JPH08288111A - 抵抗体のトリミング方法 - Google Patents
抵抗体のトリミング方法Info
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- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01C—RESISTORS
- H01C17/00—Apparatus or processes specially adapted for manufacturing resistors
- H01C17/22—Apparatus or processes specially adapted for manufacturing resistors adapted for trimming
- H01C17/24—Apparatus or processes specially adapted for manufacturing resistors adapted for trimming by removing or adding resistive material
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- Manufacturing & Machinery (AREA)
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Abstract
(57)【要約】
【目的】スキャンカットと同程度の良好な耐サージ特性
が得られ、また高速化がはかれる、確実かつ信頼性のあ
るトリミングを実現できる抵抗体のトリミング方法を提
供する。 【構成】絶縁基板１３上に設けられた一対の電極１２
ａ，１２ｂ間に形成した抵抗体１１の前記電極の一方の
電極１２ａに近接する位置の端縁近傍から該電極１２ａ
に平行状に第１のスリット１４１を形成する工程と、該
第１のスリット１４１に連続し前記電極１２ａの他方に
向けて第１のスリット１４１に対し直交状に第２のスリ
ット１４２を形成する工程と、前記電極の他方の電極１
２ｂに向かってずらした位置から、前記第１、第２のス
リット１４１，１４２と同様に少なくとも一つの略Ｌ字
状のスリット１４３，１４４を形成する工程を備えたこ
とを特徴としている。
が得られ、また高速化がはかれる、確実かつ信頼性のあ
るトリミングを実現できる抵抗体のトリミング方法を提
供する。 【構成】絶縁基板１３上に設けられた一対の電極１２
ａ，１２ｂ間に形成した抵抗体１１の前記電極の一方の
電極１２ａに近接する位置の端縁近傍から該電極１２ａ
に平行状に第１のスリット１４１を形成する工程と、該
第１のスリット１４１に連続し前記電極１２ａの他方に
向けて第１のスリット１４１に対し直交状に第２のスリ
ット１４２を形成する工程と、前記電極の他方の電極１
２ｂに向かってずらした位置から、前記第１、第２のス
リット１４１，１４２と同様に少なくとも一つの略Ｌ字
状のスリット１４３，１４４を形成する工程を備えたこ
とを特徴としている。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は、ハイブリッドＩＣを
構成している絶縁基板上に形成された抵抗体のトリミン
グ方法に関する。
構成している絶縁基板上に形成された抵抗体のトリミン
グ方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来から抵抗体のトリミング方法とし
て、図３乃至図８に示すものがある。図３乃至図８にお
いて、１は抵抗体、２ａ，２ｂは電極、３は絶縁基板で
あり、４１〜４６は抵抗体１の抵抗値を調節するための
トリミングにより設けられたスリットである。
て、図３乃至図８に示すものがある。図３乃至図８にお
いて、１は抵抗体、２ａ，２ｂは電極、３は絶縁基板で
あり、４１〜４６は抵抗体１の抵抗値を調節するための
トリミングにより設けられたスリットである。
【０００３】このうち抵抗体１は、スクリーン印刷など
により絶縁基板３上に設けた一対の電極２ａ，２ｂ間に
またがって形成されている。
により絶縁基板３上に設けた一対の電極２ａ，２ｂ間に
またがって形成されている。
【０００４】また、抵抗値を調節するための、トリミン
グにより設けられるスリット４１〜４６のうち、スリッ
