JPH087704B2 - 高速タイミング発生器 - Google Patents

高速タイミング発生器

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JPH087704B2
JPH087704B2 JP3281632A JP28163291A JPH087704B2 JP H087704 B2 JPH087704 B2 JP H087704B2 JP 3281632 A JP3281632 A JP 3281632A JP 28163291 A JP28163291 A JP 28163291A JP H087704 B2 JPH087704 B2 JP H087704B2
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Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、タイミング発生器に関
する。
【0002】
【発明の背景】複数の局部発生器回路に送られるアドレ
ス・シーケンスを生成する高速パターン発生器を提供す
ることにより、自動試験装置において使用されるパター
ンを生成することは公知である。各局部発生器回路は、
高速局部メモリーと、1対のタイミング発生器、1対の
対応する補間器、高速フォーマッタおよび高速故障処理
装置を含む。タイミング発生器および補間器は、インタ
ーリーブ方式で動作し、1組のタイミング発生器/補間
器が全ての偶数サイクル情報を受取り生成し、他の組が
全ての奇数サイクル情報を受取り生成する。
【0003】
【発明の概要】パターン発生器回路に、高速アドレスを
生成する高速パターン発生器と、高速アドレスを複数の
低速アドレス・パターンに分割する分割回路と、低速ア
ドレス・パターンの比較的低い周波数で動作し比較的低
い周波数を生じる複数の信号発生器回路およびこの比較
的低い周波数パターンを用いて高い周波数信号を生じる
高速フォーマッタ回路を有する局部発生器回路と、局部
発生器回路に対し比較的低速のアドレス・パターンを生
じる複数の分配経路とを提供することが、信号が比較的
低い周波数で前記局部発生器回路へ分配できるタイミン
グ発生器を提供することが判った。
【0004】望ましい実施態様においては、この分割回
路は、比較的低速のアドレス・パターンを周期的に生
じ、この比較的低速のアドレス・パターンは高速アドレ
ス・パターンにより定まるシーケンスで提供され、そし
て(または)局部発生器回路は、比較的低い周波数で動
作して比較的低い周波数信号を高い周波数信号を生じる
高速フォーマッタへ与える複数の信号発生器回路を含
む。更に、望ましい実施態様においては、各信号発生器
回路は、低速のアドレス・パターンと関連する情報を受
取りタイミング発生器情報を生じるよう構成されたタイ
ミング発生器と、タイミング発生器情報を受取り低周波
信号を生じるよう構成された補間器回路とを含み、この
タイミング発生器情報は、補間器回路により生じるクロ
ックを用いて補間器回路へ与えることができる。
【0005】また、入力タイミング・データを受取り保
持するよう構成されたレジスタ回路と、タイミング発生
器から与えられた量だけタイミング・データを遅延させ
るよう構成されたパルス・スワロワー(swallow
er)回路と、パルス・スワロワー出力を受取り、この
パルス・スワロワー出力を受取る時にランプ出力を生じ
るよう構成されたランプ波回路と、入力タイミング・デ
ータおよびランプ出力を受取り、ランプ出力が入力タイ
ミング・データと等しい時出力データを生じるよう構成
された比較回路とを提供することで、入力タイミング・
データに基いて正確に調時された出力データを生じる補
間器回路を提供することも判った。
【0006】望ましい実施態様においては、入力タイミ
ング・データが1種の論理レベルを持ち、出力データが
別種の論理レベルを持ち、補間器回路は、該回路が適正
に作動しているかどうかを判定する際に使用できる出力
を生じる較正回路を含む。
【0007】また、それぞれがメモリー、加算回路およ
びエッジ・セレクタ回路を含む複数の周期(期間)発振
器を含む、周期情報を生じる回路を提供し、各メモリー
が周期アドレスを受取り対応する周期値を生じ、各加算
回路が発振器の配置されるメモリーから1つの周期値を
受取り、また別の発振器のメモリーからの少なくとも1
つの他の周期値を受取り、各エッジ・セレクタ回路が前
に識別したエッジから離れた整数個のエッジの基準クロ
ック信号のエッジを識別する信号を生じ、この整数は加
算出力の最上位部から決定されるようにすることによっ
て、多数の低速の並列データ経路を持つ高速自動試験シ
ステムと関連して使用することができる周期発振器回路
を提供すること、周期発振器回路が高価な高速の顧客が
注文集積回路の組込みを必要としないことも判った。
【0008】望ましい実施態様においては、周期発振器
回路は、2つの発振器からなる。各エッジ・セレクタ回
路は、加算出力の最上位部を受取り、対応数のクロック
・サイクルをカウントし、クロック・サイクル数をカウ
ント終了と同時に、クロックのエッジを識別する信号を
生じるように構成されたカウンタを含む。各発振器は、
カウンタにより識別されたクロックのエッジから残りの
時間を表わす残り信号を生じる残り時間回路を含み、こ
の残り時間は加算出力の最下位部および前の残り信号の
合計から定まる。各発振器は、周期値を受取って、発振
器自体のカウンタにより選択されるクロック・エッジに
より定まる時間で加算回路へ先入れ先出し方式で周期値
を出力するパイプライン間同期装置を含み、このパイプ
ライン間同期装置は、別の発振器のカウンタにより選択
されたクロック・エッジにより定まる時間で周期値を受
取る。
【0009】また、タイミング発生器およびフォーマッ
タを含むタイミング回路を提供し、このタイミング発生
器は該発生器がある動作の実行を調時するため使用する
基準時点を識別する信号と、動作の性質を特徴付けるデ
ータ信号とを受取り、タイミング発生器が第1の動作の
タイミング・スキュー特性を補償するため必要な基準点
からの時間的遅れ量を表わす第1の較正値か、あるいは
第2の動作のスキュー特性を補償するため必要な遅れ量
を表わす第2の較正値を選択し、タイミング発生器がデ
ータ信号の値の選択を基準として基準点とは対応するも
選択された較正値だけ遅れた時点を識別するタイミング
発生器出力を生じ、フォーマッタはタイミング発生器出
力を受取り、タイミング発生器出力において識別された
時点で動作を行うようにすることで、タイミング発生器
が都合よくかつ容易に使用する較正値を決定することが
できる回路を提供することも判った。
【0010】望ましい実施態様においては、周期信号
は、クロック信号のエッジを識別するエッジ選択信号
と、識別されたクロック・エッジからの残り時間を表わ
す残り時間信号とを含む。タイミング発生器は、周期信
号により識別される基準点からの時間的遅れを表わすタ
イミング信号を受取る。このタイミング発生器は、較正
値をタイミング値および残り時間値にディジタル的に加
算する。タイミング発生器出力により識別された時点
は、較正時間遅れのみではなくタイミング信号により表
わされる時間的遅れだけ基準点から遅れる。
【0011】添付図面は、構成ならびに動作が記載され
る望ましい実施態様を示す。
【0012】
【実施例】図1において、高速タイミング発生器システ
ム10は、パターン発生器回路12と、分配回路14
と、各々が8個の局部発生器回路16(0)〜16
(7)(全体的に照合番号16で示される)を含む複数
のチャンネル・カード15とを含んでいる。各局部発生
器回路16は、試験中のデバイス(DUT)21に対す
るノード入力20に1ビットを与える。
【0013】パターン発生器回路12は、122.07
03125MHzの周波数でアドレス・パターンを与え
る都合よく設計された高速パターン発生器30と、パタ
ーン発生器30により生じる高周波数パターンを受取
り、パターン発生器30により生じた高周波アドレス・
パターンの周波数の半分(即ち、61.0351562
5MHz、一般に60MHzと呼ぶ)であるAおよびBで
示される出力で、1対の低い周波数アドレス・パターン
を生じる分周回路32とを含む。パターン発生器回路1
2はまた、1対のサイクル初め(BOC)信号と、1対
の多重ビット周期残り信号とを分配回路14を介して局
部発生器回路16へ与える中央周期発振器34も含む。
【0014】分周回路32は、2つのモード選択入力、
即ちMODE SEL 1およびMODE SEL 2
により制御される。MODE SEL 1は、分周回路
32をしてアドレス・パターンを上記の如き2つの異な
るパターンに分割させる第1の値か、あるいは分周回路
32をして出力Aおよび出力Bの両方に単にパターン発
生器30により生じる同じ周波数パターンを生成させる
第2の値にセットすることができる。MODE SEL
1が第1の値にセットされると、パターン発生器回路
12は、図1に示したように2経路局部発生器回路16
を持つチャンネル・カード15と関連して使用すること
ができる。MODE SEL1が第2の値にセットされ
ると、同じパターン発生器回路12が、分周回路32の
A出力に接続された単一経路の局部発生器回路のみを持
つコストが比較的安いチャンネル・カードと関連して低
速システムの一部として使用することができる。
【0015】MODE SEL 2は、図1に示す如き
分周回路32をして1つのパターン発生器30からの1
つの高速入力を受取らせるため第1の値にセットするこ
とができ、あるいは分周回路32をして2つの低速パタ
ーン発生器(簡単にするため図1には示さない)により
与えられる2つの個々の経路上で2つの個々の低速入力
を受取らせるため第2の値にセットすることができる。
MODE SEL 2がこの第2の値にセットされる
と、MODE SEL 1もまたその第2の値にセット
されなければならず、これにより分周回路32をして、
出力AおよびBにアドレス・パターンの分割なしに、2
つのパターン発生器から受取った2つの個々の信号を生
じさせる。MODE SEL 2がその第2の値にセッ
トされるとタイミング発生器システム10は、試験中の
デバイス21の各ノード入力20に、与えられたチャン
ネル・カード15の各局部発生器回路16に対して与え
られるパターン発生器選択入力(PAT GEN SE
L)により選択される如き経路A上に与えられる信号か
あるいは経路B上に与えられる信号のいずれか一方によ
り決定される特性を持つ波形を生じる。
【0016】分配回路14は、1対の信号分配経路4
0、42を含む。信号分配経路40、42の各々は、複
数の局部発生器回路16に対して低周波アドレスならび
にBOC信号および残り周期信号を同時に提供する並列
多重ビット・バスを含む。
【0017】各局部発生器回路16は、1対の信号生成
回路50、52を含む。信号生成回路50は局部メモリ
ー54を含み、これはマルチプレクサ122を介して信
号分配経路40から情報を受取り情報をタイミング発生
器56へ与え、タイミング発生器56はこの情報を受取
り、補間器回路58へタイミング発生器出力を与える。
同様に、信号生成回路52は、信号分配経路42から情
報を受取る局部メモリー60と、局部メモリー60から
情報を受取るタイミング発生器62と、タイミング発生
