JPH0967549A

JPH0967549A - ウエハ貼着用粘着シート

Info

Publication number: JPH0967549A
Application number: JP22300695A
Authority: JP
Inventors: Hideaki Suzuki; 英明鈴木; Katsuaki Yoshizawa; 克明吉沢
Original assignee: Oji Paper Co Ltd
Current assignee: New Oji Paper Co Ltd
Priority date: 1995-08-31
Filing date: 1995-08-31
Publication date: 1997-03-11

Abstract

(57)【要約】【課題】半導体ウエハの切断時にはウエハを強固に固定
でき、酸素の存在する空気中で放射線照射しても、接着
力が速やかに消失するウエハ貼着用粘着シートを提供す
る。【解決手段】基材に粘着性樹脂と放射線重合性化合物と
からなる粘着剤層を構成してなるウエハ貼着用粘着シー
トにおいて、放射線重合性化合物がカチオン重合性化合
物であることを特徴とするウエハ貼着用粘着シートであ
る。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、半導体ウエハをチ
ップ小片に切断分離する際に用いられるウエハ貼着用粘
着シートに関し、半導体ウエハの切断の際にはウエハを
強固に固定でき、放射線照射後には接着力が速やかに消
失する粘着シートである。

【０００２】

【従来の技術】粘着シートは、商業用、事務用、工程管
理用、物流管理用、家庭用等として広範囲にわたってラ
ベル、ステッカー、ワッペン、配送伝票等の形で使用さ
れている。この粘着シートの一般的構成を説明すると、
表面基材と剥離シートとの間に粘着剤をサンドイッチに
した状態のものであり、表面基材としては紙、フォイ
ル、あるいはフィルム等が使用される。また、剥離シー
トとしてはグラシン紙のような高密度原紙、クレーコー
ト紙、クラフト紙や上質紙等にポリエチレン等の樹脂フ
ィルムをラミネートしたポリラミ原紙、あるいはクラフ
ト紙や上質紙等にポリビニルアルコール、澱粉等の水溶
性高分子等と顔料とを主成分とするバリヤー層を設けた
樹脂コーティング原紙等にシリコーン化合物やフッ素化
合物の如き剥離剤を塗布したものが用いられる。そし
て、粘着剤としてはゴム系、アクリル系、ビニルエーテ
ル系等のエマルジョン型、溶剤型ないしは無溶剤型の各
種粘着剤が使用される。

【０００３】一方、半導体ウエハは、粘着シートに貼っ
て固定された後、ダイシング工程でウエハを切断し、個
々の半導体チップ形状に分離し、その後、ダイス・ボン
ダーにてリード・フレームまたは基板等に固着し、一連
の組立工程を経て種々の半導体製品が製造されている。

【０００４】このような半導体ウエハのダイシング工程
で用いられる粘着シートとしては、特開昭６０−１９６
９５６号公報、特開昭６０−２２３１３９号公報および
特開昭６２−１５３３７６号公報に、ポリ塩化ビニル、
ポリプロピレン、ポリエチレン等の基材面に、電子線や
紫外線などの放射線照射によって三次元網状化しうる分
子内に放射線重合性炭素−炭素二重結合を少なくとも２
個以上有する化合物、例えば、トリメチロールプロパン
トリアクリレート、テトラメチロールメタンテトラアク
リレート、ペンタエリスリトールトリアクリレート、ペ
ンタエリスリトールテトラアクリレート、ジペンタエリ
スリトールモノヒドロキシペンタアクリレート、１，４
−ブチレングリコールジアクリレート、１，６−ヘキサ
ンジオールジアクリレート、ポリエチレングリコールジ
アクリレート、市販のオリゴエステルアクリレート、３
０００〜１００００の分子量を有するウレタンアクリレ
ート系オリゴマー等を添加した粘着剤を塗布した粘着シ
ートが提案されている。

