JP2003098104A - 表面検査方法および表面検査装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 筋状の欠陥の幅の変化に伴う光量変化（光の
強弱）のパターンに対応し、欠陥の検出精度を向上でき
る表面検査方法および表面検査装置を提供すること。 【解決手段】 検査体に照射した照射光が、検査体にお
いて反射または透過した光を複数の分割センサで受光す
る際に、分割センサのそれぞれの受光面サイズを補正す
る補正手段を備えて、分割センサのそれぞれの受光面で
受光する光の強弱パターンに差が生じるように補正する
ことができ、検査体の筋状の欠陥の幅の変化に伴う光量
変化のパターンに対応して、検出精度を向上させる表面
検査装置にした。また、センサの受光面で受光する光の
強弱パターンに差が生じるように、異なる時刻でセンサ
の受光信号をサンプリングする表面検査装置にして、同
様の効果を得ることができるようにした。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、検査体の表面欠陥
を検出する表面検査方法および表面検査装置に関するも
のである。

【０００２】

【従来の技術】感光フィルムやコーティング紙等の生産
時、生産品の表面にはスポット状の凹凸や、生産品の搬
送方向に延びる筋状の欠陥が発生する場合がある。そこ
で、生産品の表面の欠陥の有無を検査して、生産品の品
質管理を行っている。生産品の表面の品質検査を行う方
法として、図５に示すように、検査体３の一方の面から
光を照射して、検査体３の他方の面に透過した透過光を
調べることにより、検査体３表面の欠陥の有無を確認す
る方法がある。すなわち、検査体３の一方の面から照射
した光が検査体３の他方の面に透過するとき、表面が均
一である場合は透過光は均一に伝わるが、表面に筋状の
傷（欠陥）３０３があると光が屈折して、検査体３より
離間した位置では、透過光の光量分布（光の強弱）に斑
が発生する。光量分布は相対的に明部と暗部とが交互に
分布して、例えば、図７に線形Ｌで図示するように光量
変化（光の強弱）のパターンが形成される。この光量分
布を検出することにより、検査体表面の状態を調べる。
この光量分布の検出には、例えば、図７に示すように、
分割センサＡ，Ｂを用いる方法がある。すなわち、分割
センサＡ，Ｂそれぞれの受光面において光量を検出し
て、各分割センサＡ，Ｂにて検出された光の強弱の差を
求める。図７の線形Ｍで示すように、光の強弱の差はセ
ンサＡで検出した光量とセンサＢで検出した光量との差
を表示したものである。すなわち、分割センサＡ，Ｂの
それぞれの受光面で検出された光量を電気的信号（セン
サ受光信号）に変換し、これらの信号波形の差を取るこ
とにより、検査体表面に欠陥があることが検出される。
なお、同様に、検査体３に照射した照射光が検査体３に
よって反射される反射光の光量分布をセンサで検出する
ことによって、検査体表面の欠陥を調べることができ
る。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】上記従来の技術には次
のような課題があった。筋状の欠陥の幅は一定ではな
く、欠陥の幅によって透過光の斑の幅が変わる。例え
ば、図８に示すような、光量変化（光の強弱）のパター
ンとなっている場合、各分割センサＡ，Ｂで検出する光
量変化（光の強弱）のパターンが一致し、光量の差を検
出すると、信号波形が均一になり、実際の光量変化のパ
ターンを検出できない場合がある。つまり、筋状の欠陥
の幅が変化すると、この欠陥を検出できない場合があ
る。本発明は上記課題を鑑みてなされるものであり、筋
状の欠陥の幅の変化に伴う光量変化（光の強弱）のパタ
ーンに対応し、欠陥の検出精度を向上できる表面検査方
法および表面検査装置を提供することを目的とする。

【０００４】

【課題を解決するための手段】上記課題に対し、請求項
１の発明は、例えば図１に示すように、検査体に光を照
射し、この照射光が検査体において反射または透過した
光を複数の分割センサで受光し、該分割センサ上での光
量の変化により、前記検査体の表面欠陥を検出する表面
検査方法において、一方の分割センサの受光面で受光す
る光の強弱パターンと、他方の分割センサの受光面で受
光する光の強弱パターンとで差が生じるように、前記そ
れぞれの分割センサの受光面のサイズを補正することを
特徴としている。

