JP3930087B2

JP3930087B2 - リッド装着装置及び固体撮像装置の製造方法

Info

Publication number: JP3930087B2
Application number: JP00392797A
Authority: JP
Inventors: 洋小泉; 毅宮川; 隆行本橋
Original assignee: Toshiba Corp
Current assignee: Toshiba Corp
Priority date: 1996-01-12
Filing date: 1997-01-13
Publication date: 2007-06-13
Anticipated expiration: 2017-01-13
Also published as: JPH09252011A

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、固体撮像装置等を組立てるときに使用されるリッド装着装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
ビデオカメラ等の撮像手段として用いられる固体撮像装置（以下、「ＣＣＤ」と称する。）は、図３５に示すように、固体撮像素子を収納するパッケージ１と、このパッケージ１の開口部を閉塞する板状の透明なリッド２とを有しており、このリッド２を例えば低融点ガラスからなる接着剤でパッケージ１に接着した構造となっている。
【０００３】
このようなＣＣＤを組み立てる場合、従来はパッケージ１の開口部にリッド２を手作業でセットした後、パッケージ１およびリッド２を真空加熱炉の中で加熱し、リッド２の裏面に予め塗布された接着剤を溶融させてパッケージ１にリッド２を接着している。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
このため、従来ではパッケージ１にリッド２を接着するまでに５０分程度かかり、生産性が低いという難点があった。また、接着剤としての低融点ガラスをリッド２の裏面に塗布する際にリッド２の両端部をハンドリング装置で把持する必要があるため、リッド２に傷や汚れ等が生じ易いという難点があった。
【０００５】
本発明は上述した問題点に鑑みてなされたもので、その目的はパッケージにリッドを自動的に且つ効率的に装着することのできるリッド装着装置を提供しようとするものである。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
前記課題を解決するための手段として、請求項１に記載された発明は、架台と、この架台上に設けられた一対のガイドレールと、前記架台の一端部側に設けられ前記ガイドレール上に複数個のパッケージを搭載したパッケージ搬送ボートを供給するローダと、前記架台に設けられ前記ローダにより前記ガイドレール上に供給された前記パッケージ搬送ボートを前記架台の他端部へ所定ピッチずつ搬送するボート搬送機構と、前記架台に設けられ前記ボート搬送機構により前記ガイドレール上の所定位置に搬送された前記パッケージを前記ガイドレールの上方に押上げるパッケージ押上げ機構と、前記架台上に設けられ前記パッケージ押上げ機構により前記ガイドレールの上方に押上げられた前記パッケージに紫外線硬化性の接着剤を塗布する接着剤塗布機構と、前記架台上に設けられ前記接着剤塗布機構により前記接着剤が塗布された前記パッケージの所定部位に紫外線を照射する紫外線照射炉と、この紫外線照射炉と前記接着剤塗布機構との間の前記架台上に設けられ前記パッケージの所定部位に該パッケージの開口部を閉塞する透明なリッドをセットするリッドセット機構と、前記架台の他端部側に設けられ前記紫外線照射炉内を通過した前記パッケージを回収するアンローダとを具備し、前記紫外線照射炉の内部には、前記パッケージ搬送ボートに搭載された複数個のパッケージを前記ガイドレールの上方に押上げるパッケージ昇降機構が設けられている。
【０００８】
請求項２に記載された発明は、請求項１に記載された発明において、前記紫外線照射炉は、前記ガイドレールの上方に紫外線ランプ及び前記リッドを加圧する加圧パッドを備え、前記紫外線ランプと前記ガイドレールとの間には、紫外線透過プレートが設けられ、前記加圧パッドは、前記紫外線透過プレートを貫通する軸と、この軸の下端に設けられたパッド部とを備えている。
【００１２】
請求項３に記載された発明は、請求項１に記載された発明において、前記パッケージ昇降機構は、上下方向に伸縮する複数本のピストンロッドを有し、これらピストンロッドの上端には、前記パッケージを互いに交差する２つの水平軸を中心として揺動自在に支持するパッケージ支持機構が設けられている。
【００１３】
請求項８に記載された発明は、請求項７に記載された発明において、前記パッケージ支持機構は、前記ピストンロッドの上端部に固定された固定ベースと、この固定ベースに枢支軸を介して揺動自在に枢支された揺動部材と、この揺動部材の両端に枢支軸を介して揺動自在に枢支された一対のサポート部材とで構成されている。
【００１８】
請求項４に記載された発明は、請求項１に記載された発明において、前記ボート搬送機構を駆動制御する制御手段と、前記接着剤塗布機構と前記リッドセット機構及び前記リッドセット機構と前記紫外線照射炉との間に設けられ前記パッケージ搬送ボートに搭載された前記パッケージの上下方向の傾きを光学的に検出する傾き検出機構とを具備し、前記制御手段は、前記傾き検出機構が前記パッケージの上下方向の傾きを検出したときのに基づき前記ボート搬送機構に搬送停止信号を送出する。
【００１９】
請求項５に記載された発明は、請求項１に記載された発明において、前記紫外線照射炉は、前記パッケージの所定部位を前記リッドに押圧する加圧機構と、この加圧機構による加圧力を制御する加圧力可変機構とを備えている。
【００２８】
請求項６に記載された発明は、請求項１に記載された発明において、前記接着剤塗布機構は、前記接着剤を吐出する接着剤ディスペンサと、この接着剤ディスペンサと一体に設けられ前記接着剤ディスペンサによる塗布位置を撮像する撮像部と、この撮像部により得られた画像に基づき前記接着剤の塗布状態の良否を判断する判断部とを備えている。
請求項７に記載された発明によれば、請求項１ないし６いずれか１に記載された装置を使ってパッケージの開口部をリッドで封着する。
請求項８に記載された発明は、架台上に設けられた一対のガイドレールの一端側に複数個のパッケージを保持したパッケージ搬送ボートをローダを用いて供給するパッケージ搬送ボート供給工程と、前記ガイドレール上に供給された前記パッケージ搬送ボートをボート搬送機構により前記ガイドレールの他端側へ向けて所定ピッチずつ搬送するボート搬送工程と、前記ガイドレール上の所定位置に前記ボート搬送機構により搬送された前記パッケージをパッケージ押上げ機構により前記ガイドレールの上方に押上げるパッケージ押上げ工程と、前記パッケージ押上げ機構により前記ガイドレールの上方に押上げられた前記パッケージに接着剤塗布機構により紫外線硬化性の接着剤を塗布する接着剤塗布工程と、前記パッケージの所定部位に該パッケージの開口部を閉塞する透明なリッドをリッドセット機構によりセットするリッドセット工程と、紫外線照射炉の内部において、前記パッケージ搬送ボートに搭載された複数個のパッケージを前記ガイドレールの上方に押上げるパッケージ上昇工程と、前記接着剤が塗布された前記パッケージの所定部位に紫外線照射炉により紫外線を照射する紫外線照射工程と、前記ガイドレールの他端側に搬送され、前記紫外線照射炉内を通過した前記パッケージ搬送ボート上の前記パッケージをアンローダを用いて回収するパッケージ回収工程とを具備している。
