JPS6344151A - 外観検査装置 - Google Patents
外観検査装置Info
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- JPS6344151A JPS6344151A JP18898286A JP18898286A JPS6344151A JP S6344151 A JPS6344151 A JP S6344151A JP 18898286 A JP18898286 A JP 18898286A JP 18898286 A JP18898286 A JP 18898286A JP S6344151 A JPS6344151 A JP S6344151A
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- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 7
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
- G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
- G01N21/95—Investigating the presence of flaws or contamination characterised by the material or shape of the object to be examined
- G01N21/956—Inspecting patterns on the surface of objects
- G01N21/95607—Inspecting patterns on the surface of objects using a comparative method
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〈産業上の利用分野〉
この発明は、軸受の円筒コロの外観検査をするための外
観検査装置に関する。
観検査装置に関する。
〈従来の技術〉
従来、円筒コ〔）の外観検査においては、測定光学系の
製作、コＡ１１ｉ？ｉの容易さ等のために円筒コロの円
筒面のみが外観検査されていた。この外用険たを行なう
外観検査装置としては第６図に示ずらのがある。この外
観検査装置は、レーザー光を用いたフライング・スポッ
ト走査方式であって、レーザー１． ミラー２、光スキ
ャナ３、集光レンズ５、円筒コ〔２６、フレネルレンズ
７、光彩絞り８、集光レンズ９、スリット１１および光
電子増倍管１２をす；イえている。そして、レーザー）
■を円筒コΩ６の円筒面に照射して、反射光を受光して
）しＭ子増倍管１２で光電変換する。光電変換された後
の電気信号を増幅器１４１て増幅して第６図に示す光学
信号波形を判別装置１５で基♀値と比較して円筒コロ６
の適否を判定している。
製作、コＡ１１ｉ？ｉの容易さ等のために円筒コロの円
筒面のみが外観検査されていた。この外用険たを行なう
外観検査装置としては第６図に示ずらのがある。この外
観検査装置は、レーザー光を用いたフライング・スポッ
ト走査方式であって、レーザー１． ミラー２、光スキ
ャナ３、集光レンズ５、円筒コ〔２６、フレネルレンズ
７、光彩絞り８、集光レンズ９、スリット１１および光
電子増倍管１２をす；イえている。そして、レーザー）
■を円筒コΩ６の円筒面に照射して、反射光を受光して
）しＭ子増倍管１２で光電変換する。光電変換された後
の電気信号を増幅器１４１て増幅して第６図に示す光学
信号波形を判別装置１５で基♀値と比較して円筒コロ６
の適否を判定している。
〈発明が解決しようとする問題点〉
ところが、上記従来の外観検査装置では、前述しｆ二よ
うに外観検査かできるのは円筒コロ６の円筒面のみであ
ったため、外観検査が要求される円筒コロ６の両端面の
検査を行うことかできないという問題がある。
うに外観検査かできるのは円筒コロ６の円筒面のみであ
ったため、外観検査が要求される円筒コロ６の両端面の
検査を行うことかできないという問題がある。
そこで、この発明の目的は、被検査物の円筒面と両端面
との両面を容易に外観検査できる外観検査装置を提供す
