JPH09252011A - リッド装着装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】パッケージにリッドを自動的に且つ効率的に装
着することができ、ＣＣＤの組立効率を高めることので
きるリッド装着装置を提供すること。 【解決手段】パッケージに紫外線硬化性の接着剤を塗布
する接着剤塗布機構２６と接着剤が塗布されたパッケー
ジに紫外線を照射する紫外線照射炉３９との間にリッド
セット機構５７を設けた。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、固体撮像装置等を
組立てるときに使用されるリッド装着装置に関するもの
である。

【０００２】

【従来の技術】ビデオカメラ等の撮像手段として用いら
れる固体撮像装置（以下、「ＣＣＤ」と称する。）は、
図３５に示すように、固体撮像素子を収納するパッケー
ジ１と、このパッケージ１の開口部を閉塞する板状の透
明なリッド２とを有しており、このリッド２を例えば低
融点ガラスからなる接着剤でパッケージ１に接着した構
造となっている。

【０００３】このようなＣＣＤを組み立てる場合、従来
はパッケージ１の開口部にリッド２を手作業でセットし
た後、パッケージ１およびリッド２を真空加熱炉の中で
加熱し、リッド２の裏面に予め塗布された接着剤を溶融
させてパッケージ１にリッド２を接着している。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】このため、従来ではパ
ッケージ１にリッド２を接着するまでに５０分程度かか
り、生産性が低いという難点があった。また、接着剤と
しての低融点ガラスをリッド２の裏面に塗布する際にリ
ッド２の両端部をハンドリング装置で把持する必要があ
るため、リッド２に傷や汚れ等が生じ易いという難点が
あった。

【０００５】本発明は上述した問題点に鑑みてなされた
もので、その目的はパッケージにリッドを自動的に且つ
効率的に装着することのできるリッド装着装置を提供し
ようとするものである。

【０００６】

【課題を解決するための手段】前記課題を解決するため
の手段として、請求項１に記載された発明は、架台と、
この架台上に設けられた一対のガイドレールと、前記架
台の一端部側に設けられ前記ガイドレール上に複数個の
パッケージを搭載したパッケージ搬送ボートを供給する
ローダと、前記架台に設けられ前記ローダにより前記ガ
イドレール上に供給された前記パッケージ搬送ボートを
前記架台の他端部へ所定ピッチずつ搬送するボート搬送
機構と、前記架台に設けられ前記ボート搬送機構により
前記ガイドレール上の所定位置に搬送された前記パッケ
ージを前記ガイドレールの上方に押上げるパッケージ押
上げ機構と、前記架台上に設けられ前記パッケージ押上
げ機構により前記ガイドレールの上方に押上げられた前
記パッケージの所定部位に紫外線硬化性の接着剤を塗布
する接着剤塗布機構と、前記架台上に設けられ前記接着
剤塗布機構により前記接着剤が塗布された前記パッケー
ジに紫外線を照射する紫外線照射炉と、この紫外線照射
炉と前記接着剤塗布機構との間の前記架台上に設けられ
前記パッケージの所定部位に該パッケージの開口部を閉
塞する透明なリッドをセットするリッドセット機構と、
前記架台の他端部側に設けられ前記紫外線照射炉内を通
過した前記パッケージを回収するアンローダとを具備す
るようにした。

【０００７】請求項２に記載された発明は、請求項１に
記載された発明において、前記ローダと前記接着剤塗布
機構との間の前記架台上には、前記パッケージにイオン
化された不活性ガスを吹き付ける不活性ガスブロー装置
が設けられている。

【０００８】請求項３に記載された発明は、請求項１に
記載された発明において、前記紫外線照射炉は、前記ガ
イドレールの上方に紫外線ランプを備え、前記紫外線ラ
ンプと前記ガイドレールとの間には、紫外線透過プレー
トが設けられている。

【０００９】請求項４に記載された発明は、請求項３に
記載された発明において、前記紫外線照射炉の内部に
は、前記パッケージ搬送ボートに搭載された複数個のパ
ッケージを前記ガイドレールの上方に押上げるパッケー
ジ昇降機構が設けられている。

【００１０】請求項５に記載された発明は、請求項１に
記載された発明において、前記紫外線照射炉は、前記リ
ッドを加圧する加圧パッドを備えている。

【００１１】請求項６に記載された発明は、請求項５に
記載された発明において、前記加圧パッドは、前記紫外
線透過プレートを貫通する軸と、この軸の下端に設けら
れたパッド部とを備えている。

【００１２】請求項７に記載された発明は、請求項４に
記載された発明において、前記パッケージ昇降機構は、
上下方向に伸縮する複数本のピストンロッドを有し、こ
れらピストンロッドの上端には、前記パッケージを互い
に交差する２つの水平軸を中心として揺動自在に支持す
るパッケージ支持機構が設けられている。

【００１３】請求項８に記載された発明は、請求項７に
記載された発明において、前記パッケージ支持機構は、
前記ピストンロッドの上端部に固定された固定ベース
と、この固定ベースに枢支軸を介して揺動自在に枢支さ
れた揺動部材と、この揺動部材の両端に枢支軸を介して
揺動自在に枢支された一対のサポート部材とで構成され
ている。

【００１４】請求項９に記載された発明は、請求項１に
記載された発明において、前記リッドセット機構は、前
記リッドを吸着するリッド吸着ヘッドを備えている。

【００１５】請求項１０に記載された発明は、請求項９
に記載された発明において、前記架台上には、前記リッ
ド吸着ヘッドに吸着された前記リッドの裏面にイオン化
された不活性ガスを吹き付ける不活性ガスブロー手段が
設けられている。

【００１６】請求項１１に記載された発明は、請求項１
に記載された発明において、前記リッドセット機構は、
前記パッケージの所定部位にセットされた前記リッドに
紫外線を照射する紫外線照射手段を備えている。

【００１７】請求項１２に記載された発明は、請求項１
に記載された発明において、前記リッドセット機構は、
前記パッケージの開口部に不活性ガスを吹き付けて前記
パッケージの内部を空気雰囲気から不活性ガス雰囲気に
置換する不活性ガスブロー手段を備えている。

【００１８】請求項１３に記載された発明は、請求項１
に記載された発明において、前記ボート搬送機構を駆動
制御する制御手段と、前記接着剤塗布機構と前記リッド
セット機構及び前記リッドセット機構と前記紫外線照射
炉との間に設けられ前記パッケージ搬送ボートに搭載さ
れた前記パッケージの上下方向の傾きを光学的に検出す
る傾き検出機構とを具備し、前記制御手段は、前記傾き
検出機構が前記パッケージの上下方向の傾きを検出した
ときのに基づき前記ボート搬送機構に搬送停止信号を送
出する。

【００１９】請求項１４に記載された発明は、請求項１
に記載された発明において、前記紫外線照射炉は、前記
パッケージの所定部位を前記リッドに押圧する加圧機構
と、この加圧機構による加圧力を制御する加圧力可変機
構とを備えている。

【００２０】請求項１５に記載された発明は、請求項１
に記載された発明において、前記接着剤塗布機構は、塗
布された前記接着剤の塗布状態を検査する塗布状態検査
機構を備えている。

【００２１】請求項１６に記載された発明は、請求項１
に記載された発明において、前記接着剤塗布機構は、平
板状のベース部及びこのベース部の周縁部に設けられた
矩形状の枠部とを有する前記パッケージの前記枠部の隅
部の外側から内側に向けて光を照射する照射部と、前記
パッケージを撮像する撮像部と、この撮像部により得ら
れた前記パッケージの画像における明暗差に基づいて前
記パッケージの姿勢を認識する認識部とを備えている。

【００２２】請求項１７に記載された発明は、請求項１
６に記載された発明において、前記照射部は前記枠部の
前記隅部のうち少なくとも２つ以上の隅部を照射する。

【００２３】請求項１８に記載された発明は、請求項１
６に記載された発明において、前記認識部は、前記隅部
の位置を検出する検出部と、この検出部により検出され
た前記隅部の位置に基づいて前記パッケージの位置を演
算する演算部とを備えている。

【００２４】請求項１９に記載された発明は、請求項１
６に記載された発明において、前記照射部は、前記枠部
の対角に位置する２つの隅部を照射し、前記認識部は、
前記２つの隅部の位置を検出する検出部と、この検出部
により検出された前記２つの隅部の位置から前記ベース
部の中心位置を演算する中心位置演算部と、この中心位
置演算部により演算された前記中心位置に基づいて前記
パッケージの位置を演算する演算部とを備えている。

【００２５】請求項２０に記載された発明は、請求項１
６に記載された発明において、前記照射部により前記枠
部の前記隅部を照射する際に反対側から照射する副照射
部を備えている。

【００２６】請求項２１に記載された発明は、請求項１
６に記載された発明において、前記撮像部の前記ベース
部に対する仰角は、前記照射部の前記ベース部に対する
仰角に比べて大きく設定されている。

【００２７】請求項２２に記載された発明は、請求項１
６に記載された発明において、前記認識部は、前記パッ
ケージの画像のうち暗部の形状を検出する検出部と、こ
の検出部により検出された前記暗部の形状に基づいて前
記ベース部の基準面に対する傾きを演算する演算部とを
備えている。

