JPH08304542A - 光波距離計 - Google Patents
光波距離計Info
- Publication number
- JPH08304542A JPH08304542A JP7114640A JP11464095A JPH08304542A JP H08304542 A JPH08304542 A JP H08304542A JP 7114640 A JP7114640 A JP 7114640A JP 11464095 A JP11464095 A JP 11464095A JP H08304542 A JPH08304542 A JP H08304542A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- light
- optical path
- reflector
- filter
- return
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01S—RADIO DIRECTION-FINDING; RADIO NAVIGATION; DETERMINING DISTANCE OR VELOCITY BY USE OF RADIO WAVES; LOCATING OR PRESENCE-DETECTING BY USE OF THE REFLECTION OR RERADIATION OF RADIO WAVES; ANALOGOUS ARRANGEMENTS USING OTHER WAVES
- G01S7/00—Details of systems according to groups G01S13/00, G01S15/00, G01S17/00
- G01S7/48—Details of systems according to groups G01S13/00, G01S15/00, G01S17/00 of systems according to group G01S17/00
- G01S7/481—Constructional features, e.g. arrangements of optical elements
- G01S7/4811—Constructional features, e.g. arrangements of optical elements common to transmitter and receiver
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01S—RADIO DIRECTION-FINDING; RADIO NAVIGATION; DETERMINING DISTANCE OR VELOCITY BY USE OF RADIO WAVES; LOCATING OR PRESENCE-DETECTING BY USE OF THE REFLECTION OR RERADIATION OF RADIO WAVES; ANALOGOUS ARRANGEMENTS USING OTHER WAVES
- G01S7/00—Details of systems according to groups G01S13/00, G01S15/00, G01S17/00
- G01S7/48—Details of systems according to groups G01S13/00, G01S15/00, G01S17/00 of systems according to group G01S17/00
- G01S7/491—Details of non-pulse systems
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01S—RADIO DIRECTION-FINDING; RADIO NAVIGATION; DETERMINING DISTANCE OR VELOCITY BY USE OF RADIO WAVES; LOCATING OR PRESENCE-DETECTING BY USE OF THE REFLECTION OR RERADIATION OF RADIO WAVES; ANALOGOUS ARRANGEMENTS USING OTHER WAVES
- G01S17/00—Systems using the reflection or reradiation of electromagnetic waves other than radio waves, e.g. lidar systems
- G01S17/02—Systems using the reflection of electromagnetic waves other than radio waves
- G01S17/06—Systems determining position data of a target
- G01S17/08—Systems determining position data of a target for measuring distance only
- G01S17/32—Systems determining position data of a target for measuring distance only using transmission of continuous waves, whether amplitude-, frequency-, or phase-modulated, or unmodulated
Abstract
(57)【要約】
【目的】 簡単な構成でありながら、新たな二次反射迷
光を発生することなく、発光素子の発光面又は受光素子
の受光面での反射に起因する二次反射迷光を除去するこ
とができる光波距離計を提供する。 【構成】発光素子１から出射された測定光は、切換シャ
ッタ８，ＮＤフィルタ９，送受分割プリズム３，対物レ
ンズ４を介して、反射器５に入射する。反射器５からの
戻り光のうち一部は、正常反射光として、対物レンズ
４，送受分割プリズム３，光量調整器１０を介して受光
素子２に受光されるが、他の一部は、ＮＤフィルタ９に
戻ってしまう。このＮＤフィルタ９は、入射した戻り光
を減衰させるとともに、一部を反射させる。但し、この
ＮＤフィルタ９は、送光光路６Ａに対して傾いている。
従って、反射光は、送光光路６Ａから外れてしまい、二
次反射迷光にはならない。
光を発生することなく、発光素子の発光面又は受光素子
の受光面での反射に起因する二次反射迷光を除去するこ
とができる光波距離計を提供する。 【構成】発光素子１から出射された測定光は、切換シャ
ッタ８，ＮＤフィルタ９，送受分割プリズム３，対物レ
ンズ４を介して、反射器５に入射する。反射器５からの
戻り光のうち一部は、正常反射光として、対物レンズ
４，送受分割プリズム３，光量調整器１０を介して受光
素子２に受光されるが、他の一部は、ＮＤフィルタ９に
戻ってしまう。このＮＤフィルタ９は、入射した戻り光
を減衰させるとともに、一部を反射させる。但し、この
ＮＤフィルタ９は、送光光路６Ａに対して傾いている。
従って、反射光は、送光光路６Ａから外れてしまい、二
次反射迷光にはならない。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は、測定対象点までの距
離を光学的に測定する光波距離計に関する。
離を光学的に測定する光波距離計に関する。
【０００２】
【従来の技術】光波距離計は、発光素子から測定対象点
に配置された反射鏡に向けて変調光を送光するととも
