JPH112610A - 塗布面検査装置及び塗布システム - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】塗布領域と非塗布領域とからの反射光の違いを
判断して、予め記録されている塗布パターン情報と比較
して塗布状態が良好であるか否かを判断する。 【解決手段】塗布面検査装置１は、鉛板ガラス２の表面
に薄膜３が形成されているか否かを判別する装置であ
り、鉛板ガラス２の面上に鉛板ガラス２と薄膜３の分光
特性を加味した照明光を照射する照明装置４と、照明光
の反射光を受光する受光装置５と、この受光装置５に入
射した反射光の反射光強度を演算して鉛板ガラス２に塗
布された薄膜３の塗布状態を示す塗布状態データを生成
すると共に、この生成された塗布状態データが予め設定
されている所定の塗布状態であるか否かを判別する演算
処理・判別装置６とで主に構成されている。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、透明な部材の面上
に透明な物質が所定の塗布パターンで塗布されているか
否かを検査する塗布面検査装置及びこの塗布面検査装置
を備え、検査装置の検査結果を基に透明部材に対する透
明物質の塗布状態を適宜調整可能にした塗布装置に関す
る。

【０００２】

【従来の技術】近年、板ガラスの表面に紫外線の出力を
防止する目的で酸化チタン等の透明物質を薄膜状に塗布
したものや、飛散防止の目的で透明樹脂などを薄膜状に
塗布したものがある。例えば、透明部材である板ガラス
の表面に例えば透明物質である酸化チタンを薄膜状に塗
布する工程では、板ガラスの表面に塗布されている酸化
チタンの塗布領域が所定の塗布パターンで形成されてい
るか否かを認識する必要がある。

【０００３】この塗布パターンの認識方法の１つに、透
明部材の透過率と、薄膜が塗布されている状態の透明部
材の透過率とをそれぞれ測定し、透過率が異なることに
よって塗布領域と非塗布領域とを認識する方法がある。
しかし、透過率の違いによって塗布領域の有無を検出す
る場合、塗布されている薄膜の膜厚の微妙な変化が透過
率に大きな影響を及ぼすため、膜厚を薄く形成した場
合、塗布領域と非塗布領域との差を透過率の違いによっ
て正確に判断することが難しかった。

【０００４】また、塗布パターンの他の認識方法として
は、白色光を薄膜が塗布されている状態の透明部材に対
して所定の角度で照射し、透明部材の表面と、透明部材
の表面に塗布されている薄膜との反射率の違いによって
生じる明るさの差によって、塗布領域と非塗布領域とを
認識する方法がある。しかし、反射率の違いによって生
じる明るさの際によって判断する場合、塗布領域と非塗
布領域との間の明るさの差が大きくなるように、白色照
明光の塗布面に対する照射角度を工夫していたので、白
色照明光の照射角度の調整が微妙で、再現性が悪いとい
う問題があった。特に、白色光を用いて、塗布領域と非
塗布領域の違いを受光素子が受ける光強度で判別するに
は、照明光の強度及び照射角度の調整を正確に行わなけ
ればならず、この調整を正確に行わない限り、正確な判
別が困難であった。

【０００５】さらに、塗布状態を検査する場合、塗布装
置と検査装置とが全く別工程、若しくは、１つの製品の
塗布を終了した段階で塗布状態を検査していた。このた
め、検査結果によって、塗布装置に不具合が生じている
と判断された場合、塗布装置を良好な状態に調整して再
稼働するまでに少なくとも１つの不良品が製造されてし
まうという問題があった。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】このように、透過率の
違いによって塗布状態を検出する場合、塗布されて形成
された膜の厚さ寸法が変化することによって生じる透過
率の違いによって塗布領域と非塗布領域とを正確に判断
することが難しいという問題点があった。また、白色照
明光の照射角度を調整して塗布領域と非塗布領域とにお
ける照明光の反射の明るさの差から塗布状態を判断する
場合、照明光の照射角度の再現性が悪いという問題点と
共に、照明光の強度や照射角度によって、受光素子が受
ける光強度が異なって、塗布領域と非塗布領域とを正確
に判別するためには角度調整等をより正確に行わなけれ
ばならないという問題点があった。さらに、塗布装置と
検査装置とが全く別工程、若しくは、１つの製品の塗布
を終了した段階で塗布状態を検査していたので、塗布し
た直後に塗布状態を検査することができないので、不具
合を発見した後、塗布装置を調整して再稼働するまでに
少なくとも１つの不良品が製造されてしまうという問題
があった。