ト４１は、図３に示すように、抵抗体１の一方の端部か
ら電極２ａに対して平行状に形成され、中間部で直交状
に折れて略Ｌ字状にトリミングすることにより形成さ
れ、スリット４２は、図４に示すように、略Ｌ字状にト
リミングしてなるスリットに連続して抵抗体１の一方端
部側にもどるように、略コ字状にトリミングすることに
より形成される。
グにより設けられるスリット４１〜４６のうち、スリッ
ト４１は、図３に示すように、抵抗体１の一方の端部か
ら電極２ａに対して平行状に形成され、中間部で直交状
に折れて略Ｌ字状にトリミングすることにより形成さ
れ、スリット４２は、図４に示すように、略Ｌ字状にト
リミングしてなるスリットに連続して抵抗体１の一方端
部側にもどるように、略コ字状にトリミングすることに
より形成される。
【０００５】また、スリット４３は、図５に示すよう
に、抵抗体１の一方端部から略Ｊ字状にトリミングする
ことにより形成されるものであり、スリット４４は、図
６に示すように、電極２ａ，２ｂ間において、抵抗体１
の一方端部から抵抗体１をスキャンカットすることによ
り形成されるものである。
に、抵抗体１の一方端部から略Ｊ字状にトリミングする
ことにより形成されるものであり、スリット４４は、図
６に示すように、電極２ａ，２ｂ間において、抵抗体１
の一方端部から抵抗体１をスキャンカットすることによ
り形成されるものである。
【０００６】さらに、スリット４５は、図７に示すよう
に、抵抗体１の一方端部の電極２ａ側から電極２ｂ側に
略Ｕ字状にトリミングすることにより形成され、スリッ
ト４６は、図８に示すように、抵抗体１の電極２ａと電
極２ｂとの間に電極２ａ，２ｂの一部も含んだ状態で、
直線状にトリミング（リーンカット）することにより形
成されるものである。
に、抵抗体１の一方端部の電極２ａ側から電極２ｂ側に
略Ｕ字状にトリミングすることにより形成され、スリッ
ト４６は、図８に示すように、抵抗体１の電極２ａと電
極２ｂとの間に電極２ａ，２ｂの一部も含んだ状態で、
直線状にトリミング（リーンカット）することにより形
成されるものである。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上述し
た従来のトリミング方法においては、次のような問題点
があった。
た従来のトリミング方法においては、次のような問題点
があった。
【０００８】第１に、図３乃至図５に示す略Ｌ字状のス
リット４１、略コ字状のスリット４２、略Ｊ字状のスリ
ット４３を形成するものにおいては、雷サージ試験にお
いてサージ前後の抵抗値変化率が平均３．３５０％とな
り、大きな効果を期待することができなかった。
リット４１、略コ字状のスリット４２、略Ｊ字状のスリ
ット４３を形成するものにおいては、雷サージ試験にお
いてサージ前後の抵抗値変化率が平均３．３５０％とな
り、大きな効果を期待することができなかった。
【０００９】第２に、図６に示すスキャンカットにより
スリット４４を形成するものにおいては、耐サージ特性
は良好となり、効果的なトリミング方法と言えるが、ト
リミングに要する時間が相当長いため、製品コストを引
上げる原因となっていた。
スリット４４を形成するものにおいては、耐サージ特性
は良好となり、効果的なトリミング方法と言えるが、ト
リミングに要する時間が相当長いため、製品コストを引
上げる原因となっていた。
【００１０】第３に、図７に示す略Ｕ字状にトリミング
してスリット４５を形成するものにおいては、図６に示
したスキャンカットの耐サージ特性を維持した状態でト
リミングを高速化したものであるが、抵抗体初期値のバ
ラツキによって略Ｕ字状にトリミングする途中でトリミ
ングが終了してしまい、略Ｊ字状のスリット（図６と同
様の形状）になってしまう恐れがある。
してスリット４５を形成するものにおいては、図６に示
したスキャンカットの耐サージ特性を維持した状態でト
リミングを高速化したものであるが、抵抗体初期値のバ
ラツキによって略Ｕ字状にトリミングする途中でトリミ
ングが終了してしまい、略Ｊ字状のスリット（図６と同
様の形状）になってしまう恐れがある。
【００１１】第４に、図８に示すリーンカットによりス
リット４６を形成するものにおいては、抵抗体１を電極
２ａ，２ｂも含めてトリミングする手法であり、略Ｕ字
状にトリミングしてスリット４５を形成するものと同様
