JPH06160302A - 走行ストリップの表面疵検査方法及び装置 - Google Patents
走行ストリップの表面疵検査方法及び装置Info
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- JPH06160302A JPH06160302A JP30679892A JP30679892A JPH06160302A JP H06160302 A JPH06160302 A JP H06160302A JP 30679892 A JP30679892 A JP 30679892A JP 30679892 A JP30679892 A JP 30679892A JP H06160302 A JPH06160302 A JP H06160302A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 ストリップの幅方向に一様でない、光学系や
電気回路に起因するノイズに拘らず、ＳＮ比を限界まで
高めて、軽度の欠陥信号の弁別を可能とする。 【構成】 受光信号を微分処理した微分信号の、ストリ
ップ幅方向のうねりを検出し、検出されたうねりに基づ
いて、前記微分信号又は閾値を補正して、前記うねりの
影響を除く。
電気回路に起因するノイズに拘らず、ＳＮ比を限界まで
高めて、軽度の欠陥信号の弁別を可能とする。 【構成】 受光信号を微分処理した微分信号の、ストリ
ップ幅方向のうねりを検出し、検出されたうねりに基づ
いて、前記微分信号又は閾値を補正して、前記うねりの
影響を除く。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、走行しているストリッ
プの表面に、幅方向に光を投影し、その反射光による受
光信号を微分処理した後、閾値と比較して表面疵を検査
する走行ストリップの表面疵検査方法及び装置に係り、
特に、光学系や電気回路に起因する、幅方向に一様でな
いノイズの影響を除去して、ＳＮ比を改善した走行スト
リップの表面疵検査方法及び装置に関するものである。
プの表面に、幅方向に光を投影し、その反射光による受
光信号を微分処理した後、閾値と比較して表面疵を検査
する走行ストリップの表面疵検査方法及び装置に係り、
特に、光学系や電気回路に起因する、幅方向に一様でな
いノイズの影響を除去して、ＳＮ比を改善した走行スト
リップの表面疵検査方法及び装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】走行しているストリップの表面に、幅方
向にレーザビームを走査しつつ投影し、その反射光によ
る受光信号を微分処理した後、閾値と比較して表面疵を
検査するレーザビーム走査型の表面疵検査装置が知られ
ている。
向にレーザビームを走査しつつ投影し、その反射光によ
る受光信号を微分処理した後、閾値と比較して表面疵を
検査するレーザビーム走査型の表面疵検査装置が知られ
ている。
【０００３】これは、例えば図１に示す如く構成されて
おり、検査対象のストリップ（金属帯）１０は、図の例
えば右から左側へ矢印方向に移動している。レーザ光源
２０で発生し、反射鏡２２を経て回転ミラー２４に投射
されるレーザビームを、該回転ミラー２４でストリップ
１０の表面の幅方向（移動方向に直交する方法）に走査
する。その反射光をレンズ２８で集光し、マスク３０を
介して例えばフォトマル（光電子増倍管）３２等の光電
変換器で電気信号（受光信号）に変換する。フォトマル
３２で得られた受光信号は、増幅機能を有する微分器３
４で増幅、微分される。微分器３４出力の微分信号は、
コンパレータ３８で、閾値設定器３６から入力される閾
値と比較され、微分信号のレベルが閾値より大となった
ときに欠陥信号が発生される。この欠陥信号は、例えば
コンピュータ４０でデータ処理され、疵種や疵のランク
が判定される。
おり、検査対象のストリップ（金属帯）１０は、図の例
えば右から左側へ矢印方向に移動している。レーザ光源
２０で発生し、反射鏡２２を経て回転ミラー２４に投射
されるレーザビームを、該回転ミラー２４でストリップ
１０の表面の幅方向（移動方向に直交する方法）に走査
する。その反射光をレンズ２８で集光し、マスク３０を
介して例えばフォトマル（光電子増倍管）３２等の光電
変換器で電気信号（受光信号）に変換する。フォトマル
３２で得られた受光信号は、増幅機能を有する微分器３
