JPH0216749A - 電子ビーム露光装置用ウェハーホルダ - Google Patents
電子ビーム露光装置用ウェハーホルダInfo
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- JPH0216749A JPH0216749A JP63165818A JP16581888A JPH0216749A JP H0216749 A JPH0216749 A JP H0216749A JP 63165818 A JP63165818 A JP 63165818A JP 16581888 A JP16581888 A JP 16581888A JP H0216749 A JPH0216749 A JP H0216749A
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- wafer
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Landscapes
- Exposure And Positioning Against Photoresist Photosensitive Materials (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
- Exposure Of Semiconductors, Excluding Electron Or Ion Beam Exposure (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔概 要〕
半導体装置の製造に用いられる電子ビーム露光装置にお
ける静電チャック方式のウェハーホルダに関し、 ウェハーホルダの移動時に電源ケーブルを切り放しても
その静電チャック機能を保持できるようにすることを目
的とし、 絶縁物に板状又は線状の金属が埋め込まれたベース板と
、該ベース板上に載置したウェハーを固定する押え板と
、前記板状又は線状の金属とウェハー間に外部より電圧
を印加するための配線及び端子を具備した電子ビーム露
光装置用ウェハーホルダにおいて、該ウェハーホルダ内
にコンデンサを内蔵させ、該コンデンサの両極をそれぞ
れ前記配線に接続して構成する。
ける静電チャック方式のウェハーホルダに関し、 ウェハーホルダの移動時に電源ケーブルを切り放しても
その静電チャック機能を保持できるようにすることを目
的とし、 絶縁物に板状又は線状の金属が埋め込まれたベース板と
、該ベース板上に載置したウェハーを固定する押え板と
、前記板状又は線状の金属とウェハー間に外部より電圧
を印加するための配線及び端子を具備した電子ビーム露
光装置用ウェハーホルダにおいて、該ウェハーホルダ内
にコンデンサを内蔵させ、該コンデンサの両極をそれぞ
れ前記配線に接続して構成する。
本発明は半導体装置の製造に用いられる電子ビーム露光
装置における静電チャック方式のウェハーホルダに関す
る。
装置における静電チャック方式のウェハーホルダに関す
る。
電子ビーム露光装置においては、ホルダ上に載置したウ
ェハーの平面度を出すためにウェハー裏面金面を吸着で
きる静電チャック方式のウェハーホルダが望ましい。こ
の静電チャック方式のウェハーホルダは、第２図に示す
ように、絶縁物製の板に板状又は線状の金属１が埋め込
まれたベース板２と、該ベース板上にウェハー３を固定
する複数個のウェハー押え板４と、該ウェハー押え板４
をウェハー固定方向に付勢するばね５と、前記ベース板
に埋め込まれた金属１とウェハー３間に外部から電圧を
印加するための配線６，６′及び端子７．７′とを具備
して構成されている。そして端子７．７′間に電圧を印
加することによりベース板２はウェハー３を静電吸着す
るようになっている。なおベース板２は、電子ビーム照
射により電荷が溜らないようにウェハー搭載面はウェハ
ー３より小さく、またその周囲にはアースに接続された
金属パターン８が設けられている。
ェハーの平面度を出すためにウェハー裏面金面を吸着で
きる静電チャック方式のウェハーホルダが望ましい。こ
の静電チャック方式のウェハーホルダは、第２図に示す
ように、絶縁物製の板に板状又は線状の金属１が埋め込
まれたベース板２と、該ベース板上にウェハー３を固定
する複数個のウェハー押え板４と、該ウェハー押え板４
をウェハー固定方向に付勢するばね５と、前記ベース板
に埋め込まれた金属１とウェハー３間に外部から電圧を
印加するための配線６，６′及び端子７．７′とを具備