【００３０】
前記手段を講じた結果、次のような作用が生じる。すなわち、請求項１に記載された発明によれば、接着剤塗布機構と紫外線照射炉との間にリッドセット機構を設けたことにより、紫外線硬化性の接着剤が塗布されたパッケージの所定部位にリッドを自動的にセットすることができる。したがって、パッケージにリッドを手作業に頼ることなく自動的に且つ効率的に装着することができ、ＣＣＤの組立効率を高めることができる。また、紫外光をパッケージの上にセットされたリッドにより多く当てることができ、パッケージに塗布された接着剤を短時間で硬化させることができる。
【００３１】
請求項２に記載された発明によれば、パッケージにリッドを自動的に且つ効率的に装着することができるとともに、接着剤を使用することなく加圧パッドを紫外線透過プレートに容易に取付けることができる。
【００３５】
請求項３に記載された発明によれば、パッケージ昇降機構は、上下方向に伸縮する複数本のピストンロッドを有し、ピストンロッドの上端には、パッケージを互いに交差する２つの水平軸を中心として揺動自在に支持するパッケージ支持機構が設けられているので、パッケージの上にセットされたリッドが紫外線透過プレートに片当りすることを防止できる。
【００４１】
請求項４に記載された発明によれば、パッケージの所定部位にリッドをセットする際にリッドの位置ずれを未然に防止することができる。
【００４２】
請求項５に記載された発明によれば、加圧力可変機構により、パッケージの所定部位をリッドに押圧する加圧機構による加圧力を制御できるので、加圧機構を取り替えることなくパッケージの種類に応じて適正な加圧力を与えることができる。
【００５１】
請求項６に記載された発明によれば、接着剤を吐出する接着剤ディスペンサと一体に設けられ接着剤ディスペンサによる塗布位置を撮像する撮像部を備え、この撮像部により得られた画像に基づき接着剤の塗布状態の良否を判断することができる。
請求項７に記載された発明によれば、接着剤塗布機構と紫外線照射炉との間にリッドセット機構を設けたことにより、紫外線硬化性の接着剤が塗布されたパッケージの所定部位にリッドを自動的にセットすることができる。したがって、パッケージにリッドを手作業に頼ることなく自動的に且つ効率的に装着することができ、ＣＣＤの組立効率を高めることができる。また、紫外光をパッケージの上にセットされたリッドにより多く当てることができ、パッケージに塗布された接着剤を短時間で硬化させることができる。
請求項８に記載された発明によれば、接着剤塗布工程と紫外線照射工程との間にリッドセット工程を設けたことにより、紫外線硬化性の接着剤が塗布されたパッケージの所定部位にリッドを自動的にセットすることができる。したがって、パッケージにリッドを手作業に頼ることなく自動的に且つ効率的に装着することができ、ＣＣＤの組立効率を高めることができる。
【００５２】
【発明の実施の形態】
図１は本発明の第１の実施の形態に係るリッド装着装置の斜視図であり、同図に示すように架台１１の長手方向一端部には、ローダ１２が設けられている。このローダ１２は複数個のパッケージ１…を搭載したパッケージ搬送ボート１３（図２及び図３参照）を架台１１の上に設置された一対のガイドレール１４，１４上に送り出すもので、ローダ１２によりガイドレール１４，１４上に送り出されたパッケージ搬送ボート１３は、架台１１の内部に設けられたボート搬送機構１５（図４参照）により架台１１の長手方向他端部へ所定ピッチずつ搬送されるようになっている。
【００５３】
前記ボート搬送機構１５は、図４に示すように架台１１の上面から突出した複数の搬送アーム１６…を有しており、これらの搬送アーム１６…に設けられた搬送ピン１７（図２及び図３参照）をパッケージ搬送ボート１３に穿設された貫通孔１８に嵌合させてパッケージ搬送ボート１３を架台１１の長手方向他端部へ所定ピッチずつ搬送するように構成されている。すなわち、このボート搬送機構１５は、図４に示すように、搬送アーム１６をガイドレール１４，１４の長手方向（図中Ｘ方向）に駆動する第１のアーム駆動部１９および搬送アーム１６を上下方向（図中Ｚ方向）に駆動する第２のアーム駆動部２０を備えており、これらのアーム駆動部１９，２０を交互に駆動してパッケージ搬送ボート１３を架台１１の長手方向他端部へ所定ピッチずつ搬送している。
【００５４】
なお、パッケージ搬送ボート１３は例えば矩形状をなす金属板の左右両端部を略直角に且つ同一方向に折曲げて形成されており、このパッケージ搬送ボート１３の上面中央には、パッケージ１の位置ずれを防止する複数の矩形孔２１…（図２参照）がガイドレール１４，１４の長手方向に所定ピッチで穿設されているとともに、パッケージ１の両側部に設けられた端子部３を収納するための複数の矩形孔（図３５参照）がガイドレール１４，１４の長手方向に所定ピッチで穿設されている。
【００５５】
また、架台１１の内部には、図５に示すようにパッケージ押上げ機構２２が設けられている。このパッケージ押上げ機構２２はボート搬送機構１５によりガイドレール１４，１４上の所定位置に搬送されたパッケージ１をガイドレール１４，１４の上方に押上げるもので、押上げ部材２３と、この押上げ部材２３を昇降駆動するピストンロッド２４と、このピストンロッド２４を上下方向に伸縮駆動するエアリンダ２５とを具備して構成されている。
【００５６】
一方、架台１１の上には、図１に示すように接着剤塗布機構２６および紫外線照射炉３９がそれぞれ所定位置に設けられている。
【００５７】
前記接着剤塗布機構２６はパッケージ押上げ機構２２によりガイドレール１４，１４の上方に押上げられたパッケージ１の所定部位（図１７の開口部１ａの周縁部）に紫外線硬化性の接着剤を塗布するもので、図２に示すように接着剤を吐出する接着剤ディスペンサ２７と、この接着剤ディスペンサ２７を垂直に保持する保持部材２８と、この保持部材２８を互いに交差（例えば直交）する水平な二方向（図中矢印Ｘ及びＹ方向）に走査する走査機構（図示せず）及び保持部材２８を上下方向に走査する走査機構とを具備して構成されている。
【００５８】
ここで、接着剤ディスペンサ２７は、図６に示すように、接着剤２９を収容したシリンジ３０を備えている。このシリンジ３０の下端には接着剤吐出口３１が形成されており、本体部３２に接続された加圧空気供給管３３からシリンジ３０に加圧空気を導入し、接着剤吐出口３１を開閉するソレノイド弁３４を開口すると接着剤吐出口３１から接着剤２９が吐出するようになっている。
【００５９】
前記接着剤ディスペンサ２７には、シリンジ３０内に収容された接着剤２９を一定温度に保つ保温装置３５（図６参照）が設けられている。この保温装置３５は、接着剤吐出口３１を除くシリンジ３０の外表面を覆うブロック状の金属カバー３６を備えており、この金属カバー３６に埋設されたヒータ３７でシリンジ３０を所定温度に加温して接着剤２９を一定温度に保つように構成されている。なお、金属カバー３６はセラミックからなる断熱部材３８を介してディスペンサ保持部材２８に固定されている。
【００６０】
前記紫外線照射炉３９は、図７及び図８に示すようにガイドレール１４，１４の上方に紫外線ランプ４０を備えており、この紫外線ランプ４０から紫外光を放出してパッケージ１に塗布された接着剤を硬化させる構造となっている。
