JPS59220636A - シ−ト状物の欠陥検出装置 - Google Patents
シ−ト状物の欠陥検出装置Info
- Publication number
- JPS59220636A JPS59220636A JP9553383A JP9553383A JPS59220636A JP S59220636 A JPS59220636 A JP S59220636A JP 9553383 A JP9553383 A JP 9553383A JP 9553383 A JP9553383 A JP 9553383A JP S59220636 A JPS59220636 A JP S59220636A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- transmission light
- sheet
- transmitted light
- light
- defect
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
- G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
- G01N21/89—Investigating the presence of flaws or contamination in moving material, e.g. running paper or textiles
- G01N21/8901—Optical details; Scanning details
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
この発明はシート状物の欠陥検出装置に関し、特に高い
透光性を有するプラスチックのフィルム、ウェブまたは
ガラス板等のシート状物を搬送させながらレーザー光を
フライングスポット方式で照射し、その透過光によりシ
ート状物の欠陥を検出する装置に関するものである。
透光性を有するプラスチックのフィルム、ウェブまたは
ガラス板等のシート状物を搬送させながらレーザー光を
フライングスポット方式で照射し、その透過光によりシ
ート状物の欠陥を検出する装置に関するものである。
従来この種の装置としては、光源としてレーザ光を使用
し、シート状物に欠陥が存在するとき、その散乱光によ
る光量の変化を受光器によって電気的に演算しながら検
出するものがしられている。ところで、この装置でプラ
スチック等のウェブやガラス板の両表面および内部の欠
陥を同時に検出するために、反射光では検出ができない
ので、透過光で検出することが一般に行なわれている。
し、シート状物に欠陥が存在するとき、その散乱光によ
る光量の変化を受光器によって電気的に演算しながら検
出するものがしられている。ところで、この装置でプラ
スチック等のウェブやガラス板の両表面および内部の欠
陥を同時に検出するために、反射光では検出ができない
ので、透過光で検出することが一般に行なわれている。
これは、レーザ光を回転する多面鏡で偏向し、所定の速
度で搬送されるシート状物に対して幅方向にスキャンさ
せ、このシート状物を通る透過光の拡散状態を、拡散板
を介して受光器で受光して欠陥の検出がされる。これは
、シート状物に欠陥が存在すれば、その欠陥によって透
過光が散乱し、その光量の変化を受光器によって電気的
に演算しながら検出するものである。
度で搬送されるシート状物に対して幅方向にスキャンさ
せ、このシート状物を通る透過光の拡散状態を、拡散板
を介して受光器で受光して欠陥の検出がされる。これは
、シート状物に欠陥が存在すれば、その欠陥によって透
過光が散乱し、その光量の変化を受光器によって電気的
に演算しながら検出するものである。
ところで、透過率の高いフィルムベースのようなシート
状物の場合は、透過光はあまり周囲に広がらず、シャー
プな分布を示すため、第１図に示すようにシート状物１
の表面や内部に傷やこみが存在しない場合は実線２で示
す分布であるが、傷やこ゛みが存在する場合は点線３で
示すようになり、傷等が存在しない場合と比較して受光
器４で受光する透過光差は進行方向の部分ａでありあま
り差がない。このように、欠陥の種類によっては、進行
方向の透過光に差異がない場合があり、欠陥のある場合
とない場合での透過光の分布の違が少なく単に受光した
だけでは、十分な光量差が得られず、欠陥の検出が十分
でないことがある。
状物の場合は、透過光はあまり周囲に広がらず、シャー
プな分布を示すため、第１図に示すようにシート状物１
の表面や内部に傷やこみが存在しない場合は実線２で示
す分布であるが、傷やこ゛みが存在する場合は点線３で
示すようになり、傷等が存在しない場合と比較して受光
器４で受光する透過光差は進行方向の部分ａでありあま
り差がない。このように、欠陥の種類によっては、進行
方向の透過光に差異がない場合があり、欠陥のある場合
とない場合での透過光の分布の違が少なく単に受光した
だけでは、十分な光量差が得られず、欠陥の検出が十分
でないことがある。
この発明はこのような実情を背景としてなされたもので
、被検査物であるシート状物に存在する傷やごみ等の有
