JP2003312842A - 基板の搬送装置 - Google Patents
基板の搬送装置Info
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Abstract
簡単に除去できる搬送装置を提供する。 【解決手段】 棒状本体1にレール2、3を設け、この
レール2、3に保持部材4、5のそれぞれを係合し、シ
リンダユニット等を駆動することで、保持部材4、5を
接近・離反動せしめる。また棒状本体1には一対の放電
電極6、7が取り付けられ、一方の放電電極6はリード
線を介して直流電源(高圧電源)8の正極に接続され、
他方の放電電極7は直流電源8の負極に接続されてい
る。また、前記一対の放電電極6、7については、真空
チャック10に載置されているガラス基板Wの略中心、
即ち、放電電極6、7を結ぶ線分の中間点から基板に降
ろした垂線と基板との交点に向かって電気力線が放出さ
れるように斜めに取り付けている。
Description
の表面の帯電を除去する機能を備えた搬送装置に関す
る。
電気放電(ESD)によって損傷を受けることは従来か
ら指摘されており、このための対策として、イオナイザ
ーでイオン化した空気を発生せしめ、この空気を帯電物
質に吹き付けたり、放電電極から電気力線を放射して除
電を行うことが行われている。
報では電気力線を帯電物体に放射して除電することが開
示され、特開2001−203092号公報では電気力
線とイオン化した空気を帯電物体に放射して除電するこ
とが開示されている。
基板の表面に塗膜を回転塗布にて形成するには、ガラス
基板を真空チャックにて吸着した状態で回転させながら
滴下した塗布液を遠心力で均一に拡散するようにしてい
る。そして、塗布終了後にガラス基板を真空チャックか
ら外す際に、静電気によってガラス基板が真空チャック
に吸着され、速やかに外すことができないことがある。
この傾向はガラス基板の大型化、この大型化に伴うチャ
ック面積の拡大により更に顕著になっている。
に吸着されているときに、無理にリフトピンによってガ
ラス基板を剥がそうとするとガラス基板が割れたり、リ
フトピンの破損を招く。そこで、従来からイオナイザー
を使用したり、紫外線を照射することも行われている
が、イオナイザーによる場合には塗布後の膜表面に膜斑
が発生する不利があり、紫外線を照射しても効果が薄
い。
電を行うことが考えられるが、そのままの適用では作業
工程が増加し、専用の除電ステーションを設けなければ
ならないなど大掛かりになってしまう。
め、本発明に係る基板の搬送装置は、基板表面に電気力
線を作用せしめる正負一対若しくはそれ以上の放電電極
を所定間隔離間して取り付けた。前記一対の放電電極の
間隔は例えば370mm×470mmの角型基板の場合
には20〜30cmが好ましく、また放電電極の高さ位
置は、保持した基板表面との間隔が40〜50mmとな
る位置が好ましい。これらの間隔は基板のサイズによっ
て適正な値に適宜変更する。
の取り付け角度は、基板に対して直交させるよりは、正
極と負極を結ぶ線分の中間点から基板に降ろした垂線と
基板との交点に向かうように斜めに取り付ける方が、静
電気除去の効果がある。
図面に基づいて説明する。図1は本発明に係る基板の搬
送装置の側面図、図2は同搬送装置の平面図であり、こ
の実施例では塗布装置に対し基板を搬送する例を説明す
る。
け、このレール2、3に保持部材4、5のそれぞれを係
合し、図示しないシリンダユニット等を駆動すること
で、保持部材4、5を接近・離反動せしめている。
が取り付けられている。一方の放電電極6はリード線を
介して直流電源(高圧電源)8の正極に接続され、他方
の放電電極7は直流電源8の負極に接続されている。直
流電源8については棒状本体1以外の箇所に設けてもよ
い。
本体1に対して斜めに取り付けている。即ち、真空チャ
ック10に載置されているガラス基板Wの略中心に向か
って電気力線が放出されるように放電電極6、7を取り
付けている。尚、真空チャック10には真空装置につな
がる吸引孔11及びリフトピン12が設けられている。
あり、この実施例にあっては本体1の形状を二股状とし
且つガラス基板を支える箇所を多くして、大型のガラス
基板に対処できるようにしている。この実施例にあって
も放電電極6、7は、放電電極6、7を結ぶ線分の中間
点からガラス基板Wに降ろした垂線と基板との交点に向
かうように斜めに取り付けられている。
置を説明したが、本発明に係る搬送装置は塗布装置以外
の装置、例えば現像装置、エッチング装置等に対する搬
送装置全般について適用することができる。
基板の剥離帯電が起きなくなり、例えば基板をチャック
から剥離する際に基板にダメージを与えることがない。
また同じ静電気除去であっても、イオナイザーとは異な
り膜斑などを生じることがない。更に、搬送装置に静電
除去機能を付加したため、静電除去のための余分なすテ
ーションを設けたり、余分な工程をかける必要もないの
で、効率的に基板を処理することができる。しかも、各
搬送装置に静電気除去機能を付加すれば、基板は搬送さ
れるたびに静電気が除去されることになり、帯電による
ダメージを受けなくなる。
6、7…放電電極、8…直流電源、10…真空チャッ
ク、11…吸引孔、12…リフトピン、W…基板。
Claims (2)
- 【請求項1】 基板を移送したり、受け取り或いは受け
渡しを行う基板の搬送装置において、この搬送装置は基
板表面に電気力線を作用せしめる正負一対若しくはそれ
以上の放電電極が所定間隔離間して取り付けられている
ことを特徴とする基板の搬送装置。 - 【請求項2】 請求項1に記載の基板の搬送装置におい
て、前記対をなす放電電極の正極と負極は、これら正極
と負極を結ぶ線分の中間点から基板に降ろした垂線と基
板との交点に向かうように斜めに取り付けられているこ
とを特徴とする基板の搬送装置。
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