【０００７】本発明は、係る問題点に鑑みてなされたも
のであって、塗布領域と非塗布領域とからの反射光の違
いを容易かつ確実に判断して、塗布領域と非塗布領域と
を確実に把握して予め記録されている塗布パターン情報
と比較して塗布状態が良好であるか否かを判断すること
ができる塗布面検査装置を提供することを目的とする。

【０００８】また、本発明は、塗布した部分を、塗布直
後に検査でき、この検査結果を直ちに塗布装置にフィー
ドバックして、常に塗布状態を良好な状態に調整して、
安定した溶剤の塗布を行うことができる塗布装置を提供
することを目的とする。

【０００９】

【課題を解決するための手段】本発明の請求項１に係る
塗布面検査装置は、面上に塗布された物質の塗布状態を
検査する塗布面検査装置であって、塗布される面の分光
特性と塗布した物質の分光特性との比を大きくする波長
帯域に分光輝度分布を有する照明光を照射する光源を備
えた照明装置と；この照明装置の光源から塗布面上に向
けて照射された照明光の反射光を受光する受光装置と；
この受光装置に入射した反射光データを演算して、反射
光強度の違いによって塗布面上の塗布領域と非塗布領域
とを判別する演算処理・判定装置と；を具備するもので
あり、前記照明装置から照射される照明光の波長は、反
射率に大きな差が生じる波長域であり、塗布される物質
が例えば酸化チタンで塗布される面が例えば透明な鉛板
ガラスの場合、４５０ｎｍが適当であり、この波長の光
を照射することによって、反射光強度の違いから塗布面
上の塗布領域と非塗布領域とを判別することができる。

【００１０】本発明の請求項２に係る塗布面検査装置
は、請求項１に記載の塗布面検査装置において、前記受
光装置の前面に、照明光の所定の波長帯域に感度を有す
るフィルターを配置した；ことを特徴とするものであ
り、フィルタの感度を照明光の所定の波長帯域に設定す
ることによって、反射率に大きな差が生じた波長域の光
だけを受光装置に入射させて効率よく検査を行うことが
できる。

【００１１】本発明の請求項３に係る塗布面検査装置
は、請求項１に記載の塗布面検査装置において、前記受
光装置からの情報を基に前記演算処理・判定装置で演算
処理して生成した塗布状態を示す塗布状態データと、こ
の演算処理・判定装置に予め入力される塗布パターン情
報とを比較して；前記塗布状態が良好な状態であるか否
かを判別処理する；ことを特徴とするものであり、演算
処理・判定装置によって塗布面に塗布した物質の塗布状
態が塗布状態データとして生成されるので、予め演算処
理・判定装置に入力されている塗布パターン情報と比較
することによって、現状の塗布状態が良好な状態である
か否かを確実に判別処理することができる。

