JPH09229818A - マイクロミラー式画像形成装置及びその管理方法 - Google Patents
マイクロミラー式画像形成装置及びその管理方法Info
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- JPH09229818A JPH09229818A JP4126696A JP4126696A JPH09229818A JP H09229818 A JPH09229818 A JP H09229818A JP 4126696 A JP4126696 A JP 4126696A JP 4126696 A JP4126696 A JP 4126696A JP H09229818 A JPH09229818 A JP H09229818A
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- G02B26/0816—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the direction of light by means of one or more reflecting elements
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- B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
- B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
- B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
- B41J2/435—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by selective application of radiation to a printing material or impression-transfer material
- B41J2/465—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by selective application of radiation to a printing material or impression-transfer material using masks, e.g. light-switching masks
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- G01M—TESTING STATIC OR DYNAMIC BALANCE OF MACHINES OR STRUCTURES; TESTING OF STRUCTURES OR APPARATUS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
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- Printers Or Recording Devices Using Electromagnetic And Radiation Means (AREA)
- Testing Of Optical Devices Or Fibers (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 各マイクロミラーの動作状況をモニタして、
欠陥マイクロミラーの検出や反射率等を測定する。 【解決手段】 デジタルマイクロミラー装置１０には、
マイクロミラーがマトリクスに配置されている。各マイ
クロミラーは、ミラー駆動データに応じて有効反射状態
と無効反射状態に変位する。有効反射状態のときには、
反射したスポット光が画像形成光路３２に入り、印画紙
３４を露光する。無効反射状態のときには、反射したス
ポット光が除去光路２７に入る。この除去光路２７に
は、スポット光を測光する受光素子２９が配置されてい
る。マイクロミラーを１個ずつ無効反射状態にセット
し、その反射光を受光素子２９で測定することで、マイ
クロミラーの欠陥の有無や反射率を調べる。全てのマイ
クロミラーを同時に無効反射状態にセットし、受光素子
の出力を調べることで、光源の光量の適否を調べる。
欠陥マイクロミラーの検出や反射率等を測定する。 【解決手段】 デジタルマイクロミラー装置１０には、
マイクロミラーがマトリクスに配置されている。各マイ
クロミラーは、ミラー駆動データに応じて有効反射状態
と無効反射状態に変位する。有効反射状態のときには、
反射したスポット光が画像形成光路３２に入り、印画紙
３４を露光する。無効反射状態のときには、反射したス
ポット光が除去光路２７に入る。この除去光路２７に
は、スポット光を測光する受光素子２９が配置されてい
る。マイクロミラーを１個ずつ無効反射状態にセット
し、その反射光を受光素子２９で測定することで、マイ
クロミラーの欠陥の有無や反射率を調べる。全てのマイ
クロミラーを同時に無効反射状態にセットし、受光素子
の出力を調べることで、光源の光量の適否を調べる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、マイクロミラー装
置を内蔵したプリンタやプロジェクタ等のマイクロミラ
ー式画像形成装置と、その動作状況を管理するための方
法に関する。更に詳しくは、マイクロミラーが無効反射
状態のときの反射光を測定して、マイクロミラーの欠陥
を検査したり、照明光の照度や反射率のバラツキを測定
するための方法に関するものである。
置を内蔵したプリンタやプロジェクタ等のマイクロミラ
ー式画像形成装置と、その動作状況を管理するための方
法に関する。更に詳しくは、マイクロミラーが無効反射
状態のときの反射光を測定して、マイクロミラーの欠陥
を検査したり、照明光の照度や反射率のバラツキを測定
するための方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】最近、サイズが極めて小さいマイクロミ
ラーをラインまたはマトリクスに配列し、各マイクロミ
ラーの傾斜角を制御して入射光を偏向するミラー方式の
空間光変調器が提案されている。このミラー方式の空間
光変調器は、液晶等に比べて減光率が小さく、また開口
率が比較的に大きいという利点がある。
ラーをラインまたはマトリクスに配列し、各マイクロミ
ラーの傾斜角を制御して入射光を偏向するミラー方式の
空間光変調器が提案されている。このミラー方式の空間
光変調器は、液晶等に比べて減光率が小さく、また開口
率が比較的に大きいという利点がある。
【０００３】ミラー方式の空間光変調器としては、静電
気力でマイクロミラーを傾斜させるデジタルマイクロミ
ラー装置（ＤＭＤ）や、微小なピエゾ素子でマイクロミ
ラーを傾斜させるピエゾ式マイクロミラー装置（ＡＭ
Ａ）等がある。これらのマイクロミラー装置は画像形成
機能を備えているため、プロジェクタやプリンタへの利
用が考えられている。なお、デジタルマイクロミラー装
置の原理や応用例については、月刊誌「Ｏ ｐｌｕｓ
Ｅ」の１９９４年１０月号の第９０頁〜第９４頁に記載
されている。
気力でマイクロミラーを傾斜させるデジタルマイクロミ
ラー装置（ＤＭＤ）や、微小なピエゾ素子でマイクロミ
ラーを傾斜させるピエゾ式マイクロミラー装置（ＡＭ
Ａ）等がある。これらのマイクロミラー装置は画像形成
機能を備えているため、プロジェクタやプリンタへの利
用が考えられている。なお、デジタルマイクロミラー装
置の原理や応用例については、月刊誌「Ｏ ｐｌｕｓ
Ｅ」の１９９４年１０月号の第９０頁〜第９４頁に記載
されている。
【０００４】例えば、デジタルマイクロミラー装置で
は、複数のマイクロミラーがライン又はエリアに配置さ
れている。各マイクロミラーは、電源がＯＦＦのときに
水平状態となっており、メモリセルに書き込んだ１ビッ
トのミラー駆動データの値に応じて、垂直線に対して＋
θだけ傾いた有効反射状態と、ーθだけ傾いた無効反射
状態とに変位する。
は、複数のマイクロミラーがライン又はエリアに配置さ