無は勿論のこと、さらに欠陥の種類をも検出ができるシ
ート状物の欠陥検出方法を提供することを目的としてい
る。
、被検査物であるシート状物に存在する傷やごみ等の有
無は勿論のこと、さらに欠陥の種類をも検出ができるシ
ート状物の欠陥検出方法を提供することを目的としてい
る。
前記目的を達成するためにこの発明は、透光性を有する
シート状物を搬送させなからレーザ光をフライングスポ
ット方式で照射し、その透過光によりシート状物の欠陥
を検出する装置において、スリットを形成するミラーを
、前記シート状物の幅方向に所定の角度で配置し、この
ミラーによりレーザ光の透過光を正透過光と拡散透過光
に分離し、この正透過光を前記スリットを通して受光手
段で、拡散透過光はミラーで反射して他の受光手段でそ
れぞれ検出するようになしたことを特徴としている。
シート状物を搬送させなからレーザ光をフライングスポ
ット方式で照射し、その透過光によりシート状物の欠陥
を検出する装置において、スリットを形成するミラーを
、前記シート状物の幅方向に所定の角度で配置し、この
ミラーによりレーザ光の透過光を正透過光と拡散透過光
に分離し、この正透過光を前記スリットを通して受光手
段で、拡散透過光はミラーで反射して他の受光手段でそ
れぞれ検出するようになしたことを特徴としている。
以下、この発明の一実施例を図面に基ずいて詳細に説明
する。
する。
第２図において、レーザ光１１は所定の速度で矢印入方
向に搬送されるシート状物１２に対して幅方向にスキャ
ンするようになっている。
向に搬送されるシート状物１２に対して幅方向にスキャ
ンするようになっている。
このシート状物１２は透光性の高いプラスチックのフィ
ルム、ウェブあるいはガラス板等である。この実施例で
は写真フィルム支持体に下引 １き層を形成したシート
状物１２の欠陥検出に適用している。
ルム、ウェブあるいはガラス板等である。この実施例で
は写真フィルム支持体に下引 １き層を形成したシート
状物１２の欠陥検出に適用している。
前記レーザ光１１はシート状物１２の表面の入射法線り
に対する入射角をブリュースタ角θｉとするように偏光
しである。
に対する入射角をブリュースタ角θｉとするように偏光
しである。
このブリュースタ角Ｏ１は、理論的にはｔａｎ Ｏｉ＝
ｎ （Ｏｉ ：入射角 ｎ：屈折率）から得られる。
ｎ （Ｏｉ ：入射角 ｎ：屈折率）から得られる。
そして、このブリュースタ角θｉでは反射光には入射面
に平行な成分がなく、これに垂直な成分のみであり、そ
の偏光のレーザ光１１の反射率は零となる。したがって
内部反射をなくすことができシート状物１２を通る透過
光の干渉がなくなる。
に平行な成分がなく、これに垂直な成分のみであり、そ
の偏光のレーザ光１１の反射率は零となる。したがって
内部反射をなくすことができシート状物１２を通る透過
光の干渉がなくなる。
前記シート状物１２が透過率が高いので、透過光は実線
１３で示しようにあまり広がらず、進行方向に長いシャ
ープな分布をしている。もしシート状物１２に欠陥が存
在すれば、透過光はそれによりの散乱し周囲に広がり、
点線１４で示すような分布を示す。
１３で示しようにあまり広がらず、進行方向に長いシャ
ープな分布をしている。もしシート状物１２に欠陥が存
在すれば、透過光はそれによりの散乱し周囲に広がり、
点線１４で示すような分布を示す。
搬送されるシート状物１２の裏側には、２枚のミラー１
５．１６がシート状物１２に対して幅方向で、かつ裏面
に対して垂直となるように配設されている。このミラー
１５．１６は所定幅のスリット１７を形成するように間
隔を置いて配置され、透過光を正透過光成分Ｃと、拡散
透過光成分ｄとに分離する機能を有している。
５．１６がシート状物１２に対して幅方向で、かつ裏面
に対して垂直となるように配設されている。このミラー
１５．１６は所定幅のスリット１７を形成するように間
隔を置いて配置され、透過光を正透過光成分Ｃと、拡散
透過光成分ｄとに分離する機能を有している。
すなわち、正透過光成分Ｃはそのまま前記スリット１７
を直進し、拡散板１８と介して正透過光受光器１９で受
光され、一方拡散透過光成分ｄはミラー１５．１６で反
射し、拡散板２０を介して拡散透過光受光器２１で受光
され、それぞれの光量の変化を電気的に演算し欠陥部分
の検出をする。
を直進し、拡散板１８と介して正透過光受光器１９で受
光され、一方拡散透過光成分ｄはミラー１５．１６で反
射し、拡散板２０を介して拡散透過光受光器２１で受光
され、それぞれの光量の変化を電気的に演算し欠陥部分
の検出をする。
したがって、シート状物１２の表面に凹凸があると、透
過光はその直進方向より外周方向に広がり、正透過光成
分Ｃの光量が部分ｅだけ少なくなり、拡散透過光成分ｄ
の光量は部分子だけ大きくなり、この光量の変化は、ス
リット１７を介して線透過光受光器１９と、ミラー１５
．１６に反射して拡散透過光受光器２１でそれぞれ検出
される。
過光はその直進方向より外周方向に広がり、正透過光成
分Ｃの光量が部分ｅだけ少なくなり、拡散透過光成分ｄ
の光量は部分子だけ大きくなり、この光量の変化は、ス
リット１７を介して線透過光受光器１９と、ミラー１５