４で増幅、微分される。微分器３４出力の微分信号は、
コンパレータ３８で、閾値設定器３６から入力される閾
値と比較され、微分信号のレベルが閾値より大となった
ときに欠陥信号が発生される。この欠陥信号は、例えば
コンピュータ４０でデータ処理され、疵種や疵のランク
が判定される。
【０００４】このような表面疵検査装置で、できるだけ
軽度な疵を検出する場合、閾値をノイズレベルより大き
く、且つ、できるだけ低く設定する必要がある。この方
法の１つに、特開平１−３１３７４４に示すように、出
力波形（幅方向に走査した信号の波形）の平均レベル、
即ち、ノイズ成分のレベルを測定し、その測定値に基づ
いて閾値を自動設定する方法が記載されている。
軽度な疵を検出する場合、閾値をノイズレベルより大き
く、且つ、できるだけ低く設定する必要がある。この方
法の１つに、特開平１−３１３７４４に示すように、出
力波形（幅方向に走査した信号の波形）の平均レベル、
即ち、ノイズ成分のレベルを測定し、その測定値に基づ
いて閾値を自動設定する方法が記載されている。
【０００５】一方、表面疵検査装置のノイズの要因に
は、次の２つがある。
は、次の２つがある。
【０００６】ストリップの表面状態（表面の粗度、色
調など）に起因するノイズ。このノイズは、地合ノイズ
と呼ばれ、表面状態の変化によって、その大きさが変動
する。
調など）に起因するノイズ。このノイズは、地合ノイズ
と呼ばれ、表面状態の変化によって、その大きさが変動
する。
【０００７】表面疵検査装置の光学系、電気回路の周
波数特性に起因するノイズ。この一例を図２に示す。図
の上段が微分前の受光信号、下段が微分後の微分信号で
ある。
波数特性に起因するノイズ。この一例を図２に示す。図
の上段が微分前の受光信号、下段が微分後の微分信号で
ある。
【０００８】前記特開平１−３１３７４４に示される従
来技術は、ストリップの表面状態の変化に伴うノイズレ
ベルの変動（即ち前記地合ノイズ）に対しては有効であ
る。
来技術は、ストリップの表面状態の変化に伴うノイズレ
ベルの変動（即ち前記地合ノイズ）に対しては有効であ
る。
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、表面疵
検査装置の光学系や電気回路に起因する後者のノイズ
は、走査方向に一様でないため、前記従来技術では対応
できないという問題点を有していた。
検査装置の光学系や電気回路に起因する後者のノイズ
は、走査方向に一様でないため、前記従来技術では対応
できないという問題点を有していた。
【００１０】即ち、特開平１−３１３７４４の技術で
は、検出されるノイズレベルは、図３のＶN+、ＶN-であ
り、これに従って、閾値ＶC+、ＶC-は、次のように設定
される。
は、検出されるノイズレベルは、図３のＶN+、ＶN-であ
り、これに従って、閾値ＶC+、ＶC-は、次のように設定
される。
【００１１】Ｖc+＝Ａ1 ＊ＶN+＋Ｂ1 …（１） Ｖc-＝Ａ2 ＊ＶN-＋Ｂ2 …（２）
【００１２】このため、疵信号が同じレベルであって
も、図３中の閾値Ｖc+より大きな疵信号 a1 は検出でき
るが、閾値Ｖc+より小さな疵信号 a2 は検出できないと
いう問題がある。更に、疵信号 a3 のように、ノイズレ
ベルＶN+よりも小さな疵信号の検出は、全く不可能であ
る。
も、図３中の閾値Ｖc+より大きな疵信号 a1 は検出でき
るが、閾値Ｖc+より小さな疵信号 a2 は検出できないと
いう問題がある。更に、疵信号 a3 のように、ノイズレ
ベルＶN+よりも小さな疵信号の検出は、全く不可能であ
る。
【００１３】前記地合ノイズレベルの低周波変動、特
に、温度むらによる出力信号のうねりを平坦化するため
に、特公昭５２−２５１１８や特公昭５８−３４７７４
では、ハイパスフィルタ（前記微分器３４に対応）を設
けることが提案されている。しかしながら、ハイパスフ
ィルタでは、欠陥部で発生する疵信号と同程度の周波数
特性を有する定常的内部ノイズ（例えばレンズやミラー
の汚れ、フレネルレンズにみられる非線形特性、電気回
路に起因するノイズなど）には対処できないという問題
点を有していた。
に、温度むらによる出力信号のうねりを平坦化するため
に、特公昭５２−２５１１８や特公昭５８−３４７７４
では、ハイパスフィルタ（前記微分器３４に対応）を設
けることが提案されている。しかしながら、ハイパスフ