【００６１】
前記紫外線ランプ４０とガイドレール１４，１４との間には、紫外線透過プレート５０が設けられている。この紫外線透過プレート５０は耐熱性を有する紫外線透過材料（例えば石英）で形成されており、紫外線ランプ４０から放出された放出光は紫外線透過プレート５０を透過してパッケージ１に照射されるようになっている。
【００６２】
前記架台１１の上には、図８に示すように複数本の支柱５２…が立設されている。これらの支柱５２…には紫外線透過プレート５０が上下方向に移動可能に支持されており、紫外線透過プレート５０の下方には、パッケージ搬送ボート１３に搭載された複数個のパッケージ１…をガイドレール１４，１４の上方に押上げるパッケージ昇降機構４１が設けられている。なお、紫外線透過プレート５０と紫外線ランプ４０との間には、紫外線ランプ４０からの紫外光を遮光する開閉自在のシャッタ５１（図７参照）が設けられている。
【００６３】
前記パッケージ昇降機構４１は、架台１１の内部に設けられた後述するシリンダ機構１００（図１２参照）により上下方向に伸縮駆動される複数本のピストンロッド４２…を備えており、これらピストンロッド４２…の上端にはパッケージ支持機構４３がそれぞれ設けられている。
【００６４】
前記パッケージ支持機構４３はパッケージ１を互いに交差（例えば直交）する２本の水平軸（図中Ｘ及びＹ）を中心に揺動自在に支持するもので、図９及び図１０に示すようにピストンロッド４２の上端部に固定された固定ベース４４と、この固定ベース４４に枢支軸４５を介して図中Ｘ軸回りに揺動自在に枢支された揺動部材４６と、この揺動部材４６の両端に枢支軸４７ａ，４７ｂを介して図中Ｙ軸回りに揺動自在に枢支された一対のサポート部材４８ａ，４８ｂとを具備して構成されている。
【００６５】
また、前記紫外線照射炉３９はパッケージ１の上にセットされたリッド２を加圧する複数個の加圧パッド５３…（図８参照）を備えている。これらの加圧パッド５３…は、図１１に示すように紫外線透過プレート５０を上下に貫通する軸部５３ａと、この軸部５３ａの下端に設けられた半球状のパッド部５３ｂとからなり、軸部５３ａの上端部には、固定手段としての止め輪５５が装着されている。なお、前記紫外線ランプ４０、紫外線透過プレート５０、シャッタ５１および支柱５２…は箱形の炉本体５６内に収容されている。
【００６６】
シリンダ機構１００は、図１２に示すように、上述したピストンロッド４２に対して同軸的に配置された円筒部１０１と、ピストンロッド４２を図１２中矢印Ｚ方向に沿って往復動させる駆動部１０２とを備えている。なお、ピストンロッド４２の図１２中下端には鍔部４２ａが形成されており、円筒部１０１の下端１０１ａに係合するように構成されている。また、円筒部１０１内には、ピストンロッド４２を図１２中矢印Ｚ方向に沿って円滑に往復動させるためのボールブッシュ１０３と、このボールブッシュ１０３と円筒部１０１の下端１０１ａとの間に設けられた圧縮バネ１０４とが設けられている。なお、図１２中１０４ａは、ワッシャを示している。
【００６７】
シリンダ機構１００は、駆動部１０２によりピストンロッド４２を所定位置まで押し上げることにより、圧縮バネ１０４の弾性力によりピストンロッド４２を介してパッケージ１に対してリッド２を所定の加圧力で加圧する機能を有している。なお、パッケージ１及びリッド２の仕様が変更となり、加圧力を変更する必要がある場合には円筒部１０１を取り外し、圧縮バネ１０４を取り替える。
【００６８】
前記紫外線照射炉３９と接着剤塗布機構２６との間には、パッケージ１の開口部１ａにリッド２をセットするリッドセット機構５７（図１参照）が設けられている。
【００６９】
前記リッドセット機構５７は、図３に示すように架台１１の上方にリッド吸着ヘッド５８と、このリッド吸着ヘッド５８を上下方向（図中Ｚ方向）に走査するＺ方向走査機構５９ａと、このＺ方向走査機構５９ａをガイドレール１４，１４の幅方向（図中Ｙ方向）に走査するＹ方向走査機構５９ｂとを備えており、これらのＺ方向走査機構５９ａおよびＹ方向走査機構５９ｂを駆動してパッケージ１の開口部１ａにリッド２をセットするように構成されている。なお、リッド２は架台１１の上に設けられたリッド供給テーブル６０に載置されており、このリッド供給テーブル６０の近傍には、リッド吸着ヘッド５８に吸着されたリッド２の裏面にイオン化された不活性ガス（例えば窒素ガス）を吹き付ける不活性ガスブローノズル６１（図３参照）が設けられている。
【００７０】
また、前記リッドセット機構５７は架台１１の内部にパッケージ押上げ機構６２（図３参照）を備えており、このパッケージ押上げ機構６２でパッケージ１をガイドレール１４，１４の上方に押上げてパッケージ１の開口部１ａにリッド２をセットするように構成されている。
【００７１】
さらに、前記リッドセット機構５７はパッケージ押上げ機構６２によりガイドレール１４，１４の上方に押上げられたパッケージ１の開口部１ａに窒素ガス等の不活性ガスを吹き付ける不活性ガスブローノズル６３と、パッケージ１の開口部１ａにセットされたリッド２に紫外線を照射する紫外線照射手段としてのライトガイドファイバ６４とを備えている。なお、不活性ガスブローノズル６３は乱流の発生を防ぐため、層流ノズルにて構成されている。
【００７２】
前記ローダ１２と接着剤塗布機構２６との間の架台１１上には、パッケージ搬送ボート１３に搭載された複数個のパッケージ１…にイオン化された不活性ガス（例えば窒素ガス）を吹き付ける不活性ガスブロー装置６５（図２参照）が設けられている。この不活性ガスブロー装置６５はガイドレール１４，１４の上方に箱形のブローボックス６６を備えており、このブローボックス６６の下面に設けられた不活性ガス噴出口からイオン化された不活性ガスを吹き出すように構成されている。なお、架台１１の長手方向他端部には紫外線照射炉３９を通過したパッケージ搬送ボート１３を回収するアンローダ６７（図１参照）が設けられている。
【００７３】
前記接着剤塗布機構２６とリッドセット機構５７およびリッドセット機構５７と紫外線照射炉３９との間には、傾き検出機構６８，６９（図２及び図３参照）が設けられている。これらの傾き検出機構６８，６９はパッケージ搬送ボート１３に搭載されたパッケージ１の上下方向の傾きを光学的に検出するもので、ガイドレール１４，１４を挟んで相対向する発光素子６８ａ，６９ａと受光素子６８ｂ，６９ｂとで構成されている。
【００７４】
前記ボート搬送機構１５、パッケージ押上げ機構２２，接着剤塗布機構２６及びリッドセット機構５７には、図１３に示すように駆動回路７０，７１，７２，７２ａを介して制御装置７３が接続されている。この制御装置７３はボート搬送機構１５、パッケージ押上げ機構２２、接着剤塗布機構２６およびリッドセット機構５７を駆動制御するもので、図１４に示すフローチャートに基づいてボート搬送機構１５、パッケージ押上げ機構２２、接着剤塗布機構２６およびリッドセット機構５７を制御している。
【００７５】
ボート搬送機構１５、パッケージ押上げ機構２２、接着剤塗布機構２６およびリッドセット機構５７の制御方法は、図１４に示すようにローダ１２からガイドレール１４，１４上にパッケージ搬送ボート１３が送り出されると、制御装置７３はボート搬送機構１５にボート搬送信号を送出する（ステップＳ１）。これによりローダ１２からガイドレール１４，１４上に送り出されたパッケージ搬送ボート１３は、ボート搬送機構１５により架台１１の長手方向他端部へ１ピッチだけ搬送される。そして、パッケージ搬送ボート１３に搭載されたパッケージ１がガイドレール１４，１４上の所定位置に達すると、制御装置７３はパッケージ押上げ機構２２にパッケージ上昇信号を送出する（ステップＳ２）。これによりパッケージ搬送ボート１３に搭載されたパッケージ１は、パッケージ押上げ機構２２によりガイドレール１４，１４の上方に押上げられる。
