JPH07229850A - 表面検査方法および装置 - Google Patents
表面検査方法および装置Info
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- JPH07229850A JPH07229850A JP6019478A JP1947894A JPH07229850A JP H07229850 A JPH07229850 A JP H07229850A JP 6019478 A JP6019478 A JP 6019478A JP 1947894 A JP1947894 A JP 1947894A JP H07229850 A JPH07229850 A JP H07229850A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 多種多様な欠陥の要因に影響されることな
く、突起欠陥のみを確実に検出する。 【構成】 シート状のフイルム１８は、検査ロール１１
の回転によって折り曲げ走行される。走査光２５は、フ
イルム１８の検査部１８ａと接するように投光器１２か
ら放出され、検査部１８ａを通過した後に、受光器１３
に入射する。受光器１３は、入射した走査光２５の光量
に比例した光電変換信号を信号処理回路１７に送出す
る。信号処理回路１７は、入力信号のレベルが低い時に
欠陥信号を発生する。また、レーザー光２０ａの光路内
に平行平面の光学ガラス１５が設けられている。光学ガ
ラス１５は、サーボ装置２８によって傾斜角度が調節さ
れ、これによって走査光２５の高さが調節される。
く、突起欠陥のみを確実に検出する。 【構成】 シート状のフイルム１８は、検査ロール１１
の回転によって折り曲げ走行される。走査光２５は、フ
イルム１８の検査部１８ａと接するように投光器１２か
ら放出され、検査部１８ａを通過した後に、受光器１３
に入射する。受光器１３は、入射した走査光２５の光量
に比例した光電変換信号を信号処理回路１７に送出す
る。信号処理回路１７は、入力信号のレベルが低い時に
欠陥信号を発生する。また、レーザー光２０ａの光路内
に平行平面の光学ガラス１５が設けられている。光学ガ
ラス１５は、サーボ装置２８によって傾斜角度が調節さ
れ、これによって走査光２５の高さが調節される。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、連続走行する被検査体
の表面に存在する突起欠陥を検出するための表面検査方
法および装置に関するものである。
の表面に存在する突起欠陥を検出するための表面検査方
法および装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】紙，金属板，プラスチックフイルム等の
支持体に各種物質を塗布した製品、例えば写真フイルム
や印画紙等は、その製造工程において、シート状または
ロール状の支持体を連続走行させ、この走行中に各種物
質を塗布するようにしている。この際、支持体は塗布ヘ
ッドと接触しないように一定のクリアランスを保って走
行される。このため、支持体の表面に塗布ヘッドとのク
リアランスよりも大きな高さの突起が存在すると、この
突起が塗布ヘッドに当接して支持体の走行を妨げるばか
りか、支持体が破断したり、あるいは塗布ヘッドが損傷
する等の不具合が発生する。したがって、上述のような
製品においては、支持体の表面に存在する突起欠陥を確
実に検出し、支持体が塗布工程に送られる以前に突起を
除去することが極めて重要である。
支持体に各種物質を塗布した製品、例えば写真フイルム
や印画紙等は、その製造工程において、シート状または
ロール状の支持体を連続走行させ、この走行中に各種物
質を塗布するようにしている。この際、支持体は塗布ヘ
ッドと接触しないように一定のクリアランスを保って走
行される。このため、支持体の表面に塗布ヘッドとのク
リアランスよりも大きな高さの突起が存在すると、この
突起が塗布ヘッドに当接して支持体の走行を妨げるばか
りか、支持体が破断したり、あるいは塗布ヘッドが損傷
する等の不具合が発生する。したがって、上述のような
製品においては、支持体の表面に存在する突起欠陥を確
実に検出し、支持体が塗布工程に送られる以前に突起を
除去することが極めて重要である。
【０００３】このように連続走行するシート状物の表面
に存在する欠陥を検出するために、例えば特開平４−１
２５４５５号公報で公知の表面検査装置が用いられてい
る。この表面検査装置は、正常部分と欠陥部分とで光の
反射率や透過率が異なることを利用しており、被検査体
の表面にレーザーによる走査光を照射してその反射光も
しくは透過光を受光器により光電検出し、この検出出力
に基づいて各種欠陥の有無を評価するものである。そし
て、この表面検査装置は、検出した反射光や透過光の強
度の変化から、異物の付着や凹凸の存在等の表面形状の
欠陥の他、表面色の濃度や光沢の異常など様々な欠陥の
有無を検査することができる。
に存在する欠陥を検出するために、例えば特開平４−１
