JPH0883832A - 電力供給装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 移動体の構造を簡単にするとともに、移動体
からの発塵を防止する。 【解決手段】 半導体製造置間に敷設された搬送路に沿
って移動する移動体２に一体形成されているウエハ静電
チャック４に電力を供給する電力供給装置７に、接点10
a,10bに接続されている放電抵抗12a,12bと、接点10a,10
bと直流電源13a,13bとの間を断続するスイッチ11a,11b
とを設ける。これにより、スイッチ11a,11bが開いてい
る時、放電抵抗12a,12bによってウエハ静電チャック４
の除電が行われ、他方、スイッチ11a,11bが閉じている
時、直流電源13a,13bによってウエハ静電チャック４へ
の給電が行われる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】この発明は、半導体ウエハを
静電吸着によって固定して複数の半導体製造装置間を搬
送する移動体に設けられているウエハ静電チャックへ電
力を供給する電力供給装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来、半導体ウエハ等の搬送装置におい
ては、搬送路上を高速移動する移動体にウエハを固定保
持するため、ウエハ静電チャックが用いられている。こ
のウエハ静電チャックは、移動体上に電極板および誘電
体を積層形成することにより構成されており、外部から
電圧を印加することによって電極板と誘電体に載せられ
ているウエハとの間に電位差を生じさせ、これによりク
ーロン力を発生させ誘電体上にウエハを吸着保持する。
この場合、移動中のウエハ静電チャックへ電圧を印加さ
せるため、電源からの電力線を搬送路全体にわたって引
き回さなければならないという不都合があった。この不
都合の改善を図った搬送装置として、特開平５−３１５
４２９号公報「半導体製造装置の搬送装置」がある。こ
の搬送装置は、移動体にコンデンサを設け、さらに搬送
路途中の移動体の各停止位置に電力供給装置を設けるこ
とによって、移動体の停止中にコンデンサへ給電を行う
ようにし、また移動体が移動している間はコンデンサか
らウエハ静電チャックへの給電を行うようにして、電力
線の引き回しを不要としたものである。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上述し
た従来の搬送装置においては、コンデンサとウエハ静電
チャックの給電状態を切り換えるため、移動体の内部に
切り換えスイッチが設けられている。そのため、移動体
の構造が複雑になり、また、この切り換えスイッチの動
作時に微粒子等を発生する、いわゆる発塵という現象が
起こる可能性があるという問題があった。

【０００４】この発明は、このような背景の下になされ
たもので、移動体の構造を簡単にするとともに、移動体
からの発塵を防止することができるウエハ静電チャック
用の電力供給装置を提供することを目的とする。

【０００５】

【課題を解決するための手段】請求項１に記載の発明に
よる電力供給装置は、移動体に設けられ半導体ウエハを
吸着固定するウエハ静電チャックへ電力を供給する電力
供給装置であって、前記移動体の停止位置に設けられた
電力供給装置において、前記移動体に設けられた受電用
接点に接続される給電用接点と、前記ウエハ静電チャッ
クの電荷を前記給電用接点を介して放電させる放電抵抗
と、前記ウエハ静電チャックへ前記給電用接点を介し電
気を供給する直流電源と、前記給電用接点と前記直流電
源との間を断続するスイッチ手段とを具備してなること
を特徴としている。

【０００６】請求項２に記載の発明は、請求項１に記載
の電力供給装置において、前記放電抵抗を流れる放電電
流の方向により、前記ウエハ静電チャックの電荷の極性
を検出する極性検出手段と、前記ウエハ静電チャックへ
供給する電気の極性を、前記極性検出手段の検出結果と
逆の極性に切り換える極性切換手段と、を具備してなる
ことを特徴としている。

【０００７】請求項３に記載の発明は、請求項２に記載
の電力供給装置において、前記極性検出手段は、前記放
電抵抗に直列に接続された電流計と、該電流計の検出結
果に基づいて前記ウエハ静電チャックの電荷の極性を検
出する検出手段とから構成されていることを具備してな
ることを特徴としている。