【００７６】
また、パッケージ搬送ボート１３に搭載されたパッケージ１がパッケージ押上げ機構２２によりガイドレール１４，１４の上方に押上げられると、制御装置７３は接着剤塗布機構２６に接着剤塗布信号を送出する（ステップＳ３）。これにより接着剤塗布機構２６が作動し、ガイドレール１４，１４の上方に押上げられたパッケージ１に接着剤が塗布される。そして、パッケージ１に対する接着剤の塗布が終了すると、制御装置７３はガイドレール１４，１４の上方に押上げられたパッケージ１をパッケージ搬送ボート１３上に戻すためのパッケージ下降信号をパッケージ押上げ機構２２に送出する（ステップＳ４）。
【００７７】
また、ガイドレール１４，１４の上方に押上げられたパッケージ１がパッケージ押上げ機構２２によりパッケージ搬送ボート１３上に戻されると、制御装置７３はパッケージ搬送ボート１３に搭載された全てのパッケージ１に接着剤が塗布されたか否かを判断し、接着剤を塗布すべきパッケージ１がある場合には、接着剤が塗布されたパッケージ１に上下方向の傾きがあるか否かを傾き検出機構６８，６９からの信号に基づいて判断する（ステップＳ５，Ｓ６）。
【００７８】
ここで、接着剤が塗布されたパッケージ１に上下方向の傾きがない場合には、ステップＳ１に戻り、上述した制御が繰り返される。また、接着剤が塗布されたパッケージ１に上下方向の傾きがある場合には、制御装置７３はボート搬送機構１５にパッケージ搬送停止信号を送出してパッケージ１の搬送を停止させるとともに、図示しない表示部にエラーメッセージを表示する（ステップＳ７，Ｓ８）。これにより上下方向の傾きを持っているパッケージ１がリッドセット機構５７へ搬送されることがないので、リッド２の位置ずれを防止することができる。
【００７９】
前記の構成において、ローダ１２からガイドレール１４，１４上に供給されたパッケージ搬送ボート１３は架台１１の内部に設けられたボート搬送機構１５により架台１１の長手方向他端部へ所定ピッチずつ搬送される。
【００８０】
このとき、パッケージ搬送ボート１３に搭載されたパッケージ１がガイドレール１４，１４上の所定位置に達すると、架台１１の内部に設けられたパッケージ押上げ機構２２が作動する。これによりパッケージ搬送ボート１３に搭載されたパッケージ１はガイドレール１４，１４の上方に押上げられ、接着剤塗布機構２６により紫外線硬化性の接着剤が開口部１ａの周縁部に塗布される。
【００８１】
このようにしてパッケージ１の所定部位に紫外線硬化性の接着剤が塗布されると、パッケージ押上げ機構２２のピストンロッド２４が下降する。これにより接着剤が塗布されたパッケージ１は、パッケージ搬送ボート１３の上に戻される。そして、パッケージ押上げ機構２２のピストンロッド２４が下降すると、ボート搬送機構１５が再び作動し、パッケージ搬送ボート１３を架台１１の長手方向他端部へ１ピッチ分だけ搬送する。
【００８２】
また、パッケージ搬送ボート１３に搭載されたパッケージ１がガイドレール１４，１４上の所定位置（リッド吸着ヘッド５８の下方位置）に達すると、リッドセット機構５７のパッケージ押上げ機構６２が作動する。これによりパッケージ搬送ボート１３に搭載されたパッケージ１は、ガイドレール１４，１４の上方に押上げられる。そして、パッケージ搬送ボート１３に搭載されたパッケージ１がガイドレール１４，１４の上方に押上げられると、リッドセット機構５７が作動し、パッケージ１の開口部１ａにリッド２がセットされる。なお、このとき架台１１上に設けられた不活性ガスブローノズル６３から不活性ガスが噴出し、パッケージ１の内部を空気雰囲気から不活性雰囲気に置換する。また、リッドセット機構５７のリッド吸着ヘッド５８がリッド２を吸着すると、不活性ガスブローノズル６１からイオン化された不活性ガスが噴出することによりリッド２の裏面に付着した埃や塵等の付着物が除去される。さらに、パッケージ１の開口部１ａにリッド２がセットされると、リッド吸着ヘッド５８に設けられたライトガイドファイバ６４からリッド２に紫外光が照射される。これによりパッケージ１の開口部１ａにセットされたリッド２はパッケージ１に仮止めされる。
【００８３】
このようにしてパッケージ１の所定部位にリッド２がセットされると、パッケージ押上げ機構６２が作動し、リッド２がセットされたパッケージ１をパッケージ搬送ボート１３上に戻す。そして、ガイドレール１４，１４の上方に押上げられたパッケージ１がパッケージ搬送ボート１３上に戻されると、ボート搬送機構１５が再び作動し、パッケージ搬送ボート１３を架台１１の長手方向他端部へ１ピッチ分だけ搬送する。
【００８４】
また、パッケージ搬送ボート１３が紫外線照射炉３９内に搬送されると、図示しないシャッタ開閉機構が作動し、紫外線透過プレート５０と紫外線ランプ４０との間に設けられたシャッタ５１を格納位置へ移動させる。これにより紫外線ランプ４０から放出された紫外光は、紫外線透過プレート５０を透過してパッケージ１…の上にセットされたリッド２…に照射され、パッケージ１…に塗布された紫外線硬化性の接着剤が紫外光によって硬化する。
【００８５】
また、パッケージ搬送ボート１３が紫外線照射炉３９内に搬送されると、パッケージ昇降機構４１が作動し、パッケージ搬送ボート１３に搭載された複数個のパッケージ１…をガイドレール１４，１４の上方に押上げる。このとき、紫外線透過プレート５０はパッケージ１…の上昇に伴なって上方へ移動する。また、パッケージ昇降機構４１によりガイドレール１４，１４の上方に押上げられた複数個のパッケージ１…はリッド２…を介して紫外線透過プレート５０の下面に設けられた加圧パッド５３…に当接する。そして、パッケージ搬送ボート１３に搭載された複数個のパッケージ１…をガイドレール１４，１４の上方に押上げてから所定時間が経過すると、パッケージ昇降機構４１のピストンロッド４２…が下降する。これによりガイドレール１４，１４の上方に押上げられた複数個のパッケージ１…は、パッケージ搬送ボート１３の上に戻される。なお、紫外線照射炉３９を通過したパッケージ搬送ボート１３は架台１１の長手方向他端部に設けられたアンローダ６７により回収される。
【００８６】
上述したように、本発明の第１の実施の形態に係るリッド装着装置では、接着剤塗布機構２６と紫外線照射炉３９との間にリッドセット機構５７を設けたことにより、紫外線硬化性の接着剤が塗布されたパッケージ１の所定部位にリッド２を自動的にセットすることができる。したがって、パッケージ１にリッド２を手作業に頼ることなく自動的に且つ効率的に装着することができ、ＣＣＤの組立効率を高めることができる。
【００８７】
また、本発明の第１の実施の形態に係るリッド装着装置では、パッケージ搬送ボート１３に搭載されたパッケージ１にイオン化された不活性ガスを吹き付ける不活性ガスブロー装置６５がローダ１２と接着剤塗布機構２６との間の架台１１上に設けられているので、パッケージ１に付着した埃や塵等の付着物を不活性ガスブロー装置６５から噴出する不活性ガスで除去することができ、パッケージ１に対する接着剤の接着性を高めることができる。
【００８８】
