JPS6022614A - 光学的形状測定装置 - Google Patents
光学的形状測定装置Info
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- JPS6022614A JPS6022614A JP13167283A JP13167283A JPS6022614A JP S6022614 A JPS6022614 A JP S6022614A JP 13167283 A JP13167283 A JP 13167283A JP 13167283 A JP13167283 A JP 13167283A JP S6022614 A JPS6022614 A JP S6022614A
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- G01B11/30—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring roughness or irregularity of surfaces
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- G—PHYSICS
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- G01B11/24—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring contours or curvatures
- G01B11/2433—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring contours or curvatures for measuring outlines by shadow casting
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
この発明は光学的形状測定装置、殊にクラウニング等が
施された円筒ころ、円すいころ等の回転体、或はその他
の物体の前記クラウニング面等の形状を測定する装置に
関する。
施された円筒ころ、円すいころ等の回転体、或はその他
の物体の前記クラウニング面等の形状を測定する装置に
関する。
金属加工物等の精密加工部品の外形形状を測定する従来
方法として拡大投影法がある。この方法は、拡大投影機
によりスクリーンに写し出された被測定物像を、被測定
物の理想外形を現わす一種の姿ゲージと重ね合わせて、
その一致程度を測定するものであって、測定精度の向上
は主に拡大率の増大によりはかられるが、被測定物エツ
ジからの光の回折現象により投影佐のほけが生じ、或は
スクリーン面積の制約などの理由から拡大率に限界があ
り、まだ投彰像と姿ゲージとの一致度の測定を、通常は
目分量によシ行うため、定量的々一致変度測定きわめて
困難であって精度低下の大きな要因となる。
方法として拡大投影法がある。この方法は、拡大投影機
によりスクリーンに写し出された被測定物像を、被測定
物の理想外形を現わす一種の姿ゲージと重ね合わせて、
その一致程度を測定するものであって、測定精度の向上
は主に拡大率の増大によりはかられるが、被測定物エツ
ジからの光の回折現象により投影佐のほけが生じ、或は
スクリーン面積の制約などの理由から拡大率に限界があ
り、まだ投彰像と姿ゲージとの一致度の測定を、通常は
目分量によシ行うため、定量的々一致変度測定きわめて
困難であって精度低下の大きな要因となる。
一方、１１１１定者の個人差による測定値のバラツキを
軽減するのに、近年Ｘ−Ｙテーブル・リニア・エンコー
ダーによる座標の読込み、コンピュータによる演算処理
等の技術が併用されているが、座標の読込み精度が依然
として測定者の個性に大きく左右されるという欠点があ
る。
軽減するのに、近年Ｘ−Ｙテーブル・リニア・エンコー
ダーによる座標の読込み、コンピュータによる演算処理
等の技術が併用されているが、座標の読込み精度が依然
として測定者の個性に大きく左右されるという欠点があ
る。
この発明は、拡大投影法の場合のように拡大率を増大す
るうえでの制限、或は測定者の個人差による測定精度の
バラツキ等がなく１高い測定精度をうる光学的形状測定
装置を提供することを目的とするものである。
るうえでの制限、或は測定者の個人差による測定精度の