【０００５】請求項１の発明によれば、それぞれの分割
センサで受光する光の強弱パターンに差が生じない場合
に、分割センサの受光面のサイズを補正して、受光する
光の強弱パターンに差が生じた状態で光量変化を検出す
るので、様々な幅を持つ筋状の欠陥に伴って光の強弱パ
ターンが変化しても、これに対応でき、よって検査体の
表面欠陥の検出精度を向上させることができる。

【０００６】請求項２の発明は、検査体に光を照射し、
この照射光が検査体において反射または透過した光を複
数の分割センサで受光し、該分割センサ上での光量の変
化により、前記検査体の表面欠陥を検出する表面検査装
置において、一方の分割センサの受光面で受光する光の
強弱パターンと、他方の分割センサの受光面で受光する
光の強弱パターンとで差が生じるように、前記それぞれ
の分割センサの受光面のサイズを補正する補正手段を備
えたことを特徴としている。

【０００７】請求項２の発明によれば、それぞれの分割
センサの受光面のサイズを補正する補正手段を備えてい
るので、検査体に光を照射し、この照射光が検査体にお
いて反射または透過した光を複数の分割センサで受光す
る際、一方の分割センサの受光面で受光する光の強弱パ
ターンと、他方の分割センサの受光面で受光する光の強
弱パターンとで差が生じるように補正することができ
る。したがって、様々な幅を持つ筋状の欠陥に伴って光
の強弱パターンが変化しても、これに対応でき、光量変
化（光の強弱の変化）が強調されて、検査体の表面欠陥
の検出精度を向上させることができる。

【０００８】請求項３の発明は、請求項２記載の表面検
査装置において、前記補正手段は、前記分割センサの前
に配置され、該分割センサの受光面のうち、所定範囲に
受光させるスリットであることを特徴としている。

【０００９】請求項３の発明によれば、補正手段は、分
割センサの前に配置され該分割センサの受光面のうち、
所定範囲に受光させるスリットであるので、このスリッ
トの大きさを変更することにより、分割センサの受光面
を調整することができる。したがって、簡易な構成によ
り、検査体の筋状の欠陥の幅の変化に伴う光量変化のパ
ターンに対応し、検査体表面の欠陥の検出精度を向上す
ることができる。

【００１０】請求項４の発明は、請求項２記載の表面検
査装置において、前記補正手段は、前記分割センサの前
に配置され、光の透過面積が可変な液晶フィルタである
ことを特徴としている。

【００１１】請求項４の発明によれば、補正手段は、分
割センサの前に配置され、光の透過面積が可変な液晶フ
ィルタであるので、この液晶フィルタにより、光の透過
面積を自在に変更でき、分割センサの受光面で受光する
光の強弱パターンに対応して、それぞれの分割センサの
受光面のサイズを補正することができる。したがって、
一の液晶フィルタを配置することにより、さまざまな受
光面のサイズに補正することが可能となる。

【００１２】請求項５の発明は、検査体に光を照射し、
この照射光が検査体において反射または透過した光をセ
ンサで受光し、このセンサ上での光量の変化により、前
記検査体の表面欠陥を検出する表面検査装置において、
前記反射または透過した光の光量を検出するセンサを備
え、前記センサの受光面で受光する光の強弱のパターン
に差が生じるように、異なる時刻において前記センサの
受光信号をサンプリングすることを特徴としている。

【００１３】請求項５の発明によれば、検査体に光を照
射し、この照射光が検査体において反射または透過した
光をセンサで受光する際、センサの受光面で受光する光
の強弱のパターンに差が生じるように、異なる時刻にサ
ンプリングしたセンサ受光信号を用いるので、様々な幅
を持つ筋状の欠陥に伴って光の強弱パターンが変化して
も、これに対応でき、検査体の表面欠陥の検出精度を向
上させることができる。また、スリットや液晶フィルタ
が不要となるうえに、１台のセンサで検出可能となり、
簡易な構成の表面検査装置となる。