器62から情報を受取る補間器回路64とを含む。簡単
にするため、ただ1つのタイミング発生器と1つの補間
器が各信号生成回路に示されるが、典型的には7つのタ
イミング発生器と補間器があり、1つの望ましい実施態
様においては、各信号生成回路に6つのタイミング発生
器と補間器がある。
【0018】補間器回路58および64は、信号を高速
フォーマッタ66に与える。フォーマッタ66は、タイ
ミング・パルスおよびデータを受取り、特定の時間にハ
イまたはローを表示する波形、ならびに特定の時間に駆
動即ち3状態の条件を表示する波形を生じる従来のエミ
ッタ接続論理(ECL)高速フォーマッタである。ドラ
イバ68は、ハイまたはローを示す信号を受取り、どの
3状態条件も補償し、ノード20に対して出力を与え、
この出力は特定の試験中のデバイス(DUT)21に対
して正しい電圧レベルを有する。
【0019】デュアル検出器70もまたノード20と接
続され、デュアル検出器70は出力を高速フォーマッタ
66へ与える。デュアル検出器70は、試験中のデバイ
ス(DUT)から受取った信号を高い値と比較するコン
パレータと、この信号を低い値と比較するコンパレータ
とを含む。高速フォーマッタ66はまた、1対の故障プ
ロセッサ72、74に接続される。
【0020】マルチプレクサ122は、両方の信号分配
経路40、42から情報を受取り、与えられたチャンネ
ル・カード15上の局部発生器回路16の各々の各マル
チプレクサ122に与えられるPAT GEN SEL
入力の状態に従って、1つの経路または他の経路から情
報を出力する。異なるPAT GEN SEL入力が異
なるチャンネル・カードへ与えられる。PAT GEN
SELは、分周回路32をして2つのパターン発生器
からアドレス・パターンを受取らせる分周回路32に対
するMODE SEL 2入力と関連して使用され、ま
た分周回路32をして、分割することなく、信号分配経
路40上を1つのパターン発生器からアドレス・パター
ンを、また信号分配経路42上を別のパターン発生器か
らアドレス・パターンを出力させるMODE SEL
1と関連して使用される。MODE SEL 1は、タ
イミング発生器62がタイミング・パルスを出力するこ
とを阻止し、フォーマッタ66に信号生成回路52から
受取った情報を無視させる。このため、PAT GEN
SELは、MODE SEL 1およびMODESE
L 2と関連して、与えられたチャンネル・カード15
が信号分配経路40上に与えられた情報により、あるい
は信号分配経路42上に与えられた情報により決定され
る特性を持つ波形を出力するかを選択する。
【0021】図2において、分配回路14の信号分配経
路40、42の各々は、それぞれ4つの並列経路を持つ
2つのアドレス/タイミング・ファンアウト回路80、
82を含む。経路40の各並列経路は、送信線アセンブ
リ・ケーブルを介してチャンネル・バス・ファンアウト
回路84と接続されている。経路42の各並列経路は、
送信線アセンブリ・ケーブルを介してチャンネル・バス
・ファンアウト回路86と接続されている。従って、全
てで8個のチャンネル・バス・ファンアウト回路があ
る。各対のチャンネル・バス・ファンアウト回路84、
86は、裏面のトレースを介して16個のチャンネル・
カードと接続されている。各チャンネル・カード15
は、各々1つの局部発生器回路16を持つ8個のチャン
ネルを含む。従って、分配回路14は、信号を512個
の局部発生器回路へ信号を分配し、このためシステム1
0は512の接続をDUTに提供する。
【0022】図3において、タイミング発生器56と補
間器回路58間の相互接続が示されている。タイミング
発生器56は、低周波(60MHz)CMOSレベルC
LK信号によりクロックされる内部制御ロジック90
と、その入力がCLK信号によりクロックされその出力
が低周波CLKOUT信号によりクロックされる先入れ
先出し(FIFO)回路92とを含む。CLKOUT信
号は、補間器回路58により生成される。FIFO回路
92は、制御ロジック90からDATA、TGRESI
DUEおよびMATCH入力を受取り、DATA、TG
RESIDUEおよびMATCH出力をタイミング発
生器56の出力として与える。TG RESIDUEは
PERIOD RESIDUE(周期残り)信号とは別
の信号であることに注意されたい。補間器回路58は、
高周波(240MHz)CLK×4信号によりクロック
され、補間器回路58は、タイミング発生器56から1
ビットDATA信号、10ビットTG RESIDUE
信号および1ビットMATCH信号、ならびに外部で生
成されるアナログ補間器較正入力(FS CAL)およ
び調整可能入力(ADJ EN)を受取る。補間器回路
58は、CMOSレベルDATA、TG RESIDU
EおよびMATCH信号を用いて、正確に遅延されたE
CLパルス・アウト(TG OUT)、正確に調時され
たパルス・アウトと略々同じ量だけ遅れECLレベルを
持つディジタル・データの1ビット(DATA OU
T)およびアナログ試験出力(DAC OUT)を生じ
る。
【0023】図4において、補間器回路58はバイポー
ラ集積回路として作られ、レジスタ回路100、イネー
ブル回路102、パルス・スワロワー回路104、分割
回路106、遅延回路108、較正回路110、同期回
路112、ランプ回路114、比較回路116、および
出力回路118を含んでいる。
【0024】レジスタ回路100は、タイミング発生器
56からCMOSレベルDATAIN信号を受取りEC
LレベルDATA QA信号をLATCH 1に与える
フリップフロップFF1と、タイミング発生器56から
CMOSレベルTG RESIDUE信号の8つのビッ
ト(ビット0〜7)を受取り8つのビットECLレベル
TGR QA信号をLATCH 2へ与えるフリップフ
ロップFF2と、タイミング発生器56からTG RE
SIDUE信号の残りの2ビットを受取り2ビットTG
R QAをパルス・スワロワー回路104へ与えるフリ
ップフロップFF3とを含む。
【0025】イネーブル回路102は、フリップフロッ
プFF4およびFF5を含む。FF4は、CMOSレベ
ルTG MATCH入力を受取り、動作可能化(EN
B)信号を与えるECLレベルTGMQ信号を生じる。
【0026】パルス・スワロワー回路104は、レジス
タ回路100のFF3から2ビットのTGR QA信号
を、またイネーブル回路102のFF5からENB信号
を受取る。DEC1は、4つの出力信号(PS0、PS
1、PS2およびPS3)を生じる。PS3はDフリッ
プフロップFF8に与えられ、その出力Q3はORゲー
トOR1へ与えられる。OR1はまた、PS2信号を受
取り、入力D2をDフリップフロップFF9に与え、そ
の出力はORゲートOR2へ与えられる。OR2はま
た、PS1信号を受取り、入力D1をDフリップフロッ
プFF10へ与え、その出力はORゲートOR3へ与え
られる。OR3もまたPS0信号を受取り、入力D0を
DフリップフロップFF11へ与える。FF11は、入
力をDフリップフロップFF12、ならびに同期回路1
12のフリップフロップFF6およびフリップフロップ
FF7のクロック入力へ与える。FF12の出力は、差
動ORNORゲートORNOR1、ならびに同期回路1
12のフリップフロップFF14のクロック入力へ与え
られる。
【0027】ORNOR1は、アクティブなハイ信号お
よびアクティブなロー信号を完全差動Dフリップフロッ
プFF13に与える。FF13は、差の信号TRIGお
よびTRIG*をランプ回路114へ与える。TRIG
信号はまた、ORNOR1の他の入力として与えられ、
また等しいローディングのため、TRIG*信号はOR
4に対する入力として与えられる。ランプ回路114の
出力は、比較回路116のコンパレータCOMP1に対
する負の入力に接続される。
【0028】分割回路106は、フリップフロップFF
15およびFF16と、排他的ORゲートXOR1を含
む。FF15およびFF16は、Dフリップフロップと
して構成され、バッファBUF2により緩衝されるCL
KX4によりクロックされる。FF15のQ出力はXO
R1へ与えられ、それに対してFF16のQ出力もまた
与えられる。FF16のQ'出力は、レベル・シフタ1
20によりシフトされて、CLKOUT*信号を与え、
これはタイミング発生器56へフィードバックされる。
FF16のQ出力は、遅延回路108のフリップフロッ
プFF17を通って送られ、レジスタ回路100のフリ
ップフロップFF1〜4に対するクロックCLKAを生
じる。
【0029】較正回路110はLATCH3を含み、こ
れは8ビットのTG RESIDUE0〜7入力および
調整可能(ADJ EN)入力を受取り、8ビットのデ
ィジタル/アナログ・コンバータDAC2に8ビットA
DJ出力信号を与え、これがアナログFS CAL出力
を生じる。FS CAL信号は補間器回路58の出力で
あり、これもDAC1のGAINADJ入力へ与えられ
る。DAC2はまた、2対1アナログ・マルチプレクサ
MUX1と接続される相補出力(IOUT 1)を生じ
る。
【0030】同期回路112はDフリップフロップFF
6を含み、これはLATCH1からDATA QB信号
を受取るDフリップフロップFF6と、LATCH2か
ら8ビットのTGR QB信号を受取るDフリップフロ
ップFF7とを含む。FF6は、DATA QD出力信
号を与えるDフリップフロップFF14に対してDAT
A QC入力を与える。FF7は、8ビットTGR Q
C出力信号を比較回路116へ与える。
【0031】比較回路116は、8ビットディジタル−
アナログ・コンバータ(DAC1)を含み、これが同期
回路112のFF7から8ビットTGR QCを受取
る。DAC1は、電流出力(IOUT)を電流−電圧コ
ンバータAR1へ、また相補電流出力(IOUT*)を
2対1アナログ・マルチプレクサMUX1へ与える。I
OUTは、COMP1の正の入力と接続されている。C
OMP1は、出力回路118のワンショットONESH
1およびFF13のリセット入力へ与えられる。
【0032】出力回路118は、アナログDAC OU
T信号を与えるMUX1、ECLDATA OUT信号
を与える遅延線DELAY1、および差のECLTGO
UTおよびTG OUT*信号を与えるONESH1を
含む。
【0033】図1のタイミング発生器回路に示される周
期発生器回路を説明する前に、まず多重並列データ経路
のないタイミング発生器システムにおいて使用されるよ
う設計された公知の周期発生器回路について述べること
は有益である。図5によれば、周期発生器回路200に
おいて、256×18ビットのランダム・アクセス・メ
モリー202が8ビットの周期アドレスを受取り、18
ビットの周期値を生じる。加算器204は、18ビット
周期値を1つの入力として受取り、加算器204の出力
を受取るレジスタ206の出力の9つの最下位ビットを
別の入力として受取る。16.384ナノ秒(クロック
208の周期)の分解能を持つレジスタ206の出力の
9つの最上位ビットは、周期値のディジタル部分を表わ
す。32ピコ秒(16,384ピコ秒/29)の分解能
を持つレジスタ206の出力の9つの最下位ビットは、
周期値のアナログ部を表わす。
【0034】サイクル初期ダウン・カウンタ210は、
