JPH0833292B2 - クリーニングブレードの稜線検査装置 - Google Patents

クリーニングブレードの稜線検査装置

Info

Publication number
JPH0833292B2
JPH0833292B2 JP3246817A JP24681791A JPH0833292B2 JP H0833292 B2 JPH0833292 B2 JP H0833292B2 JP 3246817 A JP3246817 A JP 3246817A JP 24681791 A JP24681791 A JP 24681791A JP H0833292 B2 JPH0833292 B2 JP H0833292B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
blade
light
receiver
ridge line
inspection
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Lifetime
Application number
JP3246817A
Other languages
English (en)
Other versions
JPH0560522A (ja
Inventor
定信 福井
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Bando Chemical Industries Ltd
Original Assignee
Bando Chemical Industries Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Bando Chemical Industries Ltd filed Critical Bando Chemical Industries Ltd
Priority to JP3246817A priority Critical patent/JPH0833292B2/ja
Priority to DE19924225522 priority patent/DE4225522A1/de
Publication of JPH0560522A publication Critical patent/JPH0560522A/ja
Publication of JPH0833292B2 publication Critical patent/JPH0833292B2/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Lifetime legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01MTESTING STATIC OR DYNAMIC BALANCE OF MACHINES OR STRUCTURES; TESTING OF STRUCTURES OR APPARATUS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • G01M11/00Testing of optical apparatus; Testing structures by optical methods not otherwise provided for
    • G01M11/08Testing mechanical properties
    • G01M11/081Testing mechanical properties by using a contact-less detection method, i.e. with a camera

