JPH08261953A - 透明体の欠陥検出方法及び装置 - Google Patents
透明体の欠陥検出方法及び装置Info
- Publication number
- JPH08261953A JPH08261953A JP7066205A JP6620595A JPH08261953A JP H08261953 A JPH08261953 A JP H08261953A JP 7066205 A JP7066205 A JP 7066205A JP 6620595 A JP6620595 A JP 6620595A JP H08261953 A JPH08261953 A JP H08261953A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- transparent body
- glass plate
- light
- inspection
- inspection light
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
- G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
- G01N21/89—Investigating the presence of flaws or contamination in moving material, e.g. running paper or textiles
- G01N21/892—Investigating the presence of flaws or contamination in moving material, e.g. running paper or textiles characterised by the flaw, defect or object feature examined
- G01N21/896—Optical defects in or on transparent materials, e.g. distortion, surface flaws in conveyed flat sheet or rod
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Textile Engineering (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Biochemistry (AREA)
- General Health & Medical Sciences (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Immunology (AREA)
- Pathology (AREA)
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
- Image Input (AREA)
- Image Processing (AREA)
- Image Analysis (AREA)
Abstract
表裏面に付着した汚れやほこり等の影響を受けずに検出
する。 【構成】 矢印X方向に連続搬送されるガラス板18の
幅方向の両側端面に投光ユニット19,20から検査光
33,34を入射する。検査光33,34は、ガラス板
18の厚み方向で発散されガラス板18の表裏面で全反
射を繰り返しながら進むので、表裏面に付着した汚れや
ほこりの影響を受けずに内部欠陥と表裏面の欠陥とを検
出する。また、厚み方向の欠陥の位置による検出感度の
バラツキを軽減できるので、40μm程度の微小な欠陥
も検出できる。検査光33,34は、ガラス板18の厚
みと直交する方向では中央部に向かって収束されている
ので全域においてのパワー密度がほぼ一定となり誤検出
が減少し、欠陥の識別が容易になる。
Description
体の内部に存在する気泡や異物等を検出する方法及び装
置に関するものである。
ス板が用いられている。このような目的で用いられるガ
ラス板には、透明であることの他に、表面に傷がないこ
と、内部に泡や異物が入っていないことが要求される。
このため従来より、100μm程度の微小欠陥でも検出
できるように様々な検査装置が工夫されている。
装置では、正常部分と欠陥部分とで光の反射率や透過率
が異なることを利用しており、走行するガラス板の幅方
向にスポット光を走査してその反射光あるいは透過光を
受光器で光電検出し、この検出出力に基づいて各種欠陥
の有無を評価している。
査装置では、ガラス板の表面に付着した汚れやほこりの
影響を受けやすく、ガラス板の内部の40μm程度の大
きさの欠陥を検出しようとした場合には、汚れであるの
か欠陥であるのかの識別が難しくなり実用化しにくいと
いう問題がある。また、装置が大型になり高価になると
いう問題もある。
ので、ガラス板等の板状の透明体内部の微小な欠陥を表
裏面に付着した汚れやほこり等の影響を受けずに検出す
るとともに、その装置を安価に提供することを目的とす
る。
に、請求項1記載の透明体の欠陥検出方法は、表裏面を
平滑にした板状の透明体を連続走行させ、その幅方向の
少なくとも一方の端面から検査光を入射し、この検査光