バラツキ等がなく１高い測定精度をうる光学的形状測定
装置を提供することを目的とするものである。
而してこの発明は、前記ころ等の被測定物の外形面にナ
イフェツジ状の直線縁をもつ基準ゲージを対接させ、そ
の対接部をレーザー光、或は他の適宜の光源より照射さ
れるスポット光により前記対接方向に走査すると共に、
その走査位置を被測定物の例えば軸方向に順次移動させ
、前記対接部を透過した走査光を光電変換し、そのフー
リエ級数成分のうちの所定高調波成分をロックインアン
プによシ検波して出力し、各走査位置・に対応するロッ
クインアンプ出力を、Ｘ−Ｙ記録計等に記録して読みと
るようにしたことを特徴とするものである。
イフェツジ状の直線縁をもつ基準ゲージを対接させ、そ
の対接部をレーザー光、或は他の適宜の光源より照射さ
れるスポット光により前記対接方向に走査すると共に、
その走査位置を被測定物の例えば軸方向に順次移動させ
、前記対接部を透過した走査光を光電変換し、そのフー
リエ級数成分のうちの所定高調波成分をロックインアン
プによシ検波して出力し、各走査位置・に対応するロッ
クインアンプ出力を、Ｘ−Ｙ記録計等に記録して読みと
るようにしたことを特徴とするものである。
以下この発明を図示の実施例について詳述する。
図面はクラウニングを施された円筒ころ外形面（円筒面
）のクラウニング形状を測定する場合について示しであ
る。
）のクラウニング形状を測定する場合について示しであ
る。
被測定物である円筒ころｌのクラウニングを施された外
形面１ａに対し、下端縁をナイフェツジ状の直線縁２＆
とした基準ゲージ２の前記直線縁２乙を、円筒ころ１の
軸線に平行となる配し￥で封筒させ、その対接部の円筒
ころ１の軸方向（Ｘ軸）の全領域を、Ｘ軸に直交する対
接方向（２軸）に、該Ｘ ＋ Ｚ両軸に直交する方向よ
り投光するスポット光で走査し、この光走査によシ前記
対接部を透過した光を、集光レンズ３ａ、３ｂ７ｘらな
る受光系３で集光して光電子増倍管４に入射させ、光電
変換させて透過光強度に相当する電気信号を得、この電
気信号と対接部のスキマ幅Δ２との間に成立つ関係に基
づき、走査位置に対応する実際の対接部のスキマ幅Δ２
を算出し、それによってクラウニング形状を測定する。
形面１ａに対し、下端縁をナイフェツジ状の直線縁２＆
とした基準ゲージ２の前記直線縁２乙を、円筒ころ１の
軸線に平行となる配し￥で封筒させ、その対接部の円筒
ころ１の軸方向（Ｘ軸）の全領域を、Ｘ軸に直交する対
接方向（２軸）に、該Ｘ ＋ Ｚ両軸に直交する方向よ
り投光するスポット光で走査し、この光走査によシ前記
対接部を透過した光を、集光レンズ３ａ、３ｂ７ｘらな
る受光系３で集光して光電子増倍管４に入射させ、光電
変換させて透過光強度に相当する電気信号を得、この電
気信号と対接部のスキマ幅Δ２との間に成立つ関係に基
づき、走査位置に対応する実際の対接部のスキマ幅Δ２
を算出し、それによってクラウニング形状を測定する。
前記対接部のスキマを走査するスポット光は、Ｈｅ −
Ｎ ｅガスレーザー５を光源とするレーザー光であり、
ピンホール６を介してそのビーム径を適当に細くしたあ
と、ビームスプリッタ−７で２方向に分光し、直進する
スポット光を反射ミラー８を介して振動ミラー９に入射
させる。
Ｎ ｅガスレーザー５を光源とするレーザー光であり、
ピンホール６を介してそのビーム径を適当に細くしたあ
と、ビームスプリッタ−７で２方向に分光し、直進する
スポット光を反射ミラー８を介して振動ミラー９に入射
させる。
振動ミラー９は、これに付属する図示しないタコ・ゼネ
レーターと発振ドライバ１２で構成される発振回路の一
部をなし、振動ミラー９の自己共振周波数ｆｃで振動す
る。
レーターと発振ドライバ１２で構成される発振回路の一
部をなし、振動ミラー９の自己共振周波数ｆｃで振動す
る。
振動ミラー９で反射されるスポット光は、振動ミラー９
の発振により＆１状の所定角度範囲内でその反射方向を
変えるが、振動ミラー９と対向スキマとの間に、振動ミ
ラー９とレンズ１１との間の距離を、自己の焦点距離と
等しくしたレンズ１１を配置し、走査方向（２軸）に対
して直角な平行走査ビームに変換する。
の発振により＆１状の所定角度範囲内でその反射方向を
変えるが、振動ミラー９と対向スキマとの間に、振動ミ
ラー９とレンズ１１との間の距離を、自己の焦点距離と
等しくしたレンズ１１を配置し、走査方向（２軸）に対
して直角な平行走査ビームに変換する。