【００２８】請求項２３に記載された発明は、請求項１
に記載された発明において、前記接着剤塗布機構は、前
記接着剤を吐出する接着剤ディスペンサと、この接着剤
ディスペンサと一体に設けられ前記接着剤ディスペンサ
による塗布位置を撮像する撮像部と、この撮像部により
得られた画像に基づき前記接着剤の塗布状態の良否を判
断する判断部とを備えている。

【００２９】前記手段を講じた結果、次のような作用が
生じる。すなわち、請求項１に記載された発明によれ
ば、接着剤塗布機構と紫外線照射炉との間にリッドセッ
ト機構を設けたことにより、紫外線硬化性の接着剤が塗
布されたパッケージの所定部位にリッドを自動的にセッ
トすることができる。したがって、パッケージにリッド
を手作業に頼ることなく自動的に且つ効率的に装着する
ことができ、ＣＣＤの組立効率を高めることができる。

【００３０】請求項２に記載された発明によれば、パッ
ケージに付着した埃や塵等の付着物を不活性ガスブロー
装置から噴出する不活性ガスで除去することができ、パ
ッケージに対する接着剤の接着性を高めることができ
る。したがって、パッケージにリッドを自動的に且つ効
率的に装着することができるとともに、パッケージに対
する接着剤の接着性を高めることができる。

【００３１】請求項３に記載された発明によれば、紫外
線照射炉は、ガイドレールの上方に紫外線ランプを備
え、紫外線ランプとガイドレールとの間には、紫外線透
過プレートが設けられている。

【００３２】請求項４に記載された発明によれば、紫外
光をパッケージの上にセットされたリッドにより多く当
てることができ、パッケージに塗布された接着剤を短時
間で硬化させることができる。

【００３３】請求項５に記載された発明によれば、紫外
線照射炉は、リッドを加圧する加圧パッドを備えてい
る。

【００３４】請求項６に記載された発明によれば、加圧
パッドは、紫外線透過プレートを貫通する軸と、この軸
の下端に設けられたパッド部とを備えているので、加圧
パッドを紫外線透過プレートに容易に取付けることがで
きる。

【００３５】請求項７に記載された発明によれば、パッ
ケージ昇降機構は、上下方向に伸縮する複数本のピスト
ンロッドを有し、ピストンロッドの上端には、パッケー
ジを互いに交差する２つの水平軸を中心として揺動自在
に支持するパッケージ支持機構が設けられているので、
パッケージの上にセットされたリッドが紫外線透過プレ
ートに片当りすることを防止できる。

【００３６】請求項８に記載された発明によれば、パッ
ケージ支持機構は、ピストンロッドの上端部に固定され
た固定ベースと、この固定ベースに枢支軸を介して揺動
自在に枢支された揺動部材と、この揺動部材の両端に枢
支軸を介して揺動自在に枢支された一対のサポート部材
とで構成されている。

【００３７】請求項９に記載された発明によれば、リッ
ドセット機構は、リッドを吸着するリッド吸着ヘッドを
備えている。

【００３８】請求項１０に記載された発明によれば、架
台上には、リッド吸着ヘッドに吸着された前記リッドの
裏面にイオン化された不活性ガスを吹き付ける不活性ガ
スブロー手段が設けられているので、リッドの裏面に付
着した埃や塵等の付着物を除去することができ、パッケ
ージに対するリッドの接着性を高めることができる。

【００３９】請求項１１に記載された発明によれば、リ
ッドセット機構は、パッケージの所定部位にセットされ
たリッドに紫外線を照射する紫外線照射手段を備えてい
るので、接着剤の仮止めを行うことができ、パッケージ
の所定部位にセットされたリッドの位置ずれを防止する
ことができる。

【００４０】請求項１２に記載された発明によれば、リ
ッドセット機構は、パッケージの開口部に不活性ガスを
吹き付けてパッケージの内部を空気雰囲気から不活性ガ
ス雰囲気に置換する不活性ガスブロー手段を備えてい
る。

【００４１】請求項１３に記載された発明によれば、パ
ッケージの所定部位にリッドをセットする際にリッドの
位置ずれを未然に防止することができる。

【００４２】請求項１４に記載された発明によれば、加
圧力可変機構により、パッケージの所定部位をリッドに
押圧する加圧機構による加圧力を制御できるので、加圧
機構を取り替えることなくパッケージの種類に応じて適
正な加圧力を与えることができる。

【００４３】請求項１５に記載された発明によれば、接
着剤塗布機構は、塗布された接着剤の塗布状態を検査す
る塗布状態検査機構を備えているので、接着剤の塗布不
良に起因する製品不良を検知することができる。

【００４４】請求項１６に記載された発明によれば、隅
部に光を照射することによりパッケージに影が形成さ
れ、明暗差が生じる。このため、撮像部によりパッケー
ジを撮像することにより、明暗差の形状や位置に基づい
てパッケージの姿勢を認識することができる。

【００４５】請求項１７に記載された発明によれば、照
射部は枠部の隅部のうち少なくとも２つ以上の隅部を照
射することにより、パッケージの姿勢を精度よく認識す
ることができる。

【００４６】請求項１８に記載された発明によれば、検
出部により隅部の位置を検出し、この隅部の位置に基づ
いて演算部においてパッケージの位置を演算することが
できる。

【００４７】請求項１９に記載された発明によれば、枠
部の対角に位置する２つの隅部を照射し、２つの隅部の
位置を検出し、これら２つの隅部の位置からベース部の
中心位置を演算するようにしているので、枠部における
加工誤差に伴う検出誤差を相殺することができる。

【００４８】請求項２０に記載された発明によれば、照
射部により枠部の隅部を照射する際に反対側から照射す
る副照射部を備えているので、加工誤差に伴って枠部に
生じる暗部を明部に変えることができる。このため、検
出誤差を最小限に抑えることができる。

【００４９】請求項２１に記載された発明によれば、撮
像部のベース部に対する仰角は、照射部のベース部に対
する仰角に比べて大きく設定されているので、暗部を枠
部により隠されることなく撮像することができる。

【００５０】請求項２２に記載された発明によれば、パ
ッケージの画像のうち暗部の形状を検出することで、ベ
ース部が基準面に対して傾いている量を演算することが
できる。

【００５１】請求項２３に記載された発明によれば、接
着剤を吐出する接着剤ディスペンサと一体に設けられ接
着剤ディスペンサによる塗布位置を撮像する撮像部を備
え、この撮像部により得られた画像に基づき接着剤の塗
布状態の良否を判断することができる。

【００５２】

【発明の実施の形態】図１は本発明の第１の実施の形態
に係るリッド装着装置の斜視図であり、同図に示すよう
に架台１１の長手方向一端部には、ローダ１２が設けら
れている。このローダ１２は複数個のパッケージ１…を
搭載したパッケージ搬送ボート１３（図２及び図３参
照）を架台１１の上に設置された一対のガイドレール１
４，１４上に送り出すもので、ローダ１２によりガイド
レール１４，１４上に送り出されたパッケージ搬送ボー
ト１３は、架台１１の内部に設けられたボート搬送機構
１５（図４参照）により架台１１の長手方向他端部へ所
定ピッチずつ搬送されるようになっている。

【００５３】前記ボート搬送機構１５は、図４に示すよ
うに架台１１の上面から突出した複数の搬送アーム１６
…を有しており、これらの搬送アーム１６…に設けられ
た搬送ピン１７（図２及び図３参照）をパッケージ搬送
ボート１３に穿設された貫通孔１８に嵌合させてパッケ
ージ搬送ボート１３を架台１１の長手方向他端部へ所定
ピッチずつ搬送するように構成されている。すなわち、
このボート搬送機構１５は、図４に示すように、搬送ア
ーム１６をガイドレール１４，１４の長手方向（図中Ｘ
方向）に駆動する第１のアーム駆動部１９および搬送ア
ーム１６を上下方向（図中Ｚ方向）に駆動する第２のア
ーム駆動部２０を備えており、これらのアーム駆動部１
９，２０を交互に駆動してパッケージ搬送ボート１３を
架台１１の長手方向他端部へ所定ピッチずつ搬送してい
る。

【００５４】なお、パッケージ搬送ボート１３は例えば
矩形状をなす金属板の左右両端部を略直角に且つ同一方
向に折曲げて形成されており、このパッケージ搬送ボー
ト１３の上面中央には、パッケージ１の位置ずれを防止
する複数の矩形孔２１…（図２参照）がガイドレール１
４，１４の長手方向に所定ピッチで穿設されているとと
もに、パッケージ１の両側部に設けられた端子部３を収
納するための複数の矩形孔（図３５参照）がガイドレー
ル１４，１４の長手方向に所定ピッチで穿設されてい
る。

【００５５】また、架台１１の内部には、図５に示すよ
うにパッケージ押上げ機構２２が設けられている。この
パッケージ押上げ機構２２はボート搬送機構１５により
ガイドレール１４，１４上の所定位置に搬送されたパッ
ケージ１をガイドレール１４，１４の上方に押上げるも
ので、押上げ部材２３と、この押上げ部材２３を昇降駆
動するピストンロッド２４と、このピストンロッド２４
を上下方向に伸縮駆動するエアリンダ２５とを具備して
構成されている。

