JP3880439B2 - 基板の搬送装置 - Google Patents
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Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は角型ガラス基板などの表面の帯電を除去する機能を備えた搬送装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
エレクトロニクス産業で、デバイスが静電気放電（ＥＳＤ）によって損傷を受けることは従来から指摘されており、このための対策として、イオナイザーでイオン化した空気を発生せしめ、この空気を帯電物質に吹き付けたり、放電電極から電気力線を放射して除電を行うことが行われている。
【０００３】
例えば、特開２００１−１４８２９７号公報では電気力線を帯電物体に放射して除電することが開示され、特開２００１−２０３０９２号公報では電気力線とイオン化した空気を帯電物体に放射して除電することが開示されている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、角型ガラス基板の表面に塗膜を回転塗布にて形成するには、ガラス基板を真空チャックにて吸着した状態で回転させながら滴下した塗布液を遠心力で均一に拡散するようにしている。そして、塗布終了後にガラス基板を真空チャックから外す際に、静電気によってガラス基板が真空チャックに吸着され、速やかに外すことができないことがある。この傾向はガラス基板の大型化、この大型化に伴うチャック面積の拡大により更に顕著になっている。
【０００５】
静電気によってガラス基板が真空チャックに吸着されているときに、無理にリフトピンによってガラス基板を剥がそうとするとガラス基板が割れたり、リフトピンの破損を招く。
そこで、従来からイオナイザーを使用したり、紫外線を照射することも行われているが、イオナイザーによる場合には塗布後の膜表面に膜斑が発生する不利があり、紫外線を照射しても効果が薄い。
【０００６】
また、放電電極から電気力線を放射して除電を行うことが考えられるが、そのままの適用では作業工程が増加し、専用の除電ステーションを設けなければならないなど大掛かりになってしまう。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
上記の課題を解決するため、本発明に係る基板の搬送装置は、基板表面に電気力線を作用せしめる正負一対若しくはそれ以上の放電電極を所定間隔離間して取り付けた。
前記一対の放電電極の間隔は例えば３７０ｍｍ×４７０ｍｍの角型基板の場合には２０〜３０ｃｍが好ましく、また放電電極の高さ位置は、保持した基板表面との間隔が４０〜５０ｍｍとなる位置が好ましい。これらの間隔は基板のサイズによって適正な値に適宜変更する。
【０００８】
また、前記対をなす放電電極の正極と負極の取り付け角度は、基板に対して直交させるよりは、正極と負極を結ぶ線分の中間点から基板に降ろした垂線と基板との交点に向かうように斜めに取り付ける方が、静電気除去の効果がある。
【０００９】
【発明の実施の形態】
以下に本発明の実施の形態を添付図面に基づいて説明する。図１は本発明に係る基板の搬送装置の側面図、図２は同搬送装置の平面図であり、この実施例では塗布装置に対し基板を搬送する例を説明する。
【００１０】
搬送装置は棒状本体１にレール２、３を設け、このレール２、３に保持部材４、５のそれぞれを係合し、図示しないシリンダユニット等を駆動することで、保持部材４、５を接近・離反動せしめている。
【００１１】
また棒状本体１には一対の放電電極６、７が取り付けられている。一方の放電電極６はリード線を介して直流電源（高圧電源）８の正極に接続され、他方の放電電極７は直流電源８の負極に接続されている。直流電源８については棒状本体１以外の箇所に設けてもよい。
【００１２】
前記一対の放電電極６、７については棒状本体１に対して斜めに取り付けている。即ち、真空チャック１０に載置されているガラス基板Ｗの略中心に向かって電気力線が放出されるように放電電極６、７を取り付けている。尚、真空チャック１０には真空装置につながる吸引孔１１及びリフトピン１２が設けられている。
【００１３】
図３は別実施例に係る除電装置の平面図であり、この実施例にあっては本体１の形状を二股状とし且つガラス基板を支える箇所を多くして、大型のガラス基板に対処できるようにしている。この実施例にあっても放電電極６、７は、放電電極６、７を結ぶ線分の中間点からガラス基板Ｗに降ろした垂線と基板との交点に向かうように斜めに取り付けられている。
【００１４】
尚、実施例では塗布装置と関連して搬送装置を説明したが、本発明に係る搬送装置は塗布装置以外の装置、例えば現像装置、エッチング装置等に対する搬送装置全般について適用することができる。
【００１５】
【発明の効果】
以上に説明したように本発明によれば、基板の剥離帯電が起きなくなり、例えば基板をチャックから剥離する際に基板にダメージを与えることがない。
また同じ静電気除去であっても、イオナイザーとは異なり膜斑などを生じることがない。