に、耐サージ特性を維持したままトリミングを高速化し
たものである。しかし、両電極と抵抗体を完全にカット
するためには、トリミングに関しプログラム的に難易度
が高く、かつ電極が完全にカットされないことがあり、
その結果、電気的に抵抗の並列接続を構成する恐れがあ
り、信頼性に欠けるものであった。
リット４６を形成するものにおいては、抵抗体１を電極
２ａ，２ｂも含めてトリミングする手法であり、略Ｕ字
状にトリミングしてスリット４５を形成するものと同様
に、耐サージ特性を維持したままトリミングを高速化し
たものである。しかし、両電極と抵抗体を完全にカット
するためには、トリミングに関しプログラム的に難易度
が高く、かつ電極が完全にカットされないことがあり、
その結果、電気的に抵抗の並列接続を構成する恐れがあ
り、信頼性に欠けるものであった。
【００１２】この発明は、上記のような問題点を解決す
るためになされたもので、耐サージ特性が良好で、高速
かつ確実に抵抗体にスリットを形成することのできる抵
抗体のトリミング方法を提供することを目的としてい
る。
るためになされたもので、耐サージ特性が良好で、高速
かつ確実に抵抗体にスリットを形成することのできる抵
抗体のトリミング方法を提供することを目的としてい
る。
【００１３】
【課題を解決するための手段】この発明は上記の目的を
達成するために、請求項１に係る発明は、絶縁基板上に
設けられた一対の電極間に形成した抵抗体の前記電極の
一方に近接する位置の端縁近傍から該電極に平行状に第
１のスリットを形成する工程と、該第１のスリットに連
続し前記電極の他方に向けて第１のスリットに対し直交
状に第２のスリットを形成する工程と、前記第１のスリ
ットに対し前記電極の他方に向かってずらした位置か
ら、前記第１、第２のスリットと同様に少なくとも一つ
の略Ｌ字状のスリットを、前記電極に平行状のスリット
を第１のスリットに対し順次長くして形成する工程を備
えたことを特徴とするものである。
達成するために、請求項１に係る発明は、絶縁基板上に
設けられた一対の電極間に形成した抵抗体の前記電極の
一方に近接する位置の端縁近傍から該電極に平行状に第
１のスリットを形成する工程と、該第１のスリットに連
続し前記電極の他方に向けて第１のスリットに対し直交
状に第２のスリットを形成する工程と、前記第１のスリ
ットに対し前記電極の他方に向かってずらした位置か
ら、前記第１、第２のスリットと同様に少なくとも一つ
の略Ｌ字状のスリットを、前記電極に平行状のスリット
を第１のスリットに対し順次長くして形成する工程を備
えたことを特徴とするものである。
【００１４】請求項２に係る発明は、絶縁基板上に設け
られた一対の電極間に形成した抵抗体の前記電極の一方
に近接する位置の端縁近傍から該電極に平行状に第１の
スリットを形成する工程と、該第１のスリットに連続し
前記電極の他方に向けて第１のスリットに対し直交状に
第２のスリットを形成する工程と、前記抵抗体の前記電
極の他方に近接する位置の端縁近傍から該電極に平行状
に第３のスリットを第１のスリットより長く形成する工
程と、該第３のスリットに連続し前記電極の他方に向け
て第３のスリットに対し直交状に前記第４のスリットを
形成する工程と、第１のスリットから前記電極の他方に
向かってずらした位置から、前記第１、第２のスリット
と同様に少なくとも一つの略Ｌ字状のスリットを形成す
る工程と、第３のスリットから前記電極の他方に向かっ
てずらした位置から、前記第３、第４のスリットと同様
に少なくとも一つの略逆Ｌ字状のスリットを形成する工
程とを備えたことを特徴とするものである。
られた一対の電極間に形成した抵抗体の前記電極の一方
に近接する位置の端縁近傍から該電極に平行状に第１の
スリットを形成する工程と、該第１のスリットに連続し
前記電極の他方に向けて第１のスリットに対し直交状に
第２のスリットを形成する工程と、前記抵抗体の前記電
極の他方に近接する位置の端縁近傍から該電極に平行状
に第３のスリットを第１のスリットより長く形成する工
程と、該第３のスリットに連続し前記電極の他方に向け
て第３のスリットに対し直交状に前記第４のスリットを
形成する工程と、第１のスリットから前記電極の他方に
向かってずらした位置から、前記第１、第２のスリット
と同様に少なくとも一つの略Ｌ字状のスリットを形成す
る工程と、第３のスリットから前記電極の他方に向かっ
