JPH10142162A

JPH10142162A - 塗布層欠陥検査光選択方法、塗布層欠陥検査方法、塗布層欠陥検査装置

Info

Publication number: JPH10142162A
Application number: JP29857296A
Authority: JP
Inventors: Masahiro Morikawa; 雅弘森川; Kazumi Furuta; 和三古田
Original assignee: Konica Minolta Inc
Current assignee: Konica Minolta Inc
Priority date: 1996-11-11
Filing date: 1996-11-11
Publication date: 1998-05-29

Abstract

(57)【要約】【課題】塗布層によらず、塗布層に光学検査用の染料
を含有させなくても、塗布層の有無だけでなく濃淡の
差、すなわち滑らかな層厚の変化をも検出しうる検査光
を選択しうる方法を提供することを目的とする。【解決手段】支持体上に形成された塗布層の欠陥を光
学的に検査する際の検査光を選択する塗布層欠陥検査光
選択方法において、前記支持体のみに照射した場合の透
過率と、前記塗布層が形成された支持体に照射した場合
の透過率とが異なる光か、又は、前記支持体のみに照射
した場合の反射率と、前記塗布層が形成された支持体に
照射した場合の反射率とが異なる光を検査光として選択
することを特徴とする塗布層欠陥検査光選択方法。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、支持体上に形成さ
れた塗布層の欠陥を光学的に検査する塗布層欠陥検査方
法及び塗布層欠陥検査装置、そして欠陥検査に用いる検
査光を選択する塗布層欠陥検査光選択方法に関するもの
である。

【０００２】

【従来の技術】オーディオテープやビデオテープ等に代
表される磁気材料や、ＰＳ板、印画紙やネガフィルム等
に代表される感光材料は、ベース、アルミ板や原紙等の
支持体上に、例えばスライドホッパ方式により塗布物質
を単層もしくは同時に多層塗布して形成される。

【０００３】この塗布物質を塗布する際に、支持体自体
に傷があったり、ゴミが付着していたり、塗布物質に気
泡や異物が存在していたり、もしくは塗布装置に異常が
存在していたりすると、これが原因で感光材料の塗布層
に欠陥が生じる。

【０００４】従来から、塗布層に生じるこれらの欠陥の
検出方法としては、人が目視判定により行う方法と、光
学系を走査して各走査位置での光量変化によって写真感
光材料の塗布層の欠陥検査を自動的に行う方法が知られ
ていた。

【０００５】目視判定の場合は、全面検査の代わりに、
サンプリングして目視判定を行っていた。

【０００６】フライング・スポット式光学系等の光学系
による検出の場合は、検査光として、主に近赤外系の
光、もしくは赤色の光が用いられていた。具体的な方法
としては、例えば、検査光源としてＨｅ−Ｎｅレーザー
を用い、Ｈｅ−Ｎｅレーザーの波長（６３３ｎｍ）に対
して吸収波長を有する非感光性の染料等を塗布層に含有
させ、塗布層が検査用光源の波長を吸収し得るように
し、該塗布層に検査光を照射し、光反射率の変化等を検
知することにより、光学的に検査を行っていた。

【０００７】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、サンプ
リングして目視判定を行う方法では、塗布層の欠陥検査
を確実に行うことは困難であり、塗布物質の無駄も増加
する。

【０００８】また、光学系によって塗布層の欠陥検査を
行う方法では、特に感光材料の塗布層欠陥検査に用いる
場合、感光材料を感光させない波長及び照射量の光で検
査する必要があるが、ＦＡＸ用、レーザーイメージャー
用、又は印刷用モノクロ感光材料においては、感光域が
赤色光及び赤外光にまで拡大しており、感光材料の感光
波長域と従来の検査用光源波長域とが合致してしまうケ
ースが増え、従来用いられてきた赤色光や赤外光では対
応できないケースが増えてきている。例えば、Ｈｅ−Ｎ
ｅレーザー（６３３ｎｍ）や、半導体レーザー（７８０
ｎｍ、８３３ｎｍ）等の光源は、先述したＦＡＸ用、レ
ーザーイメージャー用、又は印刷用感光材料の中にはカ
ブリを生じるものがあり、塗布層欠陥検出には用いるこ
とができない場合がある。

【０００９】そのため、より赤外域の光を検査光として
用いることが考えられるが、赤外光による検査は塗布層
の表面の凹凸を検知することはできても、濃淡の差、す
なわち滑らかな層厚の変化を検知することは困難であ
り、検査光としては検査能力が低下してしまうという問
題がある。

【００１０】さらに、特定の検査光を吸収することを目
的とした染料等を添加せずに、所定の感光材料の検査に
適した検査光を選択しようとする場合、感光材料の感光
波長域は広域に渡り、その感度は感光波長域に対してフ
ラットではないものも多く（特にカラーペーパーは、フ
ラットでないものが多い）、感光材料によって種々の感
光波長域を有しており、該感光波長域と吸収波長域は必
ずしも一致せず、さらに感光材料には相反則不軌の性質
を有し、低照度不軌、高照度不軌の問題があるため、塗
布層の凹凸を検知するだけでなく、濃淡の差までをも検
査しうる所定の感光材料に適した検査光を選択するのは
容易ではないという問題がある。

【００１１】また、塗布層の欠陥を検出する場合、搬送
されている検査対象に対して欠陥検査を行うことが多
い。しかし、検査対象を搬送することによって生じる振
動等が、塗布層欠陥の検査結果にノイズなどを発生さ
せ、検査能を低下させるという問題がある。

【００１２】さらに、塗布層欠陥検査が、支持体上に塗
布層が形成されてない部分等の塗布層の大欠陥部を検出
することを主目的とする場合に、６００ｎｍ以上の比較
的長波長の光を検査光として用いると、大欠陥部での検
査光の反射光等の光量変化が余り大きくなく、精度よ
く、確実な大欠陥部の検査を行うことが困難であった。

【００１３】そこで、本発明の第１の目的は、塗布層に
よらず、塗布層に光学検査用の染料を含有させなくて
も、塗布層の有無だけでなく濃淡の差、すなわち滑らか
な層厚の変化をも検出しうる検査光を選択しうる方法を
提供することにある。

【００１４】そして、本発明の第２の目的は、モノクロ
感光材料の塗布層の欠陥検出を行う際に、感光材料にカ
ブリを生じさせることなく、塗布層の有無だけでなく、
濃淡の差までをも光学的に検査し得る塗布層欠陥検査方
法を提供することにある。

【００１５】本発明の第３の目的は、振動等によるノイ
ズを差し引いて、塗布層の層圧の変化や欠陥のみを抽出
することができ、より精度の高い検出を可能とする塗布
層欠陥検査方法を提供すること、そして、塗布層表面の
地合や、支持体のツレ等、欠陥の種類を選別した検出を
可能とする塗布層欠陥検査方法を提供することにある。

【００１６】さらに、本発明の第４の目的は、支持体上
に塗布層が形成されてない部分である塗布層の大欠陥部
を検出する場合、比較的長波長の光を検査光とした場合
に比して、より精度が良く、正確な大欠陥部の検査を可
能とする塗布層欠陥検査方法を提供することにある。