ることにある。
との両面を容易に外観検査できる外観検査装置を提供す
ることにある。
く問題点を解決するための手段〉
上記目的を達成するｒこめに、この発明の外観検査装置
は、円筒面検査部と両端面検査部を備え、上記円筒面０
査部は、駆動ローラに載置されて回転させられる被検査
物の円筒面にコヒーレント光を投光する投光装置と、上
記被検査物の円筒面からの反射光を受光して結像する受
光装置と、上記受光装置からの出力を光電変換する光電
変換装置と、上記光電変換装置からの電気信号を予め記
憶されている基準値と比較して上記被検査物の円筒面の
適否を判別する１′す別装置とを備え、上記両端面検査
部は、上記駆動ローラに載置されて回転させられろ上記
被検査物の両端面にコヒーレント光を投光する投光装置
と、上記被検査物の両端面からの反射光を受光して結像
する受光装置と、上記受光装置からの出力を光電変換す
る光電変換装置と、上記光電変換装置からの電気信号を
予め記憶されている基準値と比較して上記被検査物の両
端面の適否を判別する判別装置とを備えたことを特徴と
している。
は、円筒面検査部と両端面検査部を備え、上記円筒面０
査部は、駆動ローラに載置されて回転させられる被検査
物の円筒面にコヒーレント光を投光する投光装置と、上
記被検査物の円筒面からの反射光を受光して結像する受
光装置と、上記受光装置からの出力を光電変換する光電
変換装置と、上記光電変換装置からの電気信号を予め記
憶されている基準値と比較して上記被検査物の円筒面の
適否を判別する１′す別装置とを備え、上記両端面検査
部は、上記駆動ローラに載置されて回転させられろ上記
被検査物の両端面にコヒーレント光を投光する投光装置
と、上記被検査物の両端面からの反射光を受光して結像
する受光装置と、上記受光装置からの出力を光電変換す
る光電変換装置と、上記光電変換装置からの電気信号を
予め記憶されている基準値と比較して上記被検査物の両
端面の適否を判別する判別装置とを備えたことを特徴と
している。
〈実施例〉
以下、この発明を図示の一実施例により詳細に説明する
。
。
第１．２図において、２１は被検査物としての円筒コロ
１８の円筒面１８＋を外観構外する円筒面検査部で、こ
の円筒面検査部２１は、第６図に示す従来例と同一構成
物からなり、レーザー、ミラー、光スキャナ、集光レン
ズ、フレネルレンズ、光彩絞り、集光レンズ、スリット
、光電子増倍管および判別装置とからなる。また、２２
は円筒コロ１８の判別された円筒面＋８１の良否に応じ
て円筒面の不良品を選別する選別部、２３は円筒コロ１
８の両端面１８２，１８３を外観検査する両端面検査部
、２４は端面不良品を選別する選別部で、この両端面検
査部２３は第２図に示すように投光装置２０と受光装置
３０と光電変換装置４０と判別装置５０とからなる。
１８の円筒面１８＋を外観構外する円筒面検査部で、こ
の円筒面検査部２１は、第６図に示す従来例と同一構成
物からなり、レーザー、ミラー、光スキャナ、集光レン
ズ、フレネルレンズ、光彩絞り、集光レンズ、スリット
、光電子増倍管および判別装置とからなる。また、２２
は円筒コロ１８の判別された円筒面＋８１の良否に応じ
て円筒面の不良品を選別する選別部、２３は円筒コロ１
８の両端面１８２，１８３を外観検査する両端面検査部
、２４は端面不良品を選別する選別部で、この両端面検
査部２３は第２図に示すように投光装置２０と受光装置
３０と光電変換装置４０と判別装置５０とからなる。
上記投光装置２０は、図示しないが、たとえばレーザー
、ミラー、光スキャナ、集光レンズからなり、一方、受
光装置３０は、フレネルレンズ、光彩絞り、集光レンズ
、偏向フィルタからなり、また、光電変換装置４０は光
電子増倍管２７（第４図参照）からなっている。上記判
別装置５０には、光電変換装置＝１０からの電気信号と
比較する基準値である欠陥検出用比較レベル値が人力さ
れている。上記投光装置２０のレーザーからのレーザー
光は、直線偏光のものが用いられる。直線偏光の方向は
両端面の光ビーム２５．２６で互いに直角を成している
。一方、受光装置３０の偏光フィルタの偏光方向は、投
光装置２０からのレーザー光の偏光方向と同方向になっ
ている。
、ミラー、光スキャナ、集光レンズからなり、一方、受
光装置３０は、フレネルレンズ、光彩絞り、集光レンズ