．１６に反射して拡散透過光受光器２１でそれぞれ検出
される。
一方前記のような゛凹凸はないが、シート状物１２の下
引き層等に濃度差があれば、透過光は外周方向には広が
らずその直進方向の正透過光成分Ｃの光量の変化が大き
くなり、この光量の変化は、スリマ）１７を直進して正
透過光受光器１９で検出される。このように透過光が外
周に広がるような種類の欠陥は、拡散透過光受光器２１
でより多く検出され、また濃度差があるような種類の欠
陥は正透過光受光器１９で検出され、この光量の変化量
で欠陥の程度とともに、欠陥の種類をも判別可能である
。
引き層等に濃度差があれば、透過光は外周方向には広が
らずその直進方向の正透過光成分Ｃの光量の変化が大き
くなり、この光量の変化は、スリマ）１７を直進して正
透過光受光器１９で検出される。このように透過光が外
周に広がるような種類の欠陥は、拡散透過光受光器２１
でより多く検出され、また濃度差があるような種類の欠
陥は正透過光受光器１９で検出され、この光量の変化量
で欠陥の程度とともに、欠陥の種類をも判別可能である
。
なお、前記実施例においてレーザ光の入射角をブリュー
スタ角θｉに選定して透過光の干渉の生′じないように
したが、必ずしもこれに限定されない。またスリット１
７はミラー１５，１６を２枚配設して形成したが、１枚
のミラーにスリットを穿設したものでもよい。さらにミ
ラー１５．１６に多少のゴミ等が付着することがあって
も、拡散透過光成分の光の一部がそのゴミにより散乱さ
れるだけであるから、全体的にはほとんど影響を受ない
。
スタ角θｉに選定して透過光の干渉の生′じないように
したが、必ずしもこれに限定されない。またスリット１
７はミラー１５，１６を２枚配設して形成したが、１枚
のミラーにスリットを穿設したものでもよい。さらにミ
ラー１５．１６に多少のゴミ等が付着することがあって
も、拡散透過光成分の光の一部がそのゴミにより散乱さ
れるだけであるから、全体的にはほとんど影響を受ない
。
この発ＩＪＪは前記のように、スリットを形成するミラ
ーを、前記シート状物の幅方向に所定の角度で配置し、
このミラーによりレーザ光の透過光を正透過光と拡散透
過光に分離し、この正透過光を前記スリットを通して受
光手段で、拡散透過光はミラーで反射して他の受光手段
でそれぞれ検出するようになしたから、欠陥の種類によ
っては、進行方向の透過光に差異がない場合があっても
、拡散透過光でも検出でき、欠陥のある場合とない場合
での透過光の分布の違が少なく単に受光しただけでは、
十分な光量差が得られない場合でも、欠陥の検出が簡単
かつ確実である。
ーを、前記シート状物の幅方向に所定の角度で配置し、
このミラーによりレーザ光の透過光を正透過光と拡散透
過光に分離し、この正透過光を前記スリットを通して受
光手段で、拡散透過光はミラーで反射して他の受光手段
でそれぞれ検出するようになしたから、欠陥の種類によ
っては、進行方向の透過光に差異がない場合があっても
、拡散透過光でも検出でき、欠陥のある場合とない場合
での透過光の分布の違が少なく単に受光しただけでは、
十分な光量差が得られない場合でも、欠陥の検出が簡単
かつ確実である。
また、透過光が外周に広がるＪうな種類の欠陥は拡散透
過光受光器で、また濃度差があるような種類の欠陥は正
透過光受光器で検出され、被検査物であるシート状物に
存在する傷やごみ等の有無は勿論のこと、光量の変化量
による欠陥の程度とともに、欠陥の種類をも判別可能で
ある。
過光受光器で、また濃度差があるような種類の欠陥は正
透過光受光器で検出され、被検査物であるシート状物に
存在する傷やごみ等の有無は勿論のこと、光量の変化量
による欠陥の程度とともに、欠陥の種類をも判別可能で
ある。
第１図はレーザ光の透過光散乱状態を示す説明図、第２
図はこの発明の説明図である。 １２・・・シート状物 １５．１６・・・ミラー１７・
・・スリｙｌ−１８，２０・・・拡散板１９・・・正透
過光受光器 ２１・・・拡散透過光受光器 特 許 出 願 人 小西六写真工業株式会社第１図
図はこの発明の説明図である。 １２・・・シート状物 １５．１６・・・ミラー１７・
・・スリｙｌ−１８，２０・・・拡散板１９・・・正透
過光受光器 ２１・・・拡散透過光受光器 特 許 出 願 人 小西六写真工業株式会社第１図
Claims (1)
- 透光性を有するシート状物を搬送させながらレーザー光
をフライングスポット方式で照射し、その透過光により
シート状物の欠陥を検出する装置において、スリットを
形成するミラーを 前記シート状物の幅方向に所定の角
度で配置６シ、このミラーによりレーザ光の透過光を正
透過光と拡散透過光に分離し、この正透過光を前記スリ
ットを通して受光手段で、拡散透過光はミラーで反射し
て他の受光手段でそれぞれ検出するようになしたシート