が透明体の表裏面で全反射を繰り返しながら透明体内部
を伝播する過程で、透明体に存在する欠陥部によって散
乱された散乱光を透明体の表裏いずれかの面を通して光
電検出するようにしたものである。
置は、表裏面を平滑にした連続走行される板状の透明体
に、その幅方向の少なくとも一方の端面から、透明体の
表裏面で全反射を繰り返しながら他方の端面に向かう検
査光を入射する投光器と、検査光の入射方向に沿った検
査視野をもち、透明体の表裏いずれかの面を通して透明
体内部で散乱した散乱光を光電検出する受光器と、この
受光器からの出力に基づいて透明体に存在する欠陥を識
別する処理手段とから構成されたものである。
置は、投光器は、検査光としてレーザ光を放射するとと
もに、このレーザ光は透明体の厚み方向では発散するレ
ーザビームとして透明体に入射されるようにしたもので
ある。
置は、レーザビームを透明体の厚みと直交する方向では
収束するビームとして透明体に入射するようにしたもの
である。
させ、その幅方向の少なくとも一方の端面から、透明体
の表裏面で全反射を繰り返しながら他方の端面に向かう
検査光を入射する。この検査光としてはレーザ光を用
い、透明体の厚み方向で発散するレーザビームとする。
これにより、透明体の厚み方向における検査光のパワー
密度を一定にでき、厚み方向における検出感度を一定に
できる。また、透明体の厚みと直交する方向ではレーザ
ビームを収束させたので、表裏面での全反射によって減
衰する検査光のパワー密度を補正し、均一にできるの
で、該方向においても検出感度を一定にできる。
本構造を概略的に表したものである。検査装置は、投光
器である投光ユニット2と、受光器であるラインセンサ
カメラ3と、このラインセンサカメラ3の検出信号を処
理する処理手段である処理部4とから構成されている。
本実施例では、板状の透明体として表裏面が平滑に研磨
されたガラス板5を用い、内部の泡や異物等の欠陥及び
表裏面の傷等の欠陥の検出を行う。ガラス板5は、図示
しないが搬送ローラや搬送ベルト等に載置されて矢印X
方向に連続的に搬送される。
部に、白色光を放射するランプ等からなる光源8と、光
路折曲げ用の反射ミラー9,10と、ビームエキスパン
ダ用の2枚のレンズ11,12とが組み込まれており、
搬送されるガラス板5の側方に配置されている。光源8
から放射された白色光は、2枚の反射ミラー9,10を
介してレンズ11,12に入射される。レンズ11,1
2は、白色光をガラス板5の厚み方向で絞り、検査光1
3としてユニットボックス7の側面に形成された開口7
aからガラス板5の端面5aに向かって照射する。
13は、図2に示すように、ガラス板5の内部を直進す
る。そして、ガラス板5の内部に気泡や異物等の欠陥1
5が存在すると、検査光13は欠陥15によって散乱さ
れ、ガラス板5の表裏面に放射される。また、検査光1
3は、ガラス板5が矢印X方向に移動している間に端面
5aに入射されるので、ガラス板5の内部を全域に渡っ
て走査することになる。このように、検査光13はガラ
ス板5の内部を進んで行って内部欠陥15を検出するの
で、ガラス板5の表裏面に汚れやほこりが付着していて
も何ら検査に支障はなく、汚れやほこりの誤検出は発生
しない。
に配置されており、ガラス板5内部の欠陥15によって
散乱された検査光13を検出する。ラインセンサカメラ
3は、CCD素子とこのCCD素子の検出範囲を広げる
ためのレンズとから構成されており、ガラス板5の内部
を通過する検査光13の上部で、ガラス板5の幅方向の
全域に渡って散乱光を検出する検出視野16を有してい
る。
力された検出信号を予め設定されているスレッシュホー
ルドレベルと比較し、検出信号がこのレベルを越えたと
きにガラス板5内部に欠陥15があると評価する。そし
て、表示パネル等に欠陥があることを表示するととも
に、欠陥のあるガラス板5をライン上から取り除くよう
に指示する。このように、本検査装置は、投光ユニット
2とラインセンサカメラ3と処理部4とだけで構成され
ているので安価であり、また装置の小型化も可能とな
る。
光を用いているため、ガラス板の幅が広い場合にはガラ
ス板の幅方向の全域に検査光を届かせることができな
い。このような場合には、ガラス板の幅方向の両側方に
投光ユニットを設置し、両端面から検査光をガラス板の
内部に入射させるとよい。
を検出する場合には、検査光にレーザ光を用いるとよ
い。レーザ光は、パワー密度を高くできるので微小な欠
陥の検出が可能になるとともに、指向性がよいので後述
するように容易に好ましいビーム形状を得ることができ
る。レーザ光を検査光として用いた透明体の欠陥検出装
置の概略を図3に示す。
されるガラス板18を挟むように側方に設置された投光
ユニット19,20と、前記実施例のものよりも検出視
野21aが幅方向で広げられたラインセンサカメラ21
と、このラインセンサカメラ21の検出信号が入力され
る処理部22とから構成されている。ガラス板18は、
図4及び図5に示すように、例えば厚みtが5mmであ
り幅Wが800mmとなっている。
4の内部に、レーザ光を放射するレーザ発振器25と、
光路折曲げ用の反射ミラー26,27と、第1ビーム形
状設定レンズ28,第2ビーム形状設定レンズ29,第
3ビーム形状設定レンズ30,第4ビーム形状設定レン