【０００５】しかし、上記に提案されたような分子内に
放射線重合性炭素−炭素二重結合を少なくとも２個以上
有する化合物を添加した粘着剤を塗布した粘着シート
は、放射線照射前には半導体ウエハに対して充分な接着
力を有しているが、放射線重合性化合物が炭素−炭素二
重結合を少なくとも２個以上有するラジカル重合性化合
物であるため、酸素による硬化阻害が大きく、放射線照
射後に充分接着力が低下しないという問題を有してい
た。この問題を解決するため、放射線照射が窒素雰囲気
下で行われているが装置が複雑となる等、改良が望まれ
ているのが現状である。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】本発明は、半導体ウエ
ハをチップ小片に切断分離する際に用いられるウエハ貼
着用粘着シートに関し、半導体ウエハの切断時にはウエ
ハを強固に固定でき、酸素の存在する空気中で放射線照
射しても、接着力が速やかに消失する粘着シートを提供
するものである。

【０００７】

【課題を解決するための手段】本発明は、基材に粘着性
樹脂と放射線重合性化合物とからなる粘着剤層を構成し
てなるウエハ貼着用粘着シートにおいて、放射線重合性
化合物がカチオン重合性化合物であることを特徴とする
ウエハ貼着用粘着シートである。

【０００８】

【発明の実施の形態】本発明のウエハ貼着用粘着シート
は、表面基材、粘着剤層、剥離シートを積層した粘着シ
ートにおいて、粘着剤層を粘着性樹脂と放射線重合性化
合物から構成し、該放射線重合性化合物がカチオン重合
性化合物であることを特徴とする。

【０００９】本発明のウエハ貼着用粘着シートにおいて
使用される放射線重合性化合物としては、カチオン重合
性化合物であることが必要であり、例えば、エチレング
リコールジグリシジルエーテル、ポリエチレングリコー
ルジグリシジルエーテル、プロピレングリコールジグリ
シジルエーテル、トリプロピレングリコールジグリシジ
ルエーテル、ポリプロピレングリコールジグリシジルエ
ーテル、ネオペンチルグリコールジグリシジルエーテ
ル、１，６−ヘキサンジオールジグリシジルエーテル、
水添ビスフェノールＡ−ジグリシジルエーテル、ビスフ
ェノールＡ−プロピレンオキサイド２モル付加−ジグリ
シジルエーテル、２，２−ジブロモネオペンチルグリコ
ールジグリシジルエーテル、ソルビトールポリグリシジ
ルエーテル、ポリグリセロールポリグリシジルエーテ
ル、ペンタエリスリトールポリグリシジルエーテル、ジ
グリセロールポリグリシジルエーテル、トリグリシジル
−トリス（２−ヒドロキシエチル）エーテル、グリセロ
ールポリグリシジルエーテル、トリメチロールプロパン
ポリグリシジルエーテル、レゾルシンジグリシジルエー
テル、ビスフェノールＳ−ジグリシジルエーテル、ポリ
テトラメチレングリコールジグリシジルエーテル、アジ
ピン酸ジグリシジルエーテル、ｏ−フタル酸ジグリシジ
ルエーテル等のグリシジルエーテル化合物が挙げられ
る。また、トリエチレングリコールジビニルエーテル、
１，４−シクロヘキサンジメタノールジビニルエーテル
等のビニルエーテル化合物が挙げられる。

【００１０】これらのカチオン重合性化合物は、従来用
いられてきた放射線照射によって三次元網状化しうる分
子内に放射線重合性炭素−炭素二重結合を少なくとも２
個以上有するラジカル重合性化合物に比し酸素による重
合阻害がなく、硬化性にも優れるので好ましい。放射線
重合性化合物としては、上記化合物のうちの１種を単独
で用いるか、あるいは、所望の効果を損なわない範囲で
２種以上を併用してもよい。

【００１１】なお、放射線としては、紫外線、電子線、
α線、β線、γ線、Ｘ線など挙げられるが、取り扱いが
容易であり、工業的にもその利用が普及している紫外線
や電子線の使用が好ましい。