てずらした位置から、前記第３、第４のスリットと同様
に少なくとも一つの略逆Ｌ字状のスリットを形成する工
程とを備えたことを特徴とするものである。
【００１５】
【作用】この発明の抵抗体のトリミング方法によれば、
抵抗体に設けられたスリットを電極に極めて近接した位
置からトリミングを行うことにより、雷サージ試験にお
けるサージ前後の抵抗値変化率が平均０．００３％と極
めて小さくなり、耐サージ特性が良好で、高速かつ確実
に抵抗体を形成することができる。
抵抗体に設けられたスリットを電極に極めて近接した位
置からトリミングを行うことにより、雷サージ試験にお
けるサージ前後の抵抗値変化率が平均０．００３％と極
めて小さくなり、耐サージ特性が良好で、高速かつ確実
に抵抗体を形成することができる。
【００１６】
（実施例１）以下、この発明の一実施例における抵抗体
のトリミング方法を図１を用いて説明する。
のトリミング方法を図１を用いて説明する。
【００１７】図１において、１１は抵抗体、１２ａ，１
２ｂは電極、１３は絶縁基板であり、１４はトリミング
により設けられたスリットである。このうち、抵抗体１
１は、スクリーン印刷などにより、絶縁基板１３上に対
向して設けた一対の電極１２ａ，１２ｂ間に跨って形成
される。
２ｂは電極、１３は絶縁基板であり、１４はトリミング
により設けられたスリットである。このうち、抵抗体１
１は、スクリーン印刷などにより、絶縁基板１３上に対
向して設けた一対の電極１２ａ，１２ｂ間に跨って形成
される。
【００１８】抵抗体１１に設けられたスリット１４は、
次のように形成される。つまり抵抗体１１の一方の電極
１２ａに近接した位置の端縁近傍Ａから一方の電極１２
ａに対して平行状に抵抗体１１の幅方向に沿ってトリミ
ングを行って第１のスリット１４１を形成し、抵抗体１
１の幅方向略中間部において、第１のスリット１４１に
連続して他方の電極１２ｂに向けて第１のスリット１４
１に対し直交状に抵抗体１１の軸方向に沿って電極１２
ｂに近接する位置までトリミングを行い第２のスリット
１４２を形成する。
次のように形成される。つまり抵抗体１１の一方の電極
１２ａに近接した位置の端縁近傍Ａから一方の電極１２
ａに対して平行状に抵抗体１１の幅方向に沿ってトリミ
ングを行って第１のスリット１４１を形成し、抵抗体１
１の幅方向略中間部において、第１のスリット１４１に
連続して他方の電極１２ｂに向けて第１のスリット１４
１に対し直交状に抵抗体１１の軸方向に沿って電極１２
ｂに近接する位置までトリミングを行い第２のスリット
１４２を形成する。
【００１９】次に、第１のスリット１４１から電極１２
ｂ方向に狭ピッチでずらした位置Ａ´から、第１、第２
のスリット１４１、１４２と同様に、第３、第４のスリ
ット１４３、１４４を抵抗体１１の幅方向、軸方向にト
リミングを行うことにより略Ｌ字状に形成し、以下、目
標の抵抗値が得られるまで第３、第４のスリットと同様
に順次トリミングを行ってスリットを形成することで、
最終的に略くし歯状のスリット１４を得るものである。
この際、第３のスリット１４３は第１のスリット１４１
に対して軸方向に長く、つまり第４のスリット１４４が
第２のスリット１４２に対して上部に位置するように、
形状的に設定されるものである。
ｂ方向に狭ピッチでずらした位置Ａ´から、第１、第２
のスリット１４１、１４２と同様に、第３、第４のスリ
ット１４３、１４４を抵抗体１１の幅方向、軸方向にト
リミングを行うことにより略Ｌ字状に形成し、以下、目
標の抵抗値が得られるまで第３、第４のスリットと同様
に順次トリミングを行ってスリットを形成することで、
最終的に略くし歯状のスリット１４を得るものである。
この際、第３のスリット１４３は第１のスリット１４１
に対して軸方向に長く、つまり第４のスリット１４４が
第２のスリット１４２に対して上部に位置するように、
形状的に設定されるものである。
【００２０】（実施例２）図２において、１１は抵抗
体、１２ａ，１２ｂは電極、１３は絶縁基板であり、１
４、１５はトリミングにより設けられたスリットであ
る。このうち、抵抗体１１は、スクリーン印刷などによ
り、絶縁基板１３上に対向して設けた一対の電極１２
ａ，１２ｂ間に跨って形成される。
体、１２ａ，１２ｂは電極、１３は絶縁基板であり、１
４、１５はトリミングにより設けられたスリットであ