ズ31からなるレンズ群32とが組み込まれており、ユ
ニットボックス24の側面に形成された開口24aから
レーザ光を検査光33としてガラス板18の端面18a
に向かって放射する。前記レーザ発振器25としては、
例えばHe−Neレーザを用いている。投光ユニット2
0は、投光ユニット19と同様の構成であり、ガラス板
18の内部に開口20aから検査光34を入射する。
状設定レンズ29及び第4ビーム形状設定レンズ31
は、ガラス板18の厚み方向のレーザ光のビーム形状を
設定するためのものであり、例えば2個のシリンドリカ
ルレンズや、凸レンズとシリンドリカルレンズとの組み
合わせが用いられる。そして、図4に示すように、第2
ビーム形状設定レンズ29及び第4ビーム形状設定レン
ズ31を通過したレーザビームは、ガラス板18の端面
18aの付近でビームウエスト35が形成され、約4度
の角度で発散されて端面18aに入射される。このガラ
ス板18の厚み方向で発散された検査光33は、ガラス
板18の内部を表裏面18b,18cで全反射を繰り返
しながら進んでいく。これにより、厚み方向の欠陥の位
置による検出感度のバラツキを軽減できる。また、厚み
方向にパワー密度が一定なので、厚み方向の中央部にあ
る欠陥だけでなく、表裏面の近くに存在する欠陥も検出
できる。
第3ビーム形状設定レンズ30は、ガラス板18の厚み
と直交する方向のレーザビーム形状を設定するためのも
のであり、やはり2個のシリンドリカルレンズや、凸レ
ンズとシリンドリカルレンズとの組み合わせが用いられ
る。この第1ビーム形状設定レンズ28と第3ビーム形
状設定レンズ30とを通過したレーザビームは、図5に
示すように、ガラス板18の中央に向かって収束されて
いき、ガラス板18の側端面18aからW/2の距離の
中央部18d付近にレーザウエスト38が形成される。
は、ガラス板18内部での検査光33のパワー密度を一
定にして、ガラス板18の幅方向のどの位置でも変わら
ない検出レベルで欠陥36を検出するためである。レー
ザ光は、ガラス板18内部を通過する間にそのパワー密
度が減衰していく。この減衰により、ガラス板18の端
面18a付近の欠陥による検査光33の散乱と、中央部
18d付近の欠陥による検査光33の散乱とでは散乱光
の光量が異なり、ラインセンサカメラ21からの検出信
号のレベルが変化してしまう。そのため、処理部22で
設定されるスレッシュホールドレベルも一定ではなく、
検査光33の減衰に合わせなくてはならず、その制御が
複雑になってしまう。
なり過ぎて欠陥として評価されるレベル以下の微小な気
泡や異物をも検出してしまい、結果として誤検出となっ
て、本来合格品であるガラス板18が不具合品として評
価されるという問題が発生する。
約150mm,300mm,400mm(中央部18
d)の位置にそれぞれ配置した約60μmの大きさの欠
陥を検出し、そのときのラインセンサカメラ21の検出
信号のS/N比を調べた実験結果を示すグラフである。
破線40は、端面18a付近のレーザ出力を約6mWと
し、ガラス板18の厚みと直交する方向の検査光の幅を
約3mm一定としてガラス板18に入射させたときのも
のである。また実線41は、端面18a付近のレーザ出
力を破線40と同様に約6mWとし、ガラス板18の厚
みと直交する方向の検査光の幅LW1 を端面18a付近
で約9mm,中央部18d付近での幅LW 2 を約3mm
となるように収束させたものである。なお、両者ともに
ガラス板18の厚み方向では、図4に示すように検査光
を発散させている。
aからの距離が遠くなるほどS/N比が減衰していくこ
とがわかる。また実線41は、端面18aから中央部1
8dにかけてほぼ一定のS/N比となっている。これに
よれば、実線41での検査光は破線40に比べて全体的
にパワー密度が弱くなっていることが分かるが、このパ
ワー密度のレベルでも実用に不足がなく、実験では全域
において約40μmの大きさの欠陥でも正確に検出でき
た。これに対し破線41では、端面18a付近の検査光
が強く過ぎて誤検出が発生した。
束率の求め方としては、被検査物、例えばガラス板やプ
ラスチック板等によって検査光の減衰する割合が異なる
ため、予め被検査物に一定な検査光を入射して端面から
の距離に対するS/N比の減衰量を求めておく。そし
て、被検査物の両端面から検査光を入射する場合には、
中央部付近でのS/N比を基準に端面付近の検査光の幅
を決定する。また、片側端面のみから検査光を入射する
場合には、反対側端面付近のS/N比を基準に端面付近
の検査光の幅を決定する。また、レンズ群32として
は、トーリックレンズを1個用いるようにしてもよい。
る。ガラス板18は、搬送ローラや搬送ベルト等に載置
されて矢印X方向に連続的に搬送される。投光ユニット
19からは、レーザ発振器25から放射されたレーザ光
が、反射ミラー26,第1ビーム形状設定レンズ28,
反射ミラー27,第2ビーム形状設定レンズ29,第3
ビーム形状設定レンズ30,第1ビーム形状設定レンズ
31を介して、ユニットボックス24の開口24aから
ガラス板18の端面18aに検査光33が入射される。
また、投光ユニット20からも同様に検査光34がガラ
ス板18の端面に入射される。