して構成されている。そして端子７．７′間に電圧を印
加することによりベース板２はウェハー３を静電吸着す
るようになっている。なおベース板２は、電子ビーム照
射により電荷が溜らないようにウェハー搭載面はウェハ
ー３より小さく、またその周囲にはアースに接続された
金属パターン８が設けられている。
上記従来のウェハーホルダでは、ウェハーをセットして
搬送する時には電圧を印加し続けなげればならない。そ
のためウェハー３を静電チャックしたまま電子ビーム露
光装置の真空チャンバー内に挿入しようとすると電源ケ
ーブルを傷つけたり、その傷からリークする恐れがある
といった問題がある。
搬送する時には電圧を印加し続けなげればならない。そ
のためウェハー３を静電チャックしたまま電子ビーム露
光装置の真空チャンバー内に挿入しようとすると電源ケ
ーブルを傷つけたり、その傷からリークする恐れがある
といった問題がある。
本発明は、ウェハーホルダの移動時に電源ケーブルを切
り放しても、ある時間静電チャック機能を保持できるよ
うにしたウェハーホルダを提供することを目的とする。
り放しても、ある時間静電チャック機能を保持できるよ
うにしたウェハーホルダを提供することを目的とする。
上記目的を達成するために、本発明の電子ビーム露光装
置用ウェハーホルダは、絶縁物に板状又は線状の金属１
が埋め込まれたベース板２と、該ベース板上に載置した
ウェハー３を固定する押え板４と、前記板状又は線状の
金属１とウェハー３間に外部より電圧を印加するための
配線６．６′及び端子７，７′を具備した電子ビーム露
光装置用ウェハーホルダにおいて、上記ウェハーホルダ
内にコンデンサ９を内蔵させ、該コンデンサ９の両極を
それぞれ前記配線６．６′に接続したウェハーホルダで
ある。
置用ウェハーホルダは、絶縁物に板状又は線状の金属１
が埋め込まれたベース板２と、該ベース板上に載置した
ウェハー３を固定する押え板４と、前記板状又は線状の
金属１とウェハー３間に外部より電圧を印加するための
配線６．６′及び端子７，７′を具備した電子ビーム露
光装置用ウェハーホルダにおいて、上記ウェハーホルダ
内にコンデンサ９を内蔵させ、該コンデンサ９の両極を
それぞれ前記配線６．６′に接続したウェハーホルダで
ある。
ウェハーホルダにウェハー３をセットし、電源ケーブル
を接続すると、ウェハー３が静電吸着されると同時にコ
ンデンサ９が充電される。これによりホルダ移動のため
電源ケーブルを切り放しても、ベース板２の金属板又は
金属線１とウェハー３間にはコンデンサ９から電圧が印
加されるため、該コンデンサ９が放電し終るまでは静電
チャック機能を保持することができる。
を接続すると、ウェハー３が静電吸着されると同時にコ
ンデンサ９が充電される。これによりホルダ移動のため
電源ケーブルを切り放しても、ベース板２の金属板又は
金属線１とウェハー３間にはコンデンサ９から電圧が印
加されるため、該コンデンサ９が放電し終るまでは静電
チャック機能を保持することができる。
第１図は本発明の実施例を示す図であり、ａは平面図、
ｂはａ図のｂ−ｂ線における断面図である。
ｂはａ図のｂ−ｂ線における断面図である。
本実施例は同図に示すように、絶縁物製の板に板状又は
線状の金属１が埋め込まれたベース板２と、該ベース板
２上ににウェハー３を固定するための複数個のウェハー
押え板４と、該ウェハー押え板４をウェハー固定方向に
付勢するばね５と、前記ベース板に埋め込まれた金属１
とウェハー３間に外部から電圧を印加するための配線６
．６′及び端子７．７′と、ベース板２に設けられた金
属パターン８とを具備していることは第２図で説明した
従来例と同様であり、本実施例の要点は、配線６．６′
間にコンデンサ９を設けたことである。
線状の金属１が埋め込まれたベース板２と、該ベース板
２上ににウェハー３を固定するための複数個のウェハー
押え板４と、該ウェハー押え板４をウェハー固定方向に
付勢するばね５と、前記ベース板に埋め込まれた金属１
とウェハー３間に外部から電圧を印加するための配線６
．６′及び端子７．７′と、ベース板２に設けられた金
属パターン８とを具備していることは第２図で説明した
従来例と同様であり、本実施例の要点は、配線６．６′
間にコンデンサ９を設けたことである。
また、このコンデンサ９は、静電チャック面に発生する
Ｃ′と比べてｃ＞ｃ’でなければならない。
Ｃ′と比べてｃ＞ｃ’でなければならない。
ホルダーの材質をセラミックとした場合の例を示す。こ
の場合、セラミックの誘電率ε、＝８、真空の誘電率ε
