JPH07172572A - 搬送装置 - Google Patents
搬送装置Info
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- JPH07172572A JPH07172572A JP5318744A JP31874493A JPH07172572A JP H07172572 A JPH07172572 A JP H07172572A JP 5318744 A JP5318744 A JP 5318744A JP 31874493 A JP31874493 A JP 31874493A JP H07172572 A JPH07172572 A JP H07172572A
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- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/48—Disposition or mounting of heads or head supports relative to record carriers ; arrangements of heads, e.g. for scanning the record carrier to increase the relative speed
- G11B5/4806—Disposition or mounting of heads or head supports relative to record carriers ; arrangements of heads, e.g. for scanning the record carrier to increase the relative speed specially adapted for disk drive assemblies, e.g. assembly prior to operation, hard or flexible disk drives
- G11B5/4853—Constructional details of the electrical connection between head and arm
Landscapes
- Supply And Installment Of Electrical Components (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
- Manipulator (AREA)
- Specific Conveyance Elements (AREA)
- Control Of Conveyors (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【構成】 ワーク３を保持し、導体で形成された導体部
１ａを有し、この導体部１ａが接地されたワーク保持部
材１と、上記ワーク保持部材１と絶縁部５を介して接続
され、このワーク保持部材１を駆動して上記ワーク３を
搬送するワーク搬送機構４と、上記導体部１ａに接続さ
れた接地線に設けられ、任意のタイミングでＯＮ・ＯＦ
Ｆするスイッチ６とを備えている。 【効果】 静電気スパークによるワーク３の破損や搬送
装置自身のトラブル等の発生を低減させることができ
る。
１ａを有し、この導体部１ａが接地されたワーク保持部
材１と、上記ワーク保持部材１と絶縁部５を介して接続
され、このワーク保持部材１を駆動して上記ワーク３を
搬送するワーク搬送機構４と、上記導体部１ａに接続さ
れた接地線に設けられ、任意のタイミングでＯＮ・ＯＦ
Ｆするスイッチ６とを備えている。 【効果】 静電気スパークによるワーク３の破損や搬送
装置自身のトラブル等の発生を低減させることができ
る。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、静電気のスパークによ
るワークの破壊、損傷、制御系の誤動作等の影響を受け
やすい、液晶パネル、半導体、電子部品等の部材を製造
工程等において搬送する搬送装置に関するものである。
るワークの破壊、損傷、制御系の誤動作等の影響を受け
やすい、液晶パネル、半導体、電子部品等の部材を製造
工程等において搬送する搬送装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来より、液晶パネル、半導体、電子部
品等の製造工程において使用される搬送装置は、例えば
図２（ａ）（ｂ）に示すように、液晶パネル等のワーク
５３を、ワーク保持部材５１に設けられたワーク吸着部