２５４５５号公報で公知の表面検査装置が用いられてい
る。この表面検査装置は、正常部分と欠陥部分とで光の
反射率や透過率が異なることを利用しており、被検査体
の表面にレーザーによる走査光を照射してその反射光も
しくは透過光を受光器により光電検出し、この検出出力
に基づいて各種欠陥の有無を評価するものである。そし
て、この表面検査装置は、検出した反射光や透過光の強
度の変化から、異物の付着や凹凸の存在等の表面形状の
欠陥の他、表面色の濃度や光沢の異常など様々な欠陥の
有無を検査することができる。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記の
表面検査装置では、光電検出した反射光や透過光の強度
が検査部に存在する多種多様な欠陥の影響を受けている
ので、この中から突起欠陥だけを選択的に検出すること
は非常に困難である。即ち、検出感度を上げることで突
起欠陥を摘出することも可能となるが、同時に多数の検
出不要な微小欠陥まで検出してしまうことになり、逆に
検出感度を下げると肝心の突起欠陥を見逃してしまう恐
れがある。
表面検査装置では、光電検出した反射光や透過光の強度
が検査部に存在する多種多様な欠陥の影響を受けている
ので、この中から突起欠陥だけを選択的に検出すること
は非常に困難である。即ち、検出感度を上げることで突
起欠陥を摘出することも可能となるが、同時に多数の検
出不要な微小欠陥まで検出してしまうことになり、逆に
検出感度を下げると肝心の突起欠陥を見逃してしまう恐
れがある。
【０００５】本発明は上記の事情を考慮してなされたも
ので、被検査体の表面に存在する多種多様な欠陥の要因
に影響されることなく、突起欠陥のみを確実に検出する
ことができる表面検査方法および装置を提供することを
目的とする。
ので、被検査体の表面に存在する多種多様な欠陥の要因
に影響されることなく、突起欠陥のみを確実に検出する
ことができる表面検査方法および装置を提供することを
目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明の表面検査方法は、被検査体の検査部と接す
るように検査光を照射し、検査部上を通過した検査光を
光電検出し、この検出信号の信号レベルが低い時に欠陥
が存在すると判断するものである。
に、本発明の表面検査方法は、被検査体の検査部と接す
るように検査光を照射し、検査部上を通過した検査光を
光電検出し、この検出信号の信号レベルが低い時に欠陥
が存在すると判断するものである。
【０００７】また、請求項２および請求項３記載の表面
検査装置は、連続走行する被検査体の走行路を検査位置
で凸状に湾曲させるとともに、検査位置にある被検査体
の検査部と接するように検査光を放出し、この検査光を
検査部上で走査させる投光器と、検査部上を通過した検
査光を光電検出する受光器と、この受光器の検出信号の
レベルが低い時に欠陥信号を発生する信号発生手段とを
設け、被検査体の表面に存在する突起欠陥を検出するよ
うにしたものである。また、検査光の光路内に平行平面
の光学ガラスを配置するとともに、この光学ガラスを検
査光の進行方向に対して前方または後方側に傾けて検査
光の高さ位置を変化させる平行移動装置を設け、検査光
の照射高さを調節できるようにしてもよい。
検査装置は、連続走行する被検査体の走行路を検査位置
で凸状に湾曲させるとともに、検査位置にある被検査体
の検査部と接するように検査光を放出し、この検査光を
検査部上で走査させる投光器と、検査部上を通過した検
査光を光電検出する受光器と、この受光器の検出信号の
レベルが低い時に欠陥信号を発生する信号発生手段とを
設け、被検査体の表面に存在する突起欠陥を検出するよ
うにしたものである。また、検査光の光路内に平行平面
の光学ガラスを配置するとともに、この光学ガラスを検
査光の進行方向に対して前方または後方側に傾けて検査
光の高さ位置を変化させる平行移動装置を設け、検査光
の照射高さを調節できるようにしてもよい。
【０００８】また、請求項４および請求項５記載の表面
検査装置は、連続走行する被検査体の走行路を検査位置
で凸状に湾曲させるとともに、検査位置にある被検査体
の検査部と接する角度で、かつ光束の下側の一部が被検
査体に当接する高さに検査光を放出し、この検査光を検
査部上で走査させる投光器と、検査光の光束の上側の一
部を遮る遮光板と、この遮光板と被検査体の検査部との
間を通過した検査光を光電検出する受光器と、この受光
器の検出信号のレベルが低い時に欠陥信号を発生する信
号発生手段とを設けたものである。また、幅の短い遮光
部材を幅方向に複数枚並べて遮光板を構成し、各遮光部
材の検査光の光路内への挿入量をそれぞれに調整できる
ようにしてもよい。この時、隣合う遮光部材の端部が互
いに重なり合うように配置するとよい。
検査装置は、連続走行する被検査体の走行路を検査位置
で凸状に湾曲させるとともに、検査位置にある被検査体
の検査部と接する角度で、かつ光束の下側の一部が被検
査体に当接する高さに検査光を放出し、この検査光を検