【０００８】

【作用】請求項１に記載の発明によれば、移動体が所定
の停止位置に停止した時、移動体に設けられた受電用接
点に給電用接点が接続される。この時、スイッチ手段に
よって直流電源と給電用接点との間が遮断された場合
は、放電抵抗により給電用接点を介してウエハ静電チャ
ックの電荷が放電されて、ウエハ静電チャックの除電が
行われる。一方、スイッチ手段によって直流電源と給電
用接点との間が接続された場合は、直流電源により給電
用接点を介してウエハ静電チャックへ電気が供給され
て、ウエハ静電チャックへの給電が行われる。したがっ
て、移動体に切り換えスイッチを設けなくても、ウエハ
静電チャックの除電と給電とを切り換えることができる
ようになり、移動体から切り換えスイッチを除くことが
可能となる。これにより、移動体の構造を簡単にすると
ともに、移動体からの発塵を防止することができる。

【０００９】請求項２および３に記載の発明によれば、
極性検出手段は、ウエハ静電チャックに印加されていた
電圧の極性を検出し、次回の半導体ウエハ吸着時にウエ
ハ静電チャックへ供給する電気の極性を、極性検出手段
の検出結果と逆の極性に切り換える。これにより、ウエ
ハ静電チャックの表面に帯電する残留電荷と同じ極性の
電荷がウエハ静電チャックに帯電され、該電荷と上記残
留電荷が重畳されるので、残留電荷による吸着力の低下
がなくなるとともに、ウエハ静電チャックの表面への電
荷の蓄積を防止することができる。

【００１０】

【発明の実施の形態】

＜第１実施形態＞以下、図面を参照して、この発明の実
施形態について説明する。図２はこの発明の第１実施形
態による電力供給装置およびそれを用いて構成されてい
る搬送装置の外観を示す斜視図である。この図におい
て、符号１は搬送路であり、リニア誘導モータの１次側
構造を備え、半導体ＩＣの製造ラインにおける各製造装
置間を結んでいる。２は、搬送台３とウエハ静電チャッ
ク４と電圧受給端子６とによって構成されている移動体
である。この搬送台３は、底部にリニア誘導モータの２
次側構造（図示せず）が形成されていて、搬送路１の１
次側からこの２次側への電磁誘導作用によって伝えられ
たエネルギにより、移動体２が搬送路１の上を矢印イあ
るいは矢印ロの方向に搬送される。また、ウエハ静電チ
ャック４は、静電吸着によって半導体ウエハ（以下ウエ
ハと称する）５を保持固定する。この場合、電圧受給端
子６は搬送台３の側面に図示するように設けられてい
る。

【００１１】７は電力供給装置であり、ウエハ静電チャ
ック用電源８および端子結合器９によって構成されてい
て、移動体２の停止位置に固定されている。そして、移
動体２が停止しているとき、ウエハ静電チャック用電源
８からウエハ静電チャック４への給電および除電が端子
結合器９を介して行われる。この場合、端子結合器９
は、矢印ハに示されている方向に伸縮することによっ
て、電力供給装置７と移動体２とを接続したり、分離し
たりする。

【００１２】次に、上述した電力供給装置７および移動
体２の内部構成を図１を参照して説明する。この図にお
いて、10は電圧供給端子であり、接点10aと接点10bおよ
びそれらを保持する絶縁物とによって構成されていて、
端子結合器９の先端部に設けられている。11aは、ウエ
ハ静電チャック用電源８の内部に設けられているスイッ
チであり、一端が接点10aと放電抵抗12aの一端とに、ま
た他端が直流電源13aの正極出力端子に接続されてい
る。11bは、スイッチ11aと連動して動作するスイッチで
あり、一端が接点10bと放電抵抗12bの一端とに、また他
端が直流電源13bの負極出力端子に接続されている。ま
た、放電抵抗12aおよび直流電源13aのスイッチ11aと接
続されていない方の各端子はアースに接続されている。
同様に放電抵抗12bおよび直流電源13bのスイッチ11bと
接続されていない方の各端子はアースに接続されてい
る。この場合、直流電源13aと直流電源13bとは出力端子
電圧が互いに等しい定電圧源である。また、この場合、
放電抵抗12aと放電抵抗12bとは抵抗値が互いに等しい抵
抗器によって構成されている。そして、上述のアースは
ウエハ静電チャック用電源８の筐体に共通にとられてい
る。