また、本発明の第１の実施の形態に係るリッド装着装置では、接着剤吐出口３１を除くシリンジ３０の外表面を金属カバー３６で覆うとともに、この金属カバー３６に埋設されたヒータ３７でシリンジ３０を所定温度に加温することにより、シリンジ３０内に収容された接着剤２９を一定温度に保つことができる。これによりシリンジ３０内の接着剤２９が外気温の影響を受けることがなくなり、
シリンジ３０の下端に設けられた接着剤吐出口３１から常に一定量の接着剤２９を吐出することができる。
【００８９】
また、本発明の第１の実施の形態に係るリッド装着装置では、紫外線透過プレート５０を昇降自在に支持する複数本の支柱５２…を架台１１上に立設したことにより、パッケージ搬送ボート１３に搭載された複数個のパッケージ１…をパッケージ昇降機構４１でガイドレール１４，１４の上方に押上げたときに紫外線透過プレート５０を紫外線ランプ４０の近くまで上昇させることができる。これにより紫外線ランプ４０から放出された紫外光を紫外線透過プレート５０を通じてパッケージ１の上にセットされたリッド２により多く当てることができ、パッケージ１に塗布された接着剤を短時間で硬化させることができる。
【００９０】
また、本発明の第１の実施の形態に係るリッド装着装置では、加圧パッド５３の上端に紫外線透過プレート５０に形成された貫通孔を挿通して紫外線透過プレート５０の上面側に突出する軸５４を設け、この軸５４の上端部に止め輪５５を装着することにより、接着剤を使用することなく加圧パッド５３を紫外線透過プレート５０に取付けることができる。
【００９１】
また、本発明の第１の実施の形態に係るリッド装着装置では、パッケージ搬送ボート１３に搭載されたパッケージ１をガイドレール１４，１４の上方に押上げるピストンロッド４２の上端にパッケージ支持機構４３を設け、このパッケージ支持機構４３でパッケージ１を互いに直交する２本の水平軸を中心に揺動自在に支持することにより、パッケージ１の上にセットされたリッド２が紫外線透過プレート５０の下面に片当りすることがなくなり、パッケージ１の上にセットされたリッド２を均等に加圧することができる。
【００９２】
また、本発明の第１の実施の形態に係るリッド装着装置では、リッド吸着ヘッド５８に吸着されたリッド２の裏面にイオン化された不活性ガスを吹き付ける不活性ガスブローノズル６１を架台１１上に設けたことにより、リッド２の裏面に付着した埃や塵等の付着物を不活性ガスブローノズル６１から噴出する不活性ガスで除去することができ、パッケージ１に対するリッド２の接着性を高めることができる。
【００９３】
また、本発明の第１の実施の形態に係るリッド装着装置では、パッケージ１の開口部１ａに不活性ガスを吹き付ける不活性ガスブローノズル６３を架台１１上に設けたことにより、不活性ガスブローノズル６３から噴出する不活性ガスでパッケージ１の内部を空気雰囲気から不活性ガス雰囲気に置換することができる。
【００９４】
また、本発明の第１の実施の形態に係るリッド装着装置では、パッケージ１の開口部１ａにセットされたリッド２に紫外線を照射する紫外線照射手段としてのライトガイドファイバ６４がリッド吸着ヘッド５８に設けられているので、パッケージ１の開口部１ａにセットされたリッド２をライトガイドファイバ６４から出射する紫外光でパッケージ１に仮固定することができ、これによりパッケージ１を紫外線照射炉３９へ搬送するときに生じるリッド２の位置ずれを防止することができる。
【００９５】
また、本発明の第１の実施の形態に係るリッド装着装置では、パッケージ搬送ボート１３に搭載されたパッケージ１の上下方向の傾きを光学的に検出する傾き検出機構６８を接着剤塗布機構２６とリッドセット機構５７との間に設け、この傾き検出機構６８がパッケージ１の上下方向の傾きを検出したときに制御装置７３からボート搬送機構１５に搬送停止信号が送出されるので、パッケージ１の開口部１ａにリッド２をセットするときに生じるリッド２の位置ずれを未然に防止することができる。
【００９６】
図１５は本発明の第２の実施の形態に係るリッド装着装置の要部を示す図である。本第２の実施の形態に係るリッド装着装置の全体構成は上述した第１実施の形態と同様であるので省略する。なお、本第２の実施の形態が上述した第１の実施の形態と異なる点は、シリンダ機構１００の代りにシリンダ機構１１０を用いた点である。
【００９７】
すなわち、シリンダ機構１１０は、図１５に示すように、上述したピストンロッド４２に対して同軸的に配置された円筒部１１１を備えており、この円筒部１１１内にはボールブッシュ１１２を介してピストンロッド４２が往復動自在に配置されている。円筒部１１１の図１５中下方には、エアシリンダ１１３が配置されており、このエアシリンダ１１３により駆動されるロッド１１４に継手１１５を介してピストンロッド４２の下端が結合されている。また、駆動部１１３はレギュレータ１１６により駆動されている。レギュレータ１１６はエアシリンダ１１３のロッド１１４の加圧力を調節することができる。
【００９８】
このように構成されたシリンダ機構１１０によれば、パッケージ１とリッド２の仕様が変更になり、必要な加圧力を変更する場合には、レギュレータ１１６への入力電圧を調節することでエアシリンダ１１３の駆動力を調節でき、加圧力を調節することができる。したがって、自動かつ短時間で任意の加圧力に切り替えることが可能となり、形状の異なる多品種のパッケージ１及びリッド２に対応できる。このため、生産性を著しく向上させることができる。
【００９９】
図１６は、本発明の第３の実施の形態に係るリッド装着装置の要部を示す図である。本第３の実施の形態に係るリッド装着装置の全体構成は上述した第１実施の形態と同様であるので省略する。なお、本第３の実施の形態が上述した第１の実施の形態と異なる点は、接着剤塗布機構２６の近傍に接着剤の塗布状態を検査する塗布状態検査機構２００を設けた点及び接着剤２９の代りに着色された接着剤２９Ａを用いた点にある。
【０１００】
すなわち、塗布状態検査機構２００は、上述した保持部材２８に取り付けられパッケージ１の開口部１ａを撮像する撮像部２０１と、この撮像部２０１からの画像を認識し、接着剤２９Ａの塗布状態の良否を判断する画像認識部２０２とを備えている。なお、画像認識部２０２は上述した制御装置７３に接続されている。
【０１０１】
このように構成された塗布状態検査機構２００が組み込まれたリッド装着装置においては、上述した第１の実施の形態と同様にして接着剤塗布機構２６において所定の位置に接着剤２９Ａが塗布される。なお、図１７の（ａ），（ｂ）は接着剤塗布機構２６により接着剤２９Ａが塗布された状態を示す図である。すなわち、（ａ）は正常に塗布された状態、（ｂ）は「とぎれ」が発生し、塗布が不良の状態を示している。
【０１０２】
この後、撮像部２０１によりパッケージ１の開口部１ａを撮像し、この画像が画像認識部２０２に入力される。画像認識部２０２においては、パッケージ１が透明であっても接着剤２９Ａは着色されているので、パッケージ１と区別して認識することができる。そして、パターンマッチング等により塗布状態の良否を判定する。判定結果は制御装置７３に出力され、塗布状態が不良の場合には、各機構の動作を中断し、再度の接着剤塗布による修正又は不良品の排除が行われる。
【０１０３】
上述したように塗布状態検査機構２００が組み込まれていると、接着剤２９Ａを塗布した時点での不良を検知することができ、後工程、すなわちリッド２の搭載を行う前に修正若しくは排除ができる。したがって、不良品の発生を未然に防止することができ、生産性を高めることができる。
【０１０４】