レジスタ206の出力の9つの最上位ビットを受取り、
9つの入力ビットにより規定されるクロック208の上
方エッジの数をカウント・ダウンする9ビット出力を生
じる。一致検出器212は、サイクルの初期ダウン・カ
ウンタ210の出力を受取り、サイクルの初期ダウン・
カウンタ210の出力が1または0である時のみハイと
なる出力を生じる。一致検出器212の出力は、サイク
ルの初期ダウン・カウンタ210に対するプリセット入
力として受取られる。サイクルの初期ダウン・カウンタ
は、プリセット入力がハイである間クロック208の出
力がハイになる時に常にレジスタ206からの9つの入
力ビットをロードし、出力がクロック208の上方エッ
ジをカウント・ダウンする。
【0035】一致検出器212の出力はフリップフロッ
プ214により受取られ、このフリップフロップはクロ
ック208の上方エッジによりクロックされかつサイク
ルの初め(BOC)信号を出力として生じる。一致検出
器212の出力は、ワンショット216により受取ら
れ、これはクロック208の出力によりクロックされ
る。ワンショット216の出力は、一致検出器212の
出力がハイである間クロック208の出力がハイになる
時に常にハイになる。ワンショット216の出力は、約
8ナノ秒間(クロック208の周期の半分)ハイの状態
を維持する。ワンショット216の出力は、レジスタ2
06、レジスタ206の出力の9つの最下位ビットを受
取るレジスタ218、およびレジスタ218の出力を受
取りかつPERIOD RESIDUE信号を出力とし
て生じるレジスタ220をクロックする。ワンショット
216の出力はまた、ランダム・アクセス・メモリー2
02により受取られる8ビットの周期アドレスを生じる
パターン発生器をクロックする。
【0036】図6において、BOCはクロックのどの上
方エッジが試験中のデバイス(DUT)に対するサイク
ルの初めに対する基準マークとして使用されるかを示
す。タイミング図における縦線は選択されたクロック・
エッジを表わす。1サイクルは、BOCがハイである間
に生じるクロックの各上方エッジで始まり、このサイク
ルはPERIOD RESIDUE信号により表わされ
る時間の残量だけ遅れる。タイミング発生器は、BOC
およびPERIOD RESIDUEの両信号を受取
り、このタイミング発生器と接続された補間器回路は出
力として信号TGOUTを生じ、この信号は簡単にする
目的から各サイクルの初めにハイとなるように示され
る。TG OUTがハイになる時点は、実際には、タイ
ミング発生器にプログラムされる時間量だけ遅らされ、
時間量は各サイクルに従って変化する。別の実施態様に
おいては、タイミング発生器の各対は、BOCおよびP
ERIOD RESIDUEの両方を受取り、インター
リーブされた状態で動作し、各タイミング発生器は1対
の補間器回路の一方と接続され、一方の補間器回路が全
て偶数サイクル情報を生じ、他方の補間器回路が全て奇
数サイクル情報を生じる。試験中のデバイス(DUT)
に与えられる波形のサイクル境界は、PERIOD R
ESIDUE信号の32ピコ秒の分解能にプログラムす
ることができる。各バーストが始まる前に、周期発生器
が32.768ナノ秒(2クロック周期)のデフォール
ト周期を生じさせることに注意。これらのデフォールト
周期は、試験中のデバイス(DUT)に影響を及ぼさな
い。
【0037】図7においては図5のそれと類似する構成
要素は図5の番号にサフィックスAおよびBを付し、本
発明による発振器34は、図1の高速タイミング発生器
システムと関連して使用されるように設計され、これは
多数の低速並列データ経路を有する。発振器34は高価
な高速の顧客注文集積回路の使用を必要としないが、こ
れは発振器自体が2つの低速の周期発振器AおよびBに
分割される故である。周期発振器Aは、周期データの各
バーストのサイクル0、2、4、6、、、でBOC A
およびPERIOD RESIDUE A信号を生じる
が、周期発振器Bは各バーストのサイクル1、3、5、
7、、、にBOC BおよびPERIOD RESID
UE B信号を生じる。サイクル2の初めを規定するB
OCおよびPERIOD RESIDUE信号は、サイ
クル0および1の周期値の和によって決定され、サイク
ル3の初めを規定するBOCおよびPERIOD RE
SIDUE信号は、サイクル1および2の周期値の和に
より決定される、、、如きである。
【0038】周期発振器は、同じ周期値を含むランダム
・アクセス・メモリー202Aおよび202Bを含む。
ランダム・アクセス・メモリー202Aは、分周回路3
2(図1)の出力Aにより生じる周期アドレスによりア
ドレス指定される。ランダム・アクセス・メモリー20
2Bは、分周回路32の出力Bにより与えられる周期ア
ドレスによりアドレス指定される。
【0039】各発振器内の加算器222AおよびBは、
発振器自体のランダム・アクセス・メモリーから周期値
を受取り、他の発振器のランダム・アクセス・メモリー
から実行されつつあるバーストにおける一連の周期値に
おける次の周期値を受取らなければならない。しかし、
周期発振器AおよびBがそれぞれワンショット216A
および216Bからの異なるクロック信号によりクロッ
クされること、およびこれらのクロック信号が時に同時
に生じることに注意されたい。それにも拘わらず、先入
れ先出しパイプライン間同期回路224Aおよび224
Bが、レジスタ226A、228A、230A、226
B、228Bおよび230Bと関連して、正しい入力が
常に加算器222Aおよび222Bに存在することを保
証する。先入れ先出しパイプライン間同期回路224B
は、ワンショット216Aの出力がハイになる時周期値
をクロック・インし、ワンショット216Aが次にハイ
になった直後にワンショット216Bの出力がハイにな
る時周期値をクロック・アウトする。ある場合には、周
期値がクロック・インした後3サイクル、クロック・ア
ウトされる限り、先入れ先出しパイプライン間同期回路
224Bは、ワンショット216Aが次にハイになると
同時にワンショット216Bの出力がハイになる時に周
期値をクロック・アウトする。従って、実際には、先入
れ先出しパイプライン間同期回路224Bは、周期発振
器Aからの周期値を、レジスタ226B、228Bおよ
び230Bが周期発振器Bからの周期値遅れる時間量よ
り1サイクルだけ遅らせる。
【0040】同様に、先入れ先出しパイプライン間同期
回路224Aは、ワンショット216Bの出力がハイに
なる時周期値をクロック・インし、ワンショット216
Bが次にハイになった直後にワンショット216Aの出
力がハイになる時周期値をクロック・アウトする。ある
場合には、周期値がクロック・インされた後3サイクル
ク、ロック・インされる限り、ワンショット216Bが
次にハイになったと同時にワンショット216Aの出力
がハイになる時、先入れ先出しパイプライン間同期回路
224Aが周期値をクロック・アウトする。先入れ先出
しパイプライン間同期回路224Aおよび224Bは、
ランダム・アクセス・メモリー202Aおよび202B
に和を予め格納することを必要とせずに、発振器Aおよ
びBが瞬時に和を計算することを可能にする。その結
果、発振器34は、パターン・シーケンス、従って周期
値シーケンスが試験中のデバイス(DUT)の応答によ
り変化し得る自動試験システムにおいて使用することが
できる。
【0041】先入れ先出しパイプライン間同期回路22
4Aおよび224Bは、周期発振器AおよびBが2つの
独立的な発振器として動作することを可能にするため、
パイプライン間同期装置の出力における値をゼロに強制
するため使用できるモード選択入力を受取る。周期発振
器AおよびBの各々は、独立的な発振器として動作する
時、発振器回路全体が1つの発振器として動作する時こ
の回路全体の動作の最大周波数の半分である最大周波数
で動作する。モード選択入力は、パターン発生器回路1
2(図1)が分周回路32の出力Aおよび発振器回路3
4のBOC AおよびRESIDUE A出力に接続さ
れた唯一の経路の局部発生器回路を持つチャンネル・カ
ードと関連して使用することを可能にするため、分周回
路32(図1)に対するMODE SEL 1入力と関
連して使用される。あるいはまた、このモード選択入力
は、高速タイミング発生器システム全体が2つのパター
ン発生器と共に動作することを、また、試験中のデバイ
スの各ノード入力に各局部発生器に対するパターン発生
器選択入力により決定される如き経路A上に与えられた
信号または経路B上に与えられた信号のいずれか一方か
ら結果として生じる波形を生じることを可能にするた
め、分周回路32に対するMODESEL2入力と関連
して使用される。
【0042】レジスタ232Aは、加算器222Aおよ
び204Aの間に設けられ、レジスタ232Bは加算器
222Bと204Bの間に設けられる。これらレジスタ
は、レジスタが存在しなければ必要となる速度の半分で
動作する加算器の使用を可能にする。
【0043】マルチプレクサ234Aおよび234B
は、ランダム・アクセス・メモリー202Aおよび20
2Bにより提供される周期値を受取り、0の周期値と1
6.384ナノ秒(1クロック・サイクル)のデフォー
ルト周期値とを受取る。マルチプレクサ234Aおよび
234Bは、パターン発生器からのランク可能化信号R
E AおよびRE Bにより、またデフォールト回路2
36からのFORCEZERO AおよびFORCE
ZERO Bによってアドレス指定される。マルチプレ
クサ234Aおよび234Bの出力は、レジスタ226
Aおよび226Bとそれぞれ接続され、またパイプライ
ン間同期回路224Aおよび224Bとそれぞれ接続さ
れる。デフォールト回路236はまた、加算器の出力を
ゼロに強制する加算器204Aおよび204Bに対する
入力と、一致検出器の出力をハイに強制する一致検出器
212Aおよび212Bに対する入力とを提供する。自
動試験システムの作動中の周期値の各バーストの前に、
デフォールト回路236が以下に述べる方法でマルチプ
レクサ234Aおよび234Bを介して発振器Aおよび
Bをリセットして同期させる。
【0044】発振器AおよびBの残りの構成要素は、図
5の回路に示される構成要素と類似している。
【0045】図8において、BOC AおよびBOC
Bは、試験中のデバイス(DUT)に対するクロックの
どの上方エッジがそれぞれ偶数および奇数サイクルの初
めに対する基準マークとして使用されるかを示す。サイ
クル3の初めに対する基準マークとして働くクロック信
号がサイクル4の初めに対する基準マークとしても働く
ことに注意されたい。与えられた局部発生器回路16
(図1)の内部では、1つのタイミング発生器がBOC
AおよびPERIOD RESIDUE Aの両方を
受取り、関連する補間回路が出力として信号TG OU
T Aを生じ、これは簡単にするため各Aサイクルの初
めにハイとなるように示されている。別のタイミング発
生器は、BOC BおよびPERIOD RESIDU
E Bを受取り、関連する補間回路が出力として信号T
G OUT Bを生じる。試験中のデバイス(DUT)
に与えられる波形は、TG OUT AまたはTG O
UTBのいずれか一方がハイにあんる時点に依存する。
各バーストが開始する前に、周期発振器の各々が32.