ィルタでは、欠陥部で発生する疵信号と同程度の周波数
特性を有する定常的内部ノイズ（例えばレンズやミラー
の汚れ、フレネルレンズにみられる非線形特性、電気回
路に起因するノイズなど）には対処できないという問題
点を有していた。
【００１４】又、特開昭６０−１７９６４０には、１走
査線毎の電気信号を、該走査線をローパスフィルタリン
グした信号又は移動平均をとった信号で規格化すること
によって、温度むら等の背景信号の変動の影響を軽減化
して、Ｓ／Ｎを改善することが提案されている。しかし
ながら、この特開昭６０−１７９６４０においても、特
公昭５２−２５１１８や特公昭５０−３４７７４と同じ
問題を有しており、平坦度の検出精度が良くない。更
に、実際に欠陥がある場合も、図４に示す如く、ローパ
スフィルタの出力が、原信号に含まれる疵信号の影響を
受けてしまい、平坦度検出の精度が低下するという問題
点を有していた。
査線毎の電気信号を、該走査線をローパスフィルタリン
グした信号又は移動平均をとった信号で規格化すること
によって、温度むら等の背景信号の変動の影響を軽減化
して、Ｓ／Ｎを改善することが提案されている。しかし
ながら、この特開昭６０−１７９６４０においても、特
公昭５２−２５１１８や特公昭５０−３４７７４と同じ
問題を有しており、平坦度の検出精度が良くない。更
に、実際に欠陥がある場合も、図４に示す如く、ローパ
スフィルタの出力が、原信号に含まれる疵信号の影響を
受けてしまい、平坦度検出の精度が低下するという問題
点を有していた。
【００１５】本発明は、前記従来の問題点を解消するべ
く成されたもので、表面疵検査装置の内部要因、即ち光
学系や電気回路に起因するノイズのうち、ストリップ幅
方向にその大きさが変化するノイズレベルに閾値を追従
させることによって、小さな疵信号を検出できる走行ス
トリップの表面疵検査方法及び装置を提供することを目
的とする。
く成されたもので、表面疵検査装置の内部要因、即ち光
学系や電気回路に起因するノイズのうち、ストリップ幅
方向にその大きさが変化するノイズレベルに閾値を追従
させることによって、小さな疵信号を検出できる走行ス
トリップの表面疵検査方法及び装置を提供することを目
的とする。
【００１６】
【問題点を解決するための手段】本発明は、走行してい
るストリップの表面に、幅方向に光を投影し、その反射
光による受光信号を微分処理した後、閾値と比較して表
面疵を検査する方法において、前記受光信号を微分処理
した微分信号の、ストリップ幅方向のうねりを検出し、
検出されたうねりに基づいて、前記微分信号又は閾値を
補正して、前記うねりの影響を除くことにより、前記目
的を達成したものである。
るストリップの表面に、幅方向に光を投影し、その反射
光による受光信号を微分処理した後、閾値と比較して表
面疵を検査する方法において、前記受光信号を微分処理
した微分信号の、ストリップ幅方向のうねりを検出し、
検出されたうねりに基づいて、前記微分信号又は閾値を
補正して、前記うねりの影響を除くことにより、前記目
的を達成したものである。
【００１７】又、本発明は、同様の走行ストリップの表
面疵検査装置において、前記受光信号を微分処理する微
分手段と、該微分手段出力の微分信号の、ストリップ幅
方向のうねりを検出する微分波形平坦度検出手段と、該
微分波形平坦度検出手段の出力により、前記うねりがな
くなるように、前記微分信号を補正する平坦度補正手段
と、該平坦度補正手段出力の補正微分信号を、前記閾値
と比較して、欠陥信号を発生する比較手段とを備えるこ
とにより、前記目的を達成したものである。
面疵検査装置において、前記受光信号を微分処理する微
分手段と、該微分手段出力の微分信号の、ストリップ幅
方向のうねりを検出する微分波形平坦度検出手段と、該
微分波形平坦度検出手段の出力により、前記うねりがな
くなるように、前記微分信号を補正する平坦度補正手段
と、該平坦度補正手段出力の補正微分信号を、前記閾値
と比較して、欠陥信号を発生する比較手段とを備えるこ
とにより、前記目的を達成したものである。
【００１８】又、前記閾値を、前記補正微分信号から求
められる地合ノイズのレベルに基づいて設定するように
したものである。
められる地合ノイズのレベルに基づいて設定するように
したものである。
【００１９】又、本発明は、同様の走行ストリップの表
面疵検査装置において、前記受光信号を微分処理する微
