JP2829736B2 - シート状物の表面検査方法 - Google Patents
シート状物の表面検査方法Info
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- JP2829736B2 JP2829736B2 JP1042057A JP4205789A JP2829736B2 JP 2829736 B2 JP2829736 B2 JP 2829736B2 JP 1042057 A JP1042057 A JP 1042057A JP 4205789 A JP4205789 A JP 4205789A JP 2829736 B2 JP2829736 B2 JP 2829736B2
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Description
【発明の詳細な説明】 〔発明の属する技術分野〕 本発明は、写真感光材料等のシート状物の表面検査方
法に関する。
法に関する。
写真感光材料などのシート状物の製造の際、キズ、ス
ジあるいは塗布ムラ等を検査することは、品質管理上き
わめて重要である。
ジあるいは塗布ムラ等を検査することは、品質管理上き
わめて重要である。
従来から、かかる検査のために、レーザ光等の光ビー
ムをシート状物表面に照射し、欠陥箇所においては、正
常箇所とは異なる反射光または透過光となることを利用
して、これを光検出器により検出することが行われてい
る。
ムをシート状物表面に照射し、欠陥箇所においては、正
常箇所とは異なる反射光または透過光となることを利用
して、これを光検出器により検出することが行われてい
る。
具体的には、実開昭48−26984号、特公昭58−49819号
あるいは同公報に従来例として示された態様などが知ら
れている。
あるいは同公報に従来例として示された態様などが知ら
れている。
しかし、従来、一般的には、レーザ光を搬送している
シート状物の幅方向スキャニングしながら照射し、反射
光をスキャニング方向と同方向に間隔をもって複数の光
検出器により検出し、欠陥を検出した該当光検出器に基
いてシート状物における欠陥の幅方向を定めるようにし
ている。
シート状物の幅方向スキャニングしながら照射し、反射
光をスキャニング方向と同方向に間隔をもって複数の光
検出器により検出し、欠陥を検出した該当光検出器に基
いてシート状物における欠陥の幅方向を定めるようにし
ている。
しかるに、各光検出器が間隔をもって配置されている
ため、それらの間隔に対応するシート状物の欠陥につい
ては検出でき難い。
ため、それらの間隔に対応するシート状物の欠陥につい
ては検出でき難い。
そこで、シート状物と光検出器群との間に光の拡散板
を設けて、光検出器間に対応する欠陥についても、反射
光をスキャニング方向と同方向に拡散させることによっ
て検出することが考えられる。
を設けて、光検出器間に対応する欠陥についても、反射
光をスキャニング方向と同方向に拡散させることによっ
て検出することが考えられる。
しかし、拡散に伴って、前記スキャニング方向ととも
に、他の方向にも拡散してしまうので、光検出器に入射
する光量は弱いものであり、現状の光検出器の能力から
して十分な欠陥検出を行い難い、あるいは正常信号と欠
陥信号とを明確に判断し難いものである。
に、他の方向にも拡散してしまうので、光検出器に入射
する光量は弱いものであり、現状の光検出器の能力から
して十分な欠陥検出を行い難い、あるいは正常信号と欠
陥信号とを明確に判断し難いものである。
そこで、本発明の主たる目的は、光検出器間に対応す
る欠陥をも確実に検出できるシート状物の表面検査方法
を提供することにある。
る欠陥をも確実に検出できるシート状物の表面検査方法
を提供することにある。
上記課題は、シート状物の表面に光ビームをシート状
物の幅方向にスキャニングしながら照射し、その照射光
の透過光または反射光を前記スキャニング方向と同方向
に間隔を置いて複数配した光検出部によりシート状物の
表面検査を行う方法において； 前記光検出器群の手前において、透過光または反射光
を等方に拡散する等方拡散手段と、この等方拡散手段を
透過した前記光を前記スキャニング方向に指向的に拡散
させる指向性拡散手段とを、前記シート状物から前記光
検出器に向かう方向に順に設けることで解決できる。