、偏向フィルタからなり、また、光電変換装置４０は光
電子増倍管２７（第４図参照）からなっている。上記判
別装置５０には、光電変換装置＝１０からの電気信号と
比較する基準値である欠陥検出用比較レベル値が人力さ
れている。上記投光装置２０のレーザーからのレーザー
光は、直線偏光のものが用いられる。直線偏光の方向は
両端面の光ビーム２５．２６で互いに直角を成している
。一方、受光装置３０の偏光フィルタの偏光方向は、投
光装置２０からのレーザー光の偏光方向と同方向になっ
ている。
上記円筒コロの両端面のレーザー光による走査は、円筒
コロの円筒面を従来と同様に走査した後に行なわれるも
ので、次のようにして行なわれる。
コロの円筒面を従来と同様に走査した後に行なわれるも
ので、次のようにして行なわれる。
ずなわら、投光装置２０からのレーザー光が第３図に示
ず駆動ローラ２１．２１により回転される円筒コロ１８
の各端面１８２，１８３に図中矢印Ｘで示す上下方向に
沿って端から端まで操り返して照射された後、第４図に
示す受光装置３０で受光されて結像され、走査が行なわ
れる。このとき、円筒コロ１８の両端面１８２，１８３
からの反射光が光学系の装置の一部に当たり乱反射して
も受光装置３０の偏光フィルタによりカットされるので
、他の反射光の影響を受けずに円筒コロ１８の両端面１
８２，１８３の状態を正確に表わす反射光のみが受光さ
れる。したがって、充分なＳ／Ｎ比（信号／雑音比）が
得られ極微少な欠陥でら検出でさる。また、光電子増倍
管２７で光電変換された電気信号が増幅器２８で増幅さ
れて第５図に示すような光学信号波形が得られる。二の
光学（３号波形が判別装置５０に人力されて予め記憶さ
れている被検り面検出用比較レベルと比較され、円：笥
コｏ ｌ ３の両端面１８２，１８３の加工状態の良否
が判別される。つまり、上記円筒コＣ１１８の両端面１
８２，１８３に欠陥かあるときには、光学信号波形は第
７図に示す波形となる一方、欠陥かな゛いときには、第
５図に示す波形となるので、円筒コロ１８の外観検査が
容易となる。
ず駆動ローラ２１．２１により回転される円筒コロ１８
の各端面１８２，１８３に図中矢印Ｘで示す上下方向に
沿って端から端まで操り返して照射された後、第４図に
示す受光装置３０で受光されて結像され、走査が行なわ
れる。このとき、円筒コロ１８の両端面１８２，１８３
からの反射光が光学系の装置の一部に当たり乱反射して
も受光装置３０の偏光フィルタによりカットされるので
、他の反射光の影響を受けずに円筒コロ１８の両端面１
８２，１８３の状態を正確に表わす反射光のみが受光さ
れる。したがって、充分なＳ／Ｎ比（信号／雑音比）が
得られ極微少な欠陥でら検出でさる。また、光電子増倍
管２７で光電変換された電気信号が増幅器２８で増幅さ
れて第５図に示すような光学信号波形が得られる。二の
光学（３号波形が判別装置５０に人力されて予め記憶さ
れている被検り面検出用比較レベルと比較され、円：笥
コｏ ｌ ３の両端面１８２，１８３の加工状態の良否
が判別される。つまり、上記円筒コＣ１１８の両端面１
８２，１８３に欠陥かあるときには、光学信号波形は第
７図に示す波形となる一方、欠陥かな゛いときには、第
５図に示す波形となるので、円筒コロ１８の外観検査が
容易となる。
また、円筒コロ１８の円筒面＋８１についての外観検査
を行なう場合には、上述と異なる図示しない別の駆動ロ
ーラの上に円筒コロ１８を載置してレーザー光を円筒コ
ロ１８の円筒面１８＋に照射して、上述と同様の作動に
より検査される。まに、検査後の円筒コロ１８は、その
判定結果にし！二がって各選別部２２，２・１により所
定の場所に搬送されるように振り分けられる。
を行なう場合には、上述と異なる図示しない別の駆動ロ
ーラの上に円筒コロ１８を載置してレーザー光を円筒コ
ロ１８の円筒面１８＋に照射して、上述と同様の作動に
より検査される。まに、検査後の円筒コロ１８は、その
判定結果にし！二がって各選別部２２，２・１により所
定の場所に搬送されるように振り分けられる。
上記実施例は、円筒コロの円筒面および両端面の加工状
態を検査しているが、周期性のある微少欠陥、加工面の
粗さ、仕上がり寸法精度等も検査できる。
態を検査しているが、周期性のある微少欠陥、加工面の