に、この反射鏡にて反射された変調光を受光素子により
受光して、出射時点での変調位相と受光時点での位相と
の位相差を検出することにより、測定対象点までの距離
を測定するものである。
に配置された反射鏡に向けて変調光を送光するととも
に、この反射鏡にて反射された変調光を受光素子により
受光して、出射時点での変調位相と受光時点での位相と
の位相差を検出することにより、測定対象点までの距離
を測定するものである。
【０００３】このように光波距離計は、光の進行時間を
検出基本要素としているので、１０ -7秒程度の位相差検
出精度が求められている。従って、正確な距離測定をす
るには、ノイズを除去して、送光された変調光に対する
正規の反射光のみを識別できるようにしなければならな
い。各種のノイズのうち特に問題であるのが、正規の反
射光と同じ周波数を持つ故に正規の反射光と区別しにく
い二次反射迷光である。この二次反射迷光とは、光波距
離計内の発光素子から変調光を出射する対物レンズまで
の送光光路，又は対物レンズから受光素子までの受光光
路内の高反射率部（例えば、発光素子の発光面，受光素
子の受光面，等）において正規の反射光が再反射される
ことによって生じる迷光である。即ち、一旦反射鏡にて
反射された正規の反射光が送光光路に戻った後に高反射
率部（発光素子の発光面等）で再反射されるか、正規の
反射光が受光光路に進んだ後に高反射率部（受光素子の
受光面等）で再反射されて、再度反射鏡に向けて照射さ
れることにより、生じる迷光である。
検出基本要素としているので、１０ -7秒程度の位相差検
出精度が求められている。従って、正確な距離測定をす
るには、ノイズを除去して、送光された変調光に対する
正規の反射光のみを識別できるようにしなければならな
い。各種のノイズのうち特に問題であるのが、正規の反
射光と同じ周波数を持つ故に正規の反射光と区別しにく
い二次反射迷光である。この二次反射迷光とは、光波距
離計内の発光素子から変調光を出射する対物レンズまで
の送光光路，又は対物レンズから受光素子までの受光光
路内の高反射率部（例えば、発光素子の発光面，受光素
子の受光面，等）において正規の反射光が再反射される
ことによって生じる迷光である。即ち、一旦反射鏡にて
反射された正規の反射光が送光光路に戻った後に高反射
率部（発光素子の発光面等）で再反射されるか、正規の
反射光が受光光路に進んだ後に高反射率部（受光素子の
受光面等）で再反射されて、再度反射鏡に向けて照射さ
れることにより、生じる迷光である。
【０００４】この二次反射迷光を除去するために、従来
より様々な提案がなされている。図６は、本出願人によ
り出願された実願昭５７−５６７３８号の構成を示すも
のである。図６において、モータ３２により回転される
切換シャッタ３８には、発光素子３１から出射された変
調光を送光光路３６Ａに進ませるための測定光スリット
と参照光路３７に進ませるための参照光スリットとが、
周方向に並んで形成されている。この測定光スリットに
は、透過光の光量を減衰させるＮＤフィルタ３９が填め
られている。また、受光素子４２の受光面上には、周方
向に向けて減衰率を連続的に変化させたＮＤフィルタか
ら構成された光量調整器４０が、モータ４３によって回
転位置調整自在に設けられている。このＮＤフィルタ３
９及び光量調整器４０内を透過する総回数は、正規の反
射光であると２回だけであるが、発光素子３１の発光面
又は受光素子４２の受光面上で反射されて生じた二次反
射迷光であるとその出射時から数えて少なくとも４回と
なる。上述した従来の構成は、このようにして透過回数
に差が生じるように構成することにより、正規の反射光
の強度に対する二次反射迷光の強度を相対的に下げてい
るのである。
より様々な提案がなされている。図６は、本出願人によ
り出願された実願昭５７−５６７３８号の構成を示すも
のである。図６において、モータ３２により回転される
切換シャッタ３８には、発光素子３１から出射された変
調光を送光光路３６Ａに進ませるための測定光スリット
と参照光路３７に進ませるための参照光スリットとが、
周方向に並んで形成されている。この測定光スリットに
は、透過光の光量を減衰させるＮＤフィルタ３９が填め
られている。また、受光素子４２の受光面上には、周方
向に向けて減衰率を連続的に変化させたＮＤフィルタか
ら構成された光量調整器４０が、モータ４３によって回
転位置調整自在に設けられている。このＮＤフィルタ３
９及び光量調整器４０内を透過する総回数は、正規の反
射光であると２回だけであるが、発光素子３１の発光面
又は受光素子４２の受光面上で反射されて生じた二次反
射迷光であるとその出射時から数えて少なくとも４回と
なる。上述した従来の構成は、このようにして透過回数
に差が生じるように構成することにより、正規の反射光
の強度に対する二次反射迷光の強度を相対的に下げてい
るのである。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】上述した従来の構成で
は、確かに、発光素子及び受光素子での反射に起因する
二次反射迷光を、無視できる程度まで除去できる。
は、確かに、発光素子及び受光素子での反射に起因する
二次反射迷光を、無視できる程度まで除去できる。
【０００６】しかしながら、ＮＤフィルタ３９及び光量
調整器４０を構成するＮＤフィルタの表面自体が高反射
部であるので、それらの表面において新たな二次反射迷
光４１が発生してしまっていた。そして、この新たな二
次反射迷光４１の影響により、満足いく測定精度を得る
ことができなかった。
調整器４０を構成するＮＤフィルタの表面自体が高反射
部であるので、それらの表面において新たな二次反射迷
光４１が発生してしまっていた。そして、この新たな二
次反射迷光４１の影響により、満足いく測定精度を得る
ことができなかった。
【０００７】なお、フィルムベースのＮＤフィルタ（Ｎ
Ｄフィルタ３９）の場合は、干渉膜の蒸着によりＮＤフ
ィルタとして形成されるので、その表面での反射率を下
げるのは技術的に困難である。また、ガラスベースのＮ
Ｄフィルタ（光量調整器４０）の場合は、表面反射を下
げるためには反射防止膜コーティングが必要となるの
で、高コストとなる。このように、二次反射迷光４１を
除去するのは容易なことではなかった。
Ｄフィルタ３９）の場合は、干渉膜の蒸着によりＮＤフ
ィルタとして形成されるので、その表面での反射率を下
げるのは技術的に困難である。また、ガラスベースのＮ
Ｄフィルタ（光量調整器４０）の場合は、表面反射を下
げるためには反射防止膜コーティングが必要となるの
で、高コストとなる。このように、二次反射迷光４１を
除去するのは容易なことではなかった。
【０００８】そこで、本発明は、簡単な構成でありなが
ら、新たな二次反射迷光を発生することなく発光素子の
発光面又は受光素子の受光面での反射に起因する二次反
射迷光を除去することができる光波距離計を提供するこ
とを、課題とする。
ら、新たな二次反射迷光を発生することなく発光素子の
発光面又は受光素子の受光面での反射に起因する二次反
射迷光を除去することができる光波距離計を提供するこ
とを、課題とする。
【０００９】
【課題を解決するための手段】本発明による光波距離計
の第１の態様は、測定対象点に配置された反射器に変調
光を測定光として照射するとともに、この反射器にて反
射された戻り光を受光して前記変調光の光射時の位相と
受光時の位相との位相差に基づいて前記反射器までの距
離を測定する光波距離計において、前記測定光を出射す
る発光手段と、前記戻り光を受光する受光手段と、前記
