JPH08274014A - 塗布ノズル、この塗布ノズルを用いた塗布方法及びこの塗布ノズルを組み込んだ塗布装置 - Google Patents
塗布ノズル、この塗布ノズルを用いた塗布方法及びこの塗布ノズルを組み込んだ塗布装置Info
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- Coating Apparatus (AREA)
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- Exposure Of Semiconductors, Excluding Electron Or Ion Beam Exposure (AREA)
- Optical Filters (AREA)
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 ガラス基板や半導体ウェーハ等の基板表面に
所定幅で効率よく塗布液を塗布する。 【構成】 ノズル本体５には塗布液貯留部６が形成さ
れ、この塗布液貯留部６の一端には塗布液の供給口７が
設けられ、他端は閉塞され、また下方に向けて開口する
とともに表面張力によって塗布液のボタ落ちを防止する
塗布液保持部８がノズル本体５の下部に形成され、これ
ら塗布液貯留部６と塗布液保持部８とが狭小通路９にて
連通している。
所定幅で効率よく塗布液を塗布する。 【構成】 ノズル本体５には塗布液貯留部６が形成さ
れ、この塗布液貯留部６の一端には塗布液の供給口７が
設けられ、他端は閉塞され、また下方に向けて開口する
とともに表面張力によって塗布液のボタ落ちを防止する
塗布液保持部８がノズル本体５の下部に形成され、これ
ら塗布液貯留部６と塗布液保持部８とが狭小通路９にて
連通している。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明はガラス基板や半導体ウェ
ーハ等の基板表面にホトレジスト等の塗布液を塗布する
ノズル、この塗布ノズルを用いた塗布方法及びこの塗布
ノズルを組み込んだ塗布装置に関する。
ーハ等の基板表面にホトレジスト等の塗布液を塗布する
ノズル、この塗布ノズルを用いた塗布方法及びこの塗布
ノズルを組み込んだ塗布装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】液晶表示装置のガラス基板にカラーフィ
ルター用のホトレジスト液を均一に塗布したり、半導体
ウェーハ表面に各種塗布液を均一に塗布する手段とし
て、基板の中心に塗布液を滴下した後、基板を高速で回
転させ、遠心力によって塗布液を基板表面全域に均一に
拡散せしめている。
ルター用のホトレジスト液を均一に塗布したり、半導体
ウェーハ表面に各種塗布液を均一に塗布する手段とし
て、基板の中心に塗布液を滴下した後、基板を高速で回
転させ、遠心力によって塗布液を基板表面全域に均一に
拡散せしめている。
【０００３】上記のスピンナーにて基板を回転せしめる
方法では、中心に滴下した塗布液を周縁まで均一に拡散
させるため、基板から飛散する塗布液の量も多くなり、
結果として多量の塗布液を使用することになる。
方法では、中心に滴下した塗布液を周縁まで均一に拡散
させるため、基板から飛散する塗布液の量も多くなり、
結果として多量の塗布液を使用することになる。
【０００４】そこで、塗布液の使用量を抑えるためにス
リットノズルを用いた先行技術が特開昭６３−１５６３
２０号公報、特開平４−３３２１１６号公報、特開平６
−１５１２９６号公報に提案されている。
リットノズルを用いた先行技術が特開昭６３−１５６３
２０号公報、特開平４−３３２１１６号公報、特開平６
−１５１２９６号公報に提案されている。
【０００５】特開昭６３−１５６３２０号公報及び特開
平４−３３２１１６号公報に開示される技術は、基板上
方に臨ませたスリットノズルを基板と平行に移動しつつ
塗布液を滴下して基板表面にある程度均一な厚さで塗布
液を塗布した後に、基板を回転させて塗布液の厚さを均
