JPS59220635A - シ−ト状物の欠陥検出方法 - Google Patents
シ−ト状物の欠陥検出方法Info
- Publication number
- JPS59220635A JPS59220635A JP9553283A JP9553283A JPS59220635A JP S59220635 A JPS59220635 A JP S59220635A JP 9553283 A JP9553283 A JP 9553283A JP 9553283 A JP9553283 A JP 9553283A JP S59220635 A JPS59220635 A JP S59220635A
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- Japan
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- sheet
- light
- incident
- shaped product
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-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
- G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
- G01N21/89—Investigating the presence of flaws or contamination in moving material, e.g. running paper or textiles
- G01N21/8901—Optical details; Scanning details
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- Pathology (AREA)
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
この発明はシート状物の欠陥検出方法に関し、特に透光
性を有するプラスチックのフィルム、ウェブまたはガラ
ス板等のシート状物を搬送させながらレーザー光をフラ
イングスポット方式で照射し、その透過光によりシート
状物の欠陥を検出する方法に関するものである。
性を有するプラスチックのフィルム、ウェブまたはガラ
ス板等のシート状物を搬送させながらレーザー光をフラ
イングスポット方式で照射し、その透過光によりシート
状物の欠陥を検出する方法に関するものである。
従来この種の方法としては、光源としてレーザ光を使用
し、シート状物に欠陥が存在するとき、その散乱光によ
る光量の変化を受光器によって電気的に演算しながら検
出するものがしられている。ところで、この方法でプラ
スチック等のウェブやガラス板の両表面および内部の欠
陥を同時に検出するために、反射光では検出ができない
ので、透過光で検出することが一般に行なわれている。
し、シート状物に欠陥が存在するとき、その散乱光によ
る光量の変化を受光器によって電気的に演算しながら検
出するものがしられている。ところで、この方法でプラ
スチック等のウェブやガラス板の両表面および内部の欠
陥を同時に検出するために、反射光では検出ができない
ので、透過光で検出することが一般に行なわれている。
この−例として、レーザ光を所定の速度で搬送されるシ
ート状物に対して幅方向にスキャンさせ、このレーザ光
の透過光はシート状物を通り拡散板を介して受光器で受
光し、そして。
ート状物に対して幅方向にスキャンさせ、このレーザ光
の透過光はシート状物を通り拡散板を介して受光器で受
光し、そして。
シート状物に欠陥が存在すれば、その散乱光による光量
の変化を受光器によって電気的に演算しながら検出する
ものがある。
の変化を受光器によって電気的に演算しながら検出する
ものがある。
しかし、このレーザ光は第１図に示すようにシート状物
１にその搬送方向Ａに向けて所定の角度で表面に入射さ
れ屈曲して入り、その一部の０次光２は屈曲して四面か
ら空中にでてくる。−フッ他の一部の１次光３は裏面で
反射し、さらに表面で再び反射して屈曲して裏面から空
中にでてくる。これら２木の平行な０次光２と１次光３
は当然同時に受光器に入り、干渉した透過光となる。そ
してこの０次光２と１次光３は、レーザ光か幅方向すな
わち入射法線ＬＬにそってスキャンしているためスキャ
ン方向にわたって強めあったり、弱めあったりし、それ
が第２図のように受光器で一定のノイズｎとして検出さ
れる。一般的に、このようなノイズｎは電気的フィルタ