【００５６】一方、架台１１の上には、図１に示すよう
に接着剤塗布機構２６および紫外線照射炉３９がそれぞ
れ所定位置に設けられている。

【００５７】前記接着剤塗布機構２６はパッケージ押上
げ機構２２によりガイドレール１４，１４の上方に押上
げられたパッケージ１の所定部位（図１７の開口部１ａ
の周縁部）に紫外線硬化性の接着剤を塗布するもので、
図２に示すように接着剤を吐出する接着剤ディスペンサ
２７と、この接着剤ディスペンサ２７を垂直に保持する
保持部材２８と、この保持部材２８を互いに交差（例え
ば直交）する水平な二方向（図中矢印Ｘ及びＹ方向）に
走査する走査機構（図示せず）及び保持部材２８を上下
方向に走査する走査機構とを具備して構成されている。

【００５８】ここで、接着剤ディスペンサ２７は、図６
に示すように、接着剤２９を収容したシリンジ３０を備
えている。このシリンジ３０の下端には接着剤吐出口３
１が形成されており、本体部３２に接続された加圧空気
供給管３３からシリンジ３０に加圧空気を導入し、接着
剤吐出口３１を開閉するソレノイド弁３４を開口すると
接着剤吐出口３１から接着剤２９が吐出するようになっ
ている。

【００５９】前記接着剤ディスペンサ２７には、シリン
ジ３０内に収容された接着剤２９を一定温度に保つ保温
装置３５（図６参照）が設けられている。この保温装置
３５は、接着剤吐出口３１を除くシリンジ３０の外表面
を覆うブロック状の金属カバー３６を備えており、この
金属カバー３６に埋設されたヒータ３７でシリンジ３０
を所定温度に加温して接着剤２９を一定温度に保つよう
に構成されている。なお、金属カバー３６はセラミック
からなる断熱部材３８を介してディスペンサ保持部材２
８に固定されている。

【００６０】前記紫外線照射炉３９は、図７及び図８に
示すようにガイドレール１４，１４の上方に紫外線ラン
プ４０を備えており、この紫外線ランプ４０から紫外光
を放出してパッケージ１に塗布された接着剤を硬化させ
る構造となっている。

【００６１】前記紫外線ランプ４０とガイドレール１
４，１４との間には、紫外線透過プレート５０が設けら
れている。この紫外線透過プレート５０は耐熱性を有す
る紫外線透過材料（例えば石英）で形成されており、紫
外線ランプ４０から放出された放出光は紫外線透過プレ
ート５０を透過してパッケージ１に照射されるようにな
っている。

【００６２】前記架台１１の上には、図８に示すように
複数本の支柱５２…が立設されている。これらの支柱５
２…には紫外線透過プレート５０が上下方向に移動可能
に支持されており、紫外線透過プレート５０の下方に
は、パッケージ搬送ボート１３に搭載された複数個のパ
ッケージ１…をガイドレール１４，１４の上方に押上げ
るパッケージ昇降機構４１が設けられている。なお、紫
外線透過プレート５０と紫外線ランプ４０との間には、
紫外線ランプ４０からの紫外光を遮光する開閉自在のシ
ャッタ５１（図７参照）が設けられている。

【００６３】前記パッケージ昇降機構４１は、架台１１
の内部に設けられた後述するシリンダ機構１００（図１
２参照）により上下方向に伸縮駆動される複数本のピス
トンロッド４２…を備えており、これらピストンロッド
４２…の上端にはパッケージ支持機構４３がそれぞれ設
けられている。

【００６４】前記パッケージ支持機構４３はパッケージ
１を互いに交差（例えば直交）する２本の水平軸（図中
Ｘ及びＹ）を中心に揺動自在に支持するもので、図９及
び図１０に示すようにピストンロッド４２の上端部に固
定された固定ベース４４と、この固定ベース４４に枢支
軸４５を介して図中Ｘ軸回りに揺動自在に枢支された揺
動部材４６と、この揺動部材４６の両端に枢支軸４７
ａ，４７ｂを介して図中Ｙ軸回りに揺動自在に枢支され
た一対のサポート部材４８ａ，４８ｂとを具備して構成
されている。

【００６５】また、前記紫外線照射炉３９はパッケージ
１の上にセットされたリッド２を加圧する複数個の加圧
パッド５３…（図８参照）を備えている。これらの加圧
パッド５３…は、図１１に示すように紫外線透過プレー
ト５０を上下に貫通する軸部５３ａと、この軸部５３ａ
の下端に設けられた半球状のパッド部５３ｂとからな
り、軸部５３ａの上端部には、固定手段としての止め輪
５５が装着されている。なお、前記紫外線ランプ４０、
紫外線透過プレート５０、シャッタ５１および支柱５２
…は箱形の炉本体５６内に収容されている。

【００６６】シリンダ機構１００は、図１２に示すよう
に、上述したピストンロッド４２に対して同軸的に配置
された円筒部１０１と、ピストンロッド４２を図１２中
矢印Ｚ方向に沿って往復動させる駆動部１０２とを備え
ている。なお、ピストンロッド４２の図１２中下端には
鍔部４２ａが形成されており、円筒部１０１の下端１０
１ａに係合するように構成されている。また、円筒部１
０１内には、ピストンロッド４２を図１２中矢印Ｚ方向
に沿って円滑に往復動させるためのボールブッシュ１０
３と、このボールブッシュ１０３と円筒部１０１の下端
１０１ａとの間に設けられた圧縮バネ１０４とが設けら
れている。なお、図１２中１０４ａは、ワッシャを示し
ている。

【００６７】シリンダ機構１００は、駆動部１０２によ
りピストンロッド４２を所定位置まで押し上げることに
より、圧縮バネ１０４の弾性力によりピストンロッド４
２を介してパッケージ１に対してリッド２を所定の加圧
力で加圧する機能を有している。なお、パッケージ１及
びリッド２の仕様が変更となり、加圧力を変更する必要
がある場合には円筒部１０１を取り外し、圧縮バネ１０
４を取り替える。

【００６８】前記紫外線照射炉３９と接着剤塗布機構２
６との間には、パッケージ１の開口部１ａにリッド２を
セットするリッドセット機構５７（図１参照）が設けら
れている。

【００６９】前記リッドセット機構５７は、図３に示す
ように架台１１の上方にリッド吸着ヘッド５８と、この
リッド吸着ヘッド５８を上下方向（図中Ｚ方向）に走査
するＺ方向走査機構５９ａと、このＺ方向走査機構５９
ａをガイドレール１４，１４の幅方向（図中Ｙ方向）に
走査するＹ方向走査機構５９ｂとを備えており、これら
のＺ方向走査機構５９ａおよびＹ方向走査機構５９ｂを
駆動してパッケージ１の開口部１ａにリッド２をセット
するように構成されている。なお、リッド２は架台１１
の上に設けられたリッド供給テーブル６０に載置されて
おり、このリッド供給テーブル６０の近傍には、リッド
吸着ヘッド５８に吸着されたリッド２の裏面にイオン化
された不活性ガス（例えば窒素ガス）を吹き付ける不活
性ガスブローノズル６１（図３参照）が設けられてい
る。

【００７０】また、前記リッドセット機構５７は架台１
１の内部にパッケージ押上げ機構６２（図３参照）を備
えており、このパッケージ押上げ機構６２でパッケージ
１をガイドレール１４，１４の上方に押上げてパッケー
ジ１の開口部１ａにリッド２をセットするように構成さ
れている。

【００７１】さらに、前記リッドセット機構５７はパッ
ケージ押上げ機構６２によりガイドレール１４，１４の
上方に押上げられたパッケージ１の開口部１ａに窒素ガ
ス等の不活性ガスを吹き付ける不活性ガスブローノズル
６３と、パッケージ１の開口部１ａにセットされたリッ
ド２に紫外線を照射する紫外線照射手段としてのライト
ガイドファイバ６４とを備えている。なお、不活性ガス
ブローノズル６３は乱流の発生を防ぐため、層流ノズル
にて構成されている。

【００７２】前記ローダ１２と接着剤塗布機構２６との
間の架台１１上には、パッケージ搬送ボート１３に搭載
された複数個のパッケージ１…にイオン化された不活性
ガス（例えば窒素ガス）を吹き付ける不活性ガスブロー
装置６５（図２参照）が設けられている。この不活性ガ
スブロー装置６５はガイドレール１４，１４の上方に箱
形のブローボックス６６を備えており、このブローボッ
クス６６の下面に設けられた不活性ガス噴出口からイオ
ン化された不活性ガスを吹き出すように構成されてい
る。なお、架台１１の長手方向他端部には紫外線照射炉
３９を通過したパッケージ搬送ボート１３を回収するア
ンローダ６７（図１参照）が設けられている。

【００７３】前記接着剤塗布機構２６とリッドセット機
構５７およびリッドセット機構５７と紫外線照射炉３９
との間には、傾き検出機構６８，６９（図２及び図３参
照）が設けられている。これらの傾き検出機構６８，６
９はパッケージ搬送ボート１３に搭載されたパッケージ
１の上下方向の傾きを光学的に検出するもので、ガイド
レール１４，１４を挟んで相対向する発光素子６８ａ，
６９ａと受光素子６８ｂ，６９ｂとで構成されている。