更に、搬送装置に静電除去機能を付加したため、静電除去のための余分なすテーションを設けたり、余分な工程をかける必要もないので、効率的に基板を処理することができる。しかも、各搬送装置に静電気除去機能を付加すれば、基板は搬送されるたびに静電気が除去されることになり、帯電によるダメージを受けなくなる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に係る除電装置の側面図
【図２】同除電装置の平面図
【図３】別実施例に係る除電装置の平面図
【符号の説明】
１…棒状本体、２、３…レール、４、５…保持部材、６、７…放電電極、８…直流電源、１０…真空チャック、１１…吸引孔、１２…リフトピン、Ｗ…基板。
【発明の属する技術分野】
本発明は角型ガラス基板などの表面の帯電を除去する機能を備えた搬送装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
エレクトロニクス産業で、デバイスが静電気放電（ＥＳＤ）によって損傷を受けることは従来から指摘されており、このための対策として、イオナイザーでイオン化した空気を発生せしめ、この空気を帯電物質に吹き付けたり、放電電極から電気力線を放射して除電を行うことが行われている。
【０００３】
例えば、特開２００１−１４８２９７号公報では電気力線を帯電物体に放射して除電することが開示され、特開２００１−２０３０９２号公報では電気力線とイオン化した空気を帯電物体に放射して除電することが開示されている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、角型ガラス基板の表面に塗膜を回転塗布にて形成するには、ガラス基板を真空チャックにて吸着した状態で回転させながら滴下した塗布液を遠心力で均一に拡散するようにしている。そして、塗布終了後にガラス基板を真空チャックから外す際に、静電気によってガラス基板が真空チャックに吸着され、速やかに外すことができないことがある。この傾向はガラス基板の大型化、この大型化に伴うチャック面積の拡大により更に顕著になっている。
【０００５】
静電気によってガラス基板が真空チャックに吸着されているときに、無理にリフトピンによってガラス基板を剥がそうとするとガラス基板が割れたり、リフトピンの破損を招く。
そこで、従来からイオナイザーを使用したり、紫外線を照射することも行われているが、イオナイザーによる場合には塗布後の膜表面に膜斑が発生する不利があり、紫外線を照射しても効果が薄い。
【０００６】
また、放電電極から電気力線を放射して除電を行うことが考えられるが、そのままの適用では作業工程が増加し、専用の除電ステーションを設けなければならないなど大掛かりになってしまう。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
上記の課題を解決するため、本発明に係る基板の搬送装置は、基板表面に電気力線を作用せしめる正負一対若しくはそれ以上の放電電極を所定間隔離間して取り付けた。
前記一対の放電電極の間隔は例えば３７０ｍｍ×４７０ｍｍの角型基板の場合には２０〜３０ｃｍが好ましく、また放電電極の高さ位置は、保持した基板表面との間隔が４０〜５０ｍｍとなる位置が好ましい。これらの間隔は基板のサイズによって適正な値に適宜変更する。
【０００８】
また、前記対をなす放電電極の正極と負極の取り付け角度は、基板に対して直交させるよりは、正極と負極を結ぶ線分の中間点から基板に降ろした垂線と基板との交点に向かうように斜めに取り付ける方が、静電気除去の効果がある。
【０００９】
【発明の実施の形態】
以下に本発明の実施の形態を添付図面に基づいて説明する。図１は本発明に係る基板の搬送装置の側面図、図２は同搬送装置の平面図であり、この実施例では塗布装置に対し基板を搬送する例を説明する。
【００１０】
搬送装置は棒状本体１にレール２、３を設け、このレール２、３に保持部材４、５のそれぞれを係合し、図示しないシリンダユニット等を駆動することで、保持部材４、５を接近・離反動せしめている。
【００１１】
また棒状本体１には一対の放電電極６、７が取り付けられている。一方の放電電極６はリード線を介して直流電源（高圧電源）８の正極に接続され、他方の放電電極７は直流電源８の負極に接続されている。直流電源８については棒状本体１以外の箇所に設けてもよい。
【００１２】
前記一対の放電電極６、７については棒状本体１に対して斜めに取り付けている。即ち、真空チャック１０に載置されているガラス基板Ｗの略中心に向かって電気力線が放出されるように放電電極６、７を取り付けている。尚、真空チャック１０には真空装置につながる吸引孔１１及びリフトピン１２が設けられている。
【００１３】
図３は別実施例に係る除電装置の平面図であり、この実施例にあっては本体１の形状を二股状とし且つガラス基板を支える箇所を多くして、大型のガラス基板に対処できるようにしている。この実施例にあっても放電電極６、７は、放電電極６、７を結ぶ線分の中間点からガラス基板Ｗに降ろした垂線と基板との交点に向かうように斜めに取り付けられている。
【００１４】