【００１３】次に、移動体２の内部構成について説明す
る。図１において、6aおよび6bは接点であり、上述した
接点10a、10bと同様の形状を成していて、絶縁物を介し
て電圧受給端子６の前面部に形成されている。14aは電
極であり、ウエハ静電チャック４の上面に形成されてい
る誘電体（図示せず）の下面に接触して形成されてい
て、また、接点6aに接続されている。14bは、電極14aと
同様な電極であり、上記ウエハ静電チャック４の誘電体
下面に接触して電極14aから離れて形成されていて、ま
た、接点6bに接続されている。

【００１４】このような構成において、まず、移動体２
が搬送路１の図示されていない他の停止位置から、図２
に示す停止位置に向けて搬送されてきたとする。この
時、ウエハ５は、図１に示すように、電極14aに蓄積さ
れている正の電荷と、電極14bに蓄積されている負の電
荷と、これら正負の電荷によって発生されているウエハ
５の正負の分極電荷とによって生じるクーロン力によ
り、ウエハ静電チャック４の上面に静電吸着されていた
とする。

【００１５】いま、ここで移動体２が、図２に示される
停止位置に停止したとすると、端子結合器９が移動体２
に向かって伸ばされ、電圧供給端子10と電圧受給端子６
とが結合される。これにより、接点10aと接点6aとが、
また同時に、接点10bと接点6bとがそれぞれ接続され
る。ここで、スイッチ11aおよびスイッチ11bは両方とも
開いているものとする。この場合、電極14aに蓄積され
ている電荷は放電抵抗12aを通して放電され、また、電
荷14bに蓄積されている電荷は放電抵抗12bを通して放電
される。したがって、ウエハ５の吸着が解除される。こ
れにより、ウエハ５は製造装置へのローディングが可能
な状態となり、ここで、ウエハ５が所定の製造装置へロ
ーディングされ、所定の処理が行われる。

【００１６】次に、上記所定の処理が終了してウエハ５
が再びウエハ静電チャック４の上面に載せられたとする
と、ここで、これまで開いていたスイッチ11aとスイッ
チ11bとが閉じられる。そして、直流電源13aから電極14
aに、また、直流電源13bから電極14bにそれぞれ電荷が
充電される。これにより、ウエハ５は再びウエハ静電チ
ャック４の上面に吸着される。次に、端子結合器９が縮
められて電圧供給端子10と電圧受給端子６とが分離され
る。すなわち、この時、接点10aと接点6aとが、また接
点10bと接点6bとがそれぞれ分離される。次に、移動体
２が図示されていない次の停止位置に向かって搬送さ
れ、また、スイッチ11a、11bが開かれる。

【００１７】なお、上述の場合、直流電源13a、13bから
電極14a、14bに電荷を供給するためスイッチ11a、11bが
閉じられた時、直流電源13a、13bの端子電圧が放電抵抗
12a、12bにも同時に印加されているが、本第１実施形態
においては、各直流電源および各放電抵抗の定格容量が
充分に大きく設定されているので何等動作に支障を来さ
ない。

【００１８】このように、上記第１実施形態によれば、
従来、コンデンサからウエハ静電チャックへの給電状態
を切り換えるために移動体内に設けられていた切り換え
スイッチを電力供給装置７の中に放電抵抗12a、12bを設
けることによって省略しているので、移動体２の構造が
簡単である。また、ウエハ静電チャック４の吸着の制御
は、スイッチ11a、11bのみを制御することによって行わ
れているので、制御機構が簡単である。

【００１９】また、上記第１実施形態によれば、電極14
a、14bに等しい電圧が印加されているので、ウエハ５の
電位はアース電位に概ね等しくなり、各製造装置へのロ
ーディングする際にウエハ５の電位に対しての特別の配
慮が不要である。

【００２０】また、上述した第１実施形態においては、
図１に示すウエハ静電チャック４の表面が図３に示すよ
うに微視的に見ると凸凹しているため、ウエハ静電チャ
ック４の表面と、ウエハ５の下面との間に電位差Ｖが生
じる。この結果、ウエハ５に静電誘導された正および負
の電荷のごく一部がウエハ静電チャック４の表面に移動
して、該表面が帯電する。充電１回あたりの電荷の帯電
量がごくわずかであるため、この帯電による電気的な影
響はほとんどない。しかしながら、上述した第１実施形
態においては、繰り返し同じ極性の電荷が同じ電極14
a、14bに充電されるため、充電の回数を重ねる毎にウエ
ハ静電チャック４の表面には、無視できないくらいの量
の電荷（以下、残留電荷と称する）が蓄積される。これ
により、上述した動作により電極14a、14bに充電された
電荷を完全に放電しても、ウエハ静電チャック４の表面
に残留電荷が存在するため、ウエハ５とウエハ静電チャ
ック４との間に残留電荷による残留吸着力が生じる。こ
れにより、ウエハ５がウエハ静電チャック４からはずれ
にくくなるという問題がある。