材５２…によって吸着保持し、このワーク保持部材５１
をワーク搬送機構５４によって搬送駆動することで所定
位置に搬送している。
品等の製造工程において使用される搬送装置は、例えば
図２（ａ）（ｂ）に示すように、液晶パネル等のワーク
５３を、ワーク保持部材５１に設けられたワーク吸着部
材５２…によって吸着保持し、このワーク保持部材５１
をワーク搬送機構５４によって搬送駆動することで所定
位置に搬送している。
【０００３】ところが、上記搬送装置によって、剥離帯
電、摩擦帯電、誘導帯電等により帯電したワーク５３の
搬送を繰り返した場合、ワーク保持部材５１に電荷が蓄
積され帯電する。そして、ワーク保持部材５１の帯電量
が、帯電したワーク５３の帯電量よりも大きくなると、
ワーク保持部材５１と帯電したワーク５３との間で静電
気により発生するスパーク（以下、静電気スパークと称
する）が生じる。
電、摩擦帯電、誘導帯電等により帯電したワーク５３の
搬送を繰り返した場合、ワーク保持部材５１に電荷が蓄
積され帯電する。そして、ワーク保持部材５１の帯電量
が、帯電したワーク５３の帯電量よりも大きくなると、
ワーク保持部材５１と帯電したワーク５３との間で静電
気により発生するスパーク（以下、静電気スパークと称
する）が生じる。
【０００４】この静電気スパーク現象により、ワークの
半導体や絶縁物が破壊され、製品品質の低下や歩留りの
低下を招く虞がある。また、静電気スパークによるノイ
ズが搬送装置を制御する制御系を狂わせ、誤動作を招く
虞がある。
半導体や絶縁物が破壊され、製品品質の低下や歩留りの
低下を招く虞がある。また、静電気スパークによるノイ
ズが搬送装置を制御する制御系を狂わせ、誤動作を招く
虞がある。
【０００５】そこで、上記の静電気スパークの発生を抑
制する搬送装置として、例えば、特開平４−１９９７３
０号公報には、ワーク保持部材を導電性部材で形成し、
この導電性部材を接地したものが開示されている。この
搬送装置よれば、導電性部材を接地することでワーク保
持部材に帯電される電荷を除去し、静電気スパークの発
生を抑制するようになっている。
制する搬送装置として、例えば、特開平４−１９９７３
０号公報には、ワーク保持部材を導電性部材で形成し、
この導電性部材を接地したものが開示されている。この
搬送装置よれば、導電性部材を接地することでワーク保
持部材に帯電される電荷を除去し、静電気スパークの発
生を抑制するようになっている。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】ところが、上記搬送装
置によって、図３に示すように、帯電したプレート５５
をワークキャリア５６に収納する場合、導電性部材で形
成され、接地されたワーク保持部材５１の先端と、既に
ワークキャリア５６に収納されている帯電したプレート
５５との間（図中、Ａ領域）で静電気スパークが発生す
る場合がある。これは、ワーク保持部材５１が、既に帯
電したプレート５５を収納したワークキャリア５６内
の、その帯電したプレート５５上に次の帯電したプレー
ト５５を収納するとき、このワーク保持部材５１と上下
に配された帯電したプレート５５・５５とで一つのコン
デンサを構成するからである。
置によって、図３に示すように、帯電したプレート５５
をワークキャリア５６に収納する場合、導電性部材で形
成され、接地されたワーク保持部材５１の先端と、既に
ワークキャリア５６に収納されている帯電したプレート
５５との間（図中、Ａ領域）で静電気スパークが発生す
る場合がある。これは、ワーク保持部材５１が、既に帯
電したプレート５５を収納したワークキャリア５６内
の、その帯電したプレート５５上に次の帯電したプレー
ト５５を収納するとき、このワーク保持部材５１と上下
に配された帯電したプレート５５・５５とで一つのコン
デンサを構成するからである。
【０００７】即ち、ワーク保持部材５１がワークキャリ
ア５６に挿入された状態では、コンデンサ容量Ｃが大き
く、ワーク保持部材５１と帯電したプレート５５・５５
との電位差Ｖは小さいが、ワーク保持部材５１がワーク
キャリア５６から引き出されるときには、コンデンサ容
量Ｃは小さく、帯電量Ｑは一定であるため、電位差Ｖ
（＝Ｑ／Ｃ）が大きくなり、ワーク保持部材５１と帯電
したプレート５５との間で静電気スパークが生じる。
ア５６に挿入された状態では、コンデンサ容量Ｃが大き
く、ワーク保持部材５１と帯電したプレート５５・５５
との電位差Ｖは小さいが、ワーク保持部材５１がワーク
キャリア５６から引き出されるときには、コンデンサ容
量Ｃは小さく、帯電量Ｑは一定であるため、電位差Ｖ
（＝Ｑ／Ｃ）が大きくなり、ワーク保持部材５１と帯電