【００１２】本発明の請求項４に係る塗布システムは、
一定方向に移動するように配置された部材の面上に塗布
液を部材が移動する方向に対して直交する方向に塗布す
る塗布装置と；この塗布装置により塗布された塗布面を
検査する塗布される面の分光特性と塗布した物質の分光
特性との比を大きくする波長帯域に分光輝度分布を有す
る照明光を照射する光源を備えた照明装置及びこの照明
装置の光源から塗布面上に向けて照射された照明光の反
射光を受光する受光装置、この受光装置に入射した反射
光データを演算して、反射光強度の違いによって塗布面
上の塗布領域と非塗布領域とを判別する演算処理・判定
装置を具備する塗布面検査装置と；この塗布面検査装置
の演算処理・判定装置と電気的に接続され、前記演算処
理・判定装置から伝送される塗布状態データを基に塗布
装置の塗布液供給状態を制御する塗布状態制御装置；と
を具備するものであり、塗布面検査装置の演算処理・判
定装置の判別結果に基づいて塗布装置による塗布液供給
状態を制御して常に良好な状態で塗布作業を行うことが
できる。

【００１３】本発明の請求項５に係る塗布システムは、
請求項４に記載の塗布システムにおいて、前記塗布装置
と塗布面検査装置との位置関係を保持した状態で、固定
された前記塗布される部材に対し、前記塗布装置と塗布
面検査装置とが前記塗布装置側に相対的に移動する；こ
とを特徴とするものであり、前記塗布される部材が移動
し難い場合、前記塗布面検査装置と前記塗布装置を移動
することによって、請求項４と同等の検査を行うことが
できる。

【００１４】本発明の請求項１においては、塗布面に照
射される照明光が予め測定した塗布される面の分光特性
と塗布する物質の分光特性とから決定されるので、照明
光を照射することによって反射強度の異なる反射光が受
光装置に入射する。受光装置に入射した反射光は、演算
処理されて塗布領域と非塗布領域とを判別するデータと
して生成される。

【００１５】前記照明装置から照射される照明光の波長
は、反射率に大きな差が生じる波長域であり、塗布され
る物質が酸化チタンで塗布される面が鉛板ガラスの場
合、４５０ｎｍが適当であり、この波長の光を照射する
ことによって、反射光強度の違いから塗布面上の塗布領
域と非塗布領域とを判別することができる。

【００１６】本発明の請求項２においては、フィルタを
配置することによって所定の波長域の光だけが受光装置
に入射して演算処理・判定装置に伝送される。

【００１７】本発明の請求項３においては、受光装置か
らの情報を基に塗布状態データが生成され、この塗布状
態データとこの演算処理・判定装置に予め入力される塗
布パターン情報との比較を行うので、塗布状態の判別が
正確である。

【００１８】本発明の請求項４においては、演算処理・
判定装置から伝送される塗布状態の判別結果に基づいて
塗布装置が制御される。

【００１９】本発明の請求項５においては、前記塗布装
置と塗布面検査装置が移動するので、塗布された部材を
移動せずに検査を行える。

【００２０】

【発明の実施の形態】以下、図面を参照し本発明の実施
の形態を説明する。図１ないし図４は本発明の第１実施
形態に係り、図１は塗布面検査装置を示す説明図であ
る。

【００２１】図１に示すように本実施形態の塗布面検査
装置１は、例えば透明部材である鉛板ガラス２の表面
に、例えば透明物質である酸化チタンの薄膜３が、所定
の塗布パターンに塗布されているか否かを判別するため
の装置であり、酸化チタンの薄膜３が形成されている鉛
板ガラス２の面上に向けて照明光を照射する光源４ａを
備えた照明装置４と、この光源４ａから照射された照明
光の反射光を受光する前記鉛板ガラス２の塗布面に対し
て傾いて配置された受光装置５と、この受光装置５に入
射した反射光の反射光強度を演算して鉛板ガラス２に塗
布された薄膜３の塗布状態を示す塗布状態データを生成
すると共に、この生成された塗布状態データが予め設定
されている所定の塗布状態であるか否かを判別する演算
処理・判別装置６と、この演算処理・判別装置６の判別
結果を表示する例えば液晶表示部７ａを有すると共に、
前記演算処理・判別装置６に薄膜３の塗布パターン情報
などを入力する例えばタッチパネルなどの入力部７ｂを
有する入出力装置７とで構成されている。