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、複写機における感光体
ドラム表面の清掃用ブレードなど、各種のクリーニング
ブレード(またはワイパーブレード)について、その稜
線に機能上問題となる凹凸がないかどうかを検査する稜
線検査装置に関するものである。
【0002】
【従来の技術】電子複写機において、感光体ドラム表面
の残留トナーを除去するためのクリーニングブレード
は、その稜線にすぐれた直線性が求められる。稜線(の
一つ)がドラム表面に押し付けられてトナーを掻き落と
すので、その稜線に凹凸があるとトナーの完全な除去が
不可能になるからである。なお、同じ深さ(または高
さ)の凹凸でも、押し付けられるとドラム表面等に密着
しやすい緩やかな(うねり状の)凹凸に比べて、急峻な
ものはとくに問題となる。以上の点は、求められる精度
がやや異なるとはいえ、自動車用のクリーニング(ワイ
パー)ブレード等についても同様にあてはまる。
【0003】そのため、このようなブレードには、出荷
前に稜線の検査を施すのが普通である。稜線検査には、
従来、下記のような装置が使用されている。
【0004】イ) 触針式の検査装置: ブレードの稜線
に触針を当てた状態でブレード・触針間に稜線に沿った
方向の相対移動を与え、そのとき触針が受ける接触圧
(電気信号に置き換える)の変化からその稜線の直線性
を検出するもので、たとえば特開平1−213502号
公報に記載されている。
【0005】ロ) イメージセンサー式の検査装置: ブ
レードに向けて一方向から光を照射し、その光とブレー
ド(稜線部分)の影(遮光)とをイメージセンサーで受
けるものである。同センサーは、稜線の影と直交する方
向に多数配列された撮像素子からなり、受光量から稜線
の位置を検出する。ブレードをスライドさせて稜線の照
射位置を変えるので、受光量の変化から稜線の凹凸がわ
かる。この方式の装置は、たとえば特開昭57−196
103号公報に記載されている。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】従来の稜線検査装置
は、上記のイ)・ロ)とも、それぞれつぎの点で不都合があ
った。すなわち、イ ) 触針式の装置では、同じ深さ(または高さ)の凹凸
であっても、それが急峻であるかそうでないかによって
検出のされ方が一定しない。稜線と触針との間の接触圧
が、凹凸の深さのみによっては決まらない(稜線・触針
間の相対移動の速度や、触針の運動特性にも関係する)
からである。したがって、急峻な凹凸ならたとえば深さ
10μm(この程度なら実用上差し支えないことが多
い)程度でも欠陥として検出され、逆に緩やかな凹凸で
あれば、深さが20μm以上(この程度になると、たと
え緩やかな凹凸でも普通は実用に支障がある)であって
も欠陥としては検出されないことがある。またこのよう
にS/N比が悪いことから、欠陥のない元来の表面がポ
リウレタンよりも粗いフッ素ゴムよりなるブレードに対
しては、信頼性の高い検査は行い難い。
【0007】ロ) イメージセンサー式の装置は、多数の
撮像素子のほかに、それらによる受光量から稜線の状態
(凹凸が急峻か緩やかかの区別を含む)を知るための演
算手段が必要なため、装置構成が複雑で高価である。ま
た、同センサー上に明瞭な像(稜線の影)を結ぶため
に、焦点あわせなど取り扱いが容易でないことや、走査
する(ブレードをスライドさせる)間に単純ならざる上
記の演算を行う必要があるので、走査速度したがって検
査の能率が低いこと、さらには、稜線にホコリなどが付
着すると誤動作しやすいこと−も好ましくない。
【0008】本発明の目的は、簡単な構成でありなが
ら、実用に即した十分な精度を有する稜線検査装置を提
供することである。
【0009】
【課題を解決するための手段】本発明によるクリーニン
グブレードの稜線検査装置は、1)クリーニングブレー
ドの稜線に、自身の平滑面を所定の圧力で接触させる検
査用ブロック、2)上記の稜線と平滑面との接触部をは
さんで対向する投光器およびスポット状の(すなわち撮
像素子が一個であるなど受光範囲が小さい)受光器、
3)検査用ブロックと投光器・受光器とを先端部分に有
するとともに重量調整可能なバランスウェイトを後端部
分に備える揺動自在なバランスアームであって、投光器
および受光器を、上記2)に示す対向関係に保つべく検
査用ブロックに対してその平滑面と直角な方向へは相対
移動しないように保持するものと、4)投光器・受光器
の組と上記ブレードとの間に、上記稜線の方向の相対移
動をもたらす手段、および、5)受光器による受光の強
さ(受光量)が許容レベルを超えるか否かを検知し、そ
の検知結果をランプやブザーで知らせる手段──を主体
に構成したものである。なお、上記1)のように検査用
ブロックを稜線に接触させるにあたっての圧力は、上記
3)のバランスウェイトの重量を調整することによっ
て、実際の使用において感光体ドラム等のクリーニング
面にブレードが押し当てられる際の、稜線の単位長さあ
たりの接触圧に合わせる。
【0010】
【作用】本発明の装置は、クリーニングブレードの稜線
をつぎのようにして検査する。すなわち、まずブレード
を装置内に取り付けたうえで、上記1)の検査用ブロッ
クを、その平滑面が所定の圧力で稜線に当たるようにし
てブレードに接触させ、2)の投光器によって、接触部
をはさんだ一方の側から、他方の側にある受光器に向け
て光を投射する。そうすると、直線性のすぐれた稜線部
分は上記ブロックの平滑面に密着するので光を漏らさな
いが、そうでない部分からは凹凸の大きさに応じた量
(強さ)の光が漏れて、受光器に達する。そこで、4)
の手段により稜線上の投光・受光位置を変えながら、そ
れぞれの位置で、受光器の受光強さが許容レベルを超え
るか否かを上記5)の手段にて検査員(この装置による
検査に立ち会う者)に知らせるのである。
【0011】つまりこの装置では、ブレードの稜線の全
長にわたって走査しながら、検査用ブロックと稜線との
接触部間からの光の漏れ量のみに基づいて稜線の欠陥を
調べる。このやり方は、一次元のピンホール検査に似て
おり、つぎのように極めて簡単に行える。第一に、受光
範囲が小さくてよい(光の漏れのうち許容限度の欠陥に
対応する大きさのものをカバーできればよい)ため、上
記2)のように簡単な構成の受光器(たとえば一個の撮
像素子よりなるもの)が使用できる。第二に、稜線上の
急峻な凹凸から光が漏れているのか、あるいは緩やかな
凹凸からの漏れかを判別する必要はなく(したがってそ
のための手段も不要)、さらにはその光の漏れ量の絶対
値を知ったりその記憶・演算等を行ったりする必要もな
く、5)の手段が単に、受光器に達する光の漏れ量(つ
まり受光量)が許容レベルを超えるか否かを検知し、そ
の結果を知らせるだけでよい。
【0012】上記のように簡単なものではありながら、
この装置による検査は実用上の十分な精度を有する。な
ぜなら、検査用ブロックの平滑面を、たとえば複写機で
使用中のブレードと感光体ドラム等との接触圧力と同じ
接触圧力にて稜線に接触させるので、同ブロックはいわ
ばダミーの感光体ドラム等に相当し、この装置において
ブレードの実際の使用状態が模擬的に実現されるからで
ある。この状態で、ブレードの稜線と同ブロックの平滑
面との間に隙間があってそこから一定以上の光が漏れる
なら、その部分は、稜線上の急峻な凹凸か緩やかな凹凸
かを区別することなく取りも直さず欠陥であり、光の漏
れ量はその欠陥の大きさに相当する。それゆえ、従来の
イメージセンサー式の検査装置のような特別な演算手段
が不要なのである。また、光の漏れ量が許容レベルを超
えておれば当該稜線は要求品質を満たさず、許容レベル
以下ならそれを満たすこととなってそれぞれ検査目的は
達成され、光の量すなわち欠陥の大きさを測定(定量
化)するには及ばないことから、上記のとおり2)の受
光器と5)の手段とが簡単なものであっても、実用上の
十分な精度がもたらされるのである。なお、この装置に
おいて、ブレードの実際の使用状態が模擬的に実現され
るように当該ブレードの稜線に検査用ブロックを接触さ
せ得るのは、上記3)のとおりバランスアームを用い、
その先端部分に同ブロックを取り付けるとともに同アー
ムの後端部分に重量調整可能なバランスウェイトを取り
付けているからである。つまり、同ウェイトの重量を調
整することによって、稜線に対する検査用ブロックの接
触圧力をブレードの実際の使用状態での圧力に合わせ得
るわけである。しかもこの装置の場合、そうして接触圧
力を調整したのち、投光器や受光器等の位置の調整を行
う必要がない。3)に記したとおり、投光器および受光
器が、同ブロックに対しその平滑面と直角な方向へはい
ずれも相対移動することのないようバランスアームの先
端部分に保持されているため、上記接触圧力の大きさや
ブレードの軟らかさ(たわみやすさ)に関係なく、常に
上記2)に示した位置関係が成り立つからである。
【0013】また、上記5)の手段(知らせる手段)が
対応可能な範囲では、上記4)の手段(相対移動の手
段)による速度(つまり走査速度)によって検査特性の
変化することがない。さらに、従来のイメージセンサ式
のように光学的観察のみにたよるのではなく、検査用ブ
ロックを機械的に接触させたうえで光学手段を用いるた
め、稜線に付着したホコリ等による誤りが起きにくい─
─といった点も、この装置の検査能力がすぐれる理由で
ある。
【0014】
【実施例】図1〜図3に、本発明の第一実施例である稜
線検査装置1について示す。図1(a)・(b)は装置1の
概要ないし検査原理を表わす模式図、図2(a)・(b)は
装置1の全体図、図3は電気系の一部を示す回路図であ
る。この装置1は、複写機において現像ドラムの表面か
ら残留トナーを掻き落とすためのゴム製のクリーニング
ブレードAを検査対象とし、その機能をなす稜線Aa上
に、許容されない程度の凹凸がないかどうかを、ブレー
ドAの製造後・出荷前にチェックするものである。
【0015】検査装置1では、ブレードAの稜線Aaに
ついての直線性の検査を、基本的には図1(a)にしたが
って下記の要領で行う。すなわち、 まず、装置1のホルダー41にブレードAを取り付
け、平滑面10aを下側に有する検査用ブロック10
を、ブレードAの稜線Aa上に接触させる。この際の接
触圧力(接触部で稜線Aaが長さ1cmあたり受ける
力)は、実際の使用時に複写機において現像ドラムの表
面にブレードAが接触する状態での接触圧力と等しくす
る。
【0016】 さらに、稜線Aaと平滑面10aとの
接触部をはさむ一方の側に投光器20を置き、それに対
向する他の側に受光器30を置く。投光器20には赤色
発光ダイオード21(図3参照)またはレーザなどを用
い、蛍光灯その他による外乱を受けにくくする。受光器
30としては、投光器20に合った分光感度特性を有す
る光電素子31(図3参照)を一個のみ使用する。
【0017】 そのうえで、ブロック10と投光器2
0・受光器30とは動かさずに、ブレードAをホルダー
41ごと長手方向(図1(a)の紙面と直角な方向)に移
動する。図1(b)は、このときの状態を受光器30の側
から見た図で、ブレードA(稜線Aa)のみが矢印のよ
うに移動する。稜線Aa上にたとえば凹部Abがある
と、それが図のように受光器30の正面に来たとき、そ
の凹部Abから投光器20の光が漏れて受光器30に達
する。また突出部Acがあると、それがブロック10の
平滑面10aに接触するとき両脇(もしくは片側)に凹
部Adができるので、受光器30の正面でやはり投光器
20の光を漏らす。
【0018】 受光器30(の光電素子31)には、
図1(a)のように、コンパレータ60およびブザー70
からなる報知手段50を接続しており、上記によって
受光器30に達する光の強さ(受光量)が許容レベルを
超えるときは、そのことを同手段50が判定し報知す
る。コンパレータ60は、後述するように、受光量に応
じて受光器30が発する信号を二値(正またはゼロ)の
電圧信号にして出力する回路で、その出力が正電圧のと
きブザー70が鳴る。
【0019】さて、この検査装置1の機械部分は、具体
的には図2(a)・(b)のとおり台板2上に構成してい
る。すなわち、前述の検査用ブロック10や投光器20
・受光器30をバランスアーム12の先端板11に取り
付けるとともに、ブレードAのホルダー41に対して長
手方向(図2(a)の左右)への移動手段40を設けてい
る。
【0020】バランスアーム12は、台板2上に立てた
支柱13によって揺動自在に支え、上記のようにブロッ
ク10・投光器20・受光器30を先端部分に取り付け
たほか、後端部分には、取り替え可能にバランスウェイ
ト14を付けている。このウェイト14を調整すること
により、ブレードA・ブロック10間の接触圧を適正に
する。アーム12の先を、ホルダー41に取り付けたブ
レードAの稜線Aa上に下ろすだけで、上記のとおり
稜線Aaに対してブロック10の平滑面10aを適正圧
力で接触させるとともに、のように、その接触部をは
さんで投光器20と受光器30とを対向させることがで
きる。
【0021】移動手段40としては、上記のホルダー4
1を、直線案内(図示せず)を介してガイドレール42
上に直線動自在に配備し、そのホルダー41を、プーリ
44・45間にレール42と平行に掛け渡してモータ4
6で駆動するゴム製シンクロベルト43の一部と、金具
43aにて連結している。つまり、モータ46を起動す
ることによりベルト43が駆動され、それに連れてレー
ル42上を、上記のようにホルダー41が移動する。
この移動手段40では、動力伝達のためにゴム製の(し
たがって弾性に富み、振動の吸収作用がある)ベルト4
3を使用しており、モータ46の振動等に基づくノイズ
がブレードAやブロック10に伝わりにくい点でも、検
査精度上このましい。
【0022】前述したコンパレータ60は、オペアンプ
61を含む図3のような電気回路により構成している。
電源Vcc(〜0ボルト)に対し、投光器20の発光ダイ
オード21や受光器30の光電素子31、抵抗R1・R
2・R3・R4とともに、オペアンプ61を図のように
接続したのである。このオペアンプ61の端子62から
は、VccとR1・R2とで決まる基準電圧(稜線Aaの
凹凸の許容限度に対応させて定める)に比べて、受光量
に応じた光電素子31の信号や抵抗R3にて決まる入力
電圧が大きいか否かによってVccまたは0ボルトに二値
化されたいずれかの電圧が出力される。図1(a)のブザ
ー70はこの端子62に接続しているので、受光器30
(の光電素子31)の受光量が、許容限度の凹凸による
受光量を超える場合にのみ、電圧Vccを受けて上記の
ようにブザー70が鳴るわけである。
【0023】つづいて図4(a)・(b)は、本発明の第二
実施例に関する図面(要部のみを示す側面図と斜視図)
である。図示の稜線検査装置101も、ブレードBの稜
線Baに検査用ブロック110の平滑面110aを接触
させ、その接触部をはさんで投光器120と受光器13
0とを対向させて、光の漏れにより稜線Baの凹凸を検
査するものだが、前述した第一実施例の装置1とは下記
の二点で異なる。
【0024】1) 検査用ブロック110とそれに形成し
た平滑面110aが、ブレードB(稜線Ba)以上の長
さを有する。したがって、ブロック110を移動せずと
も、その平滑面110aを稜線Baの全長に接触させる
ことができる。
【0025】2) 上記の1)と関連して、接触させたブレ
ードBとブロック110とは動かさずに、投光器120
と受光器130との組を稜線Baと平行な方向に移動す
る。そのため、投光器120と受光器130とをプレー
ト111の下に着けたうえ、そのプレート111を、ブ
ロック110の上面に設けた案内レール112に対し直
線案内113を介してスライドする(この移動手段の駆
動部分は図示省略)よう取り付けている。
【0026】この装置101では、検査用ブロック11
0の長尺化によるコスト上昇はあるものの、前記実施例
の装置1よりもブレードBの実際の使用状態にさらに近
い条件で−したがってより高精度に−稜線Baの検
査を行える。複写機用のクリーニングブレードや自動車
等のワイパーブレードなどが実際に使用される状態と同
様に、この装置101では、ブロック110とブレード
Bとの間に稜線Baの方向の相対移動が生じないからで
ある。
【0027】以上、二つの実施例を紹介したが、これ以
外の態様によっても本発明の検査装置が実施できること
はもちろんである。たとえば、ブレードと検査用ブロッ
クとの位置の上下関係は、言うまでもないが実施例と逆
(ブレードが上)であってもよい。投光器・受光器の組
とブレード(ブロックとの接触部)との間の相対移動を
なす手段としては、第一実施例に示したベルトに限らず
チェーンやワイヤ・ロープなどを使用し、あるいは送り
ねじやラックアンドピニオンを利用することができる。
【0028】
【発明の効果】本発明によるクリーニングブレードの稜
線検査装置には、つぎの効果がある。
【0029】1) 簡単な受光器が使用できるうえ、特別
な演算手段が不要であるなど、低コストで容易に構成さ
れる。
【0030】2) バランスウェイトの重量調整によっ
ブレードの実際の使用状態に近い状態で検査をするた
め、実用に即した高い精度を有する。また、投光器や受
光器等の位置の調整が不要であるため、能率的に検査を
行うことができる。
【0031】3) 表面粗度の高い(粗い)フッ素ゴム系
のブレード等に対しても高精度の検査ができる。
【0032】4) 投光器・受光器とブレード間の相対移
動速度(つまり走査速度)による特性の変化がないの
で、検査の迅速化を図りやすい。
【0033】5) 光学的観察のみにたよるものではない
ため、稜線上に付着したホコリ等による悪影響を受けに
くい。
【図面の簡単な説明】
【図1】図1(a)は、本発明の第一実施例である稜線検
査装置1について概要を示す模式図。同(b)は、同(a)
におけるb−b矢視図である。
【図2】上記の装置1についての全体図で、図2(a)は
平面図、同(b)は同(a)のb−b矢視図(側面視断面
図)である。
【図3】上記の装置1における電気系の一部を示す回路
図である。
【図4】本発明の第二実施例である稜線検査装置101
を示すもので、図4(a)は要部側面図、同(b)は斜視図
である。
【符号の説明】
1・101 稜線検査装置 10・110 検査用ブロック 10a・110a 平滑面 20・120 投光器 30・130 受光器 40 移動手段(相対移動をもたらす手段) 50 報知手段(受光の強さを知らせる手段) A・B ブレード Aa・Ba 稜線