発光手段から前記反射器までの送光光路内において前記
測定光の光軸に斜交させた状態で配置された減光フィル
タとを備えたことを特徴とする（請求項１に対応）。
の第１の態様は、測定対象点に配置された反射器に変調
光を測定光として照射するとともに、この反射器にて反
射された戻り光を受光して前記変調光の光射時の位相と
受光時の位相との位相差に基づいて前記反射器までの距
離を測定する光波距離計において、前記測定光を出射す
る発光手段と、前記戻り光を受光する受光手段と、前記
発光手段から前記反射器までの送光光路内において前記
測定光の光軸に斜交させた状態で配置された減光フィル
タとを備えたことを特徴とする（請求項１に対応）。
【００１０】また、本発明による光波距離計の第２の態
様は、測定対象点に配置された反射器に変調光を測定光
として照射するとともに、この反射器にて反射された戻
り光を受光して前記変調光の光射時の位相と受光時の位
相との位相差に基づいて前記反射器までの距離を測定す
る光波距離計において、前記測定光を出射する発光手段
と、前記戻り光を受光する受光手段と、前記反射器から
前記受光手段までの受光光路内において前記戻り光の光
軸に斜交させた状態で配置された減光フィルタとを備え
たことを特徴とする（請求項２に対応）。
様は、測定対象点に配置された反射器に変調光を測定光
として照射するとともに、この反射器にて反射された戻
り光を受光して前記変調光の光射時の位相と受光時の位
相との位相差に基づいて前記反射器までの距離を測定す
る光波距離計において、前記測定光を出射する発光手段
と、前記戻り光を受光する受光手段と、前記反射器から
前記受光手段までの受光光路内において前記戻り光の光
軸に斜交させた状態で配置された減光フィルタとを備え
たことを特徴とする（請求項２に対応）。
【００１１】
【実施例】以下、図面に基づいて、本発明の実施例を説
明する。各実施例の詳細な説明を行う前に、本発明の各
構成要件の概念を説明する。
明する。各実施例の詳細な説明を行う前に、本発明の各
構成要件の概念を説明する。
【００１２】（送光光路，受光光路）送光光路と受光光
路とは、一部が重複していても良いし、全てが重複して
いてもよい。減光フィルタは、これら送光光路及び受光
光路が互いに分離されている位置に配置されていても良
いし、それらが重複している位置に配置されていても良
い。従って、反射器の直前に配置されていてもその機能
を果たし得る。
路とは、一部が重複していても良いし、全てが重複して
いてもよい。減光フィルタは、これら送光光路及び受光
光路が互いに分離されている位置に配置されていても良
いし、それらが重複している位置に配置されていても良
い。従って、反射器の直前に配置されていてもその機能
を果たし得る。
【００１３】送光光路と受光光路とが一部重複するよう
に構成する場合には、重複部分と分離部分の境界に光路
分割手段を配置することができる。この光路分割手段
は、反射器に至る共通光路を別個独立の光路である発光
手段からの送光光路と受光手段までの受光光路とに分割
する手段である。従って、ビームスプリッタであっても
良いし、反射鏡や反射プリズムであっても良いし、二股
状の光ファイバや導光波路であっても良い。さらに、発
光手段からの光路と受光手段までの光路とが別個の光学
系として構成されているときには、平行に配置されたこ
れら光学系の開口が光路分割手段を構成する。
に構成する場合には、重複部分と分離部分の境界に光路
分割手段を配置することができる。この光路分割手段
は、反射器に至る共通光路を別個独立の光路である発光
手段からの送光光路と受光手段までの受光光路とに分割
する手段である。従って、ビームスプリッタであっても
良いし、反射鏡や反射プリズムであっても良いし、二股
状の光ファイバや導光波路であっても良い。さらに、発
光手段からの光路と受光手段までの光路とが別個の光学
系として構成されているときには、平行に配置されたこ
れら光学系の開口が光路分割手段を構成する。
【００１４】（減光フィルタ）減光フィルタは固定式で
あっても良いし、光軸上に挿脱される可動式であっても
良い。可動式とする場合、発光手段から出射された測定
光を光路分割手段に送出する第１のスリットと測定光を
受光手段に送出する第２のスリットとを測定光の光路中
に交互に挿入する切換シャッタを組み込んで、この切換
シャッタの第１のスリットに減光フィルタを填め込んで
も良い（請求項４に対応）。この切換シャッタを平面状
として測定光の光軸に斜交して配置すれば、減光フィル
タが測定光の光軸に斜交するという条件が満たされる
（請求項５に対応）。また、この切換シャッタに測定光
の光軸に斜交するテーパ面を形成し、このテーパ面に減
光フィルタを填め込んだ第１のスリットを形成すれば、
減光フィルタが測定光の光軸に斜交するという条件が満
たされる（請求項６に対応）。
あっても良いし、光軸上に挿脱される可動式であっても
良い。可動式とする場合、発光手段から出射された測定
光を光路分割手段に送出する第１のスリットと測定光を
受光手段に送出する第２のスリットとを測定光の光路中
に交互に挿入する切換シャッタを組み込んで、この切換
シャッタの第１のスリットに減光フィルタを填め込んで
も良い（請求項４に対応）。この切換シャッタを平面状
として測定光の光軸に斜交して配置すれば、減光フィル
タが測定光の光軸に斜交するという条件が満たされる
（請求項５に対応）。また、この切換シャッタに測定光
の光軸に斜交するテーパ面を形成し、このテーパ面に減
光フィルタを填め込んだ第１のスリットを形成すれば、
減光フィルタが測定光の光軸に斜交するという条件が満
たされる（請求項６に対応）。
【００１５】一方、可動式とする場合、周方向に減光率
を変化させた回転自在な円盤状のフィルタとして減光フ
ィルタを構成しても良い（請求項７に対応）。
を変化させた回転自在な円盤状のフィルタとして減光フ
ィルタを構成しても良い（請求項７に対応）。
【００１６】
【実施例１】以下、本発明の第１実施例を、図１に基づ
いて説明する。 ＜実施例の構成＞図１において発光素子１から出射され
た変調光は、測定光として、送光光路６Ａに沿って切換
シャッタ８，ＮＤフィルタ９，送受分割プリズム３，及
び対物レンズ４を通り、反射器５に入射する。この反射
器５にて反射された測定光の戻り光は、受光光路６Ｂに
沿って対物レンズ４，送受分割プリズム３，及び光量調
整器１０を通り、受光素子２によって受光される。ま
た、発光素子１から出射された変調光の一部は、参照光
として、参照光路７に沿って切換シャッタ８及び光量調
整器１０を通り、受光素子２によって受光される。以
下、これらの各構成部品の説明を行う。
いて説明する。 ＜実施例の構成＞図１において発光素子１から出射され
た変調光は、測定光として、送光光路６Ａに沿って切換
シャッタ８，ＮＤフィルタ９，送受分割プリズム３，及
び対物レンズ４を通り、反射器５に入射する。この反射
器５にて反射された測定光の戻り光は、受光光路６Ｂに
沿って対物レンズ４，送受分割プリズム３，及び光量調
整器１０を通り、受光素子２によって受光される。ま
た、発光素子１から出射された変調光の一部は、参照光
として、参照光路７に沿って切換シャッタ８及び光量調
整器１０を通り、受光素子２によって受光される。以
下、これらの各構成部品の説明を行う。
【００１７】発光手段としての発光素子１は、図示せぬ
変調回路によって所定の周波数信号で強度変調された変
調光を出射する発光ダイオードである。切換シャッタ８
は、モータ１３によって特定の同期スピードで回転する
円形のシャッタである。この切換シャッタ８には、回転