一にするようにしたものであり、特開平６−１５１２９
６号公報に提案された技術は、スリットノズルの先端で
塗布液の厚さを均一にしようというものである。
平４−３３２１１６号公報に開示される技術は、基板上
方に臨ませたスリットノズルを基板と平行に移動しつつ
塗布液を滴下して基板表面にある程度均一な厚さで塗布
液を塗布した後に、基板を回転させて塗布液の厚さを均
一にするようにしたものであり、特開平６−１５１２９
６号公報に提案された技術は、スリットノズルの先端で
塗布液の厚さを均一にしようというものである。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】上述したように、スリ
ットノズルを用いて基板表面の略全域に塗布液を粗く塗
布した後に、基板を回転せしめるようにすれば、塗布液
の使用量を削減することができる。
ットノズルを用いて基板表面の略全域に塗布液を粗く塗
布した後に、基板を回転せしめるようにすれば、塗布液
の使用量を削減することができる。
【０００７】しかしながら、従来のスリットノズルは単
にライン上に並んだ多数のノズル穴或いは細長いノズル
穴から一定の幅で塗布液を噴出するだけであり、塗布液
のボタ落ちが発生しやすく、また部分的に吐出圧が異な
り、均一に塗布できない場合がある。
にライン上に並んだ多数のノズル穴或いは細長いノズル
穴から一定の幅で塗布液を噴出するだけであり、塗布液
のボタ落ちが発生しやすく、また部分的に吐出圧が異な
り、均一に塗布できない場合がある。
【０００８】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決すべく本
発明に係る塗布ノズルは、ノズル本体内の長手方向に塗
布液の供給源につながる塗布液貯留部を形成し、また下
方に向けて開口するとともに表面張力によって塗布液の
ボタ落ちを防止する塗布液保持部をノズル本体の開口部
に形成し、前記塗布液貯留部と塗布液保持部とを狭小通
路にて連通せしめた。
発明に係る塗布ノズルは、ノズル本体内の長手方向に塗
布液の供給源につながる塗布液貯留部を形成し、また下
方に向けて開口するとともに表面張力によって塗布液の
ボタ落ちを防止する塗布液保持部をノズル本体の開口部
に形成し、前記塗布液貯留部と塗布液保持部とを狭小通
路にて連通せしめた。
【０００９】上記の構成により、ボタ落ちが防止され、
更に一定の幅で塗布液を噴出するにあたり各部における
吐出圧を一定にするには、塗布液貯留部の一端に塗布液
の供給口が形成され、塗布液貯留部の天井面の高さを、
塗布液の供給口が形成された一端から他端に向けて徐々
に低くなるように傾斜せしめる。
更に一定の幅で塗布液を噴出するにあたり各部における
吐出圧を一定にするには、塗布液貯留部の一端に塗布液
の供給口が形成され、塗布液貯留部の天井面の高さを、
塗布液の供給口が形成された一端から他端に向けて徐々
に低くなるように傾斜せしめる。
【００１０】また、吐出圧を一定にする他の構成として
は、塗布液貯留部の一端に塗布液の供給口が形成され、
他端に塗布液の排出口が形成され、狭小通路がノズル本
体内の長手方向に沿って複数個形成されている場合に
は、これら狭小通路の間隔を、塗布液の供給口側で小さ
く、塗布液の排出口側で大きくなるように設定する。
は、塗布液貯留部の一端に塗布液の供給口が形成され、
他端に塗布液の排出口が形成され、狭小通路がノズル本
体内の長手方向に沿って複数個形成されている場合に
は、これら狭小通路の間隔を、塗布液の供給口側で小さ
く、塗布液の排出口側で大きくなるように設定する。
【００１１】また、吐出圧を一定にする他の構成として
は、塗布液貯留部がノズル本体内に平行に独立して２本
形成する場合には、これら２本の塗布液貯留部に互いに
反対方向に塗布液の供給口を設け、更に各塗布液貯留部
から１つの塗布液保持部に向けて狭小通路を形成する。
は、塗布液貯留部がノズル本体内に平行に独立して２本
形成する場合には、これら２本の塗布液貯留部に互いに
反対方向に塗布液の供給口を設け、更に各塗布液貯留部