3,34は、ガラス板18の厚み方向で図4に示すよう
に発散され、ガラス板18の厚みと直交する方向では、
中央部18dに向かって収束されていく。これにより、
検査光33,34はガラス板18の内部を表裏面18
b,18cで全反射を繰り返しながら進んでいくので、
厚み方向の検出感度が一定する。また、端面18aから
中央部18dにかけての検査光33,34のパワー密度
がほぼ一定とされているので、誤検出は少ない。更に、
ガラス板18の表裏面18b,18cに付着した汚れや
ほこりに影響されることはない。
されている間に入射されるので、ガラス板18の全域に
おいて内部及び表裏面の欠陥を検出することができる。
そして、ガラス板18の内部に欠陥36があった場合に
は、検査光33,34が欠陥36で散乱されて、ガラス
板18の表裏面18b,18cから放射される。この散
乱光は、ラインセンサカメラ21によって光電検出さ
れ、検出信号が処理部22に入力される。
たスレッシュホールドレベルと比較される。検査光3
3,34のパワー密度はほぼ一定とされているので、検
出信号のS/N比もほぼ一定となり、ガラス板18の幅
方向の何処の位置の欠陥を検出した検出信号でも同一の
スレッシュホールドレベルと比較することができる。処
理部22は、検出信号がこのスレッシュホールドレベル
を越えたときにガラス板18内部に欠陥36があると評
価し、表示パネル等に欠陥があることを表示するととも
に、欠陥のあるガラス板18をライン上から取り除くよ
うに指示する。
センサを用いたが、代わりにエリアセンサを用いてもよ
い。また、ガラス板を固定して投光ユニットとラインセ
ンサとを移動させるようにしてもよい。更に、投光ユニ
ットを縦に配置し、検査光を反射ミラーで反射させてガ
ラス板に入射するようにしてもよい。また、ガラス板の
検査について説明したが、透明なプラスチック板等の検
査に用いてもよく、その他の透明な板状の検査物を表裏
面に付着した汚れやほこりの影響を受けずに検査する場
合に用いることができる。
欠陥検出方法は、表裏面を平滑にした板状の透明体を連
続走行させ、その幅方向の少なくとも一方の端面から検
査光を入射し、この検査光が透明体の表裏面で全反射を
繰り返しながら透明体内部を伝播する過程で、透明体に
存在する欠陥部によって散乱された散乱光を透明体の表
裏いずれかの面を通して光電検出するようにしたので、
透明体の表裏面に付着した汚れやほこりの影響を受けず
に、内部及び表裏面の欠陥を正確に検出することができ
る。
してレーザ光を用い、このレーザ光を透明体の厚み方向
で発散するように入射させたので、厚み方向の検出感度
のバラツキが軽減できる。また、レーザ光の透明体の厚
みと直交する方向では、レーザビームを収束させて入射
するようにしたので、全域において検査光の強度がほぼ
一定となり誤検出が減少するとともに、検出信号の処理
が容易になる。また、装置を小型化できコストも低減で
きる。
略図である。
側面図である。
構成を示す概略図である。
すガラス板の側面図である。
明図である。
/N比を表すグラフである。
Claims (4)
- 【請求項1】 表裏面を平滑にした板状の透明体を連続
走行させ、その幅方向の少なくとも一方の端面から検査
光を入射し、この検査光が透明体の表裏面で全反射を繰
り返しながら透明体内部を伝播する過程で、透明体に存
在する欠陥部によって散乱された散乱光を透明体の表裏
いずれかの面を通して光電検出することを特徴とする透
明体の欠陥検出方法。 - 【請求項2】 表裏面を平滑にした連続走行される板状
の透明体に、その幅方向の少なくとも一方の端面から、
透明体の表裏面で全反射を繰り返しながら他方の端面に
向かう検査光を入射する投光器と、検査光の入射方向に
沿った検査視野をもち、透明体の表裏いずれかの面を通
して透明体内部で散乱した散乱光を光電検出する受光器
と、この受光器からの出力に基づいて透明体に存在する
欠陥を識別する処理手段とからなることを特徴とする透
明体の欠陥検出装置。 - 【請求項3】 前記投光器は検査光としてレーザ光を放
射するとともに、このレーザ光は透明体の厚み方向では
発散するレーザビームとして透明体に入射されることを
特徴とする請求項2記載の透明体の欠陥検出装置。 - 【請求項4】 前記レーザビームは、透明体の厚みと直
交する方向では収束するビームとして透明体に入射され
ることを特徴とする請求項3記載の透明体の欠陥検出装
置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP7066205A JP3036733B2 (ja) | 1995-03-24 | 1995-03-24 | 透明体の欠陥検出装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP7066205A JP3036733B2 (ja) | 1995-03-24 | 1995-03-24 | 透明体の欠陥検出装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH08261953A true JPH08261953A (ja) | 1996-10-11 |
JP3036733B2 JP3036733B2 (ja) | 2000-04-24 |