ｏ ＝ ８．８５４Ｘ１０−” 〔Ｆ／ｍ：］、４”
ｉφウェハーの時の静電チャック面の面積をＳ［ｍ’〕
、コンデンサの厚さＤ＝ ３００ （Ｊ−３であるので
、静電チャック面に発生するＣ′の大きさは ｃ’ ＝ε。ε、Ｓ／Ｄ″＝、１．８５ Ｘｌ０−９Ｃ
Ｆ ］となる。
の場合、セラミックの誘電率ε、＝８、真空の誘電率ε
ｏ ＝ ８．８５４Ｘ１０−” 〔Ｆ／ｍ：］、４”
ｉφウェハーの時の静電チャック面の面積をＳ［ｍ’〕
、コンデンサの厚さＤ＝ ３００ （Ｊ−３であるので
、静電チャック面に発生するＣ′の大きさは ｃ’ ＝ε。ε、Ｓ／Ｄ″＝、１．８５ Ｘｌ０−９Ｃ
Ｆ ］となる。
従って、コンデンサ９はＣが１ケタ以上大きいもの、た
とえばｌＸｌ０−８Ｆ以上のコンデンサを用いるのが望
ましい。
とえばｌＸｌ０−８Ｆ以上のコンデンサを用いるのが望
ましい。
なお図においてコンデンサ９は押え板４の中に設けられ
ているが、ベース板２の中に設けても良い。
ているが、ベース板２の中に設けても良い。
このように構成された本実施例は、ベース板２上にウェ
ハー３を載置し押え板４で押え、且つ端子７，７′に電
源ケーブルを接続し、端子７にアースを、端子７′に高
電圧を印加することにより、コンデンサ９に充電すると
共にウェハー３の裏面全面を静電吸着しウェハー３の平
面を確保することができる。またウェハー３を載置した
まま移動するため端子７，７′から電源ケーブルを切り
放しても、充電されたコンデンサ９よりベース板の金属
１とウェハー３間に電圧を印加するため静電チャック機
能を保持することができる。
ハー３を載置し押え板４で押え、且つ端子７，７′に電
源ケーブルを接続し、端子７にアースを、端子７′に高
電圧を印加することにより、コンデンサ９に充電すると
共にウェハー３の裏面全面を静電吸着しウェハー３の平
面を確保することができる。またウェハー３を載置した
まま移動するため端子７，７′から電源ケーブルを切り
放しても、充電されたコンデンサ９よりベース板の金属
１とウェハー３間に電圧を印加するため静電チャック機
能を保持することができる。
プルを切り放してもコンデンサにより静電チャック機能
をある時間保持できるので、ウェハーを静電チャックし
て電子ビーム露光装置へ挿入するとき、電源ケーブルを
切り放して挿入できるので、電源ケーブルを傷つける恐
れは解消される。
をある時間保持できるので、ウェハーを静電チャックし
て電子ビーム露光装置へ挿入するとき、電源ケーブルを
切り放して挿入できるので、電源ケーブルを傷つける恐
れは解消される。
第１図は本発明の実施例を示す図、
第２図は従来の静電チャック方式のウェハーホルダを示
す図である。 図において、 １は板状又は線状の金属、２はベース板、３はウェハー
４は押え板、５はばね、
６，６′は配線、７．７′は端子、 ８は金属パ
ターン、９はコンデンサ を示す。 〔発明の効果〕 以上説明した様に、本発明によれば、電源ケー（Ｑ）平
面図 はね ａ図のｂ−ｂ’−ｂ’線 （ｂ）（ておける断面図 第１図 （ｂ）ａ図のｂ−ｂ線に おけるザコ図 従来の電子ビーム露光用ウェハーホルダを示す図８２図
す図である。 図において、 １は板状又は線状の金属、２はベース板、３はウェハー
４は押え板、５はばね、
６，６′は配線、７．７′は端子、 ８は金属パ
ターン、９はコンデンサ を示す。 〔発明の効果〕 以上説明した様に、本発明によれば、電源ケー（Ｑ）平
面図 はね ａ図のｂ−ｂ’−ｂ’線 （ｂ）（ておける断面図 第１図 （ｂ）ａ図のｂ−ｂ線に おけるザコ図 従来の電子ビーム露光用ウェハーホルダを示す図８２図
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、絶縁物に板状又は線状の金属（１）が埋め込まれた
ベース板（２）と、該ベース板上に載置したウェハー（
３）を固定する押え板（４）と、前記板状又は線状の金
属（１）とウェハー（３）間に外部より電圧を印加する
ための配線（６、６′）及び端子（７、７′）を具備し
た電子ビーム露光装置用ウェハーホルダにおいて、 上記ウェハーホルダ内にコンデンサ（９）を内蔵させ、
該コンデンサ（９）の両極をそれぞれ前記配線（６、６
′）に接続したことを特徴とする電子ビーム露光装置用