ビームスプリッタ−７で光路を直角に変えられた分光は
、フォトダイオード１０等で光電変換し、その出力を後
述の補正用信号として供する。
、フォトダイオード１０等で光電変換し、その出力を後
述の補正用信号として供する。
被測定物取付台２１上に載置した円筒ころｌの外形面に
対接させる基準ゲージ２に対し、その後協（図では上端
）に、セツティング＜ａ置調節用電気マイクロ・プロー
ブ１３を押しあって、円筒ころ１に対し基準ゲージ２を
最適位置に突き合せる。
対接させる基準ゲージ２に対し、その後協（図では上端
）に、セツティング＜ａ置調節用電気マイクロ・プロー
ブ１３を押しあって、円筒ころ１に対し基準ゲージ２を
最適位置に突き合せる。
そして被測定物取付台２１と、基準ゲージ２、電気マイ
クロ・プローブ１３を組付けた一方向スライド基台１４
を図示しない駆動手段によりｘ軸方向に移動（スライド
）させて、対接部の全測定領域にわたる光走査を行う。
クロ・プローブ１３を組付けた一方向スライド基台１４
を図示しない駆動手段によりｘ軸方向に移動（スライド
）させて、対接部の全測定領域にわたる光走査を行う。
受光系３と光電子増倍管４との間には、６３２８Ａ波長
光をｉ秀逸する干渉フィルタ１５を介在させ、周囲から
混入する外光の影響を最小に抑えるようにしている。
光をｉ秀逸する干渉フィルタ１５を介在させ、周囲から
混入する外光の影響を最小に抑えるようにしている。
光電子増倍管４よシ出力した７（１気信号は、プリアン
プ１６により第３図に示すような信号波形Ｖに増巾し、
次段のロックインアンプ１７に入力する。
プ１６により第３図に示すような信号波形Ｖに増巾し、
次段のロックインアンプ１７に入力する。
ｎｆｊ記の信号波形Ｖのピーク値ｖｐθａｋとパルス幅
Ｖｗｉｄｔｈとは、対接部のスキマ幅ΔＺと密接に関係
する。この関係は、対接部のスキマ幅Δ２に比して走査
光のビーム径を十分に大きくすることによシ顕著にちら
れる。従って実施例の場合、対接部のスキマ幅ΔＺに対
しビーム径を十分に大きくし前記条件を十分に満足する
ように構成しである。
Ｖｗｉｄｔｈとは、対接部のスキマ幅ΔＺと密接に関係
する。この関係は、対接部のスキマ幅Δ２に比して走査
光のビーム径を十分に大きくすることによシ顕著にちら
れる。従って実施例の場合、対接部のスキマ幅ΔＺに対
しビーム径を十分に大きくし前記条件を十分に満足する
ように構成しである。
ロックインアンプ１７は、その人力電気信号のフーリエ
級数成分のうちの所定高ｔｙａ波成分を検波して出力す
る。すなわち、ロックインアンプ１７には゛、前記電気
信号と共に、発振器ドライバ１２から出力される振動ミ
ラー９の発振周波数ｆｃの２倍の周波数の信号全参照信
号として入力する。
級数成分のうちの所定高ｔｙａ波成分を検波して出力す
る。すなわち、ロックインアンプ１７には゛、前記電気
信号と共に、発振器ドライバ１２から出力される振動ミ
ラー９の発振周波数ｆｃの２倍の周波数の信号全参照信
号として入力する。
従って、スキマ幅Δ２の光走査に対応するロックインア
ンプ１７の出力ｖｏｕｔは、スキマ幅ΔＺとの間に、 Ｖｏｕ、ｔ＝−！Ｅ−！ＬΔＺｓｉｎ２πΔｚ・・・・
・・・・（１）の関係を有する。
ンプ１７の出力ｖｏｕｔは、スキマ幅ΔＺとの間に、 Ｖｏｕ、ｔ＝−！Ｅ−！ＬΔＺｓｉｎ２πΔｚ・・・・
・・・・（１）の関係を有する。
＆段の出力補正部１８では、ロックインアンプ１７の出
力Ｖｏｕｔｉ入力する一方、フ第１・ダイオード１０の
出力信号を、出力補正用信号として入力し、Ｈｅ−Ｎθ
ガスレーザー５の光強度ゆらき′に起因する出力Ｔａｕ
ｔの変動分全補正する。
力Ｖｏｕｔｉ入力する一方、フ第１・ダイオード１０の
出力信号を、出力補正用信号として入力し、Ｈｅ−Ｎθ
ガスレーザー５の光強度ゆらき′に起因する出力Ｔａｕ
ｔの変動分全補正する。
Ｘ−Ｙ記録計１９は、出力補正部１８で補正された出力
Ｖ ｏｕｔをＸ軸信号として入力する一方、スライド基
台１４のＸ軸方向の移動に連動するりニア−・ポテンシ
ョメータ２０の出力をＸ軸信号として入力し、それぞれ
を第４図のＸ軸とＹ軸にとることにより図示の如き出力
特性のグラフを得る。
Ｖ ｏｕｔをＸ軸信号として入力する一方、スライド基
台１４のＸ軸方向の移動に連動するりニア−・ポテンシ
ョメータ２０の出力をＸ軸信号として入力し、それぞれ
を第４図のＸ軸とＹ軸にとることにより図示の如き出力
特性のグラフを得る。