分手段と、該微分手段出力の微分信号の、ストリップ幅
方向のうねりを検出する微分波形平坦度検出手段と、該
微分波形平坦度検出手段によって検出されたうねりに応
じて、ストリップ幅方向で閾値を変化させる閾値補正手
段と、前記微分信号を、閾値補正手段によって補正され
た閾値と比較して、欠陥信号を発生する比較手段とを備
えることにより、同じく前記目的を達成したものであ
る。
面疵検査装置において、前記受光信号を微分処理する微
分手段と、該微分手段出力の微分信号の、ストリップ幅
方向のうねりを検出する微分波形平坦度検出手段と、該
微分波形平坦度検出手段によって検出されたうねりに応
じて、ストリップ幅方向で閾値を変化させる閾値補正手
段と、前記微分信号を、閾値補正手段によって補正され
た閾値と比較して、欠陥信号を発生する比較手段とを備
えることにより、同じく前記目的を達成したものであ
る。
【００２０】又、前記閾値を、前記微分波形平坦度検出
手段の出力により、前記うねりがなくなるように、前記
微分信号を補正した補正微分信号から求められる地合ノ
イズのレベルに基づいて設定するようにしたものであ
る。
手段の出力により、前記うねりがなくなるように、前記
微分信号を補正した補正微分信号から求められる地合ノ
イズのレベルに基づいて設定するようにしたものであ
る。
【００２１】又、前記微分波形平坦度検出手段が、スト
リップの幅方向位置毎に、前記微分信号の平均値を算出
する平均化処理を行うものとしたものである。
リップの幅方向位置毎に、前記微分信号の平均値を算出
する平均化処理を行うものとしたものである。
【００２２】
【作用】発明者が、表面疵検査装置の光学系や電気回路
の周波数特性に起因するノイズの安定性を調査したとこ
ろ、図５に示す如く、ストリップの長手方向（流れ方
向）には定常的にノイズが発生しているが、これをスト
リップの幅方向に見ると、非常に安定しており、同じパ
ターンのうねりが繰り返されていることが分かった。本
発明は、このような地合ノイズのランダム性と、定常的
内部ノイズの定常性を利用したものであり、従来のよう
に走査方向（ストリップの板幅方向）に平均処理を行う
のではなく、ストリップの流れ方向に平均処理を行うこ
とを特徴とする。
の周波数特性に起因するノイズの安定性を調査したとこ
ろ、図５に示す如く、ストリップの長手方向（流れ方
向）には定常的にノイズが発生しているが、これをスト
リップの幅方向に見ると、非常に安定しており、同じパ
ターンのうねりが繰り返されていることが分かった。本
発明は、このような地合ノイズのランダム性と、定常的
内部ノイズの定常性を利用したものであり、従来のよう
に走査方向（ストリップの板幅方向）に平均処理を行う
のではなく、ストリップの流れ方向に平均処理を行うこ
とを特徴とする。
【００２３】今、平均回数をn とすると、地合ノイズの
変動幅は、元信号の１／√n に減少する。一方、定常的
外乱の大きさは変わらない。
変動幅は、元信号の１／√n に減少する。一方、定常的
外乱の大きさは変わらない。
【００２４】本発明の方法は、信号の周波数特性の影響
を受けないため、欠陥部にて発生する疵信号と同定度の
周波数特性を有する定常的内部ノイズに対しても、問題
なく検出可能である。
を受けないため、欠陥部にて発生する疵信号と同定度の
周波数特性を有する定常的内部ノイズに対しても、問題
なく検出可能である。
【００２５】
【実施例】以下図面を参照して、本発明の実施例を詳細
に説明する。
に説明する。
【００２６】本発明の第１実施例は、図６に示す如く、
従来と同様のレーザ光源２０、反射鏡２２、回転ミラー
２４、レンズ２８、マスク３０、フォトマル３２、微分
器３４、コンパレータ３８、コンピュータ４０を備えた
レーザビーム走査型の表面疵検査装置において、更に、
前記微分器３４出力の微分信号から、そのストリップ幅
方向のうねり（平坦度と称する）を検出する微分波形平
坦度検出器５０と、該微分波形平坦度検出器５０の出力
を前記微分器３４出力の微分信号から減算して、前記う
ねりがなくなるように微分信号を補正する平坦度補正器
５２と、該平坦度補正器５２出力の補正微分信号から地
合ノイズを測定するノイズレベル測定器５４と、該ノイ
ズレベル測定器５４の測定値に基づいて閾値を設定する
前記閾値設定器３６と、前記平坦度補正器５２出力の補
正微分信号を該閾値設定器３６出力の閾値と比較して欠