Family
ID=13309110
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP7066205A Expired - Fee Related JP3036733B2 (ja) | 1995-03-24 | 1995-03-24 | 透明体の欠陥検出装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP3036733B2 (ja) |
Cited By (20)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO1999004249A1 (fr) * | 1997-07-17 | 1999-01-28 | Hoya Corporation | Procede de verification de l'inegalite d'une substance emettrice de lumiere, dispositif concu a cet effet, et procede de triage de substrats transparents |
JPH11190699A (ja) * | 1997-12-26 | 1999-07-13 | Hoya Corp | 透光性物質の不均一性検査方法及びその装置 |
JPH11352070A (ja) * | 1998-06-11 | 1999-12-24 | Masami Nishiko | 表面検査方式 |
JP2000028340A (ja) * | 1998-07-11 | 2000-01-28 | Masami Nishiko | 配向膜検査方式 |
JP2002340804A (ja) * | 2002-02-15 | 2002-11-27 | Sumitomo Heavy Ind Ltd | マークの観察方法及び観察装置 |
US6501499B2 (en) * | 1997-09-26 | 2002-12-31 | Sumitomo Heavy Industries, Ltd. | Method for making marks in a transparent material by using a laser |
US6555273B2 (en) * | 1997-12-26 | 2003-04-29 | Hoya Corporation | Glass substrate for an electron device, photomask blank and photomask using the same |
JP2004150971A (ja) * | 2002-10-31 | 2004-05-27 | Nitto Denko Corp | フィルムの検査方法および検査装置 |
EP1477793A2 (de) | 2003-04-04 | 2004-11-17 | Schott Glas | Verfahren und Vorrichtung zur Erkennung von Fehlern in transparentem Material |
JP2006220905A (ja) * | 2005-02-10 | 2006-08-24 | Hoya Corp | マスクブランク用ガラス基板の製造方法、マスクブランクの製造方法、及び露光用マスクの製造方法 |
EP1722215A1 (de) | 2005-05-10 | 2006-11-15 | Schott AG | Verfahren und Vorrichtung zum Detektieren von Blasen in einem Glaskörper sowie zur Herstellung von Glaskörpern |
JP2006343666A (ja) * | 2005-06-10 | 2006-12-21 | Hoya Corp | マスクブランク用ガラス基板の欠陥検査方法、マスクブランク用ガラス基板、マスクブランク、露光用マスク、マスクブランク用ガラス基板の製造方法、マスクブランクの製造方法、及び露光用マスクの製造方法 |
JP2007041312A (ja) * | 2005-08-03 | 2007-02-15 | Hoya Corp | マスクブランク用ガラス基板の製造方法、マスクブランクの製造方法、露光用マスクの製造方法、及び欠陥検査装置 |
JP2007286048A (ja) * | 2006-03-23 | 2007-11-01 | Nissan Motor Co Ltd | ワーク位置検出システムおよびワーク位置検出方法 |
JP2011013081A (ja) * | 2009-07-01 | 2011-01-20 | Atom Kosan Kk | 微細ゴミ観察用照明器具 |
US7898650B2 (en) | 2005-02-18 | 2011-03-01 | Hoya Corporation | Inspection method for transparent article |
US7927440B2 (en) * | 2005-11-30 | 2011-04-19 | Seiko Instruments Inc. | Bonding method and method of manufacturing a display device |