から１つの塗布液保持部に向けて狭小通路を形成する。
【００１２】また、本発明に係る塗布方法は、前記した
塗布ノズルを用いて、矩形状基板または円板状基板の表
面の略全域に塗布液を粗く塗布し、この後直ちに矩形状
基板または円板状基板を回転させ遠心力にて前記基板表
面に塗布された塗布液を均一に拡散せしめるようにし
た。
塗布ノズルを用いて、矩形状基板または円板状基板の表
面の略全域に塗布液を粗く塗布し、この後直ちに矩形状
基板または円板状基板を回転させ遠心力にて前記基板表
面に塗布された塗布液を均一に拡散せしめるようにし
た。
【００１３】更に、本発明に係る塗布装置は、前記した
塗布ノズルと、この塗布ノズルによって表面に塗布液が
塗布された矩形状基板または円板状基板をセットし得る
とともに回転可能なカップとを組み込んだ。
塗布ノズルと、この塗布ノズルによって表面に塗布液が
塗布された矩形状基板または円板状基板をセットし得る
とともに回転可能なカップとを組み込んだ。
【００１４】
【作用】塗布ノズル本体の開口部には、塗布液保持部が
形成されており、この塗布液保持部の幅は、狭小通路よ
りも広いが表面張力によって塗布液が保持される寸法に
設定されている。
形成されており、この塗布液保持部の幅は、狭小通路よ
りも広いが表面張力によって塗布液が保持される寸法に
設定されている。
【００１５】
【実施例】以下に本発明の実施例を添付図面に基づいて
説明する。ここで、図１は本発明に係る塗布ノズルを組
み込んだ塗布装置の斜視図であり、塗布装置はアウター
カップ１内にスピンナーによって回転せしめられるイン
ナーカップ２を配置し、インナーカップ２内にガラス基
板Ｗを吸着保持するチャック３を設け、更に、インナー
カップ２の上方には本発明に係る塗布ノズル４を配置し
ている。
説明する。ここで、図１は本発明に係る塗布ノズルを組
み込んだ塗布装置の斜視図であり、塗布装置はアウター
カップ１内にスピンナーによって回転せしめられるイン
ナーカップ２を配置し、インナーカップ２内にガラス基
板Ｗを吸着保持するチャック３を設け、更に、インナー
カップ２の上方には本発明に係る塗布ノズル４を配置し
ている。
【００１６】塗布ノズル４は図示しないアームに取り付
けられ、このアームの動作により上下動及びガラス基板
Ｗの表面と平行な水平動を行ない、ガラス基板Ｗの表面
の略全域にそれほど均一ではないが一様に塗布液Ｑを塗
布する。
けられ、このアームの動作により上下動及びガラス基板
Ｗの表面と平行な水平動を行ない、ガラス基板Ｗの表面
の略全域にそれほど均一ではないが一様に塗布液Ｑを塗
布する。
【００１７】そして、この後、塗布ノズル４を後退さ
せ、インナーカップ２とともにガラス基板Ｗを回転さ
せ、この回転によって生じた遠心力でガラス基板Ｗの表
面の略全域に塗布された塗布液Ｑを均一な厚さに拡散す
る。
せ、インナーカップ２とともにガラス基板Ｗを回転さ
せ、この回転によって生じた遠心力でガラス基板Ｗの表
面の略全域に塗布された塗布液Ｑを均一な厚さに拡散す
る。
【００１８】ここで、インナーカップ２を回転せしめる
場合には、インナーカップ２の上面開口を蓋体で閉塞
し、インナーカップ２内の溶媒濃度を高め、塗布液の乾
燥を抑制しつつ拡散せしめるのが好ましい。
場合には、インナーカップ２の上面開口を蓋体で閉塞
し、インナーカップ２内の溶媒濃度を高め、塗布液の乾
燥を抑制しつつ拡散せしめるのが好ましい。
【００１９】次に塗布ノズル４の構造を図２に基づいて
説明する。ここで図２（ａ）は本発明に係る塗布ノズル
の下面図、（ｂ）は（ａ）のｂ−ｂ線断面図、（ｃ）は
（ｂ）のｃ−ｃ線断面図であり、塗布ノズル４は、所定
長さのノズル本体５の長手方向に塗布液貯留部６を形成
している。この塗布液貯留部６は一端に塗布液の供給口
７を形成し、他端を閉じている。そして、塗布液貯留部
６の天井面６ａは塗布液の供給口７が形成された一端か
ら閉塞された他端に向けて徐々に低くなるように傾斜し
ている。このような形状としたことにより、塗布液貯留
部６に気泡が混入したとき天井部に移動しやすくしてい
る。