768ナノ秒(2クロック周期)のデフォールト周期を
実行する。その結果、発振器回路は全体として16.3
84ナノ秒のデフォールト周期を実行する。これらのデ
フォールト周期は、試験中のデバイス(DUT)に対し
て影響を及ぼすことはない。
【0046】動作 図1において、パターン発生器30は120MHzの周
波数でアドレス・パターンを生じる。この情報は、12
0MHzのアドレス・パターンを受取り分配回路14の
信号分配経路40、42に対してそれぞれ2つの半分の
速度(即ち、60MHz)のアドレス・パターンを与え
る。この半速度のアドレス・パターンは、分周回路32
により信号分配経路40、42に対して周期的に交互に
与えられ、このため、分周回路32はオルタネータとし
て機能する。パターンが局部発生器回路16に対して送
られる前に分周されるため、信号分配経路40、42は
単に120MHzの周波数を持つ信号ではなく60MHz
の周波数を持つ信号を送るのに適当なものであればよ
い。
【0047】高速タイミング発生器システム10は、実
際にはノード20に100MHzの信号を与え、パター
ン発生器30は120MHz信号を与えて補間器回路5
8、64のデッド・タイム(即ち、補間器回路58が新
しいエッジを生じるのに要する時間量)プラス立ち上が
りおよび立ち下がり較正値を補償する。補間器回路5
8、64は、16.384ナノ秒毎に再動作でき、従っ
て、発生器10は100MHz発生器10における立ち
上がりおよび立ち下がり較正値間に3.616ナノ秒の
最大差が見込まれる。
【0048】パワーアップ時と各パターン・バーストの
初めの直前に、システム10は再同期される。特に、分
周回路32は、パワーアップ時ならびに再同期される
時、分周回路32により与えられる最初の信号がAで示
される出力に与えられ、信号経路40上に送出される。
特定のDUTに対しては、システム10が再同期される
10乃至200のパターン・バーストがあり得る。周期
発振回路34は、システムの残部が再同期されると同時
に、以下に述べるように再同期される。
【0049】分配回路14は、分周回路32により生成
される2つの半速度のアドレス・パターンを512チャ
ンネルに与える。各チャンネルは、図1に示される如き
1つの局部発生器回路16を含む。
【0050】図1および図3において、局部メモリー5
4が半速度のアドレス・パターンを受取り、メモリー5
4内のルック・アップ・テーブルを用いて、データをタ
イミング発生器56へ送る。このデータは、タイミング
値(TIMING)およびデータ値(DATA)を含
む。タイミング発生器56はまた、2つのサイクルの初
め(BOC)信号の1つ、および中央周期発振器34か
らの2つのPERIODRESIDUE(周期残り)信
号の1つを受取る。内部制御ロジック90における各タ
イミング発生器は、BOC、PERIOD RESID
UE、TIMINGおよびDATAを用いて、補間器回
路58へ送られるべきTG RESIDUEおよびMA
TCH信号を生じる。TG RESIDUEおよびMA
TCH信号は、TG RESIDUEおよびMATCH
がタイミング値(TIMING)により表わされる時間
量だけサイクルの初めからの遅れる時点、および2つの
較正値のいずれか一方により更に遅れる時点を定義する
ことを除いて、PERIOD RESIDUEおよびB
OCと類似する。内部制御ロジック90は、較正値の選
定をDATA値に基づいて行っている。
【0051】与えられたタイミング発生器においては、
TG RESIDUEおよびMATCHは、(1)フォー
マッタ66が試験中のデバイス(DUT)に与えられる
波形における過渡(遷移)状態を生じる時点、(2)フォ
ーマッタ66がドライバ68に対して試験中のデバイス
(DUT)に対する波形の印加を始めるか終了するかを
表示する時点、(3)デュアル検出器70の出力がラッチ
される時点、あるいは(4)ピンの多重化(マルチプレッ
クス)が生じるべき時点のいずれかを表わす。これに対
応して、DATA値は、(1)波形における過渡状態の結
果として波形がハイになるかあるいはローになるか、
(2)フォーマッタ66がドライバ68に対して試験中の
デバイス(DUT)に対する波形の印加を始めるか終了
するかを表示するか、あるいは(3)試験中のデバイス
(DUT)からの信号がハイまたはローのいずれに予期
されるか、を表わす。4番目の場合には、DATAは使
用されない。
【0052】もしDATAが、波形の過渡状態の結果と
して波形がハイになるかローになるかを表わすならば、
タイミング発生器56の内部制御ロジック90は、立ち
上がり遷移のゆえにDUTに加えられる波形におけるス
キューを補償するため必要な時間量と対応する「立ち上
がり」較正値と、立ち下がり遷移による波形におけるス
キューの補償に必要な時間量と対応する「立ち下がり」
較正値との間で選択しなければならない。内部制御ロジ
ック90は、データ値「DATA」を観察することによ
り、「立ち上がり」較正値または「立ち下がり」較正値
のいずれか一方を選択する。もしDATAが波形におけ
る遷移が仮に生じて結果として波形がハイの値になるこ
とを示すならば、この遷移が立ち上がり遷移によるスキ
ューを生じることが推定できる。同様に、もしDATA
が波形における遷移が仮にあって結果として波形がロー
の値になるならば、この遷移が立ち下がり遷移によるス
キューを生じることが仮定できる。このように、DAT
A値を観察することにより、内部制御ロジック90は容
易かつ便利にどの較正値を使用するかを判定することが
できる。もし波形が既にハイの値(あるいは、ローの
値)であり、またDATAがある時点における「過渡状
態」が波形をハイの値(あるいは、ローの値)のままに
維持するならば、実際には過渡状態は生じないことに注
意されたい。較正値は、参考のため本文に引用される1
987年2月9日出願のG.W.ConnerのTer
adyne社に譲渡され現在放棄された、米国特許出願
第07/012,815号「タイミング発生器(Tim
ing Generator)」に記載される如く、内
部制御ロジック90の内部の加算回路によって計数的に
タイミング値および残り周期値に加えられる。
【0053】同様に、もしDATAが、フォーマッタ6
6がドライバ68に対して試験中のデバイス(DUT)
に対する波形の印加を始めるかあるいは終了するかを表
わすならば、タイミング発生器56の内部制御ロジック
90は、フォーマッタ66がドライバ68に対して波形
の印加を開始する故にDUTに加えられる波形のスキュ
ーを補償するため必要な時間量と対応する「オン」の較
正値、あるいはフォーマッタ66がドライバ68に対す
る波形の印加を終了する故の波形におけるスキューを補
償するため必要な時間量と対応する「オフ」の較正値の
いずれかを選択しなければならない。もしDATAが試
験中のデバイス(DUT)からの信号がハイあるいはロ
ーのいずれに予期されるかを表わすならば、タイミング
発生器56の内部制御ロジック90は、試験中のデバイ
ス(DUT)から受取った信号がハイになることを予期
することにより生じる波形の歪みを補償するため必要な
時間量と対応する「ハイ」の較正値と、試験中のデバイ
ス(DUT)から受取った信号がローになることを予期
することにより生じる波形の歪みを補償するため必要な
時間量と対応する「ロー」の較正値とから選択しなけれ
ばならない。
【0054】レジスタ92は、DATA、TG RES
IDUEおよびMATCHを補間器回路58に同期させ
るため使用され、これはこれらの信号が前記ロジック9
0もまた使用するCLKを用いてレジスタ92に格納さ
れ、補間器58により生成されるCLKOUTを用いて
補間器58へ与えられるためである。補間器回路58
は、240MHzのCLKX4信号を4で除すことによ
りCLKOUTを生じ、この分割された信号もまた、補
間器回路58の内部的にクロックを生じる部分に対して
使用される。図4において、分割回路106は、遅延回
路108と関連して、補間器回路58に対する自由動作
クロックとして機能する。遅延回路108は、1周期
(約4ナノ秒)だけ遅れるクロックを補間器回路58の
内部回路へ与える。
【0055】動作において、TG MATCHがローで
ある限り、ローのTG MATCHがイネーブル回路1
02のENBをローにするので、補間器回路58は不動
作状態となる。ENBがローである時、DEC 1は全
てのロー出力を生じ、LATCH 1およびLATCH
2はその前の状態のままである。
【0056】TG MATCHがハイになる時、イネー
ブル回路102はワンショットとして機能して4.09
6ナノ秒パルスを生じる。特に、TG MATCHがハ
イになると、TGMQがFF17からの次のクロックと
同時にハイになる。TGMQがハイならば、FF17か
らのクロック周波数の4倍でクロック動作するBUF2
からの次のクロックがENBをハイにさせる。ENBが
ハイになると、LATCH 1、LATCH 2および
DEC 1は可能状態になり、FF4がリセットされて
TGMQをローにさせ、これが次のクロック・サイクル
でENBをローにさせる。LATCH 1、LATCH
2およびDEC 1が可能状態にあると、データはF
F1、FF2およびFF3からLATCH 1、LAT
CH 2およびDEC 1へそれぞれ転送される。この
データは、TG MATCHが再びハイになるまでその
ままである。
【0057】可能化信号ENBがハイになると、パルス
・スワロワー回路104がTG RESIDUEの2つ
の最上位ビットを受取る。更に、これらのビットはDE
C1に対する入力を生じる。DEC 1は、TGR8
QAおよびTGR9 QAの値に応じて線PS0〜3の
1つにハイの出力を生じる。パルス・スワロワー回路1
04は、0〜12.288ナノ秒の遅れを生じ、これに
よりランプ回路114が0乃至16.368ナノ秒では
なく、0乃至4.080ナノ秒間でランプを生じるため
にのみ要求されることを許容する。更に、もしTGR8
QAおよびTGR9 QAの両者がローならば、PS
0はハイとなりPS1〜3はローとなる。このため、ハ
イは単に、ORNOR1に達する前に2つのフリップフ
ロップ(FF11およびFF12)を通ってクロックさ