【００１７】

【課題を解決するための手段】本発明の目的は以下に示
す特許請求の範囲の各請求項により達成される。

【００１８】〔請求項１〕『支持体上に形成された塗布
層の欠陥を光学的に検査する際の検査光を選択する塗布
層欠陥検査光選択方法において、前記支持体のみに照射
した場合の透過率と、前記塗布層が形成された支持体に
照射した場合の透過率とが異なる光か、又は、前記支持
体のみに照射した場合の反射率と、前記塗布層が形成さ
れた支持体に照射した場合の反射率とが異なる光を検査
光として選択することを特徴とする塗布層欠陥検査光選
択方法。』本請求項に係る発明により、塗布層によらず、塗布層に
光学検査用の染料を含有させなくても、塗布層の有無だ
けでなく濃淡の差、すなわち滑らかな層厚の変化をも検
出しうる検査光を容易かつ定量的に選択することが可能
となる。

【００１９】〔請求項２〕『前記塗布層が複数層あり、
前記支持体のみに照射した場合の透過率と、各前記塗布
層が形成された支持体に照射した場合の透過率、もしく
は前記塗布層を上層より一層づつ除いた塗布層が形成さ
れた支持体に照射した場合の透過率とが異なる光か、又
は、前記支持体のみに照射した場合の反射率と、各前記
塗布層が形成された支持体に照射した場合の反射率、も
しくは前記塗布層を上層より一層づつ除いた塗布層が形
成された支持体に照射した場合の反射率とが異なる光を
検査光として選択することを特徴とする塗布層欠陥検査
光選択方法。』本請求項に係る発明により、複数層の塗布層の有無だけ
でなく濃淡の差、すなわち滑らかな層厚の変化をも検出
しうる検査光を容易かつ定量的に選択することが可能と
なる。また、複数層のどの層に欠陥があるのかを知るた
めの検査光も容易かつ定量的に選択することが可能とな
る。

【００２０】〔請求項３〕『前記塗布層が感光性を有し
ている場合に、前記検査光として、前記塗布物質が実質
的に感度を有しない光を選択することを特徴とする請求
項１又は２に記載の塗布層欠陥検査光選択方法。』本請求項に係る発明により、感光性を有する塗布層にカ
ブリを生じさせることなく検査し得る検査光を容易かつ
定量的に選択することが可能となる。

【００２１】〔請求項４〕『分光反射スペクトル又は分
光透過スペクトルを測定することにより、前記支持体の
みに照射した場合の透過率と、前記塗布層が形成された
支持体に照射した場合の透過率、又は、前記支持体のみ
に照射した場合の反射率と、前記塗布層が形成された支
持体に照射した場合の反射率とを測定することを特徴と
する請求項１〜３のいずれか１項に記載の塗布層欠陥検
査光選択方法。』本請求項に係る発明により、反射率や、透過率を広い波
長域に渡るスペクトルで比較できるので容易に検査光の
候補を絞ることができる。

【００２２】〔請求項５〕『前記支持体が薄膜状である
ことを特徴とする請求項１〜４のいずれか１項に記載の
塗布層欠陥検査光選択方法。』本請求項に係る発明により、薄膜状の支持体上に塗布層
を形成するものは、塗布層欠陥が起きる確率がより高い
ので、塗布層欠陥検査により得られる効果がより大き
い。

【００２３】〔請求項６〕『前記検査光を、波長に基づ
いて選択することを特徴とする請求項１〜５のいずれか
１項に記載の塗布層欠陥検査光選択方法。』本請求項に係る発明により、検査光の選択を定量的に容
易に行える。

【００２４】〔請求項７〕『前記塗布層が形成された支
持体が、パンクロ感光材料又は赤外感光材料である場合
に、波長が４５０ｎｍ〜５２０ｎｍの光を前記検査光と
して選択することを特徴とする請求項６に記載の塗布層
欠陥検査光選択方法。』本請求項に係る発明により、モノクロ感光材料の塗布層
の欠陥検出を行う際に、感光材料にカブリを生じさせる
ことなく、塗布層の有無だけでなく、濃淡の差までをも
光学的に検査することが可能となる。

【００２５】〔請求項８〕『前記検査光を、光照度に基
づいて選択することを特徴とする請求項１〜７のいずれ
か１項に記載の塗布層欠陥検査光選択方法。』本請求項に係る発明により、検査光の選択を定量的に容
易に行える。

【００２６】〔請求項９〕『請求項１〜８のいずれか１
項に記載の塗布層欠陥検査光選択方法により選択された
検査光によって、前記塗布層の欠陥を検査することを特
徴とする塗布層欠陥検査方法。』〔請求項１０〕『請求項９に記載の塗布層欠陥検査方法
により、塗布層の欠陥検査を行うことを特徴とする塗布
層欠陥検査装置。』請求項９、１０に係る発明により、塗布層によらず、塗
布層に光学検査用の染料を含有させなくても、塗布層の
有無だけでなく濃淡の差、すなわち滑らかな層厚の変化
をも検出しうる検査光を容易かつ定量的に選択すること
が可能となる。

【００２７】〔請求項１１〕『支持体上に感光性の塗布
層が形成されたモノクロ感光材料の前記塗布層の欠陥を
光学的に検査する塗布層欠陥検査方法において、前記支
持体のみに照射した場合の透過率と、前記塗布層が形成
された支持体に照射した場合の透過率とが異なる光か、
又は、前記支持体のみに照射した場合の反射率と、前記
塗布層が形成された支持体に照射した場合の反射率とが
異なる光であって、前記塗布層が実質的に感度を有しな
い光を検査光として前記塗布層の欠陥を検査することを
特徴とする塗布層欠陥検査方法。』〔請求項１２〕『前記モノクロ感光材料が、パンクロ感
光材料、又は赤外感光材料であることを特徴とする請求
項１１に記載の塗布層欠陥検査方法。』請求項１１、１２に係る発明により、モノクロ感光材料
の塗布層の欠陥検出を行う際に、感光材料にカブリを生
じさせることなく、塗布層の有無だけでなく、濃淡の差
までをも光学的に検査することが可能となる。

【００２８】〔請求項１３〕『前記検査光を、波長によ
り限定することを特徴とする請求項１１又は１２に記載
の塗布層欠陥検査方法。』〔請求項１４〕『前記検査光が、分光感度スペクトルに
おける最も長波長側のピークと最も短波長側のピークの
間の波長の光であることを特徴とする請求項１３に記載
の塗布層欠陥検査方法。』〔請求項１５〕『前記検査光の波長が４５０ｎｍ〜５２
０ｎｍであることを特徴とする請求項１３又は１４に記
載の塗布層欠陥検査方法。』〔請求項１６〕『前記検査光を、光照度により限定する
ことを特徴とする請求項１１〜１５のいずれか１項に記
載の塗布層欠陥検査方法。』〔請求項１７〕『前記検査光の光源が、アルゴンレーザ
ーを有する光源、又はＹＡＧレーザーとＳＨＧとを有す
る光源であることを特徴とする請求項１１〜１６のいず
れか１項に記載の塗布層欠陥検査方法。』請求項１３〜１７に係る発明により、検査光の限定を定
量的に、かつより容易に行うことが可能になる。