物の幅方向にスキャニングしながら照射し、その照射光
の透過光または反射光を前記スキャニング方向と同方向
に間隔を置いて複数配した光検出部によりシート状物の
表面検査を行う方法において； 前記光検出器群の手前において、透過光または反射光
を等方に拡散する等方拡散手段と、この等方拡散手段を
透過した前記光を前記スキャニング方向に指向的に拡散
させる指向性拡散手段とを、前記シート状物から前記光
検出器に向かう方向に順に設けることで解決できる。
本発明に従って指向性拡散手段を設けると、同じスキ
ャニング方向に主に拡散し、他の方向の拡散量が少なく
なるので、等方拡散手段を設けた場合より、光検出器に
入射する光量が大きくなり、もって欠陥検出能力が高ま
る。
ャニング方向に主に拡散し、他の方向の拡散量が少なく
なるので、等方拡散手段を設けた場合より、光検出器に
入射する光量が大きくなり、もって欠陥検出能力が高ま
る。
さらに、本発明においては、シート状物から光検出器
に向かう方向に順に等方拡散板および指向性拡散板が設
けられる。
に向かう方向に順に等方拡散板および指向性拡散板が設
けられる。
ここで、等方拡散板のみであると、光検出器への入射
光量を大きくしても、もともと拡散角度が小さいうえ、
十分な欠陥検出効果が望めない。他方、指向性拡散板を
用いると、拡散角度がきわめて大きくなり、この点では
きわめて有効であるが、直接指向性拡散板に反射ビーム
光が入射し透過するとき、その凹凸面から出射するとき
ある角度で集中的に屈折するためと考えられるノイズが
光検出器に入ってしまい、欠陥の弁別が難しくなる。
光量を大きくしても、もともと拡散角度が小さいうえ、
十分な欠陥検出効果が望めない。他方、指向性拡散板を
用いると、拡散角度がきわめて大きくなり、この点では
きわめて有効であるが、直接指向性拡散板に反射ビーム
光が入射し透過するとき、その凹凸面から出射するとき
ある角度で集中的に屈折するためと考えられるノイズが
光検出器に入ってしまい、欠陥の弁別が難しくなる。
そこで、本発明においては、指向性拡散板の前に等方
拡散板を設ける。これによって、等方拡散板によってあ
る程度拡散した光が指向性拡散板に束状態で透過するた
め、ノイズの発生要因がほとんどなくなる。なお、拡散
板の配置位置を逆にすることも考えられるが、前述のノ
イズの問題が残るので、本発明の順序とするものであ
る。
拡散板を設ける。これによって、等方拡散板によってあ
る程度拡散した光が指向性拡散板に束状態で透過するた
め、ノイズの発生要因がほとんどなくなる。なお、拡散
板の配置位置を逆にすることも考えられるが、前述のノ
イズの問題が残るので、本発明の順序とするものであ
る。
以下本発明の実施の形態を図面を参照しながらさらに
詳説する。
詳説する。
第１図および第２図は本発明法を実施するための装置
の概要配置図であり、基本的に特公昭58−49819号公報
の第１図に示されたものと拡散手段を除いてほぼ同様の
ものである。
の概要配置図であり、基本的に特公昭58−49819号公報
の第１図に示されたものと拡散手段を除いてほぼ同様の
ものである。
レーザ光発生装置（図示せず）からのレーザ光は、回
転多面鏡１にして反射され、次いで第１反射ミラー２に
より反射された後、ハーフミラー３に入射され、一部は
直接透過してロール４を通るシートＳに照射され、一部
は反射して第２反射ミラー５において反射した後、シー
トＳに照射される。
転多面鏡１にして反射され、次いで第１反射ミラー２に
より反射された後、ハーフミラー３に入射され、一部は
直接透過してロール４を通るシートＳに照射され、一部
は反射して第２反射ミラー５において反射した後、シー
トＳに照射される。
かかる照射に当たって、回転多面鏡１の回転に伴って
レーザ光Ｌは、シートＳの幅方向に走査される（走査方
向を符号Ｆで示す）。またシートＳで反射した第２反射
ミラー５を経る入射光の反射光L1はシートＳの幅方向
（スキャニング方向）に間隔を置いて配設された第１光
検出器6,6…群により、またハーフミラー３を透過して
経る反射光L2は、第２光検出器７群（１個のみが示され
ているがシートＳの幅方向に間隔を置いて複数有する）
により検出される。
レーザ光Ｌは、シートＳの幅方向に走査される（走査方
向を符号Ｆで示す）。またシートＳで反射した第２反射