説明する。ここで図２（ａ）は本発明に係る塗布ノズル
の下面図、（ｂ）は（ａ）のｂ−ｂ線断面図、（ｃ）は
（ｂ）のｃ−ｃ線断面図であり、塗布ノズル４は、所定
長さのノズル本体５の長手方向に塗布液貯留部６を形成
している。この塗布液貯留部６は一端に塗布液の供給口
７を形成し、他端を閉じている。そして、塗布液貯留部
６の天井面６ａは塗布液の供給口７が形成された一端か
ら閉塞された他端に向けて徐々に低くなるように傾斜し
ている。このような形状としたことにより、塗布液貯留
部６に気泡が混入したとき天井部に移動しやすくしてい
る。
【００２０】また、ノズル本体５の下部には下方に向け
て開口する塗布液保持部８が形成されている。この塗布
液保持部８は多数の等間隔の狭小通路９にて塗布液貯留
部６と連通しており、また塗布液保持部８の幅ｔは表面
張力によって塗布液のボタ落ちを防止し得る寸法に設定
されている。狭小通路９の径は２ｍｍ以上とするが、気
泡が入り易くなるので、これよりも小さくすることが好
ましい。また１．５ｍｍ以下にすると塗布液の通過がし
にくくなり好ましくない。また狭小通路９同士の間隙は
約５ｍｍ前後であると、塗布液保持部８への均一な塗布
液供給がなされるので好都合である。
て開口する塗布液保持部８が形成されている。この塗布
液保持部８は多数の等間隔の狭小通路９にて塗布液貯留
部６と連通しており、また塗布液保持部８の幅ｔは表面
張力によって塗布液のボタ落ちを防止し得る寸法に設定
されている。狭小通路９の径は２ｍｍ以上とするが、気
泡が入り易くなるので、これよりも小さくすることが好
ましい。また１．５ｍｍ以下にすると塗布液の通過がし
にくくなり好ましくない。また狭小通路９同士の間隙は
約５ｍｍ前後であると、塗布液保持部８への均一な塗布
液供給がなされるので好都合である。
【００２１】以上において、塗布液貯留部６内の塗布液
の圧力は供給口７と反対側の端部が閉塞されているた
め、通常であれば当該反対側の端部の方が圧力が高くな
るはずであるが、前記したように塗布液貯留部６の天井
面６ａが傾斜し、当該反対側の端部が狭くなっているの
で、これによって相殺され、狭小通路９から塗布液保持
部８への吐出圧はどの位置でも均一になる。
の圧力は供給口７と反対側の端部が閉塞されているた
め、通常であれば当該反対側の端部の方が圧力が高くな
るはずであるが、前記したように塗布液貯留部６の天井
面６ａが傾斜し、当該反対側の端部が狭くなっているの
で、これによって相殺され、狭小通路９から塗布液保持
部８への吐出圧はどの位置でも均一になる。
【００２２】図３は別実施例に係る塗布ノズルを示し、
図３（ａ）は塗布ノズルの下面図、（ｂ）は（ａ）のｂ
−ｂ線断面図、（ｃ）は（ｂ）のｃ−ｃ線断面図であ
り、この実施例にあっては塗布液貯留部６の一端に塗布
液の供給口７を設け、他端に塗布液の排出口１０を設け
ている。
図３（ａ）は塗布ノズルの下面図、（ｂ）は（ａ）のｂ
−ｂ線断面図、（ｃ）は（ｂ）のｃ−ｃ線断面図であ
り、この実施例にあっては塗布液貯留部６の一端に塗布
液の供給口７を設け、他端に塗布液の排出口１０を設け
ている。
【００２３】そして、この実施例では、塗布液貯留部６
の天井面６ａは傾斜面とせずフラットにしており、しか
も他端に塗布液の排出口１０を設けているいるので、通
常であれば排出口１０を設けた側が圧力が低下する。こ
れを防止するため、この実施例にあっては、ノズル本体
５の長手方向に沿って複数個形成された狭小通路９…の
間隔を、塗布液の供給口７側で大きく、塗布液の排出口
１０側で小さくなるようにしている。尚、狭小通路９…
の間隔を異ならせる代りに狭小通路９の穴径を供給口７
側と排出口１０側とで変化させるようにしてもよい。ま
た、塗布液貯留部６への気泡の混入を防止するために
は、塗布液貯留部の断面積を塗布液の供給口７と排出口
１０と同程度とし、塗布液保持部８をとじた状態で塗布
液貯留部６を塗布液で満たすようにするとよい。
の天井面６ａは傾斜面とせずフラットにしており、しか
も他端に塗布液の排出口１０を設けているいるので、通