中心からの半径距離を夫々異にする２種類の円弧状スリ
ットが、周方向に交互に形成されている。この円弧状ス
リットは、発光素子１から拡散出射された光の通過方向
を切り換える絞りとして機能する。即ち、長半径のスリ
ットを通過した光は測定光となり、短半径のスリットを
通過した光は参照光となる。切換シャッタ８が回転する
と、所定の周期で、これら測定光及び参照光が交互に切
換シャッタ８を通過することになる。
変調回路によって所定の周波数信号で強度変調された変
調光を出射する発光ダイオードである。切換シャッタ８
は、モータ１３によって特定の同期スピードで回転する
円形のシャッタである。この切換シャッタ８には、回転
中心からの半径距離を夫々異にする２種類の円弧状スリ
ットが、周方向に交互に形成されている。この円弧状ス
リットは、発光素子１から拡散出射された光の通過方向
を切り換える絞りとして機能する。即ち、長半径のスリ
ットを通過した光は測定光となり、短半径のスリットを
通過した光は参照光となる。切換シャッタ８が回転する
と、所定の周期で、これら測定光及び参照光が交互に切
換シャッタ８を通過することになる。
【００１８】二等辺三角柱状の送受分割プリズム３は、
その二等辺に該当する斜面３ａ，３ｂが外反射面となっ
ている。発光素子１側の斜面３ａは、測定光を対物レン
ズ４に向けて反射する。また、受光素子２側の斜面３ｂ
は、対物レンズ４から戻ってきた測定光（戻り光）を受
光素子２に向けて反射する。なお、この送受分割プリズ
ム３から反射器５までの間の空間は、送光光及び戻り光
が往復する共通光路となっているので、図１には送光光
路６Ａ及び受光光路６Ｂが共に描かれている。送受分割
プリズム３は、光路分割手段として、この共通光路を、
発光素子１に至りこの発光素子１から出射された測定光
を共通光路に導く送光光路６Ａと、受光素子２に至り共
通光路を通ってきた戻り光を受光素子２に導く受光光路
６Ｂとに、分割するのである。また、対物レンズ４から
戻ってきた戻り光のうちの一部は、送受分割プリズム３
の発光素子１側斜面３ａに入射して、この斜面３ａにお
いて発光素子側に反射される。
その二等辺に該当する斜面３ａ，３ｂが外反射面となっ
ている。発光素子１側の斜面３ａは、測定光を対物レン
ズ４に向けて反射する。また、受光素子２側の斜面３ｂ
は、対物レンズ４から戻ってきた測定光（戻り光）を受
光素子２に向けて反射する。なお、この送受分割プリズ
ム３から反射器５までの間の空間は、送光光及び戻り光
が往復する共通光路となっているので、図１には送光光
路６Ａ及び受光光路６Ｂが共に描かれている。送受分割
プリズム３は、光路分割手段として、この共通光路を、
発光素子１に至りこの発光素子１から出射された測定光
を共通光路に導く送光光路６Ａと、受光素子２に至り共
通光路を通ってきた戻り光を受光素子２に導く受光光路
６Ｂとに、分割するのである。また、対物レンズ４から
戻ってきた戻り光のうちの一部は、送受分割プリズム３
の発光素子１側斜面３ａに入射して、この斜面３ａにお
いて発光素子側に反射される。
【００１９】減光フィルタとしてのＮＤフィルタ９は、
透過する光の光量を減衰するためのフィルタであり、切
換シャッタ８と送受分割プリズム３との間における測定
光の送光光路６Ａに直交する面から５〜１０度傾けて配
置されている。送受分割プリズム３の斜面３ａにおいて
反射された対物レンズ４からの戻り光は、このＮＤフィ
ルタ９に入射することにより、減衰を受ける。従って、
その後でこの戻り光が発光素子１の発光面において再反
射されて再度ＮＤフィルタ９を透過してきたとしても、
このＮＤフィルタ９を往復透過する事により、無視でき
る程度に減衰される。
透過する光の光量を減衰するためのフィルタであり、切
換シャッタ８と送受分割プリズム３との間における測定
光の送光光路６Ａに直交する面から５〜１０度傾けて配
置されている。送受分割プリズム３の斜面３ａにおいて
反射された対物レンズ４からの戻り光は、このＮＤフィ
ルタ９に入射することにより、減衰を受ける。従って、
その後でこの戻り光が発光素子１の発光面において再反
射されて再度ＮＤフィルタ９を透過してきたとしても、
このＮＤフィルタ９を往復透過する事により、無視でき
る程度に減衰される。
【００２０】また、ＮＤフィルタ９に入射した送受分割
プリズム３からの戻り光の一部は、ＮＤフィルタ９の表
面において反射される。但し、ＮＤフィルタ９が送光光
路６Ａに対して斜交していることにより、その反射光１
１は、入射角の二倍の角度で反射される。従って、反射
光１１は、送光光路６Ａから外れるので、二次反射迷光
となることがない。
プリズム３からの戻り光の一部は、ＮＤフィルタ９の表
面において反射される。但し、ＮＤフィルタ９が送光光
路６Ａに対して斜交していることにより、その反射光１
１は、入射角の二倍の角度で反射される。従って、反射
光１１は、送光光路６Ａから外れるので、二次反射迷光
となることがない。
【００２１】対物レンズ４は、測定光を平行光にして反
射器５に送出するとともに、反射器５からの戻り光を受
光光路６Ｂに沿って受光素子２の受光面上に収束させる
ためのレンズである。即ち、発光素子１の発光面及び受
光素子２の受光面は、対物レンズ４の焦点と光学的に等
価な位置に配置されている。
射器５に送出するとともに、反射器５からの戻り光を受
光光路６Ｂに沿って受光素子２の受光面上に収束させる
ためのレンズである。即ち、発光素子１の発光面及び受
光素子２の受光面は、対物レンズ４の焦点と光学的に等
価な位置に配置されている。
【００２２】反射器５は、測定対象地点に配置されたコ
ーナーキューブであり、送光光路６Ａの方向如何に拘わ
らず、送光光路６Ａと平行な方向に戻り光を反射させ
る。光量調整器１０は、周方向に漸次透過率が変化する
円盤状のＮＤフィルタであり、モータ１２によって回転
させられる。そして、測定対象点までの距離の遠近に応
じてその回転位置が調整され、常に同程度の光量が受光
素子２に入射するように、透過光に対する透過率が変化
される。なお、この光量調整器１０を透過した後で受光
素子２の受光面において戻り光が再反射されたとして
も、反射器５にて戻されて再度受光素子２の受光面に入
射するまでには、この光量調整器１０を往復透過しなけ
ればならない。従って、無視できる程度に減衰されるの
である。
ーナーキューブであり、送光光路６Ａの方向如何に拘わ
らず、送光光路６Ａと平行な方向に戻り光を反射させ
る。光量調整器１０は、周方向に漸次透過率が変化する
円盤状のＮＤフィルタであり、モータ１２によって回転
させられる。そして、測定対象点までの距離の遠近に応
じてその回転位置が調整され、常に同程度の光量が受光
素子２に入射するように、透過光に対する透過率が変化
される。なお、この光量調整器１０を透過した後で受光
素子２の受光面において戻り光が再反射されたとして
も、反射器５にて戻されて再度受光素子２の受光面に入
射するまでには、この光量調整器１０を往復透過しなけ
ればならない。従って、無視できる程度に減衰されるの
である。
【００２３】また、光量調整器１０の表面に入射した戻
り光の一部は、この光量調整器１０の表面において反射
される。但し、この光量調整器１０は、受光光路６Ｂに
直交する面から５〜１０度傾けて配置されている。従っ
て、その反射光１４は、入射角の二倍の角度で反射され
て受光光路６Ｂから外れてしまうので、二次反射迷光と
なることがない。
り光の一部は、この光量調整器１０の表面において反射
される。但し、この光量調整器１０は、受光光路６Ｂに
直交する面から５〜１０度傾けて配置されている。従っ