査部上で走査させる投光器と、検査光の光束の上側の一
部を遮る遮光板と、この遮光板と被検査体の検査部との
間を通過した検査光を光電検出する受光器と、この受光
器の検出信号のレベルが低い時に欠陥信号を発生する信
号発生手段とを設けたものである。また、幅の短い遮光
部材を幅方向に複数枚並べて遮光板を構成し、各遮光部
材の検査光の光路内への挿入量をそれぞれに調整できる
ようにしてもよい。この時、隣合う遮光部材の端部が互
いに重なり合うように配置するとよい。
【０００９】
【実施例】図１は、本発明の表面検査装置の基本構造を
概略的に表したものである。表面検査装置１０は、検査
ロール１１，投光器１２，受光器１３，光センサ１４，
光学ガラス１５，平行移動装置１６，および信号処理回
路１７により構成されている。シート状のフイルム１８
は、検査ロール１１の外周に圧着され、検査ロール１１
の回転によって図中矢印方向に一定速度で折り曲げ走行
される。
概略的に表したものである。表面検査装置１０は、検査
ロール１１，投光器１２，受光器１３，光センサ１４，
光学ガラス１５，平行移動装置１６，および信号処理回
路１７により構成されている。シート状のフイルム１８
は、検査ロール１１の外周に圧着され、検査ロール１１
の回転によって図中矢印方向に一定速度で折り曲げ走行
される。
【００１０】投光器１２は、レーザー発振器２０，レン
ズ２１，回転多面鏡２２，および光路折り曲げ用の２枚
のミラー２３，２４により構成されている。レーザー発
振器２０から放射されたレーザー光２０ａは、ミラー２
３を介してレンズ２１に入射し、そのスポット径が調節
された後に、ミラー２４を介して高速回転する回転多面
鏡２２に入射する。そして、このレーザー光２０ａは、
回転多面鏡２２の回転によってフイルム１８上を幅方向
に高速走査する走査光２５となる。この走査光２５は、
図２に示すように、フイルム１８の検査部１８ａと接す
るように投光器１２から放出され、検査部１８ａを通過
した後に、フイルム１８の幅方向に延びた受光器１３に
入射する。
ズ２１，回転多面鏡２２，および光路折り曲げ用の２枚
のミラー２３，２４により構成されている。レーザー発
振器２０から放射されたレーザー光２０ａは、ミラー２
３を介してレンズ２１に入射し、そのスポット径が調節
された後に、ミラー２４を介して高速回転する回転多面
鏡２２に入射する。そして、このレーザー光２０ａは、
回転多面鏡２２の回転によってフイルム１８上を幅方向
に高速走査する走査光２５となる。この走査光２５は、
図２に示すように、フイルム１８の検査部１８ａと接す
るように投光器１２から放出され、検査部１８ａを通過
した後に、フイルム１８の幅方向に延びた受光器１３に
入射する。
【００１１】受光器１３は、フイルム１８の検査部１８
ａ上を通過した走査光２５を光電検出し、その強度に比
例した光電変換信号を平行移動装置１６と信号処理回路
１７とに送出する。また光センサ１４は、走査光２５の
走査範囲Ｗ１内で、かつフイルム１８上の走査領域Ｗ２
から走査上流側に外れた位置に設けられており、走査光
２５を受光した瞬間にパルス状の受光信号を発生して信
号処理回路１７に送出する。
ａ上を通過した走査光２５を光電検出し、その強度に比
例した光電変換信号を平行移動装置１６と信号処理回路
１７とに送出する。また光センサ１４は、走査光２５の
走査範囲Ｗ１内で、かつフイルム１８上の走査領域Ｗ２
から走査上流側に外れた位置に設けられており、走査光
２５を受光した瞬間にパルス状の受光信号を発生して信
号処理回路１７に送出する。
【００１２】光学ガラス１５は、均一屈折率で一定厚さ
の平面ガラスからなり、レーザー光２０ａの光路上で、
かつ回転多面鏡２２とミラー２４との間に配置されてい
る。そして、図３に示すように、レーザー光２０ａの進
行方向に対して前後方向に、回動自在に配置されてい
る。平行移動装置１６は、ローパスフィルタ２７とサー
ボ装置２８とから構成されている。そして、受光器１３
の光電変換信号は、ローパスフィルタ２７で高周波ノイ
ズが除去された後に、サーボ装置２８に送られる。サー
ボ装置２８は、ローパスフィルタ２７の出力信号のレベ
ルに基づいて光学ガラス１５の傾斜角度を調節する。
の平面ガラスからなり、レーザー光２０ａの光路上で、
かつ回転多面鏡２２とミラー２４との間に配置されてい
る。そして、図３に示すように、レーザー光２０ａの進
行方向に対して前後方向に、回動自在に配置されてい
る。平行移動装置１６は、ローパスフィルタ２７とサー
ボ装置２８とから構成されている。そして、受光器１３
の光電変換信号は、ローパスフィルタ２７で高周波ノイ
ズが除去された後に、サーボ装置２８に送られる。サー
ボ装置２８は、ローパスフィルタ２７の出力信号のレベ
ルに基づいて光学ガラス１５の傾斜角度を調節する。
【００１３】図４は、信号処理回路１７の構成を概略的
に示すものである。信号処理回路１７は、検査幅設定回
路３１，フィルター回路３２，二値化回路３３，および
アンド回路３４により構成されている。光センサ１４の
受光信号Ｓ１は、検査幅設定回路３１に入力される。検