状物の欠陥検出装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9553383A JPS59220636A (ja) | 1983-05-30 | 1983-05-30 | シ−ト状物の欠陥検出装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9553383A JPS59220636A (ja) | 1983-05-30 | 1983-05-30 | シ−ト状物の欠陥検出装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS59220636A true JPS59220636A (ja) | 1984-12-12 |
Family
ID=14140190
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9553383A Pending JPS59220636A (ja) | 1983-05-30 | 1983-05-30 | シ−ト状物の欠陥検出装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS59220636A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6466548A (en) * | 1987-09-08 | 1989-03-13 | Konishiroku Photo Ind | Method and apparatus for detecting defect of sheet-shaped matter |
| JPH04203956A (ja) * | 1990-11-29 | 1992-07-24 | Bando Chem Ind Ltd | 外観検査方法および装置 |
| JP2011053190A (ja) * | 2009-09-04 | 2011-03-17 | Nippon Shokubai Co Ltd | 固体酸化物形燃料電池の固体電解質膜用セラミックシートの検査方法および当該セラミックシートの製造方法 |
| JP2012150024A (ja) * | 2011-01-20 | 2012-08-09 | Hitachi High-Technologies Corp | 表面欠陥検査装置及び方法 |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5229789A (en) * | 1975-09-02 | 1977-03-05 | Toray Ind Inc | Apparatus for derection, identification and indication of surface defe cts of travelling sheet-form objects |
| JPS5737023A (en) * | 1980-08-11 | 1982-03-01 | Nissan Motor Co Ltd | Driving gear of stepless speed change auxiliary equipment for automobile engine |
-
1983
- 1983-05-30 JP JP9553383A patent/JPS59220636A/ja active Pending
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5229789A (en) * | 1975-09-02 | 1977-03-05 | Toray Ind Inc | Apparatus for derection, identification and indication of surface defe cts of travelling sheet-form objects |
| JPS5737023A (en) * | 1980-08-11 | 1982-03-01 | Nissan Motor Co Ltd | Driving gear of stepless speed change auxiliary equipment for automobile engine |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6466548A (en) * | 1987-09-08 | 1989-03-13 | Konishiroku Photo Ind | Method and apparatus for detecting defect of sheet-shaped matter |
| JPH04203956A (ja) * | 1990-11-29 | 1992-07-24 | Bando Chem Ind Ltd | 外観検査方法および装置 |
| JP2011053190A (ja) * | 2009-09-04 | 2011-03-17 | Nippon Shokubai Co Ltd | 固体酸化物形燃料電池の固体電解質膜用セラミックシートの検査方法および当該セラミックシートの製造方法 |
| JP2012150024A (ja) * | 2011-01-20 | 2012-08-09 | Hitachi High-Technologies Corp | 表面欠陥検査装置及び方法 |
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