【００７４】前記ボート搬送機構１５、パッケージ押上
げ機構２２，接着剤塗布機構２６及びリッドセット機構
５７には、図１３に示すように駆動回路７０，７１，７
２，７２ａを介して制御装置７３が接続されている。こ
の制御装置７３はボート搬送機構１５、パッケージ押上
げ機構２２、接着剤塗布機構２６およびリッドセット機
構５７を駆動制御するもので、図１４に示すフローチャ
ートに基づいてボート搬送機構１５、パッケージ押上げ
機構２２、接着剤塗布機構２６およびリッドセット機構
５７を制御している。

【００７５】ボート搬送機構１５、パッケージ押上げ機
構２２、接着剤塗布機構２６およびリッドセット機構５
７の制御方法は、図１４に示すようにローダ１２からガ
イドレール１４，１４上にパッケージ搬送ボート１３が
送り出されると、制御装置７３はボート搬送機構１５に
ボート搬送信号を送出する（ステップＳ１）。これによ
りローダ１２からガイドレール１４，１４上に送り出さ
れたパッケージ搬送ボート１３は、ボート搬送機構１５
により架台１１の長手方向他端部へ１ピッチだけ搬送さ
れる。そして、パッケージ搬送ボート１３に搭載された
パッケージ１がガイドレール１４，１４上の所定位置に
達すると、制御装置７３はパッケージ押上げ機構２２に
パッケージ上昇信号を送出する（ステップＳ２）。これ
によりパッケージ搬送ボート１３に搭載されたパッケー
ジ１は、パッケージ押上げ機構２２によりガイドレール
１４，１４の上方に押上げられる。

【００７６】また、パッケージ搬送ボート１３に搭載さ
れたパッケージ１がパッケージ押上げ機構２２によりガ
イドレール１４，１４の上方に押上げられると、制御装
置７３は接着剤塗布機構２６に接着剤塗布信号を送出す
る（ステップＳ３）。これにより接着剤塗布機構２６が
作動し、ガイドレール１４，１４の上方に押上げられた
パッケージ１に接着剤が塗布される。そして、パッケー
ジ１に対する接着剤の塗布が終了すると、制御装置７３
はガイドレール１４，１４の上方に押上げられたパッケ
ージ１をパッケージ搬送ボート１３上に戻すためのパッ
ケージ下降信号をパッケージ押上げ機構２２に送出する
（ステップＳ４）。

【００７７】また、ガイドレール１４，１４の上方に押
上げられたパッケージ１がパッケージ押上げ機構２２に
よりパッケージ搬送ボート１３上に戻されると、制御装
置７３はパッケージ搬送ボート１３に搭載された全ての
パッケージ１に接着剤が塗布されたか否かを判断し、接
着剤を塗布すべきパッケージ１がある場合には、接着剤
が塗布されたパッケージ１に上下方向の傾きがあるか否
かを傾き検出機構６８，６９からの信号に基づいて判断
する（ステップＳ５，Ｓ６）。

【００７８】ここで、接着剤が塗布されたパッケージ１
に上下方向の傾きがない場合には、ステップＳ１に戻
り、上述した制御が繰り返される。また、接着剤が塗布
されたパッケージ１に上下方向の傾きがある場合には、
制御装置７３はボート搬送機構１５にパッケージ搬送停
止信号を送出してパッケージ１の搬送を停止させるとと
もに、図示しない表示部にエラーメッセージを表示する
（ステップＳ７，Ｓ８）。これにより上下方向の傾きを
持っているパッケージ１がリッドセット機構５７へ搬送
されることがないので、リッド２の位置ずれを防止する
ことができる。

【００７９】前記の構成において、ローダ１２からガイ
ドレール１４，１４上に供給されたパッケージ搬送ボー
ト１３は架台１１の内部に設けられたボート搬送機構１
５により架台１１の長手方向他端部へ所定ピッチずつ搬
送される。

【００８０】このとき、パッケージ搬送ボート１３に搭
載されたパッケージ１がガイドレール１４，１４上の所
定位置に達すると、架台１１の内部に設けられたパッケ
ージ押上げ機構２２が作動する。これによりパッケージ
搬送ボート１３に搭載されたパッケージ１はガイドレー
ル１４，１４の上方に押上げられ、接着剤塗布機構２６
により紫外線硬化性の接着剤が開口部１ａの周縁部に塗
布される。

【００８１】このようにしてパッケージ１の所定部位に
紫外線硬化性の接着剤が塗布されると、パッケージ押上
げ機構２２のピストンロッド２４が下降する。これによ
り接着剤が塗布されたパッケージ１は、パッケージ搬送
ボート１３の上に戻される。そして、パッケージ押上げ
機構２２のピストンロッド２４が下降すると、ボート搬
送機構１５が再び作動し、パッケージ搬送ボート１３を
架台１１の長手方向他端部へ１ピッチ分だけ搬送する。

【００８２】また、パッケージ搬送ボート１３に搭載さ
れたパッケージ１がガイドレール１４，１４上の所定位
置（リッド吸着ヘッド５８の下方位置）に達すると、リ
ッドセット機構５７のパッケージ押上げ機構６２が作動
する。これによりパッケージ搬送ボート１３に搭載され
たパッケージ１は、ガイドレール１４，１４の上方に押
上げられる。そして、パッケージ搬送ボート１３に搭載
されたパッケージ１がガイドレール１４，１４の上方に
押上げられると、リッドセット機構５７が作動し、パッ
ケージ１の開口部１ａにリッド２がセットされる。な
お、このとき架台１１上に設けられた不活性ガスブロー
ノズル６３から不活性ガスが噴出し、パッケージ１の内
部を空気雰囲気から不活性雰囲気に置換する。また、リ
ッドセット機構５７のリッド吸着ヘッド５８がリッド２
を吸着すると、不活性ガスブローノズル６１からイオン
化された不活性ガスが噴出することによりリッド２の裏
面に付着した埃や塵等の付着物が除去される。さらに、
パッケージ１の開口部１ａにリッド２がセットされる
と、リッド吸着ヘッド５８に設けられたライトガイドフ
ァイバ６４からリッド２に紫外光が照射される。これに
よりパッケージ１の開口部１ａにセットされたリッド２
はパッケージ１に仮止めされる。

【００８３】このようにしてパッケージ１の所定部位に
リッド２がセットされると、パッケージ押上げ機構６２
が作動し、リッド２がセットされたパッケージ１をパッ
ケージ搬送ボート１３上に戻す。そして、ガイドレール
１４，１４の上方に押上げられたパッケージ１がパッケ
ージ搬送ボート１３上に戻されると、ボート搬送機構１
５が再び作動し、パッケージ搬送ボート１３を架台１１
の長手方向他端部へ１ピッチ分だけ搬送する。

【００８４】また、パッケージ搬送ボート１３が紫外線
照射炉３９内に搬送されると、図示しないシャッタ開閉
機構が作動し、紫外線透過プレート５０と紫外線ランプ
４０との間に設けられたシャッタ５１を格納位置へ移動
させる。これにより紫外線ランプ４０から放出された紫
外光は、紫外線透過プレート５０を透過してパッケージ
１…の上にセットされたリッド２…に照射され、パッケ
ージ１…に塗布された紫外線硬化性の接着剤が紫外光に
よって硬化する。

【００８５】また、パッケージ搬送ボート１３が紫外線
照射炉３９内に搬送されると、パッケージ昇降機構４１
が作動し、パッケージ搬送ボート１３に搭載された複数
個のパッケージ１…をガイドレール１４，１４の上方に
押上げる。このとき、紫外線透過プレート５０はパッケ
ージ１…の上昇に伴なって上方へ移動する。また、パッ
ケージ昇降機構４１によりガイドレール１４，１４の上
方に押上げられた複数個のパッケージ１…はリッド２…
を介して紫外線透過プレート５０の下面に設けられた加
圧パッド５３…に当接する。そして、パッケージ搬送ボ
ート１３に搭載された複数個のパッケージ１…をガイド
レール１４，１４の上方に押上げてから所定時間が経過
すると、パッケージ昇降機構４１のピストンロッド４２
…が下降する。これによりガイドレール１４，１４の上
方に押上げられた複数個のパッケージ１…は、パッケー
ジ搬送ボート１３の上に戻される。なお、紫外線照射炉
３９を通過したパッケージ搬送ボート１３は架台１１の
長手方向他端部に設けられたアンローダ６７により回収
される。

【００８６】上述したように、本発明の第１の実施の形
態に係るリッド装着装置では、接着剤塗布機構２６と紫
外線照射炉３９との間にリッドセット機構５７を設けた
ことにより、紫外線硬化性の接着剤が塗布されたパッケ
ージ１の所定部位にリッド２を自動的にセットすること
ができる。したがって、パッケージ１にリッド２を手作
業に頼ることなく自動的に且つ効率的に装着することが
でき、ＣＣＤの組立効率を高めることができる。

【００８７】また、本発明の第１の実施の形態に係るリ
ッド装着装置では、パッケージ搬送ボート１３に搭載さ
れたパッケージ１にイオン化された不活性ガスを吹き付
ける不活性ガスブロー装置６５がローダ１２と接着剤塗
布機構２６との間の架台１１上に設けられているので、
パッケージ１に付着した埃や塵等の付着物を不活性ガス
ブロー装置６５から噴出する不活性ガスで除去すること
ができ、パッケージ１に対する接着剤の接着性を高める
ことができる。