【００１２】また、本発明のウエハ貼着用粘着シートに
おいて使用される粘着性樹脂としては、公知のゴム系、
アクリル系、ビニルエーテル系、シリコーン系粘着剤が
挙げられるが、粘着物性の制御がしやすいアクリル系粘
着剤が好ましい。このアクリル系粘着剤としては、
（ａ）．（メタ）アクリル酸のＣ₄〜Ｃ₁₈アルキルエス
テルモノマー、（ｂ）．エチレン性不飽和カルボン酸含
有モノマー、（ｃ）．上記ａ、ｂと共重合可能なモノマ
ーの組成から成る（メタ）アクリル酸エステル共重合体
である。

【００１３】（メタ）アクリル酸のＣ₄〜Ｃ₁₈アルキル
エステルモノマー（ａ）としては、例えば（メタ）アク
リル酸ブチル、（メタ）アクリル酸ヘキシル、（メタ）
アクリル酸オクチル、（メタ）アクリル酸−２−エチル
ヘキシル、（メタ）アクリル酸ステアリル等が挙げられ
る。

【００１４】また、エチレン性不飽和カルボン酸含有モ
ノマー（ｂ）としては、例えば、アクリル酸、メタクリ
ル酸、クロトン酸、マレイン酸、フマル酸、モノアルキ
ルマレイン酸、モノアルキルイタコン酸、モノアルキル
フマル酸等が挙げられる。

【００１５】（メタ）アクリル酸のＣ₄〜Ｃ₁₈アルキル
エステルモノマー、およびエチレン性不飽和カルボン酸
含有モノマーと共重合可能な他のモノマー（ｃ）として
は、例えば、（メタ）アクリル酸メチル、（メタ）アク
リル酸エチル、（メタ）アクリル酸プロピル、（メタ）
アクリル酸シクロヘキシル、（メタ）アクリル酸メトキ
シエチル、（メタ）アクリル酸エトキシエチル、（メ
タ）アクリル酸ジメチルアミノエチル、（メタ）アクリ
ル酸ジエチルアミノエチル、（メタ）アクリル酸グリシ
ジル、酢酸ビニル、プロピオン酸ビニル、塩化ビニル、
塩化ビニリデン、スチレン、ジビニルベンゼン、エチレ
ン、（メタ）アクリロニトリル、（メタ）アクリルアミ
ド、Ｎ−ブトキシメチル（メタ）アクリルアミド、Ｎ，
Ｎ’−メチレンビス（メタ）アクリルアミド等が挙げら
れる。

【００１６】なお、上記の共重合体の製造方法について
は、特に限定されるものではなく、例えば溶剤、連鎖移
動剤、重合開始剤等の存在下で溶液重合する方法や、乳
化剤、連鎖移動剤、重合開始剤、分散剤等の存在下の水
系でエマルション重合する方法にて製造される。重合時
のモノマーの濃度は、通常３０〜７０重量％、好ましく
は４０〜６０重量％程度が適当である。また、重合の際
に使用される重合開始剤としては、例えば過硫酸カリウ
ム、過硫酸アンモニウム等の過硫酸塩、２，２’−アゾ
ビスイソブチロニトリル、２，２’−アゾビス（２，４
−ジメチルバレロニトリル）等のアゾ系化合物、過酸化
水素、ベンゾイルパーオキサイド、ラウリルパーオキサ
イド等の過酸化物、過硫酸アンモニウムと亜硫酸ソー
ダ、酸性亜硫酸ソーダ等との組み合わせからなる、所謂
レドックス系の重合開始剤等が挙げられる。上記重合開
始剤の使用量は、通常重合に供するモノマー全量に対し
て、０．２〜２重量％、より好ましくは、０．３〜１重
量％の範囲で調節される。