陥信号を発生する前記コンパレータ３８と、回転ミラー
２４の回転位置に応じて、前記各機器に対してレーザビ
ーム２６の板幅方向の走査位置を出力する走査位置発信
器５６と、前記微分波形平坦度検出器５０に微分信号を
サンプリングするタイミングをラインパルス信号として
出力するラインパルス発生器５８とを設けたものであ
る。
従来と同様のレーザ光源２０、反射鏡２２、回転ミラー
２４、レンズ２８、マスク３０、フォトマル３２、微分
器３４、コンパレータ３８、コンピュータ４０を備えた
レーザビーム走査型の表面疵検査装置において、更に、
前記微分器３４出力の微分信号から、そのストリップ幅
方向のうねり（平坦度と称する）を検出する微分波形平
坦度検出器５０と、該微分波形平坦度検出器５０の出力
を前記微分器３４出力の微分信号から減算して、前記う
ねりがなくなるように微分信号を補正する平坦度補正器
５２と、該平坦度補正器５２出力の補正微分信号から地
合ノイズを測定するノイズレベル測定器５４と、該ノイ
ズレベル測定器５４の測定値に基づいて閾値を設定する
前記閾値設定器３６と、前記平坦度補正器５２出力の補
正微分信号を該閾値設定器３６出力の閾値と比較して欠
陥信号を発生する前記コンパレータ３８と、回転ミラー
２４の回転位置に応じて、前記各機器に対してレーザビ
ーム２６の板幅方向の走査位置を出力する走査位置発信
器５６と、前記微分波形平坦度検出器５０に微分信号を
サンプリングするタイミングをラインパルス信号として
出力するラインパルス発生器５８とを設けたものであ
る。
【００２７】以下、第１実施例の作用を説明する。
【００２８】前記微分波形平坦度検出器５０は、例えば
前出図２の下段に示したような微分信号を、走査位置発
信器５６からの走査位置（ストリップ幅方向位置）デー
タと共にサンプリングして、微分器３４の出力波形の平
坦度（うねり）を検出する。なお、走査速度が一定であ
る場合には、一定時間毎にサンプリングしてもよい。実
施例では、０．１μ秒経過毎に１データをサンプリング
している。板幅方向のサンプリングメッシュは、実施例
では約０．３mmに相当する。
前出図２の下段に示したような微分信号を、走査位置発
信器５６からの走査位置（ストリップ幅方向位置）デー
タと共にサンプリングして、微分器３４の出力波形の平
坦度（うねり）を検出する。なお、走査速度が一定であ
る場合には、一定時間毎にサンプリングしてもよい。実
施例では、０．１μ秒経過毎に１データをサンプリング
している。板幅方向のサンプリングメッシュは、実施例
では約０．３mmに相当する。
【００２９】ストリップ１０が一定量（実施例では５m
m）移動する毎に、微分波形をサンプリングし、これを
設定回数繰り返す。実施例では２５６回としている。
m）移動する毎に、微分波形をサンプリングし、これを
設定回数繰り返す。実施例では２５６回としている。
【００３０】次に、この微分波形の平均値から平坦度信
号を求める。実施例では、ストリップ移動方向の移動平
均処理を行っている。この結果の一例を図７に示す。
号を求める。実施例では、ストリップ移動方向の移動平
均処理を行っている。この結果の一例を図７に示す。
【００３１】次に、平坦度補正器５２は、微分波形平坦
度検出器５０から入力される平坦度信号に基づいて、実
探傷時の微分波形の平坦度を補正する。具体的には、微
分波形平坦度検出器５０で求めた平坦度信号を、実探傷
時の微分信号に、走査位置発信器５６の信号に基づいて
位置を合せながら加算（減算）し、微分波形の平坦度を
補正する。図８に、結果の一例を示す。
度検出器５０から入力される平坦度信号に基づいて、実
探傷時の微分波形の平坦度を補正する。具体的には、微
分波形平坦度検出器５０で求めた平坦度信号を、実探傷
時の微分信号に、走査位置発信器５６の信号に基づいて
位置を合せながら加算（減算）し、微分波形の平坦度を
補正する。図８に、結果の一例を示す。
【００３２】次いで、ノイズレベル測定器５４で、前記
補正微分信号のノイズレベルを測定して閾値を設定す
る。具体的には、平坦度が補正された微分信号を、ノイ
ズレベル測定器５４に入力し、ノイズレベルＶN+、ＶN-
（図８参照）を測定する。このノイズレベルに対して、
次の（３）式又は（４）式によって閾値ＶL を求める。
補正微分信号のノイズレベルを測定して閾値を設定す
る。具体的には、平坦度が補正された微分信号を、ノイ
ズレベル測定器５４に入力し、ノイズレベルＶN+、ＶN-