【００８８】また、本発明の第１の実施の形態に係るリ
ッド装着装置では、接着剤吐出口３１を除くシリンジ３
０の外表面を金属カバー３６で覆うとともに、この金属
カバー３６に埋設されたヒータ３７でシリンジ３０を所
定温度に加温することにより、シリンジ３０内に収容さ
れた接着剤２９を一定温度に保つことができる。これに
よりシリンジ３０内の接着剤２９が外気温の影響を受け
ることがなくなり、シリンジ３０の下端に設けられた接
着剤吐出口３１から常に一定量の接着剤２９を吐出する
ことができる。

【００８９】また、本発明の第１の実施の形態に係るリ
ッド装着装置では、紫外線透過プレート５０を昇降自在
に支持する複数本の支柱５２…を架台１１上に立設した
ことにより、パッケージ搬送ボート１３に搭載された複
数個のパッケージ１…をパッケージ昇降機構４１でガイ
ドレール１４，１４の上方に押上げたときに紫外線透過
プレート５０を紫外線ランプ４０の近くまで上昇させる
ことができる。これにより紫外線ランプ４０から放出さ
れた紫外光を紫外線透過プレート５０を通じてパッケー
ジ１の上にセットされたリッド２により多く当てること
ができ、パッケージ１に塗布された接着剤を短時間で硬
化させることができる。

【００９０】また、本発明の第１の実施の形態に係るリ
ッド装着装置では、加圧パッド５３の上端に紫外線透過
プレート５０に形成された貫通孔を挿通して紫外線透過
プレート５０の上面側に突出する軸５４を設け、この軸
５４の上端部に止め輪５５を装着することにより、接着
剤を使用することなく加圧パッド５３を紫外線透過プレ
ート５０に取付けることができる。

【００９１】また、本発明の第１の実施の形態に係るリ
ッド装着装置では、パッケージ搬送ボート１３に搭載さ
れたパッケージ１をガイドレール１４，１４の上方に押
上げるピストンロッド４２の上端にパッケージ支持機構
４３を設け、このパッケージ支持機構４３でパッケージ
１を互いに直交する２本の水平軸を中心に揺動自在に支
持することにより、パッケージ１の上にセットされたリ
ッド２が紫外線透過プレート５０の下面に片当りするこ
とがなくなり、パッケージ１の上にセットされたリッド
２を均等に加圧することができる。

【００９２】また、本発明の第１の実施の形態に係るリ
ッド装着装置では、リッド吸着ヘッド５８に吸着された
リッド２の裏面にイオン化された不活性ガスを吹き付け
る不活性ガスブローノズル６１を架台１１上に設けたこ
とにより、リッド２の裏面に付着した埃や塵等の付着物
を不活性ガスブローノズル６１から噴出する不活性ガス
で除去することができ、パッケージ１に対するリッド２
の接着性を高めることができる。

【００９３】また、本発明の第１の実施の形態に係るリ
ッド装着装置では、パッケージ１の開口部１ａに不活性
ガスを吹き付ける不活性ガスブローノズル６３を架台１
１上に設けたことにより、不活性ガスブローノズル６３
から噴出する不活性ガスでパッケージ１の内部を空気雰
囲気から不活性ガス雰囲気に置換することができる。

【００９４】また、本発明の第１の実施の形態に係るリ
ッド装着装置では、パッケージ１の開口部１ａにセット
されたリッド２に紫外線を照射する紫外線照射手段とし
てのライトガイドファイバ６４がリッド吸着ヘッド５８
に設けられているので、パッケージ１の開口部１ａにセ
ットされたリッド２をライトガイドファイバ６４から出
射する紫外光でパッケージ１に仮固定することができ、
これによりパッケージ１を紫外線照射炉３９へ搬送する
ときに生じるリッド２の位置ずれを防止することができ
る。

【００９５】また、本発明の第１の実施の形態に係るリ
ッド装着装置では、パッケージ搬送ボート１３に搭載さ
れたパッケージ１の上下方向の傾きを光学的に検出する
傾き検出機構６８を接着剤塗布機構２６とリッドセット
機構５７との間に設け、この傾き検出機構６８がパッケ
ージ１の上下方向の傾きを検出したときに制御装置７３
からボート搬送機構１５に搬送停止信号が送出されるの
で、パッケージ１の開口部１ａにリッド２をセットする
ときに生じるリッド２の位置ずれを未然に防止すること
ができる。

【００９６】図１５は本発明の第２の実施の形態に係る
リッド装着装置の要部を示す図である。本第２の実施の
形態に係るリッド装着装置の全体構成は上述した第１実
施の形態と同様であるので省略する。なお、本第２の実
施の形態が上述した第１の実施の形態と異なる点は、シ
リンダ機構１００の代りにシリンダ機構１１０を用いた
点である。

【００９７】すなわち、シリンダ機構１１０は、図１５
に示すように、上述したピストンロッド４２に対して同
軸的に配置された円筒部１１１を備えており、この円筒
部１１１内にはボールブッシュ１１２を介してピストン
ロッド４２が往復動自在に配置されている。円筒部１１
１の図１５中下方には、エアシリンダ１１３が配置され
ており、このエアシリンダ１１３により駆動されるロッ
ド１１４に継手１１５を介してピストンロッド４２の下
端が結合されている。また、駆動部１１３はレギュレー
タ１１６により駆動されている。レギュレータ１１６は
エアシリンダ１１３のロッド１１４の加圧力を調節する
ことができる。

【００９８】このように構成されたシリンダ機構１１０
によれば、パッケージ１とリッド２の仕様が変更にな
り、必要な加圧力を変更する場合には、レギュレータ１
１６への入力電圧を調節することでエアシリンダ１１３
の駆動力を調節でき、加圧力を調節することができる。
したがって、自動かつ短時間で任意の加圧力に切り替え
ることが可能となり、形状の異なる多品種のパッケージ
１及びリッド２に対応できる。このため、生産性を著し
く向上させることができる。

【００９９】図１６は、本発明の第３の実施の形態に係
るリッド装着装置の要部を示す図である。本第３の実施
の形態に係るリッド装着装置の全体構成は上述した第１
実施の形態と同様であるので省略する。なお、本第３の
実施の形態が上述した第１の実施の形態と異なる点は、
接着剤塗布機構２６の近傍に接着剤の塗布状態を検査す
る塗布状態検査機構２００を設けた点及び接着剤２９の
代りに着色された接着剤２９Ａを用いた点にある。

【０１００】すなわち、塗布状態検査機構２００は、上
述した保持部材２８に取り付けられパッケージ１の開口
部１ａを撮像する撮像部２０１と、この撮像部２０１か
らの画像を認識し、接着剤２９Ａの塗布状態の良否を判
断する画像認識部２０２とを備えている。なお、画像認
識部２０２は上述した制御装置７３に接続されている。

【０１０１】このように構成された塗布状態検査機構２
００が組み込まれたリッド装着装置においては、上述し
た第１の実施の形態と同様にして接着剤塗布機構２６に
おいて所定の位置に接着剤２９Ａが塗布される。なお、
図１７の（ａ），（ｂ）は接着剤塗布機構２６により接
着剤２９Ａが塗布された状態を示す図である。すなわ
ち、（ａ）は正常に塗布された状態、（ｂ）は「とぎ
れ」が発生し、塗布が不良の状態を示している。

【０１０２】この後、撮像部２０１によりパッケージ１
の開口部１ａを撮像し、この画像が画像認識部２０２に
入力される。画像認識部２０２においては、パッケージ
１が透明であっても接着剤２９Ａは着色されているの
で、パッケージ１と区別して認識することができる。そ
して、パターンマッチング等により塗布状態の良否を判
定する。判定結果は制御装置７３に出力され、塗布状態
が不良の場合には、各機構の動作を中断し、再度の接着
剤塗布による修正又は不良品の排除が行われる。

【０１０３】上述したように塗布状態検査機構２００が
組み込まれていると、接着剤２９Ａを塗布した時点での
不良を検知することができ、後工程、すなわちリッド２
の搭載を行う前に修正若しくは排除ができる。したがっ
て、不良品の発生を未然に防止することができ、生産性
を高めることができる。

【０１０４】図１８は、上述した第１〜第３の実施の形
態の変形例を示す図である。本変形例が上述した各実施
の形態と異なる点は、パッケージ１にリッド２を装着す
る代りに、パッケージ１に半導体素子３を搭載する点で
ある。半導体素子３を装着する場合であっても、上述し
たリッド２と同様に効率よく装着を行うことができる。

【０１０５】なお、本変形例においては、接着剤塗布機
構２６による接着剤２９，２９Ａの塗布は図１９の
（ａ）に示すように接続部１ｂに塗布されることにな
る。この場合においても、塗布状態検査機構２００によ
る検査を行うことができ、図１９の（ｂ）に示すような
「とぎれ」が発生したパッケージ１については、修正若
しくは排除を行うことができる。

【０１０６】図２０は、本発明の第４の実施の形態に係
るリッド装着装置に組み込まれた接着剤塗布機構２６Ａ
を示す斜視図である。なお、本第４の実施の形態に係る
リッド装着装置の全体構成は上述した第１の実施の形態
と同様であるので省略する。

