JPH09111200A

JPH09111200A - ウエハ貼着用粘着シート

Info

Publication number: JPH09111200A
Application number: JP7272204A
Authority: JP
Inventors: Sunao Nakasaki; 素直中崎; Katsuaki Yoshizawa; 克明吉沢
Original assignee: Oji Paper Co Ltd
Current assignee: New Oji Paper Co Ltd
Priority date: 1995-10-20
Filing date: 1995-10-20
Publication date: 1997-04-28

Abstract

(57)【要約】【課題】半導体ウエハを素子小片に切断分離する際に用
いられるウエハ貼着用粘着シートであって、半導体ウエ
ハの切断時にはウエハを強固に固定でき、放射線照射後
には接着力が速やかに消失する粘着シートを提供する。【解決手段】基材上に粘着性樹脂と放射線重合性化合物
とからなる粘着剤層を構成してなるウエハ貼着用粘着シ
ートにおいて、粘着性樹脂として該樹脂の主鎖及び／又
は側鎖に光重合開始剤を結合せしめたものを用いること
を特徴とするウエハ貼着用粘着シートである。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、半導体ウエハを素
子小片に切断分離する際に用いられるウエハ貼着用粘着
シートに関し、更に詳しくは、半導体ウエハの切断時に
はウエハを強固に固定でき、放射線照射後には接着力が
速やかに消失する粘着シートに関するものである。

【０００２】

【従来の技術】粘着シートは、商業用、事務用、工程管
理用、物流管理用、家庭用等として広範囲にわたってラ
ベル、ステッカー、ワッペン、配送伝票等の形で使用さ
れている。この粘着シートの一般的構成を説明すると、
表面基材と剥離シートとの間に粘着剤をサンドイッチに
した状態のものであり、表面基材としては紙、フォイ
ル、あるいはフィルム等が使用される。また、剥離シー
トとしてはグラシン紙のような高密度原紙、クレーコー
ト紙、クラフト紙や上質紙等にポリエチレン等の樹脂フ
ィルムをラミネートしたポリラミ原紙、あるいはクラフ
ト紙や上質紙等にポリビニルアルコール、澱粉等の水溶
性高分子等と顔料とを主成分とするバリヤー層を設けた
樹脂コーティング原紙等にシリコーン化合物やフッ素化
合物の如き剥離剤を塗布したものが用いられる。そし
て、粘着剤としてはゴム系、アクリル系、ビニルエーテ
ル系等のエマルジョン型、溶剤型ないしは無溶剤型の各
種粘着剤が使用される。

【０００３】一方、半導体ウエハは、粘着シートに貼っ
て固定された後、ダイシング工程でウエハを切断し、個
々の半導体チップ形状に分離し、その後、ダイス・ボン
ダーにてリード・フレームまたは基板等に固着し、一連
の組立工程を経て種々の半導体製品が製造されている。

【０００４】このような半導体ウエハのダイシング工程
で用いられる粘着シートとしては、特開昭６０−１９６
９５６号公報、特開昭６０−２２３１３９号公報および
特開昭６２−１５３３７６号公報に、ポリ塩化ビニル、
ポリプロピレン、ポリエチレン等の基材面に、放射線照
射によって三次元網状化しうる分子内に放射線重合性炭
素−炭素二重結合を少なくとも２個以上有する化合物、
および光重合開始剤を添加してなる粘着剤を塗布した粘
着シートが提案されている。これらの提案は、基材上に
放射線硬化性粘着剤を塗布した粘着シートであって、そ
の粘着剤中に含まれる放射線重合性化合物を光重合開始
剤を用いて放射線照射により硬化させ、粘着剤を三次元
網状化させることにより、接着力を低下させるものであ
る。