【００２２】図２は鉛板ガラス２に塗布されている酸化
チタン薄膜３の塗布パターン形状の１例を示す図であ
る。前記鉛板ガラス２の表面に塗布される酸化チタンの
薄膜３の塗布パターン８は、例えば図２に示すように一
端部に例えば凸字形状部８ａを形成したパターン形状で
ある。前記鉛板ガラス２の表面に塗布された塗布パター
ン８が所定の塗布状態であるか否かは、検査作業前に前
記入出力装置７を介して演算処理・判別装置６に予め入
力される薄膜３の塗布パターン情報と比較されるように
なっている。

【００２３】図３は鉛板ガラス及び酸化チタン膜の波長
と透過率との関係を示す特性図である。前記鉛板ガラス
２の酸化チタンの薄膜３が形成されている塗布領域の透
過率と酸化チタンの薄膜３が形成されていない非塗布領
域である鉛板ガラス２の透過率との間は図３に示す関係
であり、波長によって透過率に大きな差が生じる。この
ため、前記光源４ａから照明光の波長をλとした場合、
この波長λにおける非塗布領域での（分光）反射率をＲ
１、塗布領域での反射率をＲ２として、波長λの照明光
による輝度をＬとしたとき、前記受光装置５の後述する
受光素子で撮らえる光の強度は非塗布領域でＬ＊Ｒ１と
表せられ、塗布領域でＬ＊Ｒ２と表せられる。

【００２４】このことから、前記鉛板ガラス２の表面に
塗布された薄膜３の塗布状態を検査する際、波長λにお
ける非塗布領域での反射率Ｒ１と塗布領域での反射率Ｒ
２との間の差が大きければ大きいほど、受光装置５で撮
らえる光の強度の違いが大きくなって、塗布領域と非塗
布領域との２つの領域を容易に判別することを可能にす
ることができる。このため、本実施形態では光源４ａか
ら照射される照明光の波長λを、例えば鉛板ガラス２の
透過率と酸化チタン３の透過率との差が大きな４５０ｎ
ｍに設定している。

【００２５】前記受光装置５には、鉛板ガラス２の面部
に塗布された塗布パターン８の線や面の状態を撮らえる
受光素子として、より速い対応を実現するため、撮像素
子を列状に配置したラインセンサー５ａを設けている。
また、この受光装置５の前面には図１に示すように塗布
領域からの反射光波長だけを透過させるフィルター９が
設置されており、反射光がこのフィルター９を透過して
前記ラインセンサー５ａに入射することによって塗布パ
ターン８を効率よく判断することができるようになって
いる。

【００２６】前記フィルターを透過してラインセンサー
５ａによって撮らえた前記鉛板ガラス２面部からの反射
光は、このラインセンサー５ａで電気信号に変換されて
演算処理・判別装置６に出力される。

【００２７】前記ラインセンサー５ａから演算処理・判
別装置６に出力された電気信号は、まず演算処理部６ａ
に入力されて、反射率の違いによって塗布領域を示す信
号と非塗布領域を表す信号とに生成されて、鉛板ガラス
２面上の塗布状態データとして認識される。次いで、前
記演算処理部６ａで認識された塗布状態データは、予め
演算処理・判別装置６の判別部６ｂに入力されている塗
布パターン情報と比較される。そして、前記判別部６ｂ
で認識された塗布状態データの判別結果が、例えば図４
に示す入出力装置７の液晶表示部７ａ上に実線に示す塗
布パターン９ａに対して画像処理された塗布状態データ
が塗布状態を斜線で示すように着色表示９ｂしたり、あ
るいは画面上に"ＯＫ"などの文字を表示して塗布状態を
速やかに作業者に告知することができる。

【００２８】本実施形態においては、塗布される面と塗
布する物質の分光特性を加味し、塗布面と非塗布面との
反射率の差が大きくなる波長帯域の照明光を塗布面に照
射しているので、受光装置で光強度に差のある反射光を
撮らえられるので、容易に、塗布面からの反射光と非塗
布面からの反射光とによる塗布状態データを生成して、
塗布状態が所定の塗布パターン情報と同様であるか否か
を容易に判別することができる。