粗さ、仕上がり寸法精度等も検査できる。
また、上記実施例では、一方の駆３ＪＪローラに、１り
円筒コ［）を回転させて円筒＝１０の円筒面を先に検査
した後別の駆動Ｃ１−ラにより円筒コ〔！を回転させて
両端面を検査したが、円筒コロの両端面を先に検査した
後円筒面を検査してらよいし、また、１つの駆動ローラ
の上に円筒コロを載置して両・喘面と円筒面とを同時に
検１１′ｔシて乙よい。
円筒コ［）を回転させて円筒＝１０の円筒面を先に検査
した後別の駆動Ｃ１−ラにより円筒コ〔！を回転させて
両端面を検査したが、円筒コロの両端面を先に検査した
後円筒面を検査してらよいし、また、１つの駆動ローラ
の上に円筒コロを載置して両・喘面と円筒面とを同時に
検１１′ｔシて乙よい。
〈発明の効果〉
以上の説明より明らかな如く、この発明の外観検査装置
は、被検査物の円筒面にコヒーレント光を投光する投光
装置と円筒面からの反射光を受光する受光装置と反射光
を光電変換する光電変換装置と反射光を表イつす信号と
基ω値とを比較して円筒コロの円筒面の適否を判別、Ｊ
−ろ？Ｊｌ別装置とを’Ｊ：ｊｌえる円筒面検査部と、
被検査物の両端面にコヒーレント光を投光する投光装置
と両端面からの反射光を受光する受光装置と反射光を光
電変換する）に電変換装；ξと反射光を表わす信号と基
悲値とを比較して円筒コロの両端面の適否を判別する判
別装置とを備える両端面検査部とを備えているので、被
検査物の円筒面と両端面との両面の表面状態を検査でき
る。
は、被検査物の円筒面にコヒーレント光を投光する投光
装置と円筒面からの反射光を受光する受光装置と反射光
を光電変換する光電変換装置と反射光を表イつす信号と
基ω値とを比較して円筒コロの円筒面の適否を判別、Ｊ
−ろ？Ｊｌ別装置とを’Ｊ：ｊｌえる円筒面検査部と、
被検査物の両端面にコヒーレント光を投光する投光装置
と両端面からの反射光を受光する受光装置と反射光を光
電変換する）に電変換装；ξと反射光を表わす信号と基
悲値とを比較して円筒コロの両端面の適否を判別する判
別装置とを備える両端面検査部とを備えているので、被
検査物の円筒面と両端面との両面の表面状態を検査でき
る。
第１図はこの発明の実施例を示すブロック図、第２図は
上記実施例の概略系統図、第３図は被検査物の両端面を
走査する状態を示す図、第・１ｒｆＡは被検査物の走査
状態を示す概略系統図、第５図は上記実施例による光学
信号波形を示す図、第６図は従来例を示す図、第７図は
従来例の光学信号波形を示す図である。 ｌ訃・被検査物、２０・・・投光装置、２１・・円筒面
検査部、２３・・・両端面検査部、３０・・・受光装置
、・１０ ・光電変換装置、５０・・判別装置。 特 許 出 願 人 光洋精工株式会辻代 理 人
弁理士 前出 葆 外２名第１図 〆 第２図 ４０ ５Ｑ 笥６ ゴ 第７１！１ 磨５図 第Ｓ図 第４図
上記実施例の概略系統図、第３図は被検査物の両端面を
走査する状態を示す図、第・１ｒｆＡは被検査物の走査
状態を示す概略系統図、第５図は上記実施例による光学
信号波形を示す図、第６図は従来例を示す図、第７図は
従来例の光学信号波形を示す図である。 ｌ訃・被検査物、２０・・・投光装置、２１・・円筒面
検査部、２３・・・両端面検査部、３０・・・受光装置
、・１０ ・光電変換装置、５０・・判別装置。 特 許 出 願 人 光洋精工株式会辻代 理 人
弁理士 前出 葆 外２名第１図 〆 第２図 ４０ ５Ｑ 笥６ ゴ 第７１！１ 磨５図 第Ｓ図 第４図
Claims (1)
- （１）円筒面検査部と両端面検査部を備え、上記円筒面
検査部は、駆動ローラに載置されて回転させられる被検
査物の円筒面にコヒーレント光を投光する投光装置と、
上記被検査物の円筒面からの反射光を受光して結像する
受光装置と、上記受光装置からの出力を光電変換する光
電変換装置と、上記光電変換装置からの電気信号を予め
記憶されている基準値と比較して上記被検査物の円筒面
の適否を判別する判別装置とを備え、上記両端面検査部
は、上記駆動ローラに載置されて回転させられる上記被
検査物の両端面にコヒーレント光を投光する投光装置と
、上記被検査物の両端面からの反射光を受光して結像す
る受光装置と、上記受光装置からの出力を光電変換する
光電変換装置と、上記光電変換装置からの電気信号を予