れている。各マイクロミラーは、電源がＯＦＦのときに
水平状態となっており、メモリセルに書き込んだ１ビッ
トのミラー駆動データの値に応じて、垂直線に対して＋
θだけ傾いた有効反射状態と、ーθだけ傾いた無効反射
状態とに変位する。
【０００５】このデジタルマイクロミラー装置を使用し
たマイクロミラー式画像形成装置では、デジタルマイク
ロミラー装置が光源からの平行光で斜めに照明されてい
る。マイクロミラーが有効反射状態にセットされると、
反射されたスポット光が画像形成光路に入射する。この
画像形成光路には、投影レンズが配置されており、１ラ
イン分又は１フレーム分のスポット光が感光記録媒体又
はスクリーンに投影される。
たマイクロミラー式画像形成装置では、デジタルマイク
ロミラー装置が光源からの平行光で斜めに照明されてい
る。マイクロミラーが有効反射状態にセットされると、
反射されたスポット光が画像形成光路に入射する。この
画像形成光路には、投影レンズが配置されており、１ラ
イン分又は１フレーム分のスポット光が感光記録媒体又
はスクリーンに投影される。
【０００６】マイクロミラーが無効反射状態にセットさ
れている場合には、反射されたスポット光は、画像形成
に利用されないものであり、除去光路に入る。この除去
光路に入ったスポット光は、例えば光吸収部材で吸収さ
れる。
れている場合には、反射されたスポット光は、画像形成
に利用されないものであり、除去光路に入る。この除去
光路に入ったスポット光は、例えば光吸収部材で吸収さ
れる。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】デジタルマイクロミラ
ー装置により、高品質な画像を安定して形成するために
は、使用前又は一定期間毎に、各マイクロミラーの動作
状況を管理することが必要になる。この管理項目として
は、例えば、故障した欠陥マイクロミラーの検出，各マ
イクロミラーの反射率やそのバラツキの測定，照明光量
の測定等がある。
ー装置により、高品質な画像を安定して形成するために
は、使用前又は一定期間毎に、各マイクロミラーの動作
状況を管理することが必要になる。この管理項目として
は、例えば、故障した欠陥マイクロミラーの検出，各マ
イクロミラーの反射率やそのバラツキの測定，照明光量
の測定等がある。
【０００８】本発明は、光学系の構造を複雑化すること
なく、マイクロミラーの動作状況を調べることができる
ようにしたマイクロミラー式画像形成装置及びその管理
方法を提供することを目的とするものである。
なく、マイクロミラーの動作状況を調べることができる
ようにしたマイクロミラー式画像形成装置及びその管理
方法を提供することを目的とするものである。
【０００９】本発明は、マイクロミラーの動作状況に応
じて、所定の補正・修正を施すことで、高品質な画像を
安定して形成することができるようにしたマイクロミラ
ー式画像形成装置及びその管理方法を提供することを目
的とするものである。
じて、所定の補正・修正を施すことで、高品質な画像を
安定して形成することができるようにしたマイクロミラ
ー式画像形成装置及びその管理方法を提供することを目
的とするものである。
【００１０】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、請求項１記載の発明では、複数のマイクロミラーを
配列したマイクロミラー装置と、このマイクロミラー装
置に光を照射する光源とを備え、各マイクロミラーは画
像形成光路に向けて光を反射する有効反射状態と、除去
光路に向けて光を反射する無効反射状態とに変位可能で
あるマイクロミラー式画像形成装置において、除去光路
に測光部を配置して、無効反射状態のマイクロミラーで
反射された光を測定するようにしたものである。
に、請求項１記載の発明では、複数のマイクロミラーを
配列したマイクロミラー装置と、このマイクロミラー装
置に光を照射する光源とを備え、各マイクロミラーは画
像形成光路に向けて光を反射する有効反射状態と、除去
光路に向けて光を反射する無効反射状態とに変位可能で
あるマイクロミラー式画像形成装置において、除去光路
に測光部を配置して、無効反射状態のマイクロミラーで
反射された光を測定するようにしたものである。
【００１１】請求項２記載の発明では、マイクロミラー
からの反射光を拡散する拡散部材と、この拡散部材の背
後に配置した１個の受光素子とから測光部を構成したも
のである。
からの反射光を拡散する拡散部材と、この拡散部材の背
後に配置した１個の受光素子とから測光部を構成したも
のである。
【００１２】請求項３記載の発明では、結像光学系と、
入射光を光電変換する複数のピクセルを有し、結像光学
系の結像面に配置されたイメージセンサーとから測光部
を構成したものである。
入射光を光電変換する複数のピクセルを有し、結像光学
系の結像面に配置されたイメージセンサーとから測光部
を構成したものである。
【００１３】請求項４記載の発明では、複数のマイクロ
ミラーを配列したマイクロミラー装置と、このマイクロ
ミラー装置に光を照射する光源とを備え、各マイクロミ
ラーは画像形成光路に向けて光を反射する有効反射状態
と、除去光路に向けて光を反射する無効反射状態とに変
位可能であるマイクロミラー式画像形成装置に対して、
マイクロミラーの全てを無効反射状態にセットし、これ
らのマイクロミラーで反射された光を除去光路に配置し
た測光部で測光し、得られた測光値が基準値と一致する
ように、マイクロミラー装置へ照射する光の強度を調整
するようにしたものである。
ミラーを配列したマイクロミラー装置と、このマイクロ
ミラー装置に光を照射する光源とを備え、各マイクロミ
ラーは画像形成光路に向けて光を反射する有効反射状態
と、除去光路に向けて光を反射する無効反射状態とに変
位可能であるマイクロミラー式画像形成装置に対して、
マイクロミラーの全てを無効反射状態にセットし、これ
らのマイクロミラーで反射された光を除去光路に配置し
た測光部で測光し、得られた測光値が基準値と一致する
ように、マイクロミラー装置へ照射する光の強度を調整
するようにしたものである。
【００１４】請求項５記載の発明では、複数のマイクロ
ミラーを配列したマイクロミラー装置と、このマイクロ
ミラー装置に光を照射する光源とを備え、各マイクロミ
ラーは画像形成光路に向けて光を反射する有効反射状態
と、除去光路に向けて光を反射する無効反射状態とに変
位可能であるマイクロミラー式画像形成装置に対して、
マイクロミラーを有効反射状態と無効反射状態との間で
変位させ、除去光路に配置した測光部でマイクロミラー
からの反射光を個別に測光し、反射光の変化の状態から
マイクロミラーの欠陥（故障）を検出するようにしたも
のである。
ミラーを配列したマイクロミラー装置と、このマイクロ
ミラー装置に光を照射する光源とを備え、各マイクロミ
ラーは画像形成光路に向けて光を反射する有効反射状態
と、除去光路に向けて光を反射する無効反射状態とに変
位可能であるマイクロミラー式画像形成装置に対して、
マイクロミラーを有効反射状態と無効反射状態との間で
変位させ、除去光路に配置した測光部でマイクロミラー
からの反射光を個別に測光し、反射光の変化の状態から
マイクロミラーの欠陥（故障）を検出するようにしたも
のである。
【００１５】請求項６記載の発明では、複数のマイクロ
ミラーを配列したマイクロミラー装置と、このマイクロ
ミラー装置に光を照射する光源とを備え、各マイクロミ
ラーは画像形成光路に向けて光を反射する有効反射状態
と、除去光路に向けて光を反射する無効反射状態とに変
位可能であるマイクロミラー式画像形成装置に対して、
各マイクロミラーを無効反射状態にセットし、除去光路
に配置した測光部で各マイクロミラーからの反射光を個
別に測光して、各マイクロミラーの反射率のバラツキを
求めるようにしたものである。
ミラーを配列したマイクロミラー装置と、このマイクロ
ミラー装置に光を照射する光源とを備え、各マイクロミ
ラーは画像形成光路に向けて光を反射する有効反射状態
と、除去光路に向けて光を反射する無効反射状態とに変
位可能であるマイクロミラー式画像形成装置に対して、
各マイクロミラーを無効反射状態にセットし、除去光路
に配置した測光部で各マイクロミラーからの反射光を個