査幅設定回路３１は、受光信号Ｓ１が入力されてから時
間Ｔa が経過した時にローレベルからハイレベルにな
り、時間Ｔb が経過した時に再びローレベルに戻る検査
幅信号Ｓ２を出力する。なお、時間Ｔa ，Ｔb は、走査
スピードとフイルム１８の幅寸法に応じて予め設定され
ており、時間Ｔaは走査光２５が光センサ１４を通過し
てから検査部位１８ａ上の検査開始位置に達するまでの
時間、時間Ｔb は光センサ１４を通過してから検査部位
１８ａ上の検査終了位置に達するまでの時間に設定され
ている。
に示すものである。信号処理回路１７は、検査幅設定回
路３１，フィルター回路３２，二値化回路３３，および
アンド回路３４により構成されている。光センサ１４の
受光信号Ｓ１は、検査幅設定回路３１に入力される。検
査幅設定回路３１は、受光信号Ｓ１が入力されてから時
間Ｔa が経過した時にローレベルからハイレベルにな
り、時間Ｔb が経過した時に再びローレベルに戻る検査
幅信号Ｓ２を出力する。なお、時間Ｔa ，Ｔb は、走査
スピードとフイルム１８の幅寸法に応じて予め設定され
ており、時間Ｔaは走査光２５が光センサ１４を通過し
てから検査部位１８ａ上の検査開始位置に達するまでの
時間、時間Ｔb は光センサ１４を通過してから検査部位
１８ａ上の検査終了位置に達するまでの時間に設定され
ている。
【００１４】一方、受光器１３からの光電変換信号Ｓ３
は、まずフィルター回路３２に入力される。フィルター
回路３２は、光電変換信号Ｓ３に含まれている低周波及
び高周波のノイズ成分を除去し、その出力信号Ｓ４を二
値化回路３３に送出する。二値化回路３３は、フィルタ
ー回路３２からの出力信号Ｓ４の信号レベルが予め設定
されているしきい値ＬTHLD以下になった時に、ハイレベ
ルとなる光量低下信号Ｓ５を発生させてアンド回路３４
に送出する。
は、まずフィルター回路３２に入力される。フィルター
回路３２は、光電変換信号Ｓ３に含まれている低周波及
び高周波のノイズ成分を除去し、その出力信号Ｓ４を二
値化回路３３に送出する。二値化回路３３は、フィルタ
ー回路３２からの出力信号Ｓ４の信号レベルが予め設定
されているしきい値ＬTHLD以下になった時に、ハイレベ
ルとなる光量低下信号Ｓ５を発生させてアンド回路３４
に送出する。
【００１５】アンド回路３４は、検査幅設定回路３１か
らの検査幅信号Ｓ２がハイレベルとなっている間に、二
値化回路３３から光量低下信号Ｓ５を入力すると、この
タイミングで欠陥信号Ｓ６を送出する。そして、この欠
陥信号Ｓ６がＣＰＵ（図示せず）に送られると、ＣＰＵ
が、例えば表示パネル（図示せず）に「欠陥あり」を表
示させる。
らの検査幅信号Ｓ２がハイレベルとなっている間に、二
値化回路３３から光量低下信号Ｓ５を入力すると、この
タイミングで欠陥信号Ｓ６を送出する。そして、この欠
陥信号Ｓ６がＣＰＵ（図示せず）に送られると、ＣＰＵ
が、例えば表示パネル（図示せず）に「欠陥あり」を表
示させる。
【００１６】次に、本実施例の作用について説明する。
フイルム１８がその被検査面を外側に向けて検査ローラ
１１に圧着されると、走査光２５の走査高さが調節され
る。まず投光器１２から走査光２５の照射が開始され、
この走査光２５がフイルム１８の検査部１８ａ上を通過
して受光器１３に入射する。受光器１３は、入射した走
査光２５を光電検出し、その強度に応じた光電変換信号
Ｓ１を送出する。この受光器１３からの光電変換信号Ｓ
１は、ローパスフィルタ２７で高周波ノイズが除去され
た後に、サーボ装置２８に送られる。この際、走査光２
５の走査高さが上方あるいは下方のいずれ側にずれてい
ても、受光器１３に入射する光量が減少するので、サー
ボ装置２８に入力される信号のレベルも低下する。
フイルム１８がその被検査面を外側に向けて検査ローラ
１１に圧着されると、走査光２５の走査高さが調節され
る。まず投光器１２から走査光２５の照射が開始され、
この走査光２５がフイルム１８の検査部１８ａ上を通過
して受光器１３に入射する。受光器１３は、入射した走
査光２５を光電検出し、その強度に応じた光電変換信号
Ｓ１を送出する。この受光器１３からの光電変換信号Ｓ
１は、ローパスフィルタ２７で高周波ノイズが除去され
た後に、サーボ装置２８に送られる。この際、走査光２
５の走査高さが上方あるいは下方のいずれ側にずれてい
ても、受光器１３に入射する光量が減少するので、サー
ボ装置２８に入力される信号のレベルも低下する。
【００１７】サーボ装置２８は、入力した信号レベルに
基づいて、光学ガラス１５の傾斜角度を調節する。この
際、光学ガラス１５の両面は光学的に平行であり、検査
光は入射光に対して高さ方向に平行移動するので、図３
に示すように、この光学ガラス１５をミラー２４側に傾
けると、レーザー光２０ａの光路が高く調節されて回転
多面鏡２２の高い位置で反射される。また逆に、光学ガ
ラス１５を回転多面鏡２２側に傾けると、レーザー光２
０ａの光路が低く調節されて回転多面鏡２２の低い位置
で反射される。これによって、走査光２５の高さが検査
部１８ａと接する高さに調節される。
基づいて、光学ガラス１５の傾斜角度を調節する。この
際、光学ガラス１５の両面は光学的に平行であり、検査
光は入射光に対して高さ方向に平行移動するので、図３
に示すように、この光学ガラス１５をミラー２４側に傾
けると、レーザー光２０ａの光路が高く調節されて回転
多面鏡２２の高い位置で反射される。また逆に、光学ガ
ラス１５を回転多面鏡２２側に傾けると、レーザー光２
０ａの光路が低く調節されて回転多面鏡２２の低い位置
で反射される。これによって、走査光２５の高さが検査
部１８ａと接する高さに調節される。
【００１８】走査光２５の走査高さの調節が終了する
と、検査ローラ１１が回転してフイルム１８が一定速度
で折り曲げ走行され、フイルム１８の表面検査が開始さ
れる。図５は、表面検査装置１０の各出力信号の概略波
形を表すものである。走査光２５が光センサ１４を通過
すると、このセンサ１４がパルス状の受光信号Ｓ１を発
生し、検査幅設定回路３１に送出する。検査幅設定回路
３１は、受光信号Ｓ１が入力されてから時間Ｔa が経過
し、走査光２５がフイルム１８の検査開始位置に達した
時に、その出力信号レベルをローレベルからハイレベル
に変化させる。また時間Ｔb が経過し、走査光２５がフ
イルム１８の検査終了位置に達した時に、検査幅設定回
路３１は、出力信号レベルを再びローレベルに戻す。し
たがって、この検査幅設定回路３１から出力される検査
幅信号Ｓ２は、走査光２５がフイルム１８の検査部１８
ａ上を走査している間だけハイレベルとなっている。
と、検査ローラ１１が回転してフイルム１８が一定速度
で折り曲げ走行され、フイルム１８の表面検査が開始さ
れる。図５は、表面検査装置１０の各出力信号の概略波
形を表すものである。走査光２５が光センサ１４を通過
すると、このセンサ１４がパルス状の受光信号Ｓ１を発
生し、検査幅設定回路３１に送出する。検査幅設定回路
３１は、受光信号Ｓ１が入力されてから時間Ｔa が経過
し、走査光２５がフイルム１８の検査開始位置に達した
時に、その出力信号レベルをローレベルからハイレベル
に変化させる。また時間Ｔb が経過し、走査光２５がフ
イルム１８の検査終了位置に達した時に、検査幅設定回
路３１は、出力信号レベルを再びローレベルに戻す。し
たがって、この検査幅設定回路３１から出力される検査
幅信号Ｓ２は、走査光２５がフイルム１８の検査部１８
ａ上を走査している間だけハイレベルとなっている。
【００１９】フイルム１８の検査部１８ａ上を通過した
走査光２５は、受光器１３に入射する。そして受光器１
３は、走査光２５を光電検出し、その強度に比例した光
電変換信号Ｓ３を出力する。この際、検査部１８ａ上に
障害物が存在しない時には、走査光２５の全光束が受光
器１３に入射する。一方、図２に示すように、検査部１
８ａ上に突起１８ｂが存在する場合には、走査光２５の
光束の一部が突起１８ｂによって遮られるので、受光器
１３に入射する光量が低下する。これによって、図５に
示すように、受光器１３の光電変換信号Ｓ３には、突起
１８ｂと対応した位置に、信号レベルが低下した突起信
号ＳP が発生する。
走査光２５は、受光器１３に入射する。そして受光器１
３は、走査光２５を光電検出し、その強度に比例した光
電変換信号Ｓ３を出力する。この際、検査部１８ａ上に
障害物が存在しない時には、走査光２５の全光束が受光
器１３に入射する。一方、図２に示すように、検査部１
８ａ上に突起１８ｂが存在する場合には、走査光２５の
光束の一部が突起１８ｂによって遮られるので、受光器
１３に入射する光量が低下する。これによって、図５に
示すように、受光器１３の光電変換信号Ｓ３には、突起
１８ｂと対応した位置に、信号レベルが低下した突起信
号ＳP が発生する。
【００２０】受光器１３の光電変換信号Ｓ３は、フィル
ター回路３２で低周波及び高周波のノイズ成分が除去さ
れた後に二値化回路３３に送られる。二値化回路３３
は、フィルター回路３２からの出力信号Ｓ４の信号レベ
ルが予め設定されているしきい値ＬTHLD以下になった時
に、光量低下信号Ｓ５を発生させてアンド回路３４に送
出する。この際、フィルター回路３２からの出力信号Ｓ
４の信号レベルが、突起信号ＳP の発生位置と、受光器
１３の受光窓の終端位置とで低下するので、二値化回路
３３からは、突起信号ＳP の発生位置および受光窓の終
端位置で光量低下信号Ｓ５が発生される。
ター回路３２で低周波及び高周波のノイズ成分が除去さ
れた後に二値化回路３３に送られる。二値化回路３３
は、フィルター回路３２からの出力信号Ｓ４の信号レベ
ルが予め設定されているしきい値ＬTHLD以下になった時
に、光量低下信号Ｓ５を発生させてアンド回路３４に送
出する。この際、フィルター回路３２からの出力信号Ｓ
４の信号レベルが、突起信号ＳP の発生位置と、受光器
１３の受光窓の終端位置とで低下するので、二値化回路
３３からは、突起信号ＳP の発生位置および受光窓の終
端位置で光量低下信号Ｓ５が発生される。
【００２１】アンド回路３４は、検査幅信号Ｓ２がハイ
レベルとなっている間に光量低下信号Ｓ５を入力した時
に、欠陥信号Ｓ６を送出する。したがって、突起信号Ｓ
P に対応した位置でのみ欠陥信号Ｓ６が発生される。そ
して、この欠陥信号Ｓ６がＣＰＵ（図示せず）に送られ
ると、ＣＰＵは、例えば表示パネル（図示せず）に「欠
陥あり」を表示する。
レベルとなっている間に光量低下信号Ｓ５を入力した時
に、欠陥信号Ｓ６を送出する。したがって、突起信号Ｓ
P に対応した位置でのみ欠陥信号Ｓ６が発生される。そ
して、この欠陥信号Ｓ６がＣＰＵ（図示せず）に送られ
ると、ＣＰＵは、例えば表示パネル（図示せず）に「欠
陥あり」を表示する。
【００２２】図６および図７は、本発明の表面検査装置
の第２実施例を示すものである。なお、図１および図２
に表した表面検査装置１０と共通の部材については、同
じ符号を付してある。この表面検査装置４０では、検査
ロール１１と投光器１２との間に、最大走査領域Ｗ３を
覆う長さの遮光板４１が設けられている。投光器１２か
ら放出される走査光４２は、そのスポット径が大きく調
節されており、光束の下部が検査ロール１１に保持され
たフイルム１８に当接するように照射される。また遮光
板４１は、走査光４２の光束の上部を遮るように、走査
光４２の光路内に侵入して配置される。したがって、走
査光４２は、光束の上部および下部が遮光板４１とフイ
ルム１８によって遮られ、検査部１８ａと遮光板４１と
の間を通過した光だけが受光器１３に入射する。そし
て、受光器１３が検出した走査光４２の光電変換信号は
信号処理回路１７に送られ、第１実施例で説明した表面
検査装置と同様にして信号処理が施されて突起欠陥が検
出される。
の第２実施例を示すものである。なお、図１および図２
に表した表面検査装置１０と共通の部材については、同
じ符号を付してある。この表面検査装置４０では、検査
ロール１１と投光器１２との間に、最大走査領域Ｗ３を
覆う長さの遮光板４１が設けられている。投光器１２か
ら放出される走査光４２は、そのスポット径が大きく調
節されており、光束の下部が検査ロール１１に保持され
たフイルム１８に当接するように照射される。また遮光
板４１は、走査光４２の光束の上部を遮るように、走査
光４２の光路内に侵入して配置される。したがって、走
査光４２は、光束の上部および下部が遮光板４１とフイ
ルム１８によって遮られ、検査部１８ａと遮光板４１と
の間を通過した光だけが受光器１３に入射する。そし
て、受光器１３が検出した走査光４２の光電変換信号は
信号処理回路１７に送られ、第１実施例で説明した表面
検査装置と同様にして信号処理が施されて突起欠陥が検
出される。
【００２３】この実施例によれば、走査光４２の走査高
さが多少ずれてしまっても、図８に示すように、走査光
４２は検査部１８ａと遮光板４１との間を必ず満たした
状態で通過するので、受光器１３に入射される光量にほ
とんど変化はない。したがって、前述の第１実施例のよ
うに、走査光の走査高さを調節するための装置を特別に
設けなくても、突起欠陥の検出を安定して行うことがで
きる利点がある。
さが多少ずれてしまっても、図８に示すように、走査光
４２は検査部１８ａと遮光板４１との間を必ず満たした
状態で通過するので、受光器１３に入射される光量にほ
とんど変化はない。したがって、前述の第１実施例のよ
うに、走査光の走査高さを調節するための装置を特別に
設けなくても、突起欠陥の検出を安定して行うことがで
きる利点がある。
【００２４】なお、上記実施例では、遮光板を検査ロー
ルに保持されたフイルムと投光器との間に配置し、走査
光の光束の上部側を遮光した後に検査部上を通過するよ
うにしたが、遮光板をフイルムと受光器との間に配置
し、走査光が検査部位を通過してから光束の上部側を遮
光し、その光量を制限するようにしてもよい。また、遮
光板は、最大走査領域Ｗ３内での走査光の上部側を遮る
ことができればよいので、投光器側に近づけて配置すれ
ば、その長さをより短くすることができる。
ルに保持されたフイルムと投光器との間に配置し、走査
光の光束の上部側を遮光した後に検査部上を通過するよ
うにしたが、遮光板をフイルムと受光器との間に配置
し、走査光が検査部位を通過してから光束の上部側を遮
光し、その光量を制限するようにしてもよい。また、遮
光板は、最大走査領域Ｗ３内での走査光の上部側を遮る
ことができればよいので、投光器側に近づけて配置すれ
ば、その長さをより短くすることができる。
【００２５】また上記実施例では、フイルムの幅方向に
長い遮光板を１枚だけ配置したが、図９に示すように、
複数枚の幅の短い遮光板５１を、それぞれに一部重ね合
わせながらフイルム１８の幅方向に並設し、遮光板移動
装置５２によってそれぞれの遮光板５１の上下位置及び
傾きを調節できるようにしておくことが望ましい。こう
することにより、フイルム１８の重さによって検査ロー
ル１１が撓んだ場合でも、フイルム１８と遮光板５１と
の隙間幅が均一となるように、それぞれの遮光板５１の
上下位置を調節するとともに、それぞれの傾きも調節し