て、その反射光１４は、入射角の二倍の角度で反射され
て受光光路６Ｂから外れてしまうので、二次反射迷光と
なることがない。
【００２４】受光手段としての受光素子２は、受光した
戻り光を電気信号に変換する。電気信号に変換された戻
り光の位相は、図示せぬ位相差検出回路により、発光素
子１を変調させた変調信号の位相と比較され、両者の位
相差を示す位相差信号に変換される。なお、参照光も、
受光素子２により電気信号に変換され、図示せぬ位相差
検出回路により、その位相が発光素子１を変調させた変
調信号の位相と比較され、両者の位相差を示す位相差信
号に変換される。戻り光による位相差信号は、図示せぬ
距離算出回路により、参照光による位相差信号分を減算
されることによって誤差補正がなされた後に、距離値に
変換される。
戻り光を電気信号に変換する。電気信号に変換された戻
り光の位相は、図示せぬ位相差検出回路により、発光素
子１を変調させた変調信号の位相と比較され、両者の位
相差を示す位相差信号に変換される。なお、参照光も、
受光素子２により電気信号に変換され、図示せぬ位相差
検出回路により、その位相が発光素子１を変調させた変
調信号の位相と比較され、両者の位相差を示す位相差信
号に変換される。戻り光による位相差信号は、図示せぬ
距離算出回路により、参照光による位相差信号分を減算
されることによって誤差補正がなされた後に、距離値に
変換される。
【００２５】＜実施例の作用＞本第１実施例によると、
ＮＤフィルタ９は、従来のものと同様にして、発光素子
１の発光面での反射に起因する二次反射迷光を除去する
ことができる。同様に、光量調整器１０は、従来のもの
と同様にして、受光素子２の受光面での反射に起因する
二次反射迷光を除去することができる。
ＮＤフィルタ９は、従来のものと同様にして、発光素子
１の発光面での反射に起因する二次反射迷光を除去する
ことができる。同様に、光量調整器１０は、従来のもの
と同様にして、受光素子２の受光面での反射に起因する
二次反射迷光を除去することができる。
【００２６】しかも、本第１実施例では、ＮＤフィルタ
９及び光量調整器１０が光軸に直交する面から５〜１０
度傾いているので、たとえそれらの表面において反射が
生じたとしても、その反射光１１，１４は送光光路６Ａ
又は受光光路６Ｂから外れてしまい、二次反射迷光にな
ることがない。
９及び光量調整器１０が光軸に直交する面から５〜１０
度傾いているので、たとえそれらの表面において反射が
生じたとしても、その反射光１１，１４は送光光路６Ａ
又は受光光路６Ｂから外れてしまい、二次反射迷光にな
ることがない。
【００２７】従って、本第１実施例によると、測定精度
を悪化させる二次反射迷光をほぼ完全に除去することが
でき、測定精度を良くすることができる。なお、本第１
実施例では、ＮＤフィルタ９が常時送光光路６Ａ内に挿
入されている固定式としたが、測距離の仕様をクリアし
ている限り、モータによって回転されて送光光路６Ａ内
に挿脱される構成であっても良い。
を悪化させる二次反射迷光をほぼ完全に除去することが
でき、測定精度を良くすることができる。なお、本第１
実施例では、ＮＤフィルタ９が常時送光光路６Ａ内に挿
入されている固定式としたが、測距離の仕様をクリアし
ている限り、モータによって回転されて送光光路６Ａ内
に挿脱される構成であっても良い。
【００２８】
【実施例２】以下、本発明の第２実施例を、図２に基づ
いて説明する。 ＜実施例の構成＞本第２実施例は、第１実施例と比較し
て、切換シャッタ及びＮＤフィルタの構成のみが異な
る。従って、図２における図１と同じ構成に同じ参照番
号を付して、その他の説明を省略する。
いて説明する。 ＜実施例の構成＞本第２実施例は、第１実施例と比較し
て、切換シャッタ及びＮＤフィルタの構成のみが異な
る。従って、図２における図１と同じ構成に同じ参照番
号を付して、その他の説明を省略する。
【００２９】本第２実施例の切換シャッタ１６は、送光
光路６Ａに直交する面に対して５〜１０度傾けられて設
けられている。また、この切換シャッタ１６を回転させ
るモータ１５も、それに合わせて傾けられている。
光路６Ａに直交する面に対して５〜１０度傾けられて設
けられている。また、この切換シャッタ１６を回転させ
るモータ１５も、それに合わせて傾けられている。
【００３０】図３に示すように、この切換シャッタ１６
に形成された第１のスリットとして測定光を通過させる
長半径のスリット１６ａには、第１実施例のＮＤフィル
タ９と同機能のＮＤフィルタ１７が填め込まれている。
従って、このＮＤフィルタ１７の表面は、切換シャッタ
の表面と平行となるので、送光光路６Ａに直交する面に
対して５〜１０度傾くことになる。そのため、反射器５
からの戻り光がこのＮＤフィルタ１７に入射しても、そ
の反射光１８は入射角の２倍の角度で反射されて送光光
路６Ａから外れてしまうので、二次反射迷光となること
がない。
に形成された第１のスリットとして測定光を通過させる
長半径のスリット１６ａには、第１実施例のＮＤフィル
タ９と同機能のＮＤフィルタ１７が填め込まれている。
従って、このＮＤフィルタ１７の表面は、切換シャッタ
の表面と平行となるので、送光光路６Ａに直交する面に
対して５〜１０度傾くことになる。そのため、反射器５
からの戻り光がこのＮＤフィルタ１７に入射しても、そ
の反射光１８は入射角の２倍の角度で反射されて送光光
路６Ａから外れてしまうので、二次反射迷光となること
がない。
【００３１】なお、切換シャッタ１６に形成された第２
のスリットとして参照光を通過させる短半径のスリット
１６ｂには、ＮＤフィルタははめ込まれていない。本第
２実施例は、その他の第１実施例の作用を全て奏するこ
とができる。但し、その重複説明は省略する。
のスリットとして参照光を通過させる短半径のスリット
１６ｂには、ＮＤフィルタははめ込まれていない。本第
２実施例は、その他の第１実施例の作用を全て奏するこ
とができる。但し、その重複説明は省略する。
【００３２】
【実施例３】以下、本発明の第３実施例を、図４に基づ
いて説明する。 ＜実施例の構成＞本第３実施例は、第１実施例と比較し
て、切換シャッタ及びＮＤフィルタの構成のみが異な
る。従って、図４における図１と同じ構成に同じ参照番
号を付して、その他の説明を省略する。
いて説明する。 ＜実施例の構成＞本第３実施例は、第１実施例と比較し
て、切換シャッタ及びＮＤフィルタの構成のみが異な
る。従って、図４における図１と同じ構成に同じ参照番
号を付して、その他の説明を省略する。
【００３３】本第３実施例のモータ１９は、第１実施例
のモータ１３と同様に、送光光路６Ａと平行に配置され
ている。図５に示すように、モータ１９により回転され
る切換シャッタ２０の中心部分は、送光光路６Ａに直交
する方向の平面２０ａとなっており、参照光を通過させ
る第２のスリットとしての短半径のスリット２０ｃが形
成されている。また、この切換シャッタ２０の周縁部
は、テーパ状に傾いたテーパ面２０ｂとなっており、測
定光を通過させる第１のスリットとしての長半径のスリ
ット２０ｄが形成されている。このテーパ面２０ｂは、
送光光路Ａに直交する面に対して５〜１０度傾いてこの
送光光路Ａと交わる。
のモータ１３と同様に、送光光路６Ａと平行に配置され
ている。図５に示すように、モータ１９により回転され
る切換シャッタ２０の中心部分は、送光光路６Ａに直交
する方向の平面２０ａとなっており、参照光を通過させ
る第２のスリットとしての短半径のスリット２０ｃが形
成されている。また、この切換シャッタ２０の周縁部
は、テーパ状に傾いたテーパ面２０ｂとなっており、測