【００２９】なお、図５に示すようにガラス表面が曲面
で形成されている曲面ガラス１０の場合でも上述と同様
に塗布される面と塗布する物質の分光特性を加味して塗
布面と非塗布面との反射率の差が大きくなる波長帯域の
照明光を塗布面に照射し、この照明光の反射光を受光装
置で撮らえるように構成することによって、塗布状態デ
ータと塗布パターン情報とが同様であるか否かを容易に
判別して作業者に告知することができる。なお、本図に
おいては受光装置５をラインセンサー５ａの代わりにＣ
ＣＤカメラとしている。

【００３０】図６ないし図８は本発明の第２実施形態に
係る塗布システムを説明する図である。

【００３１】図６は塗布システムの概略構成を示す説明
図である。図６に示すように本実施形態の塗布システム
は、塗布装置２０と、塗布面検査装置１とを備えてい
る。

【００３２】前記塗布装置２０は、例えば透明な鉛板ガ
ラス２の表面に、例えば透明な物質として酸化チタン３
ａを塗布する塗布液供給部２１を備えている。前記検査
装置１の光源４ａを備えた照明装置４とラインセンサー
５ａを備えた受光装置５は外光を遮断して正確に塗布状
態の検査を行えるように遮光ボックス２２内に設けられ
ている。また、前記受光装置５に入射した反射光は、電
気信号に変換されて、反射光強度を演算して鉛板ガラス
２に塗布された薄膜３の塗布状態を塗布状態データとし
て生成すると共に、この生成された塗布状態データが予
め設定されている所定の塗布状態であるか否かを判別す
る演算処理・判別装置６に伝送される。

【００３３】なお、符号２３は塗布状態制御装置であ
り、鉛板ガラス２に塗布される酸化チタン３ａの塗布量
や塗布時間を制御するものであり、前記演算処理・判別
装置６から伝送される塗布状態の判別結果に基づいて変
更可能になっている。なお、この塗布状態制御装置２３
に、液晶表示部７ａや前記演算処理・判別装置６に薄膜
３の塗布パターン情報や前記塗布液供給部２１に塗布量
や塗布時間などの塗布情報を入力する例えばキーボード
などの入力部７ｂを有する入出力装置７を接続すること
により塗布量や塗布時間を所望の状態に制御することが
できる。また、遮光ボックス２２の内部に照明装置４と
受光装置５とを配置したことにより、鉛板ガラス２の面
上に光源４ａから安定した照明光が照射されると共に、
ラインセンサー５ａに反射光だけが入射する。また、前
記鉛板ガラス２は少しずつ矢印Ａ方向に移動するように
構成されている。

【００３４】図７は鉛板ガラス面上の塗布部分と検査部
分との位置関係を示す説明図である。図７に示すように
塗布液供給部２２は、鉛板ガラス２の矢印Ａに示す進行
方向に対して直交する方向に所定の幅寸法で酸化チタン
３ａを塗布するように配置されている。一方、前記塗布
液供給部２２に隣接する位置には前記受光装置５に塗布
液供給部２２の塗布方向と同方向に撮像素子を配置した
ラインセンサー５ａによって破線に示す範囲２４が検査
されるように構成されている。このため、前記ラインセ
ンサー５ａは、塗布液供給部２２から鉛板ガラス２の面
部に塗布された直後の酸化チタン３ａの塗布状態をより
速い対応で検査することを実現することができる。

【００３５】したがって、上述の位置関係を保持して、
塗布した方向に対して直角な方向である図中矢印Ａ方向
に塗布された鉛板ガラス２もしくは矢印Ｂ方向に塗布装
置２０及び検査装置１を相対的に移動させることによ
り、塗布直後の塗布状態を判別することができる。