【００２９】〔請求項１８〕『支持体上に形成された塗
布層の欠陥を光学的に検査する塗布層欠陥検査方法にお
いて、前記支持体のみに照射した場合の透過率と、前記
塗布層が形成された支持体に照射した場合の透過率とが
異なる光か、又は、前記支持体のみに照射した場合の反
射率と、前記塗布層が形成された支持体に照射した場合
の反射率とが異なる光を検査光とし、前記検査光の他
に、前記塗布層が吸収しない光を基準光とし、検査光と
基準光の検出結果を比較することにより塗布層の欠陥を
検査することを特徴とする塗布層欠陥検査方法。』本請求項に係る発明により、塗布層表面の地合や、支持
体のツレや、振動によるノイズ等を差し引いて、塗布層
の層圧の変化や細かい欠陥のみを抽出することが可能と
なり、より精度の高い検出、及び欠陥の種類を選別した
検出が可能となる。

【００３０】〔請求項１９〕『前記塗布層が感光性を有
している場合に、前記塗布物質が実質的に感度を有しな
い光を、前記検査光及び前記基準光とすることを特徴と
する請求項１８に記載の塗布層欠陥検査方法。』本請求項に係る発明により、感光性を有する塗布層にカ
ブリを生じさせることなく検査し得ることが可能とな
る。

【００３１】〔請求項２０〕『前記基準光は、７００ｎ
ｍ以上の波長の光であることを特徴とする請求項１８又
は１９に記載の塗布層欠陥検査方法。』本請求項に係る発明により、塗布層表面の地合や、支持
体のツレや、振動によるノイズ等をより精度良く、確実
に差し引くことが可能となり、より精度の高い検出、及
び欠陥の種類を選別した検出が可能となる。

【００３２】〔請求項２１〕『前記塗布層が形成された
支持体が、パンクロ感光材料又は赤外感光材料であり、
前記検査光が４５０ｎｍ〜５２０ｎｍの波長の光である
ことを特徴とする請求項１８〜２０のいずれか１項に記
載の塗布層欠陥検査方法。』本請求項に係る発明により、パンクロ感光材料又は赤外
感光材料の塗布層表面の地合や、支持体のツレや、振動
によるノイズ等を差し引いて、塗布層の層圧の変化や細
かい欠陥のみを抽出することが可能となり、より精度の
高い検出、及び欠陥の種類を選別した検出が可能とな
る。

【００３３】〔請求項２２〕『支持体上に形成された塗
布層の欠陥を光学的に検査する塗布層欠陥検査方法にお
いて、波長が５２０ｎｍ以下の光を検査光として前記塗
布層の欠陥を検査することを特徴とする塗布層欠陥検査
方法。』本請求項に係る発明により、比較的短波長の光を検査光
として用いるので、検査光の支持体上での散乱性が大き
くなる。したがって、塗布層欠陥検査が、支持体上に塗
布層が形成されてない部分等の塗布層の大欠陥部を検出
することを主目的とする場合に、検査光の反射光等の大
欠陥部での光量分布形状の光量変化がより大きくなるた
め、本発明に係る光の波長より長波長の光を検査光とし
た場合に比して、より精度よく、確実な大欠陥部の検査
を行うことが可能となる。

【００３４】〔請求項２３〕『前記検査光が前記塗布層
又は前記支持体に反射した反射光を検出することによっ
て、前記塗布層の欠陥を光学的に検査することを特徴と
する請求項２２に記載の塗布層欠陥検査方法。』本請求項に係る発明により、検査光の反射光の大欠陥部
での光量分布形状の光量変化がより大きくなるため、よ
り精度よく、確実な検査を行える。

【００３５】〔請求項２４〕『前記検査光は、前記支持
体にのみ照射した場合の透過率と、前記塗布層が形成さ
れた支持体に照射した場合の透過率とが異なる光か、又
は、前記支持体のみに照射した場合の反射率と、前記塗
布層が形成された支持体に照射した場合の反射率とが異
なる光であることを特徴とする請求項２２又は２３に記
載の塗布層欠陥検査方法。』本請求項に係る発明により、より精度よく、確実な大欠
陥部の検査を行うことが可能となり、さらに、大欠陥部
の検出だけではなく、塗布層の層厚の変化をも検出する
ことが、塗布層に光学検査用の染料を含有させなくて
も、可能となる。

【００３６】〔請求項２５〕『前記塗布層が感光性の塗
布層である場合、前記検査光は、前記塗布層が実質的に
感度を有しない光であって、波長が４５０ｎｍ〜５２０
ｎｍの光であることを特徴とする請求項２２〜２４に記
載の塗布層欠陥検査方法。』本請求項に係る発明により、塗布層が感光性を有する場
合であっても、感光性の塗布層にカブリを生じさせるこ
となく、より精度よく、確実な大欠陥部の検査を行うこ
とが可能となる。

【００３７】また、本請求項が請求項２４に係る場合に
は、大欠陥部の検出だけではなく、塗布層の層厚の変化
をも検出することが、塗布層に光学検査用の染料を含有
させなくても、可能となる。

【００３８】〔請求項２６〕『前記支持体が紙であるこ
とを特徴とする請求項２２〜２５に記載の塗布層欠陥検
査方法。』〔請求項２７〕『前記感光性の塗布層を形成した支持体
が、カラー印画紙であることを特徴とする請求項２５に
記載の塗布層欠陥検査方法。』〔請求項２８〕『前記感光性の塗布層を形成した支持体
が、モノクロペーパーであることを特徴とする請求項２
５に記載の塗布層欠陥検査方法。』請求項２６〜２８に係る発明において、支持体が紙であ
るため、支持体上で検査光がより散乱しやすく、検査光
の反射光等の大欠陥部での光量分布形状の光量変化がよ
り大きくなり、精度よく、確実な検査を行えるという効
果がより大きなものになる。

【００３９】〔請求項２９〕『請求項１１〜２８のいず
れか１項に記載の塗布層欠陥検査方法により、塗布層の
欠陥検査を行うことを特徴とする塗布層欠陥検査装
置。』本請求項に係る発明により、モノクロ感光材料の塗布層
の欠陥検出を行う際に、感光材料にカブリを生じさせる
ことなく、塗布層の有無だけでなく、濃淡の差までをも
光学的に検査することが可能となる。

【００４０】また、本請求項に係る発明により、塗布層
表面の地合や、支持体のツレや、振動によるノイズ等を
差し引いて、塗布層の層圧の変化や細かい欠陥のみを抽
出することが可能となり、より精度の高い検査、及び欠
陥の種類を選別した検査ができる。

【００４１】本請求項に係る発明により、支持体上に塗
布層が形成されてない部分等の塗布層の大欠陥部を検出
することを主目的とする場合に、本発明に係る光の波長
より長波長の光を検査光とした場合に比して、より精度
よく、確実な検査を行うことが可能となる。