れるのみでよい。反対に、もしTGR8 QAおよびT
GR9 QAの両方がハイならば、PS3はハイとなり
PS0〜2はローとなる。このように、ハイは、ORN
OR1に達する前に5つのフリップフロップ(FF8〜
12)を通ってクロックされる。別の3つのフリップフ
ロップは、更に12ナノ秒の遅れを生じる。
【0058】ハイがパルス・スワロワー回路104のF
F11の出力として生じるならば、同期回路112のフ
リップフロップFF6およびFF7がクロックされ、こ
れによりDATA QC出力をFF14へ与え、TG
RESIDUEの8つの最下位ビットをディジタル−ア
ナログ・コンバータDAC1へ与える。DAC1はアナ
ログ出力を生じ、これは電圧に変換されてCOMP1の
「+」入力側へ与えられる。この入力は、FF7が次に
クロックされるまで一定の状態を維持する。
【0059】ハイがパルス・スワロワー回路104のF
F12の出力として与えられるならば、同期回路112
のフリップフロップFF14がクロックされ、完全差動
フリップフロップFF13はハイの状態が与えられる。
FF14の出力は、DELAY 1によりTG OUT
およびTG OUT*のそれと略々同じに遅らされる。
BUF2からの次のエッジにおいて、FF13はランプ
回路INT1のランプ動作を開始させるエッジを生じ
る。このランプ動作信号は、これが電流−電圧コンバー
タAR1からの電圧と等しくなるまで継続する。この
時、差のエッジがCOMP1により与えられ、これがO
NESH1に正確に調時された差のパルスを生じさせ
る。
【0060】TG OUTおよびDATA OUTを生
じることに加えて、補間器回路58は、内部の較正回路
110を用いて較正することができる。更に、調整可能
化入力ADJ ENがハイである時、LATCH 3が
可能状態になり、TG RESIDUEの8つの最下位
ビットがDAC 2に与えられる。DAC2は、この情
報を用いてDAC1の利得を調整する。DAC1の利得
はまたFSCALにより調整することができ、これによ
りこの利得を外部で調整することを可能にする。ADJ
ENはまた、MUX1にDAC1のIOUT相補出力
をアナログDAC OUT出力として与えさせる。従っ
て、DAC1の出力は、既知の信号がこれに与えられる
時測定することができる。
【0061】図7および図8において、周期発振回路3
4では、周期情報の各バースト前に、デフォールト回路
236が周期発振器AおよびBをリセットし、そして同
期させる。デフォールト回路は、マルチプレクサ234
Aおよび234BをFORCE ZERO AおよびF
ORCE ZERO Bによりアドレス指定することに
よりゼロの周期値を両方の発振器へ与え、これがマルチ
プレクサにゼロの周期値を出力させる。サイクルの初期
減算カウンタ210の出力が1または0である時にのみ
一致検出器212Aおよび212Bがハイである信号を
生じるように構成されるため、BOC AおよびBOC
B信号は、周期値がゼロである限りハイに止められ
る。その結果、一旦ゼロの周期値がパイプラインを通し
てクロックされると、発振器AおよびBの双方は各クロ
ック・サイクル毎にクロックされる。ゼロの周期値を周
期発振器へ与えさせるためにデフォールト回路236が
マルチプレクサ234Aおよび234Bをアドレス指定
すると同時に、デフォールト回路236もまた加算器2
04Aおよび204Bの出力をゼロに強制することによ
りPERIOD RESIDUEフィードバック・ルー
プをクリヤし、また一致検出器212Aおよび212B
をハイに強制することによりBOCAおよびBOC B
をハイに強制する。加算器の出力はゼロに保持され、一
致検出器の出力は、ゼロの周期値がパイプラインを流れ
ることを可能にするに充分な時間量だけハイに保持され
る。一旦ゼロの周期値がパイプラインを通って送られる
と、加算器はもはやゼロに強制されず、一旦検出器の出
力はもはやハイに強制されない。
【0062】その時、デフォールト回路236はFOR
CE ZERO Bの状態を変化させ、これがマルチプ
レクサ234Bに1クロック・サイクルのデフォールト
周期を出力させる。このクロック・サイクルと同時に、
マルチプレクサ234Aは依然としてゼロの周期を出力
する。次のクロック・サイクルにおいて、デフォールト
回路236はFORCE ZERO Aの状態を変化さ
せる。このため、このクロック・サイクルと同時に、か
つバーストが開始するまで後続のクロック・サイクル毎
に、デフォールト回路236は両方のマルチプレクサ2
34Aおよび234Bを、両マルチプレクサがデフォー
ルト周期を出力するようにアドレス指定する。
【0063】サイクルの初期減算カウンタ210Aが受
取る最初の非ゼロ周期はデフォールト周期値であるが、
サイクルの初期減算カウンタ210Bが受取る最初の非
ゼロ周期値はこのデフォールト周期の2倍であることが
判るであろう。サイクルの初期減算カウンタ210Aお
よび210Bは、これらの最初の非ゼロ周期値を同じク
ロック・サイクルにおいて受取る。バーストの開始以前
に周期発振器AおよびBの全ての後続サイクル時に、サ
イクルの初期減算カウンタ210Aおよび210Bの各
々がデフォールト周期の2倍の周期値を受取り、周期発
振器AおよびBは交互のクロック・サイクルにおいてク
ロックされる。最初のデフォールト周期を発振器Aに与
えるよりも、この最初のデフォールト周期を発振器Bに
与えることが必要であるが、これはもし最初のデフォー
ルト周期が仮に発振器Aに与えられたならば、リセット
後に最初の同時のBOC AおよびBOC BをAサイ
クルおよびBサイクルとマークするものとして解釈する
ように設計される高速データ分配システムの残部が、発
振器回路の出力を2つのBサイクルを1つの行に含むも
のと解釈するおそれがあるためである。
【0064】バーストが開始すると、ランク可能化A
(RE A)信号がマルチプレクサ234Aに与えら
れ、同時に、パターン発生器がワンショット216Aの
出力によりクロックされる時、最初の周期アドレスがラ
ンダム・アクセス・メモリー202Aに与えられる。次
いで、ランク可能化B(RE B)信号がマルチプレク
サ234Bへ与えられ、同時に、パターン発生器がワン
ショット216Bの出力によりクロックされる時、ラン
ダム・アクセス・メモリー202Bに与えられる。ラン
ク可能化信号は、マルチプレクサをしてランダム・アク
セス・メモリー202Aおよび202Bから受取った周
期値を出力させる。
【0065】図8において、一旦バーストが開始する
と、ある局部発生器回路内の1つの補間器回路が出力と
して信号TG OUT Aを生じ、この信号は各偶数サ
イクルの初めにハイになる。別の補間器回路は出力とし
て信号TG OUTBを生じる。試験中のデバイス(D
UT)に対して与えられる波形は、TG OUT Aま
たはTG OUT Bのいずれか一方がハイになる時点
に依存する。
【0066】他の実施態様 他の実施態様は、特許請求の範囲内において可能であ
る。
【0067】例えば、補間器回路58は、正確に調時さ
れた出力データが要求される他のシステムにおいて使用
することができる。このようなシステムにおいては、補
間器回路58は、ADJ ENおよびTG RESID
UE 8の両線にハイを生じることによりリセットする
ことができる。これらの線上のハイの状態は、ANDゲ
ートAND1をしてハイをフリップフロップFF15お
よびFF17のリセット入力に与えさせ、これにより回
路全体をクロックするクロック信号をリセットする。
【0068】また、例えば、タイミング発生器10は、
立ち上がりおよび立ち下がり較正値間の最大差を縮小す
ることにより100MHzよりはやい信号を生じること
ができる。
【0069】また、例えば、システム10は、信号分配
経路をいくつでも持ち得る。このようなシステムにおい
ては、分周回路32が高速パターンを必要なだけの数の
低速パターンに分割する。このため、システム10は、
個々の顧客の特定の要求を満たすように構成することが
できる。例えば、もし顧客が非常に早いシステムを必要
とするならば、より多くの信号分配経路が提供され、あ
るいはもし顧客がより低いコストのシステムを要求する
ならば、信号分配経路の数は少なくされる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明による高速タイミング発生器の概略ブロ
ック図である。
【図2】図1のタイミング発生器の分配回路を示すブロ
ック図である。
【図3】図1のタイミング発生器のタイミング発生器お
よび補間器回路を示すブロック図である。
【図4】図3の補間器回路を示す概略図である。
【図5】公知の周期発振器回路を示すブロック図であ
る。
【図6】図5の周期発振器回路に対するタイミング図で
ある。
【図7】図1のタイミング発生器の周期発振器回路を示
すブロック図である。
【図8】図7の周期発振器回路に対するタイミング図で
ある。
【符号の説明】
10 高速タイミング発生器システム 12 パターン発生器回路 14 分配回路 15 チャンネル・カード 16 局部発生器回路 20 ノード入力 21 試験中のデバイス(DUT) 30 高速パターン発生器 32 分周回路 34 中央周期発振器 40 信号分配経路 42 信号分配経路 50 信号生成回路 52 信号生成回路 54 局部メモリー 56 タイミング発生器 58 補間器回路 60 局部メモリー 62 タイミング発生器 64 補間器回路 66 高速フォーマッタ 68 ドライバ 70 デュアル検出器 72 故障プロセッサ 74 故障プロセッサ
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 昭61−267812(JP,A)

Claims (70)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 パターン発生器回路を設け、該パターン
    発生器回路は、高周波数で高速アドレス・パターンを生
    じるように構成された高速アドレス・パターン発生器
    と、前記高速アドレス・パターンを受取り、低周波数で
    複数の低速アドレス・パターンを生じるように構成され
    た分割回路とを含み、更に、前記低速アドレス・パター