【００３６】上述のように構成された塗布システムの動
作について説明する。図８は鉛板ガラス面上に酸化チタ
ンが塗布された状態を示す図である。まず、所定位置に
鉛板ガラス２が配置され、塗布液供給部２２に酸化チタ
ンが所定量供給されていることが確認されると、照明装
置４の光源４ａが点灯すると共に、鉛板ガラス２が矢印
Ａ方向に移動を開始する。すると、前記塗布状態制御装
置２３からの指示信号に基づいて塗布液供給部２２から
鉛板ガラス２の表面に酸化チタン３ａが所定の幅で連続
的に塗布されていく。

【００３７】前記塗布液供給部２２から鉛板ガラス２の
表面に酸化チタン３ａが塗布されると、前記塗布液供給
部２２に隣接して配置されている前記受光装置５のライ
ンセンサー５ａに反射光が入射する。このラインセンサ
ー５ａに入射した反射光は演算処理・判別装置６に伝送
される。そして、この演算処理・判別装置６では、反射
光強度を演算して鉛板ガラス２に塗布された酸化チタン
３ａの塗布状態を塗布状態データとして生成すると共
に、この生成された塗布状態データが予め設定されてい
る所定の塗布パターンと同様であるか否かが瞬時に判別
される。

【００３８】前記演算処理・判別装置６の判別結果で塗
布状態が「合格」と判断された場合には引き続き鉛板ガ
ラス表面に酸化チタンが塗布されていく。一方、塗布状
態が図に示すようにかすれ部Ｃがあって一様な状態でな
いと演算処理・判別装置６で「不合格」と判断される。
この場合には、この演算処理・判別装置６から塗布状態
制御装置２３に塗布部にかすれがあって「不合格」であ
ることを知らせる電気信号が出力される。すると、塗布
状態制御装置２３では前記演算処理・判別装置６からの
電気信号に基づいて塗布量あるいは塗布時間を変更して
殆ど瞬時に良好な塗布状態に修正することができる。

【００３９】本実施形態においては、塗布面検査装置を
構成する塗布面に照明光を照射する照明装置及び塗布面
で反射した反射光が入射する受光装置のラインセンサー
を、遮光ボックス内に設けたことによって、外光が受光
装置内に入射することが防止されて外光による反射光に
対する悪影響を除去しているので、より正確にかつ瞬時
に、塗布面の塗布状態データを生成して、塗布状態が所
定の塗布パターンであるか否かを瞬時に判別することが
できる。また、塗布面検査装置の受光装置を塗布装置の
塗布液供給部に隣接させて配置したことにより、容易塗
布液供給部から鉛板ガラスの表面に塗布された酸化チタ
ンの塗布状態を、塗布した液が乾燥する前に受光装置の
ラインセンサーに入射する反射光を捕らえて演算処理・
判別装置で瞬時に判別することができる。さらに、演算
処理・判別装置で判別した結果を塗布状態制御部に伝送
することによって、塗布状態制御部では演算処理・判別
装置から伝送された判別結果に基づいて塗布量を制御す
ることができるので安定した塗布が可能になる。

【００４０】なお、図９に示すように回転ドラム３１に
巻き付けられた例えばシート状部材３２の面上に塗布液
を塗布する塗布装置や１ライン毎に印刷する機構を有す
る印刷装置等と、本発明の塗布システムを組み合わせて
塗布システム２０Ａや印刷システムを構築することによ
って、シート部材への塗布と検査又は印刷と検査とを瞬
時に連続的に行うことができる。

【００４１】

【発明の効果】以上述べたように、本発明の請求項１，
２，３によれば、塗布される面と塗布する物質の分光特
性を加味した照明光を塗布面に照射しているので、受光
装置で光強度に差のある反射光を撮らえられるので、容
易に、反射強度の違いから塗布面の塗布状態データを生
成して、塗布状態が所定の塗布パターン情報と同様であ
るか否かを容易に判別することができるという効果を有
する。