【００１４】

【発明の実施の形態】以下、図面を参照して本発明に係
る表面検査装置について説明する。まず、検査体は、例
えば、熱現像用感光材であり、図４に示すように、ベー
ス３０１の表面に膜３０２が塗布されている。熱現像用
感光材（検査体）３の生産工程において、この膜３０２
に筋状の傷（欠陥）３０３が発生する場合がある。

【００１５】図１は第１の実施の形態における表面検査
装置１の要部構成を示す図である。本実施の形態におけ
る表面検査装置１は、熱現像用感光材３に面して、該熱
現像用感光材３の表面に光を照射する光源を備える投光
部２と、投光部２によって熱現像用感光材３に照射され
た照射光が、熱現像用感光材３において透過した光を検
出する受光部５とにより主要部が構成されている。

【００１６】投光部２は、光源となるランプ２２の他
に、このランプ２２と熱現像用感光材３との間に、ラン
プ２２からの照射光を集光する集光レンズ２３と、この
集光レンズ２３により集光された照射光から熱現像用感
光材３が感光しない高波長の光だけを透過する光学フィ
ルタ２４と、検査部分とその周囲との明暗格差をつけて
光量変化を検出しやすくするためのスリット２５ａを備
える遮光性を有するスリット板２５とを備えて構成され
ている。

【００１７】なお、ランプ（光源）２２はフィラメント
２１を有し、熱現像用感光材３の搬送方向（図１の矢印
Ｃ方向）と略一致する方向に長尺に形成されている。そ
して、フィラメント２１の長手方向は、熱現像用感光材
３の搬送方向と略一致させて配置されている。なお、ラ
ンプ２２は、ハロゲンランプやタングステンランプ等、
フィラメント２１を持つランプであればいずれを用いて
もよい。

【００１８】受光部５は、熱現像用感光材３より透過し
た透過光を受光して他方に投影する受光レンズ５１ａ
と、受光レンズ５１ａにより受光した受光部分を拡大さ
せて投影する拡大レンズ５１ｂと、拡大レンズ５１ｂに
より投影された縦長の光を一定方向に集光する２枚のシ
リンドリカルレンズ５２，５２と、受光した光を電気信
号に変換して、光量変化を検査する２分割センサＡ，Ｂ
と、２分割センサＡ，Ｂの前に配置され、各センサＡ，
Ｂの受光面のうちの所定範囲に受光させるスリット（補
正手段）５４ａと、により主要部が形成されている。

【００１９】スリット５４ａは、一方の分割センサＡの
受光面で受光する光の強弱パターンと、他方の分割セン
サＢの受光面で受光する光の強弱パターンとに差が生じ
るように、それぞれのセンサＡ，Ｂの受光面のサイズを
補正するものである。スリット５４ａは、例えば、図１
に示すように遮光板５４に形成されたスリット５４ａが
あり、スリット５４ａの大きさの異なる遮光板５４を複
数用意し、遮光板５４を変更することにより、分割セン
サＡ，Ｂの受光面のサイズを補正する。この他、図示し
ないが、２枚の遮光板を分割センサＡ，Ｂの受光面の前
面に対して左右に配置し、この２枚の遮光板を離間させ
ることにより形成されるスリットがある。この場合、２
枚の遮光板の距離を調整することによりスリットの大き
さを変更して受光面の大きさを補正する方法がある。

【００２０】なお、図６は表面検査装置１を用いて熱現
像用感光材３を検査する例を示す斜視図である。表面検
査装置１は、図６に示すように、投光部２と受光部５と
が離間して対向する位置に配置されており、この投光部
２と受光部５の間を、熱現像用感光材３が矢印Ｃ方向に
搬送される。そして、投光部２と受光部５は、図６の矢
印Ｄ方向に移動して、熱現像用感光材３の検査すべき面
を全て検査する。