【００４２】〔用語の説明〕本発明でいう、「実質的に
感度を有しない」とは、検査光として照射される波長及
び照度の光に対して、対象の感光材料がカブリを生じな
いという意味である。例えば、分光感度スペクトルを測
定したときには、ある感光材料が弱い感度を有している
波長であっても、該波長の光を分光感度スペクトル測定
時より強い照度で短時間、もしくは弱い照度で長時間、
該感光材料に照射したときに、相反則不軌の性質によ
り、カブリを生じない場合がある。そのような波長及び
照度の光は該感光材料に対して「実質的に感度を有しな
い」ので、検査光として用いることができる。

【００４３】本発明でいう「大欠陥部」とは、塗布層が
形成されるべき支持体上に、塗布層が形成されていない
部分をいう。例えば、穴状、筋状等のものが考えられる
が、欠陥部の面積などの大きさは関係ない。

【００４４】

【発明の実施の形態】以下に本発明に関する実施の形態
の例を示すが、本発明はこれらに限定されない。また、
以下の実施形態は、本発明の好ましい例を示すもので、
本発明の用語の意義や技術的範囲を限定するものではな
い。

【００４５】実施形態１モノクロ感光材料の１種である、印刷用パンクロペーパ
ー１００を検査対象として実施形態の１例を説明する。

【００４６】図１（ｂ）に、該印刷用パンクロペーパー
１００の略断面図を示す。

【００４７】この印刷用パンクロペーパー１００は、例
えば所定の速度で搬送される支持体としての原紙７に、
スライドホッパ方式により乳剤層６用の感光性の乳剤
や、保護層５用の材料等を多層同時塗布することにより
作成される。

【００４８】そして、該印刷用パンクロペーパー１００
の１部をサンプリングし、印刷用パンクロペーパーの乳
剤層６の分光感度スペクトルを、ウェッジ検査等により
調査する。

【００４９】このようにして得られた該印刷用パンクロ
ペーパー１００の分光感度スペクトルを図１（ａ）に示
す。該印刷用パンクロペーパー１００の乳剤層６は３０
０〜８００ｎｍの特定波長域の光で感光し、特に約３５
０〜約４５０ｎｍ及び約５２０ｎｍ〜約７７０ｎｍの特
定波長域の光で感光することが分かる。

【００５０】次に、光反射率の測定を行う。まず、支持
体である原紙のみの分光反射スペクトルを測定する。そ
の結果を、図２に３として示す。そして、原紙７に乳剤
を塗布した印刷用パンクロペーパー１００の分光反射ス
ペクトルを測定する。その結果を示したのが、図２にお
ける４である。該印刷用パンクロペーパーの支持体の原
紙７のみでは、約４００ｎｍ以下の波長では反射率が急
激に低くなり、約４００ｎｍ以上の波長では殆ど反射率
の変化はない。原紙７に乳剤を塗布した該印刷用パンク
ロペーパー１００は、４００ｎｍ〜７００ｎｍの範囲に
おいても反射率が低くなっており、該波長の範囲におい
て印刷用パンクロペーパー１００の反射率は原紙７のみ
の反射率と異なる。

【００５１】そして、分光感度スペクトルにおいて感度
を有しない、もしくは感度が低い波長であって、分光反
射スペクトルにおいて、原紙のみの反射率と乳剤層が形
成された原紙の反射率とが異なる波長の光を、検査光の
候補として選択する。その際、分光感度スペクトルにお
ける最も長波長側のピークと最も短波長側のピークの間
にある波長の光であることが好ましい。勿論、検査対象
は本実施形態に示した印刷用パンクロペーパーに限られ
ない。

【００５２】尚、検査光の候補の選択は、分光感度スペ
クトルと分光反射スペクトルとから、人が判断して行っ
てもよいし、コンピューター等により自動的に選択され
るようにしてもよい。

【００５３】尚、透明の支持体や、透過光量が得られる
程度の非常に薄い支持体上に形成された塗布層の検出を
行う場合は、分光透過スペクトルを測定し、分光感度ス
ペクトルにおいて感度を有しない、もしくは感度が低い
波長であって、分光透過スペクトルにおいて、支持体の
みの透過率と乳剤層が形成された支持体の透過率とが異
なる波長の光を選択することが好ましく、加えて、分光
感度スペクトルにおける最も長波長側のピークと最も短
波長側のピークの間にある波長の光を、検査光の候補と
して選択することがさらに好ましい。

【００５４】本実施形態においては、検査光の光源とし
て、波長が４８８ｎｍのアルゴンレーザーを選択した。
この光は、図１の分光感度スペクトルにおける最も長波
長側のピーク２と最も短波長側のピーク１の間にある波
長であって、分光感度が低く、乳剤層の塗布欠陥検査を
行う際にカブリを発生させない可能性が高い。また、図
２に示すように原紙のみの反射率３と、乳剤層が形成さ
れた原紙の反射率４とが異なるので、乳剤層の有無だけ
でなく、層厚の変化も検出可能である。

【００５５】しかし、ウェッジ検査における光照度と、
実際の検査における光照度は異なるため、相反則不軌の
性質により、感度に変化を生じさせる場合がある。例え
ば、ある感光材料がウェッジ検査においては弱い感度を
有していた波長の光を、強照度で短時間該感光材料に照
射した場合には、カブリが生じない場合がある。そのた
め、検査光の候補として選択された光を、実際の検査光
の波長及び光照度で、最終的に該検査対象の検査光とし
ての適性を確認する必要がある。本実施形態では、塗布
層欠陥検査装置そのもので、検査光の波長及び光照度の
確認を行うが、実際の検査光の波長及び光照度で検査で
きる装置であれば、実際に使用する塗布層欠陥検査装置
そのもので確認を行わなくてもよい。

【００５６】次に、本実施形態の塗布層欠陥検査装置に
ついて説明する。

【００５７】図３に、本実施形態の塗布層欠陥検査装置
の概略図を示す。

【００５８】この塗布層欠陥検査装置８は、検査対象
（本実施形態では、先述した印刷用パンクロペーパー１
００）１６を搬送する搬送ローラー１７と、検査対象１
６に対して検査光の走査を行うフライングスポット方式
の光学系９と、検査対象１６に照射された後の検査光を
光検出手段２２へと導く導光部材１９と、検査対象１６
に照射された後の検査光を検出する光検出手段２２とを
有している。

【００５９】検査対象１６は搬送ローラー１７を介して
所定の速度で搬送され、この検査対象１６に対して検査
光がフライングスポット方式の光学系９により検査対象
１６の幅方向に走査される。

【００６０】フライングスポット方式の光学系９は、レ
ーザー光源１０、ＮＤフィルタ１１、集光レンズ群１
２、ポリゴンミラー１４、Ｆθレンズ１５及びシャッタ
ー１３とから構成され、以下のように検査対象１６に光
を投光、走査する。本実施形態では、レーザー光源１０
として先述した波長４８８ｎｍのアルゴンレーザーを用
いる。アルゴンレーザー光源１０からの光は、ＮＤフィ
ルタ１１で減光され、回転するポリゴンミラー１４で反
射され、Ｆθレンズ１５を介して検査対象１６の表面に
走査される。