【００２１】一方、上記残留電荷は、ウエハ５をウエハ
静電チャック４に吸着させるときにも影響をおよぼす。
すなわち、図３に示すように残留電荷が電極14a、14bに
蓄積されている電荷と逆の極性であることから、残留電
荷と該電荷が電気的に相殺され、この結果、電極14a、1
4bに蓄積されている電荷の静電誘導作用によってウエハ
５に誘導される電荷の量が減る。これにより、ウエハ５
とウエハ静電チャック４との間の吸着力が低下するとい
う問題がある。

【００２２】＜第２実施形態＞図４は、上述した残留電
荷の影響を回避するために用いられる第２実施形態によ
る電力供給装置および移動体の内部構成を表す構成図で
ある。この図において図１の各部に対応する部分には同
一の符号を付け、その説明を省略する。この図において
は、図１に示すスイッチ11a、11bおよび直流電源13a、1
3bに代えて、スイッチ16、直流電源17、電流計18および
コントローラ19が設けられている。

【００２３】スイッチ16は、２つの切り換え機構を有し
ており、一方の入力端子ｘが接点１０ａに、他方の入力
端子ｙが接点１０ｂにそれぞれ接続されている。また、
このスイッチ16の接点ａと接点ｆとの間、および接点ｃ
と接点ｄとの間がそれぞれ電気的に接続されている。ま
た、スイッチ16の接点ｂには放電抵抗１２ａの一端が、
接点ｅには放電抵抗１２ｂの一端がそれぞれ接続されて
いる。そして、スイッチ16は、後述するコントローラ19
により切り換えが行われる。

【００２４】直流電源17は、正極出力端子がスイッチ16
の接点ｃに、負極出力端子がスイッチ16の接点ｆにそれ
ぞれ接続されている。電流計18は、放電抵抗12bに直列
に接続されており、電極14bに充電されている電荷の放
電時において上記放電抵抗12bを流れる放電電流Ｉ1また
はＩ2を検出する。

【００２５】コントローラ19は、電流計18の検出結果か
ら、電極14bに充電されている電荷の極性を認識して、
次回の充電時にスイッチ16の切り換え制御を行う。すな
わち、コントローラ19は、電流計18が放電電流Ｉ1を検
出したときに電極14bに負の電荷が充電されていること
を認識して、次回の充電時にスイッチ16を接点ａ、ｄ側
に切り換え、また電流計18が放電電流Ｉ2を検出したと
きに電極14bに正の電荷が充電されていることを認識し
て、次回の充電時にスイッチ16を接点ｃ、ｆ側に切り換
える。

【００２６】このような構成において、まず、移動体２
が搬送路１の図示されていない他の停止位置から図２に
示す停止位置に向けて搬送されてきたとする。この時、
ウエハ５は、第１実施形態で説明したように、電極14
a、14bに各々蓄積されている正および負の電荷と、ウエ
ハ５の正負の分極電荷とによって生じるクーロン力によ
り、ウエハ静電チャック４の上面に静電吸着されている
ものとし、さらにウエハ静電チャック４の表面には、ウ
エハ５の誘導電荷の一部が残留電荷として残っているも
のとする（図３参照）。ただし、上記残留電荷は、電気
的にほとんど影響をおよぼさない量であるとする。

【００２７】そして、移動体２が図２に示す停止位置に
停止する。この時、コントローラ１９の制御により、ス
イッチ16は、接点ｂ、ｅ側に切り換えられる。次に、前
述したように端子結合器９が移動体２に向かって伸ばさ
れ、接点10aと接点6aとが、また同時に、接点10bと接点
6bとがそれぞれ接続される。