常であれば排出口１０を設けた側が圧力が低下する。こ
れを防止するため、この実施例にあっては、ノズル本体
５の長手方向に沿って複数個形成された狭小通路９…の
間隔を、塗布液の供給口７側で大きく、塗布液の排出口
１０側で小さくなるようにしている。尚、狭小通路９…
の間隔を異ならせる代りに狭小通路９の穴径を供給口７
側と排出口１０側とで変化させるようにしてもよい。ま
た、塗布液貯留部６への気泡の混入を防止するために
は、塗布液貯留部の断面積を塗布液の供給口７と排出口
１０と同程度とし、塗布液保持部８をとじた状態で塗布
液貯留部６を塗布液で満たすようにするとよい。
【００２４】図４は更なる別実施例に係る塗布ノズルを
示し、図３（ａ）は塗布ノズルの下面図、（ｂ）は
（ａ）のｂ−ｂ線断面図、（ｃ）は（ｂ）のｃ−ｃ線断
面図であり、この実施例にあってはノズル本体５内に塗
布液貯留部１１，１２を平行に独立して２本形成し、こ
れら２本の塗布液貯留部１１，１２は互いに反対方向に
塗布液の供給口７，７が設けられ、更に各塗布液貯留部
１１，１２から１つの塗布液保持部８に向けて狭小通路
１３，１４が形成されている。
示し、図３（ａ）は塗布ノズルの下面図、（ｂ）は
（ａ）のｂ−ｂ線断面図、（ｃ）は（ｂ）のｃ−ｃ線断
面図であり、この実施例にあってはノズル本体５内に塗
布液貯留部１１，１２を平行に独立して２本形成し、こ
れら２本の塗布液貯留部１１，１２は互いに反対方向に
塗布液の供給口７，７が設けられ、更に各塗布液貯留部
１１，１２から１つの塗布液保持部８に向けて狭小通路
１３，１４が形成されている。
【００２５】このように、左右反対方向から供給される
塗布液を、１つの塗布液保持部８において合流せしめる
ことで圧力の均一化を図り、塗布液保持部８内への塗布
液の供給量が部分的に偏ることがないようにし、結局ボ
タ落ち等が生じない構造にしている。
塗布液を、１つの塗布液保持部８において合流せしめる
ことで圧力の均一化を図り、塗布液保持部８内への塗布
液の供給量が部分的に偏ることがないようにし、結局ボ
タ落ち等が生じない構造にしている。
【００２６】尚、塗布液保持部８の断面形状は、矩形状
や三角形状に限らず、塗布液が保持される形状であれば
よい。塗布液保持部８は塗布液のボタ落ちを防止する目
的からその高さを１０ｍｍ以下とし、塗布液保持部８の
下部開口幅ｔを４ｍｍ以下とすることが望ましい。
や三角形状に限らず、塗布液が保持される形状であれば
よい。塗布液保持部８は塗布液のボタ落ちを防止する目
的からその高さを１０ｍｍ以下とし、塗布液保持部８の
下部開口幅ｔを４ｍｍ以下とすることが望ましい。
【００２７】
【発明の効果】以上に説明したように本発明に係る塗布
ノズルは、ノズル本体内の長手方向に塗布液の供給源に
つながる塗布液貯留部を形成し、また下方に向けて開口
するとともに表面張力によって塗布液のボタ落ちを防止
する塗布液保持部をノズル本体の下部に形成し、前記塗
布液貯留部と塗布液保持部とを狭小通路にて連通せしめ
たので、ボタ落ちが防止され、塗布ムラが防止される。
ノズルは、ノズル本体内の長手方向に塗布液の供給源に
つながる塗布液貯留部を形成し、また下方に向けて開口
するとともに表面張力によって塗布液のボタ落ちを防止
する塗布液保持部をノズル本体の下部に形成し、前記塗
布液貯留部と塗布液保持部とを狭小通路にて連通せしめ
たので、ボタ落ちが防止され、塗布ムラが防止される。
【００２８】また、塗布液貯留部の一端に塗布液の供給
口が形成され、他端が閉塞されている場合に、塗布液貯
留部の天井面の高さを、塗布液の供給口が形成された一
端から閉塞された他端に向けて徐々に低くなるように傾
斜せしめることで、全幅に亘って吐出圧を一定にするこ
とができる。
口が形成され、他端が閉塞されている場合に、塗布液貯
留部の天井面の高さを、塗布液の供給口が形成された一
端から閉塞された他端に向けて徐々に低くなるように傾
斜せしめることで、全幅に亘って吐出圧を一定にするこ
とができる。
【００２９】同様の効果が、塗布液貯留部の一端に塗布
液の供給口が形成され、他端に塗布液の排出口が形成さ