定光を通過させる第１のスリットとしての長半径のスリ
ット２０ｄが形成されている。このテーパ面２０ｂは、
送光光路Ａに直交する面に対して５〜１０度傾いてこの
送光光路Ａと交わる。
【００３４】この切換シャッタ２０のテーパ面２０ｂに
形成された長半径のスリット２０ｄには、第１実施例の
ＮＤフィルタ９と同機能のＮＤフィルタ２３が填め込ま
れている。従って、このＮＤフィルタ２３の表面は、切
換シャッタ２３のテーパ面２０ｂと平行となるので、送
光光路６Ａに直交する面に対して５〜１０度傾いてこの
送光光路６Ａと交わる。
形成された長半径のスリット２０ｄには、第１実施例の
ＮＤフィルタ９と同機能のＮＤフィルタ２３が填め込ま
れている。従って、このＮＤフィルタ２３の表面は、切
換シャッタ２３のテーパ面２０ｂと平行となるので、送
光光路６Ａに直交する面に対して５〜１０度傾いてこの
送光光路６Ａと交わる。
【００３５】そのため、反射器５からの戻り光がこのＮ
Ｄフィルタ２３に入射しても、その反射光２４は入射角
の２倍の角度で反射されて送光光路６Ａから外れてしま
うので、二次反射迷光となることがない。
Ｄフィルタ２３に入射しても、その反射光２４は入射角
の２倍の角度で反射されて送光光路６Ａから外れてしま
うので、二次反射迷光となることがない。
【００３６】本第３実施例は、その他の第１実施例の作
用を全て奏することができる。但し、その重複説明は省
略する。
用を全て奏することができる。但し、その重複説明は省
略する。
【００３７】
【発明の効果】以上のように構成した本発明による光波
距離計によると、簡単な構成でありながら、新たな二次
反射迷光を発生することなく、発光素子の発光面又は受
光素子の受光面での反射に起因する二次反射迷光を除去
することができる。
距離計によると、簡単な構成でありながら、新たな二次
反射迷光を発生することなく、発光素子の発光面又は受
光素子の受光面での反射に起因する二次反射迷光を除去
することができる。
【図１】 本発明の第１実施例に光波距離計の光学構成
図
図
【図２】 本発明の第２実施例に光波距離計の光学構成
図
図
【図３】 図２における切換シャッタの平面図
【図４】 本発明の第３実施例に光波距離計の光学構成
図
図
【図５】 図４における切換シャッタの平面図
【図６】 従来の光波距離計の光学構成図
１ 発光素子 ２ 受光素子 ３ 送受分割プリズム ４ 対物レンズ ５ 反射器 ６Ａ 送光光路 ６Ｂ 受光光路 ７ 参照光路 ８ 切換シャッター ９ ＮＤフィルター １０ 光量調整器 １１ 反射光
Claims (7)
- 【請求項１】測定対象点に配置された反射器に変調光を
測定光として照射するとともに、この反射器にて反射さ
れた戻り光を受光して前記変調光の光射時の位相と受光
時の位相との位相差に基づいて前記反射器までの距離を
測定する光波距離計において、 前記測定光を出射する発光手段と、 前記戻り光を受光する受光手段と、 前記発光手段から前記反射器までの送光光路内において
前記測定光の光軸に斜交させた状態で配置された減光フ
ィルタとを備えたことを特徴とする光波距離計。 - 【請求項２】測定対象点に配置された反射器に変調光を
測定光として照射するとともに、この反射器にて反射さ
れた戻り光を受光して前記変調光の光射時の位相と受光
時の位相との位相差に基づいて前記反射器までの距離を
測定する光波距離計において、 前記測定光を出射する発光手段と、 前記戻り光を受光する受光手段と、 前記反射器から前記受光手段までの受光光路内において
前記戻り光の光軸に斜交させた状態で配置された減光フ
ィルタとを備えたことを特徴とする光波距離計。 - 【請求項３】前記反射器に至り前記測定光及び前記戻り
光が往復する共通光路を、前記発光手段に至りこの発光
手段から出射された前記測定光を前記共通光路に導く送
光光路と、前記受光手段に至り前記共通光路を通って入
射してきた前記戻り光をこの受光手段に導く受光光路と
に、分割する光路分割手段を備えたことを特徴とする請
求項１記載の光波距離計。 - 【請求項４】前記発光手段から出射された前記測定光を
前記光路分割手段に送出する第１のスリットと前記測定
光を前記受光手段に送出する第２のスリットとを前記測
定光の光路中に交互に挿入する切換シャッタを更に備え
るとともに、 前記第１のスリットに前記減光フィルタを填め込んだこ
とを特徴とする請求項３記載の光波距離計。 - 【請求項５】前記切換シャッタは平面状であるとともに
前記測定光の光軸に斜交していることを特徴とする請求
項４記載の光波距離計。 - 【請求項６】前記切換シャッタは前記測定光の光軸に斜
交するテーパ面を有するとともに、このテーパ面に前記
第１のスリットが形成されていることを特徴とする請求
項４記載の光波距離計。 - 【請求項７】前記減光フィルタは周方向に減光率を変化
させた回転自在な円盤状のフィルタであることを特徴と
する請求項２記載の光波距離計。
Priority Applications (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11464095A JP3523368B2 (ja) | 1995-05-12 | 1995-05-12 | 光波距離計 |
| US08/634,038 US5886777A (en) | 1995-05-12 | 1996-04-17 | Electronic distance measuring device |
| DE19618910A DE19618910B4 (de) | 1995-05-12 | 1996-05-10 | Elektronischer Entfernungsmesser |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11464095A JP3523368B2 (ja) | 1995-05-12 | 1995-05-12 | 光波距離計 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08304542A true JPH08304542A (ja) | 1996-11-22 |
| JP3523368B2 JP3523368B2 (ja) | 2004-04-26 |
Family
ID=14642874
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11464095A Expired - Fee Related JP3523368B2 (ja) | 1995-05-12 | 1995-05-12 | 光波距離計 |
Country Status (3)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5886777A (ja) |
| JP (1) | JP3523368B2 (ja) |
| DE (1) | DE19618910B4 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007309950A (ja) * | 2001-08-06 | 2007-11-29 | Nikon-Trimble Co Ltd | 合焦式距離測定装置 |
Families Citing this family (35)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP4328918B2 (ja) * | 1999-05-21 | 2009-09-09 | 株式会社トプコン | 距離測定装置 |