したプレート５５との間で静電気スパークが生じる。
【０００８】したがって、ワーク保持部材５１が導電性
部材で形成されていない場合には、ワーク保持部材５１
に帯電した電荷がワーク５３に移行して静電気スパーク
が発生し、ワーク保持部材５１が導電性部材で形成され
ている場合には、帯電したワーク５３からワーク保持部
材５１に電荷が移行し静電気スパークが発生する。
部材で形成されていない場合には、ワーク保持部材５１
に帯電した電荷がワーク５３に移行して静電気スパーク
が発生し、ワーク保持部材５１が導電性部材で形成され
ている場合には、帯電したワーク５３からワーク保持部
材５１に電荷が移行し静電気スパークが発生する。
【０００９】本発明は、上記の問題点に鑑みなされたも
のであって、その目的は、ワークとワーク搬送部材との
間での静電気スパークが生じない、あるいは生じ難い搬
送装置を提供することにある。
のであって、その目的は、ワークとワーク搬送部材との
間での静電気スパークが生じない、あるいは生じ難い搬
送装置を提供することにある。
【００１０】
【課題を解決するための手段】請求項１記載の搬送装置
は、被搬送体を保持し、一部もしくは全部が導体もしく
は絶縁物を被膜した導体で形成され、この導体が接地さ
れた被搬送体保持部と、上記被搬送体保持部と絶縁体を
介して接続され、この被搬送体保持部を駆動して上記被
搬送体を搬送する被搬送体搬送部と、上記導体に接続さ
れた接地線に設けられ、任意のタイミングでＯＮ・ＯＦ
Ｆする切替手段とを備えていることを特徴としている。
は、被搬送体を保持し、一部もしくは全部が導体もしく
は絶縁物を被膜した導体で形成され、この導体が接地さ
れた被搬送体保持部と、上記被搬送体保持部と絶縁体を
介して接続され、この被搬送体保持部を駆動して上記被
搬送体を搬送する被搬送体搬送部と、上記導体に接続さ
れた接地線に設けられ、任意のタイミングでＯＮ・ＯＦ
Ｆする切替手段とを備えていることを特徴としている。
【００１１】また、請求項２記載の搬送装置は、請求項
１の搬送装置において、導体と切替手段との間の接地線
に、任意の抵抗値を有する抵抗が設けられていることを
特徴としている。
１の搬送装置において、導体と切替手段との間の接地線
に、任意の抵抗値を有する抵抗が設けられていることを
特徴としている。
【００１２】
【作用】請求項１の構成によれば、被搬送体保持部と被
搬送体搬送部とが絶縁体を介して接続されていること
で、被搬送体搬送部からの電荷は被搬送体保持部に移行
しないので、被搬送体保持部と被搬送体搬送部とは絶縁
されている。これによって、例えば切替手段が、被搬送
体保持部により被搬送体を保持しないときに、ＯＮさ
れ、導体を接地し、また、被搬送体保持部により被搬送
体を保持するときに、ＯＦＦされ、導体の接地状態を解
除することで、被搬送体保持部に被搬送体を保持しない
ときには、被搬送体保持部に帯電した電荷を被搬送体搬
送部に移行させずに除去することができ、被搬送体保持
部に被搬送体を保持しているときには、被搬送体保持部
を完全に絶縁状態にすることができる。
搬送体搬送部とが絶縁体を介して接続されていること
で、被搬送体搬送部からの電荷は被搬送体保持部に移行
しないので、被搬送体保持部と被搬送体搬送部とは絶縁
されている。これによって、例えば切替手段が、被搬送
体保持部により被搬送体を保持しないときに、ＯＮさ
れ、導体を接地し、また、被搬送体保持部により被搬送
体を保持するときに、ＯＦＦされ、導体の接地状態を解
除することで、被搬送体保持部に被搬送体を保持しない
ときには、被搬送体保持部に帯電した電荷を被搬送体搬
送部に移行させずに除去することができ、被搬送体保持
部に被搬送体を保持しているときには、被搬送体保持部
を完全に絶縁状態にすることができる。
【００１３】したがって、被搬送体を保持していないと
きには、被搬送体保持部に帯電した電荷を接地によって
除去することで電位を０にすることができ、これによっ
て、被搬送体を保持するときに、被搬送体保持部から被
搬送体への電荷を移行させることがないので、被搬送体
保持部から被搬送体への帯電をなくすことができる。
きには、被搬送体保持部に帯電した電荷を接地によって
除去することで電位を０にすることができ、これによっ
て、被搬送体を保持するときに、被搬送体保持部から被
搬送体への電荷を移行させることがないので、被搬送体
保持部から被搬送体への帯電をなくすことができる。
【００１４】また、被搬送体を保持するときには、被搬
送体保持部を絶縁することで、帯電した被搬送体から被
搬送体保持部に電荷が移行し、被搬送体保持部と被搬送
体とをほぼ同電位とすることができ、これによって、例
