JPH05149889A - 光学式疵検査装置の感度調整方法および感度調整用試片 - Google Patents
光学式疵検査装置の感度調整方法および感度調整用試片Info
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- JPH05149889A JPH05149889A JP34194991A JP34194991A JPH05149889A JP H05149889 A JPH05149889 A JP H05149889A JP 34194991 A JP34194991 A JP 34194991A JP 34194991 A JP34194991 A JP 34194991A JP H05149889 A JPH05149889 A JP H05149889A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 光学式疵検査装置の感度をライン内で調整す
る。調整時に被検査材をライン外へ排除しない。調整精
度を高める。 【構成】 被検査材１０の被検査面に、透明なフィルム
からなる試片２０を固定する。試片２０の表面には、黒
い線状のマーク２１が標準欠陥として付されている。被
検査面上の試片２０をレーザー光で走査する。試片２０
のマーク２１のところで受光出力が変化する。その変化
量が所定の変化量となるように、検査装置の感度を調整
する。
る。調整時に被検査材をライン外へ排除しない。調整精
度を高める。 【構成】 被検査材１０の被検査面に、透明なフィルム
からなる試片２０を固定する。試片２０の表面には、黒
い線状のマーク２１が標準欠陥として付されている。被
検査面上の試片２０をレーザー光で走査する。試片２０
のマーク２１のところで受光出力が変化する。その変化
量が所定の変化量となるように、検査装置の感度を調整
する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、ライン中を進行するス
トリップのような長尺広幅の金属材の表面疵検査に好適
に使用される光学式疵検査装置の感度調整方法およびこ
れに使用される感度調整用試片に関する。
トリップのような長尺広幅の金属材の表面疵検査に好適
に使用される光学式疵検査装置の感度調整方法およびこ
れに使用される感度調整用試片に関する。
【０００２】
【従来の技術】ストリップのような長尺広幅の金属材の
表面疵検査には、レーザー光を使用した光学式疵検査装
置が多用されている。この装置でストリップの表面疵を
検査する場合には、図４に示すように、受けロール１，
１上を進行するストリップ１０の表面を、投光器２から
照射されるレーザー光により板幅方向に走査し、その反
射光を受光器３で受ける。ストリップ１０の表面に疵が
なければ、受光器３の出力は板幅方向で一定となる。ス
トリップ１０の表面に減光疵があった場合は、疵の所が
暗くなり、その箇所で受光器３の出力が低下するので、
受光器３の出力が低下した箇所および低下量から疵の箇
所および大きさが検出される。
表面疵検査には、レーザー光を使用した光学式疵検査装
置が多用されている。この装置でストリップの表面疵を
検査する場合には、図４に示すように、受けロール１，
１上を進行するストリップ１０の表面を、投光器２から
照射されるレーザー光により板幅方向に走査し、その反
射光を受光器３で受ける。ストリップ１０の表面に疵が
なければ、受光器３の出力は板幅方向で一定となる。ス
トリップ１０の表面に減光疵があった場合は、疵の所が
暗くなり、その箇所で受光器３の出力が低下するので、
受光器３の出力が低下した箇所および低下量から疵の箇
所および大きさが検出される。
【０００３】このような光学式疵検査装置では、その使
用に伴い、光源の劣化や光学系の汚れが生じ、感度が低
下する。そうなると、疵の大きさが正確に検出されなく
なり、小さな疵の見落としも生じる。そのため、所定の
使用期間毎に感度の調整が行われる。
用に伴い、光源の劣化や光学系の汚れが生じ、感度が低