    ンを受取り、高周波信号を生じるように構成された局部
    発生器回路と、前記低速アドレス・パターンを前記局部
    発生器回路へ提供するように構成された複数の分配経路
    と、を設けてなるパターン生成装置。
  2. 【請求項2】 前記分割回路が周期的に前記低速アドレ
    ス・パターンを生じる請求項1記載の装置。
  3. 【請求項3】 前記低速アドレス・パターンがあるシー
    ケンスで提供され、該シーケンスが前記高速アドレス・
    パターンにより決定される請求項2記載の装置。
  4. 【請求項4】 前記分割回路が、2つの低速アドレス・
    パターンを生じ、該2つの低速アドレス・パターンが各
    々、前記高速アドレス・パターンの周波数の半分である
    周波数を持つ請求項3記載の装置。
  5. 【請求項5】 前記分割回路が4つの低速アドレス・パ
    ターンを生じ、該4つの低速アドレス・パターンが各
    々、前記高速アドレス・パターンの周波数の4分の1で
    ある周波数を持つ請求項3記載の装置。
  6. 【請求項6】 前記分割回路がリセット信号を受取る
    時、ある低速アドレス・パターンを生じるように構成さ
    れた請求項1記載の装置。
  7. 【請求項7】 前記装置が最初にターン・オンされる時
    前記リセット信号が受取られる請求項6記載の装置。
  8. 【請求項8】 前記リセット信号が前記高速アドレス・
    パターンのバーストの初めに受取られる請求項6記載の
    装置。
  9. 【請求項9】 前記装置による試験中のデバイスに対
    し、複数の高速アドレス・パターンのバーストがある請
    求項8記載の装置。
  10. 【請求項10】 前記試験中のデバイスに対し高速アド
    レス・パターンの10乃至200のバーストがある請求
    項9記載の装置。
  11. 【請求項11】 前記局部発生器回路が、前記低周波数
    で動作して低周波信号を生じるように構成された複数の
    信号発生回路と、前記低周波信号を受取り、前記高周波
    信号を生じるように構成された高速フォーマッタとを含
    む請求項1記載の装置。
  12. 【請求項12】 前記各信号発生回路が、前記低速アド
    レス・パターンと関連する情報を受取り、該低速アドレ
    ス・パターンと関連する前記情報に基いてタイミング発
    生器情報を提供するように構成されたタイミング発生器
    と、前記タイミング発生器情報を受取り、前記低周波信
    号を生じるように構成された補間器回路とを含む請求項
    11記載の装置。
  13. 【請求項13】 前記タイミング発生器情報が、前記補
    間器回路により生じるクロックを用いて前記補間器回路
    に与えられる請求項12記載の装置。
  14. 【請求項14】 前記タイミング発生器情報が、一致信
    号および残り信号を含み、該一致信号は前記補間器回路
    により使用されて、前記低周波信号の発生を何時始動す
    るかを決定し、前記残り信号は前記低周波信号を何時与
    えるかを決定するため使用される請求項12記載の装
    置。
  15. 【請求項15】 前記各信号発生回路が更に、局部メモ
    リーを含み、該局部メモリーは、前記低速アドレス・パ
    ターンを受取り、該低速アドレス・パターンと関連する
    前記情報を提供するように構成される請求項12記載の
    装置。
  16. 【請求項16】 前記分割回路が、分割回路の複数の動
    作モードから選択する第1のモード選択入力を受取るよ
    うに構成され、前記複数の動作モードの第1のモードに
    おいて、前記分割回路が前記高速アドレス・パターンを
    受取り、前記低周波数における前記複数の低速アドレス
    ・パターンを提供し、前記複数の動作モードの第2のモ
    ードにおいて、前記分割回路が、前記高速アドレス・パ
    ターンを受取り、前記高速アドレス・パターンを出力と
    して生じる請求項1記載の装置。
  17. 【請求項17】 前記分割回路が、分割回路の複数の動
    作モードの中から選択する第2のモード選択入力を受取
    るように構成され、前記複数の動作モードの第1のモー
    ドにおいて、前記分割回路が、前記高速アドレス・パタ
    ーン発生器から1つの経路を介して前記高速アドレス・
    パターンを受取り、前記複数の動作モードの第2のモー
    ドにおいて、前記分割回路が、前記高速アドレス・パタ
    ーン発生器から第1の経路を介して前記高速アドレス・
    パターンを受取り、前記高速アドレス・パターンを第1
    の出力に生じ、第2の高速アドレス・パターン発生器か
    ら第2の経路を介して第2の高速アドレス・パターンの
    組を受取り、該第2の高速アドレス・パターンの組を第
    2の出力に生じる請求項1記載の装置。
  18. 【請求項18】 入力タイミング・データに基いて正確
    に調時された出力データを生成する補間器回路におい
    て、 前記入力タイミング・データを受取り保持するように構
    成されたレジスタ回路と、前記レジスタ回路から前記入力タイミング・データを受
    取り 、前記入力タイミング・データにより規定される量
    だけ前記入力タイミング・データを遅らせるように構成
    されたパルス・スワロワー回路とを設け、 該パルス・スワロワー回路は、前記遅延の後パルス・ス
    ワロワー出力を生じ、 前記パルス・スワロワー出力を受取り、ランプ出力を生
    じるように構成されたランプ回路を設け、 該ランプ出力は、前記パルス・スワロワー出力を受取る
    時に開始され、 前記入力タイミング・データおよび前記ランプ出力を受
    取り、前記ランプ出力が前記入力タイミング・データと
    等しい時出力データを生じるように構成された比較回路
    を設けてなる補間器回路。
  19. 【請求項19】 前記入力タイミング・データが、比較
    的上位のビットおよび比較的下位のビットを持つ多重ビ
    ット・ワードを含み、前記パルス・スワロワー回路は、
    前記比較的上位のビットを用いて前記遅れ量を決定する
    請求項18記載の補間器回路。
  20. 【請求項20】 前記比較回路が、前記入力タイミング
    ・データを受取り、該入力タイミング・データをアナロ
    グ・タイミング・データに変換するように構成されたデ
    ィジタル−アナログ・コンバータを含み、前記アナログ
    ・タイミング・データは前記ランプ出力と比較される請
    求項18記載の補間器回路。
  21. 【請求項21】 前記入力タイミング・データが1種の
    論理レベルを持ち、前記出力データが別の種類の論理レ
    ベルを持つ請求項18記載の補間器回路。
  22. 【請求項22】 前記1種の論理レベルがCMOSであ
    り、前記別の種類の論理レベルがECLである請求項2
    1記載の補間器回路。
  23. 【請求項23】 較正回路を更に設け、該較正回路が、
    前記入力タイミング・データを受取り較正値出力を生じ
    るように構成され、前記較正値出力が前記補間器回路を
    較正するため用いられる請求項18記載の補間器回路。
  24. 【請求項24】 前記補間器回路が、外部較正信号から
    も較正することができる請求項23記載の補間器回路。
  25. 【請求項25】 周期情報を生成する回路であって、該
    回路が、クロック信号を生じる基準クロックと関連して
    使用されるように構成され、該回路は複数の周期発振器
    を含み、該複数の周期発振器の各々が、対応する複数の
    隣接する周期を表わす複数の周期値を受取り、該周期値
    を加算して和の出力を生じる加算回路と、前記和の出力
    の少なくとも最上位部を受取り、前記クロック信号のエ
    ッジを識別する信号を生じるエッジ・セレクタ回路とを
    設け、該エッジは、前記エッジ・セレクタ回路により前
    に識別されたエッジから離れた整数個のエッジが存在
    し、該整数は前記和の出力の少なくとも前記最上位部か
    ら決定され、前記複数の周期発振器は、対応する一連の
    隣接する周期を表わす一連の周期値の各々が前記複数の
    周期発振器の各々の前記各加算回路により受取られる
    も、前記一連の周期値における各周期値は、前記複数の
    周期発振器の各々の異なる加算回路により前記一連の周
    期値における他の周期値の異なる組合わせと加算され
    る、回路。
  26. 【請求項26】 前記エッジ・セレクタ回路が、前記和
    の出力の少なくとも前記最上位部を受取り、前記基準の
    多数のクロック・サイクルをカウントするように構成さ
    れ、前記数は前記和の出力の前記最上位部と対応し、前
    記クロック・サイクルの前記数をカウントすると同時
    に、前記クロック・サイクルの前記エッジを識別する前
    記信号を生じるように構成されたカウンタを含む請求項
    25記載の回路。
  27. 【請求項27】 前記複数の周期発振器の各々が、前記
    エッジ・セレクタ回路により識別される前記クロック信
    号の前記エッジからの残り時間を表わす残り信号を生じ
    る残り周期回路を更に含み、該残り時間は、前記和の出
    力の最下位部および前記残り周期回路により生じた前の
    残り信号の和から決定される請求項25記載の回路。
  28. 【請求項28】 前記複数の周期発振器の各々が、前記
    和の出力を受取るように接続されたレジスタを含み、該
    レジスタは前記残り周期回路により受取られた出力を生
    じる請求項27記載の回路。
  29. 【請求項29】 前記周期発振器が2つ存在する請求項
    25記載の回路。
  30. 【請求項30】 前記複数の周期発振器の各々が、周期
    値を受取り、前記エッジ・セレクタ回路により選択され
    た前記クロック信号のエッジにより決定される時点で該
    周期値を先入れ先出しベースで前記加算回路に対して出