えば被搬送体を格納部等に格納した後、被搬送体保持部
を格納部から引き出すときに、被搬送体保持部と被搬送
体との間での静電気スパークの発生を抑制することがで
きる。
送体保持部を絶縁することで、帯電した被搬送体から被
搬送体保持部に電荷が移行し、被搬送体保持部と被搬送
体とをほぼ同電位とすることができ、これによって、例
えば被搬送体を格納部等に格納した後、被搬送体保持部
を格納部から引き出すときに、被搬送体保持部と被搬送
体との間での静電気スパークの発生を抑制することがで
きる。
【００１５】したがって、上記したタイミングで切替手
段を切り替えて、被搬送体の搬送を繰り返した場合、被
搬送体保持部および被搬送体は、帯電し難くなってお
り、このため、被搬送体保持部と被搬送体との間に発生
する静電気スパークが殆ど生じなくなる。この結果、静
電気スパークによる被搬送体の破損や搬送装置自身のト
ラブル等の発生を低減させることができる。
段を切り替えて、被搬送体の搬送を繰り返した場合、被
搬送体保持部および被搬送体は、帯電し難くなってお
り、このため、被搬送体保持部と被搬送体との間に発生
する静電気スパークが殆ど生じなくなる。この結果、静
電気スパークによる被搬送体の破損や搬送装置自身のト
ラブル等の発生を低減させることができる。
【００１６】また、請求項２の構成によれば、導体と切
替手段との間の接地線に、任意の抵抗値を有する抵抗が
設けられていることで、切替手段に流れる電流を小さく
することができる。これにより、導体が接地されたとき
に、被搬送体保持部に帯電した電荷による電流を小さく
して切替手段に流すことができるので、大電流による切
替手段でのスパークの発生を無くすことができる。ま
た、このことにより、切替手段の、スパークによる磨耗
や、ノイズの発生を防止することができる。
替手段との間の接地線に、任意の抵抗値を有する抵抗が
設けられていることで、切替手段に流れる電流を小さく
することができる。これにより、導体が接地されたとき
に、被搬送体保持部に帯電した電荷による電流を小さく
して切替手段に流すことができるので、大電流による切
替手段でのスパークの発生を無くすことができる。ま
た、このことにより、切替手段の、スパークによる磨耗
や、ノイズの発生を防止することができる。
【００１７】
【実施例】本発明の一実施例について図１に基づいて説
明すれば、以下の通りである。本実施例にかかる搬送装
置は、図１（ａ）（ｂ）に示すように、平面略コの字状
のワーク保持部材１と、このワーク保持部材１の表面に
設けられ、被搬送体としてのワーク３を吸着する複数の
ワーク吸着部材２…とからなる被搬送体保持部と、上記
ワーク保持部材１と接続され、ワーク保持部材１を駆動
してワーク３を搬送駆動するワーク搬送機構４からなる
被搬送体搬送部とを備えている。
明すれば、以下の通りである。本実施例にかかる搬送装
置は、図１（ａ）（ｂ）に示すように、平面略コの字状
のワーク保持部材１と、このワーク保持部材１の表面に
設けられ、被搬送体としてのワーク３を吸着する複数の
ワーク吸着部材２…とからなる被搬送体保持部と、上記
ワーク保持部材１と接続され、ワーク保持部材１を駆動
してワーク３を搬送駆動するワーク搬送機構４からなる
被搬送体搬送部とを備えている。
【００１８】上記ワーク保持部材１とワーク搬送機構４
との間には、絶縁体からなる絶縁部５（図中、網掛け
部）が設けられており、これによって、ワーク保持部材
１とワーク搬送機構４とを絶縁するようになっている。
即ち、搬送装置本体からの電荷がワーク保持部材１に移
行しないようになっており、これにより、ワーク保持部
材１によって保持されるワーク３に、電荷がワーク保持
部材１を介して移行しないようになっている。
との間には、絶縁体からなる絶縁部５（図中、網掛け
部）が設けられており、これによって、ワーク保持部材
１とワーク搬送機構４とを絶縁するようになっている。
即ち、搬送装置本体からの電荷がワーク保持部材１に移
行しないようになっており、これにより、ワーク保持部
材１によって保持されるワーク３に、電荷がワーク保持
部材１を介して移行しないようになっている。
【００１９】また、上記のワーク保持部材１は、一部も
しくは全部が導体で形成されており、この導体部１ａに
は、任意のタイミングでＯＮ・ＯＦＦする切替手段とし
てのスイッチ６が設けられた接地線７が接続されてい
る。したがって、上記スイッチ６がＯＮされれば、上記
導体部１ａは接地され、スイッチ６がＯＦＦされれば、
導体部１ａの接地状態が解除される。即ち、スイッチ６
をＯＦＦすることによってワーク保持部材１を完全な絶
縁状態にすることができる。
