４】実施形態例１の空燃比センサーの抵抗値の変化
を示す図。
を示す図。
【図５】実施形態例１のペーストＡのタイプの抵抗素子
を用いた空燃比センサーの発熱量の変化を示す図。
を用いた空燃比センサーの発熱量の変化を示す図。
【図６】実施形態例１のペーストＡのタイプの抵抗素子
を用いた空燃比センサーの素子の温度変化を示す図。
を用いた空燃比センサーの素子の温度変化を示す図。
【図７】実施形態例１の抵抗素子の抵抗値を測定する回
路を示す図。
路を示す図。
【図８】従来の空燃比センサーの発熱量の変化を示す
図。
図。
【図９】従来の空燃比センサーの素子の温度変化を示す
図。
図。
【図１０】従来の空燃比センサーの横断面図。
【図１１】従来の空燃比センサーの抵抗素子の温度によ
る抵抗値の変化を示す図。
る抵抗値の変化を示す図。
１．．．空燃比センサー， １１．．．センシングセル， ２１．．．ポンピングセル， ３０．．．加熱シート， ３１，３３．．．絶縁シート， ３２．．．抵抗素子，
フロントページの続き (72)発明者 柴田 真弘 愛知県刈谷市昭和町１丁目１番地 日本電 装株式会社内 (72)発明者 中野 秀一 愛知県刈谷市昭和町１丁目１番地 日本電 装株式会社内 (72)発明者 今村 晋一郎 愛知県刈谷市昭和町１丁目１番地 日本電 装株式会社内
Claims (2)
- 【請求項１】 固体電解質からなる板状の酸素検知用の
反応部と，上記反応部を加熱する電熱式の加熱シートと
を，適宜スペーサ等を介して積層してなる空燃比センサ
ーであって，上記加熱シートは，α−アルミナ，ステア
タイト及びムライトの中の１つ又は複数を主成分とする
板状の絶縁シートと，この絶縁シート上に膜状に形成し
た抵抗素子と，この抵抗素子を覆うα−アルミナ，ステ
アタイト及びムライトの中の１つ又は複数を主成分とす
る板状の絶縁シートとを有しており，上記抵抗素子の抵
抗温度係数は０．５×１０3 〜２．０×１０3 ｐｐｍ／
℃の範囲内にあることを特徴とする空燃比センサー。 - 【請求項２】 請求項１において，前記抵抗素子は，Ｐ
ｔ−Ｒｈ系合金，Ｐｔ−Ｐｄ系合金又はＰｔ−Ｉｒ系合
金と，アルミナとを含むサーメットにより構成されてい
ることを特徴とする空燃比センサー。
Priority Applications (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11582596A JP3546590B2 (ja) | 1996-04-12 | 1996-04-12 | 空燃比センサー |
| US08/833,801 US5787866A (en) | 1996-04-12 | 1997-04-09 | Air-fuel ratio sensor |
| DE19715193A DE19715193B8 (de) | 1996-04-12 | 1997-04-11 | Luft/Kraftstoff-Verhältnissensor |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11582596A JP3546590B2 (ja) | 1996-04-12 | 1996-04-12 | 空燃比センサー |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09281075A true JPH09281075A (ja) | 1997-10-31 |
| JP3546590B2 JP3546590B2 (ja) | 2004-07-28 |
Family
ID=14672053
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11582596A Expired - Lifetime JP3546590B2 (ja) | 1996-04-12 | 1996-04-12 | 空燃比センサー |
Country Status (3)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5787866A (ja) |
| JP (1) | JP3546590B2 (ja) |
| DE (1) | DE19715193B8 (ja) |
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| US6578563B2 (en) | 2001-07-27 | 2003-06-17 | Denso Corporation | Power supply control system for heater used in gas sensor |
| JP2004028766A (ja) * | 2002-06-25 | 2004-01-29 | Ngk Spark Plug Co Ltd | ガスセンサの製造方法、及びガスセンサ |
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|---|---|---|---|---|
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| JPH11248675A (ja) * | 1997-12-24 | 1999-09-17 | Robert Bosch Gmbh | 測定ガスのガス濃度を測定する電気化学的測定センサ及びその使用 |
| JP3399349B2 (ja) * | 1998-03-17 | 2003-04-21 | 株式会社村田製作所 | 積層バリスタおよびその製造方法 |
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