ミラー５を経る入射光の反射光L1はシートＳの幅方向
（スキャニング方向）に間隔を置いて配設された第１光
検出器6,6…群により、またハーフミラー３を透過して
経る反射光L2は、第２光検出器７群（１個のみが示され
ているがシートＳの幅方向に間隔を置いて複数有する）
により検出される。
上記例において、ハーフミラー３で分離するようにし
た理由は、第３図のように、支持体S1上において塗布液
切れなどに伴う塗布層S2の短いスジ状欠陥については、
入射角θが小さいたとえば45度で入射させたものが、第
４図のようにスポット状突起欠陥については入射角θが
大きいたとえば75度で入射させたものが欠陥検出能が高
く、さらにスポット状凹欠陥についは45度でも75度でも
さほど差異がないことが判っており、かかる知見に基い
て、あらゆる欠陥を検出しようとすことにある。また、
第３図の欠陥は、受光光量が少ないと十分な検出を行い
難いので、ハーフミラー３により、大きな光量をもって
照射するものである。
た理由は、第３図のように、支持体S1上において塗布液
切れなどに伴う塗布層S2の短いスジ状欠陥については、
入射角θが小さいたとえば45度で入射させたものが、第
４図のようにスポット状突起欠陥については入射角θが
大きいたとえば75度で入射させたものが欠陥検出能が高
く、さらにスポット状凹欠陥についは45度でも75度でも
さほど差異がないことが判っており、かかる知見に基い
て、あらゆる欠陥を検出しようとすことにある。また、
第３図の欠陥は、受光光量が少ないと十分な検出を行い
難いので、ハーフミラー３により、大きな光量をもって
照射するものである。
そこで、第３図のスジ状欠陥を確実に検出しようとす
るとき、ハーフミラー３における分散率r1／r2を１以下
たとえば1/3とすると、第１光検出器６に入射される光
量は、第２光検出器７に入射される光量より大きくする
ことができる。
るとき、ハーフミラー３における分散率r1／r2を１以下
たとえば1/3とすると、第１光検出器６に入射される光
量は、第２光検出器７に入射される光量より大きくする
ことができる。
他方で、第２図から明らかなように、たとえば光電子
増倍管からなる第１光検出器6,6…群がシートＳの幅方
向に間隔を置いて配置されているとき、検出器6,6間に
対応するシートＳの欠陥については、検出器6,6では検
出できない。あるいは検出を行えるほど十分な光量が入
射されない。
増倍管からなる第１光検出器6,6…群がシートＳの幅方
向に間隔を置いて配置されているとき、検出器6,6間に
対応するシートＳの欠陥については、検出器6,6では検
出できない。あるいは検出を行えるほど十分な光量が入
射されない。
これに対して、反射光が光検出器６に入射される手前
に、拡散板を設けて、反射を拡散させるようにすれば、
光検出器6,6間位置に対応する欠陥であっても十分な光
量をもって検出できる。
に、拡散板を設けて、反射を拡散させるようにすれば、
光検出器6,6間位置に対応する欠陥であっても十分な光
量をもって検出できる。
この場合における拡散板としては、本発明に従って、
第２図、第６図および第７図のように、シートＳから光
検出器６の方向に向かって、等方拡散板10および指向性
拡散板11が設けられる。
第２図、第６図および第７図のように、シートＳから光
検出器６の方向に向かって、等方拡散板10および指向性
拡散板11が設けられる。
等方拡散板10は、透光性ガラスまたは透光性プラスチ
ック板に散乱粒子たとえば酸化チタン等の無機微粒子を
分散状態で混入したものを用いることができ、指向性拡
散板11としては、透光性ガラスまたはプラスチック板の
片面または両面、好ましくは検出器６がわの片面のみ
に、シートＳの幅方向のみ（シートの長手方向には凹凸
を有しない）凹凸面11aを有するものを用いることがで
きる。
ック板に散乱粒子たとえば酸化チタン等の無機微粒子を
分散状態で混入したものを用いることができ、指向性拡
散板11としては、透光性ガラスまたはプラスチック板の
片面または両面、好ましくは検出器６がわの片面のみ
に、シートＳの幅方向のみ（シートの長手方向には凹凸
を有しない）凹凸面11aを有するものを用いることがで
きる。
この場合において、等方拡散板10のみであると、前述
のようにr1／r2を小さくして、光検出器６への入射光量
を大きくしても、もともと拡散角度が小さいうえ、透過