Ｘ軸信号（スライド基台１４の移動量に対応する）は、
前記のリニアー・ポテンショメータ２０に限らず、リニ
アー・エンコーダ、ロータリー・エンコーダ等を用いて
発生させるようにしてもよいＯ この測定系のようにスキマ幅Δ２が微小である５ｉｎ２
πΔ２ ときには、近似的に一２ｙｒＪＺ ＝１の関係式が成り
立つので、前記の＋１１式は一般に Ｖ ｏｕｔ ＝ Ｋ１ （Δ２ゾ ・・・・・・・・・
・・・・・・（２）ただしに１ｉ定数 と魔き換えることができる。
前記のリニアー・ポテンショメータ２０に限らず、リニ
アー・エンコーダ、ロータリー・エンコーダ等を用いて
発生させるようにしてもよいＯ この測定系のようにスキマ幅Δ２が微小である５ｉｎ２
πΔ２ ときには、近似的に一２ｙｒＪＺ ＝１の関係式が成り
立つので、前記の＋１１式は一般に Ｖ ｏｕｔ ＝ Ｋ１ （Δ２ゾ ・・・・・・・・・
・・・・・・（２）ただしに１ｉ定数 と魔き換えることができる。
ところがロックインアンプ１７に入力される電気信号は
、光電子増倍管４およびプリアンプ１６の応答速度を下
げることにより、その７４１１１幅をスキマ幅Δ２と関
係なく一定にすることができるので、このような条件の
もとでは、前記（２）式は、Ｖ ｏｕｔ ＝ Ｋ２Δｚ
、、、、゛−−−−−−−＝−−−−−−°（３））
ただしに２ｉ定数 と置き換えられる。すなわちロックインアンプ１７の出
力Ｔａｕｔ（実際は出力補正部１８より取出される出力
）よシ前記スキマ幅Δｚ’６測定することができる。
、光電子増倍管４およびプリアンプ１６の応答速度を下
げることにより、その７４１１１幅をスキマ幅Δ２と関
係なく一定にすることができるので、このような条件の
もとでは、前記（２）式は、Ｖ ｏｕｔ ＝ Ｋ２Δｚ
、、、、゛−−−−−−−＝−−−−−−°（３））
ただしに２ｉ定数 と置き換えられる。すなわちロックインアンプ１７の出
力Ｔａｕｔ（実際は出力補正部１８より取出される出力
）よシ前記スキマ幅Δｚ’６測定することができる。
なお、走査光としては、実施例のようにレーザー光を採
用すれば、測定精度のうえで有利ではあるが、必ずしも
このようなコヒーレント光に限らないことは云うまでも
ない。
用すれば、測定精度のうえで有利ではあるが、必ずしも
このようなコヒーレント光に限らないことは云うまでも
ない。
この発明は以上のように、基阜ゲージに対する被測定物
外径面の対接部のスキマ幅を、その軸方向（Ｘ軸方向）
の全域に亘って測定することにより、例えば円筒ころ、
円すいころ等に施されたクラウニング形状をきわめて精
度よく測定することがＯｆ能となり、従来の拡大投影法
のように、個人差により測定精度にバラツキが生じたり
、拡大率の制約による精度の限界が生ずるというような
不都合が皆無となる。
外径面の対接部のスキマ幅を、その軸方向（Ｘ軸方向）
の全域に亘って測定することにより、例えば円筒ころ、
円すいころ等に施されたクラウニング形状をきわめて精
度よく測定することがＯｆ能となり、従来の拡大投影法
のように、個人差により測定精度にバラツキが生じたり
、拡大率の制約による精度の限界が生ずるというような
不都合が皆無となる。
また対接部のスキマを透過した光の光電変換に光電子増
倍管を用い、検波処理にロックインアンプを採用してい
るので、測定精度の一層の向上をはかることができる。
倍管を用い、検波処理にロックインアンプを採用してい
るので、測定精度の一層の向上をはかることができる。
第１図は実施例の系統図、第２図（ａ） 、 （ｂ）は
対接部を拡大して示す正面図と側面図、第３図は光電変
換して得られる電気信号の波形１２１、第４図は測定結
果を例示するグラフである。 １・・・円筒ころ（被測定物）、２・・・基阜ゲージ、
３・・・受光系、４・・・光４ｊＥ子増倍管、５・・・
Ｈｅ−Ｎ ｅガスレーザー、９・・・（戻動ミラー、１
イ・・・スライド青（一台、１７−・・ロックインアン
プ、１８・・・出方補正部、１９・・・Ｘ−Ｙ記録計、
２ｏ・・・リニアー・ポテンショメータ、２１・・・被
測定物取付台、Δ２・・・対接部のスキマ幅 出願人 光洋精工株式会社 第１１≦１ 第３図
対接部を拡大して示す正面図と側面図、第３図は光電変
換して得られる電気信号の波形１２１、第４図は測定結
果を例示するグラフである。 １・・・円筒ころ（被測定物）、２・・・基阜ゲージ、
３・・・受光系、４・・・光４ｊＥ子増倍管、５・・・
Ｈｅ−Ｎ ｅガスレーザー、９・・・（戻動ミラー、１
イ・・・スライド青（一台、１７−・・ロックインアン
プ、１８・・・出方補正部、１９・・・Ｘ−Ｙ記録計、
２ｏ・・・リニアー・ポテンショメータ、２１・・・被
測定物取付台、Δ２・・・対接部のスキマ幅 出願人 光洋精工株式会社 第１１≦１ 第３図
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 （１）被測定物取付台と、被測定物取付台に取付けられ
た被測定物の外形面に対接させかつ端縁が前記被測定物
との対接方向に直交する向きに延びる直線縁に形成され
た基準ゲージと、スポット光を照射する投光手段と、被
測定と基準ゲージとの対接部を前記スポット光でその対
接方向に所定周期で走査する光走査手段と、光走査位置
を前記走査方向に直交する向きに順次移動させる光走査
位置変更手段と、前記対接部を透過した光を受光して光
電変換する光電子増倍管と、光電子増倍管が出力する電
気信号を受けてそのフーリエ級数成分のうちの所定高調
波成分を検波して出力するロックインアンプと、四ツク
インアンプの出力を対接部の各光走査位置に対応させて
読みとる測定値記録手段とを備えた光学的形状測定装置 （２）被測定物がその外形にクラウニングを施された円
筒ころ、円すいころ等の回転体である特許請求の範囲（
１）記載の光学的形状測定装置（３）基準ゲージの前記
直線縁がナイフェツジ状に形成されている特許請求の範
囲（１）または（２）に記載の光学的形状測定装置 （４）光走査位置変更手段が、前記走査方向に直交する
向きに被測定物と基準ゲージとを同時に移動させる特許
請求の範囲（１）から（３）のいずれか１つに記載の光
学的形状測定装置
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13167283A JPS6022614A (ja) | 1983-07-18 | 1983-07-18 | 光学的形状測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13167283A JPS6022614A (ja) | 1983-07-18 | 1983-07-18 | 光学的形状測定装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6022614A true JPS6022614A (ja) | 1985-02-05 |
| JPH0242403B2 JPH0242403B2 (ja) | 1990-09-21 |
Family
ID=15063524
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP13167283A Granted JPS6022614A (ja) | 1983-07-18 | 1983-07-18 | 光学的形状測定装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6022614A (ja) |
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6287805A (ja) * | 1985-10-14 | 1987-04-22 | Mitsutoyo Mfg Corp | 丸軸状部材の形状測定装置 |
| JPS6332308A (ja) * | 1986-07-25 | 1988-02-12 | Mitsutoyo Corp | クランクシヤフトの非接触形状測定方法及び装置 |
| JPH0560522A (ja) * | 1991-08-31 | 1993-03-09 | Bando Chem Ind Ltd | クリーニングブレードの稜線検査装置 |
| JP2000205832A (ja) * | 1999-01-19 | 2000-07-28 | Sharp Corp | プラズマ反応装置に用いるギャップ測定装置 |
| JP2009229312A (ja) * | 2008-03-24 | 2009-10-08 | Harmonic Drive Syst Ind Co Ltd | 輪郭形状測定方法 |
| WO2010063775A1 (de) * | 2008-12-05 | 2010-06-10 | Carl Zeiss Ag | Optische anordnung zum berührungslosen messen oder prüfen einer körperoberfläche |