（図８参照）を測定する。このノイズレベルに対して、
次の（３）式又は（４）式によって閾値ＶL を求める。
【００３３】ＶL ＝Ａ・ＶN …（３） ＶL ＝ＶN ＋Ｂ …（４）
【００３４】コンパレータ３８は、図９に示す如く、こ
のようにして設定された閾値ＶL と、前記平坦度補正器
５２で平坦度補正された微分信号を比較して、前記補正
微分信号が前記閾値を超えたときに欠陥信号を発生す
る。
のようにして設定された閾値ＶL と、前記平坦度補正器
５２で平坦度補正された微分信号を比較して、前記補正
微分信号が前記閾値を超えたときに欠陥信号を発生す
る。
【００３５】次に、本発明の第２実施例を詳細に説明す
る。
る。
【００３６】本実施例は、図１０に示す如く、前記第１
実施例と同様の、レーザ光源２０、反射鏡２２、回転ミ
ラー２４、レンズ２８、マスク３０、フォトマル３２、
微分器３４、閾値設定器３６、コンパレータ３８、コン
ピュータ４０、微分波形平坦度検出器５０、平坦度補正
器５２、ノイズレベル測定器５４、走査位置発信器５６
及びラインパルス発生器５８を備えたレーザビーム走査
型の表面疵検査装置において、前記微分波形平坦度検出
器５０出力の平坦度信号により、閾値設定器３６で設定
される閾値をストリップ幅方向に変化させるようにし、
コンパレータ３８には、この補正閾値と前記微分器３４
出力の補正前の微分信号を入力するようにしたものであ
る。
実施例と同様の、レーザ光源２０、反射鏡２２、回転ミ
ラー２４、レンズ２８、マスク３０、フォトマル３２、
微分器３４、閾値設定器３６、コンパレータ３８、コン
ピュータ４０、微分波形平坦度検出器５０、平坦度補正
器５２、ノイズレベル測定器５４、走査位置発信器５６
及びラインパルス発生器５８を備えたレーザビーム走査
型の表面疵検査装置において、前記微分波形平坦度検出
器５０出力の平坦度信号により、閾値設定器３６で設定
される閾値をストリップ幅方向に変化させるようにし、
コンパレータ３８には、この補正閾値と前記微分器３４
出力の補正前の微分信号を入力するようにしたものであ
る。
【００３７】本実施例におけるコンパレータ３８への入
力信号の一例を、図１１に示す。
力信号の一例を、図１１に示す。
【００３８】本実施例においては、微分波形の平坦度に
応じて閾値を補正するようにしたので、平坦度補正する
前の微分信号を直接コンパレータ３８に入力することが
できる。
応じて閾値を補正するようにしたので、平坦度補正する
前の微分信号を直接コンパレータ３８に入力することが
できる。
【００３９】前記実施例においては、いずれも、（補正
前の）閾値を、平坦度補正器５２出力の補正微分信号か
ら、ノイズレベル測定器５４で求められる地合ノイズの
レベルに基づいて設定するようにしているので、高精度
の閾値を設定することができる。なお、閾値を設定する
方法はこれに限定されず、従来と同様に、平坦度補正を
行う前の微分信号に基づいて設定したり、あるいは、固
定値に設定することも可能である。
前の）閾値を、平坦度補正器５２出力の補正微分信号か
ら、ノイズレベル測定器５４で求められる地合ノイズの
レベルに基づいて設定するようにしているので、高精度
の閾値を設定することができる。なお、閾値を設定する
方法はこれに限定されず、従来と同様に、平坦度補正を
行う前の微分信号に基づいて設定したり、あるいは、固
定値に設定することも可能である。
【００４０】又、前記実施例においては、いずれも、本
発明がレーザビーム走査型の表面疵検査装置に適用され
ていたが、本発明の適用範囲はこれに限定されず、例え
ばストリップ幅方向に長いスリット光を照射し、これを
ＣＣＤなどによって電子的に走査しながら取り込むよう
にした表面疵検査装置にも同様に適用できることは明ら
かである。
発明がレーザビーム走査型の表面疵検査装置に適用され
ていたが、本発明の適用範囲はこれに限定されず、例え
ばストリップ幅方向に長いスリット光を照射し、これを
ＣＣＤなどによって電子的に走査しながら取り込むよう
にした表面疵検査装置にも同様に適用できることは明ら
かである。
【００４１】
【発明の効果】以上説明した通り、本発明によれば、表
面疵検査装置の光学系や電気回路に起因する、ストリッ
プ幅方向のうねりに合せて低い閾値を設定することがで
きるので、従来よりも一層軽度な欠陥の検出が可能にな
る。
面疵検査装置の光学系や電気回路に起因する、ストリッ