| JP2001317938A (ja) | 2000-05-01 | 2001-11-16 | Asahi Optical Co Ltd | 光波距離計を有する測量機 |
| JP3723721B2 (ja) | 2000-05-09 | 2005-12-07 | ペンタックス株式会社 | 光波測距儀及びａｆ機能を有する光波測距儀 |
| JP3590565B2 (ja) | 2000-05-11 | 2004-11-17 | ペンタックス株式会社 | 光波距離計を有する測量機 |
| JP3713185B2 (ja) | 2000-05-11 | 2005-11-02 | ペンタックス株式会社 | Ａｆ測量機 |
| JP2001324327A (ja) | 2000-05-12 | 2001-11-22 | Asahi Optical Co Ltd | 分岐光学系を用いたａｆ測量機 |
| JP3634719B2 (ja) | 2000-05-25 | 2005-03-30 | ペンタックス株式会社 | Ａｆ機能を有する光波測距儀 |
| JP3718411B2 (ja) | 2000-05-30 | 2005-11-24 | ペンタックス株式会社 | Ａｆ測量機 |
| US6469777B2 (en) | 2000-06-12 | 2002-10-22 | Asahi Kogaku Kogyo Kabushiki Kaisha | Surveying instrument having an optical distance meter |
| DE60238612D1 (de) * | 2001-04-10 | 2011-01-27 | Faro Tech Inc | Chopper-stabilisiertes messgerät für absolute distanzen |
| US8560512B2 (en) | 2002-07-18 | 2013-10-15 | Hewlett-Packard Development Company, L.P. | Finding matching locations, trajectories or attributes while maintaining privacy of non-matching information |
| JP2007536537A (ja) * | 2004-05-04 | 2007-12-13 | ライカ ジオシステムズ アクチェンゲゼルシャフト | 目標捕捉装置 |
| US20070061003A1 (en) * | 2005-09-15 | 2007-03-15 | Cappella, Inc. | Segmented ostial protection device |
| US20070088428A1 (en) * | 2005-09-15 | 2007-04-19 | Cappella, Inc. | Intraluminal device with asymmetric cap portion |
| DE102005045280B3 (de) * | 2005-09-22 | 2006-12-28 | Leuze Electronic Gmbh & Co Kg | Distanzsensor |
| JP5137104B2 (ja) * | 2007-03-22 | 2013-02-06 | 株式会社 ソキア・トプコン | 光波距離計 |
| JP5295511B2 (ja) * | 2007-03-23 | 2013-09-18 | 富士フイルム株式会社 | 測距装置及び測距方法 |
| US9482755B2 (en) | 2008-11-17 | 2016-11-01 | Faro Technologies, Inc. | Measurement system having air temperature compensation between a target and a laser tracker |
| US8659749B2 (en) | 2009-08-07 | 2014-02-25 | Faro Technologies, Inc. | Absolute distance meter with optical switch |
| US8619265B2 (en) | 2011-03-14 | 2013-12-31 | Faro Technologies, Inc. | Automatic measurement of dimensional data with a laser tracker |
| US9400170B2 (en) | 2010-04-21 | 2016-07-26 | Faro Technologies, Inc. | Automatic measurement of dimensional data within an acceptance region by a laser tracker |
| US9377885B2 (en) | 2010-04-21 | 2016-06-28 | Faro Technologies, Inc. | Method and apparatus for locking onto a retroreflector with a laser tracker |
| US9772394B2 (en) | 2010-04-21 | 2017-09-26 | Faro Technologies, Inc. | Method and apparatus for following an operator and locking onto a retroreflector with a laser tracker |
| US8902408B2 (en) | 2011-02-14 | 2014-12-02 | Faro Technologies Inc. | Laser tracker used with six degree-of-freedom probe having separable spherical retroreflector |
| GB2518769A (en) | 2011-03-03 | 2015-04-01 | Faro Tech Inc | Target apparatus and method |
| USD688577S1 (en) | 2012-02-21 | 2013-08-27 | Faro Technologies, Inc. | Laser tracker |
| US9686532B2 (en) | 2011-04-15 | 2017-06-20 | Faro Technologies, Inc. | System and method of acquiring three-dimensional coordinates using multiple coordinate measurement devices |
| US9164173B2 (en) | 2011-04-15 | 2015-10-20 | Faro Technologies, Inc. | Laser tracker that uses a fiber-optic coupler and an achromatic launch to align and collimate two wavelengths of light |
| US8537376B2 (en) | 2011-04-15 | 2013-09-17 | Faro Technologies, Inc. | Enhanced position detector in laser tracker |