| WO2014118575A1 (en) * | 2013-02-04 | 2014-08-07 | Messier-Dowty Limited | Deformation detection tool & method for detecting deformation |
| CN111811439A (zh) * | 2020-05-13 | 2020-10-23 | 河北省计量监督检测研究院廊坊分院 | 刀口形直尺工作棱边直线度自动测量方法 |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH08191005A (ja) * | 1995-01-10 | 1996-07-23 | Rohm Co Ltd | チップ型可変抵抗器 |
-
1983
- 1983-07-18 JP JP13167283A patent/JPS6022614A/ja active Granted
Cited By (12)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6287805A (ja) * | 1985-10-14 | 1987-04-22 | Mitsutoyo Mfg Corp | 丸軸状部材の形状測定装置 |
| JPS6332308A (ja) * | 1986-07-25 | 1988-02-12 | Mitsutoyo Corp | クランクシヤフトの非接触形状測定方法及び装置 |
| JPH0560522A (ja) * | 1991-08-31 | 1993-03-09 | Bando Chem Ind Ltd | クリーニングブレードの稜線検査装置 |
| JP2000205832A (ja) * | 1999-01-19 | 2000-07-28 | Sharp Corp | プラズマ反応装置に用いるギャップ測定装置 |
| JP2009229312A (ja) * | 2008-03-24 | 2009-10-08 | Harmonic Drive Syst Ind Co Ltd | 輪郭形状測定方法 |
| WO2010063775A1 (de) * | 2008-12-05 | 2010-06-10 | Carl Zeiss Ag | Optische anordnung zum berührungslosen messen oder prüfen einer körperoberfläche |
| US8767218B2 (en) | 2008-12-05 | 2014-07-01 | Carl Zeiss Industrielle Messtechnik Gmbh | Optical apparatus for non-contact measurement or testing of a body surface |
| WO2014118575A1 (en) * | 2013-02-04 | 2014-08-07 | Messier-Dowty Limited | Deformation detection tool & method for detecting deformation |
| GB2507828B (en) * | 2013-02-04 | 2015-05-13 | Messier Dowty Ltd | Deformation Detection Tool & Method for Detecting Deformation |
| CN104981679A (zh) * | 2013-02-04 | 2015-10-14 | 梅西耶-道提有限公司 | 探测变形的工具和探测变形的方法 |
| US9816806B2 (en) | 2013-02-04 | 2017-11-14 | Safran Landing Systems Uk Ltd | Deformation detection tool and method for detecting deformation |
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| JPH0242403B2 (ja) | 1990-09-21 |
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