【００２８】これにより、電極14aの正の電荷は放電抵
抗12aを通して放電され、また、電極14bの負の電荷は放
電抵抗12bを通して放電される。これにより、同図に示
す方向に放電電流Ｉ1が流れる。この放電電流Ｉ1は電流
計18により検出され、コントローラ19は、電流計18の検
出結果により、電極14bに負の電荷が充電されているこ
とを認識する。そして、電極14a、14bの正および負の電
荷がなくなるとウエハ５の吸着が解除される。ただし、
ウエハ静電チャック４には、電極14aに対向する表面に
負の残留電荷が、電極14bに対向する表面には正の残留
電荷がそれぞれ残る。そして、ウエハ５は所定の製造装
置へローディングされ、所定の処理が行われる。

【００２９】次に、上記所定の処理が終了して、ウエハ
５が再びウエハ静電チャック４の上面に載せられると、
コントローラ19の制御によりスイッチ16が接点ａ、ｄ側
に切り換えられ、電極14a、14bには前回と逆の極性の電
圧、すなわち、電極14aには負の電圧が、電極14bには正
の電圧が各々印加される。これにより、電極14aには負
の電荷が、電極14bには正の電荷が各々充電される。そ
して、ウエハ５には電極14a、14bの正負の電荷により電
荷が誘導され、この誘導された電荷がウエハ静電チャッ
ク４の残留電荷と逆の極性であるため、ウエハ５の吸着
力は、強められる。そして、端子結合器９が縮められて
電圧供給端子10と電圧受給端子６とが分離された後、移
動体２は次の停止位置へ搬送される。搬送中に、ウエハ
５の電荷の一部が、ウエハ静電チャック４の表面の残留
電荷を中和し、さらに電荷の移動が進み、ウエハ５と同
極性の電荷がウエハ静電チャック４の表面に若干帯電す
る。

【００３０】移動体２が次の停止位置に位置すると、上
述した動作と同様に、電極14a、14bに蓄積されている正
および負の電荷が放電抵抗12a、12bを通して放電され
る。今の場合、電極14bに蓄積されている正の電荷が放
電抵抗12b、電流計18を介してアースへ移動するため、
同図に示す方向に放電電流Ｉ2が流れる。この放電電流
Ｉ2は、電流計18により検出され、コントローラ19は、
電流計18の検出結果により、電極14bに正の電荷が充電
されていることを認識する。次に、ウエハ５の吸着が解
除され、該ウエハ５は所定の製造装置へローディングさ
れ、所定の処理が行われる。

【００３１】上記所定の処理が終了して、ウエハ５が再
びウエハ静電チャック４の上面に載せられると、コント
ローラ19の制御により、スイッチ16が接点ｃ、ｆ側に切
り換えられる。この結果、電極14aには正の電圧が、電
極14bには負の電圧が各々印加され、電極14aには負の電
荷が、電極14bには正の電荷がそれぞれ充電される。こ
れにより、ウエハ５は、電極14aに対向する下面に正の
電荷が、電極14bに対向する下面に負の電荷が静電誘導
の作用により誘導される。以後、同様の動作が繰り返さ
れる。

【００３２】以上説明したように、上述した第２実施形
態によれば、電極14a、電極14bに印加される充電電圧の
極性を１回の充電毎に反転させているため、ウエハ静電
チャック４の表面に残った残留電荷の蓄積を防止するこ
とができる。これにより、残留電荷によるウエハ静電チ
ャック４とウエハ５との間の残留吸着力、および吸着力
の低下を防ぐことができる。

【００３３】＜第３実施形態＞次に、本発明の第３実施
形態を図５を用いて説明する。この実施形態において
は、電力供給装置７の内部に、図１に示すそれぞれ２個
のスイッチ11a、11bと放電抵抗12a、12bと直流電源13
a、13bとの代わりに、各１個のスイッチ11と放電抵抗12
と直流電源13とが設けられている。また、移動体２の内
部には、図１に示す２個の電極14a、14bの代わりに、ウ
エハ接触子15と電極14とが設けられている。このウエハ
接触子15は、導体によって成るスプリング等によって形
成されていて、接点6aと搬送台３の筐体とに接続されて
いる。