下する。そうなると、疵の大きさが正確に検出されなく
なり、小さな疵の見落としも生じる。そのため、所定の
使用期間毎に感度の調整が行われる。
【０００４】一般に、光学式疵検査装置の感度調整は、
例えばストリップ１０の検査装置にあっては、検査位置
のところでストリップ１０を切断し、ここにセットした
標準試片３０をレーザー光で走査することにより行われ
ている。標準試片３０は、ストリップ１０の板幅とほぼ
同じ長さのＳＵＳ板からなり、表面に大きさの異なる標
準欠陥３１（ドリル孔）が長さ方向に等間隔をあけて設
けられている。この標準試片３０の標準欠陥３１が並ぶ
線上をレーザー光で走査すれば、図５に示すように、標
準欠陥３１の位置および大きさに対応して受光器３の出
力波形が変化し、その変化量が標準値に一致するように
検査装置の感度が調整される。
例えばストリップ１０の検査装置にあっては、検査位置
のところでストリップ１０を切断し、ここにセットした
標準試片３０をレーザー光で走査することにより行われ
ている。標準試片３０は、ストリップ１０の板幅とほぼ
同じ長さのＳＵＳ板からなり、表面に大きさの異なる標
準欠陥３１（ドリル孔）が長さ方向に等間隔をあけて設
けられている。この標準試片３０の標準欠陥３１が並ぶ
線上をレーザー光で走査すれば、図５に示すように、標
準欠陥３１の位置および大きさに対応して受光器３の出
力波形が変化し、その変化量が標準値に一致するように
検査装置の感度が調整される。
【０００５】このような一般的な方法とは別に、特開昭
５０−１７９０号公報には、標準試片をライン外に配
し、調整時に検査装置の光学系をライン外へ移動させる
感度調整方法が開示されている。
５０−１７９０号公報には、標準試片をライン外に配
し、調整時に検査装置の光学系をライン外へ移動させる
感度調整方法が開示されている。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】しかし、従来一般に行
われている感度調整方法では、調整作業のたびに被検査
材を検査位置から排除しなければならず、特にストリッ
プの検査装置にあっては、ストリップの切断が必要にな
り、感度調整の後には溶接による接続も必要となる。こ
れに加え、ＳＵＳ板からなる標準試片は、そのセットに
時間がかり、被検査面が曲面の場合は、図６に示すよう
に、デリケートな角度合わせも必要になる。更に、標準
欠陥としてのドリル穴は、微小なものについては、精度
の良い加工が難しい、ドリル穴の配列線上に走査ライン
を一致させることが難しい、ドリル穴エッジ部でレーザ
ー光が乱反射し、再現性のよい試験が難しいなどの種々
難点がある。そのため、この方法は、調整に手数がかか
る割に、その精度は高くなく、ばらつきも大きい。
われている感度調整方法では、調整作業のたびに被検査
材を検査位置から排除しなければならず、特にストリッ
プの検査装置にあっては、ストリップの切断が必要にな
り、感度調整の後には溶接による接続も必要となる。こ
れに加え、ＳＵＳ板からなる標準試片は、そのセットに
時間がかり、被検査面が曲面の場合は、図６に示すよう
に、デリケートな角度合わせも必要になる。更に、標準
欠陥としてのドリル穴は、微小なものについては、精度
の良い加工が難しい、ドリル穴の配列線上に走査ライン
を一致させることが難しい、ドリル穴エッジ部でレーザ
ー光が乱反射し、再現性のよい試験が難しいなどの種々
難点がある。そのため、この方法は、調整に手数がかか
る割に、その精度は高くなく、ばらつきも大きい。
【０００７】その点、標準試片をライン外に配し、ライ
ン外でその走査を行う方法は、ライン中に被検査材を残
したまま調整を行うことができ、能率は良い。しかし、
標準試片はこれまでのものをそのまま使うので、標準試
片に伴う種々難点は一向に解消されず、そればかりか検
査装置の光学系を移動させるために、装置の大幅な大型
化および複雑化を招く。
ン外でその走査を行う方法は、ライン中に被検査材を残
したまま調整を行うことができ、能率は良い。しかし、
標準試片はこれまでのものをそのまま使うので、標準試