しくは全部が導体で形成されており、この導体部１ａに
は、任意のタイミングでＯＮ・ＯＦＦする切替手段とし
てのスイッチ６が設けられた接地線７が接続されてい
る。したがって、上記スイッチ６がＯＮされれば、上記
導体部１ａは接地され、スイッチ６がＯＦＦされれば、
導体部１ａの接地状態が解除される。即ち、スイッチ６
をＯＦＦすることによってワーク保持部材１を完全な絶
縁状態にすることができる。
【００２０】また、上記導体部１ａとスイッチ６との間
には、任意の抵抗値（数ｋΩ〜数ＧΩ）を有する抵抗８
が接続されており、スイッチ６に流れる電流を調整する
ようになっている。これによって、スイッチ６がＯＮさ
れたときに、スイッチ６にかかる電圧を小さくすること
ができるので、スイッチ６でのスパークを防止すること
ができる。
には、任意の抵抗値（数ｋΩ〜数ＧΩ）を有する抵抗８
が接続されており、スイッチ６に流れる電流を調整する
ようになっている。これによって、スイッチ６がＯＮさ
れたときに、スイッチ６にかかる電圧を小さくすること
ができるので、スイッチ６でのスパークを防止すること
ができる。
【００２１】上記の構成において、ワーク保持部材１
は、ワーク搬送機構４と絶縁部５を介して接続されてい
るので、上記したように、ワーク保持部材１によりワー
ク３を保持しないときに、スイッチ６をＯＮすること
で、導体部１ａを接地し、導体部１ａに帯電した電荷を
ワーク搬送機構４に移行させることなく除去することが
できる。また、ワーク保持部材１によりワーク３を保持
するときに、スイッチ６をＯＦＦし、導体部１ａの接地
状態を解除することで、ワーク保持部材１を完全に絶縁
状態にすることができる。
は、ワーク搬送機構４と絶縁部５を介して接続されてい
るので、上記したように、ワーク保持部材１によりワー
ク３を保持しないときに、スイッチ６をＯＮすること
で、導体部１ａを接地し、導体部１ａに帯電した電荷を
ワーク搬送機構４に移行させることなく除去することが
できる。また、ワーク保持部材１によりワーク３を保持
するときに、スイッチ６をＯＦＦし、導体部１ａの接地
状態を解除することで、ワーク保持部材１を完全に絶縁
状態にすることができる。
【００２２】これにより、ワーク３を保持して搬送しな
いときに、ワーク保持部材１に帯電した電荷を接地によ
って除去することで電位を０にすることができ、これに
よって、ワーク３を保持するときに、ワーク保持部材１
からワーク３への電荷の移行をなくすことができ、ワー
ク３を帯電させることなく搬送することができる。
いときに、ワーク保持部材１に帯電した電荷を接地によ
って除去することで電位を０にすることができ、これに
よって、ワーク３を保持するときに、ワーク保持部材１
からワーク３への電荷の移行をなくすことができ、ワー
ク３を帯電させることなく搬送することができる。
【００２３】また、ワーク３を保持して搬送するとき
に、ワーク保持部材１を完全に絶縁状態にすることで、
帯電したワーク３からワーク保持部材１に電荷が移行
し、ワーク保持部材１とワーク３とをほぼ同電位とする
ことができ、これによって、例えば図示しないワークキ
ャリアに帯電したワーク３を収納した後、ワーク保持部
材１をワークキャリアから引き出すときに、ワーク保持
部材１とワーク３との間での静電気スパークの発生を抑
制することができる。
に、ワーク保持部材１を完全に絶縁状態にすることで、
帯電したワーク３からワーク保持部材１に電荷が移行
し、ワーク保持部材１とワーク３とをほぼ同電位とする
ことができ、これによって、例えば図示しないワークキ
ャリアに帯電したワーク３を収納した後、ワーク保持部
材１をワークキャリアから引き出すときに、ワーク保持
部材１とワーク３との間での静電気スパークの発生を抑
制することができる。
【００２４】したがって、上記したタイミングでスイッ
チ６を切り替えて、ワーク３の搬送を繰り返しても、ワ
ーク保持部材１とワーク３との間に静電気スパークが殆
ど発生しないので、静電気スパークによるワーク３の破
損や搬送装置自身のトラブル等の発生を低減させること
ができる。
チ６を切り替えて、ワーク３の搬送を繰り返しても、ワ
ーク保持部材１とワーク３との間に静電気スパークが殆
ど発生しないので、静電気スパークによるワーク３の破
損や搬送装置自身のトラブル等の発生を低減させること
ができる。
【００２５】この結果、このワーク３により製造される
製品の品質および歩留りを向上させることができるとと
もに、製造工程における制御系の誤動作を低減させるこ
とができる。
製品の品質および歩留りを向上させることができるとと
もに、製造工程における制御系の誤動作を低減させるこ
とができる。