め記憶されている基準値と比較して上記被検査物の両端
面の適否を判別する判別装置とを備えたことを特徴とす
る外観検査装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18898286A JPS6344151A (ja) | 1986-08-12 | 1986-08-12 | 外観検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18898286A JPS6344151A (ja) | 1986-08-12 | 1986-08-12 | 外観検査装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6344151A true JPS6344151A (ja) | 1988-02-25 |
Family
ID=16233318
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP18898286A Pending JPS6344151A (ja) | 1986-08-12 | 1986-08-12 | 外観検査装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6344151A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH02126106A (ja) * | 1988-11-04 | 1990-05-15 | Shimadzu Corp | 偏光解析装置 |
| US6094120A (en) * | 1998-05-19 | 2000-07-25 | B. C. O. Co., Ltd. | Magnetizing apparatus |
| JP2007003376A (ja) * | 2005-06-24 | 2007-01-11 | Toppan Printing Co Ltd | 周期性パターンムラ検査装置および周期性パターン撮像方法 |
| JP2010502947A (ja) * | 2006-08-30 | 2010-01-28 | ユーエスエヌアール・コッカムス・キャンカー・カンパニー | チャージャ用スキャナシステム |
| JP2019507876A (ja) * | 2016-02-24 | 2019-03-22 | トムラ ソーティング ナムローゼ フェンノートシャップ | 生ジャガイモ及びジャガイモを原料とした食品におけるアクリルアミド前駆体を検出するためのシステム及び方法 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS53125057A (en) * | 1977-04-08 | 1978-11-01 | Hitachi Ltd | Inspection apparatus for appearance of cylindrical object |
-
1986
- 1986-08-12 JP JP18898286A patent/JPS6344151A/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS53125057A (en) * | 1977-04-08 | 1978-11-01 | Hitachi Ltd | Inspection apparatus for appearance of cylindrical object |
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|---|---|---|---|---|
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| JP2019507876A (ja) * | 2016-02-24 | 2019-03-22 | トムラ ソーティング ナムローゼ フェンノートシャップ | 生ジャガイモ及びジャガイモを原料とした食品におけるアクリルアミド前駆体を検出するためのシステム及び方法 |
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