【００１７】さらに、共重合に際して添加する連鎖移動
剤としては、オクチルメルカプタン、ノニルメルカプタ
ン、デシルメルカプタン、ドデシルメルカプタン等のア
ルキルメルカプタン類、チオグリコール酸オクチル、チ
オグリコール酸ノニル、チオグリコール酸−２−エチル
ヘキシル、β−メルカプトプロピオン酸−２−エチルヘ
キシル等のチオグリコール酸エステル類、２，４−ジフ
ェニル−４−メチル−１−ペンテン、１−メチル−４−
イソプロピリデン−１−シクロヘキセン等を挙げること
ができる。特に、チオグリコール酸エステル類、２，４
−ジフェニル−４−メチル−１−ペンテン、１−メチル
−４−イソプロピリデン−１−シクロヘキセンを使用し
た場合には、得られる共重合体が低臭気となり好まし
い。なお、連鎖移動剤の使用量は、重合させる全モノマ
ーの０．００１〜３重量％程度の範囲で調節される。な
お、重合反応は、通常６０〜１００℃の温度条件下、２
〜８時間かけて行われる。さらに、増粘剤、濡れ剤、レ
ベリング剤、消泡剤等を適宜添加することができる。

【００１８】本発明において使用される放射線重合性化
合物の量は、粘着性樹脂１００重量部に対して１〜１０
０重量部である。因みに、１重量部未満であると放射線
を照射してもウエハに対する接着力が十分低下しない。
１００重量部を越えると、放射線照射前のウエハに対す
る接着力が低下しすぎるため好ましくない。

【００１９】放射線として紫外線を使用する場合は、上
記粘着剤層中に、更に放射線重合開始剤を含有させるこ
とが必要である。放射線重合開始剤としては、例えば、

【化１】等のジアゾニウム化合物、

【化２】等のスルホニウム化合物、

【化３】等のヨードニウム化合物、

【化４】等の金属錯体化合物など（式中、ＭＸ_n ^-は、Ｂ
Ｆ₄ ^-，ＰＦ₆ ^-，ＡｓＦ₆ ^-，ＳｂＦ₆ ^-を示す）が
挙げられ、これらのうちの１種を単独であるいは２種以
上の混合で使用される。

【００２０】本発明のウエハ貼着用粘着シートを構成す
る表面基材としては、例えばセルローストリアセテー
ト、セルロースジアセテート、ポリエチレン、ポリプロ
ピレン、軟質ポリ塩化ビニル、硬質ポリ塩化ビニル、ポ
リスチレン、ポリカーボネート、ナイロン、ポリビニル
アルコール、エチレン−酢酸ビニル共重合体、ポリエチ
レンテレフタレート等のフィルム類が挙げられる。

【００２１】なお、本発明のウエハ貼着用粘着シートの
形成方法は、常法に従って、剥離シートの剥離剤表面上
に粘着剤を塗被、乾燥して粘着剤層を設け、次いで、上
記表面基材とを貼り合わせて仕上げられる。

【００２２】剥離シートの基材としては、グラシン紙の
如き高密度原紙、クレーコート紙、クラフト紙または上
質紙等に、例えばカゼイン、デキストリン、澱粉、カル
ボキシメチルセルロース、メチルセルロース、エチルセ
ルロース、ヒドロキシエチルセルロース、ポリビニルア
ルコール、スチレン−ブタジエン共重合体、メチルメタ
クリレート−ブタジエン共重合体、エチレン−塩化ビニ
ル共重合体、エチレン−酢酸ビニル共重合体、アクリル
酸エステル共重合体等の天然、または合成樹脂と顔料と
を主成分とした目止め層を設けた剥離基材、または、ク
ラフト紙または上質紙等にポリエチレン等をラミネート
したポリラミ紙、またはポリプロピレン、ポリエチレン
テレフタレートのフィルム等に水、溶剤型あるいは無溶
剤型のシリコーン樹脂やフッ素樹脂等を乾燥重量で０．
０５〜３ｇ／ｍ²程度塗被後、熱硬化あるいは電離放射
線硬化等によって剥離層を形成したものが使用される。

【００２３】粘着剤を塗被する塗被装置としては、例え
ばロールコーター、ナイフコーター、バーコーター、ダ
イコーター、コンマコーター、リップコーター、リバー
スグラビアコーター、バリオグラビアコーター等が適宜
使用される。そして、粘着剤の塗被量は、乾燥重量で５
〜５０ｇ／ｍ²程度の範囲で調節される。因みに、５ｇ
／ｍ²未満では、得られる粘着シートの接着性能が不十
分となり、一方５０ｇ／ｍ²を越えると粘着シートの貼
り合わせ時に粘着剤がはみ出したり、剥離時に凝集破壊
の原因となるおそれがある。