【０１０７】接着剤塗布機構２６Ａは、接着剤を吐出す
る接着剤ディスペンサ２７と、この接着剤ディスペンサ
２７を垂直に保持する保持部材２８と、この保持部材２
８を互いに交差（例えば直交）する水平な二方向（図中
矢印Ｘ及びＹ方向）に走査するとともに、保持部材２８
を上下方向に走査する走査機構８０と、接着剤ディスペ
ンサ２７に一体的に取り付けられた撮像部３００とを具
備して構成されている。また、図２１に示すようにパッ
ケージ１に光を照射する照射部３０１が設けられ、ま
た、撮像部３００には、撮像部３００からの画像を認識
し、後述するように明暗差に基づいてパッケージ１の姿
勢を認識するパッケージ姿勢認識部３０２が接続され、
さらにパッケージ姿勢認識部３０２は上述した制御装置
７３に接続されている。

【０１０８】なお、図２１の（ａ），（ｂ）に示すよう
にパッケージ１のうち１ｃをベース部、１ｄを枠部、１
ｅを枠部１ｄのうちの一方の辺、１ｅ′を他方の辺、１
ｆ，１ｆ′を隅部とする。

【０１０９】照射部３０１は、スポットライト３０１
ａ，３０１ｂとを備え、スポットライト３０１ａは図２
１の（ａ），（ｂ）に示すようにパッケージ１の隅部１
ｆに向けて枠部１ｄの外側から内側に向けて照射するよ
うに構成されている。なお、図２１の（ａ）は平面図、
（ｂ）は側面図を示している。同様にスポットライト３
０１ｂは隅部１ｆ′に対して照射できるように構成され
ている。

【０１１０】このように構成された接着剤塗布機構２６
Ａでは、次の様にして接着剤２９の塗布を行う。すなわ
ち、保持部材２８によりパッケージ１を所定の高さに位
置決めした後、スポットライト３０１ａを点灯すること
により、図２２に示すような影部Ｊがパッケージ１のベ
ース部１ｃに形成される。一方、パッケージ１を撮像部
３００により撮像し、この画像がパッケージ姿勢認識部
３０２に送られる。パッケージ姿勢認識部３０２では、
例えば図２２中Ｔ１に示すように一方の辺１ｅに沿う側
のパッケージ１の明暗差を計測する。同時に図２２中Ｔ
２に示すように他方の辺１ｅ′に沿う側のパッケージ１
の明暗差を計測する。上述したＴ１，Ｔ２により最も明
暗差が大きい位置τ１，τ２に基づいて、隅部１ｆの位
置座標Ｌ１（ｘ１，ｙ１）が検出される。同様にして隅
部１ｅ′の位置座標Ｌ２（ｘ２，ｙ２）も同様にして特
定し、これら隅部１ｆ，１ｆ′の位置座標Ｌ１，Ｌ２か
らパッケージ１の位置を認識することができる。

【０１１１】この後、パッケージ１の正確な位置に基づ
いて接着剤ディスペンサ２７を駆動することで、パッケ
ージ１の所定の位置に接着剤２９を塗布することができ
る。

【０１１２】上述したように本第４の実施の形態によれ
ば、パッケージ１の治具等を用いた位置決めを行うこと
なく、パッケージ１の画像に基づいてパッケージ１の位
置を認識し、接着剤塗布を行うことができる。また、サ
イズの異なる多品種のパッケージに対して接着剤塗布を
行う場合でも段取り替え等の時間のかかる作業を短縮す
ることができ、稼動効率を向上することができる。一
方、照明をあてて影部を形成させるようにしているの
で、パッケージ１の材質が一様のものであっても画像認
識を容易に行うことができる。

【０１１３】なお、隅部１ｆの位置のみを検出すること
でパッケージ１の位置を認識するようにしてもよい。ま
た、撮像部３００は、接着剤ディスペンサ２７に一体に
取り付けられるようにしているが、例えば接着剤ディス
ペンサ２７の真上に配置し、撮像時には接着剤ディスペ
ンサ２７を退避させるようにしてもよい。

【０１１４】図２３及び図２４は本第４の実施の形態の
第１変形例を示す図である。図２３中Ｇに示すように、
枠部１ｄの側壁と頂上部との境が加工誤差によってダレ
が生じ、厳密に直交していない場合がある。このような
場合には、誤差δが生じることで、隅部１ｆ，１ｆ′が
正確に検出されないことがあるため、本第１変形例に示
すようにして誤差を解消する。

【０１１５】すなわち、隅部１ｆの位置が本来の位置座
標Ｌ１（ｘ１，ｙ１）ではなく、Ｌ１′（ｘ１′，ｙ
１′）と検出され、隅部１ｆ′の位置が本来の位置座標
Ｌ２（ｘ２，ｙ２）ではなく、Ｌ２′（ｘ２′，ｙ
２′）と検出されたとする。ここで上述したダレによる
誤差δは隅部１ｆと隅部１ｆ′でほぼ同様に生じている
と考えられるので、これら位置座標から式（１），
（２）によりパッケージ１の中心部Ｏの位置座標Ｏ（Ｏ
ｘ，Ｏｙ）を求めると、ダレによる誤差が相殺される。

【０１１６】 Ｏｘ＝（ｘ１′＋ｘ２′）／２ …（１） Ｏｙ＝（ｙ１′＋ｙ２′）／２ …（２） 式（１），（２）よりパッケージ１の中心部Ｏの位置座
標Ｏ（Ｏｘ，Ｏｙ）が求められるので、パッケージ１の
位置を認識することができる。

【０１１７】図２５は、上述した第４の実施の形態の第
２変形例を示す図である。本第２変形例では、上述した
ダレによる誤差を解消するために、一方のスポットライ
ト３０１ａを照射しているときに、他方のスポットライ
ト３０１ｂも弱く照射する。、すなわち、図２５に示す
ようにスポットライト３０１ａを照射することにより生
ずる影の部分αのうち、スポットライト３０１ｂにより
ダレの部分に発生する影の部分βを消す。このような状
態で撮像部３００により撮像すれば、ダレによる誤差δ
を解消することができ、パッケージ１の位置を正確に認
識することができる。

【０１１８】図２６は、本発明の第５の実施の形態に係
るリッド装着装置に組み込まれた接着剤塗布機構２６Ｂ
の要部を示す図である。なお、接着剤塗布機構２６Ｂの
主な構成は上述した接着剤塗布機構２６Ａと同様である
ため詳細な説明は省略する。本接着剤塗布機構２６Ｂが
上述した接着剤塗布機構２６Ａと異なる点は、撮像部３
００の代りに接着剤ディスペンサ２７とは別体の撮像部
３００ａ，３００ｂが設けられている点にある。すなわ
ち、撮像部３００ａはパッケージ１の隅部１ｆ側に設け
られ、撮像部３００ｂはパッケージ１の隅部１ｆ′側に
設けられている。また、図２７の（ａ），（ｂ）に示す
ようにこれら撮像部３００ａ，３００ｂのベース部（基
準面）１ｃに対する仰角θ２はスポットライト３０１
ａ，３０１ｂのベース部（基準面）１ｃに対する仰角θ
１よりも大きくなるように設置されている。

【０１１９】このように構成された接着剤塗布機構２６
Ｂでは、上述した第４の実施の形態と同様にしてパッケ
ージ１に影部Ｊを形成することでパッケージ１の位置を
認識することができる。また、撮像部３００ａ，３００
ｂが接着剤ディスペンサ２７とは別体に設けられている
ため、パッケージ１の位置の認識と接着剤ディスペンサ
２７の駆動を同時に行うことができる。したがって、タ
クトタイムを短縮することができる。

【０１２０】一方、図２８に示すように撮像部３００
ａ，３００ｂにより接着剤ディスペンサ２７による塗布
状態を観察することができるため、塗布の際の位置ずれ
や接着剤２９の塗布幅ｗを検出することができる。な
お、塗布幅ｗが所定の値以下であればシリンジ３０内に
接着剤２９の量が少ないと判断することができる。した
がって、装置を一旦止めてシリンジ３０内の接着剤２９
の量を確認したり、接着剤２９の残量にかかわらず定期
的に接着剤２９を補充する等の作業が不要となり、全体
として製造効率を高めることができる。

【０１２１】図２９〜図３２は上述した接着剤塗布機構
２６Ｂによるパッケージ１の水平面Ｈに対する傾き（姿
勢）の認識原理及びそのパッケージ姿勢修正機構３１０
を示す図である。すなわち、図２９に示すようにパッケ
ージ１が水平面Ｈに対して傾きを有している場合には、
図３０の（ａ），（ｂ）に示すように影部Ｋ１，Ｋ２の
形状が上述した影部Ｊとは異なる。したがって、影部Ｊ
を比較の基準として影部Ｋ１，Ｋ２の形状を検出するこ
とでパッケージ１の傾きが求めることができる。

【０１２２】図３１及び図３２に示すように、パッケー
ジ姿勢修正機構３１０は、パッケージ１を互いに交差
（例えば直交）する２本の水平軸（図中Ｘ及びＹ）を中
心に揺動制御するもので、ピストンロッド２４の上端部
に固定された固定ベース３１１と、この固定ベース３１
１に駆動軸３１２を介して図中Ｘ軸回りに揺動制御され
る揺動部材３１３と、この揺動部材３１３の両端に駆動
軸３１４ａ，３１４ｂを介して図中Ｙ軸回りに揺動制御
される一対のサポート部材３１５ａ，３１５ｂとを具備
して構成されている。なお、パッケージ姿勢修正機構３
１０は制御装置７３に接続され、上述したパッケージ姿
勢認識部３０２において認識されたパッケージ１の姿勢
に基づいて駆動制御される。