片に伴う種々難点は一向に解消されず、そればかりか検
査装置の光学系を移動させるために、装置の大幅な大型
化および複雑化を招く。
【０００８】本発明の目的は、従来どおりの検査装置を
使用して、その感度調整を能率よく高精度に行うことが
できる感度調整方法および感度調整用試片を提供するこ
とにある。
使用して、その感度調整を能率よく高精度に行うことが
できる感度調整方法および感度調整用試片を提供するこ
とにある。
【０００９】
【課題を解決するための手段】本発明の感度調整方法
は、被検査材の表面をレーザー光により走査し、その反
射光の光量変化から前記被検査材の表面疵を検出する光
学式検査装置の感度を調整する方法であって、標準欠陥
に相当するマークが付されたフィルムを前記被検査材の
表面に固定し、その表面をレーザー光により走査したと
きに前記マークに対応して現れる反射光の光量変化が、
予め決められた所定の変化となるように、前記光学式疵
検査装置の感度を調整することを特徴とする。
は、被検査材の表面をレーザー光により走査し、その反
射光の光量変化から前記被検査材の表面疵を検出する光
学式検査装置の感度を調整する方法であって、標準欠陥
に相当するマークが付されたフィルムを前記被検査材の
表面に固定し、その表面をレーザー光により走査したと
きに前記マークに対応して現れる反射光の光量変化が、
予め決められた所定の変化となるように、前記光学式疵
検査装置の感度を調整することを特徴とする。
【００１０】本発明の感度調整用試片は、被検査材の表
面をレーザー光により走査し、その反射光の光量変化か
ら前記被検査材の表面疵を検出する光学式検査装置の感
度調整に使用される標準試片であって、前記被検査材表
面の走査方向の一部または全部に固定され得る透明なフ
ィルムからなり、該フィルムに、前記走査方向と交差す
る標準欠陥相当の複数の線状のマークを、間隔をあけて
設けたことを特徴とする。
面をレーザー光により走査し、その反射光の光量変化か
ら前記被検査材の表面疵を検出する光学式検査装置の感
度調整に使用される標準試片であって、前記被検査材表
面の走査方向の一部または全部に固定され得る透明なフ
ィルムからなり、該フィルムに、前記走査方向と交差す
る標準欠陥相当の複数の線状のマークを、間隔をあけて
設けたことを特徴とする。
【００１１】
【作用】本発明の感度調整方法においては、標準欠陥に
相当するマークが付されたフィルムを、標準試片として
使用する。このフィルムは、ライン内の被検査材の表面
にも簡単に固定でき、ライン内での感度調整を可能にす
ると共に、感度調整時の被検査材の排除を不用とする。
また、そのマークは、ドリル穴と異なり、小さなものに
ついても精度よく付され、周縁での乱反射もない。更
に、このフィルムは、湾曲した被検査材の表面に密着さ
せることができるので、被検査面が湾曲している場合も
その角度合わせを必要としない。従って、感度調整が簡
単かつ高精度に行われる。
相当するマークが付されたフィルムを、標準試片として
使用する。このフィルムは、ライン内の被検査材の表面
にも簡単に固定でき、ライン内での感度調整を可能にす
ると共に、感度調整時の被検査材の排除を不用とする。
また、そのマークは、ドリル穴と異なり、小さなものに
ついても精度よく付され、周縁での乱反射もない。更
に、このフィルムは、湾曲した被検査材の表面に密着さ
せることができるので、被検査面が湾曲している場合も
その角度合わせを必要としない。従って、感度調整が簡
単かつ高精度に行われる。
【００１２】本発明の感度調整用試片は、特に、そのフ
ィルムを透明とし、被検査材の地肌がそのまま透視され
るので、不透明でしかも材質が特定され従来の標準試片
よりも実際に近い状況下で感度調整を行うことができ
る。更に、マークを走査方向と交差する線状にしている
ので、フィルムの位置ずれの影響を受けない調整もでき
る。
ィルムを透明とし、被検査材の地肌がそのまま透視され
るので、不透明でしかも材質が特定され従来の標準試片
よりも実際に近い状況下で感度調整を行うことができ