【００２４】

【実施例】以下に実施例を挙げて本発明をより具体的に
説明するが、勿論本発明はそれらに限定されるものでは
ない。尚、例中の部、重量、割合、塗被量等は特に断ら
ない限り、全て固形分重量で示すものである。

【００２５】実施例１（粘着剤の製造）アクリル酸ブチル８５重量％、アクリ
ル酸２重量％、メタクリル酸メチル１３重量％からなる
配合組成物をトルエン中で共重合させてアクリル酸エス
テル共重合体を得た。この共重合体１００重量部に、
１，６−ヘキサンジオールジグリシジルエーテル（商品
名「エポライト１６００」，共栄社油脂化学工業株式会
社製）１０重量部、放射線重合開始剤（カチオン重合開
始剤，商品名「ＦＸ−５１２」，スリーエム株式会社
製）１．５重量部を添加混合して粘着剤を得た。

【００２６】（ウエハ貼着用粘着シートの作成）市販の
ポリプロピレン剥離フィルム（商品名「セパレート４０
ＲＬ−０１」，本州製紙株式会社製）に、上記粘着剤を
乾燥重量で２０ｇ／ｍ²となるように塗被、乾燥させた
後、市販の厚さ５０μｍのポリエチレンフィルムと貼り
合わせて、ウエハ貼着用粘着シートを得た。

【００２７】実施例２（粘着剤の製造）アクリル酸−２−エチルヘキシル８５
重量％、アクリル酸５重量％、メタクリル酸メチル１０
重量％からなる配合組成物をトルエン中で共重合させて
アクリル酸エステル共重合体を得た。この共重合体１０
０重量部にポリプロピレングリコールジグリシジルエー
テル（商品名「エポライト４００Ｐ」，共栄社油脂化学
工業株式会社製）３０重量部、放射線重合開始剤（カチ
オン重合開始剤，商品名「ＦＸ−５１２」，スリーエム
株式会社製）１．５重量部を添加混合して粘着剤を得
た。

【００２８】（ウエハ貼着用粘着シートの作成）市販の
ポリプロピレン剥離フィルム（商品名「セパレート４０
ＲＬ−０１」，本州製紙株式会社製）に、上記粘着剤を
乾燥重量で２０ｇ／ｍ²となるように塗被、乾燥させた
後、市販の厚さ５０μｍのポリプロピレンフィルムと貼
り合わせて、ウエハ貼着用粘着シートを得た。

【００２９】実施例３（粘着剤の製造）アクリル酸ブチル８５重量％、アクリ
ル酸２重量％、メタクリル酸メチル１３重量％からなる
配合組成物をトルエン中で共重合させてアクリル酸エス
テル共重合体を得た。この共重合体１００重量部にトリ
エチレングリコールジビニルエーテル（商品名「ラピキ
ュアーＤＶＥ−３」，アイエスピー・ジャパン株式会社
製）２０重量部、放射線重合開始剤（商品名「ＦＸ−５
１２」，スリーエム株式会社製）１．５重量部および
（商品名「イルガキュア１８４」，チバガイギー株式会
社製）１．５重量部を添加混合して粘着剤を調成した。

【００３０】（ウエハ貼着用粘着シートの作成）市販の
ポリプロピレン剥離フィルム（商品名「セパレート４０
ＲＬ−０１」，本州製紙株式会社製）に、上記粘着剤を
乾燥重量で２０ｇ／ｍ²となるように塗被し、１００
℃，２分間乾燥後、市販の厚さ５０μｍのポリエチレン
フィルムと貼り合わせて、ウエハ貼着用粘着シートを得
た。