【０１２３】このように構成されていると、撮像部３０
０ａ，３００ｂにより撮像された影部Ｋ１，Ｋ２の形状
に基づいてパッケージ姿勢認識部３０２においてパッケ
ージ１の水平面Ｈに対する傾きが認識される。次にパッ
ケージ姿勢認識部３０２により認識されたパッケージ１
の傾きを修正する方向に制御装置７３を介してパッケー
ジ修正機構３１０が駆動される。このようにしてパッケ
ージ１の姿勢を正しい姿勢に修正することができる。

【０１２４】上述したように本第５の実施の形態によれ
ば、上述した第４の実施の形態と同様の効果を得られる
とともに、接着剤塗布と同時にパッケージ１の画像認識
を行うことができるので、接着剤の塗布不良、塗布位置
ずれ等を検知することができる。また、パッケージ１の
傾きを検出することができるとともに、その修正を行う
ことができ、製造歩留まりを高めることができる。

【０１２５】図３３は、本発明の第６の実施の形態に係
るリッド装着装置に組み込まれた接着剤塗布機構２６Ｃ
の要部を示す図である。なお、本第６の実施の形態に係
る接着剤塗布機構２６Ｃの全体構成は上述した接着剤塗
布機構２６とほぼ同様であるので省略する。接着剤塗布
機構２６Ｃが接着剤塗布機構２６と異なる点は接着剤デ
ィスペンサ２７の近傍に撮像部３２０が設けられている
点にある。

【０１２６】撮像部３２０には画像認識部３２１が接続
されており、この画像認識部３２１は制御装置７３に接
続されている。

【０１２７】このように構成されていると、撮像部３２
０により接着剤ディスペンサ２７によるパッケージ１へ
の接着剤２９の塗布の状態を撮像し、画像認識部３２１
において認識することができる。したがって、パッケー
ジ１への塗布が所定位置から外れた場合には、画像認識
部３２１により塗布の異常が認識され、制御装置７３に
信号が送られる。これにより接着剤２９の塗布が中止さ
れる。

【０１２８】一方、図３４に示すように接着剤２９の塗
布幅ｗを検出することができるため、塗布幅ｗが所定の
値以下であればシリンジ３０内に接着剤２９の量が少な
いと判断することができる。したがって、装置を一旦止
めてシリンジ３０内の接着剤２９の量を確認したり、接
着剤２９の残量にかかわらず定期的に接着剤２９を補充
する等の作業が不要となり、全体として製造効率を高め
ることができる。

【０１２９】なお、本発明は前記各実施の形態に限定さ
れるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲で種
々変形実施可能であるのは勿論である。

【０１３０】

【発明の効果】請求項１に係る発明によれば、パッケー
ジにリッドを自動的に且つ効率的に装着することがで
き、ＣＣＤの組立効率を高めることができる。

【０１３１】請求項２に係る発明によれば、パッケージ
にリッドを自動的に且つ効率的に装着することができる
とともに、パッケージに対する接着剤の接着性を高める
ことができる。

【０１３２】請求項５及び請求項６に係る発明によれ
ば、パッケージにリッドを自動的に且つ効率的に装着す
ることができるとともに、接着剤を使用することなく加
圧パッドを紫外線透過プレートに容易に取付けることが
できる。

【０１３３】請求項７に係る発明によれば、パッケージ
にリッドを自動的に且つ効率的に装着することができる
とともに、パッケージの上にセットされたリッドが紫外
線透過プレートに片当りすることを防止できる。

【０１３４】請求項１０に係る発明によれば、パッケー
ジにリッドを自動的に且つ効率的に装着することができ
るとともに、リッドの裏面に付着した埃や塵等の付着物
を除去することができ、パッケージに対するリッドの接
着性を高めることができる。

【０１３５】請求項１１に係る発明によれば、パッケー
ジにリッドを自動的に且つ効率的に装着することができ
るとともに、パッケージの所定部位にセットされたリッ
ドの位置ずれを防止することができる。

【０１３６】請求項１３に係る発明によれば、パッケー
ジにリッドを自動的に且つ効率的に装着することができ
るとともに、パッケージの所定部位にリッドをセットす
る際にリッドの位置ずれを未然に防止することができ
る。

【０１３７】請求項１４に記載された発明によれば、加
圧力可変機構により、パッケージの所定部位をリッドに
押圧する加圧機構による加圧力を制御できるので、加圧
機構を取り替えることなくパッケージの種類に応じて適
正な加圧力を与えることができる。

【０１３８】請求項１５に記載された発明によれば、接
着剤の塗布不良に起因する製品不良を検知することがで
きる。

【０１３９】請求項１６に記載された発明によれば、隅
部に光を照射することによりパッケージに影が形成さ
れ、明暗差が生じる。このため、撮像部によりパッケー
ジを撮像することにより、明暗差の形状や位置に基づい
てパッケージの姿勢を認識することができる。

【０１４０】請求項１７に記載された発明によれば、照
射部は枠部の隅部のうち少なくとも２つ以上の隅部を照
射することにより、パッケージの姿勢を精度よく認識す
ることができる。

【０１４１】請求項１８に記載された発明によれば、検
出部により隅部の位置を検出し、この隅部の位置に基づ
いて演算部においてパッケージの位置を演算することが
できる。

【０１４２】請求項１９に記載された発明によれば、枠
部の対角に位置する２つの隅部を照射し、２つの隅部の
位置を検出し、これら２つの隅部の位置からベース部の
中心位置を演算するようにしているので、枠部における
加工誤差に伴う検出誤差を相殺することができる。

【０１４３】請求項２０に記載された発明によれば、照
射部により枠部の隅部を照射する際に反対側から照射す
る副照射部を備えているので、加工誤差に伴って枠部に
生じる暗部を明部に変えることができる。このため、検
出誤差を最小限に抑えることができる。

【０１４４】請求項２１に記載された発明によれば、撮
像部のベース部に対する仰角は、照射部のベース部に対
する仰角に比べて大きく設定されているので、暗部を枠
部により隠されることなく撮像することができる。

【０１４５】請求項２２に記載された発明によれば、パ
ッケージの画像のうち暗部の形状を検出することで、ベ
ース部が基準面に対して傾いている量を演算することが
できる。

【０１４６】請求項２３に記載された発明によれば、接
着剤を吐出する接着剤ディスペンサと一体に設けられ接
着剤ディスペンサによる塗布位置を撮像する撮像部を備
え、この撮像部により得られた画像に基づき接着剤の塗
布状態の良否を判断することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の第１の実施の形態に係るリッド装着装
置の斜視図。

【図２】同リッド装着装置の一部を示す図。

【図３】同リッド装着装置の一部を示す図。

【図４】同リッド装着装置の一部を示す図。

【図５】同リッド装着装置の一部を示す図。

【図６】同リッド装着装置の一部を示す図。

【図７】同リッド装着装置の一部を示す図。

【図８】図７のＡ−Ａ線に沿う断面図。

【図９】同リッド装着装置の一部を示す図。

【図１０】同リッド装着装置の一部を示す図。

【図１１】同リッド装着装置の一部を示す図。

【図１２】同リッド装着装置に組み込まれたシリンダ機
構を示す縦断面図。

【図１３】同リッド装着装置のブロック構成図。

【図１４】同リッド装着装置の作用を示す図。

【図１５】本発明の第２の実施の形態に係るリッド装着
装置に組み込まれたシリンダ機構を示す縦断面図。

【図１６】本発明の第３の実施の形態に係るリッド装着
装置に組み込まれた接着剤塗布機構を示す図。

【図１７】接着剤の塗布状態の例を示す斜視図。

【図１８】本発明の変形例を示す断面図。

【図１９】同変形例における接着剤の塗布状態を示す斜
視図。

【図２０】本発明の第４の実施の形態に係るリッド装着
装置に組み込まれた接着剤塗布機構を示す斜視図。

【図２１】同接着剤塗布機構に組み込まれたスポットラ
イトの要部を示す図。

【図２２】同スポットライトからの照射により生じた影
を示す図。

【図２３】パッケージの要部を示す図。

【図２４】同接着剤塗布機構の第１変形例を示す図。

【図２５】同接着剤塗布機構の第２変形例を示す図。

【図２６】本発明の第５の実施の形態に係るリッド装着
装置に組み込まれた接着剤塗布機構の要部を示す図。

【図２７】同接着剤塗布機構におけるカメラとスポット
ライトとの位置関係を示す図。

【図２８】接着剤の塗布状態を示す図。

【図２９】同接着剤塗布機構によるパッケージの傾きを
検出するための原理を示す図。

【図３０】パッケージの傾きを検出するための原理を示
す図。

【図３１】同リッド装着装置に組み込まれたパッケージ
姿勢修正機構を示す図。

【図３２】同リッド装着装置に組み込まれたパッケージ
姿勢修正機構を示す図。

【図３３】本発明の第６の実施の形態に係るリッド装着
装置に組み込まれた接着剤塗布機構を示す図。

【図３４】接着剤の塗布状態を示す図。

【図３５】一般的なＣＣＤの斜視図。

【符号の説明】

１…パッケージ ２…リッド ３…半導体素子 １１…架台 １２…ローダ １３…パッケージ搬送ボート １４…ガイドレール １５…ボート搬送機構 ２２…パッケージ押上げ機構 ２６…接着剤塗布機構 ２７…接着剤ディスペンサ ３０…シリンジ ３１…接着剤吐出口 ３６…金属カバー ３７…ヒータ ３９…紫外線照射炉 ４０…紫外線ランプ ４１…パッケージ昇降機構 ４３…パッケージ支持機構 ５０…紫外線透過プレート ５３…加圧パッド ５７…リッドセット機構 ５８…リッド吸着ヘッド。 １００…シリンダ機構 １０４…圧縮バネ １１０…シリンダ機構 １１３…エアシリンダ １１６…レギュレータ ２００…塗布状態検査機構 ２０１，３００…撮像部 ３０１，３０１ａ，３０１ｂ…スポットライト ３０２…パッケージ姿勢認識部 ２０２，３２１…画像認識部