光量が実線の状態から仮想線の状態に広まる程度であ
り、実際の拡散幅は小さく、十分な欠陥検出効果が望め
ない。
のようにr1／r2を小さくして、光検出器６への入射光量
を大きくしても、もともと拡散角度が小さいうえ、透過
光量が実線の状態から仮想線の状態に広まる程度であ
り、実際の拡散幅は小さく、十分な欠陥検出効果が望め
ない。
他方、指向性拡散板11のみであると、第７図のよう
に、拡散角度がきわめて大きくなり、この点ではきわめ
て有効であるが、直接指向性拡散板11に反射ビーム光が
入射し透過するとき、凹凸面11aから出射するときある
角度で集中的に屈折するためと考えられるノイズが光検
出器６に入ってしまい、欠陥の弁別が難しくなる。
に、拡散角度がきわめて大きくなり、この点ではきわめ
て有効であるが、直接指向性拡散板11に反射ビーム光が
入射し透過するとき、凹凸面11aから出射するときある
角度で集中的に屈折するためと考えられるノイズが光検
出器６に入ってしまい、欠陥の弁別が難しくなる。
そこで、本発明においては、指向性拡散板11の前に等
方拡散板10を設けるものである。これによって、等方拡
散板10によってある程度拡散した光が指向性拡散板11に
束状態で透過するため、ノイズの発生要因がほとんどな
くなる。
方拡散板10を設けるものである。これによって、等方拡
散板10によってある程度拡散した光が指向性拡散板11に
束状態で透過するため、ノイズの発生要因がほとんどな
くなる。
なお、拡散板10,11の配置位置を逆にすることも考え
られるが、前述のノイズの問題が残り好ましくない。
られるが、前述のノイズの問題が残り好ましくない。
上記例において、第２光検出器７の手前に同様な拡散
板10,11を設けてもよい。また、欠陥であるか否かは、
正常時における基準光量に対してノイズに鑑みてあるス
レッショルドレベルを設けてそれを超える光量があると
き欠陥であると判断できる。さらに、欠陥のシートＳの
幅方向位置は、回転多面鏡１の現回転角度を検出するこ
とによってスキャニング現位置を把握して、これを光検
出器６からの出力信号と関係づけることによって、検知
できる。
板10,11を設けてもよい。また、欠陥であるか否かは、
正常時における基準光量に対してノイズに鑑みてあるス
レッショルドレベルを設けてそれを超える光量があると
き欠陥であると判断できる。さらに、欠陥のシートＳの
幅方向位置は、回転多面鏡１の現回転角度を検出するこ
とによってスキャニング現位置を把握して、これを光検
出器６からの出力信号と関係づけることによって、検知
できる。
第２図の寸法D1およびD2については、次の範囲である
ことが好ましい。
ことが好ましい。
10mm≦D1≦100mm 100mm≦D2≦500mm 100mm≦D3≦500mm 〔実験例〕 指向性拡散板の採用によって拡散効果がいかに高まる
か基礎実験を、第８図のように行った。
か基礎実験を、第８図のように行った。
すなわち、He−Neレーザ光発生装置13から拡散板10ま
たは11にレーザ光を入射し、光検出器６を中心から順に
ずらしたときの受光出力を調べたところ、第９図の結果
を得た。
たは11にレーザ光を入射し、光検出器６を中心から順に
ずらしたときの受光出力を調べたところ、第９図の結果
を得た。
用いた拡散板10,11の透光率はそれぞれ、67％および9
0％である。第９図によると、指向性拡散板を用いたと
き、拡散効果が大きいことが判る。拡散板10,11の半値
幅は、それぞれ11.4度および45.6度であった。
0％である。第９図によると、指向性拡散板を用いたと
き、拡散効果が大きいことが判る。拡散板10,11の半値
幅は、それぞれ11.4度および45.6度であった。
以上の通り、本発明によれば、シート状物の幅方向の
あらゆる位置の欠陥を的確に検出できる。
あらゆる位置の欠陥を的確に検出できる。
第１図，第２図は本発明装置の概要説明図、第３図〜第
５図は欠陥の例示断面図、第６図および第７図は等方お
よび指向性拡散板による拡散状態説明図、第８図は拡散
効果実験の説明図、第９図は実験結果のグラフである。 １…回転多面鏡、３…ハーフミラー、６…第１光検出
器、７…第２光検出器、Ｓ…シート、10…等方拡散板、
11…指向性拡散板、11a…凹凸面
５図は欠陥の例示断面図、第６図および第７図は等方お