尚、実施例では塗布装置と関連して搬送装置を説明したが、本発明に係る搬送装置は塗布装置以外の装置、例えば現像装置、エッチング装置等に対する搬送装置全般について適用することができる。
【００１５】
【発明の効果】
以上に説明したように本発明によれば、基板の剥離帯電が起きなくなり、例えば基板をチャックから剥離する際に基板にダメージを与えることがない。
また同じ静電気除去であっても、イオナイザーとは異なり膜斑などを生じることがない。
更に、搬送装置に静電除去機能を付加したため、静電除去のための余分なすテーションを設けたり、余分な工程をかける必要もないので、効率的に基板を処理することができる。しかも、各搬送装置に静電気除去機能を付加すれば、基板は搬送されるたびに静電気が除去されることになり、帯電によるダメージを受けなくなる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に係る除電装置の側面図
【図２】同除電装置の平面図
【図３】別実施例に係る除電装置の平面図
【符号の説明】
１…棒状本体、２、３…レール、４、５…保持部材、６、７…放電電極、８…直流電源、１０…真空チャック、１１…吸引孔、１２…リフトピン、Ｗ…基板。
Claims (1)
- 基板を移送したり、受け取り或いは受け渡しを行う基板の搬送装置において、この搬送装置は基板表面に電気力線を作用せしめる正負一対の放電電極を備え、この対をなす放電電極の正極と負極は、これら正極と負極を結ぶ線分の中間点から基板に降ろした垂線と基板との交点に向かうように斜めに取り付けられていることを特徴とする基板の搬送装置。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2002117048A JP3880439B2 (ja) | 2002-04-19 | 2002-04-19 | 基板の搬送装置 |
| TW92108455A TW200306766A (en) | 2002-04-19 | 2003-04-11 | Conveying device of substrate |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2002117048A JP3880439B2 (ja) | 2002-04-19 | 2002-04-19 | 基板の搬送装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2003312842A JP2003312842A (ja) | 2003-11-06 |
| JP3880439B2 true JP3880439B2 (ja) | 2007-02-14 |
Family
ID=29534371
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2002117048A Expired - Fee Related JP3880439B2 (ja) | 2002-04-19 | 2002-04-19 | 基板の搬送装置 |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3880439B2 (ja) |
| TW (1) | TW200306766A (ja) |
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| JP6867818B2 (ja) | 2017-01-31 | 2021-05-12 | 株式会社Ｓｃｒｅｅｎホールディングス | 基板処理装置および基板処理方法 |
| CN108657819B (zh) * | 2017-03-31 | 2019-10-01 | 京东方科技集团股份有限公司 | 传送装置、传送方法以及真空蒸镀装置 |
| CN109092218B (zh) * | 2018-09-03 | 2023-11-21 | 曹明辉 | 一种纳米石墨溶胶制备装置及制备方法 |
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2002
- 2002-04-19 JP JP2002117048A patent/JP3880439B2/ja not_active Expired - Fee Related
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2003
- 2003-04-11 TW TW92108455A patent/TW200306766A/zh not_active IP Right Cessation
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| TW200306766A (en) | 2003-11-16 |
| JP2003312842A (ja) | 2003-11-06 |
| TWI299964B (ja) | 2008-08-11 |
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