【００２１】次に、第１の実施の形態における表面検査
方法について、図１および図９を示して説明する。ま
ず、熱現像用感光材３が配置された状態で、ランプ２２
の光が熱現像用感光材３側に照射される。この照射光
が、集光レンズ２３を通して集光され、集光された光は
光学フィルタ２４によって高波長の光だけが透過され
る。これにより、熱現像用感光材３は、表面検査装置１
の照射光による感光を防ぐことができる。そして、高波
長の光がスリット板２５に達し、スリット２５ａ以外の
部分に照射された光はスリット板２５で遮断される。こ
のスリット板２５により、熱現像用感光材３に光が照射
される面積が狭くなり、スリット２５ａを通過した光が
照射される部分が検査位置となる。これにより、検査位
置の周囲が暗くなり、検査位置と非検査位置との光量の
差が拡大して、検査位置が強調される。また、検査位置
以外にも、膜厚変化が生じている場合が考えられ、その
場合、検査位置以外の膜厚変化に伴う光量変化が、検査
位置の測定に影響を与えることがないので、検査の精度
を上げることができる。

【００２２】続いて、熱現像用感光材３に照射された光
が透過して、受光部５において検出される。まず、熱現
像用感光材３からの透過光を受光レンズ部５１ａにおい
て受光し、受光した光を拡大レンズ５１ｂ側に投影す
る。この光を受光した拡大レンズ５１ｂは、２分割セン
サＡ，Ｂにて、より精密に検査するために、光を拡大し
て２分割センサＡ，Ｂ側に照射する。この光はシリンド
リカルレンズ５２によって、スリット２５ａ方向（図の
上下方向）に長い光を、２分割センサＡ，Ｂの位置に集
光する。

【００２３】そして、照射された光を２分割センサＡ，
Ｂにおいて検出する。この時、補正手段であるスリット
５４ａの大きさが、一方の分割センサＡの受光面で受光
する光の強弱パターンと、他方の分割センサＢの受光面
で受光する光の強弱パターンとで差が生じるように、そ
れぞれのセンサＡ，Ｂの受光面のサイズを補正する。す
なわち、図８に示すように、２分割センサＡ，Ｂにて受
光する光の強弱パターンが同じである場合、各センサ
Ａ，Ｂで受光する光量に差が生じない。そこで、図９に
示すように、２分割センサＡ，Ｂの受光面の前に、２分
割センサＡ，Ｂのそれぞれの受光面で受光する光の強弱
パターンに差が生じる大きさのスリット５４ａを備える
遮光板５４を配置すると、２分割センサＡ，Ｂの受光面
の端部が遮光板５４に覆われて受光面のサイズが補正さ
れる。これにより、各センサＡ，Ｂにて受光する光の強
弱パターンに差が生じて、光量変化を検出できる。この
ようにして、２分割センサＡ，Ｂにて受信した光を電気
信号に変換し、この電気信号を比較した差によって熱現
像用感光材３の表面の欠陥を検出する。なお、２分割セ
ンサＡ，Ｂは図９の矢印Ｄ方向に順次検査を進める。

【００２４】本実施の形態における表面検査装置１によ
れば、２分割センサＡ，Ｂの受光面のサイズを補正する
スリット５４ａを備えているので、検査体３に光を照射
し、この照射光が検査体３において透過した光を２分割
センサＡ，Ｂで受光する際、一方の分割センサＡの受光
面で受光する光の強弱パターンと、他方の分割センサＢ
の受光面で受光する光の強弱パターンとで差が生じるよ
うに補正することができる。これにより、様々な幅を持
つ筋状の欠陥に伴って光の強弱パターンが変化しても、
これに対応でき、よって検査体３の表面欠陥の検出精度
を向上させることができる。

【００２５】なお、本実施の形態では、スリット５４ａ
の大きさが異なる遮光板５４を、光の強弱パターンに応
じて変更する構成としたが、これに限定するものではな
く、例えば、スリット５４ａの大きさが異なる遮光板５
４と２分割センサＡ，Ｂとが一体的に形成されたユニッ
トとし、光の強弱パターンに応じて、ユニットを変更す
る構成でもよく、要は、分割センサの受光面のサイズ
を、スリット５４ａの大きさにより補正するものであれ
ばよい。