により取除く方法がとられるか、欠陥検出信号４，５．
６の周波数と干渉によるノイズｎの周波数とが重なり合
う部分もあるため、ノイズｎを完全に取除こうとすると
、欠陥検出信号４，６のような小さい欠陥信号まで取除
かれることになる。また、欠陥検出信号５のような比較
的大きな欠陥検出信号でもかなり小さい信号としか得ら
れない。このため従来、レーザ光を干渉を起さないよう
に、垂直またはそれに近い角度でシート状物に入射させ
て検出していたが、このようにしても少なからず干渉の
影響があり、十分な検出が得にくかった。
１にその搬送方向Ａに向けて所定の角度で表面に入射さ
れ屈曲して入り、その一部の０次光２は屈曲して四面か
ら空中にでてくる。−フッ他の一部の１次光３は裏面で
反射し、さらに表面で再び反射して屈曲して裏面から空
中にでてくる。これら２木の平行な０次光２と１次光３
は当然同時に受光器に入り、干渉した透過光となる。そ
してこの０次光２と１次光３は、レーザ光か幅方向すな
わち入射法線ＬＬにそってスキャンしているためスキャ
ン方向にわたって強めあったり、弱めあったりし、それ
が第２図のように受光器で一定のノイズｎとして検出さ
れる。一般的に、このようなノイズｎは電気的フィルタ
により取除く方法がとられるか、欠陥検出信号４，５．
６の周波数と干渉によるノイズｎの周波数とが重なり合
う部分もあるため、ノイズｎを完全に取除こうとすると
、欠陥検出信号４，６のような小さい欠陥信号まで取除
かれることになる。また、欠陥検出信号５のような比較
的大きな欠陥検出信号でもかなり小さい信号としか得ら
れない。このため従来、レーザ光を干渉を起さないよう
に、垂直またはそれに近い角度でシート状物に入射させ
て検出していたが、このようにしても少なからず干渉の
影響があり、十分な検出が得にくかった。
この発明はこのような実情を背景としてなされたもので
、被検査物であるシート状物の内部反射をなくし、１次
光の発生を生じさせないようにしてレーザ光の透過光の
干渉をなくし確実な欠陥検出ができるシート状物の欠陥
検出方法を提供することを目的としている。
、被検査物であるシート状物の内部反射をなくし、１次
光の発生を生じさせないようにしてレーザ光の透過光の
干渉をなくし確実な欠陥検出ができるシート状物の欠陥
検出方法を提供することを目的としている。
前記目的を達成するためにこの発明は、透光性を有する
シート状物を搬送させながらレーザー光をフライングス
ポット方式で照射し、その透過光によりシート状物の欠
陥を検出する方法において、前記レーザ光のシート状物
表面に向けて入射する直線偏光が入射面に平行にし、か
つこの入射角を略ブリュースタ角に選定し、レーザ光の
シート状物を通る透過光の干渉をなくし、この透過光で
シート状物の欠陥を検出するようになしたことを特徴と
している。
シート状物を搬送させながらレーザー光をフライングス
ポット方式で照射し、その透過光によりシート状物の欠
陥を検出する方法において、前記レーザ光のシート状物
表面に向けて入射する直線偏光が入射面に平行にし、か
つこの入射角を略ブリュースタ角に選定し、レーザ光の
シート状物を通る透過光の干渉をなくし、この透過光で
シート状物の欠陥を検出するようになしたことを特徴と
している。
以ド、この発明の一実施例を第３図乃至第５１Δにノ、
（すいて詳却１に説明する。
（すいて詳却１に説明する。
レーザ光１１は回転する多面鏡１２で偏光され、所定の
速度で搬送されるシート状物１３に対して幅方向Ｂにス
キャンするようになっている。このシー［・状物１３は
、プラスチックのフィルム、ウェブあるいはガラス板等
である。
速度で搬送されるシート状物１３に対して幅方向Ｂにス
キャンするようになっている。このシー［・状物１３は
、プラスチックのフィルム、ウェブあるいはガラス板等
である。
この実施例では写真フィルム支持体に下引き肛・を形成
したシート状物１３の欠陥検出に適用している。このレ
ーザ光１１はシート状物１３を通り、拡散板１４を介し
て受光器１５で検出される。このとき、シート状物１３
に欠陥ａ。
したシート状物１３の欠陥検出に適用している。このレ
ーザ光１１はシート状物１３を通り、拡散板１４を介し
て受光器１５で検出される。このとき、シート状物１３
に欠陥ａ。
ｂ、ｃか存在すれば、その散乱光による光量の変化を受
光器１５によって電気的に演算しながら検出する。
光器１５によって電気的に演算しながら検出する。
このレーザ光１１は第４図に示すようにシート状物１３
の表面に入射する偏光を人ｍ面に平行にすれば、境界面
での屈折光および反射光はいずれも入射面内にある。そ