【００６１】搬送ローラー１７にはロータリーエンコー
ダー１８が設けられており、これから搬送パルスが出力
される。そしてこの搬送パルスを計数することによっ
て、検査対象１６の搬送速度を検知し、低速の場合はシ
ャッター１３に信号を送り、カブリを防止するためにシ
ャッター１３を閉じて光路を閉鎖する。

【００６２】尚、ＮＤフィルタ１１からの反射光を受け
るようにパワーモニターを設け、パワーモニターによっ
て、ＮＤフィルタ１１の異常を検出し、異常が発生した
場合は、シャッター１３を閉鎖してカブリを防止するよ
うにしてもよい。また、ポリゴンミラー１４にポリゴン
ミラー回転検出装置を設け、ポリゴンミラー１４の回転
速度の検出を行うようにし、回転速度が低下している場
合は、シャッター１３を閉鎖してカブリを防止するよう
にしてもよい。

【００６３】検査対象１６に対向して導光部材１９が配
置されている。この導光部材１９は、円柱状の光伝達性
部材２０と光伝達性部材２０表面に円柱軸方向に形成さ
れた光反射帯２１からなり、光伝達性部材２０の円柱軸
方向が検査対象１６の幅方向に一致している。検査光は
検査対象１６表面に走査された後、検査対象１６の透過
光または反射光（本実施形態では反射光）として光伝達
性部材２０の曲表面から入射する。したがって、アルゴ
ンレーザー光源１０から照射された光は、導光部材１９
の光反射帯２１の対向した面に光を到達することにな
る。

【００６４】光伝達性部材２０の表面には、光伝達性部
材２０の円柱軸方向にわたり、所定幅を有する光反射帯
２１が設けられている。光伝達性部材２０に入射した光
は、光反射帯２１によって反射された後、光伝達性部材
２０軸方向の端面へと光伝達性部材２０内部を導光され
る。したがって、導光部材１９により１次元または２次
元の入射光が一点または、二点に導光される。

【００６５】尚、光伝達性部材２０はアクリルロッドを
用いることが好ましく、光反射帯２１は、平均粒径０．
２〜０．３μｍの酸化チタン粒子をアプリケータ塗布す
ることによって形成されることが好ましい。

【００６６】また、検査光が検査対象に対して正反射し
た正反射光によって塗布層欠陥検査を行う場合は、前述
した円柱状の光伝達性部材２０と光伝達性部材２０表面
に形成された光反射帯２１からなる導光部材１９を用い
ることが好ましいが、検査光が検査対象に拡散反射した
拡散反射光によって塗布層欠陥検査を行う場合は、図７
に示すような円柱状の光伝達性部材２０に複数のＶ字状
溝を設け、該Ｖ字状溝の表面に光反射面として鏡面４０
を設けた導光部材１９Ｃを用いることが好ましい。ま
た、正反射光のみか、又は拡散反射光のみの一方を用い
て塗布層欠陥検査を行う場合には、正反射光を用いて塗
布層欠陥検査を行う場合に比して、拡散反射光を用いて
塗布層欠陥検査を行う方が、欠陥部での光量変化が大き
く、検査能が高くなり好ましい。

【００６７】導光部材１９の軸方向の両端部には、導光
部材１９により端面に導光される光を検出する光検出手
段２２が配置され、この光検出手段２２により光を検出
する。光検出手段２２は、例えば光電変換器で構成さ
れ、検出した光を電気信号に変換し、それぞれ所定の出
力波形２４を得る。この導光部材１９両端それぞれの光
検出手段２２の出力２４は、加算器２３に入力され、こ
の加算器２３で光検出手段２２の出力２４を加算して所
定の合成出力２５を得ることができる。

【００６８】検査対象１６に、塗布層の有無、層厚の変
化等の欠陥が発生している場合には、合成出力２５に凸
部２５ａ、或いは凹部２５ｂのような歪み部分が生じ、
この合成出力２５の波形から欠陥を検出することができ
る。

【００６９】尚、欠陥が大きいほど、出力される信号が
大きいことを利用して、欠陥の程度を分級して認知する
ようにしてもよい。

【００７０】尚、正反射光のみか、又は拡散反射光のみ
の一方を用いて塗布層欠陥検査を行わず、図４（ａ）
（ｂ）に示すように、拡散反射光を検出する検出部材３
１に加え、検査光の正反射光を検出する検出部材３０を
設け、検査光の拡散反射光と正反射光を共に検出するこ
とにより塗布層欠陥検査を行うことが、検査対象１６を
走査した光の拡散反射光と正反射光の反射光量分布の差
異を知ることができるようになり、該反射光量分布の差
異により異物の混入、層厚の変化などの欠陥の種類もあ
る程度識別可能となり、より正確に塗布層欠陥検査を行
うことができ、塗布層欠陥検査装置８の性能が向上し好
ましい。また、透過光によって塗布層欠陥検査を行う場
合も、図５（ａ）（ｂ）に示すように、拡散透過光を検
出するための検出部材３３に加え、検査光の正透過光を
検出する検出部材３２を設け、検査光の拡散透過光と正
透過光を共に検出することにより塗布層欠陥検査を行う
ことが同様の理由から好ましい。

【００７１】この塗布層欠陥検査装置８により、検査対
象（本実施形態においては、印刷用パンクロペーパー）
１６に対する検査光の適性の最終的な確認を行う。そし
て、該波長及び照度の光検査光によって、検査対象１６
の塗布層厚の変化の検出が可能であって、検査対象１６
にカブリが生じない場合には、該波長及び照度の光（本
実施形態においては波長４８８ｎｍのアルゴンレーザー
光源）を検査光として選択することができる。

【００７２】そして、このようにして選択された波長及
び照度の光を検査光として、検査対象の塗布層欠陥検査
を行う。

【００７３】したがって、本実施形態においては、印刷
用パンクロペーパーの支持体のみに照射した場合の反射
率と、該印刷用パンクロペーパーに照射した場合の反射
率とが異なる光であって、該印刷用パンクロペーパーに
カブリを発生させない光である波長４８８ｎｍのアルゴ
ンレーザーを検査光源として該印刷用パンクロペーパー
の塗布層欠陥検査を行う。

【００７４】勿論、本実施形態に示した印刷用パンクロ
ペーパーとアルゴンレーザーの組み合わせに限られず、
支持体のみに照射した場合の反射率と、感光性塗布層を
有する支持体に照射した場合の反射率とが異なり、該感
光性塗布層が感度を有しない検査対象と光（波長、照度
等）の組み合わせであるならば、塗布層欠陥検査を行う
ことができる。尚、支持体のみに照射した場合の透過率
と、感光性塗布層を有する支持体に照射した場合の透過
率とが異なり、該感光性塗布層が感度を有しない検査対
象と光の組み合わせでもよい。具体的には、例えば、印
刷用パンクロペーパーとアルゴンレーザー（波長４８８
ｎｍ）の組み合わせ、印刷用パンクロペーパーと、ＹＡ
ＧレーザーとＳＨＧ（セカンダリーハーモニックジェネ
レーション）とを有する検査光源（波長４７３ｎｍ）の
組み合わせ、印刷用赤外フィルムとアルゴンレーザー
（波長４８８ｎｍ）の組み合わせ、及び印刷用赤外フィ
ルムと、ＹＡＧレーザーとＳＨＧとを有する検査光源
（波長４７３ｎｍ）の組み合わせ等が挙げられる。