【００２６】また、例えば従来の搬送装置では、図２お
よび図３に示すように、ワークキャリア５６内のワーク
５３（図２）の帯電量が約１ｋＶで静電気スパークが発
生するのに対して、本発明では、ワークキャリア内のワ
ーク３の帯電量が７〜１０ｋＶになるまで静電気スパー
クが発生しない。
よび図３に示すように、ワークキャリア５６内のワーク
５３（図２）の帯電量が約１ｋＶで静電気スパークが発
生するのに対して、本発明では、ワークキャリア内のワ
ーク３の帯電量が７〜１０ｋＶになるまで静電気スパー
クが発生しない。
【００２７】したがって、本発明は、特に静電気の帯電
による静電破壊、制御系の誤動作等の影響を受けやすい
液晶パネル、半導体、電子部品等の製造工程に好適に使
用することができる。
による静電破壊、制御系の誤動作等の影響を受けやすい
液晶パネル、半導体、電子部品等の製造工程に好適に使
用することができる。
【００２８】尚、本実施例では、ワーク保持部材１が一
部もしくは全部が導体で形成されているものとしている
が、これに限定するものではなく、例えば絶縁膜にて被
膜した導体で形成しても良い。
部もしくは全部が導体で形成されているものとしている
が、これに限定するものではなく、例えば絶縁膜にて被
膜した導体で形成しても良い。
【００２９】また、本実施例では、スイッチ６の切り替
えるタイミングを、ワーク保持部材１がワーク３を保持
しないときにＯＮするように、また、ワーク保持部材１
がワーク３を保持するときにＯＦＦするようにしている
が、このタイミングでスイッチ６の切替が行われない場
合でも、スイッチ６のＯＮ・ＯＦＦを繰り返し行うこと
によって、ワーク保持部材１の帯電および除電を繰り返
して行うことができる。したがって、上記のスイッチ６
を切り替えるタイミングがずれた場合であっても、ワー
ク保持部材１とワーク３との間での静電気スパークの発
生を低減させることができる。
えるタイミングを、ワーク保持部材１がワーク３を保持
しないときにＯＮするように、また、ワーク保持部材１
がワーク３を保持するときにＯＦＦするようにしている
が、このタイミングでスイッチ６の切替が行われない場
合でも、スイッチ６のＯＮ・ＯＦＦを繰り返し行うこと
によって、ワーク保持部材１の帯電および除電を繰り返
して行うことができる。したがって、上記のスイッチ６
を切り替えるタイミングがずれた場合であっても、ワー
ク保持部材１とワーク３との間での静電気スパークの発
生を低減させることができる。
【００３０】
【発明の効果】請求項１記載の発明の搬送装置は、以上
のように、被搬送体を保持し、一部もしくは全部が導体
もしくは絶縁物を被膜した導体で形成され、この導体が
接地された被搬送体保持部と、上記被搬送体保持部と絶
縁物を介して接続され、この被搬送体保持部を駆動して
上記被搬送体を搬送する被搬送体搬送部と、上記導体に
接続された接地線に設けられ、任意のタイミングでＯＮ
・ＯＦＦする切替手段とを備えている構成である。
のように、被搬送体を保持し、一部もしくは全部が導体
もしくは絶縁物を被膜した導体で形成され、この導体が
接地された被搬送体保持部と、上記被搬送体保持部と絶
縁物を介して接続され、この被搬送体保持部を駆動して
上記被搬送体を搬送する被搬送体搬送部と、上記導体に
接続された接地線に設けられ、任意のタイミングでＯＮ
・ＯＦＦする切替手段とを備えている構成である。
【００３１】これにより、被搬送体保持部と被搬送体と
の間での静電気スパークを殆どなくすことができるの
で、静電気スパークによる被搬送体の破損や搬送装置自
身のトラブル等の発生を低減させることができるという
効果を奏する。
の間での静電気スパークを殆どなくすことができるの
で、静電気スパークによる被搬送体の破損や搬送装置自
身のトラブル等の発生を低減させることができるという
効果を奏する。
【００３２】また、請求項２記載の発明の搬送装置は、
以上のように、導体と上記切替手段との間の接地線に、
任意の抵抗値を有する抵抗が設けられている構成であ
る。
以上のように、導体と上記切替手段との間の接地線に、
任意の抵抗値を有する抵抗が設けられている構成であ
る。
【００３３】これにより、導体が接地されたときに、被
搬送体保持部に帯電した電荷による電流を小さくして切
替手段に流すことができるので、大電流による切替手段
でのスパークの発生を無くすことができるという効果を
奏する。
搬送体保持部に帯電した電荷による電流を小さくして切
替手段に流すことができるので、大電流による切替手段
でのスパークの発生を無くすことができるという効果を
奏する。
【図１】本発明の一実施例の搬送装置の概略構成図であ