してこのレーザ光１１の入射角、すなわちシート状物１
３の幅方向に立だ入射法線Ｌ２に対してブリュースタ角
Ｏ１に選定する。
の表面に入射する偏光を人ｍ面に平行にすれば、境界面
での屈折光および反射光はいずれも入射面内にある。そ
してこのレーザ光１１の入射角、すなわちシート状物１
３の幅方向に立だ入射法線Ｌ２に対してブリュースタ角
Ｏ１に選定する。
このブリュースタ角Ｏ１は、理論的にはｔａｎＯｉ＝ｎ
（＋ｌ）ｉ：入射角 ｎ・屈折率）から得られる。
（＋ｌ）ｉ：入射角 ｎ・屈折率）から得られる。
このブリュースタ角Ｏ１においては、反射光には入用面
に平行な成分かなく、これに垂直な成分のみであり反射
しない。 そして、これを屈折率ｒ＋＝１．５２のカラ
スの場合について、レーザ光１１の偏光を平行に選ひ、
入射角を変化させて反射率を調べると、第５図のように
なり、入射角を５６度４０分にすると、その偏光のレー
ザ光１１の反射率は零となる。したがって内部反射をな
くすことができ干渉の原因となる１次光を生じない。こ
れによりシート状物１３を通る透過光の干渉をなく、第
３図のようにシート状物１３に欠陥が存在すれば、その
散乱光による光量の変化を受光器１５によって電気的に
演算しながら検出される。そして、透過光の干渉は軽減
されているから、この欠陥信号を電気的フィルタでパル
ス波形等に確実にすることかできる。
に平行な成分かなく、これに垂直な成分のみであり反射
しない。 そして、これを屈折率ｒ＋＝１．５２のカラ
スの場合について、レーザ光１１の偏光を平行に選ひ、
入射角を変化させて反射率を調べると、第５図のように
なり、入射角を５６度４０分にすると、その偏光のレー
ザ光１１の反射率は零となる。したがって内部反射をな
くすことができ干渉の原因となる１次光を生じない。こ
れによりシート状物１３を通る透過光の干渉をなく、第
３図のようにシート状物１３に欠陥が存在すれば、その
散乱光による光量の変化を受光器１５によって電気的に
演算しながら検出される。そして、透過光の干渉は軽減
されているから、この欠陥信号を電気的フィルタでパル
ス波形等に確実にすることかできる。
なお、レーザ光１１の前記のような偏光は、ｊ１′１線
偏光のレーザ光を用いれば、その光源の向 ４きを逆
ぶだけで簡単に得られる。また、ブリュースタ角の前後
で反射率の変化が第５図のように約±５度の範囲であれ
ば非常に緩やかて、かつその値も小さいため入用角の選
定が多少すれても問題はない。さらに、レーザ光１１は
スキャン方向に移動するため、レーザ光１１の入射角は
そのスキャン方向に変化していくが、この場合でもスキ
ャン方向と垂直方向に分けられ垂直方向は、干渉を起さ
ずスキャン方向しか影響しないから透過光の干渉は生じ
ない。
偏光のレーザ光を用いれば、その光源の向 ４きを逆
ぶだけで簡単に得られる。また、ブリュースタ角の前後
で反射率の変化が第５図のように約±５度の範囲であれ
ば非常に緩やかて、かつその値も小さいため入用角の選
定が多少すれても問題はない。さらに、レーザ光１１は
スキャン方向に移動するため、レーザ光１１の入射角は
そのスキャン方向に変化していくが、この場合でもスキ
ャン方向と垂直方向に分けられ垂直方向は、干渉を起さ
ずスキャン方向しか影響しないから透過光の干渉は生じ
ない。
この発明は前記のように、レーザ光のシート状物表面に
入射する偏光を入射面に平行にし、かつこの入射角を略
ブリュースタ角に逆方し、レーザ光のシート状物を通る
透過光の干渉をなくし、この透過光でシート状物の欠陥
を検出するようになしたから、受光手段に透過光の干渉
によるノイズの発生が防止され、シート状物の両面およ
び内部に存在する傷や汚れ等を確実に検出することがで
きる。
入射する偏光を入射面に平行にし、かつこの入射角を略
ブリュースタ角に逆方し、レーザ光のシート状物を通る
透過光の干渉をなくし、この透過光でシート状物の欠陥
を検出するようになしたから、受光手段に透過光の干渉
によるノイズの発生が防止され、シート状物の両面およ
び内部に存在する傷や汚れ等を確実に検出することがで
きる。
第１図はレーザ光の反射状態の説明図、第２図は受光器
での欠陥部の受光状態の説明図、第３図はこの発明の説
明図、第４図は無反射状態の説明図、第５図はレーザ光
の入射角と反射率関係を説明図である。 １１・・・レーザ光 １３・・・シート状物 １４・・
・拡散板 １５・・・受光器 特 許 出 願 人 小西六写真工業株式会社第１図 第２図 第３図 −〜□十−一一
での欠陥部の受光状態の説明図、第３図はこの発明の説
明図、第４図は無反射状態の説明図、第５図はレーザ光