る。更に、マークを走査方向と交差する線状にしている
ので、フィルムの位置ずれの影響を受けない調整もでき
る。
【００１３】
【実施例】以下に本発明の実施例を図面に基づいて説明
する。図１は本発明に使用される光学式疵検査装置の一
例を示す模式図、図２は本発明の感度調整の一態様を示
す斜視図、図３は試片と出力の関係を示す模式図であ
る。
する。図１は本発明に使用される光学式疵検査装置の一
例を示す模式図、図２は本発明の感度調整の一態様を示
す斜視図、図３は試片と出力の関係を示す模式図であ
る。
【００１４】光学式疵検査装置は、図１に示すように、
ストリップ１０の疵検査に用いられるもので、受けロー
ル１の周面に沿って湾曲して進行するストリップ１０の
湾曲部表面を、投光器２から照射されるレーザー光によ
り板幅方向に走査する。受光器３は、湾曲した被検査表
面からの反射光を受けるべく、その被検査表面に板幅方
向全体にわたって対向されている。受光器３の出力は、
直流増幅器４で増幅された後、交流増幅器５で直流分を
除去され、比較器６で疵信号が取り出される。情報処理
器７は、疵信号を処理し、警報盤８、プリンタ９を動作
させる。
ストリップ１０の疵検査に用いられるもので、受けロー
ル１の周面に沿って湾曲して進行するストリップ１０の
湾曲部表面を、投光器２から照射されるレーザー光によ
り板幅方向に走査する。受光器３は、湾曲した被検査表
面からの反射光を受けるべく、その被検査表面に板幅方
向全体にわたって対向されている。受光器３の出力は、
直流増幅器４で増幅された後、交流増幅器５で直流分を
除去され、比較器６で疵信号が取り出される。情報処理
器７は、疵信号を処理し、警報盤８、プリンタ９を動作
させる。
【００１５】感度調整を行うには、まず、ストリップ１
０の進行を停止する。次いで、図２に示すように、スト
リップ１０の湾曲した被検査面上に試片２０を固定す
る。試片２０は、例えばＡ４サイズ程度で厚みが0.１〜
１ｍｍ程度の透明な樹脂フィルムからなる。樹脂フィル
ムの表面には、長さが数乃至１０ｃｍ程度で幅が異なる
複数本の黒い線状のマーク２１が、フィルム長手方向に
等間隔で付されている。マーク２１の各幅は、従来の標
準試片３０における標準欠陥３１（ドリル穴）の大きさ
に対応している。
０の進行を停止する。次いで、図２に示すように、スト
リップ１０の湾曲した被検査面上に試片２０を固定す
る。試片２０は、例えばＡ４サイズ程度で厚みが0.１〜
１ｍｍ程度の透明な樹脂フィルムからなる。樹脂フィル
ムの表面には、長さが数乃至１０ｃｍ程度で幅が異なる
複数本の黒い線状のマーク２１が、フィルム長手方向に
等間隔で付されている。マーク２１の各幅は、従来の標
準試片３０における標準欠陥３１（ドリル穴）の大きさ
に対応している。
【００１６】感度調整の際には、試片２０がストリップ
１０の被検査表面に密着し、かつ、そのマーク２１の中
央部が走査ラインと直交するように、試片２０が被検査
面の板幅方向一端部上に固定される。ストリップ１０の
被検査面は湾曲しているが、試片２０はその湾曲面に沿
って容易に湾曲し、テープ２２等で簡単に密着させるこ
とができる。被検査面上に試片２０が固定されると、疵
検査装置を作動させる。これにより、試片２０がレーザ
ー光で走査され、受光出力波形がマーク２１に対応して
変化する。このときの直流増幅器および交流増幅器の出
力波形が図３（Ａ）である。５箇所のレベル変化は、５
つのマーク２１に対応し、各変化量は、各マーク２１の
幅に対応する。各変化量が検出されると、それらが、各
マーク２１の幅に対して決められた正規の変化量となる
ように、疵検査装置を調整する。走査ラインの方向に試
片２０を順番に貼り直して、上記の操作を繰り返すこと
により、走査ラインの全域にわたって感度がチェックさ
れる。
１０の被検査表面に密着し、かつ、そのマーク２１の中
央部が走査ラインと直交するように、試片２０が被検査
面の板幅方向一端部上に固定される。ストリップ１０の
被検査面は湾曲しているが、試片２０はその湾曲面に沿
って容易に湾曲し、テープ２２等で簡単に密着させるこ