ウェハーホルダ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63165818A JP2574407B2 (ja) | 1988-07-05 | 1988-07-05 | 電子ビーム露光装置用ウェハーホルダ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63165818A JP2574407B2 (ja) | 1988-07-05 | 1988-07-05 | 電子ビーム露光装置用ウェハーホルダ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0216749A true JPH0216749A (ja) | 1990-01-19 |
| JP2574407B2 JP2574407B2 (ja) | 1997-01-22 |
Family
ID=15819579
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63165818A Expired - Lifetime JP2574407B2 (ja) | 1988-07-05 | 1988-07-05 | 電子ビーム露光装置用ウェハーホルダ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2574407B2 (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH02260647A (ja) * | 1989-03-31 | 1990-10-23 | Omron Tateisi Electron Co | 試料固定装置 |
| JP2002299426A (ja) * | 2001-03-29 | 2002-10-11 | Toto Ltd | 静電チャックユニット |
| WO2006123680A1 (ja) * | 2005-05-20 | 2006-11-23 | Tsukuba Seiko Ltd. | 静電保持装置及びそれを用いた静電ピンセット |
| JP2017501572A (ja) * | 2013-12-06 | 2017-01-12 | アプライド マテリアルズ インコーポレイテッドＡｐｐｌｉｅｄ Ｍａｔｅｒｉａｌｓ，Ｉｎｃｏｒｐｏｒａｔｅｄ | より小さいウエハおよびウエハ片向けのウエハキャリア |
| JP2018078174A (ja) * | 2016-11-08 | 2018-05-17 | 株式会社アルバック | 静電チャック付きトレイ |
-
1988
- 1988-07-05 JP JP63165818A patent/JP2574407B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH02260647A (ja) * | 1989-03-31 | 1990-10-23 | Omron Tateisi Electron Co | 試料固定装置 |
| JP2002299426A (ja) * | 2001-03-29 | 2002-10-11 | Toto Ltd | 静電チャックユニット |
| WO2006123680A1 (ja) * | 2005-05-20 | 2006-11-23 | Tsukuba Seiko Ltd. | 静電保持装置及びそれを用いた静電ピンセット |
| US7804675B2 (en) | 2005-05-20 | 2010-09-28 | Tsukuba Seiko Ltd. | Electrostatic holding apparatus and electrostatic tweezers using the same |
| JP2017501572A (ja) * | 2013-12-06 | 2017-01-12 | アプライド マテリアルズ インコーポレイテッドＡｐｐｌｉｅｄ Ｍａｔｅｒｉａｌｓ，Ｉｎｃｏｒｐｏｒａｔｅｄ | より小さいウエハおよびウエハ片向けのウエハキャリア |
| US10236201B2 (en) | 2013-12-06 | 2019-03-19 | Applied Materials, Inc. | Wafer carrier for smaller wafers and wafer pieces |
| JP2018078174A (ja) * | 2016-11-08 | 2018-05-17 | 株式会社アルバック | 静電チャック付きトレイ |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2574407B2 (ja) | 1997-01-22 |
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