【０００５】しかしながら、上記に提案されたような分
子内に放射線重合性炭素−炭素二重結合を少なくとも２
個以上有する化合物および光重合開始剤を添加した粘着
剤を塗布した従来の粘着シートでは、放射線照射前には
半導体ウエハに対して充分な接着力を有しているが、粘
着性樹脂、放射線重合性化合物および光重合開始剤の３
者が完全に相溶していないため、放射線照射を行っても
粘着剤層が完全に硬化せず、充分に接着力が低下しない
という問題を有していた。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】本発明は、半導体ウエ
ハを素子小片に切断分離する際に用いられるウエハ貼着
用粘着シートに関し、半導体ウエハの切断時にはウエハ
を強固に固定でき、放射線照射後には接着力が速やかに
消失し、ウエハ表面への糊残り等がなく、ウエハ素子小
片のピックアップを容易にできるウエハ貼着用粘着シー
トを提供するものである。

【０００７】

【課題を解決するための手段】本発明者等は、ウエハ貼
着用粘着シートの粘着剤層の構成について鋭意研究の結
果、使用する粘着性樹脂に光重合開始剤を結合させる
と、放射線照射後の接着力の消失が速やかに行われ、し
かも糊残りが少ないことを見いだし、本発明に至ったの
である。

【０００８】即ち、本発明は、基材上に粘着性樹脂と放
射線重合性化合物とからなる粘着剤層を構成してなるウ
エハ貼着用粘着シートにおいて、粘着性樹脂として該樹
脂の主鎖及び／又は側鎖に光重合開始剤を結合せしめた
ものを用いることを特徴とするウエハ貼着用粘着シート
である。

【０００９】

【発明の実施の形態】本発明のウエハ貼着用粘着シート
は、表面基材、粘着剤層、剥離シートを積層した粘着シ
ートにおいて、粘着剤層の構成が、粘着性樹脂の主鎖及
び／又は側鎖に光重合開始剤が結合した粘着性樹脂と放
射線重合性化合物からなることを特徴とする。従来の粘
着性樹脂と放射線重合性化合物と光重合開始剤の三成分
からなる粘着剤層では、放射線照射前には半導体ウエハ
に対して充分な接着力を有しているが、放射線照射を行
っても粘着剤層が完全に硬化せず、充分に接着力が低下
しないという問題を有していたが、光重合開始剤を結合
せしめた粘着性樹脂を用いた場合には、放射線照射を行
うと速やかに接着力が消失し、ウエハ表面への糊残り等
がなく、ウエハ素子小片のピックアップを容易にする。
恐らく、このようなことは、従来の粘着シートでは、粘
着性樹脂と放射線重合性化合物と光重合開始剤の三成分
が完全に相溶していないために、放射線照射後に粘着剤
層が完全に硬化しない、光重合開始剤を結合せしめた粘
着性樹脂を用いた場合には、放射線重合性化合物と相溶
しやすくなるため、放射線照射後には粘着剤層が完全に
硬化し、接着力が速やかに低下するものと思われる。

【００１０】ここに、本発明のウエハ貼着用粘着シート
において使用される粘着性樹脂としては、公知のゴム
系、アクリル系、ビニルエーテル系、シリコーン系粘着
剤が挙げられるが、粘着物性の制御がしやすいアクリル
系粘着剤が好ましい。

【００１１】このアクリル系粘着剤としては、（ａ）
（メタ）アクリル酸のＣ₄〜Ｃ₁₈アルキルエステルモノ
マー、（ｂ）エチレン性不飽和カルボン酸含有モノマ
ー、（ｃ）上記（ａ），（ｂ）と共重合可能なモノマー
の組成から成る（メタ）アクリル酸エステル共重合体が
挙げられる。

【００１２】かかる（メタ）アクリル酸のＣ₄〜Ｃ₁₈ア
ルキルエステルモノマーとしては、例えば（メタ）アク
リル酸ブチル、（メタ）アクリル酸ヘキシル、（メタ）
アクリル酸オクチル、（メタ）アクリル酸−２−エチル
ヘキシル、（メタ）アクリル酸ステアリル等が挙げられ
る。