とができる。被検査面上に試片２０が固定されると、疵
検査装置を作動させる。これにより、試片２０がレーザ
ー光で走査され、受光出力波形がマーク２１に対応して
変化する。このときの直流増幅器および交流増幅器の出
力波形が図３（Ａ）である。５箇所のレベル変化は、５
つのマーク２１に対応し、各変化量は、各マーク２１の
幅に対応する。各変化量が検出されると、それらが、各
マーク２１の幅に対して決められた正規の変化量となる
ように、疵検査装置を調整する。走査ラインの方向に試
片２０を順番に貼り直して、上記の操作を繰り返すこと
により、走査ラインの全域にわたって感度がチェックさ
れる。
【００１７】このような感度調整によれば、ストリップ
１０を切断せずに試片２０をセットできる。試片２０が
小さく軽いために、そのセット自体も簡単である。そし
て、従来どおりの試験装置で光学系を固定したままライ
ン内で調整を行うことができる。更に、被検査面が湾曲
している場合も、その湾曲面に試片２０を密着させるこ
とができるので、レーザー光に対する試片２０の角度調
節が不用である（図６参照）。マーク２１が線状になっ
ているので、走査ラインと直角な方向に試片２０がずれ
ても、調整精度が低下しない。必要な幅のマーク２１が
正確に付されるので、微小な欠陥についても感度調節時
の検査対象とすることができる。マーク２１の周縁での
乱反射がなく、これも精度向上、再現性の改善に寄与す
る。
１０を切断せずに試片２０をセットできる。試片２０が
小さく軽いために、そのセット自体も簡単である。そし
て、従来どおりの試験装置で光学系を固定したままライ
ン内で調整を行うことができる。更に、被検査面が湾曲
している場合も、その湾曲面に試片２０を密着させるこ
とができるので、レーザー光に対する試片２０の角度調
節が不用である（図６参照）。マーク２１が線状になっ
ているので、走査ラインと直角な方向に試片２０がずれ
ても、調整精度が低下しない。必要な幅のマーク２１が
正確に付されるので、微小な欠陥についても感度調節時
の検査対象とすることができる。マーク２１の周縁での
乱反射がなく、これも精度向上、再現性の改善に寄与す
る。
【００１８】なお、上記実施例では、試片２０のマーク
２１の幅を変えているが、図３（Ｂ）に示すように、同
じ幅をした複数のマーク２１を並べた試片２０を使用し
てもよい。また、そのマーク２１は、１つでもよいし、
線状以外の形状でもよい。更に、試片２０は軽いので、
走査ラインの全域を１枚でクリアできるような寸法形状
のものとしてもよい。
２１の幅を変えているが、図３（Ｂ）に示すように、同
じ幅をした複数のマーク２１を並べた試片２０を使用し
てもよい。また、そのマーク２１は、１つでもよいし、
線状以外の形状でもよい。更に、試片２０は軽いので、
走査ラインの全域を１枚でクリアできるような寸法形状
のものとしてもよい。
【００１９】
【発明の効果】以上の説明から明らかなように、本発明
の光学式疵検査装置の感度調整方法は、試片をマーク付
きのフィルムとすることにより、ライン内で感度調整を
行うにもかかわらず、被検査材をライン外へ排除する必
要がない。しかも、ラフな作業でもって優れた調整精度
ならびに再現性を得ることができる。そして、透明フィ
ルムに線状のマークを付した本発明の感度調整用試片
は、これらの効果を更に高めることができる。
の光学式疵検査装置の感度調整方法は、試片をマーク付
きのフィルムとすることにより、ライン内で感度調整を
行うにもかかわらず、被検査材をライン外へ排除する必
要がない。しかも、ラフな作業でもって優れた調整精度
ならびに再現性を得ることができる。そして、透明フィ
ルムに線状のマークを付した本発明の感度調整用試片
は、これらの効果を更に高めることができる。
【図１】本発明に使用される光学式疵検査装置の一例を
示す模式図である。
示す模式図である。
【図２】本発明の感度調整の一態様を示す斜視図であ
る。
る。
【図３】試片と出力の関係を示す模式図である。
【図４】従来の感度調整方法を説明するための斜視図で
ある。
ある。