CN103105400A (zh) * | 2013-01-29 | 2013-05-15 | 合肥知常光电科技有限公司 | 大口径光学元件表面缺陷的检测分类方法及装置 |
KR101409217B1 (ko) * | 2012-02-27 | 2014-06-20 | 엘아이지에이디피 주식회사 | 합착기판의 검사장치 및 검사방법 |
JP2016525691A (ja) * | 2013-08-01 | 2016-08-25 | ショット アクチエンゲゼルシャフトSchott AG | 少なくとも部分的に透明な硬脆材料または破砕性材料から成るテープロールにおける欠陥を検出する方法および装置ならびにその使用 |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR102292053B1 (ko) * | 2020-05-15 | 2021-08-23 | 엘지전자 주식회사 | 디스플레이 장치 |
KR102498339B1 (ko) * | 2021-04-27 | 2023-02-10 | 주식회사 나인 | 먼지 감지기 |
-
1995
- 1995-03-24 JP JP7066205A patent/JP3036733B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (31)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6861659B2 (en) | 1997-07-17 | 2005-03-01 | Hoya Corporation | Method of inspecting ununiformity of transparent material, apparatus therefor, and method of selecting transparent substrate |
WO1999004249A1 (fr) * | 1997-07-17 | 1999-01-28 | Hoya Corporation | Procede de verification de l'inegalite d'une substance emettrice de lumiere, dispositif concu a cet effet, et procede de triage de substrats transparents |
KR100606460B1 (ko) * | 1997-07-17 | 2006-07-31 | 호야 가부시키가이샤 | 투광성물질의 불균일성검사방법 및 그 장치와 투명기판의 선별방법 |
US6501499B2 (en) * | 1997-09-26 | 2002-12-31 | Sumitomo Heavy Industries, Ltd. | Method for making marks in a transparent material by using a laser |
JPH11190699A (ja) * | 1997-12-26 | 1999-07-13 | Hoya Corp | 透光性物質の不均一性検査方法及びその装置 |
US6555273B2 (en) * | 1997-12-26 | 2003-04-29 | Hoya Corporation | Glass substrate for an electron device, photomask blank and photomask using the same |
KR100485029B1 (ko) * | 1997-12-26 | 2005-06-16 | 호야 가부시키가이샤 | 전자디바이스용유리기판과이를이용하는포토마스크블랭크및포토마스크 |
JPH11352070A (ja) * | 1998-06-11 | 1999-12-24 | Masami Nishiko | 表面検査方式 |
JP2000028340A (ja) * | 1998-07-11 | 2000-01-28 | Masami Nishiko | 配向膜検査方式 |
JP2002340804A (ja) * | 2002-02-15 | 2002-11-27 | Sumitomo Heavy Ind Ltd | マークの観察方法及び観察装置 |
JP2004150971A (ja) * | 2002-10-31 | 2004-05-27 | Nitto Denko Corp | フィルムの検査方法および検査装置 |
EP1477793A3 (de) * | 2003-04-04 | 2004-11-24 | Schott Ag | Verfahren und Vorrichtung zur Erkennung von Fehlern in transparentem Material |
EP1477793A2 (de) | 2003-04-04 | 2004-11-17 | Schott Glas | Verfahren und Vorrichtung zur Erkennung von Fehlern in transparentem Material |