って、同図（ａ）は平面図であり、同図（ｂ）は側面図
である。
って、同図（ａ）は平面図であり、同図（ｂ）は側面図
である。
【図２】従来の搬送装置の概略構成図であって、同図
（ａ）は平面図であり、同図（ｂ）は側面図である。
（ａ）は平面図であり、同図（ｂ）は側面図である。
【図３】図２に示す搬送装置によりワークをワークキャ
リアに搬送する状態を示す説明図である。
リアに搬送する状態を示す説明図である。
１ ワーク保持部材（被搬送体保持部） ２ ワーク吸着部材（被搬送体保持部） ３ ワーク（被搬送体） ４ ワーク搬送機構（被搬送体搬送部） ５ 絶縁部（絶縁体） ６ スイッチ（切替手段） ７ 接地線 ８ 抵抗
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 庁内整理番号 ＦＩ 技術表示箇所 Ｈ０５Ｋ 13/02 Ｕ
Claims (2)
- 【請求項１】被搬送体を保持し、一部もしくは全部が導
体もしくは絶縁物を被膜した導体で形成され、この導体
が接地された被搬送体保持部と、 上記被搬送体保持部と絶縁体を介して接続され、この被
搬送体保持部を駆動して上記被搬送体を搬送する被搬送
体搬送部と、 上記導体に接続された接地線に設けられ、任意のタイミ
ングでＯＮ・ＯＦＦする切替手段とを備えていることを
特徴とする搬送装置。 - 【請求項２】上記導体と上記切替手段との間の接地線
に、任意の抵抗値を有する抵抗が設けられていることを
特徴とする請求項１記載の搬送装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5318744A JP2842986B2 (ja) | 1993-12-17 | 1993-12-17 | 搬送装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5318744A JP2842986B2 (ja) | 1993-12-17 | 1993-12-17 | 搬送装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07172572A true JPH07172572A (ja) | 1995-07-11 |
| JP2842986B2 JP2842986B2 (ja) | 1999-01-06 |
Family
ID=18102462
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5318744A Expired - Fee Related JP2842986B2 (ja) | 1993-12-17 | 1993-12-17 | 搬送装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2842986B2 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO1996029607A1 (fr) * | 1995-03-18 | 1996-09-26 | Tokyo Electron Limited | Procede et appareil de controle d'un substrat |
| US7608304B2 (en) | 2005-03-08 | 2009-10-27 | Seiko Epson Corporation | Substrate carrying method and substrate carrying apparatus |
-
1993
- 1993-12-17 JP JP5318744A patent/JP2842986B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO1996029607A1 (fr) * | 1995-03-18 | 1996-09-26 | Tokyo Electron Limited | Procede et appareil de controle d'un substrat |
| US7608304B2 (en) | 2005-03-08 | 2009-10-27 | Seiko Epson Corporation | Substrate carrying method and substrate carrying apparatus |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2842986B2 (ja) | 1999-01-06 |
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