の入射角と反射率関係を説明図である。 １１・・・レーザ光 １３・・・シート状物 １４・・
・拡散板 １５・・・受光器 特 許 出 願 人 小西六写真工業株式会社第１図 第２図 第３図 −〜□十−一一
Claims (1)
- 透光性を有するシート状物を搬送させながらレーザー光
をフライングスポ・ント方式で照射し、その透過光によ
りシート状物の欠陥を検出する方法において、前記レー
ザ光のシート状物表面に向けて入射する直線偏光を入射
面に平行にし、かつこの入射角を略ブリュースタ角に選
定し、レーザ光のシート状物を通る透過光の干渉をなく
し、この透過光でシート状物の欠陥を検出するようにな
したシート状物の欠陥検出方法
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58095532A JPH0643969B2 (ja) | 1983-05-30 | 1983-05-30 | シ−ト状物の欠陥検出方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58095532A JPH0643969B2 (ja) | 1983-05-30 | 1983-05-30 | シ−ト状物の欠陥検出方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS59220635A true JPS59220635A (ja) | 1984-12-12 |
| JPH0643969B2 JPH0643969B2 (ja) | 1994-06-08 |
Family
ID=14140163
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP58095532A Expired - Lifetime JPH0643969B2 (ja) | 1983-05-30 | 1983-05-30 | シ−ト状物の欠陥検出方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0643969B2 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS639853A (ja) * | 1986-06-30 | 1988-01-16 | Konica Corp | 配向性を有するシート状物の欠陥検出方法 |
| JP2012185091A (ja) * | 2011-03-07 | 2012-09-27 | Mitsubishi Electric Corp | シリコン基板の検査装置および検査方法 |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0645224U (ja) * | 1992-11-27 | 1994-06-14 | 第一電装部品株式会社 | プッシュスイッチ |
| JPH0648135U (ja) * | 1992-12-02 | 1994-06-28 | 第一電装部品株式会社 | プッシュスイッチ |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5316682A (en) * | 1976-07-29 | 1978-02-15 | Yaskawa Denki Seisakusho Kk | Flaw detector |
-
1983
- 1983-05-30 JP JP58095532A patent/JPH0643969B2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5316682A (en) * | 1976-07-29 | 1978-02-15 | Yaskawa Denki Seisakusho Kk | Flaw detector |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS639853A (ja) * | 1986-06-30 | 1988-01-16 | Konica Corp | 配向性を有するシート状物の欠陥検出方法 |
| JP2012185091A (ja) * | 2011-03-07 | 2012-09-27 | Mitsubishi Electric Corp | シリコン基板の検査装置および検査方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0643969B2 (ja) | 1994-06-08 |
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