別に測光して、各マイクロミラーの反射率のバラツキを
求めるようにしたものである。
【００１６】
【作用】除去光路で形成される画像は、画像形成光路で
形成される画像に対して完全なネガ像になっている。こ
のネガ像をモニタすることで、マイクロミラーの動作状
況を知ることができる。この除去光路は、画像形成に使
われないので、なんら制約を受けることなく、測光部を
自由に配置することができる。
形成される画像に対して完全なネガ像になっている。こ
のネガ像をモニタすることで、マイクロミラーの動作状
況を知ることができる。この除去光路は、画像形成に使
われないので、なんら制約を受けることなく、測光部を
自由に配置することができる。
【００１７】マイクロミラーの作動状況の検査は、プリ
ントの前又は所定期間毎に行われる。光源の経時変化に
対しては、マイクロミラーの全てを無効反射状態にセッ
トし、これらのマイクロミラーで反射された光を測光部
で測光する。得られた測光値が基準値と一致するよう
に、マイクロミラー装置へ照射する光の強度を調整す
る。この調整は、光源の発光強度を調整する他に、光源
とマイクロミラー装置とを結ぶ照明光路に、所望の透過
率を持ったＮＤフイルタを出し入れすることで行うこと
ができる。
ントの前又は所定期間毎に行われる。光源の経時変化に
対しては、マイクロミラーの全てを無効反射状態にセッ
トし、これらのマイクロミラーで反射された光を測光部
で測光する。得られた測光値が基準値と一致するよう
に、マイクロミラー装置へ照射する光の強度を調整す
る。この調整は、光源の発光強度を調整する他に、光源
とマイクロミラー装置とを結ぶ照明光路に、所望の透過
率を持ったＮＤフイルタを出し入れすることで行うこと
ができる。
【００１８】マイクロミラーの欠陥検出では、マイクロ
ミラーを有効反射状態と無効反射状態との間で変位さ
せ、マイクロミラーからの反射光を測光部で個別に測光
する。マイクロミラーの変位に応じて、測光部の出力が
変化するはずであるから、この変化の有無を調べること
で，マイクロミラーの故障を検出することができる。
ミラーを有効反射状態と無効反射状態との間で変位さ
せ、マイクロミラーからの反射光を測光部で個別に測光
する。マイクロミラーの変位に応じて、測光部の出力が
変化するはずであるから、この変化の有無を調べること
で，マイクロミラーの故障を検出することができる。
【００１９】マイクロミラーの故障が検出された場合
に、通常の露光の他に、補助露光を行う。この補助露光
では、まず欠陥マイクロミラーの位置に正常なマイクロ
ミラーが来るように、マイクロミラー装置を１画素分だ
け移動させる。次に、この正常なマイクロミラーだけを
駆動して露光する。こうして、欠陥マイクロミラーで記
録される画素がハードコピー上で白くなるのを防止す
る。
に、通常の露光の他に、補助露光を行う。この補助露光
では、まず欠陥マイクロミラーの位置に正常なマイクロ
ミラーが来るように、マイクロミラー装置を１画素分だ
け移動させる。次に、この正常なマイクロミラーだけを
駆動して露光する。こうして、欠陥マイクロミラーで記
録される画素がハードコピー上で白くなるのを防止す
る。
【００２０】各マイクロミラーの反射率にバラツキがあ
ると、所望の階調を表現することができない。反射率又
はこれに関連したデータを測定する場合には、各マイク
ロミラーを無効反射状態にセットし、除去光路に配置し
た測光部で各マイクロミラーからの反射光を個別に測光
する。反射率が高いほど、測光値が大きくなる。
ると、所望の階調を表現することができない。反射率又
はこれに関連したデータを測定する場合には、各マイク
ロミラーを無効反射状態にセットし、除去光路に配置し
た測光部で各マイクロミラーからの反射光を個別に測光
する。反射率が高いほど、測光値が大きくなる。
【００２１】各測光値の平均値又は最小値を基準値と
し、各マイロクミラー毎に基準値との差を求めれば、反
射率のバラツキが得られる。このバラツキに応じた値を
画像データに加減算して画像データを修正する。修正さ
れた画像データの値に応じた個数のミラー駆動データを
作成し、これで対応するマイクロミラーを駆動する。各
マイクロミラーは、その反射率に応じて、１個の画素を
形成する際の有効反射状態の時間が補正される。
し、各マイロクミラー毎に基準値との差を求めれば、反
射率のバラツキが得られる。このバラツキに応じた値を
画像データに加減算して画像データを修正する。修正さ
れた画像データの値に応じた個数のミラー駆動データを
作成し、これで対応するマイクロミラーを駆動する。各
マイクロミラーは、その反射率に応じて、１個の画素を
形成する際の有効反射状態の時間が補正される。
【００２２】
【発明の実施の形態】デジタルマイクロミラー装置を示
す図１において、微小なマイクロミラー２がマトリクス
に配置されている。各マイクロミラー２は、その中央に
位置するポスト３を介して、スターティックＲＡＭ（Ｓ
ＲＡＭ）４に揺動自在に保持されている。また、各マイ
クロミラー２は四角形をしており、その一辺の長さが例
えば１６μｍであり、導電性を有するアルミ等の金属薄
膜で作られている。
す図１において、微小なマイクロミラー２がマトリクス
に配置されている。各マイクロミラー２は、その中央に
位置するポスト３を介して、スターティックＲＡＭ（Ｓ
ＲＡＭ）４に揺動自在に保持されている。また、各マイ
クロミラー２は四角形をしており、その一辺の長さが例
えば１６μｍであり、導電性を有するアルミ等の金属薄
膜で作られている。
【００２３】ポスト３の両側には、アドレス電極５，６
が形成されており、これらのアドレス電極５，６とマイ
クロミラー２との間に発生する静電気力で、マイクロミ
ラー２が傾斜する。すなわち、ポスト３とアドレス電極
５，６とを通る対角線上にある角２ａ又は２ｂが、ＳＲ
ＡＭ４のシリコン基板４ａの上面に接触するようにマイ
クロミラー２が傾く。なお、実際には、もう一方の対角
線上の２個の角が、ネジリヒンジを介して一対の支持ポ
ストに中空保持されている。なお、マイクロミラー２，
ポスト３等の各要素は、周知の集積化技術によって作製
される。
が形成されており、これらのアドレス電極５，６とマイ
クロミラー２との間に発生する静電気力で、マイクロミ
ラー２が傾斜する。すなわち、ポスト３とアドレス電極
５，６とを通る対角線上にある角２ａ又は２ｂが、ＳＲ
ＡＭ４のシリコン基板４ａの上面に接触するようにマイ
クロミラー２が傾く。なお、実際には、もう一方の対角
線上の２個の角が、ネジリヒンジを介して一対の支持ポ
ストに中空保持されている。なお、マイクロミラー２，
ポスト３等の各要素は、周知の集積化技術によって作製
される。
【００２４】図２に示すように、各マイクロミラー２
は、ＳＲＡＭ４の各メモリセル８上に配置されている。
このメモリセル８は、２個のトランジスタを有するフリ
ップフロップで構成され、１ビットのデータを記憶す
る。このフリップフロップは、駆動状態では一方のトラ
ンジスタがＯＮで、他方のトランジスタがＯＦＦであ
る。このＯＮ・ＯＦＦ状態は、パルス（入力データ）に
よって反転する。
は、ＳＲＡＭ４の各メモリセル８上に配置されている。
このメモリセル８は、２個のトランジスタを有するフリ
ップフロップで構成され、１ビットのデータを記憶す
る。このフリップフロップは、駆動状態では一方のトラ
ンジスタがＯＮで、他方のトランジスタがＯＦＦであ
る。このＯＮ・ＯＦＦ状態は、パルス（入力データ）に
よって反転する。
【００２５】フリップフロップを構成する各トランジス
タに、アドレス電極５，６が接続されている。したがっ
て、アドレス電極５，６は一方が＋で、他方が−となる
が、どちらが＋になるかはメモリセル８に書き込んだミ
ラー駆動データによって決まる。マイクロミラー２に所
定のバイアス電圧を印加すると、マイクロミラー２とア
ドレス電極５，６との間に静電気力によってどちらか一
方へ傾く。
タに、アドレス電極５，６が接続されている。したがっ
て、アドレス電極５，６は一方が＋で、他方が−となる
が、どちらが＋になるかはメモリセル８に書き込んだミ
ラー駆動データによって決まる。マイクロミラー２に所
定のバイアス電圧を印加すると、マイクロミラー２とア
ドレス電極５，６との間に静電気力によってどちらか一
方へ傾く。