図１８は、上述した第１〜第３の実施の形態の変形例を示す図である。本変形例が上述した各実施の形態と異なる点は、パッケージ１にリッド２を装着する代りに、パッケージ１に半導体素子３を搭載する点である。半導体素子３を装着する場合であっても、上述したリッド２と同様に効率よく装着を行うことができる。
【０１０５】
なお、本変形例においては、接着剤塗布機構２６による接着剤２９，２９Ａの塗布は図１９の（ａ）に示すように接続部１ｂに塗布されることになる。この場合においても、塗布状態検査機構２００による検査を行うことができ、図１９の（ｂ）に示すような「とぎれ」が発生したパッケージ１については、修正若しくは排除を行うことができる。
【０１０６】
図２０は、本発明の第４の実施の形態に係るリッド装着装置に組み込まれた接着剤塗布機構２６Ａを示す斜視図である。なお、本第４の実施の形態に係るリッド装着装置の全体構成は上述した第１の実施の形態と同様であるので省略する。
【０１０７】
接着剤塗布機構２６Ａは、接着剤を吐出する接着剤ディスペンサ２７と、この接着剤ディスペンサ２７を垂直に保持する保持部材２８と、この保持部材２８を互いに交差（例えば直交）する水平な二方向（図中矢印Ｘ及びＹ方向）に走査するとともに、保持部材２８を上下方向に走査する走査機構８０と、接着剤ディスペンサ２７に一体的に取り付けられた撮像部３００とを具備して構成されている。また、図２１に示すようにパッケージ１に光を照射する照射部３０１が設けられ、また、撮像部３００には、撮像部３００からの画像を認識し、後述するように明暗差に基づいてパッケージ１の姿勢を認識するパッケージ姿勢認識部３０
２が接続され、さらにパッケージ姿勢認識部３０２は上述した制御装置７３に接続されている。
【０１０８】
なお、図２１の（ａ），（ｂ）に示すようにパッケージ１のうち１ｃをベース部、１ｄを枠部、１ｅを枠部１ｄのうちの一方の辺、１ｅ′を他方の辺、１ｆ，１ｆ′を隅部とする。
【０１０９】
照射部３０１は、スポットライト３０１ａ，３０１ｂとを備え、スポットライト３０１ａは図２１の（ａ），（ｂ）に示すようにパッケージ１の隅部１ｆに向けて枠部１ｄの外側から内側に向けて照射するように構成されている。なお、図２１の（ａ）は平面図、（ｂ）は側面図を示している。同様にスポットライト３０１ｂは隅部１ｆ′に対して照射できるように構成されている。
【０１１０】
このように構成された接着剤塗布機構２６Ａでは、次の様にして接着剤２９の塗布を行う。すなわち、保持部材２８によりパッケージ１を所定の高さに位置決めした後、スポットライト３０１ａを点灯することにより、図２２に示すような影部Ｊがパッケージ１のベース部１ｃに形成される。一方、パッケージ１を撮像部３００により撮像し、この画像がパッケージ姿勢認識部３０２に送られる。パッケージ姿勢認識部３０２では、例えば図２２中Ｔ１に示すように一方の辺１ｅに沿う側のパッケージ１の明暗差を計測する。同時に図２２中Ｔ２に示すように他方の辺１ｅ′に沿う側のパッケージ１の明暗差を計測する。上述したＴ１，Ｔ２により最も明暗差が大きい位置τ１，τ２に基づいて、隅部１ｆの位置座標Ｌ１（ｘ１，ｙ１）が検出される。同様にして隅部１ｅ′の位置座標Ｌ２（ｘ２，ｙ２）も同様にして特定し、これら隅部１ｆ，１ｆ′の位置座標Ｌ１，Ｌ２からパッケージ１の位置を認識することができる。
【０１１１】
この後、パッケージ１の正確な位置に基づいて接着剤ディスペンサ２７を駆動することで、パッケージ１の所定の位置に接着剤２９を塗布することができる。
【０１１２】
上述したように本第４の実施の形態によれば、パッケージ１の治具等を用いた位置決めを行うことなく、パッケージ１の画像に基づいてパッケージ１の位置を認識し、接着剤塗布を行うことができる。また、サイズの異なる多品種のパッケージに対して接着剤塗布を行う場合でも段取り替え等の時間のかかる作業を短縮することができ、稼動効率を向上することができる。一方、照明をあてて影部を形成させるようにしているので、パッケージ１の材質が一様のものであっても画像認識を容易に行うことができる。
【０１１３】
なお、隅部１ｆの位置のみを検出することでパッケージ１の位置を認識するようにしてもよい。また、撮像部３００は、接着剤ディスペンサ２７に一体に取り付けられるようにしているが、例えば接着剤ディスペンサ２７の真上に配置し、撮像時には接着剤ディスペンサ２７を退避させるようにしてもよい。
【０１１４】
図２３及び図２４は本第４の実施の形態の第１変形例を示す図である。図２３中Ｇに示すように、枠部１ｄの側壁と頂上部との境が加工誤差によってダレが生じ、厳密に直交していない場合がある。このような場合には、誤差δが生じることで、隅部１ｆ，１ｆ′が正確に検出されないことがあるため、本第１変形例に示すようにして誤差を解消する。
【０１１５】
すなわち、隅部１ｆの位置が本来の位置座標Ｌ１（ｘ１，ｙ１）ではなく、Ｌ１′（ｘ１′，ｙ１′）と検出され、隅部１ｆ′の位置が本来の位置座標Ｌ２（ｘ２，ｙ２）ではなく、Ｌ２′（ｘ２′，ｙ２′）と検出されたとする。ここで上述したダレによる誤差δは隅部１ｆと隅部１ｆ′でほぼ同様に生じていると考えられるので、これら位置座標から式（１），（２）によりパッケージ１の中心部Ｏの位置座標Ｏ（Ｏｘ，Ｏｙ）を求めると、ダレによる誤差が相殺される。
【０１１６】
Ｏｘ＝（ｘ１′＋ｘ２′）／２ …（１）
Ｏｙ＝（ｙ１′＋ｙ２′）／２ …（２）
式（１），（２）よりパッケージ１の中心部Ｏの位置座標Ｏ（Ｏｘ，Ｏｙ）が求められるので、パッケージ１の位置を認識することができる。
【０１１７】
図２５は、上述した第４の実施の形態の第２変形例を示す図である。本第２変形例では、上述したダレによる誤差を解消するために、一方のスポットライト３０１ａを照射しているときに、他方のスポットライト３０１ｂも弱く照射する。、すなわち、図２５に示すようにスポットライト３０１ａを照射することにより生ずる影の部分αのうち、スポットライト３０１ｂによりダレの部分に発生する影の部分βを消す。このような状態で撮像部３００により撮像すれば、ダレ
による誤差δを解消することができ、パッケージ１の位置を正確に認識することができる。
【０１１８】
図２６は、本発明の第５の実施の形態に係るリッド装着装置に組み込まれた接着剤塗布機構２６Ｂの要部を示す図である。なお、接着剤塗布機構２６Ｂの主な構成は上述した接着剤塗布機構２６Ａと同様であるため詳細な説明は省略する。本接着剤塗布機構２６Ｂが上述した接着剤塗布機構２６Ａと異なる点は、撮像部３００の代りに接着剤ディスペンサ２７とは別体の撮像部３００ａ，３００ｂが設けられている点にある。すなわち、撮像部３００ａはパッケージ１の隅部１ｆ側に設けられ、撮像部３００ｂはパッケージ１の隅部１ｆ′側に設けられている。また、図２７の（ａ），（ｂ）に示すようにこれら撮像部３００ａ，３００ｂのベース部（基準面）１ｃに対する仰角θ２はスポットライト３０１ａ，３０１ｂのベース部（基準面）１ｃに対する仰角θ１よりも大きくなるように設置されている。
【０１１９】
このように構成された接着剤塗布機構２６Ｂでは、上述した第４の実施の形態と同様にしてパッケージ１に影部Ｊを形成することでパッケージ１の位置を認識することができる。また、撮像部３００ａ，３００ｂが接着剤ディスペンサ２７とは別体に設けられているため、パッケージ１の位置の認識と接着剤ディスペンサ２７の駆動を同時に行うことができる。したがって、タクトタイムを短縮することができる。
【０１２０】