れ、狭小通路がノズル本体内の長手方向に沿って複数個
形成されている場合に、これら狭小通路の間隔を、塗布
液の供給口側で小さく、塗布液の排出口側で大きくなる
ように設定することで得られ、更に同様の効果が、塗布
液貯留部がノズル本体内に平行に独立して２本形成する
場合に、これら２本の塗布液貯留部に互いに反対方向に
塗布液の供給口を設け、更に各塗布液貯留部から１つの
塗布液保持部に向けて狭小通路を形成することで得られ
る。
液の供給口が形成され、他端に塗布液の排出口が形成さ
れ、狭小通路がノズル本体内の長手方向に沿って複数個
形成されている場合に、これら狭小通路の間隔を、塗布
液の供給口側で小さく、塗布液の排出口側で大きくなる
ように設定することで得られ、更に同様の効果が、塗布
液貯留部がノズル本体内に平行に独立して２本形成する
場合に、これら２本の塗布液貯留部に互いに反対方向に
塗布液の供給口を設け、更に各塗布液貯留部から１つの
塗布液保持部に向けて狭小通路を形成することで得られ
る。
【００３０】また、本発明に係る塗布ノズルを用いて、
基板表面の略全域に塗布液を粗く塗布し、この後直ちに
矩形状基板または円板状基板を回転させ遠心力にて前記
基板表面に塗布された塗布液を均一に拡散せしめること
で、塗布液の消費量を大幅に低減することができる。
基板表面の略全域に塗布液を粗く塗布し、この後直ちに
矩形状基板または円板状基板を回転させ遠心力にて前記
基板表面に塗布された塗布液を均一に拡散せしめること
で、塗布液の消費量を大幅に低減することができる。
【００３１】更に、本発明に係る塗布ノズルと回転可能
なカップとで塗布装置を構成することで、装置自体の構
成が簡略化するとともに、作業性が向上する。更にま
た、塗布液保持部を設けたことにより、塗布液を開口面
に対し均一に広げることができる。以上のような構成か
ら成る本発明装置によれば、０．１〜０．５ｋｇ／ｃｍ
2程度の吐出圧で塗布液を供給でき、本装置をスピンナ
ー等の塗布装置に適用すれば、使用塗布液を少量で済ま
せることができる。
なカップとで塗布装置を構成することで、装置自体の構
成が簡略化するとともに、作業性が向上する。更にま
た、塗布液保持部を設けたことにより、塗布液を開口面
に対し均一に広げることができる。以上のような構成か
ら成る本発明装置によれば、０．１〜０．５ｋｇ／ｃｍ
2程度の吐出圧で塗布液を供給でき、本装置をスピンナ
ー等の塗布装置に適用すれば、使用塗布液を少量で済ま
せることができる。
【図１】本発明に係る塗布ノズルを組み込んだ塗布装置
の斜視図
の斜視図
【図２】（ａ）は本発明に係る塗布ノズルの下面図、
（ｂ）は（ａ）のｂ−ｂ線断面図、（ｃ）は（ｂ）のｃ
−ｃ線断面図
（ｂ）は（ａ）のｂ−ｂ線断面図、（ｃ）は（ｂ）のｃ
−ｃ線断面図
【図３】（ａ）は別実施例に係る塗布ノズルの下面図、
（ｂ）は（ａ）のｂ−ｂ線断面図、（ｃ）は（ｂ）のｃ
−ｃ線断面図
（ｂ）は（ａ）のｂ−ｂ線断面図、（ｃ）は（ｂ）のｃ
−ｃ線断面図
【図４】（ａ）は別実施例に係る塗布ノズルの下面図、
（ｂ）は（ａ）のｂ−ｂ線断面図、（ｃ）は（ｂ）のｃ
−ｃ線断面図
（ｂ）は（ａ）のｂ−ｂ線断面図、（ｃ）は（ｂ）のｃ
−ｃ線断面図
１…アウターカップ、２…インナーカップ、４…塗布ノ
ズル、５…ノズル本体、６，１１，１２…塗布液貯留
部、６ａ…塗布液貯留部の天井面、７…塗布液の供給
口、８…塗布液保持部、９，１３，１４…狭小通路、１
０…塗布液の排出口、Ｗ…基板。
ズル、５…ノズル本体、６，１１，１２…塗布液貯留
部、６ａ…塗布液貯留部の天井面、７…塗布液の供給
口、８…塗布液保持部、９，１３，１４…狭小通路、１
０…塗布液の排出口、Ｗ…基板。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 宮本 英典 神奈川県川崎市中原区中丸子150番地 東 京応化工業株式会社内
Claims (6)
- 【請求項１】 ノズル本体内の長手方向に塗布液の供給
源につながる塗布液貯留部が形成され、また下方に向け