【００３４】これらの構成により、移動体２の停止位置
において、接点6aと接点10aとが接続され、同時に、接
点6bと接点10bとが接続された時に、スイッチ11が開い
ていたとすると、電極14からは正の電荷が、また、ウエ
ハ５からはウエハ接触子15を介して負の電荷が、それぞ
れ放電抵抗12を通し放電される。そして、ウエハ５の吸
着は解除される。一方、スイッチ11が閉じていたとする
と、直流電源13から電極14へは正の電荷が、また、ウエ
ハ５へはウエハ接触子15を介して負の電荷がそれぞれ充
電されてウエハ５がウエハ静電チャック４の上面に吸着
される。

【００３５】＜第４実施形態＞次に、本発明の第４実施
形態を図６を用いて説明する。この第４実施形態は、上
述した第２実施形態と同様にして、ウエハ静電チャック
４の表面に帯電する残留電荷の影響を回避するように構
成されている。図６において、図５に対応する部分には
同一の符号を付け、その説明を省略する。この図におい
ては、図５に示すスイッチ11、放電抵抗12、および直流
電源13に代えて、スイッチ20、直流電源21、24、放電抵
抗22、電流計23、およびコントローラ25が設けられてい
る。

【００３６】スイッチ20は、３出力接点（接点ｈ〜ｊ）
を有しており、入力端子ｇが接点10bに接続されてい
る。直流電源21は、正極出力端子がスイッチ20の接点ｈ
に、負極出力端子がアースに接続されている。放電抵抗
22および電流計23は、直列接続され、スイッチ20の接点
ｉとアースとの間に介挿されている。この電流計23は、
電極14に蓄積されている電荷の放電時に放電抵抗22を流
れる放電電流Ｉ1またはＩ2を検出するものである。直流
電源24は、上記直流電源21と同じ出力端子電圧とされ、
負極出力端子がスイッチ20の接点ｊに、正極出力端子が
アースにそれぞれ接続されている。

【００３７】コントローラ25は、電流計23が放電電流Ｉ
1を検出したときに電極14に正の電荷が充電されている
ことを認識して、次回の充電時にスイッチ20を接点ｊ側
に切り換え、また電流計23が放電電流Ｉ2を検出したと
きに電極14に負の電荷が充電されていることを認識して
次回の充電時にスイッチ20を接点ｈ側に切り換える。

【００３８】このような構成において、ウエハ５がウエ
ハ静電チャック４に吸着した移動体２が搬送路１の停止
位置（図２参照）に停止すると、まず、スイッチ20が接
点ｉ側に切り換えられる。上記ウエハ静電チャック４の
表面には、前述した第２実施形態と同様にして、ウエハ
５の誘導電荷の一部が負の残留電荷として残っているも
のとする。

【００３９】そして、電極14からは正の電荷が、また、
ウエハ５からはウエハ接触子15を介して負の電荷が、そ
れぞれ放電抵抗22を通して放電される。これにより、同
図に示す方向に放電電流Ｉ1が流れ、該放電電流Ｉ1は電
流計23により検出される。コントローラ25は、電流計23
の検出結果により電極14に正の電荷が充電されているこ
とを認識する。そして、上記放電が終了するとウエハ５
の吸着が解除されるが、ウエハ静電チャック４の表面に
は上述した負の残留電荷が残っている。

【００４０】そして、前述した動作を経て、ウエハ５が
再びウエハ静電チャック４の上面に載せられると、コン
トローラ25の制御により、スイッチ20が接点ｊ側に切り
換えられ、電極14には負の電圧が、ウエハ５には正の電
圧がそれぞれ印加される。これにより、電極14には負の
電荷が、ウエハ５には正の電荷がそれぞれ充電される。
そして、ウエハ５がウエハ静電チャック４に吸着して、
移動体２は、次の停止位置へ搬送される。搬送中におい
て、ウエハ５に帯電している電荷の一部とウエハ静電チ
ャック４の表面の電荷が結合することにより、、ウエハ
静電チャック４の表面の負の電荷が除電される。さら
に、電荷の移動が進みウエハ静電チャック４の表面に
は、正の電荷が若干帯電する。