一方、図２８に示すように撮像部３００ａ，３００ｂにより接着剤ディスペンサ２７による塗布状態を観察することができるため、塗布の際の位置ずれや接着剤２９の塗布幅ｗを検出することができる。なお、塗布幅ｗが所定の値以下であればシリンジ３０内に接着剤２９の量が少ないと判断することができる。したがって、装置を一旦止めてシリンジ３０内の接着剤２９の量を確認したり、接着剤２９の残量にかかわらず定期的に接着剤２９を補充する等の作業が不要となり、全体として製造効率を高めることができる。
【０１２１】
図２９〜図３２は上述した接着剤塗布機構２６Ｂによるパッケージ１の水平面Ｈに対する傾き（姿勢）の認識原理及びそのパッケージ姿勢修正機構３１０を示す図である。すなわち、図２９に示すようにパッケージ１が水平面Ｈに対して傾きを有している場合には、図３０の（ａ），（ｂ）に示すように影部Ｋ１，Ｋ２の形状が上述した影部Ｊとは異なる。したがって、影部Ｊを比較の基準として影部Ｋ１，Ｋ２の形状を検出することでパッケージ１の傾きが求めることができる。
【０１２２】
図３１及び図３２に示すように、パッケージ姿勢修正機構３１０は、パッケージ１を互いに交差（例えば直交）する２本の水平軸（図中Ｘ及びＹ）を中心に揺動制御するもので、ピストンロッド２４の上端部に固定された固定ベース３１１と、この固定ベース３１１に駆動軸３１２を介して図中Ｘ軸回りに揺動制御される揺動部材３１３と、この揺動部材３１３の両端に駆動軸３１４ａ，３１４ｂを介して図中Ｙ軸回りに揺動制御される一対のサポート部材３１５ａ，３１５ｂとを具備して構成されている。なお、パッケージ姿勢修正機構３１０は制御装置７３に接続され、上述したパッケージ姿勢認識部３０２において認識されたパッケージ１の姿勢に基づいて駆動制御される。
【０１２３】
このように構成されていると、撮像部３００ａ，３００ｂにより撮像された影部Ｋ１，Ｋ２の形状に基づいてパッケージ姿勢認識部３０２においてパッケージ１の水平面Ｈに対する傾きが認識される。次にパッケージ姿勢認識部３０２により認識されたパッケージ１の傾きを修正する方向に制御装置７３を介してパッケージ修正機構３１０が駆動される。このようにしてパッケージ１の姿勢を正しい姿勢に修正することができる。
【０１２４】
上述したように本第５の実施の形態によれば、上述した第４の実施の形態と同様の効果を得られるとともに、接着剤塗布と同時にパッケージ１の画像認識を行うことができるので、接着剤の塗布不良、塗布位置ずれ等を検知することができる。また、パッケージ１の傾きを検出することができるとともに、その修正を行うことができ、製造歩留まりを高めることができる。
【０１２５】
図３３は、本発明の第６の実施の形態に係るリッド装着装置に組み込まれた接着剤塗布機構２６Ｃの要部を示す図である。なお、本第６の実施の形態に係る接着剤塗布機構２６Ｃの全体構成は上述した接着剤塗布機構２６とほぼ同様であるので省略する。接着剤塗布機構２６Ｃが接着剤塗布機構２６と異なる点は接着剤ディスペンサ２７の近傍に撮像部３２０が設けられている点にある。
【０１２６】
撮像部３２０には画像認識部３２１が接続されており、この画像認識部３２１は制御装置７３に接続されている。
【０１２７】
このように構成されていると、撮像部３２０により接着剤ディスペンサ２７によるパッケージ１への接着剤２９の塗布の状態を撮像し、画像認識部３２１において認識することができる。したがって、パッケージ１への塗布が所定位置から外れた場合には、画像認識部３２１により塗布の異常が認識され、制御装置７３に信号が送られる。これにより接着剤２９の塗布が中止される。
【０１２８】
一方、図３４に示すように接着剤２９の塗布幅ｗを検出することができるため、塗布幅ｗが所定の値以下であればシリンジ３０内に接着剤２９の量が少ないと判断することができる。したがって、装置を一旦止めてシリンジ３０内の接着剤２９の量を確認したり、接着剤２９の残量にかかわらず定期的に接着剤２９を補充する等の作業が不要となり、全体として製造効率を高めることができる。
【０１２９】
なお、本発明は前記各実施の形態に限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲で種々変形実施可能であるのは勿論である。
【０１３１】
【発明の効果】
請求項１に係る発明によれば、接着剤塗布機構と紫外線照射炉との間にリッドセット機構を設けたことにより、紫外線硬化性の接着剤が塗布されたパッケージの所定部位にリッドを自動的にセットすることができる。したがって、パッケージにリッドを手作業に頼ることなく自動的に且つ効率的に装着することができ、ＣＣＤの組立効率を高めることができる。また、紫外光をパッケージの上にセットされたリッドにより多く当てることができ、パッケージに塗布された接着剤を短時間で硬化させることができる。
【０１３２】
請求項２に係る発明によれば、パッケージにリッドを自動的に且つ効率的に装着することができるとともに、接着剤を使用することなく加圧パッドを紫外線透過プレートに容易に取付けることができる。
【０１３３】
請求項３に記載された発明によれば、パッケージ昇降機構は、上下方向に伸縮する複数本のピストンロッドを有し、ピストンロッドの上端には、パッケージを互いに交差する２つの水平軸を中心として揺動自在に支持するパッケージ支持機構が設けられているので、パッケージの上にセットされたリッドが紫外線透過プレートに片当りすることを防止できる。
【０１３６】
請求項４に記載された発明によれば、パッケージの所定部位にリッドをセットする際にリッドの位置ずれを未然に防止することができる。
【０１３７】
請求項５に記載された発明によれば、加圧力可変機構により、パッケージの所定部位をリッドに押圧する加圧機構による加圧力を制御できるので、加圧機構を取り替えることなくパッケージの種類に応じて適正な加圧力を与えることができる。
【０１４６】
請求項６に記載された発明によれば、接着剤を吐出する接着剤ディスペンサと一体に設けられ接着剤ディスペンサによる塗布位置を撮像する撮像部を備え、この撮像部により得られた画像に基づき接着剤の塗布状態の良否を判断することができる。
請求項７に記載された発明によれば、接着剤塗布機構と紫外線照射炉との間にリッドセット機構を設けたことにより、紫外線硬化性の接着剤が塗布されたパッケージの所定部位にリッドを自動的にセットすることができる。したがって、パッケージにリッドを手作業に頼ることなく自動的に且つ効率的に装着することができ、ＣＣＤの組立効率を高めることができる。また、紫外光をパッケージの上にセットされたリッドにより多く当てることができ、パッケージに塗布された接着剤を短時間で硬化させることができる。
請求項８に記載された発明によれば、接着剤塗布工程と紫外線照射工程との間にリッドセット工程を設けたことにより、紫外線硬化性の接着剤が塗布されたパッケージの所定部位にリッドを自動的にセットすることができる。したがって、パッケージにリッドを手作業に頼ることなく自動的に且つ効率的に装着することができ、ＣＣＤの組立効率を高めることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の第１の実施の形態に係るリッド装着装置の斜視図。
【図２】同リッド装着装置の一部を示す図。
【図３】同リッド装着装置の一部を示す図。
【図４】同リッド装着装置の一部を示す図。
【図５】同リッド装着装置の一部を示す図。
【図６】同リッド装着装置の一部を示す図。
【図７】同リッド装着装置の一部を示す図。