Claims (23)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】架台と、 この架台上に設けられた一対のガイドレールと、 前記架台の一端部側に設けられ前記ガイドレール上に複
   数個のパッケージを搭載したパッケージ搬送ボートを供
   給するローダと、 前記架台に設けられ前記ローダにより前記ガイドレール
   上に供給された前記パッケージ搬送ボートを前記架台の
   他端部へ所定ピッチずつ搬送するボート搬送機構と、 前記架台に設けられ前記ボート搬送機構により前記ガイ
   ドレール上の所定位置に搬送された前記パッケージを前
   記ガイドレールの上方に押上げるパッケージ押上げ機構
   と、 前記架台上に設けられ前記パッケージ押上げ機構により
   前記ガイドレールの上方に押上げられた前記パッケージ
   に紫外線硬化性の接着剤を塗布する接着剤塗布機構と、 前記架台上に設けられ前記接着剤塗布機構により前記接
   着剤が塗布された前記パッケージの所定部位に紫外線を
   照射する紫外線照射炉と、 この紫外線照射炉と前記接着剤塗布機構との間の前記架
   台上に設けられ前記パッケージの所定部位に該パッケー
   ジの開口部を閉塞する透明なリッドをセットするリッド
   セット機構と、 前記架台の他端部側に設けられ前記紫外線照射炉内を通
   過した前記パッケージを回収するアンローダとを具備し
   たことを特徴とするリッド装着装置。
2. 【請求項２】前記ローダと前記接着剤塗布機構との間の
   前記架台上には、前記パッケージにイオン化された不活
   性ガスを吹き付ける不活性ガスブロー装置が設けられて
   いることを特徴とする請求項１に記載のリッド装着装
   置。
3. 【請求項３】前記紫外線照射炉は、前記ガイドレールの
   上方に紫外線ランプを備え、 前記紫外線ランプと前記ガイドレールとの間には、紫外
   線透過プレートが設けられていることを特徴とする請求
   項１に記載のリッド装着装置。
4. 【請求項４】前記紫外線照射炉の内部には、前記パッケ
   ージ搬送ボートに搭載された複数個のパッケージを前記
   ガイドレールの上方に押上げるパッケージ昇降機構が設
   けられていることを特徴とする請求項３に記載のリッド
   装着装置。
5. 【請求項５】前記紫外線照射炉は、前記リッドを加圧す
   る加圧パッドを備えていることを特徴とする請求項１に
   記載のリッド装着装置。
6. 【請求項６】前記加圧パッドは、前記紫外線透過プレー
   トを貫通する軸と、 この軸の下端に設けられたパッド部とを備えていること
   を特徴とする請求項５に記載のリッド装着装置。
7. 【請求項７】前記パッケージ昇降機構は、上下方向に伸
   縮する複数本のピストンロッドを有し、これらピストン
   ロッドの上端には、前記パッケージを互いに交差する２
   つの水平軸を中心として揺動自在に支持するパッケージ
   支持機構が設けられていることを特徴とする請求項４に
   記載のリッド装着装置。
8. 【請求項８】前記パッケージ支持機構は、前記ピストン
   ロッドの上端部に固定された固定ベースと、 この固定ベースに枢支軸を介して揺動自在に枢支された
   揺動部材と、 この揺動部材の両端に枢支軸を介して揺動自在に枢支さ
   れた一対のサポート部材とで構成されていることを特徴
   とする請求項７に記載のリッド装着装置。
9. 【請求項９】前記リッドセット機構は、前記リッドを吸
   着するリッド吸着ヘッドを備えていることを特徴とする
   請求項１に記載のリッド装着装置。
10. 【請求項１０】前記架台上には、前記リッド吸着ヘッド
    に吸着された前記リッドの裏面にイオン化された不活性
    ガスを吹き付ける不活性ガスブロー手段が設けられてい
    ることを特徴とする請求項９に記載のリッド装着装置。
11. 【請求項１１】前記リッドセット機構は、前記パッケー
    ジの所定部位にセットされた前記リッドに紫外線を照射
    する紫外線照射手段を備えていることを特徴とする請求
    項１に記載のリッド装着装置。
12. 【請求項１２】前記リッドセット機構は、前記パッケー
    ジの開口部に不活性ガスを吹き付けて前記パッケージの
    内部を空気雰囲気から不活性ガス雰囲気に置換する不活
    性ガスブロー手段を備えていることを特徴とする請求項
    １に記載のリッド装着装置。
13. 【請求項１３】前記ボート搬送機構を駆動制御する制御
    手段と、 前記接着剤塗布機構と前記リッドセット機構及び前記リ
    ッドセット機構と前記紫外線照射炉との間に設けられ前
    記パッケージ搬送ボートに搭載された前記パッケージの
    上下方向の傾きを光学的に検出する傾き検出機構とを具
    備し、 前記制御手段は、前記傾き検出機構が前記パッケージの
    上下方向の傾きを検出したのに基づき前記ボート搬送機
    構に搬送停止信号を送出することを特徴とする請求項１
    に記載のリッド装着装置。
14. 【請求項１４】前記紫外線照射炉は、前記パッケージの
    所定部位を前記リッドに押圧する加圧機構と、この加圧
    機構による加圧力を制御する加圧力可変機構とを備えて
    いることを特徴とする請求項１に記載のリッド装着装
    置。
15. 【請求項１５】前記接着剤塗布機構は、塗布された前記
    接着剤の塗布状態を検査する塗布状態検査機構を備えて
    いることを特徴とする請求項１に記載のリッド装着装
    置。
16. 【請求項１６】前記接着剤塗布機構は、平板状のベース
    部及びこのベース部の周縁部に設けられた矩形状の枠部
    とを有する前記パッケージの前記枠部の隅部の外側から
    内側に向けて光を照射する照射部と、 前記パッケージを撮像する撮像部と、 この撮像部により得られた前記パッケージの画像におけ
    る明暗差に基づいて前記パッケージの姿勢を認識する認
    識部とを備えていることを特徴とする請求項１に記載の
    リッド装着装置。
17. 【請求項１７】前記照射部は前記枠部の前記隅部のうち
    少なくとも２つ以上の隅部を照射することを特徴とする
    請求項１６に記載のリッド装着装置。
18. 【請求項１８】前記認識部は、前記隅部の位置を検出す
    る検出部と、 この検出部により検出された前記隅部の位置に基づいて
    前記パッケージの位置を演算する演算部とを備えている
    ことを特徴とする請求項１６に記載のリッド装着装置。
19. 【請求項１９】前記照射部は、前記枠部の対角に位置す
    る２つの隅部を照射し、 前記認識部は、前記２つの隅部の位置を検出する検出部
    と、 この検出部により検出された前記２つの隅部の位置から
    前記ベース部の中心位置を演算する中心位置演算部と、 この中心位置演算部により演算された前記中心位置に基
    づいて前記パッケージの位置を演算する演算部とを備え
    ていることを特徴とする請求項１６に記載のリッド装着
    装置。
20. 【請求項２０】前記照射部により前記枠部の前記隅部を
    照射する際に反対側から照射する副照射部を備えている
    ことを特徴とする請求項１６に記載のパッケージ位置認
    識装置。
21. 【請求項２１】前記撮像部の前記ベース部に対する仰角
    は、前記照射部の前記ベース部に対する仰角に比べて大
    きく設定されていることを特徴とする請求項１６に記載
    のリッド装着装置。
22. 【請求項２２】前記認識部は、前記パッケージの画像の
    うち暗部の形状を検出する検出部と、 この検出部により検出された前記暗部の形状に基づいて
    前記ベース部の基準面に対する傾きを演算する演算部と
    を備えていることを特徴とする請求項１６に記載のリッ
    ド装着装置。
23. 【請求項２３】前記接着剤塗布機構は、前記接着剤を吐
    出する接着剤ディスペンサと、 この接着剤ディスペンサと一体に設けられ前記接着剤デ
    ィスペンサによる塗布位置を撮像する撮像部と、 この撮像部により得られた画像に基づき前記接着剤の塗
    布状態の良否を判断する判断部とを備えていることを特
    徴とする請求項１に記載のリッド装着装置。