| US9482529B2 (en) | 2011-04-15 | 2016-11-01 | Faro Technologies, Inc. | Three-dimensional coordinate scanner and method of operation |
| CN104094081A (zh) | 2012-01-27 | 2014-10-08 | 法罗技术股份有限公司 | 利用条形码识别的检查方法 |
| US9041914B2 (en) | 2013-03-15 | 2015-05-26 | Faro Technologies, Inc. | Three-dimensional coordinate scanner and method of operation |
| US9395174B2 (en) | 2014-06-27 | 2016-07-19 | Faro Technologies, Inc. | Determining retroreflector orientation by optimizing spatial fit |
| TWI555997B (zh) * | 2015-04-17 | 2016-11-01 | 原相科技股份有限公司 | 測距系統及測量距離的方法 |
| CN106153011B (zh) * | 2015-04-21 | 2019-06-07 | 原相科技股份有限公司 | 测距系统及测量距离的方法 |
Family Cites Families (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| SE450975B (sv) * | 1981-08-07 | 1987-09-07 | Geotronics Ab | Anordning for operatorskommunikation i ett system for elektronisk distansmetning |
| JPS58158377U (ja) * | 1982-04-19 | 1983-10-22 | 旭光学工業株式会社 | 光波距離計の切換シヤツタ− |
| DE3601386C1 (en) * | 1986-01-18 | 1987-05-07 | Messerschmitt Boelkow Blohm | Method and device for calibrating optical rangefinders |
| GB2200810B (en) * | 1987-01-29 | 1991-11-06 | Plessey Co Plc | Optical proximity detector |
| US5313261A (en) * | 1992-07-13 | 1994-05-17 | Applied Remote Technology Inc. | Method and apparatus for faithful gray scale representation of under water laser images |
| US5430537A (en) * | 1993-09-03 | 1995-07-04 | Dynamics Research Corporation | Light beam distance encoder |
-
1995
- 1995-05-12 JP JP11464095A patent/JP3523368B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
1996
- 1996-04-17 US US08/634,038 patent/US5886777A/en not_active Expired - Fee Related
- 1996-05-10 DE DE19618910A patent/DE19618910B4/de not_active Expired - Fee Related
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007309950A (ja) * | 2001-08-06 | 2007-11-29 | Nikon-Trimble Co Ltd | 合焦式距離測定装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| US5886777A (en) | 1999-03-23 |
| JP3523368B2 (ja) | 2004-04-26 |
| DE19618910B4 (de) | 2004-09-16 |
| DE19618910A1 (de) | 1996-11-14 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP3523368B2 (ja) | 光波距離計 | |
| JP5137104B2 (ja) | 光波距離計 | |
| JP3569426B2 (ja) | 測量用反射部材 | |
| JP3151595B2 (ja) | 同軸型光波測距計 | |
| JP3254737B2 (ja) | エンコーダー | |
| US6747733B2 (en) | Electronic distance meter | |
| JPS6326782Y2 (ja) | ||
| JP4236326B2 (ja) | 自動測量機 | |
| CA1244688A (en) | Optical projector | |
| JP4244358B2 (ja) | 調光装置とこれを用いた距離測定装置 | |
| JP2000329517A (ja) | 距離測定装置 | |
| JPH0735856A (ja) | 光波距離計 | |
| JP2000193440A (ja) | レ―ザ―測角装置 | |
| JP2001264551A (ja) | 入射アパーチャを一体成形した光学分光計の光導波管 | |
| JPS6336287Y2 (ja) | ||
| JPS60149985A (ja) | 光波測距装置 | |
| JP2004125554A (ja) | ミラー角度検出装置 | |
| JP2676010B2 (ja) | 光波距離計 | |
| JPH08292259A (ja) | 測距装置 | |
| JPH10132507A (ja) | 干渉計 | |
| JPS60235027A (ja) | 狭波長帯域投受光装置 | |
| JPH07280625A (ja) | 光波レベル計 | |
| JPH0850178A (ja) | 光波測距儀 | |
| JP2001159681A (ja) | 光波距離計 | |
| JPH11183200A (ja) | 光学式エンコーダ装置 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20040127 |
|
| A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20040206 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090220 Year of fee payment: 5 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100220 Year of fee payment: 6 |
|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |