JPH06207910A - 表面検査装置 - Google Patents
表面検査装置Info
- Publication number
- JPH06207910A JPH06207910A JP290993A JP290993A JPH06207910A JP H06207910 A JPH06207910 A JP H06207910A JP 290993 A JP290993 A JP 290993A JP 290993 A JP290993 A JP 290993A JP H06207910 A JPH06207910 A JP H06207910A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- light
- signal
- circuit
- film
- inspection
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
- G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
- G01N21/89—Investigating the presence of flaws or contamination in moving material, e.g. running paper or textiles
Abstract
(57)【要約】
【目的】 簡単な構造で、押し傷を検出できるようにす
る。 【構成】 レーザー光のビーム径より、レシーバー１０
の受光窓１３のスリット幅を小さくした。 【効果】 フイルムに投光されたレーザー光は、押し傷
により、透過後にその進路を若干変更される。これによ
り、レーザー光は受光窓に入射できなくなる。
る。 【構成】 レーザー光のビーム径より、レシーバー１０
の受光窓１３のスリット幅を小さくした。 【効果】 フイルムに投光されたレーザー光は、押し傷
により、透過後にその進路を若干変更される。これによ
り、レーザー光は受光窓に入射できなくなる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、連続走行しているウェ
ブ状の被検査体に対し、その幅方向に光ビームを走査し
ながら被検査体の欠陥を光電的に検査する表面検査装置
に関するものである。
ブ状の被検査体に対し、その幅方向に光ビームを走査し
ながら被検査体の欠陥を光電的に検査する表面検査装置
に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】走行しているウェブにレーザービームを
照射してその透過光もしくは反射光を受光器に入射さ
せ、ウェブに存在する各種の欠陥を受光器からの光電変
換出力に基づいて評価する装置は、例えば特開昭５９−
２２０６３６号公報，実開昭５１−８８２８２号公報，
実開昭５１−８９４８３号公報により公知である。
照射してその透過光もしくは反射光を受光器に入射さ
せ、ウェブに存在する各種の欠陥を受光器からの光電変
換出力に基づいて評価する装置は、例えば特開昭５９−
２２０６３６号公報，実開昭５１−８８２８２号公報，
実開昭５１−８９４８３号公報により公知である。
【０００３】こうした表面検査装置は、正常光だけをス
リット状の受光窓を通して受光器に入射させ、その出力
変動により欠陥部の検出を行う正受光方式と、正常光を
マスクで遮蔽し、異常光だけを受光器に入射させてその
出力増大により欠陥部の検出を行うマスク受光方式の２
種に大別される。前者の方式は、汚れや異物、さらには
ピンホール等のように、光ビームに濃度変化を与えるよ
うな欠陥が被検査体に存在しているときに有効な検査方
式であり、また後者の方式は、傷や色なしの異物等のよ
うに、光ビームを散乱させるような欠陥が被検査体に存
在しているときに有効な検査方式である。
リット状の受光窓を通して受光器に入射させ、その出力
変動により欠陥部の検出を行う正受光方式と、正常光を
マスクで遮蔽し、異常光だけを受光器に入射させてその
出力増大により欠陥部の検出を行うマスク受光方式の２
種に大別される。前者の方式は、汚れや異物、さらには
ピンホール等のように、光ビームに濃度変化を与えるよ
うな欠陥が被検査体に存在しているときに有効な検査方
式であり、また後者の方式は、傷や色なしの異物等のよ
うに、光ビームを散乱させるような欠陥が被検査体に存
在しているときに有効な検査方式である。
【０００４】正受光方式の検査装置では、光ビームの走
査方向に沿って一定のスリット幅をもった受光窓が設置
されているが、被検査体の正常な部位を光ビームが走査
しているときに、受光器からの出力が大きく変動するこ
とがないように受光窓のスリット幅を光ビームの径より
も大きくしている。一方、マスク受光方式では、光ビー
ムの走査方向に沿って一定幅をもったマスクが配置され
ているが、光ビームが各種の誤差の影響によって規定の
走査線上から多少ブレて走査された場合でも、正常光に
ついては確実に遮断できるように、また極細のマスク板
やマスクテープを検査幅全域にわたって精度良く取り付
けることが困難でもあることから、マスク幅は光ビーム
の数倍程度となっている。
査方向に沿って一定のスリット幅をもった受光窓が設置
されているが、被検査体の正常な部位を光ビームが走査
しているときに、受光器からの出力が大きく変動するこ
とがないように受光窓のスリット幅を光ビームの径より
も大きくしている。一方、マスク受光方式では、光ビー
ムの走査方向に沿って一定幅をもったマスクが配置され
ているが、光ビームが各種の誤差の影響によって規定の
走査線上から多少ブレて走査された場合でも、正常光に
ついては確実に遮断できるように、また極細のマスク板
やマスクテープを検査幅全域にわたって精度良く取り付
けることが困難でもあることから、マスク幅は光ビーム
の数倍程度となっている。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、フイル
ムベース等のように被検査体が薄いシート状のものであ
る場合には、上述した濃度欠陥部や光散乱性欠陥部の他
に、いわゆる押し傷と称される欠陥部が生じていること
が多い。このような押し傷は被検査体の表面が局部的に
わずかに曲がった形の欠陥として現れ、そこに光ビーム
が照射されたときには光の進行方向をごくわずかに変え
るだけである。このため、正受光方式ではこの欠陥部を
通った光はそのまま正常光として受光窓を経て受光器に
入射し、またマスク受光方式であっても欠陥部を通った
光はマスクで遮光されてしまう結果となり、いずれにし
てもその存在を検知することができない。
ムベース等のように被検査体が薄いシート状のものであ
る場合には、上述した濃度欠陥部や光散乱性欠陥部の他
に、いわゆる押し傷と称される欠陥部が生じていること
が多い。このような押し傷は被検査体の表面が局部的に
わずかに曲がった形の欠陥として現れ、そこに光ビーム
が照射されたときには光の進行方向をごくわずかに変え
るだけである。このため、正受光方式ではこの欠陥部を
通った光はそのまま正常光として受光窓を経て受光器に
入射し、またマスク受光方式であっても欠陥部を通った
光はマスクで遮光されてしまう結果となり、いずれにし
てもその存在を検知することができない。
【０００６】本発明は上記従来技術の欠点を解決するた
めになされたもので、シート状の被検査体に生じた押し
傷欠陥についても良好に検査することができるようにし
た表面検査装置を提供することを目的とする。
めになされたもので、シート状の被検査体に生じた押し
傷欠陥についても良好に検査することができるようにし
た表面検査装置を提供することを目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】本発明は上記目的を達成
するために、被検査体に幅方向に光ビームを走査し、被
検査体を経た検査光を光ビームの径以下のスリット幅に
した受光窓を通して受光器に入射させる構造にした。こ
のようにスリット幅を狭めると、光ビームが規定の走査
線からわずかでも外れた場合、被検査体が正常であって
も受光器出力が変動して検査精度を安定に維持すること
が困難になるため、請求項２記載のように、受光器にオ
ートゲインコントロール回路を接続し、光ビームがその
半径以内の範囲で振れても受光器出力を正規のレベルま
で増幅しておくのがよい。また、受光窓に拡散透過板を
取り付け、被検査体を経た光をこの拡散透過板を通して
受光器に入射させる構成にすることによって、検査精度
をさらに安定に維持することができる。
するために、被検査体に幅方向に光ビームを走査し、被
検査体を経た検査光を光ビームの径以下のスリット幅に
した受光窓を通して受光器に入射させる構造にした。こ
のようにスリット幅を狭めると、光ビームが規定の走査
線からわずかでも外れた場合、被検査体が正常であって
も受光器出力が変動して検査精度を安定に維持すること
が困難になるため、請求項２記載のように、受光器にオ
ートゲインコントロール回路を接続し、光ビームがその
半径以内の範囲で振れても受光器出力を正規のレベルま
で増幅しておくのがよい。また、受光窓に拡散透過板を
取り付け、被検査体を経た光をこの拡散透過板を通して
受光器に入射させる構成にすることによって、検査精度
をさらに安定に維持することができる。
【０００８】
【実施例】本発明装置の基本構造を概略的に表した図１
において、スキャナ２はレーザー発振器３，ミラー４，
レンズ５，回転多面鏡６，光センサ７から構成されてい
る。レーザー発振器３から放射されたレーザー光は、レ
ンズ５によって図中矢印方向に連続走行するフイルム８
の表面上で所定径Ｌ１（＝５ｍｍ）の光ビームとなり、
時計方向に高速回転する回転多面鏡６によりフイルム８
を幅方向に走査する。なお、光センサ７は光ビームがフ
イルム８を走査する直前で光ビームを受光し、検査幅設
定の基準となる基点通過信号を出力する。
において、スキャナ２はレーザー発振器３，ミラー４，
レンズ５，回転多面鏡６，光センサ７から構成されてい
る。レーザー発振器３から放射されたレーザー光は、レ
ンズ５によって図中矢印方向に連続走行するフイルム８
の表面上で所定径Ｌ１（＝５ｍｍ）の光ビームとなり、
時計方向に高速回転する回転多面鏡６によりフイルム８
を幅方向に走査する。なお、光センサ７は光ビームがフ
イルム８を走査する直前で光ビームを受光し、検査幅設
定の基準となる基点通過信号を出力する。
【０００９】フイルム８を透過した検査光を受光するた
めに、光ビームの走査方向に延びたレシーバー１０が用
いられている。図２に示したように、レシーバー１０の
前面には一対のマスク板１１，１２が設けられ、これら
の間隙を調節することによって光ビームの走査方向と平
行なスリット幅Ｌ２（＝１ｍｍ）の受光窓１３が形成さ
れている。受光窓１３の奥には、シリンドリカルレンズ
１４及びアクリルロッドからなる導光棒１５が設けら
れ、さらに導光棒１５の背面側には散乱帯１６が設けら
れている。このため、受光窓１３に入ったレーザー光は
シリンドリカルレンズ１４で集められ、導光棒１５を通
過して散乱帯１６に入射し、反射される。散乱帯１６で
反射された一部の光は、導光棒１５の内部から抜け出す
ことなく、界面で反射を繰り返しながら、端面まで損失
なく伝達され、図１に示すようにレシーバー１０の両端
部に設けられた光電子増倍管１７，１８に受光される。
めに、光ビームの走査方向に延びたレシーバー１０が用
いられている。図２に示したように、レシーバー１０の
前面には一対のマスク板１１，１２が設けられ、これら
の間隙を調節することによって光ビームの走査方向と平
行なスリット幅Ｌ２（＝１ｍｍ）の受光窓１３が形成さ
れている。受光窓１３の奥には、シリンドリカルレンズ
１４及びアクリルロッドからなる導光棒１５が設けら
れ、さらに導光棒１５の背面側には散乱帯１６が設けら
れている。このため、受光窓１３に入ったレーザー光は
シリンドリカルレンズ１４で集められ、導光棒１５を通
過して散乱帯１６に入射し、反射される。散乱帯１６で
反射された一部の光は、導光棒１５の内部から抜け出す
ことなく、界面で反射を繰り返しながら、端面まで損失
なく伝達され、図１に示すようにレシーバー１０の両端
部に設けられた光電子増倍管１７，１８に受光される。
【００１０】図３は上述した表面検査装置の信号処理回
路を概略的に示すものである。レーザー光を受光した光
電子増倍管１７，１８は、レーザー光の光量に比例した
光電変換信号をそれぞれ出力し、これらをＡＧＣ回路
（オート・ゲイン・コントロール回路）２０に供給す
る。このＡＧＣ回路２０は光電子増倍管１７，１８から
の光電変換信号Ｓ１，Ｓ２を加算する他、欠陥部がない
正常なフイルム８に対して光ビームを走査し、その検査
光をレシーバー１０に入射させたときに、その走査中心
線の位置にかかわらず信号出力が一定レベルになるよう
に光電変換信号を増幅する。したがって、熱膨張等によ
って走査中心線のズレが起きて、図４に示したように正
常なフイルム８を透過した検査光（光ビームと同じ径）
の中心光軸が受光窓１３の中心からずれてしまっていて
も、図５に示したように検査光の中心光軸が受光窓１７
の中心に正しく入射しているような場合でも、ＡＧＣ回
路２０からは一定レベルの信号出力Ｓ３が得られるよう
になる。また、レーザー発振器３の劣化等によるパワー
変動が起きても、上述のＡＧＣ回路２０で補償される。
路を概略的に示すものである。レーザー光を受光した光
電子増倍管１７，１８は、レーザー光の光量に比例した
光電変換信号をそれぞれ出力し、これらをＡＧＣ回路
（オート・ゲイン・コントロール回路）２０に供給す
る。このＡＧＣ回路２０は光電子増倍管１７，１８から
の光電変換信号Ｓ１，Ｓ２を加算する他、欠陥部がない
正常なフイルム８に対して光ビームを走査し、その検査
光をレシーバー１０に入射させたときに、その走査中心
線の位置にかかわらず信号出力が一定レベルになるよう
に光電変換信号を増幅する。したがって、熱膨張等によ
って走査中心線のズレが起きて、図４に示したように正
常なフイルム８を透過した検査光（光ビームと同じ径）
の中心光軸が受光窓１３の中心からずれてしまっていて
も、図５に示したように検査光の中心光軸が受光窓１７
の中心に正しく入射しているような場合でも、ＡＧＣ回
路２０からは一定レベルの信号出力Ｓ３が得られるよう
になる。また、レーザー発振器３の劣化等によるパワー
変動が起きても、上述のＡＧＣ回路２０で補償される。
【００１１】ＡＧＣ回路２０からの信号出力Ｓ３は、バ
ンドパスフィルタを含むフィルター回路２１に入力され
る。そしてフィルター回路２１は、信号出力Ｓ３に重畳
されている低周波及び高周波ノイズ信号を除去し、その
信号出力Ｓ４が二値化回路２２に入力される。二値化回
路２２は、図７に示した閾値（ＴＨＬＤ）により信号出
力Ｓ４を二値化する。これにより信号出力Ｓ４は、信号
レベルが閾値以下になったときにハイレベルとなる欠陥
信号と、それ以外のときにローレベルとなる正常信号と
に二値化される。そしてこれらの信号からなる評価信号
Ｓ５は、アンド回路２３に入力される。
ンドパスフィルタを含むフィルター回路２１に入力され
る。そしてフィルター回路２１は、信号出力Ｓ３に重畳
されている低周波及び高周波ノイズ信号を除去し、その
信号出力Ｓ４が二値化回路２２に入力される。二値化回
路２２は、図７に示した閾値（ＴＨＬＤ）により信号出
力Ｓ４を二値化する。これにより信号出力Ｓ４は、信号
レベルが閾値以下になったときにハイレベルとなる欠陥
信号と、それ以外のときにローレベルとなる正常信号と
に二値化される。そしてこれらの信号からなる評価信号
Ｓ５は、アンド回路２３に入力される。
【００１２】一方、光センサ７は光ビームの走査開始前
に一定のタイミングで基点通過信号Ｓ６を出力し、この
基点通過信号Ｓ６が検査幅設定回路２５に入力される。
検査幅設定回路２５は、フイルム８の幅寸法に対応して
予め設定されている検査幅データに基づき、前記基点通
過信号Ｓ６が入力された時点から時間ΔＴ経過の後、時
間幅Ｔの間だけハイレベルとなる検査幅信号Ｓ７を出力
する。そして、この検査幅信号Ｓ７によってアンド回路
２５がゲートオープン状態となる。したがって、検査幅
信号Ｓ７がハイレベルとなっている期間中に欠陥信号が
現れた場合に、アンド回路２５から欠陥検出信号Ｓ８が
出力される。
に一定のタイミングで基点通過信号Ｓ６を出力し、この
基点通過信号Ｓ６が検査幅設定回路２５に入力される。
検査幅設定回路２５は、フイルム８の幅寸法に対応して
予め設定されている検査幅データに基づき、前記基点通
過信号Ｓ６が入力された時点から時間ΔＴ経過の後、時
間幅Ｔの間だけハイレベルとなる検査幅信号Ｓ７を出力
する。そして、この検査幅信号Ｓ７によってアンド回路
２５がゲートオープン状態となる。したがって、検査幅
信号Ｓ７がハイレベルとなっている期間中に欠陥信号が
現れた場合に、アンド回路２５から欠陥検出信号Ｓ８が
出力される。
【００１３】このように構成された本発明の表面検査装
置について図６及び各出力信号の概略波形を示す図７を
参照して説明する。レーザー発振器３から発せられたレ
ーザー光は、ミラー４，レンズ５を介して、高速回転中
の回転多面鏡６に入射する。回転多面鏡６で反射された
光ビームは、フイルム８を透過し、受光窓１３に入射す
る。受光窓１３に入射した光ビームは導光棒１５を介し
て、光電子増倍管１７，１８に受光される。光電子増倍
管１７，１８は光ビームの光量に準じた光電変換信号を
ＡＧＣ回路２０に送る。
置について図６及び各出力信号の概略波形を示す図７を
参照して説明する。レーザー発振器３から発せられたレ
ーザー光は、ミラー４，レンズ５を介して、高速回転中
の回転多面鏡６に入射する。回転多面鏡６で反射された
光ビームは、フイルム８を透過し、受光窓１３に入射す
る。受光窓１３に入射した光ビームは導光棒１５を介し
て、光電子増倍管１７，１８に受光される。光電子増倍
管１７，１８は光ビームの光量に準じた光電変換信号を
ＡＧＣ回路２０に送る。
【００１４】前記光ビームが、図６に示すようにフイル
ム８の押し傷８ａに照射されると、透過後の進路は図示
のように押し傷８ａを境に上下に二分され、受光窓１３
にはレーザー光が入射しないようになる。このとき、光
電子増倍管１７，１８の出力レベルが低下するから、光
電子増倍管１７，１８がそれぞれ出力する１ライン分の
光電変換信号Ｓ１，Ｓ２は図７に示すようになる。
ム８の押し傷８ａに照射されると、透過後の進路は図示
のように押し傷８ａを境に上下に二分され、受光窓１３
にはレーザー光が入射しないようになる。このとき、光
電子増倍管１７，１８の出力レベルが低下するから、光
電子増倍管１７，１８がそれぞれ出力する１ライン分の
光電変換信号Ｓ１，Ｓ２は図７に示すようになる。
【００１５】この光電変換信号Ｓ１，Ｓ２は加算されて
信号出力Ｓ３としてフイルター回路２１に送られる。こ
の信号出力Ｓ３は、フイルター回路２１により、信号出
力Ｓ４に変換される。この信号出力Ｓ４は二値化回路２
２により評価信号Ｓ５に変換され、ＡＮＤ回路２３に供
給される。
信号出力Ｓ３としてフイルター回路２１に送られる。こ
の信号出力Ｓ３は、フイルター回路２１により、信号出
力Ｓ４に変換される。この信号出力Ｓ４は二値化回路２
２により評価信号Ｓ５に変換され、ＡＮＤ回路２３に供
給される。
【００１６】このＡＮＤ回路２３には、基準通過信号Ｓ
６が検査幅設定回路２５に入力されて一定時間が経過す
ると、検査設定回路２５から検査幅信号Ｓ７が供給され
る。これにより、ＡＮＤ回路２３は欠陥検出信号Ｓ８を
図示しないＣＰＵに送り、ＣＰＵは表示パネル（図示省
略）に「欠陥あり」を表示する。なお、フイルム８に汚
れや異物がある場合には、光ビームが受光窓１３に入射
しないから、本発明の表面検査装置は押し傷８ａ同様に
これらを検出し、表示パネルに「欠陥あり」を表示す
る。
６が検査幅設定回路２５に入力されて一定時間が経過す
ると、検査設定回路２５から検査幅信号Ｓ７が供給され
る。これにより、ＡＮＤ回路２３は欠陥検出信号Ｓ８を
図示しないＣＰＵに送り、ＣＰＵは表示パネル（図示省
略）に「欠陥あり」を表示する。なお、フイルム８に汚
れや異物がある場合には、光ビームが受光窓１３に入射
しないから、本発明の表面検査装置は押し傷８ａ同様に
これらを検出し、表示パネルに「欠陥あり」を表示す
る。
【００１７】図８はレシーバー１０の微小のキズに起因
する受光ムラを防止するようにした本発明の別の実施例
を示すものである。この実施例では受光窓１３の前面
に、フイルム８を透過した光ビームを散乱させる拡散透
過板３０を取り付けている。このような構成では、光ビ
ームは、拡散透過板３０を通過するときに拡散されて、
受光窓１３に入射するようになる。このため、例えばシ
リンドリカルレンズ１４、導光棒１５や散乱帯１６に微
小の傷があっても、レシーバー１０から出力される光電
変換信号に前記傷によるノイズが乗るのを防止すること
ができる。
する受光ムラを防止するようにした本発明の別の実施例
を示すものである。この実施例では受光窓１３の前面
に、フイルム８を透過した光ビームを散乱させる拡散透
過板３０を取り付けている。このような構成では、光ビ
ームは、拡散透過板３０を通過するときに拡散されて、
受光窓１３に入射するようになる。このため、例えばシ
リンドリカルレンズ１４、導光棒１５や散乱帯１６に微
小の傷があっても、レシーバー１０から出力される光電
変換信号に前記傷によるノイズが乗るのを防止すること
ができる。
【００１８】
【発明の効果】以上に説明したように、本発明の表面検
査装置では、被検査体を透過もしくは反射された検査光
を受光する受光窓のスリット幅を、受光器に照射される
光ビームの径以下にした簡単な構成で、検査光の進路を
散乱させることのなく若干曲げるだけで、検査光を吸収
または遮蔽しない押し傷等を検出することができる。
査装置では、被検査体を透過もしくは反射された検査光
を受光する受光窓のスリット幅を、受光器に照射される
光ビームの径以下にした簡単な構成で、検査光の進路を
散乱させることのなく若干曲げるだけで、検査光を吸収
または遮蔽しない押し傷等を検出することができる。
【００１９】また本発明の表面検査装置によれば、前記
受光器にＡＧＣ回路を接続したから、受光窓のスリット
幅を光ビームの径以下に小さくしたときに、光ビームが
規定の走査線上から多少ずれて走査された場合にも、受
光器の出力レベルを安定したものとすることができる。
更にまた本発明の表面検査装置では、受光窓に拡散透光
板を取り付けたから、受光器の欠陥によるノイズの影響
を防止することができる。
受光器にＡＧＣ回路を接続したから、受光窓のスリット
幅を光ビームの径以下に小さくしたときに、光ビームが
規定の走査線上から多少ずれて走査された場合にも、受
光器の出力レベルを安定したものとすることができる。
更にまた本発明の表面検査装置では、受光窓に拡散透光
板を取り付けたから、受光器の欠陥によるノイズの影響
を防止することができる。
【図１】本発明の表面検査装置の基本的構成を示す斜視
図である。
図である。
【図２】レシーバーの内部を示す断面図である。
【図３】表面検査装置の信号処理回路の概略的構成を示
すブロック図である。
すブロック図である。
【図４】スリット幅方向にレーザー光がずれたときの入
射光量を示す図である。
射光量を示す図である。
【図５】受光窓の中心にレーザー光が投光されたときの
入射光量を示す図である。
入射光量を示す図である。
【図６】透過光の進路が押し傷により変更された様子を
示す図である。
示す図である。
【図７】図３のブロック図の各部における信号波形の概
略を示すチャート図である。
略を示すチャート図である。
【図８】本発明の別の実施例を示すレシーバーの断面図
である。
である。
２ スキャナ ３ レーザー発振器 ８ フイルム ９ 回転多面鏡 １０ レシーバー １３ 受光窓 １７，１８ 光電子増倍管 ２０ ＡＧＣ回路 ３０ 拡散透過板
Claims (3)
- 【請求項１】 連続走行するシート状の被検査体にその
幅方向に光ビームを走査し、被検査体を透過もしくは反
射した検査光を、光ビームの径以下のスリット幅をも
ち、光ビームの走査方向と平行に配置した受光窓を通し
て受光器に入射させ、この受光器からの光電変換出力に
より被検査体の表面欠陥を検査することを特徴とする表
面検査装置。 - 【請求項２】 前記受光器にオートゲインコントロール
回路を接続し、被検査体の正常な部位を透過もしくは反
射した検査光がスリットを通過する光量が変化した場合
でも、受光器の光電変換出力を一定レベルまで増幅する
ようにしたことを特徴とする請求項１記載の表面検査装
置。 - 【請求項３】 前記受光窓に拡散透過板を取り付けたこ
とを特徴とする請求項１もしくは請求項２記載の表面検
査装置。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP290993A JPH06207910A (ja) | 1993-01-11 | 1993-01-11 | 表面検査装置 |
| EP94100117A EP0606849A3 (en) | 1993-01-11 | 1994-01-05 | Surface inspecting apparatus. |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP290993A JPH06207910A (ja) | 1993-01-11 | 1993-01-11 | 表面検査装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06207910A true JPH06207910A (ja) | 1994-07-26 |
Family
ID=11542489
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP290993A Pending JPH06207910A (ja) | 1993-01-11 | 1993-01-11 | 表面検査装置 |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| EP (1) | EP0606849A3 (ja) |
| JP (1) | JPH06207910A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR19990037083A (ko) * | 1997-10-14 | 1999-05-25 | 디. 크레이그 노룬드 | 이미지 스캐너 및 투과 이미지 매체 상의 표면 결점 검출 방버부 |
| CN107991307A (zh) * | 2017-08-28 | 2018-05-04 | 中国人民解放军总后勤部油料研究所 | 一种软质材料表面裂纹自动检测装置及方法 |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| ES2156093B1 (es) * | 1999-10-25 | 2002-03-16 | Univ Navarra Publica | Detector optoelectronico de grietas en superficies metalicas en movimiento. |
| EP3237840B1 (en) * | 2014-12-24 | 2020-05-20 | Robert Bosch GmbH | Method for the positioning of a rotating laser beam using a laser receiver |
Family Cites Families (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4297587A (en) * | 1980-03-07 | 1981-10-27 | Intec Corporation | Absolute DC system for a laser inspection system |
| US4522497A (en) * | 1981-06-17 | 1985-06-11 | Ciba Geigy Ag | Web scanning apparatus |
| US4818861A (en) * | 1986-06-25 | 1989-04-04 | Hitachi Medical Corp. | Film image reading out device |
| WO1988009497A1 (en) * | 1987-05-27 | 1988-12-01 | Nippon Sheet Glass Co., Ltd. | Discriminative flaw detector for light-transmissive sheet material |
-
1993
- 1993-01-11 JP JP290993A patent/JPH06207910A/ja active Pending
-
1994
- 1994-01-05 EP EP94100117A patent/EP0606849A3/en not_active Withdrawn
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR19990037083A (ko) * | 1997-10-14 | 1999-05-25 | 디. 크레이그 노룬드 | 이미지 스캐너 및 투과 이미지 매체 상의 표면 결점 검출 방버부 |
| CN107991307A (zh) * | 2017-08-28 | 2018-05-04 | 中国人民解放军总后勤部油料研究所 | 一种软质材料表面裂纹自动检测装置及方法 |
| CN107991307B (zh) * | 2017-08-28 | 2020-04-28 | 中国人民解放军总后勤部油料研究所 | 一种软质材料表面裂纹自动检测装置及方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| EP0606849A3 (en) | 1996-03-06 |
| EP0606849A2 (en) | 1994-07-20 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| GB1315654A (en) | Detection of faults in transparent material using lasers | |
| US5070237A (en) | Optical measurement and detection system | |
| US4522497A (en) | Web scanning apparatus | |
| JPH06207910A (ja) | 表面検査装置 | |
| US5166535A (en) | Surface inspecting apparatus with surface inspection width adjustment | |
| JP2873450B2 (ja) | 光による欠点検査装置 | |
| JPS6365883B2 (ja) | ||
| JPH0434348A (ja) | シート状物検査装置 | |
| JP3380321B2 (ja) | 表面検査装置 | |
| JP3256383B2 (ja) | 表面検査装置 | |
| JPS6344151A (ja) | 外観検査装置 | |
| JP3490792B2 (ja) | 表面検査装置 | |
| JP2002328098A (ja) | 模擬欠陥サンプル及び欠陥検査装置の感度検出方法 | |
| RU2035721C1 (ru) | Способ контроля прозрачности плоских светопропускающих материалов | |
| JPS6013137B2 (ja) | 欠陥検出方法 | |
| JP3174615B2 (ja) | 欠陥検査装置における投光光学系 | |
| JPS62197751A (ja) | 物体の欠陥検査装置 | |
| JP3190725B2 (ja) | 欠陥検出方法および装置 | |
| JP2594969B2 (ja) | 欠陥検出装置 | |
| JPH0326447Y2 (ja) | ||
| JPS60222756A (ja) | 異物検査装置 | |
| JPH06160302A (ja) | 走行ストリップの表面疵検査方法及び装置 | |
| KR100226904B1 (ko) | 레이저를 이용한 냉연강판의 표면홈 검출방법및그장치 | |
| JP3406951B2 (ja) | 表面状態検査装置 | |
| JPH0961373A (ja) | 表面欠陥検出方法および装置 |