【００２６】次に、第２の実施の形態における表面検査
装置１について説明する。本実施の形態における表面検
査装置１は、図２に示すように、熱現像用感光材３の表
面に光を照射する投光部２と、投光部２によって熱現像
用感光材３に照射された照射光が、熱現像用感光材３に
おいて透過した光を検出する受光部５とにより主要部が
構成されている。そして、補正手段として、液晶フィル
タ５５を備えている。すなわち、投光部２と、受光部５
の受光レンズ５１ａと、拡大レンズ５１ｂと、２枚のシ
リンドリカルレンズ５２，５２と、２分割センサＡ，Ｂ
と、は第１の実施の形態における表面検査装置１と同様
の構成であるので説明を割愛する。

【００２７】液晶フィルタ５５（補正手段）は、内部に
配置した電極部に電圧をかけることにより、検査体３の
透過光を遮断する部分と透過する部分とを形成するもの
であり、透過部分と遮断部分を自在に変更出来る。２分
割センサＡ，Ｂの前に配置されて、２分割センサＡ，Ｂ
の受光面のサイズを補正する。

【００２８】次に、本実施の形態における表面検査装置
１を用いた表面検査方法を、図２と図１０を用いて説明
する。第１の実施の形態の表面検査装置１と同様に、受
光部２より熱現像用感光材３に照射された光が透過し
て、受光部５において検出される。なお、受光部５にお
いて光を検出する構成も、補正手段である液晶フィルタ
５５を除いた部分は第１の実施の形態と同様であるの
で、説明を割愛する。

【００２９】熱現像用感光材３を透過した透過光は、受
光レンズ５１ａ，拡大レンズ５１ｂ，シリンドリカルレ
ンズ５２を介して、２分割センサＡ，Ｂ側に照射され
る。この時、補正手段である液晶フィルタ５５が、一方
の分割センサＡの受光面で受光する光の強弱パターン
と、他方の分割センサＢの受光面で受光する光の強弱パ
ターンとで差が生じるように、それぞれのセンサＡ，Ｂ
の受光面のサイズを補正する。例えば、図１０に示すよ
うに、２分割センサＡ，Ｂの受光面の一部にのみ光が照
射されて、各センサＡ，Ｂにて受光する光の強弱パター
ンに差が生じるように液晶フィルタ５５に透過部分を形
成すると、２分割センサＡ，Ｂの受光面のサイズが補正
される。これにより、各センサＡ，Ｂの受光面にて受光
する光の強弱パターンに差が生じるだけでなく、光の強
弱が強調されて、欠陥を検出できる。このようにして、
２分割センサＡ，Ｂにて受信した光を電気信号に変換
し、各センサＡ，Ｂの電気信号を比較した差（図１０の
線形Ｍ）によって熱現像用感光材３の表面欠陥を検出す
る。

【００３０】本実施の形態における表面検査装置１によ
れば、液晶フィルタ５５が２分割センサＡ，Ｂの前に配
置されているので、この液晶フィルタ５５によって、光
の透過面積が自在に変更可能となり、２分割センサＡ，
Ｂの受光面で受光する光の強弱パターンに対応して、そ
れぞれの分割センサの受光面のサイズを自在に補正する
ことができ、熱現像用感光材３の表面欠陥の検出精度を
向上できる。

【００３１】次に、第３の実施の形態における表面検査
装置１について説明する。図３は第３の実施の形態にお
ける表面検査装置１の要部構成を示す図である。本実施
の形態における表面検査装置１は、熱現像用感光材３の
表面に光を照射する投光部２と、投光部２によって熱現
像用感光材３に照射された照射光が、熱現像用感光材３
において透過した光を検出する受光部５とにより主要部
が構成されている。

【００３２】なお、投光部２の構成は、第１の実施の形
態の表面検査装置１と同様の構成であるので、説明を割
愛する。

【００３３】受光部５は、熱現像用感光材３より透過し
た透過光を受光して他方に投影する受光レンズ５１ａ
と、受光部分を拡大させて投影する拡大レンズ５１ｂ
と、拡大レンズ５１ｂにより投影された縦長の光を一定
方向に集光する２枚のシリンドリカルレンズ５２，５２
と、受光した光を電気信号に変換して、光の強弱を検出
するセンサ５３と、により主要部が形成されている。

【００３４】なお、センサ５３は、該センサ５３の受光
面で受光する光の強弱のパターンに差が生じるように、
異なる時刻にサンプリングしたセンサ受光信号を用いる
ことにより、検査体３の異なる位置における光量を検出
する。異なる時刻に受光した光量の情報を比較して、光
量変化の有無により、検査体３表面の欠陥の有無を検査
する。