よび指向性拡散板による拡散状態説明図、第８図は拡散
効果実験の説明図、第９図は実験結果のグラフである。 １…回転多面鏡、３…ハーフミラー、６…第１光検出
器、７…第２光検出器、Ｓ…シート、10…等方拡散板、
11…指向性拡散板、11a…凹凸面
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 澤住 庸生 東京都日野市さくら町１番地 コニカ株 式会社内 (56)参考文献 特開 昭60−13249（ＪＰ，Ａ) 特開 昭63−5249（ＪＰ，Ａ) 特開 昭49−123639（ＪＰ，Ａ) 特開 平１−307646（ＪＰ，Ａ) 実開 昭63−190950（ＪＰ，Ｕ) 実開 昭62−114558（ＪＰ，Ｕ) (58)調査した分野(Int.Cl.6，ＤＢ名) G01N 21/89
Claims (1)
- 【請求項１】シート状物の表面に光ビームをシート状物
の幅方向にスキャニングしながら照射し、その照射光の
透過光または反射光を前記スキャニング方向と同方向に
間隔を置いて複数配した光検出部によりシート状物の表
面検査を行う方法において； 前記光検出器群の手前において、透過光または反射光を
等方に拡散する等方拡散手段と、この等方拡散手段を透
過した前記光を前記スキャニング方向に指向的に拡散さ
せる指向性拡散手段とを、前記シート状物から前記光検
出器に向かう方向に順に設けることを特徴とするシート
状物の表面検査方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1042057A JP2829736B2 (ja) | 1989-02-22 | 1989-02-22 | シート状物の表面検査方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1042057A JP2829736B2 (ja) | 1989-02-22 | 1989-02-22 | シート状物の表面検査方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02221846A JPH02221846A (ja) | 1990-09-04 |
| JP2829736B2 true JP2829736B2 (ja) | 1998-12-02 |
Family
ID=12625476
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1042057A Expired - Lifetime JP2829736B2 (ja) | 1989-02-22 | 1989-02-22 | シート状物の表面検査方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2829736B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2751646B2 (ja) * | 1991-03-25 | 1998-05-18 | 松下電器産業株式会社 | 分光器入射光学装置 |
Family Cites Families (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5410260B2 (ja) * | 1973-03-31 | 1979-05-02 | ||
| JPS6013249A (ja) * | 1983-07-04 | 1985-01-23 | Konishiroku Photo Ind Co Ltd | 印画紙表面検査方法 |
| JPS635249A (ja) * | 1986-06-25 | 1988-01-11 | Furukawa Electric Co Ltd:The | 面状体の欠陥検出方法 |
| JPS63190950U (ja) * | 1987-05-29 | 1988-12-08 |
-
1989
- 1989-02-22 JP JP1042057A patent/JP2829736B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH02221846A (ja) | 1990-09-04 |
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