【００２６】電源がＯＦＦ状態では、２個のトランジス
タのいずれもＯＦＦであるから、アドレス電極５，６に
は電圧が印加されない。また、マイクロミラー２にもバ
イアス電圧が印加されない。このために、マイクロミラ
ー２は、図２（Ａ）に示すように水平な状態にある。ま
た、メモリセル８にミラー駆動データを書き込んであっ
ても、マイクロミラー２にバイアス電圧を印加しない場
合は水平な状態となっっている。
タのいずれもＯＦＦであるから、アドレス電極５，６に
は電圧が印加されない。また、マイクロミラー２にもバ
イアス電圧が印加されない。このために、マイクロミラ
ー２は、図２（Ａ）に示すように水平な状態にある。ま
た、メモリセル８にミラー駆動データを書き込んであっ
ても、マイクロミラー２にバイアス電圧を印加しない場
合は水平な状態となっっている。
【００２７】ＳＲＡＭ４のメモリセル８に「０」のミラ
ー駆動データを書き込むと、アドレス電極５が＋とな
り、アドレス電極６が−となる。マイクロミラー２に＋
のバイアス電圧を印加すると、アドレス電極５とマイク
ロミラー２との間に反発力が発生し、アドレス電極６と
マイクロミラー２との間に吸引力が発生する。これらの
静電気力により、図２（Ｂ）に示すように、マイクロミ
ラー２は角２ｂがシリコン基板４ａに接触するまで傾
く。このときのマイクロミラー２の傾斜角度はーθとな
る。
ー駆動データを書き込むと、アドレス電極５が＋とな
り、アドレス電極６が−となる。マイクロミラー２に＋
のバイアス電圧を印加すると、アドレス電極５とマイク
ロミラー２との間に反発力が発生し、アドレス電極６と
マイクロミラー２との間に吸引力が発生する。これらの
静電気力により、図２（Ｂ）に示すように、マイクロミ
ラー２は角２ｂがシリコン基板４ａに接触するまで傾
く。このときのマイクロミラー２の傾斜角度はーθとな
る。
【００２８】ＳＲＡＭ４のメモリセル８に「１」のミラ
ー駆動データを書き込むと、アドレス電極５が−とな
り、アドレス電極６が＋となる。マイクロミラー２は、
図２（Ｃ）に示すように＋θだけ傾く。したがって、マ
イクロミラー２は、ミラー駆動データの値に応じて＋θ
と−θとの間で傾くことになる。
ー駆動データを書き込むと、アドレス電極５が−とな
り、アドレス電極６が＋となる。マイクロミラー２は、
図２（Ｃ）に示すように＋θだけ傾く。したがって、マ
イクロミラー２は、ミラー駆動データの値に応じて＋θ
と−θとの間で傾くことになる。
【００２９】マイクロミラー２は、水平状態と、２つの
傾斜状態とを持っているが、画像形成時には２つの傾斜
状態が使用され、その一方の傾斜状態のときに、マイク
ロミラーからのスポット光を取り出して画像を形成す
る。例えば、マイクロミラー２が＋θのときに、マイク
ロミラー２で反射されたスポット光を、画像形成光路に
入れて感光材料やスクリーンに投影する。そして、−θ
のときに、スポット光を除去光路に入れる。この場合に
は、＋θのときには反射光が画像形成に利用される有効
反射状態となり、ーθのときには、反射光が画像形成に
利用されない無効反射状態となる。
傾斜状態とを持っているが、画像形成時には２つの傾斜
状態が使用され、その一方の傾斜状態のときに、マイク
ロミラーからのスポット光を取り出して画像を形成す
る。例えば、マイクロミラー２が＋θのときに、マイク
ロミラー２で反射されたスポット光を、画像形成光路に
入れて感光材料やスクリーンに投影する。そして、−θ
のときに、スポット光を除去光路に入れる。この場合に
は、＋θのときには反射光が画像形成に利用される有効
反射状態となり、ーθのときには、反射光が画像形成に
利用されない無効反射状態となる。
【００３０】１個のマイクロミラー２は１個の画素を形
成するから、このマイクロミラーが有効反射状態となる
連続時間又は回数を変えることで、画素の階調を表現す
ることができる。例えば、「１」のミラー駆動データを
画像データに応じた個数だけ発生し、このシリアルなミ
ラー駆動データをメモリセル８に書き込むことで、有効
反射状態の回数を変えることができる。
成するから、このマイクロミラーが有効反射状態となる
連続時間又は回数を変えることで、画素の階調を表現す
ることができる。例えば、「１」のミラー駆動データを
画像データに応じた個数だけ発生し、このシリアルなミ
ラー駆動データをメモリセル８に書き込むことで、有効
反射状態の回数を変えることができる。
【００３１】図３は、面露光に用いるデジタルマイクロ
ミラー装置を示すものである。多数のマイクロミラー１
０ａがマトリクスに配列されている。図１に示すよう
に、各マイクロミラー１０ａの間には僅かな隙間がある
が、便宜上、各マイクロミラー１０ａをくっつけた状態
で描いてある。
ミラー装置を示すものである。多数のマイクロミラー１
０ａがマトリクスに配列されている。図１に示すよう
に、各マイクロミラー１０ａの間には僅かな隙間がある
が、便宜上、各マイクロミラー１０ａをくっつけた状態
で描いてある。
【００３２】図４は、デジタルマイクロミラー装置を用
いたデジタルカラープリンタを示すものである。デジタ
ルマイクロミラー装置１０を照明する光源として、多数
の赤色ＬＥＤを基板上にマトリクスに形成して面発光す
る赤色ＬＥＤ装置１１と、同様な構成の緑色ＬＥＤ装置
１２及び青色ＬＥＤ装置１３とが用いられている。な
お、光源としては、白色光を放出する白色光源と、赤
色，緑色，青色のカラーフイルタをセクタに配置したフ
イルタターレットとを用いてもよい。
いたデジタルカラープリンタを示すものである。デジタ
ルマイクロミラー装置１０を照明する光源として、多数
の赤色ＬＥＤを基板上にマトリクスに形成して面発光す
る赤色ＬＥＤ装置１１と、同様な構成の緑色ＬＥＤ装置
１２及び青色ＬＥＤ装置１３とが用いられている。な
お、光源としては、白色光を放出する白色光源と、赤
色，緑色，青色のカラーフイルタをセクタに配置したフ
イルタターレットとを用いてもよい。
【００３３】赤色ＬＥＤ装置１１からの赤色光は、緑色
光を反射するダイクロイックミラー１４と、青色光を反
射するダイクロイックミラー１５とを透過する。この赤
色光は、レンズ１６で平行光とされてから、デジタルマ
イクロミラー装置１０に入射する。緑色ＬＥＤ装置１２
からの緑色光は、ダイクロイックミラー１４で反射され
てから、ダイクロイックミラー１５，レンズ１６を経て
デジタルマイクロミラー装置１０に入射する。青色ＬＥ
Ｄ装置１２からの青色光は、ダイクロイックミラー１５
で反射されてデジタルマイクロミラー装置１０に入射す
る。なお、バランスフイルタ１７は、照明光のシェーデ
イング補正を行う。
光を反射するダイクロイックミラー１４と、青色光を反
射するダイクロイックミラー１５とを透過する。この赤
色光は、レンズ１６で平行光とされてから、デジタルマ
イクロミラー装置１０に入射する。緑色ＬＥＤ装置１２
からの緑色光は、ダイクロイックミラー１４で反射され
てから、ダイクロイックミラー１５，レンズ１６を経て
デジタルマイクロミラー装置１０に入射する。青色ＬＥ
Ｄ装置１２からの青色光は、ダイクロイックミラー１５
で反射されてデジタルマイクロミラー装置１０に入射す
る。なお、バランスフイルタ１７は、照明光のシェーデ
イング補正を行う。
【００３４】ＬＥＤドライバ１８は、コントローラ２０
で制御されており、赤色露光時に赤色ＬＥＤ装置１１だ
けを発光させ、緑色露光時には緑色ＬＥＤ装置１２だけ
を発光させ、青色露光時には青色ＬＥＤ装置１３だけを
発光させる。これらのＬＥＤ装置１１〜１３の発光輝度
は、駆動パルスのデューティ比を変えることで調節する
ことができる。
で制御されており、赤色露光時に赤色ＬＥＤ装置１１だ
けを発光させ、緑色露光時には緑色ＬＥＤ装置１２だけ
を発光させ、青色露光時には青色ＬＥＤ装置１３だけを
発光させる。これらのＬＥＤ装置１１〜１３の発光輝度
は、駆動パルスのデューティ比を変えることで調節する
ことができる。
【００３５】赤色画像メモリ２１，緑色画像メモリ２
２，青色画像メモリ２３には、１フレーム分の３色画像
データが書き込まれており、露光する色に対応した画像
メモリが読み出される。例えば、赤色露光時には、赤色
画像メモリ２１が読み出されてデータ変換回路２４に送
られ、各赤色画像データがミラー駆動データに変換され