【００３５】次に、本実施の形態における表面検査装置
１の動作を説明する。ここで、投光部２の動作は、第１
の実施の形態における表面検査装置１と同様であるので
説明を省略する。投光部２より熱現像用感光材３に照射
された光が透過して、受光部５において検出される。ま
ず、熱現像用感光材３からの透過光を受光レンズ部５１
ａと拡大レンズ５１ｂを経て、光を拡大してセンサ５３
側に照射する。この光はシリンドリカルレンズ５２によ
って、スリット２５ａ方向（図３の上下方向）に長い光
を、センサ５３の位置に集光する。

【００３６】そして、センサ５３においてこの光の光量
を検出する。この時、センサ５３の受光面で受光する光
の強弱パターンに差が生じるように、異なる時刻におい
て受光面で受光する。すなわち、図１１に示すように、
センサ５３を熱現像用感光材３の幅手方向（図１１の矢
印Ｄ方向）に移動させ、異なる時刻で複数の地点（Ｐ，
Ｐ’）の光量を検出することにより、センサ５３にて受
光する光の強弱パターンに差が生じる。センサ５３にて
受信した光を電気信号に変換し、センサ５３の時差毎の
電気信号（センサ受信信号）を比較した差によって熱現
像用感光材３の表面の欠陥を検出する。

【００３７】本実施の形態における表面検査装置１によ
れば、熱現像用感光材３に光を照射し、この照射光が熱
現像用感光材３において透過した光をセンサ５３で受光
する際、センサ５３を熱現像用感光材３の幅手方向に移
動させ、センサ５３の受光面で受光する光の強弱のパタ
ーンに差が生じるように、異なる時刻において受光した
センサ受信信号を用いるので、様々な幅を持つ筋状の欠
陥に伴って光の強弱パターンが変化しても、これに対応
でき、よって検査体の表面欠陥の検出精度を向上させる
ことができる。また、スリットや液晶フィルタが不要と
なる。さらに、１個のセンサで検出可能となり、簡易な
構成とすることができる。

【００３８】なお、上記３つの実施の形態における表面
検査装置１では、投光部２より照射された光が、熱現像
用感光材３を透過する透過光を、受光部５にて受光する
構成としたが、これに限定するものではなく、熱現像用
感光材３から反射した光を受光する構成のものであって
もよい。

【００３９】

【発明の効果】請求項１の発明によれば、それぞれの分
割センサの受光面で受光する光の強弱パターンに差が生
じるように、それぞれの分割センサの受光面のサイズを
補正するので、様々な幅を持つ筋状の欠陥に伴って光の
強弱パターンが変化しても、これに対応でき、よって検
査体の表面欠陥の検出精度を向上させることができる。

【００４０】請求項２の発明によれば、それぞれの分割
センサの受光面のサイズを補正する補正手段を備えてい
るので、検査体において反射または透過した光を複数の
分割センサで受光する際、一方の分割センサの受光面で
受光する光の強弱パターンと、他方の分割センサの受光
面で受光する光の強弱パターンとで差が生じるように補
正することができる。これにより、様々な幅を持つ筋状
の欠陥に伴って光の強弱パターンが変化しても対応で
き、検査体の表面欠陥の検出精度を向上させることがで
きる。

【００４１】請求項３の発明によれば、請求項２と同様
の効果を得ることができるのはもちろんのこと、スリッ
トからなる補正手段により、スリットの大きさを変更し
て分割センサの受光面を調整することができる。したが
って、簡易な構成により、検査体の筋状の欠陥の幅の変
化に伴う光量変化のパターンに対応し、検査体表面の欠
陥の検出精度を向上することができる。

【００４２】請求項４の発明によれば、請求項２と同様
の効果を得ることができるのはもちろんのこと、光の透
過面積が可変な液晶フィルタからなる補正手段によっ
て、光の透過面積を自在に変更でき、分割センサの受光
面で受光する光の強弱パターンに対応して、それぞれの
分割センサの受光面のサイズを補正することができる。
したがって、受光面のサイズの補正を行うための部材を
複数種類用意する必要がなく、効率的に補正することが
できる。