る。このうち、抵抗体１１は、スクリーン印刷などによ
り、絶縁基板１３上に対向して設けた一対の電極１２
ａ，１２ｂ間に跨って形成される。
【００２１】抵抗体１１に設けられたスリット１４は、
次のように形成される。つまり抵抗体１１の電極１２ａ
に近接した位置の端縁近傍Ａから一方の電極１２ａに対
して平行状に抵抗体１１の幅方向に沿ってトリミングを
行って第１のスリット１４１を形成し、抵抗体１１の幅
方向略中間部において、第１のスリット１４１に連続し
て他方の電極１２ｂに向けて第１のスリット１４１に対
し直交状に抵抗体１１の軸方向に沿って電極１２ｂに近
接する位置までトリミングを行い第２のスリット１４２
を形成する。ここまでの工程は実施例１と同様である。
次のように形成される。つまり抵抗体１１の電極１２ａ
に近接した位置の端縁近傍Ａから一方の電極１２ａに対
して平行状に抵抗体１１の幅方向に沿ってトリミングを
行って第１のスリット１４１を形成し、抵抗体１１の幅
方向略中間部において、第１のスリット１４１に連続し
て他方の電極１２ｂに向けて第１のスリット１４１に対
し直交状に抵抗体１１の軸方向に沿って電極１２ｂに近
接する位置までトリミングを行い第２のスリット１４２
を形成する。ここまでの工程は実施例１と同様である。
【００２２】次に、抵抗体１１に設けられたスリット１
５は次のように形成される、つまり抵抗体１１の他方の
電極１２ｂに近接した位置の端縁近傍Ｂから他方の電極
１２ｂに対して平行状に抵抗体１１の幅方向に沿ってト
リミングを行って第３のスリット１５１を形成し、抵抗
体１１の幅方向略中間部において、第３のスリット１５
１に連続して一方の電極１２ａに向けて第３のスリット
１５１に対し直交状に抵抗体１１の軸方向に沿って一方
の電極１２ａに近接する位置までトリミングを行い第４
のスリット１５２を形成する。
５は次のように形成される、つまり抵抗体１１の他方の
電極１２ｂに近接した位置の端縁近傍Ｂから他方の電極
１２ｂに対して平行状に抵抗体１１の幅方向に沿ってト
リミングを行って第３のスリット１５１を形成し、抵抗
体１１の幅方向略中間部において、第３のスリット１５
１に連続して一方の電極１２ａに向けて第３のスリット
１５１に対し直交状に抵抗体１１の軸方向に沿って一方
の電極１２ａに近接する位置までトリミングを行い第４
のスリット１５２を形成する。
【００２３】さらに、第１のスリット１４１から他方の
電極１２ｂ方向に狭ピッチでずらした位置Ａ´から、第
１、第２のスリット１４１、１４２と同様に、第５、第
６のスリット１４３、１４４を抵抗体１１の幅方向、軸
方向にトリミングを行うことにより形成しする。
電極１２ｂ方向に狭ピッチでずらした位置Ａ´から、第
１、第２のスリット１４１、１４２と同様に、第５、第
６のスリット１４３、１４４を抵抗体１１の幅方向、軸
方向にトリミングを行うことにより形成しする。
【００２４】次に、第３のスリット１５１から一方の電
極１２ａ方向に狭ピッチでずらした位置Ｂ´から、第
３、第４のスリット１５１、１５２と同様に、第７、第
８のスリット１５３、１５４を抵抗体１１の幅方向、軸
方向にトリミングを行うことにより形成する。以下、目
標の抵抗値が得られるまで順次トリミングによりスリッ
トを形成することで、最終的に略Ｌ字状のスリット１４
を略逆Ｌ字状のスリット１５と交互に、つまり第２のス
リット１４２の上に第４のスリット１５２が位置し、第
４のスリットの上に第６のスリット１４４が位置するよ
うにしてスリット１４、１５を得るものである。
極１２ａ方向に狭ピッチでずらした位置Ｂ´から、第
３、第４のスリット１５１、１５２と同様に、第７、第
８のスリット１５３、１５４を抵抗体１１の幅方向、軸
方向にトリミングを行うことにより形成する。以下、目
標の抵抗値が得られるまで順次トリミングによりスリッ
トを形成することで、最終的に略Ｌ字状のスリット１４
を略逆Ｌ字状のスリット１５と交互に、つまり第２のス
リット１４２の上に第４のスリット１５２が位置し、第
４のスリットの上に第６のスリット１４４が位置するよ
うにしてスリット１４、１５を得るものである。
【００２５】なお、一方の電極１２ａと、Ａ点との間及
び、他方の電極１２ｂと、Ｂ点との間の距離は、抵抗体
１１が良好な耐サージ特性を得るためにできる限り０に
近付けることが望ましい。また、軸方向に伸びるスリッ