て、遮光板５１の下端を連続した折れ線状にすることが
できる。したがって、この隙間を通過する走査光の光量
が常にほぼ一定となるので、突起欠陥の検出をより安定
して行うことができる。
長い遮光板を１枚だけ配置したが、図９に示すように、
複数枚の幅の短い遮光板５１を、それぞれに一部重ね合
わせながらフイルム１８の幅方向に並設し、遮光板移動
装置５２によってそれぞれの遮光板５１の上下位置及び
傾きを調節できるようにしておくことが望ましい。こう
することにより、フイルム１８の重さによって検査ロー
ル１１が撓んだ場合でも、フイルム１８と遮光板５１と
の隙間幅が均一となるように、それぞれの遮光板５１の
上下位置を調節するとともに、それぞれの傾きも調節し
て、遮光板５１の下端を連続した折れ線状にすることが
できる。したがって、この隙間を通過する走査光の光量
が常にほぼ一定となるので、突起欠陥の検出をより安定
して行うことができる。
【００２６】
【発明の効果】以上のように、本発明の表面検査方法お
よび装置によれば、被検査体の検査部と接するように走
査光を照射し、検査部上を通過した走査光の光量に基づ
いて欠陥の有無を判別するので、検査部上に突起が存在
する時には、走査光の光束の一部が遮られて検査部を通
過した後の光量が低くなり、欠陥の存在を検知すること
ができる。しかも、走査光は検査部に接するだけである
ので、その光量が被検査体の表面あるいは内部に発生し
ている他の欠陥要因に影響されることがなく、突起欠陥
のみを検出することができる。
よび装置によれば、被検査体の検査部と接するように走
査光を照射し、検査部上を通過した走査光の光量に基づ
いて欠陥の有無を判別するので、検査部上に突起が存在
する時には、走査光の光束の一部が遮られて検査部を通
過した後の光量が低くなり、欠陥の存在を検知すること
ができる。しかも、走査光は検査部に接するだけである
ので、その光量が被検査体の表面あるいは内部に発生し
ている他の欠陥要因に影響されることがなく、突起欠陥
のみを検出することができる。
【図１】本発明の表面検査装置を示す概略図である。
【図２】走査光と被検査体との位置関係を示す説明図で
ある。
ある。
【図３】光学ガラスの傾斜方向とレーザー光の高さとの
関係を示す説明図である。
関係を示す説明図である。
【図４】信号処理回路の構成を示すブロック図である。
【図５】図４に表した信号処理回路の各部における信号
波形の概略を示すチャート図である。
波形の概略を示すチャート図である。
【図６】表面検査装置の第２実施例を示す概略図であ
る。
る。
【図７】図６に表した表面検査装置の走査光の照射位置
を示す説明図である。
を示す説明図である。
【図８】図６に表した表面検査装置の走査光の高さと受
光器への入射状態との関係を示す説明図である。
光器への入射状態との関係を示す説明図である。
【図９】図６に表した表面検査装置の遮光板の別の構成
例を示す概略図である。
例を示す概略図である。
１０，４０ 表面検査装置 １１ 検査ロール １２ 投光器 １３ 受光器 １５ 光学ガラス １６ 平行移動装置 １７ 信号処理回路 １８ フイルム １８ａ 検査部 １８ｂ 突起 ２５，４２ 走査光 ４１，５１ 遮光板
Claims (5)
- 【請求項１】 被検査体の検査部と接するように検査光
を照射し、検査部上を通過した検査光を光電検出し、こ
の検出信号の信号レベルが低い時に欠陥が存在すると判
断することを特徴とする表面検査方法。 - 【請求項２】 連続走行する被検査体に検査光を照射す
るとともに、被検査体の検査部を通過した検査光を光電
検出し、この検出信号に基づいて欠陥部を検出する表面
検査装置において、 前記被検査体の走行路を検査位置で凸状に湾曲させると
ともに、前記検査位置にある被検査体の検査部と接する
ように検査光を放出し、この検査光を検査部上で走査さ
せる投光器と、検査部上を通過した検査光を光電検出す
る受光器と、この受光器の検出信号のレベルが低い時に
欠陥信号を発生する信号発生手段とを備え、被検査体の
表面に存在する突起欠陥を検出することを特徴とする表
面検査装置。 - 【請求項３】 前記検査光の光路内に、平行平面の光学
ガラスを配置するとともに、この光学ガラスを検査光の
進行方向に対して前方または後方側に傾けて検査光の高
さ位置を変化させる平行移動装置を設け、検査光の照射
高さを調節することを特徴とする請求項２記載の表面検
査装置。 - 【請求項４】 連続走行する被検査体に検査光を照射す
るとともに、被検査体の検査部を通過した検査光を光電
検出し、この検出信号に基づいて欠陥部を検出する表面
検査装置において、 前記被検査体の走行路を検査位置で凸状に湾曲させると
ともに、前記検査位置にある被検査体の検査部と接する
角度で、かつ光束の下側の一部が被検査体に当接する高
さに検査光を放出し、この検査光を検査部上で走査させ
る投光器と、検査光の光束の上側の一部を遮る遮光板
と、この遮光板と被検査体の検査部との間を通過した検
査光を光電検出する受光器と、この受光器の検出信号の
レベルが低い時に欠陥信号を発生する信号発生手段とを
備えたことを特徴とする表面検査装置。 - 【請求項５】 前記遮光板は、幅の短い遮光部材を幅方
向に複数枚並べてなり、隣合う遮光部材の端部が互いに
重なり合うように配置されるとともに、各遮光部材の検
査光の光路内への挿入量がそれぞれに調整されることを
特徴とする請求項４記載の表面検査装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP01947894A JP3380321B2 (ja) | 1994-02-16 | 1994-02-16 | 表面検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP01947894A JP3380321B2 (ja) | 1994-02-16 | 1994-02-16 | 表面検査装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07229850A true JPH07229850A (ja) | 1995-08-29 |
| JP3380321B2 JP3380321B2 (ja) | 2003-02-24 |
Family
ID=12000455
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP01947894A Expired - Fee Related JP3380321B2 (ja) | 1994-02-16 | 1994-02-16 | 表面検査装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3380321B2 (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006102609A (ja) * | 2004-10-04 | 2006-04-20 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | 基板処理装置 |
| WO2011018840A1 (ja) * | 2009-08-11 | 2011-02-17 | トヨタ自動車株式会社 | 異物検出装置及び異物検出方法 |
| CN104034728A (zh) * | 2013-03-06 | 2014-09-10 | 东友精细化工有限公司 | 薄膜检查用拍摄设备的位置修正方法 |
| CN104568949A (zh) * | 2014-12-23 | 2015-04-29 | 宁波亚洲浆纸业有限公司 | 一种纸板爆墨程度的定量检测方法及其装置 |
| CN116858141A (zh) * | 2023-09-02 | 2023-10-10 | 江苏迪牌新材料有限公司 | 一种pvc膜的平整度检测装置 |
-
1994
- 1994-02-16 JP JP01947894A patent/JP3380321B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006102609A (ja) * | 2004-10-04 | 2006-04-20 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | 基板処理装置 |
| WO2011018840A1 (ja) * | 2009-08-11 | 2011-02-17 | トヨタ自動車株式会社 | 異物検出装置及び異物検出方法 |
| JP5246525B2 (ja) * | 2009-08-11 | 2013-07-24 | トヨタ自動車株式会社 | 異物検出装置及び異物検出方法 |
| KR101348020B1 (ko) * | 2009-08-11 | 2014-01-07 | 도요타지도샤가부시키가이샤 | 이물질 검출 장치 및 이물질 검출 방법 |
| CN104034728A (zh) * | 2013-03-06 | 2014-09-10 | 东友精细化工有限公司 | 薄膜检查用拍摄设备的位置修正方法 |
| CN104568949A (zh) * | 2014-12-23 | 2015-04-29 | 宁波亚洲浆纸业有限公司 | 一种纸板爆墨程度的定量检测方法及其装置 |
| CN116858141A (zh) * | 2023-09-02 | 2023-10-10 | 江苏迪牌新材料有限公司 | 一种pvc膜的平整度检测装置 |
| CN116858141B (zh) * | 2023-09-02 | 2023-12-05 | 江苏迪牌新材料有限公司 | 一种pvc膜的平整度检测装置 |
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| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3380321B2 (ja) | 2003-02-24 |
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