【００７５】また、カラー感光材料、モノクロ感光材料
を問わず、塗布層欠陥検査の主目的が、支持体上に塗布
層が形成されていない大欠陥部（穴状、筋状等）を検出
することである場合、感光性塗布層が感度を有しない光
（波長、照度等）であって、波長が４５０〜５２０ｎｍ
である光を検査光として用いることが、該波長の光より
長波長の光を検査光とする場合に比して、検査能が向上
するため好ましい。特に、検査対象がカラー印画紙やモ
ノクロペーパー等のように、検査対象の支持体が紙であ
る場合はより好ましい。

【００７６】４５０〜５２０ｎｍの波長の光は、該波長
より長波長の光に比して散乱性が大きく、検査光として
照射したとき支持体表面での散乱性も大きくなる。塗布
層が存在しない大欠陥部では検査光が直接支持体に照射
されるため、該波長の検査光は、大部分が支持体表面で
拡散反射し、長波長の検査光に比して、大欠陥部での検
査光の反射光（正反射光、及び拡散反射光）の光量分布
形状の光量変化がより大きなものとなり、大欠陥部の検
出能がより向上する。４５０〜５２０ｎｍの波長の光と
して、具体的には、アルゴンレーザー（波長４８８ｎ
ｍ）を有する検査光源、ＹＡＧレーザーとＳＨＧとを有
する検査光源（波長４７３ｎｍ）等からの青色レーザー
光等が挙げられる。また、支持体が紙でできているもの
を検査対象とした場合、紙は表面での光の散乱性がより
大きいため、特に検査能が向上する効果が大きい。

【００７７】また、感光性の塗布層を複数層有する感光
材料の塗布層欠陥検出を行う場合、支持体のみに照射し
た場合の反射率と、全ての塗布層を塗布した感光材料
（例えば、イエロー層、マゼンタ層、シアン層を有する
カラー印画紙）に照射した場合の反射率とを比較して該
反射率が異なる光を検査光として選択してもよいし、支
持体のみに照射した場合の反射率と、各塗布層１層を支
持体に塗布したもの（例えば、イエロー層のみ、マゼン
タ層のみ、シアン層のみを原紙に塗布したもの）のそれ
ぞれの反射率とを比較し、該反射率が異なる光を検査光
として選択するようにしてもよい。または、支持体のみ
に照射した場合の反射率と、各塗布層を上層から１層ず
つ除いたもの（例えば、イエロー層、マゼンタ層、シア
ン層を原紙に塗布したもの、マゼンタ層、シアン層を原
紙に塗布したもの、シアン層を原紙に塗布したもの）の
それぞれの反射率とを比較して該反射率が異なる光を検
査光を選択するようにしてもよい。透過率によって選択
する場合も同様である。

【００７８】実施形態２塗布欠陥検査装置の実施形態の
他の例について説明する。

【００７９】図６は、塗布欠陥検査装置の実施形態の他
の例の概略図である。

【００８０】本実施形態の塗布層欠陥検査装置８０は、
短波長の検査光と長波長の基準光の２種の光を照射して
塗布層欠陥検査を行うものである。基準光の照射によ
り、塗布層表面の地合や振動によるノイズ等のみを検出
するようにし、基準光の照射による検出結果と検査光の
照射による検出結果とを比較演算することにより、塗布
層表面の地合や支持体のツレや振動によるノイズ等を差
し引いて検出し、塗布層の欠陥のみをより精度良く検出
することが可能となる。

【００８１】この塗布層欠陥検査装置８０は、検査対象
（本実施形態においても実施形態１と同じ印刷用パンク
ロペーパーを用いる）１６を搬送する搬送ローラー１７
と、検査対象１６に対して検査光の走査を行うフライン
グスポット方式の光学系９Ａと、検査対象１６に照射さ
れた後の検査光を光検出手段２２Ａへと導く導光部材１
９Ａと、検査対象１６に照射された後の検査光を検出す
る光検出手段２２Ａに加えて、検査対象１６に対して基
準光の走査を行うフライングスポット方式の光学系９Ｂ
と、検査対象１６に照射された後の基準光を光検出手段
２２Ｂへと導く導光部材１９Ｂと、検査対象１６に照射
された後の基準光を検出する光検出手段２２Ｂとを有し
ている。

【００８２】塗布層が感度を有しない光であって、さら
に塗布層が吸収しない光を基準光として用いる。

【００８３】検査対象１６は搬送ローラー１７を介して
所定の速度で搬送され、この検査対象１６に対して検査
光がフライングスポット方式の光学系９Ａにより検査対
象１６の幅方向に走査され、基準光がフライングスポッ
ト方式の光学系９Ｂにより検査対象１６の幅方向に走査
される。

【００８４】検査光に関する構成は実施形態１と同様で
あるので、記載を省略する。

【００８５】基準光を走査するフライングスポット方式
の光学系９Ｂも、検査光を走査するフライングスポット
方式の光学系９Ａと同様にレーザー光源１０Ｂ、ＮＤフ
ィルタ１１Ｂ、集光レンズ群１２Ｂ、ポリゴンミラー１
４Ｂ、Ｆθレンズ１５Ｂ及びシャッター１３Ｂとから構
成されている。本実施形態では、基準光用のレーザー光
源１０Ｂとして波長７８０ｎｍのレーザーダイオードを
用いる。レーザーダイオード１０Ｂからの光は、ＮＤフ
ィルタ１１Ｂで減光され、回転するポリゴンミラー１４
Ｂで反射され、Ｆθレンズ１５Ｂを介して検査対象１６
の表面に走査される。

【００８６】搬送ローラー１７にはロータリーエンコー
ダー１８が設けられており、これから搬送パルスが出力
される。そしてこの搬送パルスを計数することによっ
て、検査対象１６の搬送速度を検知し、低速の場合はシ
ャッター１３Ｂに信号を送り、カブリを防止するために
シャッター１３Ｂを閉じて光路を閉鎖する。

【００８７】尚、ＮＤフィルタ１１Ｂからの反射光を受
けるようにパワーモニターを設け、パワーモニターによ
って、ＮＤフィルタ１１Ｂの異常を検出し、異常が発生
した場合は、シャッター１３Ｂを閉鎖してカブリを防止
するようにしてもよい。また、ポリゴンミラー１４Ｂに
ポリゴンミラー回転検出装置を設け、ポリゴンミラー１
４Ｂの回転速度の検出を行うようにし、回転速度が低下
している場合は、シャッター１３Ｂを閉鎖してカブリを
防止するようにしてもよい。