トは、対抗する電極に近い位置まで、すなわち抵抗体長
さｌと同程度の長さを持つことが好ましい。
び、他方の電極１２ｂと、Ｂ点との間の距離は、抵抗体
１１が良好な耐サージ特性を得るためにできる限り０に
近付けることが望ましい。また、軸方向に伸びるスリッ
トは、対抗する電極に近い位置まで、すなわち抵抗体長
さｌと同程度の長さを持つことが好ましい。
【００２６】なお、本実施例では、１本目のスリット
（第１、第２のスリット）を略Ｌ字状としたが、略コ字
状または略Ｊ字状としても良い。
（第１、第２のスリット）を略Ｌ字状としたが、略コ字
状または略Ｊ字状としても良い。
【００２７】
【発明の効果】以上のように、この発明によれば、次の
ような効果が得られる。
ような効果が得られる。
【００２８】第１に抵抗体に設けられたスリットを電極
に極めて近接した位置からトリミングを行うことによ
り、スキャンカットと同程度の良好な耐サージ特性が得
られる。
に極めて近接した位置からトリミングを行うことによ
り、スキャンカットと同程度の良好な耐サージ特性が得
られる。
【００２９】第２に従来のスキャンカットに比べ高速化
がはかれる抵抗体のトリミング方法を提供することがで
きる。
がはかれる抵抗体のトリミング方法を提供することがで
きる。
【００３０】第３に略Ｕ字状のトリミングまたはリーン
カットに比べ、確実かつ信頼性のあるトリミングを実現
できる抵抗体のトリミング方法を提供することができ
る。
カットに比べ、確実かつ信頼性のあるトリミングを実現
できる抵抗体のトリミング方法を提供することができ
る。
【図１】本発明抵抗体のトリミング方法の一実施例を示
す抵抗体をトリミングした状態の平面図である。
す抵抗体をトリミングした状態の平面図である。
【図２】本発明抵抗体のトリミング方法の他の実施例を
示す抵抗体をトリミングした状態の平面図である。
示す抵抗体をトリミングした状態の平面図である。
【図３】従来の抵抗体のトリミング方法を示す平面図で
ある。
ある。
【図４】他の従来の抵抗体のトリミング方法を示す平面
図である。
図である。
【図５】さらに他の従来の抵抗体のトリミング方法を示
す平面図である。
す平面図である。
【図６】さらに他の従来の抵抗体のトリミング方法を示
す平面図である。
す平面図である。
【図７】さらに他の従来の抵抗体のトリミング方法を示
す平面図である。
す平面図である。
【図８】さらに他の従来の抵抗体のトリミング方法を示
す平面図である。
す平面図である。
１，１１…抵抗体 ２ａ，２ｂ，１２ａ，１２ｂ…電極 ３，１３…絶縁基板 ４，１４、１５…スリット
Claims (2)
- 【請求項１】絶縁基板上に設けられた一対の電極間に形
成した抵抗体の前記電極の一方に近接する位置の端縁近
傍から該電極に平行状に第１のスリットを形成する工程
と、該第１のスリットに連続し前記電極の他方に向けて
第１のスリットに対し直交状に第２のスリットを形成す
る工程と、前記第１のスリットに対し前記電極の他方に
向かってずらした位置から、前記第１、第２のスリット
と同様に少なくとも一つの略Ｌ字状のスリットを、前記
電極に平行状のスリットを第１のスリットに対し順次長
くして形成する工程を備えたことを特徴とする抵抗体の
トリミング方法。 - 【請求項２】絶縁基板上に設けられた一対の電極間に形
成した抵抗体の前記電極の一方に近接する位置の端縁近
傍から該電極に平行状に第１のスリットを形成する工程
と、該第１のスリットに連続し前記電極の他方に向けて
第１のスリットに対し直交状に第２のスリットを形成す
る工程と、前記抵抗体の前記電極の他方に近接する位置
の端縁近傍から該電極に平行状に第３のスリットを第１
のスリットより長く形成する工程と、該第３のスリット
に連続し前記電極の他方に向けて第３のスリットに対し
直交状に前記第４のスリットを形成する工程と、第１の
スリットから前記電極の他方に向かってずらした位置か
ら、前記第１、第２のスリットと同様に少なくとも一つ
の略Ｌ字状のスリットを形成する工程と、第３のスリッ
トから前記電極の他方に向かってずらした位置から、前
記第３、第４のスリットと同様に少なくとも一つの略逆
Ｌ字状のスリットを形成する工程とを備えたことを特徴
とする抵抗体のトリミング方法。
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