【００１３】また、エチレン性不飽和カルボン酸含有モ
ノマーとしては、例えば、アクリル酸、メタクリル酸、
クロトン酸、マレイン酸、フマル酸、モノアルキルマレ
イン酸、モノアルキルイタコン酸、モノアルキルフマル
酸等が挙げられる。

【００１４】（メタ）アクリル酸のＣ₄〜Ｃ₁₈アルキル
エステルモノマー、およびエチレン性不飽和カルボン酸
含有モノマーと共重合可能な他のモノマーとしては、例
えば、（メタ）アクリル酸メチル、（メタ）アクリル酸
エチル、（メタ）アクリル酸プロピル、（メタ）アクリ
ル酸シクロヘキシル、（メタ）アクリル酸メトキシエチ
ル、（メタ）アクリル酸エトキシエチル、（メタ）アク
リル酸ジメチルアミノエチル、（メタ）アクリル酸ジエ
チルアミノエチル、（メタ）アクリル酸グリシジル、酢
酸ビニル、プロピオン酸ビニル、塩化ビニル、塩化ビニ
リデン、スチレン、ジビニルベンゼン、エチレン、（メ
タ）アクリロニトリル、（メタ）アクリルアミド、Ｎ−
ブトキシメチル（メタ）アクリルアミド、Ｎ，Ｎ’−メ
チレンビス（メタ）アクリルアミド等が挙げられる。

【００１５】共重合体の製造方法については、特に限定
されるものではなく、例えば溶剤、連鎖移動剤、重合開
始剤等の存在下で溶液重合する方法や、乳化剤、連鎖移
動剤、重合開始剤、分散剤等の存在下の水系でエマルシ
ョン重合する方法にて製造される。

【００１６】なお、重合時のモノマーの濃度は、通常３
０〜７０重量％、好ましくは４０〜６０重量％程度が適
当である。また、重合の際に使用される重合開始剤とし
ては、例えば過硫酸カリウム、過硫酸アンモニウム等の
過硫酸塩、２，２’−アゾビスイソブチロニトリル、
２，２’−アゾビス（２，４−ジメチルバレロニトリ
ル）等のアゾ系化合物、過酸化水素、ベンゾイルパーオ
キサイド、ラウリルパーオキサイド等の過酸化物、過硫
酸アンモニウムと亜硫酸ソーダ、酸性亜硫酸ソーダ等と
の組み合わせからなる、所謂レドックス系の重合開始剤
等が挙げられる。上記重合開始剤の使用量は、通常重合
に供するモノマー全量に対して、０．２〜２重量％、よ
り好ましくは、０．３〜１重量％の範囲で調節される。

【００１７】さらに、共重合に際して添加する連鎖移動
剤としては、オクチルメルカプタン、ノニルメルカプタ
ン、デシルメルカプタン、ドデシルメルカプタン等のア
ルキルメルカプタン類、チオグリコール酸オクチル、チ
オグリコール酸ノニル、チオグリコール酸−２−エチル
ヘキシル、β−メルカプトプロピオン酸−２−エチルヘ
キシル等のチオグリコール酸エステル類、２，４−ジフ
ェニル−４−メチル−１−ペンテン、１−メチル−４−
イソプロピリデン−１−シクロヘキセン等を挙げること
ができる。特に、チオグリコール酸エステル類、２，４
−ジフェニル−４−メチル−１−ペンテン、１−メチル
−４−イソプロピリデン−１−シクロヘキセンを使用し
た場合には、得られる共重合体が低臭気となり好まし
い。なお、連鎖移動剤の使用量は、重合させる全モノマ
ーの０．００１〜３重量％程度の範囲で調節される。な
お、重合反応は、通常６０〜１００℃の温度条件下、２
〜８時間かけて行われる。さらに、増粘剤、濡れ剤、レ
ベリング剤、消泡剤等を適宜添加することができる。

【００１８】上記粘着性樹脂の主鎖及び／又は側鎖に導
入されて、放射線照射により放射線重合性化合物を重合
させる光重合開始剤としては、粘着性樹脂の主鎖や側鎖
に結合が可能な光重合開始剤であれば使用でき、例えば
ベンゾフェノン誘導体、アセトフェノン誘導体等が使用
できる。特に、ベンゾフェノン誘導体を結合せしめる
と、放射線照射後の接着力の消失が非常にスムーズに行
われるので好ましい。

【００１９】ベンゾフェノン誘導体としては、例えば、
ｏ−アクリルオキシベンゾフェノン、ｐ−アクリルオキ
シベンゾフェノン、ｏ−メタクリルオキシベンゾフェノ
ン、ｐ−メタクリルオキシベンゾフェノン、ｐ−（メ
タ）アクリルオキシエトキシベンゾフェノン、下記一般
式１に示されるベンゾフェノンカルボン酸から誘導され
る２〜１２のメチレン基を持つモノヒドロキシアルキル
アクリラートあるいはモノヒドロキシメタククリラート
のベンゾフェノンカルボン酸エステル

【００２０】

【化１】（Ｒ₁，Ｒ₂はそれぞれ水素原子または炭素数１〜４の
アルキル基、Ｒ₃は水素原子またはメチル基、ｍは２〜
１２）、および下記一般式２に示す化合物

【００２１】

【化２】（Ｒ₁，Ｒ₂はそれぞれ水素原子または炭素数１〜４の
アルキル基、Ｒ₃，Ｒ₄はそれぞれ水素原子またはメチ
ル基を示す）等が挙げられ、これらの１種を単独で、あ
るいは２種以上を組み合わせて用いることができる。

【００２２】勿論、ベンゾフェノン誘導体としては、上
記に例示した化合物に限定されるものではない。なお、
上記一般式１で表される化合物の中では、ｍが３〜８の
化合物が好ましく，例えば１，４−ブタンジオールモノ
（メタ）アクリラート、１，２−エタンジオールモノ
（メタ）アクリラート、１，８−オクタンジオールモノ
（メタ）アクリラートのベンゾフェノン−４−カルボン
酸エステルなどが例示できる。

【００２３】本発明に係かる主鎖及び／又は側鎖に光重
合開始剤を結合してなる粘着性樹脂は、特に限定するも
のではなく、任意の方法で製造することができる。例え
ばアクリル系粘着剤の場合、上記のアクリル酸エステル
共重合体を構成するモノマーと光重合開始剤とを溶剤、
連鎖移動剤、重合開始剤等の存在下で溶液重合する方法
や、乳化剤、連鎖移動剤、重合開始剤、分散剤等の存在
下の水系でエマルジョン重合する方法で製造される。こ
の場合、モノマーと光重合開始剤の初期重合濃度は３０
〜７０重量％、連鎖移動剤及び重合開始剤を添加し、４
０〜１００℃の条件下で２〜８時間反応させることによ
り得られる。なお、重合反応においては、増粘剤、濡れ
剤、レベリング剤及び消泡剤等を適宜添加することがで
きる。アクリル酸エステル共重合体を構成するモノマー
と光重合開始剤との重合変性比率は、アクリル酸エステ
ル共重合体を構成するモノマー１００重量部に対し光重
合開始剤が０．０５〜２０重量部、好ましくは０．１〜
１０重量部の範囲で調節される。

【００２４】本発明のウエハ貼着用粘着シートの粘着剤
層に使用する放射線重合性化合物としては、分子内に光
重合性炭素−炭素二重結合を少なくとも２個以上有する
化合物が広く用いられ、例えば、ペンタエリスリトール
ジアクリレート、ペンタエリスリトールトリアクリレー
ト、ペンタエリスリトールジメタクリレート、ペンタエ
リスリトールトリメタクリレート、ジペンタエリスリト
ールジアクリレート、ジペンタエリスリトールトリアク
リレート、ジペンタエリスリトールテトラアクリレー
ト、ジペンタエリスリトールペンタアクリレート、ジペ
ンタエリスリトールジメタクリレート、ジペンタエリス
リトールトリメタクリレート、ジペンタエリスリトール
テトラメタクリレート、ジペンタエリスリトールペンタ
メタクリレート、トリメチロールプロパンジアクリレー
ト、トリメチロールプロパンジメタクリレート、１，４
−ブチレングリコールジアクリレート、１，６−ヘキサ
ンジオールジアクリレート、ポリエチレングリコールジ
アクリレート、市販のオリゴエステルアクリレート、３
０００〜１００００の分子量を有するウレタンアクリレ
ート系オリゴマー等が挙げられる。放射線重合性化合物
としては、上記化合物のうちの１種を単独で用いるか、
あるいは、所望の効果を損なわない範囲で２種以上を併
用してもよい。

【００２５】本発明において使用される放射線重合性化
合物の量は、粘着性樹脂１００重量部に対して１〜２０
０重量部である。因みに、１重量部未満であると放射線
を照射してもウエハに対する接着力が十分低下しない。
２００重量部を越えると、放射線照射前のウエハに対す
る接着力が低下しすぎるため好ましくない。

【００２６】なお、放射線としては、紫外線、電子線、
α線、β線、γ線、Ｘ線などが挙げられるが、取り扱い
が容易であり、工業的にもその利用が普及している紫外
線や電子線の使用が望ましい。

【００２７】本発明のウエハ貼着用粘着シートを構成す
る表面基材としては、例えばセルローストリアセテー
ト、セルロースジアセテート、ポリエチレン、ポリプロ
ピレン、軟質ポリ塩化ビニル、硬質ポリ塩化ビニル、ポ
リスチレン、ポリカーボネート、ナイロン、ポリビニル
アルコール、エチレン−酢酸ビニル共重合体、ポリエチ
レンテレフタレート等のフィルム類が挙げられる。

【００２８】なお、本発明のウエハ貼着用粘着シートの
形成方法は、常法に従って、剥離シートの剥離剤表面上
に粘着剤を塗被、乾燥して粘着剤層を設け、次いで、上
記表面基材とを貼り合わせて仕上げられる。

【００２９】この場合の剥離シートの基材としては、グ
ラシン紙の如き高密度原紙、クレーコート紙、クラフト
紙または上質紙等に、例えばカゼイン、デキストリン、
澱粉、カルボキシメチルセルロース、メチルセルロー
ス、エチルセルロース、ヒドロキシエチルセルロース、
ポリビニルアルコール、スチレン−ブタジエン共重合
体、メチルメタクリレート−ブタジエン共重合体、エチ
レン−塩化ビニル共重合体、エチレン−酢酸ビニル共重
合体、アクリル酸エステル共重合体等の天然、または合
成樹脂と顔料とを主成分とした目止め層を設けた基材、
クラフト紙または上質紙等にポリエチレン等をラミネー
トしたポリラミ紙、またはポリプロピレン、ポリエチレ
ンテレフタレートのフィルムなどの剥離基材に、水、溶
剤型あるいは無溶剤型のシリコーン樹脂やフッ素樹脂等
を乾燥重量で０．０５〜３ｇ／ｍ²程度塗被後、熱硬化
あるいは電離放射線硬化等によって剥離層を形成したも
のが使用される。なお、離型剤を塗被する塗被装置とし
ては、特に限定されるものではないが、例えば、バーコ
ーター、ダイレクトグラビアコーター、オフセットグラ
ビアコーター、エアーナイフコーター、多段ロールコー
ター等が適宜使用される。

【００３０】粘着剤を塗被する塗被装置としては、例え
ばロールコーター、ナイフコーター、バーコーター、ダ
イコーター、コンマコーター、リップコーター、リバー
スグラビアコーター、バリオグラビアコーター等が適宜
使用される。そして、粘着剤の塗被量は、乾燥重量で５
〜５０ｇ／ｍ²程度の範囲で調節される。因みに、５ｇ
／ｍ²未満では、得られる粘着シートの接着性能が不十
分となり、一方、５０ｇ／ｍ²を越えると粘着シートの
貼り合わせの際に粘着剤がはみ出したり、剥離の際に凝
集破壊の原因となる恐れがある。

【００３１】

【実施例】以下に実施例を挙げて本発明をより具体的に
説明するが、勿論本発明はそれらに限定されるものでは
ない。尚、例中の部、重量、割合、塗被量等は特に断ら
ない限り、全て固形分重量で示すものである。

【００３２】実施例１（粘着剤の製造）アクリル酸ブチル８０重量部、アクリ
ル酸５重量部、メタクリル酸メチル１５重量部およびｐ
−メタクリルオキシベンゾフェノン５重量部からなる配
合組成物をトルエン中で、６０℃にて５時間反応させ
る。得られた共重合体１００重量部にペンタエリスリト
ールトリアクリレート（商品名「アロニックスＭ−３０
５」、東亞合成株式会社製）４０重量部、ポリイソシア
ネート系硬化剤２重量部を添加混合して粘着剤を得た。

【００３３】（ウエハ貼着用粘着シートの作成）市販の
ポリプロピレン剥離フィルム（商品名「セパレート４０
ＲＬ−０１」、本州製紙株式会社製）に、上記粘着剤を
乾燥重量で２０ｇ／ｍ²となるように塗被、乾燥させた
後、市販の厚さ５０μｍのポリエチレンフィルムと貼り
合わせてウエハ貼着用粘着シートを得た。

【００３４】実施例２実施例１の粘着剤の製造において、ｐ−メタクリルオキ
シベンゾフェノンの使用量を０．５重量部にした以外
は、実施例１と同様にしてウエハ貼着用粘着シートを得
た。

【００３５】実施例３実施例１の粘着剤の製造において、ｐ−メタクリルオキ
シベンゾフェノンの使用量を１０重量部にした以外は、
実施例１と同様にしてウエハ貼着用粘着シートを得た。

【００３６】実施例４（粘着剤の製造）アクリル酸−２−エチルヘキシル８５
重量部、アクリル酸５重量部、メタクリル酸メチル１０
重量部および下記式（３）に示す化合物

【化３】５重量部からなる配合組成物をトルエン中で、６０℃に
て５時間反応させる。得られた共重合体１００重量部に
トリメチロールプロパントリアクリレート（商品名「ア
ロニックスＭ−３０９」、東亜合成株式会社製）３０重
量部、ポリイソシアネート系硬化剤２部を添加混合し
て、粘着剤を調成した。

【００３７】（ウエハ貼着用粘着シートの作成）市販の
ポリプロピレン剥離フィルム（商品名「セパレート４０
ＲＬ−０１」、本州製紙株式会社製）に、上記粘着剤を
乾燥重量で２０ｇ／ｍ²となるように塗被し、１００
℃，２分間乾燥後、市販の厚さ５０μｍのポリエチレン
フィルムと貼り合わせてウエハ貼着用粘着シートを得
た。

【００３８】実施例５（粘着剤の製造）アクリル酸ブチル８０重量部、アクリ
ル酸５重量部、メタクリル酸メチル１５重量部、ｐ−メ
タクリルオキシベンゾフェノン５重量部および式３に示
す化合物５重量部からなる配合組成物をトルエン中で、
６０℃にて５時間共重合させる。得られた共重合体１０
０重量部にペンタエリスリトールトリアクリレート（商
品名「アロニックスＭ−３０５」、東亞合成株式会社
製）４０重量部、ポリイソシアネート系硬化剤２部を添
加混合して粘着剤を調成した。

【００３９】（ウエハ貼着用粘着シートの作成）市販の
ポリプロピレン剥離フィルム（商品名「セパレート４０
ＲＬ−０１」、本州製紙株式会社製）に、上記粘着剤を
乾燥重量で２０ｇ／ｍ²となるように塗被、乾燥させた
後、市販の厚さ５０μｍのエチレン−酢酸ビニル共重合
体フィルムと貼り合わせてウエハ貼着用粘着シートを得
た。

【００４０】比較例１実施例１の粘着剤の製造において、光重合開始剤を加え
なかった以外は実施例１と同様にしてウエハ貼着用粘着
シートを得た。

【００４１】比較例２（粘着剤の製造）アクリル酸ブチル８０重量部、アクリ
ル酸５重量部、メタクリル酸メチル１５重量部からなる
配合組成物をトルエン中で６０℃にて５時間共重合させ
る。この反応で得られる共重合体１００重量部に対し、
１，６−ヘキサンジオールジアクリレート（商品名「ビ
スコート＃２３０」、大阪有機化学工業株式会社製）３
０重量部、ベンゾフェノン５重量部、ポリイソシアネー
ト系硬化剤２重量部を添加混合して粘着剤を調成した。

【００４２】（ウエハ貼着用粘着シートの作成）市販の
ポリプロピレン剥離フィルム（商品名「セパレート４０
ＲＬ−０１」、本州製紙株式会社製）に、上記粘着剤を
乾燥重量で２０ｇ／ｍ²となるように塗被、乾燥させた
後、市販の厚さ５０μｍのエチレン−酢酸ビニル共重合
体フィルムと貼り合わせてウエハ貼着用粘着シートを得
た。

【００４３】このようにして得られたウエハ貼着用粘着
シートについて、下記評価を行い、結果を表１に示し
た。

【００４４】＜評価項目＞〔接着力〕ＪＩＳＺ−０２３７の常態粘着力の測定方法
に準拠して、放射線照射前および放射線照射後のウエハ
に対する接着力を測定した（単位：ｇ／２５ｍｍ）。な
お、放射線照射は基材面にメタルハライドランプ（商品
名「Ｍ０１−Ｌ２１２」，アイグラフィックス株式会社
製）（８０Ｗ／ｃｍ，照射距離１０ｃｍ）により紫外線
を１および５秒間照射した。

【００４５】〔糊残り〕放射線照射後のウエハ表面への
糊残りについて、接着力測定後のウエハ表面を目視にて
観察した。

【００４６】

【表１】

【００４７】

【発明の効果】表１の結果から明らかなように、本発明
のウエハ貼着用粘着シートを半導体ウエハに貼着した
際、放射線照射前は強固に接着し、放射線照射後は速や
かに接着力を消失するもので、ウエハのダイシング適性
に優れた粘着シートであった。

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【手続補正書】

【提出日】平成８年３月１日

【手続補正１】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】００２０

【補正方法】変更

【補正内容】

【００２０】

【手続補正２】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】００２１

【補正方法】変更

【補正内容】

【００２１】

【手続補正３】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】００３６

【補正方法】変更

【補正内容】

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.⁶ 識別記号庁内整理番号ＦＩ技術表示箇所Ｃ０９Ｊ 7/02 ＪＬＥＣ０９Ｊ 7/02 ＪＬＥＨ０１Ｌ 21/301 Ｈ０１Ｌ 21/78 Ｍ

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】基材上に粘着性樹脂と放射線重合性化合物
とからなる粘着剤層を構成してなるウエハ貼着用粘着シ
ートにおいて、粘着性樹脂として該樹脂の主鎖及び／又
は側鎖に光重合開始剤を結合せしめたものを用いること
を特徴とするウエハ貼着用粘着シート。
【請求項２】光重合開始剤がベンゾフェノン誘導体であ
る請求項１記載のウエハ貼着用粘着シート。
【請求項３】粘着性樹脂がアクリル系樹脂である請求項
１又は請求項２記載のウエハ貼着用粘着シート。