て開口するとともに表面張力によって塗布液のボタ落ち
を防止する塗布液保持部がノズル本体の開口部に形成さ
れ、前記塗布液貯留部と塗布液保持部とが狭小通路にて
連通せしめられていることを特徴とする塗布ノズル。 - 【請求項２】 請求項１に記載の塗布ノズルにおいて、
前記塗布液貯留部の一端には塗布液の供給口が形成さ
れ、前記塗布液貯留部の天井面の高さは塗布液の供給口
が形成された一端から他端に向けて徐々に低くなるよう
に傾斜していることを特徴とする塗布ノズル。 - 【請求項３】 請求項１に記載の塗布ノズルにおいて、
前記塗布液貯留部には塗布液の供給口と塗布液の排出口
が形成され、また前記狭小通路はノズル本体内の長手方
向に沿って複数個形成され、これら狭小通路の間隔は塗
布液の供給口側で小さく、塗布液の排出口側で大きくな
るように設定されていることを特徴とする塗布ノズル。 - 【請求項４】 請求項１に記載の塗布ノズルにおいて、
前記塗布液貯留部はノズル本体内に平行に独立して２本
形成され、これら２本の塗布液貯留部には互いに反対方
向に塗布液の供給口が設けられ、更に各塗布液貯留部か
ら１つの塗布液保持部に向けて狭小通路が形成されてい
ることを特徴とする塗布ノズル。 - 【請求項５】 請求項１乃至請求項４に記載の塗布ノズ
ルを用いて、矩形状基板または円板状基板の表面の略全
域に塗布液を粗く塗布し、この後直ちに矩形状基板また
は円板状基板を回転させ遠心力にて前記基板表面に塗布
された塗布液を均一に拡散せしめるようにしたことを特
徴とする塗布方法。 - 【請求項６】 請求項１乃至請求項４に記載の塗布ノズ
ルと、この塗布ノズルによって表面に塗布液が塗布され
た矩形状基板または円板状基板をセットし得るとともに
回転可能なカップとを組み込んだことを特徴とする塗布
装置。
Priority Applications (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9419695A JPH08274014A (ja) | 1995-03-29 | 1995-03-29 | 塗布ノズル、この塗布ノズルを用いた塗布方法及びこの塗布ノズルを組み込んだ塗布装置 |
| US08/627,694 US5769946A (en) | 1995-03-29 | 1996-03-29 | Coating nozzle and coating device having coating nozzle |
| US09/005,495 US5972426A (en) | 1995-03-29 | 1998-01-12 | Method of coating substrate with coating nozzle |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9419695A JPH08274014A (ja) | 1995-03-29 | 1995-03-29 | 塗布ノズル、この塗布ノズルを用いた塗布方法及びこの塗布ノズルを組み込んだ塗布装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08274014A true JPH08274014A (ja) | 1996-10-18 |
Family
ID=14103551
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9419695A Pending JPH08274014A (ja) | 1995-03-29 | 1995-03-29 | 塗布ノズル、この塗布ノズルを用いた塗布方法及びこの塗布ノズルを組み込んだ塗布装置 |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| US (2) | US5769946A (ja) |
| JP (1) | JPH08274014A (ja) |
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