る。データ書込み制御回路２５は、書込みタイミング信
号に同期して、ミラー駆動データをデジタルマイクロミ
ラー装置１０のＳＲＡＭに書き込む。
２，青色画像メモリ２３には、１フレーム分の３色画像
データが書き込まれており、露光する色に対応した画像
メモリが読み出される。例えば、赤色露光時には、赤色
画像メモリ２１が読み出されてデータ変換回路２４に送
られ、各赤色画像データがミラー駆動データに変換され
る。データ書込み制御回路２５は、書込みタイミング信
号に同期して、ミラー駆動データをデジタルマイクロミ
ラー装置１０のＳＲＡＭに書き込む。
【００３６】マイクロミラー１０ａは、「０」のミラー
駆動データによってーθだけ傾斜したときには無効反射
状態となり、その反射光が除去光路２７に入射する。こ
の除去光路２７には、拡散箱２８と受光素子２９とが配
置されている。拡散箱２８は、内面を反射面に仕上げた
筒と、その両端に固定した拡散板とから構成されてお
り、全てのマイクロミラーからの光が受光素子２９に入
るようにする。なお、拡散箱の代わりに拡散板を用いて
もよい。更に、受光素子２９の受光面が広いため、全て
のマイクロミラーからの光を受光することが可能であれ
ば、拡散箱２８は不要である。更に、拡散箱２８の代わ
りに集光レンズを用いてもよい。
駆動データによってーθだけ傾斜したときには無効反射
状態となり、その反射光が除去光路２７に入射する。こ
の除去光路２７には、拡散箱２８と受光素子２９とが配
置されている。拡散箱２８は、内面を反射面に仕上げた
筒と、その両端に固定した拡散板とから構成されてお
り、全てのマイクロミラーからの光が受光素子２９に入
るようにする。なお、拡散箱の代わりに拡散板を用いて
もよい。更に、受光素子２９の受光面が広いため、全て
のマイクロミラーからの光を受光することが可能であれ
ば、拡散箱２８は不要である。更に、拡散箱２８の代わ
りに集光レンズを用いてもよい。
【００３７】受光素子２９は、マイクロミラー１０ａが
無効反射状態の時のスポット光を測定し、測光値をコン
トローラ２０に送る。なお、マイクロミラー１０ａが水
平状態のときに反射されたスポット光は、光吸収板３０
で吸収される。
無効反射状態の時のスポット光を測定し、測光値をコン
トローラ２０に送る。なお、マイクロミラー１０ａが水
平状態のときに反射されたスポット光は、光吸収板３０
で吸収される。
【００３８】ミラー駆動データが「１」の場合には、マ
イクロミラー１０ａは＋θだけ傾斜した有効反射状態と
なり、スポット状の反射光は画像形成光路３２に入る。
この画像形成光路３２には、投影レンズ３３が配置され
ており、スポット光を感光記録材料例えば印画紙３４に
投影する。
イクロミラー１０ａは＋θだけ傾斜した有効反射状態と
なり、スポット状の反射光は画像形成光路３２に入る。
この画像形成光路３２には、投影レンズ３３が配置され
ており、スポット光を感光記録材料例えば印画紙３４に
投影する。
【００３９】印画紙３４は、搬送ローラ対３５にニップ
されて、供給ロール３６から１コマ分ずつ間欠的に引き
出され、巻取りロール３７に送られる。そして、印画紙
３４の停止中に、３色の画像が面順次で記録される。搬
送ローラ３５を回転させるためのパルスモータ３８は、
ドライバ３９を介してコントローラ２０によって回転が
制御される。
されて、供給ロール３６から１コマ分ずつ間欠的に引き
出され、巻取りロール３７に送られる。そして、印画紙
３４の停止中に、３色の画像が面順次で記録される。搬
送ローラ３５を回転させるためのパルスモータ３８は、
ドライバ３９を介してコントローラ２０によって回転が
制御される。
【００４０】次に、上記デジタルカラープリンタの作用
について説明する。電源が投入されると、コントローラ
２０は、データ書込み制御回路２５にデジタルマイクロ
ミラー装置１０をクリアすることを指示する。データ書
込み制御回路２５は、デジタルマイクロミラー装置１０
のＳＲＡＭに「０」を書き込み、各マイクロミラー１０
ａを図２（Ｂ）に示すように、ーθだけ傾斜させて無効
反射状態にする。
について説明する。電源が投入されると、コントローラ
２０は、データ書込み制御回路２５にデジタルマイクロ
ミラー装置１０をクリアすることを指示する。データ書
込み制御回路２５は、デジタルマイクロミラー装置１０
のＳＲＡＭに「０」を書き込み、各マイクロミラー１０
ａを図２（Ｂ）に示すように、ーθだけ傾斜させて無効
反射状態にする。
【００４１】次に、コントローラ２０は、ＬＥＤドライ
バ１８を介して赤色ＬＥＤ装置１１を発光させてデジタ
ルマイクロミラー装置１０の全面を照明する。この際
に、ＳＲＡＭの各メモリセル８には「０」が書き込まれ
ており、各マイクロミラー１０ａは無効反射状態になっ
ているから、各マイクロミラー１０ａで反射された赤色
スポット光が除去光路２７に向けて反射される。
バ１８を介して赤色ＬＥＤ装置１１を発光させてデジタ
ルマイクロミラー装置１０の全面を照明する。この際
に、ＳＲＡＭの各メモリセル８には「０」が書き込まれ
ており、各マイクロミラー１０ａは無効反射状態になっ
ているから、各マイクロミラー１０ａで反射された赤色
スポット光が除去光路２７に向けて反射される。
【００４２】コントローラ２０は、赤色画像メモリ４１
から、１フレーム分の赤色画像データを読み出してデー
タ変換回路２４に送る。このデータ変換回路２４は、各
画像データをＮビットのミラー駆動データに変換する。
このミラー駆動データは、画像データの値に応じた個数
の「１」を含んでおり、各画素毎に最上位ビットを取り
出してデータ書込み制御回路２５に送る。そして、第１
番目の書込みタイミング信号に同期して、デジタルマイ
クロミラー装置１０のＳＲＡＭに１フレーム分のミラー
駆動データを書き込む。
から、１フレーム分の赤色画像データを読み出してデー
タ変換回路２４に送る。このデータ変換回路２４は、各
画像データをＮビットのミラー駆動データに変換する。
このミラー駆動データは、画像データの値に応じた個数
の「１」を含んでおり、各画素毎に最上位ビットを取り
出してデータ書込み制御回路２５に送る。そして、第１
番目の書込みタイミング信号に同期して、デジタルマイ
クロミラー装置１０のＳＲＡＭに１フレーム分のミラー
駆動データを書き込む。
【００４３】マイクロミラー１０ａは、「１」のミラー
駆動データが与えられている場合に有効反射状態とな
り、入射した赤色光をスポット光として画像形成光路３
２に向けて反射する。この赤色スポット光は、投影レン
ズ３３によって印画紙３４に投影される。これにより、
印画紙３４には、１フレーム分の赤色スポット光が入射
して、第１回の露光が行われる。なお、「０」のミラー
駆動データが与えられているマイクロミラー１０ａは無
効反射状態であるから、反射した赤色スポット光が除去
光路２７に入る。
駆動データが与えられている場合に有効反射状態とな
り、入射した赤色光をスポット光として画像形成光路３
２に向けて反射する。この赤色スポット光は、投影レン
ズ３３によって印画紙３４に投影される。これにより、
印画紙３４には、１フレーム分の赤色スポット光が入射
して、第１回の露光が行われる。なお、「０」のミラー
駆動データが与えられているマイクロミラー１０ａは無
効反射状態であるから、反射した赤色スポット光が除去
光路２７に入る。
【００４４】次に、データ変換回路２４は、各ミラー駆
動データの上位から２番目のビットを取り出してデータ
書込み制御回路２５に送る。このデータ書込み制御回路
２５は、第２番目の書込みタイミング信号によって、１
フレーム分のミラー駆動データをデジタルマイクロミラ
ー装置１０に書き込む。この書込みにより、有効反射状
態となったマイクロミラー１０ａからの赤色スポット光
により第２回目の露光が行われる。
動データの上位から２番目のビットを取り出してデータ
書込み制御回路２５に送る。このデータ書込み制御回路
２５は、第２番目の書込みタイミング信号によって、１
フレーム分のミラー駆動データをデジタルマイクロミラ
ー装置１０に書き込む。この書込みにより、有効反射状
態となったマイクロミラー１０ａからの赤色スポット光
により第２回目の露光が行われる。
【００４５】こうして複数回の露光が行われるが、Ｎビ
ット目のミラー駆動データの最下位ビットが「０」とな
るようにデータ変換されているから、全てのマイクロミ
ラー１０ａは無効反射状態にセットされる。こうして、
各マイクロミラー１０ａは、Ｎビットの赤色用のミラー
駆動データにより、最大（Ｎー１）回分の露光が行わ
れ、Ｎ階調の画像を記録する。
ット目のミラー駆動データの最下位ビットが「０」とな
るようにデータ変換されているから、全てのマイクロミ
ラー１０ａは無効反射状態にセットされる。こうして、
各マイクロミラー１０ａは、Ｎビットの赤色用のミラー
駆動データにより、最大（Ｎー１）回分の露光が行わ
れ、Ｎ階調の画像を記録する。
【００４６】赤色露光が終了すると、コントローラ２０
は、ＬＥＤドライバ１８を介して、赤色ＬＥＤ装置１１
を消灯し、代わりに緑色ＬＥＤ装置１２を点灯させる。
次に、コントローラ２０は、緑色画像メモリ２２から１
フレーム分の緑色画像データを読み出してデータ変換回
路２４に送る。このデータ変換回路２４は、１フレーム
分の緑色画像データをＮビットのミラー駆動データに変
換する。そして、各画素の最上位ビットを取り出してデ
ータ書込み制御回路２５に送り、第１番目の書込みタイ
ミング信号でデジタルマイクロミラー装置１０に書き込
む。各マイクロミラー１０ａは、対応するミラー駆動デ
ータに応じて傾斜が変わり、緑色スポット光を印画紙３
４に向けて反射する。赤色露光と同様にして、緑色光に
より（Ｎー１）回の露光が行われ、各マイクロミラー１
０ａは緑色画像データに応じた露光量を印画紙３４に与
える。
は、ＬＥＤドライバ１８を介して、赤色ＬＥＤ装置１１
を消灯し、代わりに緑色ＬＥＤ装置１２を点灯させる。
次に、コントローラ２０は、緑色画像メモリ２２から１
フレーム分の緑色画像データを読み出してデータ変換回
路２４に送る。このデータ変換回路２４は、１フレーム
分の緑色画像データをＮビットのミラー駆動データに変
換する。そして、各画素の最上位ビットを取り出してデ
ータ書込み制御回路２５に送り、第１番目の書込みタイ
ミング信号でデジタルマイクロミラー装置１０に書き込
む。各マイクロミラー１０ａは、対応するミラー駆動デ
ータに応じて傾斜が変わり、緑色スポット光を印画紙３
４に向けて反射する。赤色露光と同様にして、緑色光に
より（Ｎー１）回の露光が行われ、各マイクロミラー１
０ａは緑色画像データに応じた露光量を印画紙３４に与
える。
【００４７】緑色露光が終了すると、青色画像データに
よる青色画像が印画紙３４にプリントされる。この３色
面順次露光によって、印画紙３４にはフルカラー画像が
プリントされる。このプリント後に、コントローラ２０
は、ドライバ３９を介してパルスモータ３８を回転さ
せ、印画紙３４を１コマ分矢線方向に搬送する。
よる青色画像が印画紙３４にプリントされる。この３色
面順次露光によって、印画紙３４にはフルカラー画像が
プリントされる。このプリント後に、コントローラ２０
は、ドライバ３９を介してパルスモータ３８を回転さ
せ、印画紙３４を１コマ分矢線方向に搬送する。
【００４８】ここで、ポジーポジ方式の印画紙を用いる
場合には、ポジ画像の画像データを用いてデジタルマイ
クロミラー装置を駆動する。ネガ・ポジ反転する通常の
印画紙を用いる場合には、ネガ像に反転した画像データ
が用いられる。
場合には、ポジ画像の画像データを用いてデジタルマイ
クロミラー装置を駆動する。ネガ・ポジ反転する通常の
印画紙を用いる場合には、ネガ像に反転した画像データ
が用いられる。
【００４９】次に、デジタルマイクロミラー装置の作動
状況の管理について説明する。マイクロミラーは、使用
中の衝撃等によって故障したり、光源の発光強度が経時
変化したりする。そこで、プリント前、又は一定期間毎
に、マイクロミラーの動作状況をモニタして、適正な対
策を施すのがよい。このモニタは、キーボードを操作し
てマニュアルで行う他に、自動的に行われるようにして
もよい。
状況の管理について説明する。マイクロミラーは、使用
中の衝撃等によって故障したり、光源の発光強度が経時
変化したりする。そこで、プリント前、又は一定期間毎
に、マイクロミラーの動作状況をモニタして、適正な対
策を施すのがよい。このモニタは、キーボードを操作し
てマニュアルで行う他に、自動的に行われるようにして
もよい。
【００５０】図６は故障した欠陥マイクロミラーの検出
方法を示すものである。まず、任意のＬＥＤ装置例えば
赤色ＬＥＤ装置１１を発光させてから、ＬＥＤ全てのメ
モリセルにミラー駆動データ「１」を書き込んで、有効
反射状態にセットする。次に、１個のマイクロミラーの
アドレスを指定して、対応するメモリセルにミラー駆動
データ「１」を書き込む。
方法を示すものである。まず、任意のＬＥＤ装置例えば
赤色ＬＥＤ装置１１を発光させてから、ＬＥＤ全てのメ
モリセルにミラー駆動データ「１」を書き込んで、有効
反射状態にセットする。次に、１個のマイクロミラーの
アドレスを指定して、対応するメモリセルにミラー駆動
データ「１」を書き込む。
【００５１】アドレス指定したマイクロミラーが正常な
場合には、ミラー駆動データの書込みによって、有効反
射状態から無効反射状態に変わるため、このマイクロミ
ラーからのスポット光だけが除去光路２７に入る。この
スポット光は、拡散箱２８で拡散されてから受光素子２
７に入射する。コントローラ２０は受光素子２７で測定
した測光値を取り込む。
場合には、ミラー駆動データの書込みによって、有効反
射状態から無効反射状態に変わるため、このマイクロミ
ラーからのスポット光だけが除去光路２７に入る。この
スポット光は、拡散箱２８で拡散されてから受光素子２
７に入射する。コントローラ２０は受光素子２７で測定
した測光値を取り込む。
【００５２】次に、動作チェックされたマイクロミラー
に駆動データ「０」を割り当てて、再び有効反射状態に
セットする。この状態での測光値をコントローラ２０に
取り込む。この２回の測定で得た測光値を比較し、第１
回目の方が大きいときに、アドレス指定したマイクロミ
ラーが正常であるとを判断する。
に駆動データ「０」を割り当てて、再び有効反射状態に
セットする。この状態での測光値をコントローラ２０に
取り込む。この２回の測定で得た測光値を比較し、第１
回目の方が大きいときに、アドレス指定したマイクロミ
ラーが正常であるとを判断する。
【００５３】第１番目のマイクロミラーの欠陥検出が終
了すると、第２番目のマイクロミラーを作動させて受光
素子２９で測定する。こうして全てのマイクロミラーを
１個ずつチェックする。
了すると、第２番目のマイクロミラーを作動させて受光
素子２９で測定する。こうして全てのマイクロミラーを
１個ずつチェックする。
【００５４】このように、有効反射状態と無効反射状態
の両方で測光し、受光素子の出力信号の変化から欠陥マ
イクロミラーを検出するものであるから、無効反射状態
のままで止まっている欠陥マイクロミラーが存在してい
ても、アドレス指定した特定のマイクロミラーの欠陥の
有無を正しく測定することができる。この欠陥マイクロ
ミラーの有無及び位置は、ディスプレイ４０に表示され
る。なお、欠陥マイクロミラーは常に水平状態に維持さ
れる構造をしている場合には、指定されたマイクロミラ
ーが無効反射状態にセットされているときにのみ測光す
ればよい。
の両方で測光し、受光素子の出力信号の変化から欠陥マ
イクロミラーを検出するものであるから、無効反射状態
のままで止まっている欠陥マイクロミラーが存在してい
ても、アドレス指定した特定のマイクロミラーの欠陥の
有無を正しく測定することができる。この欠陥マイクロ
ミラーの有無及び位置は、ディスプレイ４０に表示され
る。なお、欠陥マイクロミラーは常に水平状態に維持さ
れる構造をしている場合には、指定されたマイクロミラ
ーが無効反射状態にセットされているときにのみ測光す
ればよい。
【００５５】欠陥マイクロミラーが検出された場合に
は、画素ずらしの手法で補正する。すなわち、通常の露
光をしてから、デジタルマイクロミラー装置を１個のマ
イクロミラーのサイズ分だけ移動させ、正常なマイクロ
ミラーを欠陥マイクロミラーの位置にセットする。この
状態で、正常なマイクロミラーだけを駆動して２回目の
露光をする。こうすると、ハードコピィ上で白抜けとな
るのを防止することができる。なお、プロジェクタの場
合には、殆ど目立たないから、前述した画素ずらしをし
なくてもよい。
は、画素ずらしの手法で補正する。すなわち、通常の露
光をしてから、デジタルマイクロミラー装置を１個のマ
イクロミラーのサイズ分だけ移動させ、正常なマイクロ
ミラーを欠陥マイクロミラーの位置にセットする。この
状態で、正常なマイクロミラーだけを駆動して２回目の
露光をする。こうすると、ハードコピィ上で白抜けとな
るのを防止することができる。なお、プロジェクタの場
合には、殆ど目立たないから、前述した画素ずらしをし
なくてもよい。
【００５６】また、２回の測定で得た測定値の差から、
アドレス指定したマイクロミラーについて、その反射率
に関連したデータを得ることができる。そして、全ての
マイクロミラーのデータのうち、最小値又は平均値を標
準値とする。次に、標準値と各マイクロミラーのデータ
との差を求めれば、反射率のバラツキが得られる。この
反射率のバラツキを反射率データとし、この反射率デー
タと補正データとの関係を特定してテーブル化してお
き、このテーブルを参照して反射率データから補正デー
タを求める。画像データを用いてプリントする際に、各
マイクロミラー毎に、画像データに補正データを加算し
て画像データを修正する。
アドレス指定したマイクロミラーについて、その反射率
に関連したデータを得ることができる。そして、全ての
マイクロミラーのデータのうち、最小値又は平均値を標
準値とする。次に、標準値と各マイクロミラーのデータ
との差を求めれば、反射率のバラツキが得られる。この
反射率のバラツキを反射率データとし、この反射率デー
タと補正データとの関係を特定してテーブル化してお
き、このテーブルを参照して反射率データから補正デー
タを求める。画像データを用いてプリントする際に、各
マイクロミラー毎に、画像データに補正データを加算し
て画像データを修正する。
【００５７】あるいは、１個の画素を記録する場合に、
予備記録と本記録とに分け、予備記録では各マイクロミ
ラーの補正データを用いてデジテルマイクロミラー装置
を駆動し、そして本記録では画像データでデジタルマイ
クロミラー装置を駆動してもよい。
予備記録と本記録とに分け、予備記録では各マイクロミ
ラーの補正データを用いてデジテルマイクロミラー装置
を駆動し、そして本記録では画像データでデジタルマイ
クロミラー装置を駆動してもよい。
【００５８】光源の経時変化を調べる場合には、光源毎
に測定を行う。まず、赤色ＬＥＤ装置１１を点灯させて
から、図６に示すように、全てのメモリセルにミラー駆
動データ「０」を書き込んで、全てのマイクロミラーを
無効反射状態にセットする。デジタルマイクロミラー装
置１０は、１フレーム分のスポット光を除去光路２７に
向けて反射する。この１フレーム分のスポット光は、拡
散箱２８で拡散されてから受光素子２９に入射する。
に測定を行う。まず、赤色ＬＥＤ装置１１を点灯させて
から、図６に示すように、全てのメモリセルにミラー駆
動データ「０」を書き込んで、全てのマイクロミラーを
無効反射状態にセットする。デジタルマイクロミラー装
置１０は、１フレーム分のスポット光を除去光路２７に
向けて反射する。この１フレーム分のスポット光は、拡
散箱２８で拡散されてから受光素子２９に入射する。
【００５９】受光素子２９で測定された測光値は、マイ
クロコントローラ２０に取り込まれる。このマイクロコ
ントローラ２０は、最適な照明状態での測光値に相当す
る基準値と、実際の測定で得た測光値とを比較する。も
し、両者が一致しない場合には、マイクロコントローラ
２０は、ＬＥＤドライバ１８に駆動パルスのデューティ
比の変更を指示してから再び測光する。両者が一致する
まで繰り返して、赤色ＬＥＤ装置１１の駆動パルスのデ
ューティ比を決定する。
クロコントローラ２０に取り込まれる。このマイクロコ
ントローラ２０は、最適な照明状態での測光値に相当す
る基準値と、実際の測定で得た測光値とを比較する。も
し、両者が一致しない場合には、マイクロコントローラ
２０は、ＬＥＤドライバ１８に駆動パルスのデューティ
比の変更を指示してから再び測光する。両者が一致する
まで繰り返して、赤色ＬＥＤ装置１１の駆動パルスのデ
ューティ比を決定する。
【００６０】次に、緑色ＬＥＤ装置１２を点灯させ、赤
色ＬＥＤ装置１１と同様な手順を実行して駆動パルスの
デューティ比を決定する。最後に、青色ＬＥＤ装置１３
の駆動パルスのデューティ比を決定する。プリント時
に、こうして決めた各デューテイ比の駆動パルスで各Ｌ
ＥＤ装置を駆動し、所期の光量が得られるようにする。
なお、駆動パルスのデューティ比を調節する他に、レン
ズ１６の前後に適当な濃度を持ったＮＤフイルタを出し
入れしてもよい。
色ＬＥＤ装置１１と同様な手順を実行して駆動パルスの
デューティ比を決定する。最後に、青色ＬＥＤ装置１３
の駆動パルスのデューティ比を決定する。プリント時
に、こうして決めた各デューテイ比の駆動パルスで各Ｌ
ＥＤ装置を駆動し、所期の光量が得られるようにする。
なお、駆動パルスのデューティ比を調節する他に、レン
ズ１６の前後に適当な濃度を持ったＮＤフイルタを出し
入れしてもよい。
【００６１】図７に示すように、測光部として、結像レ
ンズ４５とイメージエリアセンサー４６とを用いてもよ
い。このイメージエリアセンサー４６には、入射光を光
電変換するピクセル４６ａがマトリクスに形成されてい
る。これらのピクセル４６ａは、各マイクロミラーに対
応しているから、マイクロミラーの欠陥検出や反射率の
測定では、全てのマイクロミラーを同時に駆動して、同
時に測光することができる。
ンズ４５とイメージエリアセンサー４６とを用いてもよ
い。このイメージエリアセンサー４６には、入射光を光
電変換するピクセル４６ａがマトリクスに形成されてい
る。これらのピクセル４６ａは、各マイクロミラーに対
応しているから、マイクロミラーの欠陥検出や反射率の
測定では、全てのマイクロミラーを同時に駆動して、同
時に測光することができる。
【００６２】なお、イメージエリアセンサー４６のピク
セル４６ａの方がマイクロミラーよりも大きい場合、例
えば１個のピクセルが４個のマイクロミラーに対応する
ときには、４個のマイクロミラー毎にグループ化し、こ
のグループ内で１個ずつマイクロミラーを駆動すればよ
い。ピクセル４６ａの方が小さい場合には、複数のピク
セルをグループ化し、このグループ内のピクセルで測定
した測光値の平均値を用いればよい。
セル４６ａの方がマイクロミラーよりも大きい場合、例
えば１個のピクセルが４個のマイクロミラーに対応する
ときには、４個のマイクロミラー毎にグループ化し、こ
のグループ内で１個ずつマイクロミラーを駆動すればよ
い。ピクセル４６ａの方が小さい場合には、複数のピク
セルをグループ化し、このグループ内のピクセルで測定
した測光値の平均値を用いればよい。
【００６３】画像を１ラインずつ記録するラインプリン
タの場合には、図８に示すように、マイクロミラー４９
をライン状に配列したデジタルマイクロミラーを用いる
ことができる。また、測光部としてイメージセンサーを
用いる場合には、複数のピクセルをライン状に配列した
イメージラインセンサーを用いる。
タの場合には、図８に示すように、マイクロミラー４９
をライン状に配列したデジタルマイクロミラーを用いる
ことができる。また、測光部としてイメージセンサーを
用いる場合には、複数のピクセルをライン状に配列した
イメージラインセンサーを用いる。
【００６４】プリント中に、拡散箱２８の表面で反射し
た微弱な光がデジタルマイクロミラー装置１０に戻る
と、フレアが発生をするおそれがある。このフレアの発
生を防止するには、拡散箱２８と受光素子２９とからな
る測光部と、光吸収部材とを移動台に取り付けて切り換
え可能とするのがよい。デジタルマイクロミラー装置を
モニタする場合に測光部を除去光路２７にセットし、プ
リント中には測光部の代わりに、光吸収部材を除去光路
２７にセットする。
た微弱な光がデジタルマイクロミラー装置１０に戻る
と、フレアが発生をするおそれがある。このフレアの発
生を防止するには、拡散箱２８と受光素子２９とからな
る測光部と、光吸収部材とを移動台に取り付けて切り換
え可能とするのがよい。デジタルマイクロミラー装置を
モニタする場合に測光部を除去光路２７にセットし、プ
リント中には測光部の代わりに、光吸収部材を除去光路
２７にセットする。
【００６５】また、デジタルマイクロミラー装置のモニ
タ中に、印画紙が感光されないようにするために、画像
形成光路にシャッタを設け、プリント中以外は印画紙３
４を遮光するのがよい。
タ中に、印画紙が感光されないようにするために、画像
形成光路にシャッタを設け、プリント中以外は印画紙３
４を遮光するのがよい。
【００６６】更に、本発明は、プリンタの他に、プロジ
ェクタや画像表示装置，照明装置等の光学機器に利用す
ることができる。また、本発明は、ピエゾ式のマイクロ
ミラー装置を内蔵した光学機器に対しても利用すること
ができる。
ェクタや画像表示装置，照明装置等の光学機器に利用す
ることができる。また、本発明は、ピエゾ式のマイクロ
ミラー装置を内蔵した光学機器に対しても利用すること
ができる。
【００６７】
【発明の効果】以上詳細に説明したように、本発明によ
れば、不要な反射光を取り出すための除去光路にモニタ
用の測光部を設けたから、画像形成光路中にハーフミラ
ーやビームスプリッタ等の光路分割器を配置して反射光
を取り出すことが不要となる。したがって、本発明は、
除去光路を有効活用することで、光学系を複雑化するこ
となく、マイクロミラー装置をモニタすることができ
る。
れば、不要な反射光を取り出すための除去光路にモニタ
用の測光部を設けたから、画像形成光路中にハーフミラ
ーやビームスプリッタ等の光路分割器を配置して反射光
を取り出すことが不要となる。したがって、本発明は、
除去光路を有効活用することで、光学系を複雑化するこ
となく、マイクロミラー装置をモニタすることができ
る。
【００６８】また、マイクロミラーで反射された光を除
去光路に配置した測光部で測光し、得られた測光値が基
準値と一致するように、マイクロミラー装置へ照射する
光の強度を調整するから、画像の明るさを一定に保つこ
とができる。
去光路に配置した測光部で測光し、得られた測光値が基
準値と一致するように、マイクロミラー装置へ照射する
光の強度を調整するから、画像の明るさを一定に保つこ
とができる。
【００６９】更に、マイクロミラーを駆動しながら測光
部で測光するから、マイクロミラーの欠陥を検出するこ
とができる。また、マイクロミラーからの反射光の強さ
を測定することで、マイクロミラーの反射状態を求める
ことができる。
部で測光するから、マイクロミラーの欠陥を検出するこ
とができる。また、マイクロミラーからの反射光の強さ
を測定することで、マイクロミラーの反射状態を求める
ことができる。
【図１】デジタルマイクロミラー装置の説明図である。
【図２】マイクロミラーの動作を示す説明図である。
【図３】デジタルマイクロミラー装置の一例を示す説明
的平面図である。
的平面図である。
【図４】カラーデジタルプリンタの概略図である。
【図５】マイクロミラーの欠陥検出と反射率の測定を示
すフローチャートである。
すフローチャートである。
【図６】光源の輝度調整を示すフローチャートである。
【図７】イメージリエアセンサーを用いた測光部を示す
斜視図である。
斜視図である。
【図８】１列分のマイクロミラーアレイを設けたデジタ
ルマイクロミラー装置の説明図である。
ルマイクロミラー装置の説明図である。
２，１０ａ，４９ マイクロミラー ４ ＳＲＡＭ １０，４８ デジタルマイクロミラー装置 １１ 赤色ＬＥＤ装置 １２ 緑色ＬＥＤ装置 １３ 青色ＬＥＤ装置 ３２ 画像形成光路 ２７ 除去光路 ２８ 拡散箱 ２９ 受光素子 ４５ 結像レンズ ４６ イメージエリアセンサー
Claims (6)
- 【請求項１】 複数のマイクロミラーを配列したマイク
ロミラー装置と、このマイクロミラー装置に光を照射す
る光源とを備え、各マイクロミラーは画像形成光路に向
けて光を反射する有効反射状態と、除去光路に向けて光
を反射する無効反射状態とに変位可能であるマイクロミ
ラー式画像形成装置において、 前記無効反射状態のマイクロミラーで反射された光を測
定するための測光部を除去光路に配置したことを特徴と
するマイクロミラー式画像形成装置。 - 【請求項２】 前記測光部は、マイクロミラーからの光
を拡散する拡散部材と、この拡散部材の背後に配置され
た受光素子とからなることを特徴とする請求項１記載の
マイクロミラー式画像形成装置。 - 【請求項３】 前記測光部は、結像光学系と、入射光を
光電変換する複数のピクセルを有し、結像光学系の結像
面に配置されたイメージセンサーとからなることを特徴
とする請求項１記載のマイクロミラー式画像形成装置。 - 【請求項４】 複数のマイクロミラーを配列したマイク
ロミラー装置と、このマイクロミラー装置に光を照射す
る光源とを備え、各マイクロミラーは画像形成光路に向
けて光を反射する有効反射状態と、除去光路に向けて光
を反射する無効反射状態とに変位可能であるマイクロミ
ラー式画像形成装置に対して、 前記マイクロミラーの全てを無効反射状態にセットし、
これらのマイクロミラーで反射された光を除去光路に配
置した測光部で測光し、得られた測光値が基準値と一致
するように、マイクロミラー装置へ照射する光の強度を
調整することを特徴とする管理方法。 - 【請求項５】 複数のマイクロミラーを配列したマイク
ロミラー装置と、このマイクロミラー装置に光を照射す
る光源とを備え、各マイクロミラーは画像形成光路に向
けて光を反射する有効反射状態と、除去光路に向けて光
を反射する無効反射状態とに変位可能であるマイクロミ
ラー式画像形成装置に対して、 前記マイクロミラーを有効反射状態と無効反射状態との
間で変位させるとともに、除去光路に配置した測光部で
マイクロミラーからの反射光を個別に測光し、測光部の
出力信号の変化からマイクロミラーの欠陥の有無を検出
することを特徴とする管理方法。 - 【請求項６】 複数のマイクロミラーを配列したマイク
ロミラー装置と、このマイクロミラー装置に光を照射す
る光源とを備え、各マイクロミラーは画像形成光路に向
けて光を反射する有効反射状態と、除去光路に向けて光
を反射する無効反射状態とに変位可能であるマイクロミ
ラー式画像形成装置に対して、 各マイクロミラーを無効反射状態にセットし、除去光路
に配置した測光部で各マイクロミラーからの反射光を個
別に測光して、各マイクロミラーの反射率のバラツキを
求めることを特徴とする管理方法。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP04126696A JP3519853B2 (ja) | 1996-02-28 | 1996-02-28 | マイクロミラー式画像形成装置及びその管理方法 |
| US08/807,357 US5796508A (en) | 1996-02-28 | 1997-02-27 | Micromirror type image forming apparatus and administration method for the same |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP04126696A JP3519853B2 (ja) | 1996-02-28 | 1996-02-28 | マイクロミラー式画像形成装置及びその管理方法 |
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| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09229818A true JPH09229818A (ja) | 1997-09-05 |
| JP3519853B2 JP3519853B2 (ja) | 2004-04-19 |
Family
ID=12603653
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP04126696A Expired - Fee Related JP3519853B2 (ja) | 1996-02-28 | 1996-02-28 | マイクロミラー式画像形成装置及びその管理方法 |
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