【図５】従来の感度調整方法に使用される標準試片と出
力波形との関係を示す模式図である。
力波形との関係を示す模式図である。
【図６】従来の感度調整方法で被検査面が湾曲している
場合の操作を説明するための模式図である。
場合の操作を説明するための模式図である。
１０ ストリップ（被検査材） ２０ 試片 ２１ マーク ３０ 従来の標準試片
Claims (2)
- 【請求項１】 被検査材の表面をレーザー光により走査
し、その反射光の光量変化から前記被検査材の表面疵を
検出する光学式検査装置の感度を調整する方法であっ
て、標準欠陥に相当するマークが付されたフィルムを前
記被検査材の表面に固定し、その表面をレーザー光によ
り走査したときに前記マークに対応して現れる反射光の
光量変化が、予め決められた所定の変化となるように、
前記光学式疵検査装置の感度を調整することを特徴とす
る光学式疵検査装置の感度調整方法。 - 【請求項２】 被検査材の表面をレーザー光により走査
し、その反射光の光量変化から前記被検査材の表面疵を
検出する光学式検査装置の感度調整に使用される標準試
片であって、前記被検査材表面の走査方向の一部または
全部に固定され得る透明なフィルムからなり、該フィル
ムに、前記走査方向と交差する標準欠陥相当の複数の線
状のマークを、間隔をあけて設けたことを特徴とする感
度調整用試片。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP34194991A JPH05149889A (ja) | 1991-11-29 | 1991-11-29 | 光学式疵検査装置の感度調整方法および感度調整用試片 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP34194991A JPH05149889A (ja) | 1991-11-29 | 1991-11-29 | 光学式疵検査装置の感度調整方法および感度調整用試片 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05149889A true JPH05149889A (ja) | 1993-06-15 |
Family
ID=18350012
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP34194991A Pending JPH05149889A (ja) | 1991-11-29 | 1991-11-29 | 光学式疵検査装置の感度調整方法および感度調整用試片 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH05149889A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR19990037083A (ko) * | 1997-10-14 | 1999-05-25 | 디. 크레이그 노룬드 | 이미지 스캐너 및 투과 이미지 매체 상의 표면 결점 검출 방버부 |
| JP2007309760A (ja) * | 2006-05-18 | 2007-11-29 | Canon Chemicals Inc | 欠陥検出方法および装置 |
-
1991
- 1991-11-29 JP JP34194991A patent/JPH05149889A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR19990037083A (ko) * | 1997-10-14 | 1999-05-25 | 디. 크레이그 노룬드 | 이미지 스캐너 및 투과 이미지 매체 상의 표면 결점 검출 방버부 |
| JP2007309760A (ja) * | 2006-05-18 | 2007-11-29 | Canon Chemicals Inc | 欠陥検出方法および装置 |
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