プ幅方向のうねりに合せて低い閾値を設定することがで
きるので、従来よりも一層軽度な欠陥の検出が可能にな
る。
【００４２】発明者等の実験によれば、重レベルの欠陥
の場合、従来法では９７％であった検出率が本発明では
１００％に、中レベルの欠陥の場合、従来法では８６％
であった検出率が本発明では９２％に、軽レベルの欠陥
の場合、従来法では７４％であった検出率が本発明では
８５％になり、特に、軽度な欠陥では、１１％も検出率
が向上することが確認できた。
の場合、従来法では９７％であった検出率が本発明では
１００％に、中レベルの欠陥の場合、従来法では８６％
であった検出率が本発明では９２％に、軽レベルの欠陥
の場合、従来法では７４％であった検出率が本発明では
８５％になり、特に、軽度な欠陥では、１１％も検出率
が向上することが確認できた。
【図１】従来のレーザビーム走査型表面疵検出装置の一
例の構成を示す、一部ブロック線図を含む斜視図
例の構成を示す、一部ブロック線図を含む斜視図
【図２】表面疵検査装置における受光信号と微分信号の
例を示す線図
例を示す線図
【図３】特開平１−３１３７４４による閾値設定の例を
示す線図
示す線図
【図４】特開昭６０−１７９６４における原信号とロー
パスフィルタの出力の関係の例を示す線図
パスフィルタの出力の関係の例を示す線図
【図５】本発明の原理を説明するための線図
【図６】本発明に係る表面疵検査装置の第１実施例の構
成を示す、一部ブロック線図を含む斜視図
成を示す、一部ブロック線図を含む斜視図
【図７】前記第１実施例における微分波形平坦度検出器
出力の平坦度信号の一例を示す線図
出力の平坦度信号の一例を示す線図
【図８】同じく平坦度補正器出力の補正微分信号の一例
を示す線図
を示す線図
【図９】同じくコンパレータへの入力信号の例を示す線
図
図
【図１０】本発明に係る表面疵検査装置の第２実施例の
構成を示す、一部ブロック線図を含む斜視図
構成を示す、一部ブロック線図を含む斜視図
【図１１】前記第２実施例におけるコンパレータへの入
力信号の例を示す線図
力信号の例を示す線図
１０…ストリップ ２０…レーザ光源 ２４…回転ミラー ２６…レーザビーム ３２…フォトマル ３４…微分器 ３６…閾値設定器 ３８…コンパレータ ４０…コンピュータ ５０…微分波形平坦度検出器 ５２…平坦度補正器 ５４…ノイズレベル測定器 ５６…走査位置発信器 ５８…ラインパルス発生器
Claims (6)
- 【請求項１】走行しているストリップの表面に、幅方向
に光を投影し、その反射光による受光信号を微分処理し
た後、閾値と比較して表面疵を検査する方法において、 前記受光信号を微分処理した微分信号の、ストリップ幅
方向のうねりを検出し、 検出されたうねりに基づいて、前記微分信号又は閾値を
補正して、前記うねりの影響を除いたことを特徴とする
走行ストリップの表面疵検査方法。 - 【請求項２】走行しているストリップの表面に、幅方向
に光を投影し、その反射光による受光信号を微分処理し
た後、閾値と比較して表面疵を検査する装置において、 前記受光信号を微分処理する微分手段と、 該微分手段出力の微分信号の、ストリップ幅方向のうね
りを検出する微分波形平坦度検出手段と、 該微分波形平坦度検出手段の出力により、前記うねりが
なくなるように、前記微分信号を補正する平坦度補正手
段と、 該平坦度補正手段出力の補正微分信号を、前記閾値と比
較して、欠陥信号を発生する比較手段と、 を備えたことを特徴とする走行ストリップの表面疵検査
装置。 - 【請求項３】請求項２において、前記閾値が、前記補正
微分信号から求められる地合ノイズのレベルに基づいて
設定されたものであることを特徴とする走行ストリップ
の表面疵検査装置。 - 【請求項４】走行しているストリップの表面に、幅方向
に光を投影し、その反射光による受光信号を微分処理し
た後、閾値と比較して表面疵を検査する装置において、 前記受光信号を微分処理する微分手段と、 該微分手段出力の微分信号の、ストリップ幅方向のうね
りを検出する微分波形平坦度検出手段と、 該微分波形平坦度検出手段によって検出されたうねりに
応じて、ストリップ幅方向で閾値を変化させる閾値補正
手段と、 前記微分信号を、閾値補正手段によって補正された閾値
と比較して、欠陥信号を発生する比較手段と、 を備えたことを特徴とする走行ストリップの表面疵検査
装置。 - 【請求項５】請求項４において、前記閾値が、前記微分