    力する少なくとも1つのパイプライン間同期装置を含
    み、該パイプライン間同期装置は、前記複数の周期発振
    器の別のもののエッジ・セレクタ回路により選択される
    前記クロック信号のエッジにより決定される時点で前記
    周期値を受取る請求項25記載の回路。
  31. 【請求項31】 モード選択入力が、前記複数の周期発
    振器の1つが該複数の周期発振器の他のいずれかと独立
    的に動作する独立動作モードを選択する時、前記複数の
    周期発振器の各々の前記パイプライン間同期装置が、該
    パイプライン間同期装置をしてゼロの周期値を前記加算
    回路に出力させるよう強制するモード選択入力を受取る
    ように構成される請求項30記載の回路。
  32. 【請求項32】 前記複数の周期発振器をリセットする
    デフォールト回路を更に設け、該デフォールト回路は、
    前記複数の周期発振器の前記加算回路が前記複数の周期
    値の代わりに複数のデフォールト値を受取ることを可能
    にするよう構成され、前記デフォールト回路は、前記複
    数の周期発振器の前記エッジ・セレクタ回路の各々が前
    記複数の周期発振器の他のいずれかの他のエッジ・セレ
    クタ回路により生じる信号により識別されない前記クロ
    ック信号のエッジを識別する信号を生じる順序および方
    法で、前記デフォールト値を前記加算回路により受取ら
    せる請求項25記載の回路。
  33. 【請求項33】 前記複数のデフォールト値の全てが同
    じデフォールト値である請求項32記載の回路。
  34. 【請求項34】 前記デフォールト回路は、ゼロの周期
    値を前記複数の周期発生器の各々に与え、次いで前記デ
    フォールト値を前記複数の周期発振器の各々の前記加算
    回路に与えることにより該複数の周期発振器をリセット
    するように構成され、前記加算回路は、各周期発振器の
    1動作サイクルの間各加算回路の異なる数の入力で前記
    デフォールト値を受取り、以降の動作サイクルの間各入
    力で前記デフォールト値を受取るように構成される請求
    項33記載の回路。
  35. 【請求項35】 周期情報を生じる回路であって、クロ
    ック信号を生じる基準クロックと関連して使用されるよ
    うに構成され、複数の周期発振器を含む回路において、
    該複数の周期発振器は各々、周期アドレスを受取って対
    応数の周期値を生じるメモリーと、複数の周期値を受取
    り、前記周期値を加算して和の出力を生じる加算回路と
    を含み、該周期値の1つは前記メモリーから受取られ、
    前記周期値の少なくとも他の1つは前記複数の周期発振
    器の他のもののメモリーから受取られ、前記複数の周期
    値は対応数の隣接する周期を表わし、前記和の出力の少
    なくとも最上位部を受取り、前記クロック信号のエッジ
    を識別する信号を生じるエッジ・セレクタ回路を含み、
    該エッジは、前記エッジ・セレクタ回路により前に識別
    されたエッジから離れた位置の整数個のエッジであり、
    該整数は前記和の出力の少なくとも前記の最上位部から
    決定される、回路。
  36. 【請求項36】 前記複数の周期発振器は、対応する一
    連の隣接する周期を表わす一連の周期値の各々が、前記
    複数の周期発振器の各々の前記各加算回路により受取ら
    れるも、前記一連の周期値における各周期値が、前記複
    数の周期発振器の各々の異なる加算回路により前記一連
    の周期値における他の周期値の異なる組合わせと加算さ
    れるように構成される請求項35記載の回路。
  37. 【請求項37】 前記エッジ・セレクタ回路は、前記和
    の出力の少なくとも前記の最上位部を受取り、前記基準
    クロックのクロック・サイクル数をカウントするように
    構成され、該サイクル数は前記和の出力の前記最上位部
    と対応し、かつ前記数のクロック・サイクルのカウント
    時に、前記クロック信号の前記エッジを識別する前記信
    号を生じるように構成されたカウンタを含む請求項35
    記載の回路。
  38. 【請求項38】 前記複数の周期発振器の各々が、前記
    エッジ・セレクタ回路により識別される前記クロック信
    号の前記エッジからの残り時間を表わす残り信号を生じ
    る残り周期回路を更に含み、該残り時間は、前記和の出
    力の最下位部および前記残り周期回路により生じた前の
    残り信号の和から決定される請求項35記載の回路。
  39. 【請求項39】 前記複数の周期発振器の各々が、前記
    和の出力を受取るように接続されたレジスタを更に含
    み、該レジスタが前記残り周期回路により受取られる出
    力を生じる請求項38記載の回路。
  40. 【請求項40】 前記周期発振器が2つ存在する請求項
    35記載の回路。
  41. 【請求項41】 前記複数の周期発振器の各々が、前記
    複数の周期発振器の前記他のものの前記メモリーからの
    前記周期値の前記少なくとも他方を受取り、先入れ先出
    しベースで前記周期値の前記少なくとも他方を、前記エ
    ッジ・セレクタ回路により選択される前記クロック信号
    のエッジにより決定される時点に前記加算回路に対して
    出力する少なくとも1つのパイプライン間同期装置を含
    み、該パイプライン間同期装置は、前記周期値の前記少
    なくとも他方を、前記複数の周期発振器の前記他のもの
    のエッジ・セレクタ回路により選択された前記クロック
    信号のエッジにより決定される時点で受取る請求項35
    記載の回路。
  42. 【請求項42】 前記複数の周期発振器の各々の前記各
    パイプライン間同期装置は、前記モード選択入力が、前
    記複数の周期発振器の1つが該複数の周期発振器の他の
    ものとは独立的に動作する独立動作モードを選択する
    時、前記パイプライン間同期装置をしてゼロの周期値を
    前記加算回路に対して出力することを強制するモード選
    択入力を受取るように構成される請求項41記載の回
    路。
  43. 【請求項43】 前記複数の周期発振器をリセットする
    デフォールト回路を更に設け、該デフォールト回路は、
    前記複数の周期発振器の前記各加算回路が周期値の代わ
    りにデフォールト値を受取ることを可能にするよう構成
    され、該デフォールト回路は、前記複数の周期発振器の
    前記各エッジ・セレクタ回路が前記複数の周期発振器の
    他のものの他のエッジ・セレクタ回路により生じる信号
    によっては識別されない前記クロック信号のエッジを識
    別する信号を生じる順序および方法で、デフォールト値
    を前記加算回路により受取らせる請求項35記載の回
    路。
  44. 【請求項44】 前記デフォールト値の全てが同じデフ
    ォールト値である請求項43記載の回路。
  45. 【請求項45】 前記デフォールト回路は、ゼロの周期
    値を前記複数の周期発振器の各々の前記加算回路に与
    え、次いで該デフォールト値を該複数の周期発振器の各
    々の前記加算回路に与えることにより、前記複数の周期
    発振器をリセットするように構成され、前記加算回路
    は、各周期発振器の1動作サイクルの間各加算回路の異
    なる数の入力で前記デフォールト値を受取り、かつ以降
    の動作サイクルの間各入力において前記デフォールト値
    を受取るように構成される請求項44記載の回路。
  46. 【請求項46】 高い周波数で周期アドレスを生じるよ
    うに構成された高速パターン発生器と、前記高速周期ア
    ドレスを受取り、低い周波数で複数の低速周期アドレス
    を生じるように構成された分割回路と、周期情報を生じ
    る回路とを設け、該回路は、クロック信号を生じる基準
    クロックと関連して使用されるよう構成され、該回路は
    複数の周期発振器を含み、該複数の周期発振器は各々、
    前記分割回路から低速周期アドレスを受取って対応数の
    周期値を生じるメモリーと、複数の周期値を受取り、該
    周期値の1つは前記メモリーから受取られ、前記周期値
    の少なくとも他の1つは前記複数の周期発振器の他のも
    ののメモリーから受取られ、前記複数の周期値は対応数
    の隣接する周期を表わし、かつ前記周期値を加算して和
    の出力を生じる加算回路と、前記和の出力の少なくとも
    最上位部を受取り、前記クロック信号のエッジを識別す
    る信号を生じるエッジ・セレクタ回路とを含み、該エッ
    ジは、前記エッジ・セレクタ回路により前に識別された
    エッジから離れた位置の整数個のエッジであり、該整数
    は前記和の出力の少なくとも前記の最上位部から決定さ
    れる、パターンを生成する装置。
  47. 【請求項47】 前記複数の周期発振器の各々は、対応
    する一連の隣接する周期を表わす一連の周期値の各々
    が、前記複数の周期発振器の各々の前記各加算回路によ
    り受取られるも、前記一連の周期値における各周期値
    が、前記複数の周期発振器の各々の異なる加算回路によ
    り前記一連の周期値における他の周期値の異なる組合わ
    せと加算されるように構成される請求項46記載の装
    置。
  48. 【請求項48】 前記分割回路が、前記低速周期アドレ
    スを周期的に生じる請求項46記載の装置。
  49. 【請求項49】 前記分割回路が前記低速周期アドレス
    を1つのシーケンスで生じ、該シーケンスは前記高速周
    期アドレスにより決定される請求項48記載の装置。
  50. 【請求項50】 前記分割回路が、周期アドレスの2つ
    の低速シーケンスを生じる請求項49記載の装置。
  51. 【請求項51】 前記エッジ・セレクタ回路は、前記和
    の出力の少なくとも前記の最上位部を受取り、前記基準
    クロックのクロック・サイクル数をカウントするように