【００４２】また、本発明の請求項４，５によれば、容
易塗布液供給部から鉛板ガラスの表面に塗布された酸化
チタンの塗布状態を、受光装置に入射する反射光を捕ら
えて演算処理・判別装置で瞬時に判別することができる
と共に、この演算処理・判別装置で判別した結果を塗布
状態制御部に伝送することによって、塗布状態制御部で
は演算処理・判別装置から伝送された判別結果に基づい
て塗布量を制御して安定した塗布を行うことができると
いう効果を有する。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の第１実施形態に係る塗布面検査装置を
示す説明図

【図２】鉛板ガラスに塗布されている酸化チタン薄膜の
塗布パターン形状の１例を示す図

【図３】鉛板ガラス及び酸化チタン膜の波長と透過率と
の関係を示す特性図

【図４】モニタ画面上に表示される塗布状態の１例を示
す図

【図５】第１実施形態の変形例を示す説明図

【図６】本発明の第２実施形態に係る塗布システムの概
略構成を示す説明図

【図７】鉛板ガラス面上の塗布部分と検査部分との位置
関係を示す説明図

【図８】鉛板ガラス面上に酸化チタンが塗布された状態
を示す図

【図９】第２実施形態の応用例を示す説明図

【符号の説明】

１…塗布面検査装置 ２…鉛板ガラス ３…薄膜 ４…照明装置（４ａ…光源） ５…受光装置（５ａ…ラインセンサー） ６…演算処理・判別装置

Claims (5)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 面上に塗布された物質の塗布状態を検査
   する塗布面検査装置において、 塗布される面の分光特性と塗布した物質の分光特性との
   比を大きくする波長帯域に分光輝度分布を有する照明光
   を照射する光源を備えた照明装置と；この照明装置の光
   源から塗布面上に向けて照射された照明光の反射光を受
   光する受光装置と；この受光装置に入射した反射光デー
   タを演算して、反射光強度の違いによって塗布面上の塗
   布領域と非塗布領域とを判別する演算処理・判定装置
   と；を具備することを特徴とする塗布面検査装置。
2. 【請求項２】 前記受光装置の前面に、照明光の所定の
   波長帯域に感度を有するフィルターを配置した；ことを
   特徴とする請求項１に記載の塗布面検査装置。
3. 【請求項３】 前記受光装置からの情報を基に前記演算
   処理・判定装置で演算処理して生成した塗布状態を示す
   塗布状態データと、この演算処理・判定装置に予め入力
   される塗布パターン情報とを比較して；前記塗布状態が
   良好な状態であるか否かを判別処理する；ことを特徴と
   する請求項１に記載の塗布面検査装置。
4. 【請求項４】 一定方向に移動するように配置された部
   材の面上に、塗布液を部材が移動する方向に対して直交
   する方向に塗布する塗布装置と；この塗布装置により塗
   布された塗布面を検査するため、塗布される面の分光特
   性と塗布した物質の分光特性との比を大きくする波長帯
   域に分光輝度分布を有する照明光を照射する光源を備え
   た照明装置及びこの照明装置の光源から塗布面上に向け
   て照射された照明光の反射光を受光する受光装置、この
   受光装置に入射した反射光データを演算して、反射光強
   度の違いによって塗布面上の塗布領域と非塗布領域とを
   判別する演算処理・判定装置を具備する塗布面検査装置
   と；この塗布面検査装置の演算処理・判定装置と電気的
   に接続され、前記演算処理・判定装置から伝送される塗
   布状態データを基に塗布装置の塗布液供給状態を制御す
   る塗布状態制御装置；とを具備することを特徴とする塗
   布システム。
5. 【請求項５】前記塗布装置と塗布面検査装置との位置関
   係を保持した状態で、固定された前記塗布される部材に
   対し、前記塗装装置と塗布面検査装置とが前記塗布装置
   側に相対的に移動する；ことを特徴とする請求項４に記
   載の塗布システム。