波形平坦度検出手段の出力により、前記うねりがなくな
るように、前記微分信号を補正した補正微分信号から求
められる地合ノイズのレベルに基づいて設定されたもの
であることを特徴とする走行ストリップの表面疵検査装
置。 - 【請求項６】請求項２又は４において、前記微分波形平
坦度検出手段が、ストリップの幅方向位置毎に、前記微
分信号のストリップの流れ方向の平均値を算出する平均
化処理を行うものであることを特徴とする走行ストリッ
プの表面疵検査装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP30679892A JPH06160302A (ja) | 1992-11-17 | 1992-11-17 | 走行ストリップの表面疵検査方法及び装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP30679892A JPH06160302A (ja) | 1992-11-17 | 1992-11-17 | 走行ストリップの表面疵検査方法及び装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06160302A true JPH06160302A (ja) | 1994-06-07 |
Family
ID=17961386
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP30679892A Pending JPH06160302A (ja) | 1992-11-17 | 1992-11-17 | 走行ストリップの表面疵検査方法及び装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH06160302A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP1353165A2 (en) * | 1994-07-13 | 2003-10-15 | KLA-Tencor Corporation | Automated photomask inspection apparatus and method |
| JP2008268189A (ja) * | 2007-03-28 | 2008-11-06 | Hitachi High-Technologies Corp | 表面欠陥検査方法およびその装置 |
| JP2015206702A (ja) * | 2014-04-22 | 2015-11-19 | キヤノン株式会社 | 画像検査方法、および画像検査装置 |
| CN106403850A (zh) * | 2016-08-30 | 2017-02-15 | 苏州博众精工科技有限公司 | 一种平面度检测方法 |
-
1992
- 1992-11-17 JP JP30679892A patent/JPH06160302A/ja active Pending
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP1353165A2 (en) * | 1994-07-13 | 2003-10-15 | KLA-Tencor Corporation | Automated photomask inspection apparatus and method |
| EP1353165A3 (en) * | 1994-07-13 | 2004-01-28 | KLA-Tencor Corporation | Automated photomask inspection apparatus and method |
| JP2008268189A (ja) * | 2007-03-28 | 2008-11-06 | Hitachi High-Technologies Corp | 表面欠陥検査方法およびその装置 |
| JP2015206702A (ja) * | 2014-04-22 | 2015-11-19 | キヤノン株式会社 | 画像検査方法、および画像検査装置 |
| CN106403850A (zh) * | 2016-08-30 | 2017-02-15 | 苏州博众精工科技有限公司 | 一种平面度检测方法 |
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