EP2278304A1 (de) * | 2003-04-04 | 2011-01-26 | Schott AG | Vorrichtung zur Erkennung von Fehlern in transparentem Material |
JP2006220905A (ja) * | 2005-02-10 | 2006-08-24 | Hoya Corp | マスクブランク用ガラス基板の製造方法、マスクブランクの製造方法、及び露光用マスクの製造方法 |
JP4683409B2 (ja) * | 2005-02-10 | 2011-05-18 | Hoya株式会社 | マスクブランク用ガラス基板の製造方法、マスクブランクの製造方法、及び露光用マスクの製造方法 |
US8107063B2 (en) | 2005-02-18 | 2012-01-31 | Hoya Corporation | Transparent article |
US7898650B2 (en) | 2005-02-18 | 2011-03-01 | Hoya Corporation | Inspection method for transparent article |
EP1722215A1 (de) | 2005-05-10 | 2006-11-15 | Schott AG | Verfahren und Vorrichtung zum Detektieren von Blasen in einem Glaskörper sowie zur Herstellung von Glaskörpern |
JP4683416B2 (ja) * | 2005-06-10 | 2011-05-18 | Hoya株式会社 | マスクブランク用ガラス基板の欠陥検査方法、マスクブランク用ガラス基板、マスクブランク、露光用マスク、マスクブランク用ガラス基板の製造方法、マスクブランクの製造方法、及び露光用マスクの製造方法 |
US7972702B2 (en) | 2005-06-10 | 2011-07-05 | Hoya Corporation | Defect inspection method for a glass substrate for a mask blank, glass substrate for a mask blank, mask blank, exposure mask, method of producing a glass substrate for a mask blank, method of producing a mask blank, and method of producing an exposure mask |
JP2006343666A (ja) * | 2005-06-10 | 2006-12-21 | Hoya Corp | マスクブランク用ガラス基板の欠陥検査方法、マスクブランク用ガラス基板、マスクブランク、露光用マスク、マスクブランク用ガラス基板の製造方法、マスクブランクの製造方法、及び露光用マスクの製造方法 |
JP2007041312A (ja) * | 2005-08-03 | 2007-02-15 | Hoya Corp | マスクブランク用ガラス基板の製造方法、マスクブランクの製造方法、露光用マスクの製造方法、及び欠陥検査装置 |
JP4688150B2 (ja) * | 2005-08-03 | 2011-05-25 | Hoya株式会社 | マスクブランク用ガラス基板の製造方法、マスクブランクの製造方法、露光用マスクの製造方法、及び欠陥検査装置 |
US7927440B2 (en) * | 2005-11-30 | 2011-04-19 | Seiko Instruments Inc. | Bonding method and method of manufacturing a display device |
JP2007286048A (ja) * | 2006-03-23 | 2007-11-01 | Nissan Motor Co Ltd | ワーク位置検出システムおよびワーク位置検出方法 |
JP2011013081A (ja) * | 2009-07-01 | 2011-01-20 | Atom Kosan Kk | 微細ゴミ観察用照明器具 |
KR101409217B1 (ko) * | 2012-02-27 | 2014-06-20 | 엘아이지에이디피 주식회사 | 합착기판의 검사장치 및 검사방법 |
CN103105400A (zh) * | 2013-01-29 | 2013-05-15 | 合肥知常光电科技有限公司 | 大口径光学元件表面缺陷的检测分类方法及装置 |
JP2016525691A (ja) * | 2013-08-01 | 2016-08-25 | ショット アクチエンゲゼルシャフトSchott AG | 少なくとも部分的に透明な硬脆材料または破砕性材料から成るテープロールにおける欠陥を検出する方法および装置ならびにその使用 |