【００３１】実施例４（粘着剤の製造）アクリル酸−２−エチルヘキシル８５
重量％、アクリル酸５重量％、メタクリル酸メチル１０
重量％からなる配合組成物をトルエン中で共重合させて
アクリル酸エステル共重合体を得た。この共重合体１０
０重量部に１，４−シクロヘキサンジメタノールジビニ
ルエーテル（商品名「ラピキュアーＣＨＶＥ」，アイエ
スピー・ジャパン株式会社製）１５重量部、放射線重合
開始剤（商品名「ＦＸ−５１２」，スリーエム株式会社
製）１．５重量部および（商品名「イルガキュア１８
４」，チバガイギー株式会社製）１．５重量部を添加混
合して粘着剤を調成した。

【００３２】（ウエハ貼着用粘着シートの作成）市販の
ポリプロピレン剥離フィルム（商品名「セパレート４０
ＲＬ−０１」，本州製紙株式会社製）に、上記粘着剤を
乾燥重量で２０ｇ／ｍ²となるように塗被、乾燥させた
後、市販の厚さ５０μｍのエチレン−酢酸ビニル共重合
体フィルムと貼り合わせて、ウエハ貼着用粘着シートを
得た。

【００３３】比較例１実施例１において、粘着剤として実施例１と同じ共重合
体１００重量部に放射線重合性化合物を添加しなかった
以外は実施例１と同様にしてウエハ貼着用粘着シートを
得た。

【００３４】比較例２実施例１において、粘着剤として実施例１と同じ共重合
体１００重量部に放射線重合性化合物ウレタンアクリレ
ートオリゴマー（商品名「セイカビームＰＵ−４」，
大日精化工業株式会社製）１００重量部、ジイソシアネ
ート系硬化剤１０重量部、ラジカル重合開始剤（商品名
「イルガキュア１８４」，チバガイギー株式会社製）４
重量部を用いた以外は実施例１と同様にしてウエハ貼着
用粘着シートを得た。

【００３５】比較例３実施例１において、粘着剤として実施例１と同じ共重合
体１００重量部に放射線重合性化合物ジペンタエリスリ
トールモノヒドロキシペンタアクリレート１５重量部、
ポリイソシアネート系硬化剤５重量部、ラジカル重合開
始剤（商品名「イルガキュア１８４」，チバガイギー株
式会社製）１重量部を用いた以外は実施例１と同様にし
てウエハ貼着用粘着シートを得た。

【００３６】このようにして得られたウエハ貼着用粘着
シートについて、下記評価を行い、結果を表１に示し
た。

【００３７】＜評価項目＞〔接着力〕ＪＩＳＺ−０２３７の常態粘着力の測定方法
に準拠して、放射線照射前後のウエハに対する接着力を
測定した（単位：ｇ／２５ｍｍ）。放射線照射は基材面
にメタルハライドランプ（商品名「Ｍ０１−Ｌ２１
２」，アイグラフィックス株式会社製）（８０Ｗ／ｃ
ｍ，照射距離１０ｃｍ）により紫外線を１秒間および５
秒間照射した。

【００３８】

【表１】

【００３９】実施例１〜４は、粘着剤層に放射線重合性
化合物としてカチオン重合性化合物を用いた粘着シート
である。比較例１は粘着剤層中に放射線重合性化合物を
配合していない例、比較例２および比較例３は粘着剤層
中に放射線重合性化合物としてラジカル重合性化合物を
用いた例である。表１から、実施例１〜４の粘着シート
が、いずれも放射線照射前は強固に接着し、且つ放射線
照射後は速やかに接着力を消失することがわかる。

【００４０】

【発明の効果】このように、本発明のウエハ貼着用粘着
シートは、半導体ウエハに貼着した際、放射線照射前は
強固に接着し、放射線照射後は速やかに接着力を消失す
るもので、ウエハのダイシング適性に優れた粘着シート
であった。

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】基材に粘着性樹脂と放射線重合性化合物と
からなる粘着剤層を構成してなるウエハ貼着用粘着シー
トにおいて、放射線重合性化合物がカチオン重合性化合
物であることを特徴とするウエハ貼着用粘着シート。
【請求項２】カチオン重合性化合物がグリシジルエーテ
ル化合物である請求項１記載のウエハ貼着用粘着シー
ト。
【請求項３】カチオン重合性化合物がビニルエーテル化
合物である請求項１記載のウエハ貼着用粘着シート。