【００８８】検査対象１６に対向して基準光用の導光部
材１９Ｂが配置されている。この導光部材１９Ｂは、円
柱状の光伝達性部材２０Ｂと光伝達性部材２０Ｂ表面に
円柱軸方向に形成された光反射帯２１Ｂからなり、光伝
達性部材２０Ｂの円柱軸方向が検査対象１６の幅方向に
一致している。基準光は検査対象１６表面に走査された
後、検査対象１６の透過光または反射光（本実施形態で
は反射光）として光伝達性部材２０Ｂの曲表面から入射
する。したがって、レーザーダイオード１０Ｂから照射
された光は、導光部材１９Ｂの光反射帯２１Ｂの対向し
た面に光を到達することになる。

【００８９】光伝達性部材２０Ｂの表面には、光伝達性
部材２０Ｂの円柱軸方向にわたり、所定幅を有する光反
射帯２１Ｂが設けられている。光伝達性部材２０Ｂに入
射した光は、光反射帯２１Ｂによって反射された後、光
伝達性部材２０Ｂ軸方向の端面へと光伝達性部材２０Ｂ
内部を導光される。したがって、導光部材１９Ｂにより
１次元または２次元の入射光が一点または、二点に導光
される。

【００９０】尚、基準光用の光伝達性部材２０Ｂも、検
査光用の光伝達性部材２０Ｂと同様にアクリルロッドを
用いることが好ましく、光反射帯２１Ｂも同様に、平均
粒径０．２〜０．３μｍの酸化チタン粒子をアプリケー
タ塗布することによって形成されることが好ましい。

【００９１】導光部材１９Ｂの軸方向の両端部には、導
光部材１９Ｂにより端面に導光される光を検出する光検
出手段２２Ｂが配置され、この光検出手段２２Ｂにより
光を検出する。光検出手段２２Ｂは、例えば光電変換器
で構成され、検出した光を電気信号に変換し、それぞれ
所定の出力波形を得る。この導光部材１９Ｂ両端それぞ
れの光検出手段２２Ｂの出力は、加算器２３Ｂに入力さ
れ、この加算器２３Ｂで光検出手段２２Ｂの出力をそれ
ぞれ加算して所定の合成出力２５Ｂを得ることができ
る。

【００９２】加算器２３Ｂで得られた出力２５Ｂは、続
いて比較器２８に送られる。比較器２８には、検査光の
反射光を検出することにより加算器２３Ａで得られた出
力２５Ａも送られる。そして、比較器２８において、検
査光の反射光の出力２５Ａと基準光の反射光の出力２５
Ｂとが、例えば減算されることにより、最終的な出力２
７を得る。

【００９３】基準光は波長が７８０ｎｍであるため、図
１、図２に示すように、本実施形態の検査対象である印
刷用パンクロペーパーは基準光に対して感度を有さず、
吸収もしない。また、基準光は長波長であるので散乱性
が低い。したがって、基準光の照射による検出では、塗
布層の層厚の滑らかな変化や細かい欠陥の検出等は行わ
れず、塗布層表面の地合や、支持体のツレや、振動によ
るノイズ等のみを検出する。そして、基準光の照射によ
る検出結果と検査光の照射による検出結果とを減算する
ことにより、塗布層表面の地合や、支持体のツレや、振
動によるノイズ等を差し引くことができ、塗布層の層圧
の変化や細かい欠陥の信号２７ａのみを抽出することが
でき、より精度の高い検出、及び欠陥の種類を選別した
検出が可能となる。

【００９４】また、特に振動によるノイズ等を差し引く
ことを目的とする場合、基準光と検査光の走査は、検査
対象の同一部分もしくは非常に近接した部分を走査する
ことが比較演算が容易であり、より精度の高い検出が可
能となるので好ましい。

【００９５】尚、欠陥が大きいほど、出力される信号が
大きいことを利用して、欠陥の程度を分級して認知する
ようにしてもよい。

【００９６】他の構成については、実施形態１と同様で
ある。

【００９７】

【発明の効果】本発明により、塗布層によらず、塗布層
に光学検査用の染料を含有させなくても、塗布層の有無
だけでなく濃淡の差、すなわち滑らかな層厚の変化をも
検出しうる検査光を容易かつ定量的に選択することが可
能となる。

【００９８】また、本発明により、モノクロ感光材料の
塗布層の欠陥検出を行う際に、感光材料にカブリを生じ
させることなく、塗布層の有無だけでなく、濃淡の差ま
でをも光学的に検査することが可能となる。

【００９９】また、本発明により、塗布層表面の地合
や、支持体のツレや、振動によるノイズ等を差し引い
て、塗布層の層圧の変化や細かい欠陥のみを抽出するこ
とができ、より精度の高い検出、及び欠陥の種類を選別
した検出が可能となる。

【０１００】さらに、本発明により、塗布層欠陥検査
が、支持体上に塗布層が形成されてない部分等の塗布層
の大欠陥部を検出することを主目的とする場合に、検査
光の反射光等の大欠陥部での光量分布形状の光量変化が
より大きくなるため、本発明に係る光の波長より長波長
の光を検査光とした場合に比して、より精度よく、正確
な大欠陥部の検査を行うことが可能となる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の塗布層欠陥検査光選択方法の実施形態
の１例で用いられる印刷用パンクロペーパーの分光感度
スペクトル、及び断面図。