【図８】図７のＡ−Ａ線に沿う断面図。
【図９】同リッド装着装置の一部を示す図。
【図１０】同リッド装着装置の一部を示す図。
【図１１】同リッド装着装置の一部を示す図。
【図１２】同リッド装着装置に組み込まれたシリンダ機構を示す縦断面図。
【図１３】同リッド装着装置のブロック構成図。
【図１４】同リッド装着装置の作用を示す図。
【図１５】本発明の第２の実施の形態に係るリッド装着装置に組み込まれたシリンダ機構を示す縦断面図。
【図１６】本発明の第３の実施の形態に係るリッド装着装置に組み込まれた接着剤塗布機構を示す図。
【図１７】接着剤の塗布状態の例を示す斜視図。
【図１８】本発明の変形例を示す断面図。
【図１９】同変形例における接着剤の塗布状態を示す斜視図。
【図２０】本発明の第４の実施の形態に係るリッド装着装置に組み込まれた接着剤塗布機構を示す斜視図。
【図２１】同接着剤塗布機構に組み込まれたスポットライトの要部を示す図。
【図２２】同スポットライトからの照射により生じた影を示す図。
【図２３】パッケージの要部を示す図。
【図２４】同接着剤塗布機構の第１変形例を示す図。
【図２５】同接着剤塗布機構の第２変形例を示す図。
【図２６】本発明の第５の実施の形態に係るリッド装着装置に組み込まれた接着剤塗布機構の要部を示す図。
【図２７】同接着剤塗布機構におけるカメラとスポットライトとの位置関係を示す図。
【図２８】接着剤の塗布状態を示す図。
【図２９】同接着剤塗布機構によるパッケージの傾きを検出するための原理を示す図。
【図３０】パッケージの傾きを検出するための原理を示す図。
【図３１】同リッド装着装置に組み込まれたパッケージ姿勢修正機構を示す図。
【図３２】同リッド装着装置に組み込まれたパッケージ姿勢修正機構を示す図。
【図３３】本発明の第６の実施の形態に係るリッド装着装置に組み込まれた接着剤塗布機構を示す図。
【図３４】接着剤の塗布状態を示す図。
【図３５】一般的なＣＣＤの斜視図。
【符号の説明】
１…パッケージ
２…リッド
３…半導体素子
１１…架台
１２…ローダ
１３…パッケージ搬送ボート
１４…ガイドレール
１５…ボート搬送機構
２２…パッケージ押上げ機構
２６…接着剤塗布機構
２７…接着剤ディスペンサ
３０…シリンジ
３１…接着剤吐出口
３６…金属カバー
３７…ヒータ
３９…紫外線照射炉
４０…紫外線ランプ
４１…パッケージ昇降機構
４３…パッケージ支持機構
５０…紫外線透過プレート
５３…加圧パッド
５７…リッドセット機構
５８…リッド吸着ヘッド。
１００…シリンダ機構
１０４…圧縮バネ
１１０…シリンダ機構
１１３…エアシリンダ
１１６…レギュレータ
２００…塗布状態検査機構
２０１，３００…撮像部
３０１，３０１ａ，３０１ｂ…スポットライト
３０２…パッケージ姿勢認識部
２０２，３２１…画像認識部

Claims

架台と、
この架台上に設けられた一対のガイドレールと、
前記架台の一端部側に設けられ前記ガイドレール上に複数個のパッケージを搭載したパッケージ搬送ボートを供給するローダと、
前記架台に設けられ前記ローダにより前記ガイドレール上に供給された前記パッケージ搬送ボートを前記架台の他端部へ所定ピッチずつ搬送するボート搬送機構と、
前記架台に設けられ前記ボート搬送機構により前記ガイドレール上の所定位置に搬送された前記パッケージを前記ガイドレールの上方に押上げるパッケージ押上げ機構と、
前記架台上に設けられ前記パッケージ押上げ機構により前記ガイドレールの上方に押上げられた前記パッケージに紫外線硬化性の接着剤を塗布する接着剤塗布機構と、
前記架台上に設けられ前記接着剤塗布機構により前記接着剤が塗布された前記パッケージの所定部位に紫外線を照射する紫外線照射炉と、
この紫外線照射炉と前記接着剤塗布機構との間の前記架台上に設けられ前記パッケージの所定部位に該パッケージの開口部を閉塞する透明なリッドをセットするリッドセット機構と、
前記架台の他端部側に設けられ前記紫外線照射炉内を通過した前記パッケージを回収するアンローダとを具備し、
前記紫外線照射炉の内部には、前記パッケージ搬送ボートに搭載された複数個のパッケージを前記ガイドレールの上方に押上げるパッケージ昇降機構が設けられていることを特徴とするリッド装着装置。
前記紫外線照射炉は、前記ガイドレールの上方に紫外線ランプ及び前記リッドを加圧する加圧パッドを備え、
前記紫外線ランプと前記ガイドレールとの間には、紫外線透過プレートが設けられ、
前記加圧パッドは、前記紫外線透過プレートを貫通する軸と、
この軸の下端に設けられたパッド部とを備えていることを特徴とする請求項１に記載のリッド装着装置。
前記パッケージ昇降機構は、上下方向に伸縮する複数本のピストンロッドを有し、これらピストンロッドの上端には、前記パッケージを互いに交差する２つの水平軸を中心として揺動自在に支持するパッケージ支持機構が設けられていることを特徴とする請求項１に記載のリッド装着装置。
前記ボート搬送機構を駆動制御する制御手段と、
前記接着剤塗布機構と前記リッドセット機構及び前記リッドセット機構と前記紫外線照射炉との間に設けられ前記パッケージ搬送ボートに搭載された前記パッケージの上下方向の傾きを光学的に検出する傾き検出機構とを具備し、
前記制御手段は、前記傾き検出機構が前記パッケージの上下方向の傾きを検出したのに基づき前記ボート搬送機構に搬送停止信号を送出することを特徴とする請求項１に記載のリッド装着装置。
前記紫外線照射炉は、前記パッケージの所定部位を前記リッドに押圧する加圧機構と、この加圧機構による加圧力を制御する加圧力可変機構とを備えていることを特徴とする請求項１に記載のリッド装着装置。
前記接着剤塗布機構は、前記接着剤を吐出する接着剤ディスペンサと、
この接着剤ディスペンサと一体に設けられ前記接着剤ディスペンサによる塗布位置を撮像する撮像部と、
この撮像部により得られた画像に基づき前記接着剤の塗布状態の良否を判断する判断部とを備えていることを特徴とする請求項１に記載のリッド装着装置。
請求項１ないし６いずれか１の装置を使ってパッケージの開口部をリッドで封着することを特徴とする固体撮像装置の製造方法。
架台上に設けられた一対のガイドレールの一端側に複数個のパッケージを保持したパッケージ搬送ボートをローダを用いて供給するパッケージ搬送ボート供給工程と、
前記ガイドレール上に供給された前記パッケージ搬送ボートをボート搬送機構により前記ガイドレールの他端側へ向けて所定ピッチずつ搬送するボート搬送工程と、
前記ガイドレール上の所定位置に前記ボート搬送機構により搬送された前記パッケージをパッケージ押上げ機構により前記ガイドレールの上方に押上げるパッケージ押上げ工程と、
前記パッケージ押上げ機構により前記ガイドレールの上方に押上げられた前記パッケージに接着剤塗布機構により紫外線硬化性の接着剤を塗布する接着剤塗布工程と、
前記パッケージの所定部位に該パッケージの開口部を閉塞する透明なリッドをリッドセット機構によりセットするリッドセット工程と、
紫外線照射炉の内部において、前記パッケージ搬送ボートに搭載された複数個のパッケージを前記ガイドレールの上方に押上げるパッケージ上昇工程と、
前記接着剤が塗布された前記パッケージの所定部位に紫外線照射炉により紫外線を照射する紫外線照射工程と、
前記ガイドレールの他端側に搬送され、前記紫外線照射炉内を通過した前記パッケージ搬送ボート上の前記パッケージをアンローダを用いて回収するパッケージ回収工程とを具備したことを特徴とする固体撮像装置の製造方法。