【００４１】移動体２が次の停止位置に位置すると、コ
ントローラ25によりスイッチ20が接点ｉ側に切り換えら
れた後、上述した動作と同様にして接点6a、6bと接点10
a、10bがそれぞれ接続される。これにより、電極14に帯
電している負の電荷および、ウエハ５に帯電している正
の電荷が各々、放電抵抗22を通して放電される。これに
より、同図に示す方向に放電電流Ｉ2が流れ、該放電電
流Ｉ2は、電流計23により検出される。コントローラ25
は、電流計23の検出結果により、電極14に負の電荷がさ
れていることを認識する。そして、電極14およびウエハ
15の正負の電荷が全て放電されると、ウエハ５の吸着が
解除され、該ウエハ５は、所定の処置が行われた後、再
びウエハ静電チャック４の上面に載せられる。このと
き、ウエハ静電チャック４の表面には、若干の正の電荷
が帯電している。

【００４２】次に、コントローラ25の制御により、スイ
ッチ20が接点ｉ側から接点ｈ側に切り換えられ、電極14
には正の電圧が、ウエハ５には負の電圧がそれぞれ印加
される。これにより、電極14には正の電荷が、ウエハ５
には負の電荷がそれぞれ充電され、ウエハ５は再びウエ
ハ静電チャック４の上面に吸着する。

【００４３】

【発明の効果】以上説明したように、請求項１に記載の
発明によれば、移動体に切り換えスイッチを設けなくて
も、ウエハ静電チャックの給電と除電とを切り換えるこ
とができるので、移動体から切り換えスイッチを除くこ
とが可能となる。これにより、移動体の構造を簡単にす
るとともに、移動体からの発塵を防止することができる
ようになるという効果がある。

【００４４】また、請求項２および３に記載の発明によ
れば、残留電荷による吸着力の低下がなくなるととも
に、ウエハ静電チャックの表面への電荷の蓄積を防止す
ることができるという効果がある。

【図面の簡単な説明】

【図１】 この発明の第１実施形態による電力供給装置
および移動体の内部構成を表す構成図である。

【図２】 同第１実施形態による電力供給装置およびそ
れを用いて構成されている搬送装置の外観を示す斜視図
である

【図３】 図１に示すウエハ静電チャック４に帯電する
残留電荷を説明する図である。

【図４】 この発明の第２実施形態による電力供給装置
および移動体の内部構成を表す構成図である。

【図５】 この発明の第３実施形態による電力供給装置
および移動体の内部構成を表す構成図である。

【図６】 この発明の第４実施形態による電力供給装置
および移動体の内部構成を表す構成図である。

【符号の説明】

１…搬送路、２…移動体、４…ウエハ静電チャック、５
…半導体ウエハ、７…電力供給装置、13、13a、13b…直
流電源、11、11a、11b…スイッチ、12、12a、12b…放電
抵抗、6、6a、6b…（受電用）接点、10、10a、10b…
（給電用）接点、16…スイッチ、17…直流電源、18…電
流計、19…コントローラ、20…スイッチ、21…直流電
源、22…放電抵抗、23…電流計、24…直流電源、25…コ
ントローラ、Ｉ1、Ｉ2…放電電流

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.⁶ 識別記号 庁内整理番号 ＦＩ 技術表示箇所 // Ｂ２３Ｑ 3/15 Ｄ

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 移動体に設けられ、半導体ウエハを吸着
   固定するウエハ静電チャックへ電力を供給する電力供給
   装置であって、前記移動体の停止位置に設けられた電力
   供給装置において、 前記移動体に設けられた受電用接点に接続される給電用
   接点と、 前記ウエハ静電チャックの電荷を前記給電用接点を介し
   て放電させる放電抵抗と、 前記ウエハ静電チャックへ前記給電用接点を介し電気を
   供給する直流電源と、 前記給電用接点と前記直流電源との間を断続するスイッ
   チ手段と、 を具備してなる電力供給装置。
2. 【請求項２】 前記放電抵抗を流れる放電電流の方向に
   より、前記ウエハ静電チャックの電荷の極性を検出する
   極性検出手段と、 前記ウエハ静電チャックへ供給する電気の極性を、前記
   極性検出手段の検出結果と逆の極性に切り換える極性切
   換手段と、 を具備してなる請求項１に記載の電力供給装置。
3. 【請求項３】 前記極性検出手段は、前記放電抵抗に直
   列に接続された電流計と、該電流計の検出結果に基づい
   て前記ウエハ静電チャックの電荷の極性を検出する検出
   手段とから構成されていること、 を特徴とする請求項２に記載の電力供給装置。