【図２】本発明の塗布層欠陥検査光選択方法の実施形態
の１例で用いられる印刷用パンクロペーパーの分光反射
スペクトル。

【図３】本発明の塗布層欠陥検査装置の実施形態の１例
の概略図。

【図４】本発明の塗布層欠陥検査装置の実施形態の１例
において、拡散反射及び正反射光を検出する塗布層欠陥
検査装置の概略図。

【図５】本発明の塗布層欠陥検査装置の実施形態の１例
において、拡散透過及び正透過光を検出する塗布層欠陥
検査装置の概略図。

【図６】本発明の塗布層欠陥検査装置の実施形態の他の
例の概略図。

【図７】複数のＶ字状溝を設けた円柱状の光伝達性部材
の説明図。

【符号の説明】

８塗布層欠陥検査装置９フライングスポット方式の光学系１６検査対象１７搬送ローラー１９導光部材２０光伝達性部材２１光反射帯２２光検出手段２３加算器

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】支持体上に形成された塗布層の欠陥を光
学的に検査する際の検査光を選択する塗布層欠陥検査光
選択方法において、前記支持体のみに照射した場合の透
過率と、前記塗布層が形成された支持体に照射した場合
の透過率とが異なる光か、又は、前記支持体のみに照射
した場合の反射率と、前記塗布層が形成された支持体に
照射した場合の反射率とが異なる光を検査光として選択
することを特徴とする塗布層欠陥検査光選択方法。
【請求項２】前記塗布層が複数層あり、前記支持体の
みに照射した場合の透過率と、各前記塗布層が形成され
た支持体に照射した場合の透過率、もしくは前記塗布層
を上層より一層づつ除いた塗布層が形成された支持体に
照射した場合の透過率とが異なる光か、又は、前記支持
体のみに照射した場合の反射率と、各前記塗布層が形成
された支持体に照射した場合の反射率、もしくは前記塗
布層を上層より一層づつ除いた塗布層が形成された支持
体に照射した場合の反射率とが異なる光を検査光として
選択することを特徴とする塗布層欠陥検査光選択方法。
【請求項３】前記塗布層が感光性を有している場合
に、前記検査光として、前記塗布物質が実質的に感度を
有しない光を選択することを特徴とする請求項１又は２
に記載の塗布層欠陥検査光選択方法。
【請求項４】分光反射スペクトル又は分光透過スペク
トルを測定することにより、前記支持体のみに照射した
場合の透過率と、前記塗布層が形成された支持体に照射
した場合の透過率、又は、前記支持体のみに照射した場
合の反射率と、前記塗布層が形成された支持体に照射し
た場合の反射率とを測定することを特徴とする請求項１
〜３のいずれか１項に記載の塗布層欠陥検査光選択方
法。
【請求項５】前記支持体が薄膜状であることを特徴と
する請求項１〜４のいずれか１項に記載の塗布層欠陥検
査光選択方法。
【請求項６】前記検査光を、波長に基づいて選択する
ことを特徴とする請求項１〜５のいずれか１項に記載の
塗布層欠陥検査光選択方法。
【請求項７】前記塗布層が形成された支持体が、パン
クロ感光材料又は赤外感光材料である場合に、波長が４
５０ｎｍ〜５２０ｎｍの光を前記検査光として選択する
ことを特徴とする請求項６に記載の塗布層欠陥検査光選
択方法。
【請求項８】前記検査光を、光照度に基づいて選択す
ることを特徴とする請求項１〜７のいずれか１項に記載
の塗布層欠陥検査光選択方法。
【請求項９】請求項１〜８のいずれか１項に記載の塗
布層欠陥検査光選択方法により選択された検査光によっ
て、前記塗布層の欠陥を検査することを特徴とする塗布
層欠陥検査方法。
【請求項１０】請求項９に記載の塗布層欠陥検査方法
により、塗布層の欠陥検査を行うことを特徴とする塗布
層欠陥検査装置。
【請求項１１】支持体上に感光性の塗布層が形成され
たモノクロ感光材料の前記塗布層の欠陥を光学的に検査
する塗布層欠陥検査方法において、前記支持体のみに照
射した場合の透過率と、前記塗布層が形成された支持体
に照射した場合の透過率とが異なる光か、又は、前記支
持体のみに照射した場合の反射率と、前記塗布層が形成
された支持体に照射した場合の反射率とが異なる光であ
って、前記塗布層が実質的に感度を有しない光を検査光
として前記塗布層の欠陥を検査することを特徴とする塗
布層欠陥検査方法。
【請求項１２】前記モノクロ感光材料が、パンクロ感
光材料、又は赤外感光材料であることを特徴とする請求
項１１に記載の塗布層欠陥検査方法。
【請求項１３】前記検査光を、波長により限定するこ
とを特徴とする請求項１１又は１２に記載の塗布層欠陥
検査方法。
【請求項１４】前記検査光が、分光感度スペクトルに
おける最も長波長側のピークと最も短波長側のピークの
間の波長の光であることを特徴とする請求項１３に記載
の塗布層欠陥検査方法。
【請求項１５】前記検査光の波長が４５０ｎｍ〜５２
０ｎｍであることを特徴とする請求項１３又は１４に記
載の塗布層欠陥検査方法。
【請求項１６】前記検査光を、光照度により限定する
ことを特徴とする請求項１１〜１５のいずれか１項に記
載の塗布層欠陥検査方法。
【請求項１７】前記検査光の光源が、アルゴンレーザ
ーを有する光源、又はＹＡＧレーザーとＳＨＧとを有す
る光源であることを特徴とする請求項１１〜１６のいず
れか１項に記載の塗布層欠陥検査方法。
【請求項１８】支持体上に形成された塗布層の欠陥を
光学的に検査する塗布層欠陥検査方法において、前記支
持体のみに照射した場合の透過率と、前記塗布層が形成
された支持体に照射した場合の透過率とが異なる光か、
又は、前記支持体のみに照射した場合の反射率と、前記
塗布層が形成された支持体に照射した場合の反射率とが
異なる光を検査光とし、前記検査光の他に、前記塗布層
が吸収しない光を基準光とし、検査光と基準光の検出結
果を比較することにより塗布層の欠陥を検査することを
特徴とする塗布層欠陥検査方法。
【請求項１９】前記塗布層が感光性を有している場合
に、前記塗布物質が実質的に感度を有しない光を、前記
検査光及び前記基準光とすることを特徴とする請求項１
８に記載の塗布層欠陥検査方法。
【請求項２０】前記基準光は、７００ｎｍ以上の波長
の光であることを特徴とする請求項１８又は１９に記載
の塗布層欠陥検査方法。
【請求項２１】前記塗布層が形成された支持体が、パ
ンクロ感光材料又は赤外感光材料であり、前記検査光が
４５０ｎｍ〜５２０ｎｍの波長の光であることを特徴と
する請求項１８〜２０のいずれか１項に記載の塗布層欠
陥検査方法。
【請求項２２】支持体上に形成された塗布層の欠陥を
光学的に検査する塗布層欠陥検査方法において、波長が
５２０ｎｍ以下の光を検査光として前記塗布層の欠陥を
検査することを特徴とする塗布層欠陥検査方法。
【請求項２３】前記検査光が前記塗布層又は前記支持
体に反射した反射光を検出することによって、前記塗布
層の欠陥を光学的に検査することを特徴とする請求項２
２に記載の塗布層欠陥検査方法。
【請求項２４】前記検査光は、前記支持体にのみ照射
した場合の透過率と、前記塗布層が形成された支持体に
照射した場合の透過率とが異なる光か、又は、前記支持
体のみに照射した場合の反射率と、前記塗布層が形成さ
れた支持体に照射した場合の反射率とが異なる光である
ことを特徴とする請求項２２又は２３に記載の塗布層欠
陥検査方法。
【請求項２５】前記塗布層が感光性の塗布層である場
合、前記検査光は、前記塗布層が実質的に感度を有しな
い光であって、波長が４５０ｎｍ〜５２０ｎｍの光であ
ることを特徴とする請求項２２〜２４に記載の塗布層欠
陥検査方法。
【請求項２６】前記支持体が紙であることを特徴とす
る請求項２２〜２５に記載の塗布層欠陥検査方法。
【請求項２７】前記感光性の塗布層を形成した支持体
が、カラー印画紙であることを特徴とする請求項２５に
記載の塗布層欠陥検査方法。
【請求項２８】前記感光性の塗布層を形成した支持体
が、モノクロペーパーであることを特徴とする請求項２
５に記載の塗布層欠陥検査方法。
【請求項２９】請求項１１〜２８のいずれか１項に記
載の塗布層欠陥検査方法により、塗布層の欠陥検査を行
うことを特徴とする塗布層欠陥検査装置。