【００４３】請求項５の発明によれば、検査体において
反射または透過した光をセンサで受光する際、センサの
受光面で受光する光の強弱のパターンに差が生じるよう
に、異なる時刻のセンサ受光信号を用いるので、様々な
幅を持つ筋状の欠陥に伴って光の強弱パターンが変化し
ても、これに対応でき、よって検査体の表面欠陥の検出
精度を向上させることができる。また、スリットや液晶
フィルタが不要となる。さらに、１個のセンサで検出可
能となる。

【図面の簡単な説明】

【図１】第１の実施の形態の例における表面検査装置の
主要部を説明するための図である。

【図２】第２の実施の形態の例における表面検査装置の
主要部を説明するための図である。

【図３】第３の実施の形態の例における表面検査装置の
主要部を説明するための図である。

【図４】本発明にかかる表面検査装置にて検査される検
査体の一例を示す断面図である。

【図５】検査体に照射される光の状態を説明するための
図である。

【図６】本発明にかかる表面検査装置の実施の形態の例
を示す斜視図である。

【図７】本発明にかかる表面検査方法を説明するための
図である。

【図８】本発明にかかる表面検査方法を説明するための
図である。

【図９】第１の実施の形態における表面検査装置の補正
手段を説明するための図である。

【図１０】第２の実施の形態における表面検査装置の補
正手段を説明するための図である。

【図１１】第３の実施の形態における表面検査装置の補
正手段を説明するための図である。

【符号の説明】

１ 表面検査装置 ３ 熱現像用感光材（検査体） Ａ，Ｂ 分割センサ ５３ センサ ５４ａ スリット（補正手段） ５５ 液晶フィルタ（補正手段） ３０３ 筋状の傷（欠陥）

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 澤住 庸生 東京都日野市さくら町１番地 コニカ株式 会社内 (72)発明者 崎野 和弘 東京都日野市さくら町１番地 コニカ株式 会社内 Ｆターム(参考） 2F065 AA49 BB01 CC02 FF01 FF02 GG02 GG16 HH13 JJ23 LL08 LL21 LL28 2G051 AA32 AB07 BB07 CA01 CB01 CB02 CC07 CC09 CD07 DA06 EA08

Claims (5)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 検査体に光を照射し、この照射光が検査
   体において反射または透過した光を複数の分割センサで
   受光し、該分割センサ上での光量の変化により、前記検
   査体の表面欠陥を検出する表面検査方法において、 一方の分割センサの受光面で受光する光の強弱パターン
   と、他方の分割センサの受光面で受光する光の強弱パタ
   ーンとで差が生じるように、前記それぞれの分割センサ
   の受光面のサイズを補正することを特徴とする表面検査
   方法。
2. 【請求項２】 検査体に光を照射し、この照射光が検査
   体において反射または透過した光を複数の分割センサで
   受光し、該分割センサ上での光量の変化により、前記検
   査体の表面欠陥を検出する表面検査装置において、 一方の分割センサの受光面で受光する光の強弱パターン
   と、他方の分割センサの受光面で受光する光の強弱パタ
   ーンとで差が生じるように、前記それぞれの分割センサ
   の受光面のサイズを補正する補正手段を備えたことを特
   徴とする表面検査装置。
3. 【請求項３】 請求項２記載の表面検査装置において、 前記補正手段は、前記分割センサの前に配置され、該分
   割センサの受光面のうち、所定範囲に受光させるスリッ
   トであることを特徴とする表面検査装置。
4. 【請求項４】 請求項２記載の表面検査装置において、 前記補正手段は、前記分割センサの前に配置され、光の
   透過面積が可変な液晶フィルタであることを特徴とする
   表面検査装置。
5. 【請求項５】 検査体に光を照射し、この照射光が検査
   体において反射または透過した光をセンサで受光し、こ
   のセンサ上での光量の変化により、前記検査体の表面欠
   陥を検出する表面検査装置において、 前記センサの受光面で受光する光の強弱のパターンに差
   が生じるように、異なる時刻において前記センサの受光
   信号をサンプリングすることを特徴とする表面検査装
   置。