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 クリーニングブレードの稜線に、自身の
    平滑面を所定の圧力で接触させる検査用ブロックと、 上記の稜線と平滑面との接触部をはさんで対向する投光
    器およびスポット状の受光器と、検査用ブロックと投光器・受光器とを先端部分に有する
    とともに重量調整可能なバランスウェイトを後端部分に
    備える揺動自在なバランスアームであって、投光器およ
    び受光器を、上記の対向関係に保つべく検査用ブロック
    に対してその平滑面と直角な方向へは相対移動しないよ
    うに保持するものと、 投光器・受光器の組と上記ブレードとの間に、上記稜線
    の方向の相対移動をもたらす手段と、 受光器による受光の強さが許容レベルを超えるか否かを
    検知し、その検知結果を知らせる手段とを有することを
    特徴とするクリーニングブレードの稜線検査装置。
JP3246817A 1991-08-31 1991-08-31 クリーニングブレードの稜線検査装置 Expired - Lifetime JPH0833292B2 (ja)

Priority Applications (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP3246817A JPH0833292B2 (ja) 1991-08-31 1991-08-31 クリーニングブレードの稜線検査装置
DE19924225522 DE4225522A1 (de) 1991-08-31 1992-08-01 Vorrichtung zum pruefen der abstreifkante einer reinigungsrakel

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP3246817A JPH0833292B2 (ja) 1991-08-31 1991-08-31 クリーニングブレードの稜線検査装置

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPH0560522A JPH0560522A (ja) 1993-03-09
JPH0833292B2 true JPH0833292B2 (ja) 1996-03-29

Family

ID=17154136

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP3246817A Expired - Lifetime JPH0833292B2 (ja) 1991-08-31 1991-08-31 クリーニングブレードの稜線検査装置

Country Status (2)

Country Link
JP (1) JPH0833292B2 (ja)
DE (1) DE4225522A1 (ja)

Families Citing this family (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE10232893A1 (de) * 2002-07-19 2004-01-29 Bayerische Motoren Werke Ag Prüfvorrichtung für Blechteile
JP2006098101A (ja) * 2004-09-28 2006-04-13 Canon Chemicals Inc 板状体の欠陥検出方法及び欠陥検出装置
JP5445983B2 (ja) * 2012-02-03 2014-03-19 横河電機株式会社 塗工寸法測定装置
GB2507828B (en) * 2013-02-04 2015-05-13 Messier Dowty Ltd Deformation Detection Tool & Method for Detecting Deformation

Family Cites Families (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6022614A (ja) * 1983-07-18 1985-02-05 Koyo Seiko Co Ltd 光学的形状測定装置
JPH0814482B2 (ja) * 1988-03-31 1996-02-14 東海ゴム工業株式会社 物品の仮想基準線からのエツジ位置の測定方法

Also Published As

Publication number Publication date
DE4225522A1 (de) 1993-03-04
JPH0560522A (ja) 1993-03-09

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US7215418B2 (en) Inspection of transparent substrates for defects
KR890015660A (ko) 잠재적으로 뒤틀린 프린트 회로판을 검사하는 보상 시스템
US5070237A (en) Optical measurement and detection system
KR20040044071A (ko) 표시용 기판의 검사방법 및 장치
JPH0833292B2 (ja) クリーニングブレードの稜線検査装置
US20040066521A1 (en) System and method for measuring drive belt tension
JP2000088761A (ja) 円筒状被検物の表面検査装置
JPH08219999A (ja) 表面欠陥検査光学系の校正方法、及び装置
KR100278807B1 (ko) 웨이퍼 검사 시스템
KR100381134B1 (ko) 유리 검사장치 및 제어방법
JPH1062146A (ja) シート状物の欠陥検査装置
CN212111170U (zh) 用于检测弧面区域表面缺陷的装置
JPH07301515A (ja) ロールの表面平滑性検査装置
JPH0353161Y2 (ja)
JP2946688B2 (ja) 部品検査装置
KR100335378B1 (ko) 갭 센서 및 얼라인 카메라가 일체로 된 노광기
CN214723545U (zh) 治具及检测设备
JP2001513594A (ja) 素子の端子の位置検出および/またはコプラナリティ検査および/または分離検査のための方法および装置
JP2520021Y2 (ja) 稜線等の検査装置
JP2001041715A (ja) 穴寸法測定装置
JPH08145849A (ja) カラーフィルタ検査装置
JP2001050720A (ja) 表面検査方法および装置
JPH05149889A (ja) 光学式疵検査装置の感度調整方法および感度調整用試片
JPH08233751A (ja) 線状体の表面検査装置
JPH01213502A (ja) 弾性体の稜線検査装置