    構成され、該サイクル数は前記和の出力の前記最上位部
    と対応し、かつ前記数のクロック・サイクルのカウント
    と同時に、前記クロック信号の前記エッジを識別する前
    記信号を生じるように構成されたカウンタを含む請求項
    46記載の装置。
  52. 【請求項52】 前記複数の周期発振器の各々が、前記
    エッジ・セレクタ回路により識別される前記クロック信
    号の前記エッジからの残り時間を表わす残り信号を生じ
    る残り周期回路を更に含み、該残り時間は、前記和の出
    力の最下位部および前記残り周期回路により生じた前の
    残り信号の和から決定される請求項46記載の装置。
  53. 【請求項53】 前記複数の周期発振器の各々が、前記
    和の出力を受取るように接続されたレジスタを更に含
    み、該レジスタが前記残り周期回路により受取られる出
    力を生じる請求項52記載の装置。
  54. 【請求項54】 前記周期発振器が2つ存在する請求項
    46記載の装置。
  55. 【請求項55】 前記複数の周期発振器の各々が、該複
    数の周期発振器の前記他のものの前記メモリーからの前
    記周期値の前記少なくとも他方を受取り、先入れ先出し
    ベースで前記周期値の前記少なくとも他方を、前記エッ
    ジ・セレクタ回路により選択される前記クロック信号の
    エッジにより決定される時点で前記加算回路に対して出
    力する少なくとも1つのパイプライン間同期装置を含
    み、該パイプライン間同期装置は、前記周期値の前記少
    なくとも他方を、前記複数の周期発振器の前記他のもの
    のエッジ・セレクタ回路により選択された前記クロック
    信号のエッジにより決定される時点で受取る請求項46
    記載の装置。
  56. 【請求項56】 前記複数の周期発振器の各々の前記各
    パイプライン間同期装置は、前記モード選択入力が、前
    記複数の周期発振器の1つが該複数の周期発振器の他の
    ものとは独立的に動作する独立動作モードを選択する
    時、前記パイプライン間同期装置がゼロの周期値を前記
    加算回路に対して出力することを強制するモード選択入
    力を受取るように構成される請求項55記載の装置。
  57. 【請求項57】 前記複数の周期発振器をリセットする
    デフォールト回路を更に設け、該デフォールト回路は、
    前記複数の周期発振器の前記各加算回路が周期値の代わ
    りにデフォールト値を受取ることを可能にするように構
    成され、該デフォールト回路は、前記複数の周期発振器
    の前記各エッジ・セレクタ回路が前記複数の周期発振器
    の他のものの他のエッジ・セレクタ回路により生じる信
    号によっては識別されない前記クロック信号のエッジを
    識別する信号を生じる順序および方法で、デフォールト
    値を前記加算回路により受取らせる請求項46記載の装
    置。
  58. 【請求項58】 前記デフォールト値の全てが同じデフ
    ォールト値である請求項57記載の装置。
  59. 【請求項59】 前記デフォールト回路は、ゼロの周期
    値を前記複数の周期発振器の各々の前記加算回路に与
    え、次いで該デフォールト値を該複数の周期発振器の各
    々の前記加算回路に与えることにより、前記複数の周期
    発振器をリセットするように構成され、前記加算回路
    は、各周期発振器の1動作サイクルの間各加算回路の異
    なる数の入力で前記デフォールト値を受取り、かつ以降
    の動作サイクルの間各入力において前記デフォールト値
    を受取るように構成される請求項58記載の装置。
  60. 【請求項60】 複数のタイミング発生器および補間器
    回路を更に設け、該複数のタイミング発生器および補間
    器回路の各々は、前記複数の周期発振器の対応するもの
    の前記エッジ・セレクタ回路により生じる前記信号を受
    取り、該エッジ・セレクタ回路により生じる前記信号に
    より少なくとも一部決定される時点においてタイミング
    ・エッジを生じるように構成される請求項46記載の装
    置。
  61. 【請求項61】 前記複数の周期発振器の各々は、前記
    エッジ・セレクタ回路により識別される前記クロック信
    号の前記エッジからの残り時間を表わす残り信号を生じ
    る残り周期回路を更に含み、該残り時間は、前記和の出
    力の最下位部および前記残り周期回路により生じる前の
    残り信号の和から決定され、前記複数のタイミング発生
    器および補間器回路の各々は、前記残り周期回路により
    生じる前記残り信号により表わされる前記残り時間だけ
    前記タイミング・エッジを遅らせる請求項60記載の装
    置。
  62. 【請求項62】 前記複数のタイミング発生器および補
    間器回路は、前記複数のタイミング発生器および補間器
    回路の各々により生じる前記各タイミング・エッジを試
    験中のデバイスへ与えるように構成される請求項60記
    載の装置。
  63. 【請求項63】 タイミング発生器がタイミング回路に
    よる動作実施のための時点を識別するため使用すべき基
    準時点を識別する周期信号を受取り、前記動作の性質を
    特徴付けるデータ信号を受取り、かつ複数の較正値の1
    つを選定するためのタイミング発生器を設け、前記複数
    の較正値の第1の値が、前記1つの第1の動作のタイミ
    ング・スキュー特性を補償するため必要な前記基準時点
    からの遅れ時間量を表わし、前記複数の較正値の第2の
    値が、前記動作の第2の動作のタイミング・スキュー特
    性を補償するため必要な前記基準時点からの遅れ時間量
    を表わし、前記タイミング発生器は、前記複数の較正値
    の前記1つの選定を、前記データ信号の値に基いて行な
    い、前記基準時点と対応するも前記複数の較正値の少な
    くとも前記1つの値だけ遅れる時点を識別タイミング発
    生器出力を生じるためのものであり、前記タイミング発
    生器出力を受取り、前記データ信号を受取り、かつ前記
    タイミング発生器出力において識別された前記時点に前
    記動作を行うための回路を設けてなるタイミング回路。
  64. 【請求項64】 前記周期信号は、前記タイミング発生
    器が波形における遷移が生じるべき時点の識別において
    使用すべき基準時点を識別し、前記時点データ信号は、
    前記波形が与えられた遷移の後持つべき値を表わし、前
    記複数の較正値の前記第1の値は、立ち上がり遷移によ
    る前記波形におけるスキューを補償するため必要な前記
    基準時点からの遅れ時間量を表わし、前記複数の較正値
    の前記第2の値は、立ち下がり遷移による前記波形にお
    けるスキューを補償するため必要な前記基準時点からの
    遅れ時間量を表わし、前記タイミング発生器出力を受取
    るための前記回路は、前記波形を生じるためのフォーマ
    ッタを含み、前記波形は、前記タイミング発生器出力に
    より識別される前記時点において遷移を有し、前記波形
    は、前記各遷移の後、前記データ信号により表わされる
    値を有する請求項63記載のタイミング回路。
  65. 【請求項65】 前記周期信号は、波形が試験中のデバ
    イスに対して与えられかつ該試験中のデバイスから遮断
    されるべき時点の識別において前記タイミング発生器が
    使用すべき基準時点を識別し、前記データ信号は、前記
    波形が試験中のデバイスに対して与えられるべきか、あ
    るいは該試験中のデバイスから遮断されるべきかを表わ
    し、前記複数の較正値の前記第1の値は、前記デバイス
    に与えられる前記波形により該波形におけるスキューを
    補償するため必要な前記基準時点からの遅れ時間量を表
    わし、前記複数の較正値の前記第2の値は、前記デバイ
    スから遮断される前記波形により該波形におけるスキュ
    ーを補償するため必要な前記基準時点からの遅れ時間量
    を表わし、前記タイミング発生器出力を受取るための前
    記回路は、試験中の前記デバイスに対して前記波形を与
    えて前記タイミング発生器出力により識別される前記時
    点において前記データ信号により送られる情報に従って
    前記試験中のデバイスから前記波形を遮断するためのフ
    ォーマッタを含む、請求項63記載のタイミング回路。
  66. 【請求項66】 前記周期信号が基準クロックにより生
    じるクロック信号のエッジを識別するエッジ選択信号を
    含む請求項63記載のタイミング回路。
  67. 【請求項67】 前記周期信号が、前記エッジ選択信号
    により識別される前記クロック信号の前記エッジからの
    残り時間を表わす残り信号を更に含み、前記周期信号に
    より識別される前記基準時点が、前記エッジ選択信号に
    より識別される前記クロック信号の前記エッジからの前
    記残り時間だけ遅れる時点を含む請求項66記載のタイ
    ミング回路。
  68. 【請求項68】 前記タイミング発生器が、前記残り信
    号により表わされる残り値に前記較正値をディジタル的
    に加算する請求項67記載のタイミング回路。
  69. 【請求項69】 前記タイミング発生器が、前記周期信
    号により識別される前記基準時点からの更なる遅れ時間
    量を表わすタイミング信号を受取り、前記タイミング発
    生器出力により識別される前記時点が、前記更なる遅れ
    時間量だけ前記基準時点から更に遅れる請求項63記載
    のタイミング回路。
  70. 【請求項70】 前記タイミング発生器が、前記タイミ
    ング信号により表わされるタイミング値に前記較正値を
    ディジタル的に加算する請求項69記載のタイミング回
    路。
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