US10222342B2 (en) | 2013-08-01 | 2019-03-05 | Schott Ag | Method and device for detecting defects in coils of brittle or fracture-prone material which is at least partially transparent, and use of said method and device |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP3036733B2 (ja) | 2000-04-24 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP3036733B2 (ja) | 透明体の欠陥検出装置 | |
KR101326455B1 (ko) | 투명 기판에서의 결함을 특성화하기 위한 장치 및 방법 | |
JPH0820371B2 (ja) | 欠陥検査装置及び欠陥検査方法 | |
JP2002062267A (ja) | 欠点検査装置 | |
JP2015040835A (ja) | 透明板状体の欠点検査装置及び欠点検査方法 | |
JP3329233B2 (ja) | 板状透明体の欠陥検査方法及びその装置 | |
US6618136B1 (en) | Method and apparatus for visually inspecting transparent body and translucent body | |
JPH102868A (ja) | 透光性シート状物中の欠陥を光学的に検出する方法及び装置 | |
JP3568482B2 (ja) | 板状体の傷検出方法及び装置 | |
JP2001264256A (ja) | 粉粒体検査装置 | |
US4705957A (en) | Wire surface monitor | |
JP3380321B2 (ja) | 表面検査装置 | |
JP2895773B2 (ja) | 透明物品の検査装置 | |
JP3256383B2 (ja) | 表面検査装置 | |
JP2009025269A (ja) | 光透過性シートの欠点検査装置および欠点検査方法 | |
JP2006258662A (ja) | 表面検査方法 | |
JPH10132758A (ja) | 板ガラスの欠点検出方法およびその装置 | |
KR200250993Y1 (ko) | 투과형물체내부의불균일검사장치 | |
US6426793B2 (en) | Process and apparatus for fault detection in a liquid sheet and curtain coating process | |
JPS59220636A (ja) | シ−ト状物の欠陥検出装置 | |
JPH10185828A (ja) | 透明平面体表面の欠陥検査方法及びその装置 | |
JPS59220635A (ja) | シ−ト状物の欠陥検出方法 | |
JPH0894532A (ja) | 表面検査装置 | |
JPH0989793A (ja) | 異物検査装置 | |
JPH044207Y2 (ja) |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313111 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080225 Year of fee payment: 8 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080225 Year of fee payment: 8 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090225 Year of fee payment: 9 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100225 Year of fee payment: 10 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100225 Year of fee payment: 10 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110225 Year of fee payment: 11 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120225 Year of fee payment: 12 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120225 Year of fee payment: 12 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130225 Year of fee payment: 13 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140225 Year of fee payment: 14 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |