JP4703952B2 - Ic試験装置 - Google Patents
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Description
主制御器100は一般にコンピュータシステムによって構成され、利用者が作成した試験プログラムに従ってパターン発生器200とタイミング発生器300を制御し、パターン発生器200から試験パターンデータを発生させ、この試験パターンデータを波形フォーマッタ400で実波形を持つ試験パターン信号に変換し、この試験パターン信号を論理振幅基準電圧源700で設定した振幅値を持った波形に電圧増幅するドライバDRを通じて被試験ICに印加し記録させる。
ここで、タイミング発生器300はパターン発生器200から与えられるタイミング情報に従って被試験ICに与える試験パターン信号の発生周期と、試験パターン信号の波形の立上がりのタイミング及び立下りのタイミングを規定するタイミングと、論理比較器500で論理比較のタイミングを規定するストローブパルスのタイミングを発生する。
ここで、タイミング発生器300の内部の様子を説明する。図8は一般的なタイミング発生器の概略の構成を示す。タイミング発生器300は大きく分けると周期発生部310と遅延発生部320とによって構成される。
この試験を行なうには試験パターンの発生周期をわずかずつ変更する必要がある。従来のIC試験装置では試験開始時点で周期発生部310に試験で使用する周期データを予め送り込み、この周期データを周期データメモリに格納し、試験中はこの周期データメモリに格納した周期データを選択的に読み出し、この読み出された周期データを使って図9で説明したテスト周期t0と各タイミングt1、t2、t3、t4の発生を行なっている。
図10に示す200は試験パターンを発生するパターン発生器、20は周期発生部310を構成する周期データメモリ、30は整数周期発生手段、40は端数周期発生手段を示す。
パターン発生器200はここでは周期発生に着目して説明するから、試験パターンに係わる信号に関しては省略するが周期発生のためのスタート信号STAと、発生する周期を決定するためのタイミングセットデータTIMSとを発生する。タイミングセットデータTIMSは周期データメモリ20に入力され、この周期データメモリ20に格納されている複数の周期のデータの中から任意の周期データを選択して取り出す動作を実行する。
整数周期データメモリ21から読み出された整数周期データINT(図11E)は整数周期発生手段30に設けられた加算器32を通じて一致検出器33の一方の入力端子に供給される。一致検出器33の他方の入力端子にはアップカウンタ31の計数値CON(図11に示すI)が入力される。アップカウンタ31は基準クロックRFCLK(図11A)を計数し、その計数値が整数周期データINT値N1と一致すると一致検出器33は、一致検出信号AGR(図11J)を出力する。この一致検出信号AGRの周期は基準クロックRFCLKの整数倍の周期を有し、整数周期データINTの数値N1と一致する。一致検出器33が一致検出信号を出力すると、その検出信号がフィードバックされてアップアカウンタ31をリセットする。
端数周期データFRAの値を順次加算し、その加算値ADD1をデータ保持回路42に保持させ、整数周期発生手段30の一致検出信号AGRが出力される毎にデータ保持回路42に保持されている端数値の加算データADD1を読み出し、その端数値の加算値ADD1により可変遅延素子43の遅延量を制御することにより、一致検出信号AGRは整数倍の周期N1に端数値N2を加えた周期N1+N2(図11K)で出力される。
この発明の請求項3では請求項1又は2記載のIC試験装置において、周期データメモリに格納した周期データに対応付けしてカウンタが設けられ、このカウンタで周期データの使用頻度を計数する構成を具備しているIC試験装置を提案する。
積算値保持手段63に積算値がホールドされると、次回はこの積算値と減算時間選択手段61で取り出された減算時間とを加算し、その加算値を積算値として積算値保持手段63に保持する。
ゲートG0〜G15の出力側にカウンタ群66が設けられる。このカウンタ群66はゲートG0〜15のどれが何回「1」論理を出力したかを計数する。従って、カウンタ群66の各カウンタ66A〜66Fの計数値を知ることで、どの減算時間が何回使われたかを知ることができる。カウンタ66A〜66Fの計数値により被試験ICへの印加パターンの印加周期の変化量を測定することができる。
周期データメモリ20の整数周期データメモリ21と端数周期データメモリ22のアドレス#0と#1には整数周期データN1と端数周期データN2とが格納されている。従って、図3FとGに示すように、アドレス#0がアクセスされた場合も、#1がアクセスされた場合も整数周期データN1と端数周期データN2とが読み出される。
一方、3*N2に積算されたタイミングで減算時間N4が3*N2から差し引かれ、3*N2−N4となる。
従って、この発明によれば周期データメモリ20に格納している周期データを書き換えなくても、発生する周期を序々に変化させることができる。この結果、被試験ICの応答特性を短時間に試験することができる。
20 周期データメモリ 60 減算時間設定手段
21 整数周期データメモリ 61 減算時間選択手段
22 端数周期データメモリ 62 減算時間積算手段
30 整数周期発生手段 63 積算値保持手段
31 アップカウンタ 64 デコーダ
32 加算器 65 設定部
33 一致検出器 66 カウンタ群
40 端数周期発生手段 CMD 減算指示信号
41 加算器 TIMS タイミングセットデータ
43 可変遅延素子
45 データ保持回路
Claims (3)
- 周期データメモリから読み出される周期データで設定される周期で試験パターンを被試験ICに印加し、被試験ICの動作を試験するIC試験装置において、
減算時間設定手段と、
この減算時間設定手段に設定した減算時間を上記周期データメモリから読み出した周期データから減算することを指示する減算指示信号と、
この減算指示信号が出力される毎に上記減算時間設定部に設定された減算時間を上記周期データメモリから読み出した周期データから減算し、減算した周期データを周期発生手段に送り出し上記試験パターンの印加周期を減算時間に従って変化させる減算手段と、
この減算手段の減算動作と同期して上記減算時間を積算し、その積算値を次回の減算値として上記減算手段に印加する積算手段と、
を設けた構成としたことを特徴とするIC試験装置。 - 請求項1記載のIC試験装置において、
上記減算時間設定手段は上記周期データメモリに格納された周期データに対応付けされて複数設けられ、周期データメモリから読み出される周期データに対応した減算時間を、その周期データから減算する構成としたことを特徴とするIC試験装置。 - 請求項1又は2記載のIC試験装置において、
上記周期データメモリに格納した周期データに対応付けしてカウンタが設けられ、このカウンタで上記周期データの使用頻度を計数する構成を具備していることを特徴とするIC試験装置。
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