JPH0831458B2 - 超電導配線集積回路 - Google Patents

超電導配線集積回路

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JPH0831458B2
JPH0831458B2 JP62224479A JP22447987A JPH0831458B2 JP H0831458 B2 JPH0831458 B2 JP H0831458B2 JP 62224479 A JP62224479 A JP 62224479A JP 22447987 A JP22447987 A JP 22447987A JP H0831458 B2 JPH0831458 B2 JP H0831458B2
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Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 この発明は超電導材料で形成された配線部を有する超
電導配線集積回路に関するものである。
〔従来の技術〕
第３図は従来から考えられている超電導材料を配線と
して用いた超電導配線集積回路の一例を示す図である。
１は半導体基板、２は絶縁体、３は超電導配線、４は配
線を形成する超電導材料と他の導電体とのコンタクト部
である。
半導体メモリ素子に代表されるような大規模集積回路
においては、その集積度が向上すればする程全体の遅延
に対する配線部での遅延の割合が大きくなってきてい
る。従って大規模集積回路において配線部を超電導材料
で形成することは、素子の高速化という点で非常に有利
であると考えられる。即ち、超電導材料は臨界温度以下
では電気抵抗が０Ωになるので、配線部を超電導材料で
形成した素子を臨界温度以下で動作させた場合には、配
線部のCR時定数が０になり、配線遅延は全くなくなる。
〔発明が解決しようとする問題点〕
超電導配線集積回路はしかし上記のような、動作中、
素子自体のジュール発熱により温度が上昇し、配線を形
成する超電動材料が局部的に臨界温度を超えると、その
部分は抵抗体に変わるためにその部分で局部的に信号遅
延が生ずることになり、素子内で信号間にタイミングの
ずれが生じ、誤動作を起こす可能性があるという問題点
があった。
この発明は上記のような問題点を解消するためになさ
れたもので、素子の動作中そのジュール発熱により素子
の温度が上昇しても配線部を形成する超電導材料は臨界
温度を超えることのない超電導配線集積回路を提供する
ことを目的とする 〔問題を解決するための手段〕 この発明に係る超電導配線集積回路は、超電導材料で
形成された配線を有する集積回路において、上記配線
に、該配線の温度が上記超電導材料の臨界温度以上の温
度まで上昇しないように、上記配線に流入する，上記集
積回路を構成する他の回路素子のジュール発熱により生
じた熱を外部に放熱する幅広部分を設けたことを特徴と
するものである。
〔作用〕
本発明においては、上記構成としたから、上記集積回
路の動作中に回路素子がそのジュール発熱によって温度
上昇し、この回路素子の温度上昇によって回路内の上記
超電導材料で形成された配線が温度上昇しても、当該配
線の熱が上記幅広部分により外部に放熱されることによ
り上記超電導材料の臨界温度以上の温度までは上昇せ
ず、配線が局所的に抵抗体になってしまうことを防止す
ることができる。
〔実施例〕
以下、この発明の一実施例を図について説明する。
第１図は本発明の一実施例による超電導配線集積回路
を示す図、第２図は本発明の他の実施例を示す図であ
り、両図において、１は半導体基板、２は絶縁体、３は
超電導配線、４は超電導配線３と他の導電体とのコンタ
クト部、５は超電導配線を延長して形成した放熱の役割
を果たす幅広配線部分である。
上記両実施例において、幅広配線部分５は超電導配線
の放熱効率を良くし、超電導配線３が臨界温度以上に温
度上昇するのを防ぐ役目を果たす。従って超電導材料の
一部が抵抗体に変わり、そのために局部的に信号遅延が
生じて、信号間にタイミングのずれが生ずるということ
による誤動作は起こりにくくなる。
〔発明の効果〕
以上のように、この発明にかかる超電導配線集積回路
によれば、超電導材料で形成された配線を有する集積回
路において、上記配線に、該配線の温度が上昇超電導材
料の臨界温度以上の温度まで上昇しないように、上記配
線に流入する，上記集積回路を構成する他の回路素子の
ジュール発熱により生じた熱を、外部に放熱する幅広部
分を設けたので、上記集積回路の動作中に回路素子がそ
のジュール発熱によって温度上昇し、この回路素子の温
度上昇によって回路素子の上記超電導材料で形成された
配線が温度上昇しても、当該配線の熱が上記幅広の配線
パターンにより外部に放熱されることにより，上記超電
導材料の臨界温度以上の温度までは上昇せず、配線が局
所的に抵抗体になってしまうことを防止することがで
き、その結果、回路素子間での信号タイミングにずれが
生ずることがなくなり、集積回路の誤動作を防止できる
という効果がある。
【図面の簡単な説明】
第１図はこの発明の一実施例による超電導配線集積回路
を示す図、第２図はこの発明の他の実施例による超電導
配線集積回路を示す図、第３図は従来の超電導配線集積
回路を示す図である。 １は半導体基板、２は絶縁体、３は超電導配線、４はコ
ンタクト部、５は幅広部分である。 なお図中同一符号は同一又は相当部分を示す。

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】超電導材料で形成された配線を有する集積
    回路において、 上記配線に、該配線の温度が上記超電導材料の臨界温度
    以上の温度まで上昇しないように、上記配線に流入す
    る，上記集積回路を構成する他の回路素子のジュール発
    熱により生じた熱を、外部に放熱する，幅広部分を設け
    たことを特徴とする超電導配線集積回路。
JP62224479A 1987-09-08 1987-09-08 超電導配線集積回路 Expired - Lifetime JPH0831458B2 (ja)

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JP62224479A JPH0831458B2 (ja) 1987-09-08 1987-09-08 超電導配線集積回路
US07/618,024 US5083188A (en) 1987-09-08 1990-11-27 Integrated circuit having superconductive wirings

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JP62224479A JPH0831458B2 (ja) 1987-09-08 1987-09-08 超電導配線集積回路

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JPS6467944A JPS6467944A (en) 1989-03-14
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JPS6467944A (en) 1989-03-14

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